RU201733U1

RU201733U1 - Устройство рентгеновского контроля изделий микроэлектроники

Info

Publication number: RU201733U1
Application number: RU2020116598U
Authority: RU
Inventors: Михаил Николаевич Малясов; Михаил Борисович Лебедев; Владимир Евгеньевич Усачев; Евгений Юрьевич Усачев; Игорь Анатольевич Мамонов
Original assignee: Общество с ограниченной ответственностью "ДИАГНОСТИКА-М"
Priority date: 2020-05-12
Filing date: 2020-05-12
Publication date: 2020-12-30

Abstract

Полезная модель относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использована для рентгеновского контроля изделий микроэлектроники. Технический результат направлен на выполнение функции выбора размера просвечиваемого места, который обеспечивается за счет того, что устройство рентгеновского контроля изделий микроэлектроники содержит несущую раму, координатный стол, источник рентгеновского излучения в котором выполнен подвижным по вертикали, а детектор рентгеновского излучения перемещается по горизонтали, причем приемная часть его все время выдерживается перпендикулярно рентгеновскому излучению. 3 ил.

Description

Полезная модель относится к области контрольно-измерительной техники и может быть использована для рентгеновского контроля изделий микроэлектроники.

Наиболее близкой к предлагаемой полезной модели является устройство рентгеновского контроля (US 2008/0232551 A1, Sep. 25, 2008). Известное устройство содержит несущую раму, источник рентгеновского излучения, трех координатный стол, детектор рентгеновского излучения, дугообразную раму. Контролируемое изделие помещается на трех координатный стол и просвечивается снизу расходящимся рентгеновским излучением в необходимой области перемещением стола. Приемник рентгеновского излучения, расположенный на дугообразной раме, перемещаясь по ней, описывает дугу окружности. Сама дугообразная рама может также менять свой угол наклона, при этом приемник за счет этих перемещений описывает в пространстве полусферу, располагаясь все это время перпендикулярно рентгеновскому излучению. Меняя горизонтальные координаты стола находится интересующее место, а вертикальным перемещением стола необходимый размер просвечиваемого интересующего места.

Недостатком известного устройства является, выполнение функции выбора размера просвечиваемого места, путем вертикального перемещения всего стола, что является конструктивно сложным решением и требует высокоточного исполнения.

Предлагаемая полезная модель направлена на решение технической задачи по устранению этого недостатка.

При этом технический результат заключается в возможности выполнения предлагаемого устройства за счет перемещения координатного стола только в горизонтальной плоскости.

Технический результат достигается тем, что в предлагаемом устройстве рентгеновского контроля изделий микроэлектроники, содержащем несущую раму, координатный стол, источник рентгеновского излучения выполнен подвижным по вертикали, а детектор рентгеновского излучения перемещается по горизонтали, причем приемная часть его все время выдерживается перпендикулярно рентгеновскому излучению.

Указанные признаки предлагаемой полезной модели являются существенными и совокупность этих признаков достаточна для получения требуемого технического результата.

На фиг. 1 показана конструкция заявляемой полезной модели. Устройство рентгеновского контроля изделий микроэлектроники содержит несущую раму 1, источник рентгеновского излучения 2, подъемный механизм 3, координатный стол с механизмами перемещения по оси вращения W 4, по ординате Y 5, по ординате X 6, верхнего механизмами перемещения по ординате X 7, приемника рентгеновского излучения 8, рамка для контролируемого изделия 9.

Предлагаемое устройство работает следующим образом. Контролируемое изделие располагается на рамке 9 механизма перемещения 6 координатного стола. Источник рентгеновского излучения 2 опускается вниз, чтобы максимально охватить площадь контролируемого изделия 9 (фиг. 2). Приемник рентгеновского излучения 8, перемещаясь по ординате X вращаясь, сохраняет свою плоскость перпендикулярно рентгеновскому излучению. После проведения соответствующих перемещений приемника достаточных для получения изображения, выбирается место для более детального контроля. Источник 2 перемещается вверх (фиг. 3) и операция получения изображения повторяется.

Claims

Устройство рентгеновского контроля изделий микроэлектроники, содержащее несущую раму, координатный стол, отличающееся тем, что источник рентгеновского излучения выполнен подвижным по вертикали, а детектор рентгеновского излучения перемещается по горизонтали, причем приемная часть его все время выдерживается перпендикулярно рентгеновскому излучению.