WO2005008228A1 - 透過撮影装置 - Google Patents

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WO2005008228A1
WO2005008228A1 PCT/JP2003/009233 JP0309233W WO2005008228A1 WO 2005008228 A1 WO2005008228 A1 WO 2005008228A1 JP 0309233 W JP0309233 W JP 0309233W WO 2005008228 A1 WO2005008228 A1 WO 2005008228A1
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image
sample
transmission
relative coordinates
source
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PCT/JP2003/009233
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English (en)
French (fr)
Inventor
Keisuke Nakai
Shigeru Sasakura
Masayuki Suzuki
Original Assignee
Pony Industry Co.,Ltd.
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
    • G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material

Definitions

  • the present invention relates to a transmission imaging device. More specifically, the present invention relates to a transmission imaging apparatus which is provided with a radiation source and a radiation detector, a sample table for attaching a sample between the radiation source and the radiation detector, and which can display a captured image on a display device.
  • a transmission imaging apparatus which is provided with a radiation source and a radiation detector, a sample table for attaching a sample between the radiation source and the radiation detector, and which can display a captured image on a display device.
  • the conventional transmission imaging apparatus as described above has a window for checking the sample, and when setting the imaging position of the sample, the positioning of the sample is determined visually from the window, and the position is determined on the display screen. It was usual to do while. Therefore, since the photographing was performed while visually checking both the display screen and the sample, the workability was extremely poor.
  • Some conventional transmission imaging apparatuses use an image intensifier as a radiation detector. This is because, as shown in Fig. 6 (a), the light receiving surface 102 is spherical, so that even if the sample is placed vertically on the detector, the unit image 104 as shown in Fig. 6 (b) can be obtained. Pincushion distortion occurs.
  • an X-ray imaging apparatus that corrects pincushion distortion using a distortion correction lens has been proposed.
  • the present invention automatically transmits a transmitted image with a simpler device configuration. It is an object of the present invention to provide a transmission imaging apparatus which can display images at any magnification and has excellent operability. Disclosure of the invention
  • the transmission imaging apparatus is characterized in that a source and a radiation detector are provided, a sample tape for attaching a sample is provided between the source and the radiation detector, and transmission imaging is performed.
  • a table driving mechanism capable of changing relative coordinates between the radiation source and the radiation detector and the sample table is provided, wherein the radiation detector is a flat panel X-ray detector.
  • a display unit that displays a composite image generated by combining a plurality of captured unit images and adds coordinate data, and is capable of changing a position and a range on the composite image or an image forming a part thereof.
  • the unit image 104a as shown in FIG. can shoot images without distortion.
  • the synthesized image 105 a generated by synthesizing a plurality of photographed unit images becomes an image close to the real image of the sample.
  • the composite image is close to the real image of the sample, it is not necessary to replace the distortion correction lens according to the magnification. Therefore, photographing can be performed at any magnification, and the configuration of the device is simplified.
  • the composite image or the image forming the part and the selected image may be displayed in different windows.
  • the imaging range can be selected in the window, the imaging position can be determined from the display screen without looking at the sample, and the operability of imaging can be improved.
  • at least two of the different windows may be simultaneously displayed. With this configuration, different images can be simultaneously compared on the screen, so that operability can be further improved.
  • the transmission imaging apparatus since the light receiving surface is configured to be planar, it is possible to capture an image without distortion. In addition, there is no need to change lenses, etc., simplifying the equipment, and enabling shooting at any magnification. As a result, it has become possible to provide a transmissive imaging apparatus which is capable of visually operating the display device, has excellent operability, has a simple configuration, and can be manufactured at low cost. In addition, the operability during shooting can be further improved by displaying the shot images in separate windows.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view of the transmission imaging apparatus.
  • FIG. 2 is a plan side view of the transmission imaging apparatus.
  • FIG. 3 is a sectional view taken along line AA of FIG.
  • FIG. 4 is a diagram showing a window of the display device.
  • (A) is a composite image window
  • FIG. 1 shows a first selection window displaying the first selection unit selected in (a), and (c) shows a second selection window displaying an enlarged image of the second selection unit selected in (b).
  • FIG. 5 is a block diagram illustrating image processing.
  • FIGS. 6A and 6B are diagrams showing the relationship between the light receiving surface of the detector and the transmission image.
  • FIG. 6A is a schematic diagram of the detector in the conventional transmission imaging apparatus
  • FIG. (C) is a schematic view of a detector in the transmission imaging apparatus according to the present invention
  • (d) is
  • the transmission imaging apparatus 1 mainly includes an imaging unit 2 and an image processing unit 40.
  • the imaging unit 2 shown in FIG. 1 includes a source device 3 serving as an X-ray source 3a, a sample table 4 on which a sample S is mounted, and a flat panel X-ray detector 5 for detecting transmitted X-rays.
  • a source device 3 serving as an X-ray source 3a
  • a sample table 4 on which a sample S is mounted
  • a flat panel X-ray detector 5 for detecting transmitted X-rays.
  • the sample table 4 is attached to a table drive mechanism 6.
  • the table driving mechanism 6 moves the sample table 4 in the XY and Z directions by driving the table motor 6a based on the relative coordinate data.
  • the flat panel X-ray detector 5 is a device in which a scintillator for converting X-ray energy into light is attached to an image sensor having a pixel matrix structure. Since the light receiving surface 5a of the flat panel X-ray detector 5 to which the scintillator is attached is planar, the captured image is close to the real image of the sample S without distortion. Finally, the transmitted image is output to the image processing unit 40 as an electric signal.
  • the radiation source device 3 is to generate X-rays having a width larger than the effective radiation width V from the radiation source 3a, and is fixed to the housing 10. Then, the sample S is attached to the sample table 4 and irradiated with X-rays, and a plurality of unit images described later are taken.
  • the table drive mechanism 6 generally includes a base frame 11, a horizontal slide shaft 12, a Y-axis frame 21, an X-axis frame 25, a sample table 4, It has a table motor 6a.
  • the Y-axis frame 21 is provided with a pair of sliders 21 a and 21 a so as to slide freely on the horizontal slide shafts 12 and 12.
  • Shaft motor 22 (6a) is installed.
  • the pinion gear 2 2 a of the Y-axis motor 2 2 (6 a) engages with the rack 2 2 b provided on the base frame 11, and is driven by the Y-axis motor 2 2 (6 a) This moves the Y-axis frame 21 in the ⁇ direction.
  • ⁇ A pair of vertical slide shafts 21b, 21b are fixed vertically on the Y-axis frame 21 on the Y-axis frame 21, and an upper frame 21c is fixed on the upper part thereof.
  • a Z-axis motor 24 (6a) for driving and rotating the screw shaft 24b is attached to the pedestal 21d.
  • the X-axis frame 25 is supported on each vertical slide shaft 21b by a slide bearing 25a. Then, by rotating the screw shaft 24 b with the Z-axis motor 24 (6 a) with respect to the ball screw 25 b of the X-axis frame 25, the X-axis frame 25 is turned in the Z direction Move.
  • the sample table 4 is mounted on the upper part of the X-axis frame 25 via a pair of slide bearings 25c, 25c.
  • X-axis motor 26 on X-axis frame 25 (6a) Force Pinion gear 26a is driven, and sample table 4 is moved in the X direction via rack 26b.
  • the sample table 4 can be freely driven and controlled in the X, Y, and Z directions by the three table motors 6a of the Y-axis motor 22, the Z-axis motor 24, and the X-axis motor 26.
  • the image processing section 40 mainly includes an image input section 41, an image synthesizing section 42, a shooting selection frame control section 43, a coordinate definition section 44, and a table control section 45. Further, a GUI control unit 46 for controlling a GUI (graphic user interface) as shown in FIG. 4, a display device 50 for displaying the GUI, and an image processing unit 40 operated via an input / output device 47 A mouse pointer 48 and a keyboard 49.
  • the image input unit 41 captures the unit image 52 a shown in FIG. 4A together with the data of the table control unit 45 from the flat panel X-ray detector 5,
  • a composite image 52 of (a) is created.
  • the photographing selection frame control unit 43 controls the photographing selection frame 54 shown in FIGS. 4A and 4B, thereby acquiring the coordinates by the coordinate definition unit 44 and obtaining the above-described table via the table control unit 45.
  • Drive motor 6a drives the photographing selection frame 54 shown in FIGS. 4A and 4B, thereby acquiring the coordinates by the coordinate definition unit 44 and obtaining the above-described table via the table control unit 45.
  • the composite image window 51a is composed of the composite image 52 described above, an imaging button 53a for irradiating X-rays to perform imaging, a cancel button 53b, and a window.
  • a window closing button 53c and a switching button 53d for displaying a first selection window 51b and a second selection window 51c are provided.
  • the first selection window 51b includes a first selection portion 52X, a shooting button 53a for re-irradiating X-rays to perform shooting, a cancel button 53b, and a window closing.
  • a button 53c and a switching button 53d for displaying a composite image window 51a and a second selection window 51c are provided.
  • the second selection window 5 1c includes a second selection section 5 2 y, a shooting button 5 3 a for re-shooting the second selection section 5 2 y, a cancel button 5 3 b, and a window close button 5 3 c, and a switching button 53 d for displaying a composite image window 51 a and a first selection window 51 b.
  • S is attached to the sample table 4, and the sample table 4 is moved to the top.
  • X-rays are emitted from the radiation source 3a, and transmission imaging is performed on the light receiving surface 5a.
  • the taken unit image 52 a is stored in the image synthesizing unit 42 via the image input unit 41.
  • the sample table 4 is sequentially moved in the X and Y directions by the table motor 6a, and a plurality of unit images 52a are photographed.
  • a composite image 52 is obtained by joining using the coordinate data given by the tape retraction controller 45.
  • a plurality of unit images 52 a are designated in the photographing selection frame 54 of the main portion of the subject portion IM, and the first selection portion 52 X is selected.
  • the first selection section 52X is displayed on the first selection window 51b shown in FIG. 4 (b). Then, the user selects the shooting selection frame 54 and selects the second selection section 52y.
  • the second selection section 5 2y is displayed in the second selection window 5 1c, which is another window displayed simultaneously with the composite image window 51a and the first selection window 51b.
  • the coordinates of the second selection section 52 y designated by the imaging selection frame control section 43 are given by the coordinate definition section 44 and sent to the table control section 45.
  • the table motor 6a is driven by the coordinates of.
  • the movement of the sample table 4 in the XY direction and the movement in the Z direction by the table motor 6 a is performed by comparing the field of view with the light receiving surface 5 a and the range of the shooting selection frame 54.
  • the XY coordinates at the plane position of the imaging selection frame 54 are determined by the coordinate definition unit 44.
  • an enlarged image at an arbitrary coordinate and an arbitrary magnification can be obtained using the imaging selection frame 54 from the composite image window 51a and the first selection window 51b.
  • the source device 3 and the flat panel X-ray detector 5 are fixed, and the sample table 4 is driven. Then, the source device 3 and the flat panel X-ray detector 5 need only be moved relative to the sample table 4, and the source device 3 and the flat panel X-ray detector 5 can be moved together.
  • the table driving mechanism 6 may be fixed.
  • the first selection section 52X specified in the unit image 52a by the shooting selection frame 54 in the composite image window 51a is displayed in an enlarged size, and further, the first selection is performed.
  • the range of the second selection section 5 2 y with the shooting selection frame 54 in the window 51 b an enlarged image with a free magnification was obtained in the second selection window 51 c.
  • an enlarged image with a free magnification may be directly obtained in the second selection window 51c by designating the shooting selection frame 54 in the composite image window 51a.
  • a digital flat panel X-ray detector is used as the radiation detector, but a device that has a substantially light-receiving surface and does not require another lens or the like may be used.
  • other types of flat panel detectors, scannable line sensors, etc. can be used.
  • the sample table 4 has a flat shape, but is not limited to the flat shape.
  • the sample may have a curved surface corresponding to the sample.
  • the unit image 52a is taken as a high-resolution image, and Combine multiple of them
  • the configuration is such that the source 3a is below the sample table 4 and the flat panel X-ray detector 5 is above, but the source 3a is above and the flat panel X is below.
  • the line detector 5 may be used.
  • the source 3a is not necessarily limited to an X-ray source.
  • a substance that generates radiation may be used.
  • the present invention can be used as any transmission imaging apparatus that performs transmission imaging of a sample using radiation.
  • the state of bonding on an electronic circuit board, the wettability of semiconductors and wires of electronic components and chips, the evaluation of mold resin, and the like can be performed by transmission photography.

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Abstract

　より簡易な装置構成で、透過画像を自由な拡大率で表示させることができ、しかも操作性に優れた透過撮影装置を提供することを目的とする。　線源３ａ及び放射線検出体を設け、これら線源３ａ及び放射線検出体の間に試料を取り付ける試料テーブル４を設け、透過撮影した画像を表示装置に表示可能とする。線源３ａ及び放射線検出体と試料テーブル４との間の相対座標を変更可能なテーブル駆動機構６を設ける。放射線検出体にはフラットパネルＸ線検出器５を使用し、撮影した単位画像を複数個合成して合成画像を表示すると共に座標データを付与する。合成画像上又はその一部をなす画像上に位置及び範囲の変更可能な撮影選択枠を表示し、座標データと撮影選択枠との比較により相対座標を求める。この相対座標に基づいてテーブル駆動装置６を制御することにより試料テーブル４の相対座標を変更し、撮影選択枠内の選択画像を拡大表示させる。　

Description

明細書
技術分野
本発明は、 透過撮影装置に関するものである。 さらに詳しくは、 線源及び放射 線検出体を設け、 これら線源及び放射線検出体の間に試料を取り付ける試料テー ブルを設け、 さらに撮影した画像を表示装置に表示可能な透過撮影装置に関する。 背景技術
上述の如き従来の透過撮影装置では、 試料を確認する窓部を有し、 試料の撮影 位置の設定を行う場合、 窓部から目視により試料の位置決めを定めて、 表示画面 上にて確^ ·しながら行うのが通常であった。 したがって、 表示画面と試料との双 方をそれぞれ目視で確認しながら撮影を行うので、 その作業性が極めて悪かった。 また、 従来の透過撮影装置では、 放射線検出体としてイメージンインテンシフ アイァを用いているものがある。 これは図 6 ( a ) に示すように、 受光面 1 0 2 が球面状であるため、 検出器に試料を鉛直に配置しても、 図 6 ( b ) のように単 位画像 1 0 4に糸巻歪みが生じる。 そこで、 例えば特許文献日本国特開平 9一 2 3 3 3 8 8号公報に記載の如く、 歪補正レンズを用いて糸卷歪みを補正する X線 撮影装置が提唱されている。
し力 し、 撮影時の拡大率を変更するには、 放射線検出体を線源及び試料から遠 近方向に移動させる必要がある。 この移動に伴い、 歪補正レンズの焦点を変更す るため、 レンズの交換や複数レンズの距離調整等を要し、 装置の構成が複雑とな つて高コストを招く。 また、 レンズの交換では、 シームレスな焦点距離の調整が 不可能で、 自由な拡大率で透過画像を表示を行うことができなかった。
かかる従来の実状に鑑みて、 本発明は、 より簡易な装置構成で、 透過画像を自 由な拡大率で表示させることができ、 しかも操作性に優れた透過撮影装置を提供 することを目的とする。 発明の開示
上記目的を達成するため、 本発明に係る透過撮影装置の特徴は、 線源及び放射 線検出体を設け、 これら線源及び放射線検出体の間に試料を取り付ける試料テー プルを設け、 透過撮影した画像を表示装置に表示可能な構成において、 前記線源 及び前記放射線検出体と前記試料テーブルとの間の相対座標を変更可能なテープ ル駆動機構を設け、 前記放射線検出体がフラットパネル X線検出器であり、 撮影 した単位画像を複数個合成して生成した合成画像を表示すると共に座標データを 付与し、 前記合成画像上又はその一部をなす画像上に位置及び範囲の変更可能な 撮影選択枠を表示し、 前記座標データと前記撮影選択枠との比較により前記相対 座標を求め、 この相対座標に基づいて前記テーブル駆動装置を制御することによ り前記試料テーブルの相対座標を変更し、 前記撮影選択枠内の選択画像を拡大表 示させることにある。
同特徴によれば、 図 6 ( c ) に示すように、 検出器 1 0 1 aの受光面 1 0 2 a が平面的であるため、 図 6 ( d ) のように単位画像 1 0 4 aは歪みのない画像を 撮影することができる。 その結果、 撮影した単位画像を複数個合成して生成した 合成画像 1 0 5 aは、 試料の実像に近い画像となる。
また、 合成画像は試料の実像に近いものであるから、 拡大率に合わせた歪補正 レンズの交換が必要なくなる。 よって、 自由な拡大率で撮影できると同時に、 装 置の構成も簡易化される。
加えて、 前記合成画像又は前記一部をなす画像と前記選択画像とをそれぞれ異 なるウィンドウに表示させてもよい。 同構成によれば、 ウィンドウ内において撮 影範囲を選択することができるため、 試料を目視せず表示画面から撮影位置の位 置決めを行うことができ、 撮影の操作性が向上することができる。 さらに、 少なくとも 2つの前記異なるウィンドウが同時に表示可能としてもよ い。 同構成により、 画面上にて異なる画像を同時に比較することができるため、 さらに操作性の向上が図られることが可能となった。
このように、 上記本発明に係る透過撮影装置は、 受光面が平面的に構成されて いるため、 歪みのない画像を撮影できるようになった。 しかも、 レンズ交換等の 必要がなくて、 装置の簡易化が図られ、 自由な拡大率での撮影が可能となった。 この結果、 表示装置の目視による操作が可能で操作性に優れ、 しかも構成が簡易 で安価に製造可能な透過撮影装置を提供し得るに至った。 また、 撮影画像がそれ ぞれ別のウィンドウで表示されることより、 撮影時の操作性をさらに向上させる ことが可能となった。
本宪明の他の目的、 構成及び効果については、 以下の発明の実施の形態におけ る記載で明らかになるであろう。 図面の簡単な説明
図 1は、 透過撮影装置の縦断面図である。
図 2は、 透過撮影装置の平側面図である。
図 3は、 図 1の A— A線断面図である。
図 4は、 表示装置のウィンドウを表す図であり、 （ a ) は合成画像ウインドウ、
( b ) は （a ) にて選択した第一選択部を表示する第一選択ウィンドウ、 （c ) は （b ) にて選択した第二選択部の拡大画像を表示する第二選択ウィンドウを表 す図である。
図 5は、 画像処理を示すブロック図である。
図 6は、 検出器の受光面と透過画像との関係を表す図であり、 （a ) は従来の 透過撮影装置における検出器の概略図、 （b ) は （a ) にて撮影した透過画像を 表す図、 （c ) は本発明に係る透過撮影装置における検出器の概略図、 （d ) は
( c ) にて撮影した透過画像を表す図である。 発明を実施するための最良の形態
次に、 添付図面を参照しながら、 本発明の実施形態について説明する。
図 5に示すように、 本発明に係る透過撮影装置 1は、 主として撮影ュニット 2 と画像処理部 4 0とを備えている。 また、 図 1に示す撮影ュニット 2は、 X線の 線源 3 aとなる線源装置 3と、 試料 Sを取り付ける試料テーブル 4と、 透過 X線 を検出するためのフラットパネル X線検出器 5とを備えている。
図 1に示すように、 試料テーブル 4は、 テーブル駆動機構 6に取り付けられて いる。 このテーブル駆動機構 6は、 相対座標データに基づくテーブルモーター 6 aの駆動により試料テ一ブル 4を X Y方向及び Z方向に移動させる。
フラットパネル X線検出器 5は、 ピクセルマトリックス構造の撮像素子上に X 線エネルギーを光に変換するシンチレーターを張り付けたものである。 フラット パネル X線検出器 5のシンチレーターを貼り付けた受光面 5 aは平面的であるた め、 撮影した画像は歪みのない試料 Sの実像に近いものとなる。 そして、 最終的 に、 透過画像は電気信号として画像処理部 4 0へ出力される。
本実施形態における線源装置 3は、 線源 3 aから有効放射幅 V以上の広がりを もった X線を発生させるものであり、 筐体 1 0に固定されている。 そして、 試料 テーブル 4に試料 Sを取り付け X線を照射させ、 後述する複数枚の単位画像を撮 影する。
図 1〜 3に示すように、 テーブル駆動機構 6は、 大略、 基礎フレーム 1 1と、 横スライ ド軸 1 2と、 Y軸フレーム 2 1と、 X軸フレーム 2 5と、 試料テーブル 4と、 テーブルモーター 6 aとを備えている。 Y軸フレーム 2 1には、 一対のス ライダー 2 1 a， 2 1 aが横スライド軸 1 2， 1 2にスライド自在に摺動するよ うに設けられており、 台座 2 1 eを介して Y軸モーター 2 2 ( 6 a ) が取り付け られている。 Y軸モーター 2 2 ( 6 a ) のピニオンギヤ 2 2 aは基礎フレーム 1 1に設けられたラック 2 2 bと嚙み合い、 Y軸モーター 2 2 ( 6 a ) が駆動する ことで Y軸フレーム 2 1を Υ方向へ移動させる。
Υ軸フレーム 2 1上には、 一対の縦スライド軸 2 1 b , 2 1 bが Y軸フレーム 2 1に対し鉛直に固定され， さらにそれらの上部に上フレーム 2 1 cが固定され ている。 台座 2 1 dにはネジ軸 2 4 bを駆動回転させる Z軸モーター 2 4 ( 6 a ) が取り付けられている。 X軸フレーム 2 5は、 スライ ドベアリング 2 5 aで 各縦スライド軸 2 1 bに支持されている。 そして、 X軸フレーム 2 5のボールネ ジ 2 5 bに対しネジ軸 2 4 bを Z軸モーター 2 4 ( 6 a ) により駆動回転させる ことで、 X軸フレーム 2 5を上下に向いた Z方向に移動させる。
X軸フレーム 2 5の上部には、 一対のスライドベアリング 2 5 c , 2 5 cを介 して試料テーブル 4が取り付けられている。 X軸フレーム 2 5の上の X軸モータ 一 2 6 ( 6 a ) 力 ピニオンギヤ 2 6 aを駆動させ、 ラック 2 6 bを介して試料 テーブル 4を X方向に移動させる。 以上の如く、 Y軸モーター 2 2， Z軸モータ — 2 4 , X軸モーター 2 6の 3つのテーブルモーター 6 aにより試料テーブル 4 の X， Y, Z方向に対する自由な駆動制御が可能となる。
画像処理部 4 0は、 主として画像入力部 4 1と、 画像合成部 4 2と、 撮影選択 枠制御部 4 3と、 座標定義部 4 4と、 テーブル制御部 4 5からなる。 さらに、 図 4のような GU I (グラフィック ユーザー インターフェイス） を制御する G U I制御部 4 6と、 これを表示する表示装置 5 0と、 入出力装置 4 7を介して画 像処理部 4 0を操作するマウスポインタ 4 8と、 キーボード 4 9とを備えている。 画像入力部 4 1は、 フラットパネル X線検出器 5からテーブル制御部 4 5のデ ータと共に図 4 ( a ) の単位画像 5 2 aを取り込み、 画像合成部 4 2で図 4
( a ) の合成画像 5 2を作成する。 撮影選択枠制御部 4 3は、 図 4 ( a ) ( b ) の撮影選択枠 5 4を制御し、 これにより座標定義部 4 4で座標を取得しテーブル 制御部 4 5を介して上述のテーブルモーター 6 aを駆動させる。
ここで、 合成画像ウインドウ 5 1 aは、 上述の合成画像 5 2と、 X線を照射し て撮影を行わせるための撮影ポタン 5 3 aと、 キャンセルボタン 5 3 bと、 ウイ ンドウ閉じポタン 5 3 cと、 第一選択ウィンドウ 5 1 b、 第二選択ウィンドウ 5 1 cを表示させるための切替ポタン 5 3 dとを備えている。 また、 第一選択ウイ ンドウ 5 1 bは、 第一選択部 5 2 Xと、 X線を再度照射して撮影を行わせるため の撮影ボタン 5 3 aと、 キヤンセルボタン 5 3 bと、 ウィンドウ閉じポタン 5 3 cと、 合成画像ウィンドウ 5 1 a、 第二選択ウィンドウ 5 1 cを表示させるため の切替ボタン 5 3 dとを備えている。 第二選択ウィンドウ 5 1 cは、 第二選択部 5 2 yと、 第二選択部 5 2 yを再度撮影するための撮影ボタン 5 3 aと、 キャン セルボタン 5 3 bと、 ウィンドウ閉じボタン 5 3 cと、 合成画像ウインドウ 5 1 a、 第一選択ウィンドウ 5 1 bを表示させるための切替ポタン 5 3 dとを備えて いる。
次に図 1 , 4， 5を参照しながら撮影動作について説明する。
まず、 Sを試料テーブル 4に取り付け、 試料テーブル 4を最上部まで移動させ る。 線源 3 aから X線を照射させ、 受光面 5 aにおいて透過撮影する。 撮影され た単位画像 5 2 aは、 画像入力部 4 1を介して画像合成部 4 2に蓄積される。 そ して、 テーブルモーター 6 aにおいて試料テーブル 4を X， Y方向に順次移動さ せ、 複数の単位画像 5 2 aを撮影していき、 それら蓄積された単位画像 5 2 aを 画像合成部 4 2においてテープノレ制御部 4 5より付与された座標データを用いて つなぎ合わせて、 合成画像 5 2を得る。
次いで、 被写体部 I Mの主要部を撮影選択枠 5 4で複数の単位画像 5 2 aを指 定して第一選択部 5 2 Xを選択する。 選択されると図 4 ( b ) に示す第一選択ゥ インドウ 5 1 bに第一選択部 5 2 Xが表示される。 その中で撮影選択枠 5 4を指 定し、 第二選択部 5 2 yを選択する。
図 4 ( c ) のように合成画像ウィンドウ 5 1 a， 第一選択ウィンドウ 5 1 bと 同時に表示される別のウィンドウである第二選択ウィンドウ 5 1 cに第二選択部 5 2 yが表示される。 撮影選択枠制御部 4 3で指定した第二選択部 5 2 yは、 座 標定義部 4 4にて座標が与えられ、 テーブル制御部 4 5に送られる。 そして、 そ の座標によりテーブルモーター 6 aが駆動する。 試料テーブル 4のテーブルモー ター 6 aによる X Y方向への移動及ぴ Z方向への移動は、 受光面 5 aによる撮影 視野と撮影選択枠 5 4の範囲との比較により Z方向位置が座標定義部 4 4により 定まり、 撮影選択枠 5 4の平面位置での X Y座標が座標定義部 4 4により定めら れる。 このように、 合成画像ウィンドウ 5 1 a , 第一選択ウィンドウ 5 1 bより 撮影選択枠 5 4を利用して任意座標、 任意倍率の拡大画像を得ることができる。 最後に、 本発明のさらに他の実施形態の可能性について説明する。
上記実施形態においては線源装置 3とフラットパネル X線検出器 5を固定し、 試料テーブル 4を駆動させるように構成した。 しカゝし、 線源装置 3とフラットパ ネル X線検出器 5とを試料テーブル 4に対し相対移動させれば良く、 線源装置 3 とフラットパネル X線検出器 5とを共に移動可能に構成する一方、 テーブル駆動 機構 6を固定してもよい。
上記実施形態において、 合成画像ウィンドウ 5 1 a内で撮影選択枠 5 4により 単位画像 5 2 aの単位で指定した第一選択部 5 2 Xをいつたん拡大表示させ、 さ らに、 第一選択ウインドウ 5 1 bにおいて撮影選択枠 5 4で第二選択部 5 2 yを 範囲指定することで自由倍率の拡大画像を第二選択ウィンドウ 5 1 cで得た。 し かし、 合成画像ウィンドウ 5 1 aでの撮影選択枠 5 4の指定により自由倍率の拡 大画像を第二選択ウィンドウ 5 1 cで直接的に得るようにしてもかまわない。 上記実施形態では、 放射線検出体としてデジタル式のフラットパネル X線検出 器を用いたが、 受光面が実質的に面状をなし、 他のレンズ等を要しない装置を用 いてもよい。 例えば、 他の方式のフラットパネル検出器、 スキャン可能なライン センサ等を用いることができる。
上記実施形態において、 試料テーブル 4はフラット形状のものを使用したが、 フラット形状のものに限られない。 例えば、 試料が球形状のものであれば、 試料 に合わせた曲面を有する試料テ一プルであってもよい。
上記実施形態において、 単位画像 5 2 aを解像度の高い画像として撮影し、 そ れらを複数個合成
また、 上記実施形態では、 試料テーブル 4を挟んで下に線源 3 aを、 上にフラ ットパネル X線検出器 5とする構成としたが、 上に線源 3 aを、 下にフラットパ ネル X線検出器 5とする構成になっても構わない。
さらに、 線源 3 aは必ずしも X線の線源に限られない。 例えば放射線を発生す る物質を用いても構わない。
なお、 特許請求の範囲の項に記入した符号は、 あくまでも図面との対照を便利 にするためのものにすぎず、 記入により本発明は添付図面の構成に限定される ものではない。 産業上の利用可能性
本発明は、 放射線による試料の透過撮影を行うあらゆる透過撮影装置として利 用することができる。 例えば、 電子回路基板においる接合状態や、 半導体、 電子 部品のワイヤー、 チップの塗れ性、 モールド樹脂の評価等を透過撮影により行う ことができる。

Claims

請求の範囲
1. 線源 （3 a) 及び放射線検出体を設け、 これら線源 (3 a) 及び放射線検出 体の間に試料を取り付ける試料テーブル （4) を設け、 透過撮影した画像を表示 装置 （50) に表示可能な透過撮影装置であって、 前記線源 （3 a) 及び前記放 射線検出体と前記試料テーブル （ 4 ) との間の相対座標を変更可能なテーブル駆 動機構 (6) を設け、 前記放射線検出体がフラットパネル X線検出器 （5) であ り、 撮影した単位画像 （5 2 a) を複数個合成して生成した合成画像 （5 2) を 表示すると共に座標データを付与し、 前記合成画像 （5 2) 上又はその一部をな す画像 （5 2 x) 上に位置及び範囲の変更可能な撮影選択枠 （54) を表示し、 前記座標データと前記撮影選択枠 （ 54 ) との比較により前記相対座標を求め、 この相対座標に基づいて前記テーブル駆動機構 (6) を制御することにより前記 試料テーブル （4) の相対座標を変更し、 前記撮影選択枠 (54) 内の選択画像
(5 2 y) を拡大表示させることを特徴とする透過撮影装置。
2. 前記合成画像 （5 2) 又は前記一部をなす画像 （5 2 x) と前記選択画像 (5 2 y) とをそれぞれ異なるウィンドウ （5 1 a, 5 1 b, 5 1 c) に表示さ せることを特徴とする請求の範囲 1に記載の透過撮影装置。
3. 少なくとも 2つの前記異なるウィンドウ （5 1 a， 5 1 b, 5 1 c) が同時 に表示可能であることを特徴とする請求の範囲 1又は 2に記載の透過撮影装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013142585A (ja) * 2012-01-10 2013-07-22 Yamaha Motor Co Ltd Ｘ線検査装置
RU201733U1 (ru) * 2020-05-12 2020-12-30 Общество с ограниченной ответственностью "ДИАГНОСТИКА-М" Устройство рентгеновского контроля изделий микроэлектроники

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000046760A (ja) * 1998-05-29 2000-02-18 Shimadzu Corp Ｘ線断層面検査装置
JP2002323460A (ja) * 2001-04-26 2002-11-08 Shimadzu Corp Ｘ線透視撮影装置
JP2003028812A (ja) * 2001-07-17 2003-01-29 Shimadzu Corp Ｘ線透視装置
JP2003166951A (ja) * 2001-12-04 2003-06-13 Pony Industry Co Ltd 放射線透過撮影装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09233388A (ja) * 1996-02-20 1997-09-05 Hitachi Medical Corp Ｘ線撮影装置
JPH09297111A (ja) * 1996-05-08 1997-11-18 Hihakai Kensa Kk 放射線透過試験装置
JP4075166B2 (ja) * 1998-11-30 2008-04-16 松下電器産業株式会社 Ｘ線基板検査装置
JP2001255286A (ja) * 2000-03-13 2001-09-21 Hitachi Kenki Fine Tech Co Ltd Ｘ線検査装置およびｘ線検査方法
JP3619132B2 (ja) * 2000-08-25 2005-02-09 株式会社日立製作所 電子顕微鏡
JP4608820B2 (ja) * 2001-06-26 2011-01-12 株式会社島津製作所 Ｘ線検査装置
JP2003156454A (ja) * 2001-11-26 2003-05-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ｘ線検査装置とその制御方法と調整方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000046760A (ja) * 1998-05-29 2000-02-18 Shimadzu Corp Ｘ線断層面検査装置
JP2002323460A (ja) * 2001-04-26 2002-11-08 Shimadzu Corp Ｘ線透視撮影装置
JP2003028812A (ja) * 2001-07-17 2003-01-29 Shimadzu Corp Ｘ線透視装置
JP2003166951A (ja) * 2001-12-04 2003-06-13 Pony Industry Co Ltd 放射線透過撮影装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013142585A (ja) * 2012-01-10 2013-07-22 Yamaha Motor Co Ltd Ｘ線検査装置
RU201733U1 (ru) * 2020-05-12 2020-12-30 Общество с ограниченной ответственностью "ДИАГНОСТИКА-М" Устройство рентгеновского контроля изделий микроэлектроники

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