JP2013142585A - X線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】X線検査装置は、X線を用いて基板1を撮像するX線撮像部と、水平面内における基板1の第1方向(X方向)の端部1cおよび端部1dの各々よりも外側(撮像領域の外側)に配置され、基板1がX線撮像部により撮像される際に、水平面と直交する上下方向(Z方向)に昇降して基板1を支持するように構成された昇降機構部66aおよび66bを含む一対のバックアップ支持機構部60とを備える。
【選択図】図7
Description
図1〜図12を参照して、本発明の第1実施形態によるX線検査装置100の構造について説明する。
次に、図2、図7および図13〜図15を参照して、第2実施形態について説明する。第2実施形態では、X方向に互いに対向する昇降機構部66aおよび66bを繋ぐ1つの支持部材267を装着してバックアップ支持機構部260を構成する例について説明する。なお、図中において、上記第1実施形態と同様の構成には、第1実施形態と同じ符号を付して図示している。なお、支持部材267は、本発明の「第2支持部材」の一例である。
1a 端部(第2方向の一方端部)
1b 端部(第2方向の他方端部)
1c 端部(第1方向の端部)
1d 端部(第1方向の端部)
20 搬送機構部(搬送部)
22a 可動部(固定部、第1固定部、第2固定部)
22b クランプ部(固定部、第1固定部、第2固定部)
30 X線源
40 X線撮像部
60、260 バックアップ支持機構部
66a、66b 昇降機構部
67 支持部材(第1支持部材)
100、200 X線検査装置
267 支持部材(第2支持部材)
Claims (12)
- X線を用いて検査対象物を撮像するX線撮像部と、
水平面内における前記検査対象物の第1方向の端部近傍または前記端部よりも外側に配置され、前記検査対象物が前記X線撮像部により撮像される際に、水平面と直交する上下方向に昇降して前記検査対象物を支持するように構成された昇降機構部を含むバックアップ支持機構部とを備える、X線検査装置。 - 前記検査対象物にX線を照射するX線源と、
前記検査対象物を搬送して前記X線源と前記X線撮像部との間に配置する搬送部とをさらに備え、
前記バックアップ支持機構部の前記昇降機構部は、前記搬送部に設けられている、請求項1に記載のX線検査装置。 - 前記搬送部は、水平面内において前記第1方向と交差する前記検査対象物の第2方向の端部を固定する固定部をさらに含み、
前記検査対象物が前記固定部に固定された状態で前記X線撮像部により撮像される際に、前記昇降機構部を含む前記バックアップ支持機構部は、前記搬送部に対して上下方向に昇降して前記検査対象物を支持するように構成されている、請求項2に記載のX線検査装置。 - 前記固定部は、前記検査対象物の前記第2方向の両端部を固定するように構成されており、
前記昇降機構部を含む前記バックアップ支持機構部は、上下方向に昇降して前記検査対象物の前記第2方向の中央部近傍を支持するように構成されている、請求項3に記載のX線検査装置。 - 前記固定部は、前記検査対象物の前記第2方向の一方端部を固定する第1固定部および他方端部を固定する第2固定部を含み、
前記第1固定部および前記第2固定部が前記搬送部の前記第2方向の中央線を基準として前記第2方向に沿って互いに略同じ間隔で接近または離間することにより、前記検査対象物の前記第2方向の端部に対応した位置で前記検査対象物の前記一方端部および前記他方端部が固定されるように構成されており、
前記バックアップ支持機構部は、前記搬送部の、前記第2方向の中央線上に対応する位置に配置されている、請求項4に記載のX線検査装置。 - 前記バックアップ支持機構部は、前記昇降機構部に装着され、前記昇降機構部とともに前記搬送部に対して上下方向に昇降して前記検査対象物を支持可能に構成された支持部材をさらに含む、請求項2〜5のいずれか1項に記載のX線検査装置。
- 前記支持部材は、前記昇降機構部とともに上下方向に昇降して前記検査対象物の前記第1方向の端部近傍を支持可能に構成された第1支持部材を有する、請求項6に記載のX線検査装置。
- 前記第1支持部材は、前記検査対象物の前記第1方向の長さに応じて伸縮可能なように構成されている、請求項7に記載のX線検査装置。
- 前記バックアップ支持機構部の前記昇降機構部は、前記搬送部の前記第1方向の一方側に設けられた第1昇降機構部および他方側に設けられた第2昇降機構部を有し、
前記第1支持部材は、前記第1昇降機構部および前記第2昇降機構部にそれぞれ装着されており、
前記第1昇降機構部および前記第2昇降機構部が上下方向に昇降することにより、前記第1支持部材は、前記検査対象物の前記第1方向の両端部近傍を支持するように構成されている、請求項7または8に記載のX線検査装置。 - 前記バックアップ支持機構部の前記昇降機構部は、前記搬送部の前記第1方向の一方側に設けられた第1昇降機構部および他方側に設けられた第2昇降機構部を有し、
前記支持部材は、X線透過性の良好な材料を含み、前記第1昇降機構部および前記第2昇降機構部を繋ぐように装着された第2支持部材を有し、
前記第1昇降機構部および前記第2昇降機構部が上下方向に昇降することにより、前記第2支持部材は、前記検査対象物を前記第1方向に沿って支持するように構成されている、請求項6に記載のX線検査装置。 - 前記第1昇降機構部および前記第2昇降機構部は、互いに同期して上下方向に昇降するように構成されている、請求項10に記載のX線検査装置。
- 前記搬送部は、前記検査対象物が前記固定部に固定された状態で水平面内を移動可能に構成されており、
前記検査対象物が前記X線撮像部により撮像される際に加えて、前記検査対象物が前記固定部に固定された状態で水平面内を移動される際に、前記昇降機構部を含む前記バックアップ支持機構部は上下方向に昇降して前記検査対象物を支持するように構成されている、請求項3〜11のいずれか1項に記載のX線検査装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012002364A JP6018755B2 (ja) | 2012-01-10 | 2012-01-10 | X線検査装置 |
EP12005763.3A EP2615447B1 (en) | 2012-01-10 | 2012-08-08 | X-ray inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012002364A JP6018755B2 (ja) | 2012-01-10 | 2012-01-10 | X線検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013142585A true JP2013142585A (ja) | 2013-07-22 |
JP6018755B2 JP6018755B2 (ja) | 2016-11-02 |
Family
ID=47177702
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012002364A Active JP6018755B2 (ja) | 2012-01-10 | 2012-01-10 | X線検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP2615447B1 (ja) |
JP (1) | JP6018755B2 (ja) |
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- 2012-01-10 JP JP2012002364A patent/JP6018755B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
EP2615447A1 (en) | 2013-07-17 |
JP6018755B2 (ja) | 2016-11-02 |
EP2615447B1 (en) | 2021-01-20 |
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