JP2003075747A - 形状可変鏡及び光ディスク情報入出力装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】鏡部の鏡面の形状が可変な形状可変鏡におい
て、鏡部の鏡面の変形する部分に対する固定材の収縮応
力の影響を減少させ、鏡部の鏡面の歪みを削減する。さ
らに、前記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備
えた光情報入出力装置を提供する。 【解決手段】形状可変鏡の鏡部を、鏡部を固定する鏡固
定用部材の鏡支持部に固定材を使用して鏡部の鏡面の変
形する部分よりも外側で固定するか、形状可変鏡の鏡部
を、鏡固定用部材に柔軟な材質の固定材で固定するか、
又は、形状可変鏡の鏡固定用部材が、鏡固定用部材で固
定される部分の重心に対応する位置に、鏡固定用部材で
固定される部分に点接触可能な１つの突起を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、鏡部の鏡面の形状
が可変な形状可変鏡及び光ピックアップ装置を備えた光
情報入出力装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に光ディスクを用いた情報記憶装置
としてＣＤやＤＶＤなどがある。ＤＶＤなどはＣＤに比
べ記録密度が高いため、情報の読み書きに関する条件が
より厳しくなっている。例えば光ピックアップ装置の光
軸とディスク面は垂直であることが理想であるが、実際
には光ディスクが樹脂製である為、ディスク面はかなり
うねりを持っていて、これを回転させると光ピックアッ
プ装置の光軸とディスク面は常には垂直ではなく、ディ
スク面が光軸に対して傾きを持つことがある（以下、デ
ィスク面の光軸に対する傾きをチルトと表現する）。ま
たＣＤ、ＤＶＤ共に光ディスクにおいては、図１に示す
ように、記録層１０８が樹脂層１０２ａ、１０２ｂを介
在しているため、チルトすなわちディスク面が傾くとレ
ーザ光の光路が曲げられてコマ収差が発生し、図１の１
０３ａ、１０３ｂに示すようにディスク上に正しくスポ
ットを絞れなくなる。このコマ収差が許容される量より
も大きくなると、情報を正しく読み書きできなくなると
いう不具合が生じる。

【０００３】チルトにより発生する収差を低減する手段
としては、対物レンズと記録層との間の樹脂層の厚みを
薄くする方法がある。実際に図１（ｂ）に示すようなＤ
ＶＤにおいて、対物レンズ１０１ｂと記録層１０８との
間の樹脂層１０２ｂの厚みを、図１（ａ）に示すＣＤの
場合に比較して半分にしてあるのは、コマ収差の低減を
意図したものである。しかしこの方法では、ＤＶＤより
も記録密度を高くしようとした場合には樹脂層をさらに
薄くしてチルトの影響を低減することになるが、今度は
ディスク上にゴミや傷が付いた場合に信号を正しく読み
書きできなくなるという不具合が生じる。このため、ア
クチュエータによって光ピックアップ装置の光軸を傾け
て対応しているのが現状である。

【０００４】チルトを光学的に補正する手段として、ま
ず図２に示すような特開平１０−７９１３５に記載の液
晶板を用いる方法がある。また圧電素子を用いたチルト
によるコマ収差などの補正手段として、図３に示すよう
な特開平５−１４４０５６に記載のレーザ光の光路中に
透明圧電素子を用いる方法や、図４に示すような特開平
５−３３３２７４に記載の複数のアクチェータを利用し
た形状可変鏡を用いる方法などが提案されている。

【０００５】しかしながら、特開平１０−７９１３５の
ように液晶板を用いて位相を制御することでコマ収差を
補正する方法では、レーザーが液晶板を通過するために
光量が減衰して書き込みに必要なエネルギーを得ること
が困難であり、また液晶の特性から、特にタンジェンシ
ャルチルトの制御に要求される高周波動作に使用するこ
とは困難である。

【０００６】また、特開平５−１４４０５６のように透
明圧電素子単体で必要な厚み変化を得るためには、実際
には高電圧が必要となり光ピックアップ装置などに用い
るには現実的ではない。

【０００７】さらに、特開平５−３３３２７４のように
形状可変鏡の鏡自体を積層型圧電素子で変形させ位相制
御する方法は、光ピックアップ装置などの小さい部品に
用いるには配線などの考慮がされておらず、複雑にな
り、かつ組み付けコストも高くなる。また、配線などの
問題が解決できたとしても、積層型圧電素子を小型化す
ることは、技術的にもコスト的にも困難である。

【０００８】これらの公報に記載された発明の問題点を
解決する為、ディスク面のチルトなどにより発生する波
面収差（主としてコマ収差）を、圧電材料を使用したユ
ニモルフ又はバイモルフ形状の形状可変鏡で補正する方
法が考えられる。これは例えば図５に示すような鏡面の
形状が可変な形状可変鏡である。ここで図５（ａ）は形
状可変鏡の斜視図であり、図５（ｂ）は、図５（ａ）に
おけるＡ−Ａ’方向の断面図である。この形状可変鏡
は、鏡基板６の片面に鏡材１が、他方の面には絶縁層７
が取り付けてある。鏡面のある側を上と表現すると、絶
縁層７の下には、共通電極４、その下に圧電材料２、さ
らにその下に個別電極５があり、共通電極４と個別電極
５間に電圧を印加して圧電材料２を変形させ、結果とし
て鏡面の形状を変形させる。上述の鏡材１、鏡基板６、
絶縁層７、共通電極４、圧電材料２、個別電極５を、上
からこの順に接着した部分は、図５（ｂ）に示すように
接着剤などの固定材９を用いて鏡固定用部材８に固定さ
れる。

【０００９】ここで、形状可変鏡の鏡面を変形させる為
に、圧電材料２に印加する電圧を、低電圧とする為に
は、鏡面の形状が変形し易いことが必要である。鏡面の
形状の変形を容易とする為には、形状可変鏡の鏡部（鏡
材、鏡基板、絶縁層を含めた部分、ただし絶縁層は無く
ても良い）の厚みを薄くすることが最も効果的である。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら図５
（ｂ）に示すように、形状可変鏡の鏡固定用部材８の対
向した２辺の凸部の上面に固定材９を塗布し、鏡基板６
を含む鏡部を一定の圧力で押しつけて固定しているが、
実際には固定材９が鏡固定用部材８の内側にも外側にも
はみ出す。特に内側にはみ出した固定材９は、硬化する
ときに鏡部に収縮応力を与え、鏡部を形状可変鏡の両端
方向に引っ張る。ここで鏡部は固定材９の収縮応力によ
る変形が起こり易く、図５（ｃ）に示すように形状可変
鏡の両端方向に引っ張られて、鏡面が点線で示す理想的
な鏡面から歪んでしまうという不具合があった。特に、
鏡部の厚みを薄くすると、固定材９の収縮応力による鏡
面の歪みは顕著になる。固定材９の収縮応力により、図
５（ｃ）においては鏡固定用部材８の対向した２辺の凸
部よりも内側である鏡部の鏡面の変形する部分が歪む場
合には、形状可変鏡の鏡面の形状を圧電材料２により制
御することが複雑又は困難になる。

【００１１】本発明は、上記問題に鑑みなされたもので
あり、鏡部の鏡面の変形する部分に対する固定材の収縮
応力の影響を減少させ、鏡部の鏡面の歪みを削減した形
状可変鏡を提供することを目的とする。

【００１２】さらに本発明は、レーザ光の収差補正が可
能な前記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備え
た光情報入出力装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
鏡部の鏡面の形状が可変な形状可変鏡において、前記鏡
部は、前記鏡面の変形する部分よりも外側で固定される
ことを特徴とする。

【００１４】請求項１記載の発明によれば、鏡部が、鏡
部の鏡面の変形する部分よりも外側で固定されるので、
鏡部の鏡面の歪みを削減した形状可変鏡を提供すること
ができる。

【００１５】請求項２記載の発明は、請求項１記載の形
状可変鏡において、前記鏡部を固定する鏡固定用部材を
有し、前記鏡部は、前記鏡固定用部材の鏡支持部に、固
定材で固定されることを特徴とする。

【００１６】請求項２記載の発明によれば、鏡部を固定
する鏡固定用部材を有し、鏡部が、鏡固定用部材の鏡支
持部に、固定材で固定されるので、鏡部の鏡面の変形す
る部分に対する固定材の収縮応力の影響を減少させ、鏡
部の鏡面の歪みを削減した形状可変鏡を提供することが
できる。

【００１７】請求項３記載の発明は、請求項２記載の形
状可変鏡において、前記鏡支持部は、段差又は溝を有す
ることを特徴とする。

【００１８】請求項３記載の発明によれば、鏡支持部
が、段差又は溝を有するので、鏡部の鏡面の変形する部
分に対する固定材による収縮応力の影響を減少させ、鏡
部の鏡面の歪みを削減することができ、かつ固定材が鏡
支持部内にほぼ収まり鏡固定用部材の外側に塗布する必
要がほとんど無い為、鏡基板の面積を小さくすることが
できる。さらに鏡支持部が溝を有する場合は、溝に塗布
した固定部材が形状可変鏡の外部に露呈する部分は固定
剤の端部のみであるので、外部からの衝撃に対して固定
材を保護し、形状可変鏡の耐久性を向上させることがで
きる。

【００１９】請求項４記載の発明は、請求項３記載の形
状可変鏡において、前記鏡支持部が段差を有する場合、
前記段差の境界部分は、曲面又は斜面であることを特徴
とする。

【００２０】請求項４記載の発明によれば、段差の境界
部分が、曲面又は斜面であるので、固定材が鏡固定用部
材の凸部の外側にはみ出す量を減少させると共に、鏡部
の鏡面の変形する部分に対する固定材による収縮応力の
影響を小さくし、鏡部の鏡面の歪みを削減することが容
易にできる。さらに段差の境界部分が斜面である場合
は、鏡固定用部材の加工が容易になる。

【００２１】請求項５記載の発明は、請求項３記載の形
状可変鏡において、前記鏡支持部が溝を有する場合、前
記溝は、凹凸部を有することを特徴とする。

【００２２】請求項５記載の発明によれば、溝が、凹凸
部を有するので、凹凸部に固定材が流動することがで
き、鏡部の鏡面の変形する部分に対する固定材の収縮応
力の影響を減少させ、鏡部の鏡面の歪みを削減すること
を確実にすると同時に、外部からの衝撃に対して固定材
を保護し、形状可変鏡の耐久性を向上させることができ
る。請求項６記載の発明は、請求項２記載の形状可変鏡
において、前記鏡支持部は、前記鏡固定用部材の隅にあ
ることを特徴とする。

【００２３】請求項６記載の発明によれば、鏡支持部
が、鏡固定用部材の隅にあるので、鏡部の鏡面の変形す
る部分に対する固定材の収縮応力の影響を減少させ、鏡
部の鏡面の歪みを削減することができる。また鏡固定用
部材の鏡支持部を小型化し、形状可変鏡を軽量化するこ
とができる。

【００２４】請求項７記載の発明は、請求項２記載の形
状可変鏡において、前記鏡支持部は、前記鏡部と接触す
る面の一部に前記固定材が塗布されることを特徴とす
る。

【００２５】請求項７記載の発明によれば、鏡支持部
が、鏡部と接触する面の一部に固定材が塗布されるの
で、鏡部の鏡面の変形する部分に対する固定材の収縮応
力の影響を減少させ、鏡部の鏡面の歪みを削減すること
ができ、固定材の使用量が少なくて済む。また同じ固定
材を使用する場合には、固定材を塗布する部分が少ない
ほど、固定材による収縮応力の影響を減少させることが
できる。

【００２６】請求項８記載の発明は、請求項７記載の形
状可変鏡において、前記鏡支持部は、前記鏡部と接触す
る面の一部の両側に段差又は溝を有することを特徴とす
る。

【００２７】請求項８記載の発明によれば、鏡支持部
が、鏡部と接触する面の一部の両側に段差又は溝を有す
るので、固定材が段差又は溝にも流動することができ、
鏡部の鏡面の変形する部分に対する固定材の収縮応力の
影響を減少させ、鏡部の鏡面の歪みを削減することをよ
り効果的に行うことができる。

【００２８】請求項９記載の発明は、鏡部の鏡面の形状
が可変な形状可変鏡において、前記鏡部を固定する鏡固
定用部材を有し、前記鏡部は、前記鏡固定用部材に、柔
軟な材質の固定材で固定されることを特徴とする。

【００２９】請求項９記載の発明によれば、鏡部を固定
する鏡固定用部材を有し、鏡部が、鏡固定用部材に柔軟
な材質の固定材で固定されるので、固定材の収縮応力が
固定材の内部で緩和される為、固定材の収縮応力による
鏡部の鏡面への影響を小さくし、鏡部の鏡面の歪みを削
減することを、固定材の材質を選択するだけで簡便に行
うことができる。

【００３０】請求項１０記載の発明は、請求項９記載の
形状可変鏡において、前記鏡固定用部材の鏡支持部は、
前記鏡部に点接触可能な突起を有することを特徴とす
る。請求項１０記載の発明によれば、鏡固定用部材の鏡
支持部が、鏡部に点接触可能な突起を有するので、固定
材の収縮応力による鏡面への影響を減少させ、鏡部の鏡
面の歪みを削減することができる。また鏡面の形状が変
形したとき、突起によって、鏡部の位置が鏡面の変形前
における基準位置から変位することを抑制することがで
きる。

【００３１】請求項１１記載の発明は、鏡部の鏡面の形
状が可変な形状可変鏡において、前記鏡部を固定する鏡
固定用部材を有し、前記鏡固定用部材で固定される部分
の重心に対応する位置に、前記鏡固定用部材で固定され
る部分に点接触可能な１つの突起を有することを特徴と
する。

【００３２】請求項１１記載の発明によれば、鏡部を固
定する鏡固定用部材を有し、鏡固定用部材で固定される
部分の重心に対応する位置に、鏡固定用部材で固定され
る部分に点接触可能な１つの突起を有するので、固定材
の収縮応力による鏡部の鏡面への影響を減少させ、鏡部
の鏡面の歪みを削減することができる。また鏡面の形状
が変形したとき、突起によって、鏡部の位置が、鏡面の
変形前における基準位置から変位することを抑制するこ
とができる。さらに突起は一つなので、鏡面の形状を収
差補正の為に、より理想的な形状に近づけることが可能
となる。また鏡固定用部材で固定される部分の重心に対
応する位置に突起を有するので、鏡固定用部材で固定さ
れる部分を安定に固定できる。

【００３３】請求項１２記載の発明は、光ディスク情報
入出力装置において、請求項１乃至１１記載の形状可変
鏡を有する光ピックアップ装置を備えることを特徴とす
る。

【００３４】請求項１２記載の発明によれば、請求項１
乃至１１記載の形状可変鏡を有するので、鏡部の鏡面の
歪みを削減した形状可変鏡を有する光ピックアップ装置
を備える光ディスク情報入出力装置を提供することがで
きる。

【００３５】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。以後、形状可変鏡の鏡面側を上
として説明する。

【００３６】まず、本発明の形状可変鏡の形態に関する
第１の実施例を、図６を用いて説明する。鏡基板６の片
面には鏡材１が、その反対側の面には絶縁層７が取り付
けられている。ここで本明細書中において説明の都合
上、鏡材、鏡基板、絶縁層を順番に接着し、鏡材の鏡面
は外側にある部品を鏡部と定義する。ただし鏡部に絶縁
層を設けることは必須ではない。

【００３７】絶縁層７の下には共通電極４が設置されて
おり、共通電極４の下には圧電極性が一方向の圧電材料
２が取り付けられており、圧電材料２の下には２個の個
別電極５が設置されている。ここで本明細書中において
は、鏡部、共通電極、圧電材料、個別電極の全てを含
み、鏡部の鏡面を外側にして各々を順番に接着した部品
を被固定部と呼ぶことにする。

【００３８】以上の構造を有する形状可変鏡の被固定部
における鏡部は、鏡固定用部材８に鏡支持部３で固定さ
れる。ここで、鏡支持部とは、形状可変鏡の鏡部を支持
する鏡固定用部材の部分である。本実施例では、鏡支持
部は、鏡固定用部材の対向した２辺にある凸部を表わ
す。また、鏡固定用部材による形状可変鏡の鏡部の固定
は、鏡固定用部材の鏡支持部で直接固定されるだけでな
く、被固定部の鏡部以外の部分を通じて間接的に固定さ
れる場合も含む。

【００３９】図６に示すように鏡部は、鏡固定用部材８
の対向した２辺の凸部である鏡支持部３で接触し、固定
材９で固定されることになる。ここで本明細書における
固定材とは、形状可変鏡の被固定部を鏡固定用部材に固
定する為に使用される材料で、接着剤などを意味する。
なお、本明細書中において、形状可変鏡とは、被固定
部、鏡固定用部材、及び固定材の全てを含む全体を意味
する。

【００４０】このとき図６に示すように固定材９は、鏡
部の鏡面の形状が変形しない部分である鏡部の鏡支持部
３より外側の部分と鏡固定用部材８の外側部分に塗布さ
れ、鏡部を固定している。この為、鏡基板の厚みが薄く
ても、鏡面の変形する部分に対する固定材９の収縮応力
の影響を減少させ、鏡面の歪みを削減した形状可変鏡を
提供することができる。

【００４１】次に本発明の形状可変鏡の動作について図
７を用いて説明する。図６に示すような構造の形状可変
鏡において、共通電極４を接地し、圧電材料２を挟んだ
２個の個別電極５の、片方にプラスの電圧、他方にマイ
ナスの電圧を印加するとする。 鏡基板６自体は電圧を
印加しても伸縮しないが、圧電材料２は、電圧を印加す
れば伸縮する。図７に示すように、個別電極５にプラス
の電圧を印加した場合に、個別電極５の設置部分の圧電
材料２が縮むとすると、マイナスの電圧を印加した場合
にはその部分の圧電材料２は伸びることとなり、個別電
極５にプラスの電圧を印加した場合には鏡基板６上の鏡
材１の鏡面は凸面に、個別電極５にマイナスの電圧を印
加した場合には鏡基板６上の鏡材１の鏡面は凹面にな
る。その結果図６に示す形状可変鏡の鏡面の形状は、図
７に示すような断面形状の曲面になる。また２個の個別
電極５に、前述と逆の電圧をかけた場合には、図７と逆
の断面形状になる。なお図７は簡単の為、絶縁層７、共
通電極４は省略して描いている。このような形状可変鏡
を、図８に示すような光ピックアップ装置の光軸上に設
置し、鏡面の形状を制御することによって、チルトによ
るコマ収差を低減することが可能になる。

【００４２】次に本発明の形状可変鏡を用いた本発明の
光ディスク情報入出力装置の構成について説明する。図
８に、本発明の光ディスク情報入出力装置のブロック図
を示す。図８に示すように本発明の光ディスク情報入出
力装置は、本発明の形状可変鏡１０、光ディスク１１、
対物レンズ及び対物光学系１２、立ち上げ鏡１３、偏光
ビームスプリッタ１４、レーザ素子及びレーザ光学系１
５、光検出素子及び光検出光学系１６から成る。レーザ
ー素子から発光するレーザー光は、レーザ光学系によっ
て平行光となり、偏光ビームスプリッタ１４を通り、形
状可変鏡１０で反射され、立ち上げ鏡１３でさらに反射
され、対物レンズ及び対物光学系１２で集光され、光デ
ィスク１１に焦点を結ぶ。また、光ディスク１１から反
射したレーザ光は、対物レンズ及び対物光学系１２を通
り、立ち上げ鏡１３で反射され、形状可変鏡１０で再度
反射され、偏光ビームスプリッタ１４を通り、光検出光
学系で集光され、光検出素子で検出する。光検出素子に
はチルト検出用の検出素子も設置されている。なお図８
において、光ディスク１１以外の部分が、光ピックアッ
プ装置に対応する。

【００４３】次に本発明の形状可変鏡を設置した光ディ
スク情報入出力装置におけるレーザ光の波面収差補正に
ついて説明する。図８に示す本発明の光ディスク情報入
出力装置において、光ディスク１１にチルトが起こる
と、光ディスク１１から反射して戻ってきたレーザ光の
波面は乱れコマ収差が発生する。チルトした光ディスク
１１から戻ってきて形状可変鏡１０の鏡面に入射するレ
ーザ光の波面収差は、レーザ光の光束の断面に対して図
９に示すような等高線で表わされる。ここで、光ディス
ク１１がチルトした方向に対応するレーザ光束断面の方
向が図９のＡ−Ａ’方向である。すなわちＡ−Ａ’方向
に沿って符号が変わる波面収差が発生する。

【００４４】このようなチルトにより発生する波面収差
を打ち消すために、図６に示す本発明の形状可変鏡を、
図６のＡ−Ａ’方向と図９のＡ−Ａ’方向とを一致させ
て図８のように光ピックアップ装置の光軸上に設置す
る。前述した本発明の形状可変鏡の動作により、鏡面の
形状を図７のようにＡ−Ａ’方向について凸面と凹面が
生じるように鏡面の形状を適切に制御すれば、チルトに
よる波面収差（コマ収差）の補正又は低減が可能とな
る。ここで簡単の為に図９におけるＡ−Ａ’方向につい
てのみ注目して、レーザ光の波面収差補正を、図１０を
用いて説明する。

【００４５】図１０（ａ）は、図９のＡ−Ａ’方向に対
するレーザ光の波面収差図である。ここで、図１０の縦
軸は波面収差であり、横軸は図６に示す本発明の形状可
変鏡を図６のＡ−Ａ’方向と図９のＡ−Ａ’方向とを一
致させて設置したとすれば、図１０の横軸は図６で示し
た形状可変鏡のＡ−Ａ’方向の軸と同一である。なお、
光ディスク１１がチルトせずレーザ光の光軸に対し垂直
であれば、図１０（ａ）に示すような波面収差は発生せ
ず、波面は横軸に一致する。図１０（ｂ）は、図６に示
した形状可変鏡を故意に収差を発生させるように動作さ
せ、無収差の光を形状可変鏡に照射した場合の反射光の
波面収差を表した図である。今、光ディスクにチルトが
生じ、光ディスクからの反射光の波面収差が図１０
（ａ）であったとして、形状可変鏡の形状を、光ディス
クにチルトが生じていない場合に形状可変鏡で反射した
光の波面収差が図１０（ｂ）となるように制御する。こ
のときには、図１０（ａ）と図１０（ｂ）の波面収差が
互いに相殺する関係となって形状可変鏡からの反射光の
波面収差は図１０（ｃ）のようになり、１０（ａ）と比
較して波面収差を低減させることができる。

【００４６】次に本発明の第２の実施例を図１１に示
す。図１１（ａ）はＡ−Ａ’方向の断面図、図１１
（ｂ）は鏡面側から見たときの鏡固定用部材８の平面図
である。基本的な構造は図６で示した実施例１の形状可
変鏡と同じで、鏡基板６の片面には鏡材１が、その反対
側の面には絶縁層７が取り付けられている。絶縁層７の
下には共通電極４が設置されており、共通電極４の下に
は圧電極性が一方向の圧電材料２が取り付けられてお
り、圧電材料２の下には２個の個別電極５が設置されて
いる。以上の構造を有する形状可変鏡の被固定部におけ
る鏡部は、鏡固定用部材８の鏡支持部３で固定される。
図１１（ａ）に示すように鏡部は、鏡固定用部材８の対
向した２辺の凸部である鏡支持部３で接触し、固定材９
で固定される。

【００４７】このとき鏡固定用部材８の鏡支持部には、
図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、段差を設けてあ
り、その段差部分に固定材９を塗布し、鏡部を固定す
る。本実施例の図１１（ａ）において、鏡部の鏡面の変
形しない部分は、鏡部の鏡支持部３と接触する部分であ
り、固定材９を塗布する段差部分は、鏡部の鏡面の変形
しない部分の下にある。ここで鏡部を鏡支持部３に固定
する際に、鏡部に圧力を加えても、固定材９は図１１
（ａ）、（ｂ）の矢印方向に流動する為、固定材９が鏡
部の鏡面の変形する部分である鏡支持部３より内側に入
り込むことを減少させることができる。よって鏡面の変
形する部分に対する固定材９による収縮応力の影響を減
少させ、鏡面の歪みを削減することができる。また固定
材９は、鏡固定用部材８の鏡支持部内にほぼ収まる為、
鏡固定用部材８の外側に塗布する必要がほとんど無く、
鏡部を小さくすることができる。

【００４８】次に本発明の第３の実施例を図１２に示
す。基本的な構造は図１１で示した形状可変鏡と同じで
ある。図１２に示すように鏡固定用部材８の鏡支持部３
には、鏡支持部３より内側である鏡面の変形する部分よ
りも外側に、段差を設けてあり、段差の境界部分は垂直
な面ではなく曲面となっている。ここで本明細書中、段
差の境界部分とは、段差の上面と下面との間を接続する
面を意味している。本実施例では、段差の境界部分が、
図１１に示したＡ−Ａ’方向の断面が円弧状、つまり円
柱面になっている例を示す。この断面図における円弧状
の曲線上における一点の近傍で、形状可変鏡の鏡部が鏡
固定用部材８と接触する。つまり鏡部と鏡固定用部材８
は、略直線状の細長い面で互いに接触することになる。
このように鏡部と鏡固定用部材８の接触面積が小さい
分、段差の境界部分が垂直である場合よりも、段差にお
ける固定材９を塗布する空間に余裕ができる。この為、
固定材９を塗布して鏡部を固定する際に鏡部に圧力を加
えても、固定材９が、鏡部の変形する部分である鏡支持
部３より内側部分に入り込むことを減少させることがで
きる。つまり、固定材９を塗布する部分は、鏡部の鏡支
持部３で支持される部分、すなわち鏡部の鏡面の変形し
ない部分のみである。また、固定材９は図１２の矢印の
向きに流動するが、固定材９の塗布する空間に余裕があ
る分、鏡固定用部材８の外側にはみ出す量も減少する。
このようにして鏡面の変形する部分に対する固定材９に
よる収縮応力の影響を減少させ、鏡面の歪みを削減する
ことをより容易に行うことができる。

【００４９】次に本発明の第４の実施例を図１３に示
す。基本的な構造は図１１で示した形状可変鏡と同じで
ある。図１３に示すように鏡固定用部材８の鏡支持部３
には、鏡支持部３より内側の鏡面の変形する部分よりも
外側に、段差を設けてあり、段差の境界部分は垂直な面
ではなく斜面となっている。形状可変鏡の鏡部は、段差
の斜面の上端近傍で鏡固定用部材８と接触する。つまり
形状可変鏡の鏡部と鏡固定用部材８は、略直線状の細長
い面で互いに接触することになる。このように鏡部と鏡
固定用部材８の接触面積が小さい分、段差の境界部分が
垂直である場合よりも、固定材９を塗布する空間に余裕
ができる。この為、固定材９を塗布して鏡部を固定する
際に、鏡部に圧力を加えても、固定材９が、鏡部の鏡面
の変形する部分である鏡支持部３の内側に入り込むこと
を減少させることができる。つまり、固定材９を塗布す
る部分は、鏡部の鏡支持部３に支持される部分、すなわ
ち鏡部の鏡面の変形しない部分のみである。また、固定
材９は図１２の矢印の向きに流動するが、固定材９を塗
布する空間に余裕がある分、鏡固定用部材８の外側には
み出す量も減少する。このようにして鏡面の変形する部
分に対する固定材９による収縮応力の影響を減少させ、
鏡面の歪みを削減することが容易にできる。また、段差
の境界部分が曲面であるよりも斜面である方が、鏡固定
用部材８の加工も容易である。

【００５０】次に本発明の第５の実施例を図１４に示
す。図１４（ａ）は、図１４（ｂ）に示すＡ−Ａ’方向
における形状可変鏡の断面図、図１４（ｂ）は鏡面側か
ら見たときの鏡固定用部材８の平面図である。基本的な
構造は図６に示した形状可変鏡と同じで、鏡基板６の片
面には鏡材１が、その反対側の面には絶縁層７が取り付
けられている。絶縁層７の下には共通電極４が設置され
ており、共通電極４の下には圧電極性が一方向の圧電材
料２が取り付けられており、圧電材料２の下には２個の
個別電極５が設置されている。以上の構造を有する形状
可変鏡の被固定部における鏡部は、鏡固定用部材８に鏡
支持部３で固定される。図１４（ａ）に示すように、鏡
部は、鏡固定用部材８の対向した２辺の凸部である鏡支
持部３で接触し、固定材９で固定される。

【００５１】このとき鏡固定用部材８の鏡支持部３に
は、図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、鏡支持部３よ
り内側の鏡面の変形する部分よりも外側に、溝が設けら
れており、その溝部分に固定材９を塗布して鏡部を固定
する。鏡部を固定する際、鏡部に圧力を加えても、固定
材９は図１４（ｂ）の矢印方向に流動する為、鏡支持部
３の内側に入り込むことを減少させることができる。従
って鏡面の変形する部分に対する固定材９による収縮応
力の影響を減少させ、鏡面の歪みを削減することができ
る。また本実施例では鏡固定用部材８の溝中に固定材９
を塗布させる為、固定材９が形状可変鏡の外部に露呈す
る部分は、固定材９の端部のみである。よって外部から
の衝撃に対して固定材９を保護することができ、形状可
変鏡の耐久性を向上させることができる。

【００５２】次に本発明の第６の実施例を図１５に示
す。基本的な構造は図１４で示した形状可変鏡と同じで
ある。鏡固定用部材８の鏡支持部３には、図１５に示す
ように、鏡支持部３より内側の鏡面の変形する部分より
も外側に、鏡面の面方向に凹凸部のある溝が設けられて
おり、その溝の中央部分に固定材９を塗布して鏡部を固
定する。鏡部に圧力を加えても、固定材９は図１５の矢
印方向及び凹凸部にも流動することができる為、固定材
９が鏡支持部３の内側に入り込むことを抑制できる。従
って鏡面の変形する部分に対する固定材９の収縮応力の
影響を減少させ、鏡面の歪みを削減することが確実にで
きる。また鏡固定用部材８の溝中に固定材９を塗布する
為、固定材９が形状可変鏡の外部に露呈する部分は固定
材９の端部のみとなり、外部からの衝撃に対して固定材
９を保護することができ、形状可変鏡の耐久性を向上さ
せることができる。

【００５３】次に本発明の第７の実施例を図１６に示
す。図１６（ａ）は、本実施例の形状可変鏡の斜視図、
図１６（ｂ）は鏡面側から見たときの鏡固定用部材８の
平面図である。図１６（ｂ）の平面図に描かれている点
線の長方形は、鏡基板６の貫通した穴２０ａの位置を表
している。鏡基板６には鏡材１及び絶縁層７が取り付け
られており、鏡基板６、鏡材１、及び絶縁層７には貫通
した穴２０ａが存在する。これらの穴２０ａの存在によ
り、鏡部の穴２０ａ及び梁部２０ｂより内側が、鏡部の
鏡面の変形する部分となる。このような構造を有する形
状可変鏡において、図１６（ｂ）に示すように鏡部は、
鏡固定用部材８の対向した２辺の凸部である鏡支持部３
で接触し、固定材９で固定されるが、固定材９が塗布さ
れる部分は鏡支持部３の鏡部との接触面全体ではなく一
部分である。鏡部は、この鏡支持部３との接触面の一部
分で固定される。つまり、鏡部は、鏡部の鏡面の変形し
ない部分である鏡部の穴２０ａ及び梁部２０ｂより外側
の一部分で固定される。ここで鏡部に圧力を加えても、
固定材９はほとんどが図１６（ｂ）の矢印方向に流動
し、穴２０ａが存在する為、固定材９は、鏡面の変形す
る部分である穴２０ａより中心側には流動しない。また
同じく鏡面の変形する部分である梁部２０ｂに流動する
ことも少ない。よって鏡面の変形する部分に対する固定
材９の収縮応力の影響を減少させ、鏡面の歪みを削減す
ることができる。また、鏡支持部３の一部のみに固定材
９を塗布させれば良いので、固定材９の使用量が少なく
て済む。さらに、同じ固定材を使用する場合には、固定
材９の塗布する部分が少ないほど、固定材９による収縮
応力の影響を減少させることができる。

【００５４】次に本発明の第８の実施例を図１７に示
す。図１７（ａ）は本実施例の形状可変鏡における鏡固
定用部材８の斜視図、図１７（ｂ）は図１７（ａ）の鏡
固定用部材８を鏡面側から見たときの平面図であり、図
１７（ｂ）の平面図に描かれている点線の長方形は、鏡
基板６、鏡材１、絶縁層７を貫通する穴２０ａの位置を
表している。基本的な構造は図１６と同じであり、鏡固
定用部材８は図１７（ａ）、（ｂ）に示すように、鏡部
は、鏡固定用部材８の対向した２辺の凸部である鏡支持
部３で接触し、固定材９で固定されるが、固定材９が塗
布される部分は鏡支持部３の鏡部との接触面全体ではな
く一部分である。また、この固定材９を塗布する接触面
の一部分の両側には逃げ溝２１ａを設けてある。このよ
うな構造の鏡支持部３に、固定材９を塗布して鏡部を固
定する。ここで鏡部に圧力を加えても、固定材９はほと
んどが図１７（ｂ）の矢印方向及び逃げ溝２１ａに流動
し、固定材９は、鏡面の変形する部分である穴２０ａよ
り中心側には流動せず、また同じく鏡面の変形する部分
である梁部２０ｂに流動することも少ない。つまり鏡部
の固定材９で固定される部分は、穴２０ａ及び梁部２０
ｂより外側にある鏡面の変形しない部分の一部である。
特に本実施例においては、逃げ溝２１ａが存在する為
に、固定材９が鏡面の梁部２０ｂまで流動することを、
より効果的に回避することができる。よって鏡面の変形
する部分に対する固定材９の収縮応力の影響を減少さ
せ、鏡面の歪みを削減することができる。なお、図１７
（ｃ）に示すように、図１７（ａ）、（ｂ）に示す逃げ
溝２１ａを鏡支持部３の端部まで広げて、その端部の凸
部分を無くし、段差２１ｂとした鏡固定用部材８でも同
様の効果が得られる。ただし段差２１ｂの方が逃げ溝２
１ａよりも固定材９が流動可能な容量が多いので、固定
材９の梁部２０ｂに対する影響をより効果的に減少させ
ることができる。

【００５５】次に本発明の第９の実施例を図１８に示
す。図１８（ａ）は、本実施例の形状可変鏡の斜視図、
図１８（ｂ）は、図１８（ａ）の形状可変鏡の鏡固定用
部材８を鏡面側から見たときの平面図であり、平面図に
描かれている点線の長方形は、鏡基板６などを貫通した
切り溝２２ａの位置を表している。図１８（ｃ）は、鏡
固定用部材８の斜視図である。本発明の形状可変鏡の鏡
基板６には鏡材１、及び絶縁層７が取り付けてあり、こ
れらの四隅には鏡面の周辺から鏡面の内側に向かって入
る貫通した小さな切り溝２２ａが存在する。これらの切
り溝２２ａが存在することにより、鏡側固定部分２２ｂ
は鏡部の鏡面の変形しない部分となる。このような構造
の形状可変鏡の場合には、図１８に示すように、鏡固定
用部材８の四隅に凸部があり、この四隅の凸部が鏡支持
部３を形成する。鏡支持部３の上面の面積は、鏡部の切
り溝２２ａによって決まる鏡側固定部分２２ｂの面積よ
りも小さい。鏡支持部３の上面に固定材９を塗布して、
この鏡側固定部分２２ｂの一部で鏡部を固定する。鏡部
を固定する際に、鏡部に圧力を加えても、鏡支持部３の
上面が鏡側固定部分２２ｂより面積が小さい為、固定材
９が、鏡面の変形する部分である切り溝２２ａより内側
に固定材９が流動することを回避することができる。ま
た、鏡部の切り溝２２ａが存在するので、鏡支持部３に
塗布した固定材９が鏡面の変形する部分にはみ出すこと
を防ぎ、固定材の流動を鏡側の固定部分２２ｂ内に収め
ることができる。つまり鏡面の変形する部分に固定材９
が流動することを減少させることができる。よって鏡面
の変形する部分に対する固定材９の収縮応力の影響を減
少させ、鏡面の歪みを削減することができる。また、鏡
支持部３は四隅だけで良く小型化することができる為、
形状可変鏡を軽量化することができる。さらに切り溝２
２ａは鏡面の周辺から内側に向かって入れれば良いの
で、鏡部の加工が容易となる。

【００５６】次に本発明の第１０の実施例を図１９に示
す。鏡基板６の片面には鏡材１が、その反対側の面には
絶縁層７が取り付けられており、絶縁層７の下には共通
電極４が設置されており、共通電極４の下には圧電極性
が一方向の圧電材料２が取り付けられており、圧電材料
２の下には２個の個別電極５が設置されている。以上の
構造を有する形状可変鏡の被固定部における鏡部は、鏡
固定用部材８に鏡支持部３で固定される。図１９に示す
ように鏡部は、鏡固定用部材８の対向した２辺の凸部で
ある鏡支持部３で接触し、固定材９で固定される。ここ
で固定材９として柔軟な材質の材料を使用する。固定材
９に柔軟な材質の材料を使用することにより、固定材９
の収縮応力が発生しても、固定材９の内部で緩和され
る。従って固定材９の収縮応力による鏡面への影響は小
さくなり、固定材９として柔軟な材質の材料を選択する
だけで簡便に、鏡面の歪みを削減することができる。

【００５７】次に本発明の第１１の実施例を図２０に示
す。図２０（ａ）は本実施例の形状可変鏡における鏡固
定用部材８の斜視図、図２０（ｂ）は、図２０（ａ）の
鏡固定用部材８を鏡面側から見たときの平面図であり、
図２０（ｃ）は本実施例の形状可変鏡の断面図である。
本実施例の形状可変鏡における基本的な構造は、図１９
で示した実施例１０と同じである。鏡固定用部材８の凸
部である鏡支持部３の鏡部と接触する面には、図２０に
示すように点接触可能な突起２３が存在し、また鏡基板
６の鏡面と反対側にある絶縁層７には、この突起２３に
対応した窪みがある。ここで点接触とは、一点に限定す
るものではなく、点状すなわち微小な面積を有する部分
で接触することを意味する。鏡支持部３の突起２３と鏡
基板の窪みを組み合わせるようにし、さらに鏡支持部３
に柔軟な材質の固定材９を塗布して、鏡基板６を固定す
る。ここで、固定材９に柔軟な材質の材料を使用してい
る為、固定材９の収縮応力が発生しても、固定材９の内
部で緩和され、固定材９の収縮応力による鏡面への影響
は小さくなり、鏡面の歪みを削減することができる。ま
た鏡固定用部材８に対する鏡部の位置は、点接触可能な
突起２３によって固定されており、鏡部は突起２３を支
点として変形する。よって鏡面の形状が変形したとき、
固定材９が柔軟な材質の材料であるにもかかわらず、鏡
部の位置が鏡面の変形前における基準位置から変位する
ことを抑制することができる。従って鏡面の位置ずれが
小さく、レーザー光の波面収差補正を的確に行うことが
できる。

【００５８】次に本発明の第１２の実施例を図２１に示
す。図２１（ａ）は本実施例の形状可変鏡における鏡固
定用部材８の斜視図、図２１（ｂ）は、図２０（ａ）の
鏡固定用部材８を鏡面側から見たときの平面図であり、
図２１（ｃ）は本実施例の形状可変鏡の断面図である。
本実施例の形状可変鏡における基本的な構造は、図１９
で示した実施例１０と同じである。本実施例の鏡固定用
部材８には、対向した２辺の凸部は無く、図２１に示す
ように形状可変鏡の被固定部の重心に対応する位置に点
接触可能な１つの突起２３が存在する。また被固定部の
鏡面と反対側のには、この突起２３と位置が対応した窪
みがある。ここで、形状可変鏡の鏡部の重心に対応する
位置とは、形状可変鏡の被固定部の重心から鏡固定用部
材に垂線を下ろしていき、鏡固定用部材と最初に交わる
面との交点及びその近傍の位置を表わす。また点接触と
は、一点に限定するものではなく、点状すなわち微小な
面積を有する部分で接触することを意味する。鏡固定用
部材８の突起２３と被固定部の窪みを組み合わせるよう
にし、さらに鏡支持部３に柔軟な材質の固定材９を塗布
して、鏡部を間接的に固定する。ここで、固定材９に柔
軟な材質の材料を使用している為、固定材９の収縮応力
が発生しても、固定材９の内部で緩和され、固定材９の
収縮応力による鏡面への影響は小さくなり、鏡面の歪み
を削減することができる。また鏡固定用部材８に対する
被固定部、従って鏡部の位置は、点接触可能な突起２３
によって固定されており、被固定部、従って鏡部は突起
２３を支点として変形する。よって鏡面の形状が変形し
たとき、固定材９が柔軟な材質の材料であるにもかかわ
らず、鏡部が鏡面の変形前における基準位置から変位す
ること、すなわち鏡面の位置ずれを抑制することができ
る。さらに鏡基板６は中心部分の鏡支持部３以外は、鏡
部の固定の為に拘束されておらず自由端であるので、鏡
面の形状を収差補正の為に、より理想的な形状に近づけ
ることが可能となる。また、被固定部の重心に対応する
位置に突起２３を設けているので、この突起２３の位置
まわりの被固定部にかかる力のモーメントは小さく、固
定材９を使用して安定に固定できる。

【００５９】以上、本発明を説明するため実施例を示し
てきたが、本発明はこれらの実施例にとどまることなく
応用できることは言うまでもない。例えば図１５の実施
例では溝の凹凸が規則正しくなっていたが、必要な部分
だけあっても良いし、凹凸の形状が実施例と違っていて
も良い。図１６，１７、１８の実施例では鏡基板側に貫
通した穴や切り溝がある例を示したが、穴や切り溝がな
い基板でも効果は得られるし、穴や切り溝の形状は実施
例に示した形態と異なっても良い。図１９の実施例にお
いては点接触可能な突起は２つであるが、突起の数は任
意に選択できる。また実施例を互いに組み合わせた形態
の形状可変鏡でも良いことは言うまでもない。

【００６０】また、実施例ではチルトにより発生するレ
ーザ光の波面収差として主としてコマ収差を補正するた
めの形状可変鏡として述べてきたが、電極などの配置や
電圧の印加方法、圧電材料の極性などを工夫して、球面
収差や非点収差の収差補正用として使用してもよい。

【００６１】本発明において、鏡材は、例えば金（Ａ
ｕ）の蒸着膜や誘電体多層膜などであり、絶縁層は熱酸
化膜やＣＶＤ法（気相化学析出法）などで堆積させた絶
縁材料である。共通電極や個別電極は導電性の高い材料
や金属膜であり、形状可変鏡を作製する工程で、高温処
理をする工程を用いる場合には、白金（Ｐｔ）など高温
に強い膜が望ましい。圧電材料は、ＰＺＴ（Ｐｂ（Ｚｒ
_ｘ，Ｔｉ_１−ｘ）Ｏ_３：チタン酸ジルコン酸鉛）のよう
な圧電セラミックスでもＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデ
ン）のような圧電高分子でも良く、圧電材料の薄板を貼
り付けても良く、圧電材料の膜を鏡基板側に成膜しても
良い。また鏡基板６はシリコン、セラミックス、及びガ
ラスなど硬い材料や、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタラ
ート）やポリイミドのような高分子材料でも良く、鏡基
板６の抵抗率が高くて絶縁体に近ければ、絶縁層７は省
略できる。さらに、固定材は、収縮率の小さいエポキシ
樹脂が望ましいが、ＵＶ嫌気性の接着剤、柔らかいゴム
状及びゲル状の接着剤及び充填材、収縮率が小さくない
溶剤系の一般的な接着剤でも良く、さらにこれらを必要
に応じ組み合わせて使用しても良い。本発明における柔
軟な材質の固定材には、ゴム状及びゲル状の接着剤及び
充填材などが使用できる。

【００６２】

【発明の効果】上述の如く本発明によれば、鏡部の鏡面
の変形する部分に対する固定材の収縮応力の影響を減少
させ、鏡部の鏡面の歪みを削減した形状可変鏡を提供す
ることができる。さらに、レーザ光の収差補正が可能な
前記形状可変鏡を有する光ピックアップ装置を備えた光
情報入出力装置を提供することができる。

【００６３】

【図面の簡単な説明】

【図１】光ディスクのチルトによるコマ収差の発生を説
明する図であり、（ａ）はＣＤ、（ｂ）はＤＶＤにおけ
る図である。

【図２】従来の液晶板の図である。

【図３】従来の透明圧電素子の図である。

【図４】従来の複数のアクチュエータを利用した形状可
変鏡の図である。

【図５】従来の形状可変鏡を説明する図であり、（ａ）
は斜視図、（ｂ）はＡ−Ａ’方向の断面図、（ｃ）は固
定剤により変形した後のＡ−Ａ’方向の断面図である。

【図６】本発明の第１の実施例における形状可変鏡の断
面図である。

【図７】本発明の第１の実施例における形状可変鏡の動
作を説明する図である。

【図８】本発明の形状変化鏡を含めた光ディスク情報入
出力装置全体のブロック図である。

【図９】チルトによって生じたレーザ光の波面収差の等
高線図である。

【図１０】本発明の形状可変鏡のＡ−Ａ’方向の断面に
おける波面収差の補正を説明する図であり、（ａ）はチ
ルトにより発生したレーザ光の波面収差図、（ｂ）は本
発明の形状可変鏡により発生させた波面収差図、（ｃ）
は本発明の形状可変鏡で補正した後の波面収差図であ
る。

【図１１】本発明の第２の実施例における形状可変鏡を
説明する図であり、（ａ）はＡ−Ａ’方向の断面図であ
り、（ｂ）は鏡固定用部材の鏡面側から見た平面図であ
る。

【図１２】本発明の第３の実施例における形状可変鏡の
Ａ−Ａ’方向の断面図である。

【図１３】本発明の第４の実施例における形状可変鏡の
Ａ−Ａ’方向の断面図である。

【図１４】本発明の第５の実施例における形状可変鏡を
説明する図であり、（ａ）はＡ−Ａ’方向の断面図であ
り、（ｂ）は鏡固定用部材の鏡面側から見た平面図であ
る。

【図１５】本発明の第６の実施例における形状可変鏡の
鏡固定用部材の鏡面側から見た平面図である。

【図１６】本発明の第７の実施例における形状可変鏡を
説明する図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は鏡
固定用部材の鏡面側から見た平面図である。

【図１７】本発明の第８の実施例における形状可変鏡を
説明する図であり、（ａ）は鏡固定用部材の斜視図であ
り、（ｂ）は鏡固定用部材の鏡面側から見た平面図であ
り、（ｃ）は（ａ）と異なる鏡固定用部材の斜視図であ
る。

【図１８】本発明の第９の実施例における形状可変鏡を
説明する図であり、（ａ）は斜視図であり、（ｂ）は鏡
固定用部材の鏡面側から見た平面図であり、（ｃ）は鏡
固定用部材の斜視図である。

【図１９】本発明の第１０の実施例における形状可変鏡
のＡ−Ａ’方向の断面図である。

【図２０】本発明の第１１の実施例における形状可変鏡
を説明する図であり、（ａ）は鏡固定用部材の斜視図で
あり、（ｂ）は鏡固定用部材の鏡面側から見た平面図で
あり、（ｃ）は形状可変鏡のＡ−Ａ’方向の断面図であ
る。

【図２１】本発明の第１２の実施例における形状可変鏡
を説明する図であり、（ａ）は鏡固定用部材の斜視図で
あり、（ｂ）は鏡固定用部材の鏡面側から見た平面図で
あり、（ｃ）は形状可変鏡のＡ−Ａ’方向の断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 鏡材 ２ 圧電材料 ３ 鏡支持部 ４ 共通電極 ５ 個別電極 ６ 鏡基板 ７ 絶縁層 ８ 鏡固定用部材 ９ 固定材 １０ 形状可変鏡 １１ 光ディスク １２ 対物レンズ及び対物光学系 １３ 立ち上げ鏡 １４ 偏光ビームスプリッタ １５ レーザ素子及びレーザ光学系 １６ 光検出素子及び光検出光学系 ２０ａ 貫通した穴 ２０ｂ 梁部 ２１ａ 逃げ溝 ２１ｂ 段差 ２２ａ 貫通した切り溝 ２２ｂ 鏡側固定部分 ２３ 突起 １０１ａ 対物レンズ（ＣＤ用） １０１ｂ 対物レンズ（ＤＶＤ用） １０２ａ 樹脂層（ＣＤ用） １０２ｂ 樹脂層（ＤＶＤ用） １０３ａ ＣＤにおけるスポット １０３ｂ ＤＶＤにおけるスポット １０８ 記録層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2H041 AA12 AB12 AB38 AC06 AZ01 AZ05 5D118 AA13 BA01 DB22 EA11 FB10 5D119 AA20 BA01 EC04 EC15 JA54 JC07 LB05 5D789 AA20 BA01 EC04 EC15 JA54 JC07 LB05

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 鏡部の鏡面の形状が可変な形状可変鏡に
   おいて、 前記鏡部は、前記鏡面の変形する部分よりも外側で固定
   されることを特徴とする形状可変鏡。
2. 【請求項２】 前記鏡部を固定する鏡固定用部材を有
   し、 前記鏡部は、前記鏡固定用部材の鏡支持部に、固定材で
   固定されることを特徴とする請求項１記載の形状可変
   鏡。
3. 【請求項３】 前記鏡支持部は、段差又は溝を有するこ
   とを特徴とする請求項２記載の形状可変鏡。
4. 【請求項４】 前記鏡支持部が段差を有する場合、 前記段差の境界部分は、曲面又は斜面であることを特徴
   とする請求項３記載の形状可変鏡。
5. 【請求項５】 前記鏡支持部が溝を有する場合、 前記溝は、凹凸部を有することを特徴とする請求項３記
   載の形状可変鏡。
6. 【請求項６】 前記鏡支持部は、前記鏡固定用部材の隅
   にあることを特徴とする請求項２記載の形状可変鏡。
7. 【請求項７】 前記鏡支持部は、前記鏡部と接触する面
   の一部に前記固定材が塗布されることを特徴とする請求
   項２記載の形状可変鏡。
8. 【請求項８】 前記鏡支持部は、前記鏡部と接触する面
   の一部の両側に段差又は溝を有することを特徴とする請
   求項７記載の形状可変鏡。
9. 【請求項９】 鏡部の鏡面の形状が可変な形状可変鏡に
   おいて、 前記鏡部を固定する鏡固定用部材を有し、 前記鏡部は、前記鏡固定用部材に、柔軟な材質の固定材
   で固定されることを特徴とする形状可変鏡。
10. 【請求項１０】 前記鏡固定用部材の鏡支持部は、前記
    鏡部に点接触可能な突起を有することを特徴とする請求
    項９記載の形状可変鏡。
11. 【請求項１１】 鏡部の鏡面の形状が可変な形状可変鏡
    において、 前記鏡部を固定する鏡固定用部材を有し、 前記鏡固定用部材で固定される部分の重心に対応する位
    置に、前記鏡固定用部材で固定される部分に点接触可能
    な１つの突起を有することを特徴とする形状可変鏡。
12. 【請求項１２】 請求項１乃至１１記載の形状可変鏡を
    有する光ピックアップ装置を備えることを特徴とする光
    ディスク情報入出力装置。