JP2003029163A

JP2003029163A - 顕微鏡システム

Info

Publication number: JP2003029163A
Application number: JP2001214601A
Authority: JP
Inventors: Yasushi Ogiwara; 康史荻原
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2001-07-16
Filing date: 2001-07-16
Publication date: 2003-01-29
Anticipated expiration: 2021-07-16
Also published as: US20030011883A1; US6795240B2; JP4670194B2

Abstract

(57)【要約】【課題】高精度かつ迅速な位置決めを実現可能な顕微鏡
システムを提供する。【解決手段】標本をｘｙ方向に移動させるステージと、
ステージの移動後のｘｙ座標を検出する検出部と、観察
者からステージの移動目標位置のｘｙ座標の入力を受け
付ける受付部と、標本の拡大像を撮像する撮像部２１
と、撮像部の撮像した拡大像のうち予め定められた領域
Ｂの像を外部の表示装置に表示させる演算部とを有する
顕微鏡システムである。演算部は、検出部の検出したｘ
ｙ座標と、受付部が受け付けた移動目標位置のｘｙ座標
との差に応じて領域をｘｙ方向にシフトさせ、移動目標
位置を中心とした領域の像を前記外部の表示装置に表示
させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電動ステージを備
えた顕微鏡に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】電動ステージを備えた顕微鏡において、
電動ステージの位置決め方法は大別して２つある。

【０００３】第１の方法は、オープンループ制御法であ
り、目標点に到達するために必要なモータの回転量を予
め計算し、これに基づいてモータを回転させるものであ
る。一般的にはステッピングモータがよく用いられれ
る。

【０００４】第２の方法は、クローズドループ制御法で
あり、駆動用のモータの他にステージの位置を検出する
リニアエンコーダ等のセンサを持ち、目標点の位置と現
在位置とを比較しながら目標点の位置に到達するまでモ
ータを駆動するものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】電動ステージの位置決
めにおいては、画像モニタ上において観察者が移動させ
ようとした位置、すなわち「移動目標位置」と、実際に
移動完了したときの位置、すなわち「ステージ位置」と
は完全には一致せず、２つの位置の間には微小な誤差が
存在する。移動目標位置とステージ位置との誤差は物体
面においては微小量であっても、観察倍率が大きい場合
は、モニタ等の表示手段上では大きな差となり、必ずし
も観察者の意図する観察視野が得られない場合がある。
例えば、ステージの移動量精度が１０ミクロンであった
場合には、モニタ等の表示装置上で１０ミクロンの整数
倍以外の量を含む移動目標位置が指示されると正確な移
動制御ができない。特に、上述のオープンループ制御法
を用いる電動ステージの場合、構造および制御が簡単で
低コストであるが、モータの回転量のみを制御するの
で、モータの回転量がステージの移動量に変換される際
のリードねじのバックラッシュ等によって誤差が生じや
すく、位置決め精度を高くすることが難しい。このた
め、移動目標位置とステージ位置との誤差が生じやす
い。

【０００６】一方、上述のクローズドループ制御法は、
リニアエンコーダ等の位置検出センサにより、ステージ
の位置をリアルタイムで検出し、移動目標位置との差が
予め定めた許容範囲内に入るまでステージの位置を補正
しながら位置決めすることができるため、比較的高い精
度で位置決めすることができる。しかしながら、あまり
に高い位置決め精度を要求すると、上記許容範囲が小さ
くなるため、移動目標位置の前後をステージが往復す
る、いわゆるハンチングを生じ、位置決めに時間がかか
ったり、ハンチングが止まらないといった現象が起きる
ことがある。

【０００７】本発明は、このような問題を鑑みてなされ
たものであり、高精度で迅速に目標位置の像を表示する
ことのできる顕微鏡を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本願によれば以下のような電動ステージを備えた顕
微鏡が提供される。

【０００９】すなわち、本発明の請求項１に記載の発明
によれば、標本をｘｙ方向に移動させるステージと、前
記ステージの移動後の位置を検出する検出部と、観察者
から前記ステージの移動目標位置の入力を受け付ける受
付部と、前記標本の拡大像を結像する結像光束を形成す
る光学系と、前記拡大像を撮像する撮像部と、シフト手
段とを有し、前記シフト手段は、前記検出部の検出した
位置と前記受付部が受け付けた移動目標位置とが不一致
の場合、前記結像光束と前記撮像部との位置関係を相対
的にシフトさせることを特徴とする顕微鏡システムが提
供される。

【００１０】上記請求項１に記載の顕微鏡システムにお
いて、前記撮像部は、有効画素範囲および該有効画素範
囲内に含まれる表示に使われる表示画素範囲を有し、前
記シフト手段は、前記結像光束に対して、前記撮像部の
前記表示画素範囲をｘｙ方向にシフトさせる手段を用い
ることができる。

【００１１】上記請求項１に記載の顕微鏡システムにお
いて、前記光学系は、結像レンズを含み、前記シフト手
段は、前記結像レンズをｘｙ方向にシフトさせる手段を
用いることができる。

【００１２】上記請求項１に記載の顕微鏡システムにお
いて、前記光学系は、結像レンズと、該結像レンズと撮
像部との間に配置された透明な平行平板とを含み、前記
シフト手段は、前記平行平板を前記結像レンズの光軸に
対して傾斜させる手段を用いることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態について図
面を用いて説明する。

【００１４】(第１の実施の形態）まず、第１の実施の
形態の電動ステージを備えた顕微鏡システムについて、
図１，図２、図５，図６、図８、図９（ａ），（ｂ）を
用いて説明する。

【００１５】この顕微鏡システムは、顕微鏡１０、制御
装置５０、および、モニタ４０を備えている。顕微鏡１
０は、電動ステージ３０と、レボルバ１１と、対物レン
ズ１２と、鏡筒１０１と、ＴＶカメラ２０とを有してい
る。ＴＶカメラ２０は、鏡筒１０１の上部に連結されて
いる。ＴＶカメラ２０は、図２のように撮像素子として
ＣＣＤ２１を含む。鏡筒１０１の内部には、標本の観察
像をＣＣＤ２１上に結像させるための結像レンズ１３が
配置されている。制御装置５０は、画像処理部５１と演
算処理部５２とを有し、ＣＣＤ２１の出力は、画像処理
部５１に入力される。レボルバ１１，電動ステージ３０
は、演算処理部５２に接続されている。また、制御装置
５０には、マウス６０と、モニタ４０とが接続されてい
る。

【００１６】電動ステージ３０は、図９（ａ）のように
標本１２０を搭載するためのｘステージ１２１と、ｘス
テージ１２１をｘ方向に移動させるためのステッピング
モータ３１およびリードねじ部１２４と、ｘステージ１
２１を搭載するｙステージ１２６と、ｙステージをｙ方
向に移動させるためのステッピングモータ３２およびリ
ードねじ部１２５とを含んでいる。また、ｘステージ１
２１およびｙステージ１２６には、リニアエンコーダ１
２２，１２３のリニアスケール１２２ａ，１２３ａがそ
れぞれ取り付けられている。リードねじ部１２４および
１２５には、リニアエンコーダ１２２，１２３のセンサ
１２２ｂ，１２３ｂがそれぞれ取り付けられている。ス
テッピングモータ３１、３２の回転運動は、リードねじ
部１２３，１２５内のリードねじによって直線運動に変
換され、ｘステージ１２１およびｙステージ１２６をそ
れぞれｘ方向ｙ方向に駆動する（図９（ｂ））。このと
き、センサ１２２ｂ，１２３ｂは、リニアスケール１２
２ａ、１２３ａの位置をそれぞれ検出する。これによ
り、ｘおよびｙステージ１２１，１２６の座標（ｘ、
ｙ）が検出される。ステッピングモータ３１，３２は、
演算処理部５２に接続されており、演算処理部５２の指
示した回転量にしたがって動作する。また、センサ１２
２ｂ、１２３ｂの出力は、演算処理部５２に入力され
る。

【００１７】ＣＣＤ２１は、図５のように、撮像画素が
縦横に配列された有効画素範囲Ａを有している。ＣＣＤ
２１は、この有効画素範囲Ａに結像した観察像を撮像可
能である。ＣＣＤ２１の出力は、画像処理部５１に入力
される。画像処理部５１は、有効画素範囲Ａの内側の予
め定めた４つの座標（Ｘ_１，Ｙ_１）（Ｘ_２，Ｙ_２）（Ｘ
_３，Ｙ_３）（Ｘ_４，Ｙ_４）で囲まれる表示画素範囲Ｂ内
の画像を、モニタ４０に出力し、表示させる。

【００１８】レボルバ１１は、複数の対物レンズ取付穴
を有しており、複数の対物レンズを装着可能である。レ
ボルバ１１内には、レボルバ１１の回転角度を検出する
センサが内蔵されている。センサの出力は、制御装置５
０の演算処理部５２に入力される。演算処理部５２は、
内蔵するメモリに、予め複数の対物レンズ取付穴に付さ
れた番地とセンサの出力とを対応させるテーブルを格納
している。また、このテーブルには、対物レンズ取付穴
の番地を、その対物レンズ取付穴に取り付けられている
対物レンズの倍率と結像レンズ１３とその他リレーレン
ズ等の倍率とを掛け合わせた観察倍率Ｍに対応させる情
報も含まれている。演算処理部５２は、センサの出力し
た回転角度から光軸上に配置されている対物レンズ取付
穴の番地を前述のテーブルを参照して特定し、さらに観
察倍率Ｍを求めることができる。

【００１９】演算処理部５２は、内蔵されているメモリ
に格納されているプログラムを読み込んで実行すること
により、図８のフローチャートのように電動ステージ３
０を制御する。まず、演算処理部５２は、リニアエンコ
ーダ１２２，１２３より現在位置（ｘ_０，ｙ_０）を取り
込み（ステップ８１）。つぎに、標本１２０の移動目標
位置（ｘ_ｄ、ｙ_ｄ）の入力を観察者に促す表示をモニタ
４０に表示させ、モニタ４０に表示されている現在の表
示画像上で、観察者からマウス６０のクリック操作によ
り指定した目標位置を受け付ける。また、レボルバ１１
のセンサから受けとった回転角度を、メモリ内のテーブ
ルに参照することにより、観察倍率Ｍを求め、この観察
倍率Ｍとモニタ上の目標位置とにより、モニタ上の移動
目標位置を標本１２０上（電動ステージ３０上）の目標
位置の座標（ｘ_ｄ、ｙ_ｄ）に変換する（ステップ８
２）。つぎに、上記ステップ８１，８２で取り込んだ現
在位置（ｘ_０，ｙ_０）と目標位置（ｘ_ｄ、ｙ_ｄ）とによ
り、ｘ_Ｍ＝（ｘ_ｄ−ｘ_０）、ｙ _Ｍ＝（ｙ_ｄ−ｙ_０）を計
算し、電動ステージ３０の移動量ｘ_Ｍ、ｙ_Ｍを求める
（ステップ８３）。

【００２０】求めた移動量ｘ_Ｍ、ｙ_Ｍに対応するステッ
ピングモータ３１，３２の回転量を、予め求めておいた
ステージ移動量とモータ回転量との比を用いて計算し、
求めた回転量をステッピングモータ３１，３２に出力す
る（ステップ８４）。これにより、ステッピングモータ
３１，３２は、指示された回転量だけ回転し、回転運動
はリードねじ部１２３，１２５内のリードねじによって
直線運動に変換され、ｘステージ１２１およびｙステー
ジ１２６がそれぞれｘ方向ｙ方向に駆動される（図９
（ａ）、（ｂ））。駆動完了後に、演算処理部５２は、
リニアエンコーダ１２２，１２３より再び現在位置（ｘ
_ｚ，ｙ_ｚ）を取り込み（ステップ８６）、移動目標位置
（ｘ_ｄ、ｙ_ｄ）との差（ｘ_ｚ−ｘ_ｄ）、（ｙ_ｚ−ｙ_ｄ）
が予め定めておいた規定値ｘ_ｓ、ｙ_ｓ以下かどうか（ｘ
_ｓ≧（ｘ_ｚ−ｘ_ｄ）、ｙ_ｓ≧（ｙ_ｚ−ｙ_ｄ））を求める
（ステップ８８）。前記差が規定値ｘ_ｓ、ｙ_ｓより大き
ければステップ８３に戻り、再び電動ステージ３０を駆
動してステージを移動させる。一方、前記差が規定値ｘ
_ｓ、ｙ_ｓ以下であれば、つぎのステップ８９に進み、つ
ぎの演算式により、表示画像のシフト量を算出する。た
だし、下記演算式においてＭは、ステップ８２で求めて
おいた観察倍率Ｍである。ＸΔ＝（ｘ_ｄ−ｘ_ｚ）×ＭＹΔ＝（ｙ_ｄ−ｙ_ｚ）×Ｍ演算処理部５２は、画像処理部５１に対し、表示画素範
囲Ｂの領域を定める４つの座標（Ｘ_１，Ｙ_１）（Ｘ_２，
Ｙ_２）（Ｘ_３，Ｙ_３）（Ｘ_４，Ｙ_４）を、ステップ８９
で求めたＸΔ、ＹΔだけシフトさせるように指示する。
これにより、画像処理部５１は、シフト後の表示画素範
囲Ｂとして、図６のように４つの座標（Ｘ_１＋ＸΔ，Ｙ
_１＋ＹΔ）（Ｘ_２＋ＸΔ，Ｙ_２＋ＹΔ）（Ｘ_３＋ＸΔ，
Ｙ_３＋ＹΔ）（Ｘ_４＋ＸΔ，Ｙ_４＋ＹΔ）で囲まれた領
域内の画像をモニタ４０に出力し、表示させる。これに
より、物体面（標本面）上で残った誤差ｘ_ｄ−ｘ_ｚ、ｙ
_ｄ−ｙ_ｚは、像面側で補正され、モニタ４０上には、目
標位置（ｘ_ｄ、ｙ_ｄ）を中心とした画像が映し出され
る。

【００２１】なお、ＣＣＤ２１の表示画素範囲Ｂのシフ
ト可能な範囲は、ＣＣＤ２１の有効画素範囲Ａであるの
で、シフト量ＸΔ、ＹΔには上限がある。そのため、上
述の規定値ｘ_ｓ、ｙ_ｓをシフト量ＸΔ、ＹΔの上限に設
定しておくことにより、現在位置（ｘ_ｚ，ｙ_ｚ）と移動
目標位置（ｘ_ｄ、ｙ_ｄ）との差が表示画素範囲Ｂのシフ
トで対応可能な値ｘ_ｓ、ｙ_ｓ以下である場合には、表示
画素範囲Ｂのシフトで対応し、前記差が値ｘ_ｓ、ｙ_ｓ以
上である場合には、ステップ８８でステップ８３まで戻
り電動ステージ３０をさらに移動させる構成となり、効
率よく移動目標位置（ｘ_ｄ、ｙ_ｄ）を中心とした画像を
表示できる。なお、有効画素範囲ＡのＸＹ方向の幅をＸ
_Ａ、Ｙ_Ａで表し、表示画素範囲ＢのＸＹ方向の幅を
Ｘ_Ｂ、Ｙ_Ｂで表すと、シフト量ＸΔ、ＹΔの上限は以下
のように表される（図５参照）。なお、ＣＣＤ２１のＸ
Ｙ方向は、電動ステージ３０のｘｙ方向に対応してい
る。（ＸΔの上限）＝（Ｘ_Ａ−Ｘ_Ｂ）／２（ＹΔの上限）＝（Ｙ_Ａ−Ｙ_Ｂ）／２よって、規定値ｘ_ｓ、ｙ_ｓを、ｘ_ｓ＝（Ｘ_Ａ−Ｘ_Ｂ）／（２Ｍ）ｙ_ｓ＝（Ｙ_Ａ−Ｙ_Ｂ）／（２Ｍ）に設定して置くことにより、効率よく移動目標位置（ｘ
_ｄ、ｙ_ｄ）を中心とした画像を表示できる。なお、上記
規定値ｘ_ｓ，ｙ_ｓは、電動ステージ３０の移動制御量の
最小単位量として定義してもよい。

【００２２】なお、画像処理部５１がモニタ４０上に画
像を表示させる際に、予め定めた倍率に拡大する電子ズ
ームを併用することも可能である。この場合、上記観察
倍率Ｍには電子ズームの倍率を加味する。また、電子ズ
ームを用いる場合、例えば電子ズーム２倍とすると図７
のように表示画素範囲Ｂは、電子ズーム１倍の場合より
も表示画素範囲Ｂが小さくなり、シフト量ＸΔ、ＹΔを
大きく取ることができる。したがって、電子ズームを用
いる場合は、シフト量ＸΔ、ＹΔを大きくとることがで
きるため、観察像側をシフトさせる本実施の形態の標本
画像の移動方法は非常に有効である。なお、電子ズーム
を用いる場合は、規定値ｘ_ｓ、ｙ_ｓを電子ズームの倍率
毎に用意しておくことが望ましい。

【００２３】（第２の実施の形態）本発明の第２の実施
の形態の顕微鏡システムは、ＣＣＤ２１を図３のような
アクチュエータ１３９に搭載し、ＣＣＤ２１自体をＸＹ
方向にシフトさせ、モニタ４０に表示される画像をＸＹ
方向にシフトさせる構成である。なお、ＣＣＤ２１のＸ
Ｙ方向は、電動ステージ３０のｘｙ方向に対応してい
る。よって、第２の実施の形態では、第１の実施の形態
の図８のフローのステップ９０において、表示画素範囲
Ｂをシフトさせる代わりに、アクチュエータ１３９の駆
動源であるピエゾ素子１３４，１３５を駆動させ、ＣＣ
Ｄ２１自体をＸΔ、ＹΔだけ移動させる。

【００２４】アクチュエータ１３９は、図３のように可
撓性のある板状部材をワイヤカットで加工して形成した
Ｘプレート１３０と、Ｘプレート１３０を２本の板バネ
１３１によって片持ち支持するＹプレート１３３と、Ｙ
プレート１３３を２本板バネ１３２によって片持ち支持
する本体１３６とを有する。ＣＣＤ２１は、Ｘプレート
１３０に搭載されている。板バネ１３１の長手方向はＹ
方向であり、板ばね１３２の長手方向はＸ方向である。
Ｘプレート１３０の側面には、Ｘ方向に伸縮するピエゾ
素子１３４が配置されている。ピエゾ素子１３４はＹプ
レート１３３により支持されている。また、Ｙプレート
１３３の側面には、Ｙ方向に伸縮するピエゾ素子１３５
が配置されている。ピエゾ素子１３５は、本体１３６に
より支持されている。これにより、演算処理部５２の指
示により、ピエゾ素子１３４を伸長させると、Ｘプレー
ト１３０がＸ方向に移動し、ピエゾ素子１３５を伸長さ
せると、Ｙプレート１３３がＸプレート１３０ごとＹ方
向に移動する。これにより、ＣＣＤ２１をＸΔ、ＹΔだ
けシフトさせることができる。

【００２５】第２の実施の形態では、各部の動作は、図
８のステップ８９のＸΔ、ＹΔのシフト量算出までは第
１の実施の形態と同じである。ステップ９０において、
演算処理部５２は、アクチュエータ１３９のピエゾ素子
１３４，１３５を伸長させ、ＣＣＤ２１自体をＸＹ方向
に移動させ、標本１２０（物体面）で残った誤差（ｘ _ｄ
−ｘ_ｚ）、（ｙ_ｄ−ｙ_ｚ）を補正する。これにより、モ
ニタ４０上には観察者が入力した目標位置（ｘ_ｄ、
ｙ_ｄ）を中心とした画像が映し出される。

【００２６】第２の実施の形態の構成では、ＣＣＤ２１
の表示画素範囲Ｂは、有効画素範囲Ａと同じ範囲にする
ことができる。したがって、ＣＣＤ２１の画素すべてを
使用できるので、画質面において有利である。

【００２７】（第３の実施の形態）本発明の第３の実施
の形態の顕微鏡システムは、結像レンズ１３を図４のよ
うなアクチュエータ１４９に搭載し、結像レンズ１３を
ＸＹ方向にシフトさせることにより、ＣＣＤ２１上の結
像される像自体をＸＹ方向にシフトさせる。これによ
り、モニタ４０に表示される画像をＸＹ方向にシフトさ
せる構成である。アクチュエータ１４９の構成は、第２
の実施の形態のアクチュエータ１３９と同じであるので
説明を省略する。

【００２８】よって、第３の実施の形態でも、第２の実
施の形態と同様に、図８のフローのステップ８９までは
第１の実施の形態と同じであるが、ステップ９０におい
て、表示画素範囲Ｂをシフトさせる代わりに、アクチュ
エータ１４９の駆動源であるピエゾ素子１３４，１３５
を駆動させ、結像レンズ１３をＸΔ、ＹΔだけ移動さ
せ、ＣＣＤ２１上の観察像をシフトさせる。これによ
り、モニタ４０上には観察者が入力した目標位置
（ｘ_ｄ、ｙ_ｄ）を中心とした画像が映し出される。

【００２９】（第４の実施の形態）本発明の第４の実施
の形態の顕微鏡システムを図１０，図１１を用いて説明
する。第４の実施の形態の顕微鏡システムは、第１の実
施の形態と同様であるが、結像レンズ１３とＣＣＤ２１
との間の光軸１００上に平行平板１４を配置し、平行平
板１４を傾斜させることにより、ＣＣＤ２１上に結像す
る像の位置をＸＹ方向にシフトさせる構成である。平行
平板１４は枠１４１によって支持された外径が円形の透
明な平行平板ガラスである。枠１４１は、周方向の３カ
所に貫通孔１４５を有し、貫通孔１４５に挿入されたビ
ス１４３により鏡筒１０１に取り付けられている。ビス
１４３には、バネ１４２が挿入されており、バネ１４２
は枠１４１を結像レンズ１３の方向に向かって付勢して
いる。また、鏡筒１０１には、枠１４１の３カ所の貫通
孔１４５の光軸１００寄りの位置にピエゾ素子１４４が
それぞれ配置されている。よって、３カ所のピエゾ素子
１４４を伸長させることにより、枠１４１の３カ所を所
望量だけ押し上げることができるため、平行平板１４を
所望の方向に傾斜させることができる。これにより、Ｃ
ＣＤ２１上に結像する像の位置をＸＹ方向にシフトさせ
ることができる。

【００３０】よって、第４の実施の形態でも、図８のフ
ローのステップ８９までは第１の実施の形態と同じであ
るが、ステップ９０において、像をシフト量ＸΔ、ＹΔ
だけシフトさせるための平行平板１４のＸＹ方向の傾斜
角度を算出し、この傾斜角度を付けるための３カ所のピ
エゾ素子１４４の伸長量を求め、求めた伸長量だけピエ
ゾ素子１４４を伸長させる構成とする。これにより、Ｃ
ＣＤ２１上の観察像をシフト量ＸΔ、ＹΔだけシフトさ
せる。これにより、モニタ４０上には観察者が入力した
目標位置（ｘ_ｄ、ｙ_ｄ）を中心とした画像が表示させる
ことができる。

【００３１】上述の第１〜第４の実施の形態において
は、標本上の所望の座標の像を表示させる際の位置決め
動作を物体面側（ステージ側）のみで行うのではなく、
像面側で補正をかけることにより最終的に位置決めして
いる。これにより、物体面側では微小で難しい位置決め
でも、像面側では拡大倍率がかかって拡大されているの
で比較的簡単に補正をかけることができる。よって、物
体面における位置決めがある程度ラフでも、高い位置決
め精度を確保できるので、結果として高精度かつ迅速な
位置決めを実現できる。特に、第１の実施の形態の構成
では、像面側での補正の際に機械的な可動部分がいっさ
いないので、スピードおよび信頼性を特に効果的に向上
させることができる。

【００３２】なお、上述してきた第１〜第４の実施の形
態においては、顕微鏡システムとして、顕微鏡１０、Ｔ
Ｖカメラ２０、電動ステージ３０をそれぞれ独立した製
品として、制御装置５０に接続した構成を説明したが、
本発明はこの構成に限定されるものではなく、制御装置
５０を顕微鏡１０内に内蔵し、ＴＶカメラ２０、電動ス
テージ３０が顕微鏡１０と一体化した構成の顕微鏡シス
テムも実現可能である。

【００３３】また、第１の実施の形態では、電動ステー
ジ３０の駆動源としてステッピングモータ３１，３２を
用いたが、ＤＣモータを用いることも可能である。この
場合、リニアエンコーダ１２２，１２３で現在位置を検
出しながら移動させるクローズドループ制御とすること
が望ましい。

【００３４】

【発明の効果】本発明の請求項１に記載の顕微鏡システ
ムによれば、物体面側での位置ずれを像面側で補正で
き、しかも、機械的な稼働部がないため、高精度かつ迅
速な位置決めを実現可能な顕微鏡システムが提供でき
る。

【００３５】また、請求項２、３、４、５に記載の顕微
鏡システムによれば、物体面側での位置ずれを像面側で
補正できるため、高精度かつ迅速な位置決めを実現可能
な顕微鏡システムが提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムの
全体構成を示す説明図。

【図２】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムの
ＣＣＤ２１付近の構成を示す切り欠き断面図。

【図３】本発明の第３の実施の形態の顕微鏡システムの
ＣＣＤ２１を搭載するアクチュエータ１３９の構成を示
す上面図。

【図４】本発明の第４の実施の形態の顕微鏡システムの
結像レンズ１３を搭載するアクチュエータ１４９の構成
を示す上面図。

【図５】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムの
ＣＣＤ２１の有効画素範囲Ａと表示画素範囲Ｂの位置関
係を示す説明図。

【図６】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムの
ＣＣＤ２１の有効画素範囲Ａと表示画素範囲Ｂのシフト
後の位置関係を示す説明図。

【図７】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムの
電子ズームを用いる場合の、ＣＣＤ２１の有効画素範囲
Ａと表示画素範囲Ｂの位置関係を示す説明図。

【図８】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムの
表示像を移動させる場合の演算処理部の動作を示すフロ
ーチャート。

【図９】本発明の第１の実施の形態の顕微鏡システムの
電動ステージ３０の（ａ）移動前の構成を示すための説
明図、（ｂ）移動後の構成を示す示す説明図。

【図１０】本発明の第４の実施の形態の顕微鏡システム
の鏡筒１０１に配置された平行平板１４を示す切り欠き
断面図。

【図１１】図１０の平行平板１４を傾斜させる機構を示
す断面図。

【符号の説明】

１０…顕微鏡、１１…レボルバ、１２…対物レンズ、１
３…結像レンズ、１４…平行平板、２０…ＴＶカメラ、
２１…ＣＣＤ、３０…電動ステージ、３１，３２…ステ
ッピングモータ、４０…モニタ、５０…制御装置、５１
…画像処理部、５２…演算処理部、６０…マウス。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】標本をｘｙ方向に移動させるステージと、
前記ステージの移動後の位置を検出する検出部と、観察
者から前記ステージの移動目標位置の入力を受け付ける
受付部と、前記標本の拡大像を結像する結像光束を形成
する光学系と、前記拡大像を撮像する撮像部と、シフト
手段とを有し、前記シフト手段は、前記検出部の検出した位置と前記受
付部が受け付けた移動目標位置とが不一致の場合、前記
結像光束と前記撮像部との位置関係を相対的にシフトさ
せることを特徴とする顕微鏡システム。
【請求項２】請求項１に記載の顕微鏡システムにおい
て、前記撮像部は、有効画素範囲および該有効画素範囲
内に含まれる表示に使われる表示画素範囲を有し、前記
シフト手段は、前記結像光束に対して、前記撮像部の前
記表示画素範囲をｘｙ方向にシフトさせる手段であるこ
とを特徴とする顕微鏡システム。
【請求項３】請求項１に記載の顕微鏡システムにおい
て、前記光学系は、結像レンズを含み、前記シフト手段
は、前記結像レンズをｘｙ方向にシフトさせる手段であ
ることを特徴とする顕微鏡システム。
【請求項４】請求項１に記載の顕微鏡システムにおい
て、前記光学系は、結像レンズと、該結像レンズと撮像
部との間に配置された透明な平行平板とを含み、前記シ
フト手段は、前記平行平板を前記結像レンズの光軸に対
して傾斜させる手段であることを特徴とする顕微鏡シス
テム。