JP2013142585A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】Ｘ線検査の妨げとなる構成部品などを極力排除しつつ、Ｘ線撮像画像を正確に取得することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、Ｘ線を用いて基板１を撮像するＸ線撮像部と、水平面内における基板１の第１方向（Ｘ方向）の端部１ｃおよび端部１ｄの各々よりも外側（撮像領域の外側）に配置され、基板１がＸ線撮像部により撮像される際に、水平面と直交する上下方向（Ｚ方向）に昇降して基板１を支持するように構成された昇降機構部６６ａおよび６６ｂを含む一対のバックアップ支持機構部６０とを備える。
【選択図】図７

Description

本発明は、Ｘ線撮像部を備えたＸ線検査装置に関する。

従来、Ｘ線撮像部を備えたＸ線検査装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、装置本体内に搬入されたプリント基板を水平面内で移動可能に保持するテーブル機構部と、このテーブル機構部を境として上下方向に互いに対向して配置されたＸ線管球およびＸ線検出部とを備えたＸ線検査装置が開示されている。このＸ線検査装置では、テーブル機構部は、開口部を有して枠体状に形成されており、Ｘ線は、テーブル機構部の開口部を介してＸ線管球からＸ線検出部に向けて照射されるように構成されている。したがって、開口部上に配置されたプリント基板にＸ線が照射されることにより、実装部品の半田付け状態が検査されるように構成されている。なお、Ｘ線の照射領域に含まれるプリント基板とＸ線検出部との間には撮像時の妨げとなるような部材や機構部は配置されていない。また、プリント基板がＸ線管球とＸ線検出部との間に配置された際、プリント基板は、搬送方向と直交する基板の幅方向の両端部において、テーブル機構部が有するクランプ板により固定されるように構成されている。

特開２００３−３１５２８８号公報

しかしながら、上記特許文献１では、開口部上に配置されるプリント基板は、Ｘ線検出部との間に空間を確保するために幅方向の両端部においてテーブル機構部に固定されたとしても、プリント基板は、部品が実装された自重に起因して基板の中央部が鉛直下向きに撓む虞があると考えられる。また、プリント基板の撓み変形は、基板サイズの増加とともに顕著となる。このため、撓み変形を起こしたプリント基板に対してＸ線検査を行った場合、検査面に対する実際の基板表面の高さ位置が場所によって異なるので、検査面に沿ったＸ線撮像画像（検査結果）を正確に取得することができないという問題点がある。また、Ｘ線検査中にテーブル機構部を移動させてプリント基板内の撮像領域を切り換える際、プリント基板が撓んだ状態で移動された場合にはプリント基板が波打ちながら振動する虞がある。Ｘ線撮像中にこのような状況が繰り返し発生することも、正確な検査結果を得るためには好ましくない。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、Ｘ線検査の妨げとなる構成部品などを極力排除しつつ、Ｘ線撮像画像を正確に取得することが可能なＸ線検査装置を提供することである。

上記目的を達成するために、この発明の一の局面におけるＸ線検査装置は、Ｘ線を用いて検査対象物を撮像するＸ線撮像部と、水平面内における検査対象物の第１方向の端部近傍または端部よりも外側に配置され、検査対象物がＸ線撮像部により撮像される際に、水平面と直交する上下方向に昇降して検査対象物を支持するように構成された昇降機構部を含むバックアップ支持機構部とを備える。

この発明の一の局面によるＸ線検査装置では、上記のように、水平面内における検査対象物の第１方向の端部近傍または端部よりも外側に配置され、検査対象物がＸ線撮像部により撮像される際に上下方向に昇降して検査対象物を支持するように構成された昇降機構部を含むバックアップ支持機構部を備えることによって、昇降機構部を含むバックアップ支持機構部によって検査対象物を補助的に支持した状態でＸ線撮像を行うことができる。すなわち、昇降機構部を含むバックアップ支持機構部が上昇して検査対象物を補助的に支持することにより、検査対象物が自重に起因して水平面に対して撓み変形を起こすことを抑制することができる。そして、この状態で検査対象物のＸ線撮像を行うことができるので、検査面（水平面）に沿ったＸ線撮像画像を正確に取得することができる。また、昇降機構部は、検査対象物の端部近傍かまたは検査対象物の端部よりも外側に配置されるので、昇降機構部がＸ線撮像画像に写り込むことを容易に抑制することができる。

上記一の局面によるＸ線検査装置において、好ましくは、検査対象物にＸ線を照射するＸ線源と、検査対象物を搬送してＸ線源とＸ線撮像部との間に配置する搬送部とをさらに備え、バックアップ支持機構部の昇降機構部は、搬送部に設けられている。このように構成すれば、バックアップ支持機構部における昇降機構部を、搬送部内の検査対象物の第１方向の端部近傍または端部よりも外側に容易に配置することができる。したがって、搬送部に設けられた昇降機構部を使用して検査対象物を容易に支持することができる。

上記搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、搬送部は、水平面内において第１方向と交差する検査対象物の第２方向の端部を固定する固定部をさらに含み、検査対象物が固定部に固定された状態でＸ線撮像部により撮像される際に、昇降機構部を含むバックアップ支持機構部は、搬送部に対して上下方向に昇降して検査対象物を支持するように構成されている。このように構成すれば、固定部により検査対象物の第２方向の端部が固定されることに加えて、昇降機構部を含むバックアップ支持機構部によって検査対象物を補助的に支持した状態でＸ線撮像を行うことができる。すなわち、Ｘ線撮像時に検査対象物の固定部に固定されない部分（領域）の撓み変形を抑制することができるので、検査面に沿ったＸ線撮像画像をより正確に取得することができる。

上記搬送部が固定部をさらに含む構成において、好ましくは、固定部は、検査対象物の第２方向の両端部を固定するように構成されており、昇降機構部を含むバックアップ支持機構部は、搬送部に対して上下方向に昇降することにより、検査対象物の第２方向の中央部近傍を支持するように構成されている。このように構成すれば、Ｘ線撮像の際に、第２方向の両端部が固定された検査対象物の第２方向の中央部近傍がバックアップ支持機構部によって補助的に支持されるので、検査対象物の撓み変形を効果的に抑制することができる。

この場合、好ましくは、固定部は、検査対象物の第２方向の一方端部を固定する第１固定部および他方端部を固定する第２固定部を含み、第１固定部および第２固定部が搬送部の第２方向の中央線を基準として第２方向に沿って互いに略同じ間隔で接近または離間することにより、検査対象物の第２方向の端部に対応した位置で検査対象物の一方端部および他方端部が固定されるように構成されており、バックアップ支持機構部の昇降機構部は、搬送部の、第２方向の中央線上に対応する位置に配置されている。このように、検査対象物が第２方向の長さ（幅）に関係なく常に搬送部の第２方向の中央線上に検査対象物の中央部を配置した状態で固定部に固定される搬送部において、バックアップ支持機構部の昇降機構部が搬送部の第２方向の中央線上に対応する位置に配置されているので、昇降機構部を含むバックアップ支持機構部により検査対象物の第２方向の中央部近傍を確実に支持することができる。

上記Ｘ線源および搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、バックアップ支持機構部は、昇降機構部に装着され、昇降機構部とともに搬送部に対して上下方向に昇降して検査対象物を支持可能に構成された支持部材をさらに含む。このように構成すれば、昇降機構部に装着される支持部材を有効に活用して、多様な形状および大きさを有する検査対象物を容易に支持することができる。

上記バックアップ支持機構部が支持部材をさらに含む構成において、好ましくは、支持部材は、昇降機構部とともに上下方向に昇降して検査対象物の第１方向の端部近傍を支持可能に構成された第１支持部材を有する。このように構成すれば、昇降機構部に装着される第１支持部材を有効に利用して、検査対象物の第１方向の端部近傍を容易に支持することができる。また、第１支持部材により検査対象物の第１方向の端部近傍が支持されるので、昇降機構部がＸ線撮像画像に写り込むことを容易に抑制することができる。

上記支持部材が第１支持部材を有する構成において、好ましくは、第１支持部材は、検査対象物の第１方向の長さに応じて伸縮可能なように構成されている。このように構成すれば、バックアップ支持機構部における昇降機構部と検査対象物の第１方向の端部とがある程度離間している場合においても、昇降機構部側から延ばされた第１支持部材を使用して検査対象物の第１方向の端部近傍を確実に支持することができる。

上記支持部材が第１支持部材を有する構成において、好ましくは、バックアップ支持機構部の昇降機構部は、搬送部の第１方向の一方側に設けられた第１昇降機構部および他方側に設けられた第２昇降機構部を有し、第１支持部材は、第１昇降機構部および第２昇降機構部にそれぞれ装着されており、第１昇降機構部および第２昇降機構部が上下方向に昇降することにより、第１支持部材は、検査対象物の第１方向の両端部近傍を支持するように構成されている。このように構成すれば、第１支持部材を使用して検査対象物の第１方向の両側において検査対象物の第１方向の端部近傍を支持することができるので、検査対象物全体に亘って撓み変形などを抑制することができる。

上記バックアップ支持機構部が支持部材をさらに含む構成において、好ましくは、バックアップ支持機構部の昇降機構部は、搬送部の第１方向の一方側に設けられた第１昇降機構部および他方側に設けられた第２昇降機構部を有し、支持部材は、Ｘ線透過性の良好な材料を含み、第１昇降機構部および第２昇降機構部を繋ぐように装着された第２支持部材を有し、第１昇降機構部および第２昇降機構部が上下方向に昇降することにより、第２支持部材は、検査対象物を第１方向に沿って支持するように構成されている。このように構成すれば、第１昇降機構部および第２昇降機構部を繋ぐように装着された第２支持部材を有効に利用して、検査対象物を第１方向に沿って容易に支持することができる。この際、第２支持部材はＸ線透過性の良好な材料を含んでいるので、第２支持部材が検査対象物の撮像領域を第１方向に横切ったとしても、第２支持部材がＸ線撮像画像に写り込んだ場合の影響を軽微に抑えることができる。

この場合、好ましくは、第１昇降機構部および第２昇降機構部は、互いに同期して上下方向に昇降するように構成されている。このように構成すれば、昇降機構部が昇降する際に、第１昇降機構部および第２昇降機構部を繋ぐ第２支持部材の高さ位置が第１方向に沿って略変化しないので、第２支持部材の高さ位置を水平面にほぼ揃えた状態で昇降させることができる。これにより、検査対象物を第１方向に沿って一様に支持することができるので、検査対象物を水平面内で安定して支持することができる。

上記Ｘ線源および搬送部をさらに備える構成において、好ましくは、搬送部は、検査対象物が固定部に固定された状態で水平面内を移動可能に構成されており、検査対象物がＸ線撮像部により撮像される際に加えて、検査対象物が固定部に固定された状態で水平面内を移動される際に、昇降機構部を含むバックアップ支持機構部は上下方向に昇降して検査対象物を支持するように構成されている。このように構成すれば、検査対象物の搬送中においても固定部が検査対象物を固定した状態で昇降機構部を含むバックアップ支持機構部が検査対象物を補助的に支持することができるので、検査対象物に生ずる撓み変形が抑制された状態を維持することができる。

本発明によれば、上記のように、昇降機構部を含むバックアップ支持機構部によって検査対象物を補助的に支持した状態でＸ線撮像を行うことができるので、検査面（水平面）に沿ったＸ線撮像画像を正確に取得することができる。また、昇降機構部は、検査対象物の端部近傍かまたは検査対象物の端部近傍よりも外側に配置されるので、昇降機構部がＸ線撮像画像に写り込むことを容易に抑制することができる。

本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置の外観を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置の内部構造を装置本体の前面部側から見た断面図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置の内部構造を装置本体の側面部側から見た断面図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置から外装カバーおよび遮蔽壁を取り外した状態での装置本体を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置から外装カバーを取り外した状態での装置本体を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置における搬送機構部の構成を示した斜視図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置における搬送機構部の構成を示した上面図である。 本発明の第１実施形態による搬送機構部に設けられた昇降機構部の構造を説明するための拡大斜視図である。 本発明の第１実施形態による搬送機構部に設けられた昇降機構部の構造を説明するための拡大斜視図である。 本発明の第１実施形態による昇降機構部に対する支持部材の取付構造を説明するための斜視分解図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置において基板のＸ線撮像が行われる際に、バックアップ支持機構部が基板を支持する様子を説明するための図である。 本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置が組み込まれた回路基板製造ラインを示した図である。 本発明の第２実施形態によるＸ線検査装置における搬送機構部の構成を示した斜視図である。 本発明の第２実施形態による昇降機構部に対する支持部材の取付構造を説明するための斜視図である。 本発明の第２実施形態によるＸ線検査装置において基板のＸ線撮像が行われる際に、バックアップ支持機構部が基板を支持する様子を説明するための図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

（第１実施形態）
図１〜図１２を参照して、本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置１００の構造について説明する。

本発明の第１実施形態によるＸ線検査装置１００は、図１および図２に示すように、回路基板としての基板１（図２参照）上に実装された電子部品（図示せず）の半田接合状態検査を含む各種検査を行うための検査装置である。なお、基板１は、本発明の「検査対象物」の一例である。

Ｘ線検査装置１００は、図２に示すように、基台１０と、搬送機構部２０と、Ｘ線源３０と、Ｘ線撮像部４０と、Ｘ線を遮蔽する遮蔽壁５０と、装置本体を覆う外装カバー７０と、基台１０の内部に設置された制御ユニット８０ａおよび電源ユニット８０ｂと、装置本体内の可動部を駆動するための圧縮空気源８０ｃと、一組のシャッター機構部９５とを備えている。なお、ここで述べる装置本体とは、図５に示されるように、Ｘ線検査装置１００から外装カバー７０（図１参照）を取り除いた残りの構造物のことを示している。なお、搬送機構部２０は、本発明の「搬送部」の一例である。

基台１０は、重量物であり、装置本体を水平な床面６０１上に安定的に設置する役割を有している。また、基台１０には、上面１０ａ（Ｚ１側）上に設けられ、基板搬送方向（Ｘ方向）の両端部に配置された一対の支持台１１が取り付けられている。各々の支持台１１は、図４に示すように、互いに略平行に配置された状態で、上面１０ａ（図２参照）上をＸ方向と略直交するＹ方向に延びている。ここで、Ｘ方向（基板搬送方向）は、Ｘ線検査装置１００における左右方向であり、Ｙ方向は、Ｘ線検査装置１００における前後方向である。なお、Ｘ方向およびＹ方向は、それぞれ、本発明の「第１方向」および「第２方向」の一例である。

Ｘ線検査装置１００は、電子部品が実装される回路基板を製造する回路基板製造ライン５００（図１２参照）を構成する処理装置群の一部として使用されるように構成されている。この場合、Ｘ線検査装置１００は、Ｘ１側（側面部１００ｃ）およびＸ２側（側面部１００ｄ）が他の処理装置または搬送ラインに接続される。また、オペレータは、通常、Ｘ線検査装置１００のＹ１側（前面部１００ａ）またはＹ２側（後面部１００ｂ）から装置本体にアクセスするように構成されている。したがって、図１に示すように、前面部１００ａ側には、入力装置や非常停止ボタンなどの操作機器類９０と、装置本体内部へのアクセス用の開閉扉１５とが設けられている。また、後面部１００ｂ側にもスライド式の開閉扉１６が設けられている。

また、図２〜図４に示すように、一対の支持台１１上には、Ｘ線源３０を支持する支持梁３１と、遮蔽壁５０（図２参照）および外装カバー７０（図２参照）をそれぞれ取り付けるためのフレーム構造体１２とが設置されている。フレーム構造体１２は、断面が角型の複数の中空パイプ１３が縦横に組み合わされて構成されている。

搬送機構部２０は、装置本体内に搬入された検査前の基板１をＸ線源３０とＸ線撮像部４０との間の撮像領域に保持する役割を有している。また、搬送機構部２０は、Ｘ線撮像時に基板１を撮像領域中に保持するのみならず、上流側の搬送ライン５０１ａ（図１２参照）から基板１を受け継ぐ搬入機能と、検査済みの基板１を下流側の搬送ライン５０１ｂ（図１２参照）へ受け渡す搬出機能とを有している。以下に、搬送機構部２０の構成を詳しく説明する。

搬送機構部２０は、図６および図７に示すように、上下方向（Ｚ方向）に貫通する略矩形状の開口部２１ｓを有して枠状に形成されたベース部２１と、ベース部２１上に設けられ、各々が基板搬送方向（Ｘ方向）に略平行に延びる一対のコンベア部２２とを含んでいる。各々のコンベア部２２は、基板１をＸ１（Ｘ２）方向に搬送可能な可動部２２ａと、可動部２２ａのＸ方向に沿った中央領域に配置され、ベース部２１とのＺ方向の距離（高さ）が略一定に保たれたクランプ部２２ｂとを有している。なお、可動部２２ａおよびクランプ部２２ｂにより、本発明の「固定部」が構成されている。また、Ｙ１側の可動部２２ａおよびクランプ部２２ｂは、本発明の「第１固定部」の一例であり、Ｙ２側の可動部２２ａおよびクランプ部２２ｂは、本発明の「第２固定部」の一例である。

また、図７に示すように、各々のコンベア部２２には、基板１を載置して搬送するための搬送ベルト２２ｃが設けられている。搬送ベルト２２ｃは、駆動プーリ２２ｄ（原動側）および他の補助的なプーリ部材（従動側）を介して可動部２２ａ内を循環するように構成されている。また、駆動プーリ２２ｄは、ベース部２１の辺部２１ａよりも外側（Ｘ２側）の可動部２２ａの部分に各々配置されており、この一対の駆動プーリ２２ｄには、同期シャフト２２ｅが取り付けられている。なお、駆動プーリ２２ｄは、同期シャフト２２ｅにより回転駆動される状態を維持しつつ、同期シャフト２２ｅの外周面を可動部２２ａと一体となって軸方向（Ｙ方向）にスライド移動されるようにも構成されている。また、ベース部２１のＸ２側かつＹ１側の隅部近傍にはブラケット部材を介してモータ２２ｆが取り付けられており、モータ２２ｆの回転軸は、同期シャフト２２ｅに接続されている。また、ベース部２１のモータ２２ｆとは反対側（Ｙ２側）には、ブラケット部材を介して軸受部材２２ｇが取り付けられており、同期シャフト２２ｅのＹ２側の端部はこの位置で回転可能に支持されている。したがって、一対のコンベア部２２においては、モータ２２ｆの回転が同期シャフト２２ｅを介して一対の駆動プーリ２２ｄに伝達され、回転速度の同期がとられた各駆動プーリ２２ｄを介して搬送ベルト２２ｃが略同じ速度で駆動される。これにより、搬送ベルト２２ｃ上の基板１は、Ｙ１側の端部１ａとＹ２側の端部１ｂとの移動速度が異なることなくコンベア部２２内をＸ方向に沿って搬送されるように構成されている。

また、圧縮空気源８０ｃ（図２参照）からの圧縮空気の供給が制御ユニット８０ａ（図２参照）により制御されることにより、可動部２２ａは、ベース部２１の上面とクランプ部２２ｂの下面との間を上下方向（Ｚ方向）に昇降されるように構成されている。したがって、Ｘ線検査装置１００では、Ｘ線撮像時に、可動部２２ａ内の搬送ベルト２２ｃによって基板１がクランプ部２２ｂの真下まで搬送されて停止された状態（図７参照）で、可動部２２ａが基板１とともに所定距離だけＺ１方向（図７における紙面手前方向）に上昇することにより、可動部２２ａとクランプ部２２ｂとによって基板１を挟み込んでコンベア部２２に保持するように構成されている。この場合、Ｙ１側の端部１ａ近傍がＹ１側のコンベア部２２によって固定されるとともに、Ｙ２側の端部１ｂ近傍がＹ２側のコンベア部２２によって固定される。なお、Ｚ方向は、本発明の「上下方向」の一例である。また、端部１ａおよび１ｂは、それぞれ、本発明の「第２方向の一方端部」および「第２方向の他方端部」の一例である。

また、図６および図７に示すように、ベース部２１のＸ１側かつＹ２側の隅部には、ブラケット部材を介してモータ２３ａが取り付けられるとともに、ベース部２１のＹ２側の端部に沿って、モータ２３ａの駆動力を伝達するための駆動伝達部２３ｂが設けられている。駆動伝達部２３ｂは、一対の駆動プーリ２３ｃ（図７参照）を含む複数のプーリ部材と、このプーリ部材を介して回される駆動ベルト２３ｄとを有している。また、一対の駆動プーリ２３ｃは、各々がベース部２１の辺部２１ａおよび２１ｂよりも外側（Ｘ２側およびＸ１側）の駆動伝達部２３ｂの部分に配置されており、各駆動プーリ２３ｃには、Ｙ方向に延びるボールねじ軸２３ｄが取り付けられている。ここで、図６に示すように、コンベア部２２においては、２本の平行なボールねじ軸２３ｄがＸ２側およびＸ１側において可動部２２ａをＹ方向に貫通する位置に、各々ナット部材２２ｈ（合計４個）が組み込まれている。そして、ボールねじ軸２３ｄのねじ溝部が、各々のナット部材２２ｈに螺合している。なお、ボールねじ軸２３ｄは、Ｙ方向の中央部を境にしてＹ１側の領域とＹ２側の領域とで互いに逆回りのねじ溝が形成されている。また、ベース部２１の辺部２１ａおよび辺部２１ｂには、それぞれ、Ｙ方向に延びるレール部材２３ｅが取り付けられており、ナット部材２２ｈを含む一対の可動部２２ａは、２つのレール部材２３ｅ上をＹ方向に沿ってスライド移動可能に取り付けられている。

したがって、第１実施形態では、駆動伝達部２３ｂがベース部２１に固定された状態で、ボールねじ軸２３ｄにナット部材２２ｈが螺合された一対のコンベア部２２は、駆動伝達部２３ｂを介したモータ２３ａによるボールねじ軸２３ｄの回転とともにベース部２１のＹ方向の中央線７００（１点鎖線）を基準としてＹ方向に沿って互いに略同じ間隔で接近または離間するように構成されている。つまり、搬送機構部２０では、基板１の幅（Ｙ方向の長さ）に合わせてコンベア部２２間のＹ方向の間隔が調整されるので、基板１のサイズ（Ｙ方向の幅）に対応した位置で端部１ａ（Ｙ１側）および端部１ｂ（Ｙ２側）が各々の側のコンベア部２２に固定されるように構成されている。この場合、ボールねじ軸２３ｄのねじ溝ピッチがＹ１側の領域とＹ２側の領域とで同じとされているので、中央線７００上に基板１のＹ方向の中央部（中心線）が揃えられた状態で、両側のコンベア部２２が同じ移動量だけ互いに反対方向にスライド移動される。これにより、所定の範囲内でどのような幅（Ｙ方向の長さ）を有する基板１に対しても、コンベア部２２の間隔を適合させて搬送し固定することが可能とされている。

また、第１実施形態では、図６に示すように、ベース部２１のＹ方向に延びる辺部２１ａ（Ｘ２側）および辺部２１ｂ（Ｘ１側）に、それぞれ、バックアップ支持機構部６０が設けられている。なお、図６、図７および図１０に示すように、一対のバックアップ支持機構部６０は、ベース部２１に対する取付位置（取付方向）がＸ方向に見て互いに反対である点を除いて同じ構造を有した機能部品である。したがって、以降では、辺部２１ａ側（Ｘ２側）に設けられたバックアップ支持機構部６０の構造について主に説明する。

バックアップ支持機構部６０は、図８および図９に示すように、上側部材６１と、下側部材６２と、互いに平行な３本のシャフト部材６３とを有する昇降部６４と、圧縮空気源８０ｃ（図２参照）からの圧縮空気により上下方向に駆動されるロッド６５ａを有するエアシリンダ６５とからなる昇降機構部６６ａを含んでいる。なお、図８および図９では、後述する支持部材６７（図６参照）をバックアップ支持機構部６０から取り外した状態で昇降機構部６６ａの単体構造を図示している。なお、昇降機構部６６ａは、本発明の「第１昇降機構部」の一例である。

ここで、ベース部２１には、辺部２１ａを上下方向（Ｚ方向）に貫通する３つの貫通孔の各々にブッシュ部材２９が取り付けられており、各々のシャフト部材６３が対応する貫通孔にスライド移動可能に挿入されている。そして、シャフト部材６３の上側（Ｚ１側）の端部が上側部材６１に固定されるとともに、辺部２１ａを貫通するシャフト部材６３の下側（Ｚ２側）の端部が下側部材６２に固定されている。また、エアシリンダ６５は、辺部２１ａのＸ２側の厚み方向に沿った外側面部２１ｅに固定されている。そして、ロッド６５ａのＺ１側の先端部６５ｂが、上側部材６１の端部近傍に取り付けられている。したがって、バックアップ支持機構部６０の昇降機構部６６ａは、エアシリンダ６５により上下方向に駆動されるロッド６５ａの動きとともに昇降部６４がベース部２１に対して上下方向に昇降するように構成されている。なお、図８は、昇降部６４が完全に下降された状態を示しており、図９は、昇降部６４が完全に上昇された状態を示している。また、図７に示すように、昇降機構部６６ａの昇降部６４は、ベース部２１の辺部２１ａのＹ方向の中央線７００上に対応する位置Ｐに配置されている。

また、第１実施形態では、図６および図７に示すように、昇降機構部６６ａの昇降部６４には、先端が丸められたピン６８（２本）を有する支持部材６７が取り付けられている。より詳細には、図１０に示すように、支持部材６７は、上側部材６１と下側部材６２との間に挟まれるようにして昇降部６４にネジ部材２（合計６本）を用いて着脱可能に装着されている。この場合、まず、支持部材６７の本体部６７ａのＹ方向かつＺ２方向の両端部にそれぞれ取付部材６９がネジ部材３（合計４本）を用いて取り付けられている。そして、この状態で、取付部材６９が下側部材６２の上面にネジ部材２（合計４本）を用いて固定されるとともに、本体部６７ａの上面部６７ｃが、別なネジ部材２（合計２本）を用いて上側部材６１の下面に固定されるように構成されている。なお、図１０では、図８に示したベース部２１の図示を省略している。なお、支持部材６７は、本発明の「第１支持部材」の一例である。

また、支持部材６７は、図７に示すように、ベース部２１の辺部２１ａよりも内側（開口部２１ｓ内）に突出した位置に対応する昇降部６４の先端部（Ｘ１側）に装着されている。これにより、支持部材６７は、昇降部６４の上下方向の昇降動作とともに開口部２１ｓ内のＸ２側の縁部近傍において上下方向に昇降されるように構成されている。

また、第１実施形態では、支持部材６７は、図１０に示すように、昇降部６４に固定される本体部６７ａのＸ１側の先端部からさらにＸ１方向に延長可能な延長部６７ｂを有している。そして、延長部６７ｂのＸ１側の先端部にはピン６８（２本）がＺ１方向に向けて立てられている。また、２本のピン６８は、Ｙ方向に沿って隣接するように配置されている。ここで、本体部６７ａおよび延長部６７ｂは板金部材の折り曲げ加工によってＹ方向の断面が溝形状を有しており、延長部６７ｂが本体部６７ａに対して下方（Ｚ２側）から上方（Ｚ１方向）に向けて嵌め込まれている。そして、本体部６７ａには、Ｘ方向に延びるとともにＹ方向に平行に並ぶ２つの長孔６７ｄが形成されており、各々の長孔６７ｄに挿入されるボルト部材４（２本）によって延長部６７ｂが本体部６７ａに対して伸縮自在に固定されている。すなわち、ボルト部材４を若干緩めて延長部６７ｂをＸ方向に沿って引き出すかまたは押し込むことにより、昇降部６４に対するピン６８のＸ方向の位置が自由に設定されるように構成されている。したがって、基板１のＸ方向の長さに対応させて、延長部６７ｂの突出長さを調整することにより、どのような基板１に対しても、ピン６８が端部１ｃおよびその近傍を下面１ｅ（図１１参照）側から支持することが可能なように構成されている。

なお、図６および図７に示すように、ベース部２１のＸ１側の辺部２１ｂに取り付けられている昇降機構部６６ｂを含むバックアップ支持機構部６０についても、上記したＸ２側のバックアップ支持機構部６０と同様の構造を有している。なお、昇降機構部６６ｂは、本発明の「第２昇降機構部」の一例である。

これにより、Ｘ線検査装置１００では、図７に示すように、基板１の端部１ａおよび端部１ｂが一対のコンベア部２２に固定された状態でＸ線撮像部４０（図２参照）により撮像される際に、昇降機構部６６ａおよび６６ｂの昇降部６４が同じタイミングで水平面（Ｘ−Ｙ平面）と直交する上方向（図７における紙面手前方向）に所定高さだけ上昇されるように構成されている（図８の状態から図９の状態に変化する）。また、各々の昇降部６４が上昇することによって、各々に取り付けられた支持部材６７が上昇されて基板１の端部１ｃ（Ｘ２側）および端部１ｄ（Ｘ１側）をそれぞれ支持するように構成されている。

この際、各々の昇降部６４に装着された支持部材６７のピン６８は、基板１の端部１ｃおよび端部１ｄのうちのＹ方向の中央部近傍（中央線７００に対応する部分およびその近傍）を下方側から支持する。また、図１１に示すように、各々の支持部材６７のピン６８は、基板１のＸ方向の端部１ｃ近傍および端部１ｄ近傍における下面１ｅをそれぞれ支持する。これにより、基板１の端部１ａおよび端部１ｂがコンベア部２２に固定された状態で基板１の中央線７００近傍が自重で鉛直下方向に撓みかけたとしても、この領域が左右側からピン６８によって支持されるので、基板１の撓み変形が抑制される。そして、この状態で、Ｘ線がＸ線源３０から基板１の略水平な検査面に照射されるとともに、下方のＸ線撮像部４０により、この検査面における基板１のＸ線撮像画像が取得される。なお、ピン６８の先端部は所定の局率半径を有して略半球状に形成された曲面を有している。これにより、ピン６８と下面１ｅとの接触面積を極力小さくした状態で、基板１は支持される。

また、図１１に示すように、支持部材６７の本体部６７ａは、昇降部６４に固定される側から延長部６７ｂが取り付けられる先端部（基板１が配置される側）に向かってＹ方向に見た断面が先細りしている。この場合、上面部６７ｃ（図１０参照）が略水平であるのに対して、下面部６７ｅは、約４５度で傾斜している。これにより、支持部材６７は、本体部６７ａがＸ線の照射領域に極力侵入しないような形状に形成されている。したがって、支持部材６７が基板１の端部１ｃおよび１ｄに向かって延長部６７ｂを延ばして端部１ｃおよび１ｄを支持したとしても、Ｘ線撮像画像に左右の支持部材６７が極力写り込まないように構成されている。

また、搬送機構部２０は、図２および図３に示すように、ベース部２１をＸ方向（図３における紙面に垂直な方向）に沿って水平移動させるための一対のＸ軸レール２５と、ベース部２１およびＸ軸レール２５を共にＹ方向（図２における紙面に垂直な方向）に沿って水平移動させるための一対のＹ軸レール２６とをさらに含んでいる。また、図３に示すように、一対のＸ軸レール２５は、各々がＹ方向に所定の間隔を隔てて略平行に配置された状態でＸ方向（紙面に垂直な方向）に延びている。また、Ｘ軸レール２５は、ベース部２１とＹ軸レール２６との間（Ｚ方向）に配置された台座部２７の上面に固定されている。この台座部２７は、Ｙ軸レール２６上をＹ方向にスライド移動することが可能に構成されている。また、図２に示すように、一対のＹ軸レール２６は、各々がＸ方向に所定の間隔を隔てて略平行に配置された状態でＹ方向（紙面に垂直な方向）に延びている。また、Ｙ軸レール２６は、基台１０の対応する上面１０ａに敷設されている。

また、搬送機構部２０は、図３に示すように、Ｙ軸レール２６のＹ１側の端部近傍における基台１０の上面１０ａに設けられたＹ軸モータ２８ａおよびＹ軸モータ２８ａに接続されるＹ軸ボールねじ２８ｂと、台座部２７に設けられたＸ軸モータ２９ａおよびＸ軸モータ２９ａに接続されるＸ軸ボールねじ２９ｂ（外形を破線で示す）とを含んでいる。これにより、コンベア部２２を有するベース部２１は、Ｘ軸モータ２９ａおよびＸ軸ボールねじ２９ｂによってＸ軸レール２５上をＸ方向（紙面に垂直な方向）に往復移動されるとともに、Ｙ軸モータ２８ａおよびＹ軸ボールねじ２８ｂによってＹ軸レール２６上をＹ方向に往復移動されるように構成されている。したがって、搬送機構部２０は、基台１０の上面１０ａ上をＸ−Ｙ面内において任意の位置に移動可能に構成されている。

ここで、第１実施形態では、基板１がＸ線撮像部４０により撮像される際に加えて、基板１がコンベア部２２に固定された状態でＸ−Ｙ平面内を移動される際に、昇降機構部６６ａおよび６６ｂの各々の昇降部６４が上昇されることによって、各々に取り付けられた支持部材６７が上方向（Ｚ１方向）に上昇されて先端のピン６８が基板１のＸ方向の端部１ｃ（Ｘ２側）および端部１ｄ（Ｘ１側）をそれぞれ支持するように構成されている。これにより、ベース部２１全体を移動させてＸ線撮像時に基板１の撮像領域を移動させる際、および、Ｘ線撮像を行う前後でベース部２１全体を移動させて基板１を所定の位置に配置する際にも、コンベア部２２に固定された基板１が下方に撓むことが抑制されるように構成されている。

また、搬送機構部２０は、図２に示すように、基板１の装置本体内への搬入時には、コンベア部２２の端部２２ｊをＸ１側のコンベア遮蔽部５２の内側面５２ｃ近傍まで移動させて、上流側の搬送ライン５０１ａ（図１２参照）からＸ線検査前の基板１を受け継ぐ。また、搬送機構部２０は、基板１の搬出時には、コンベア部２２の端部２２ｋをＸ２側のコンベア遮蔽部５３の内側面５３ｃ近傍まで移動させて、下流側の搬送ライン５０１ｂ（図１２参照）へ受け渡す動作を行う。なお、コンベア遮蔽部５２および５３は、それぞれ、Ｘ線源３０から照射されるＸ線が装置本体から外部に洩れ出ないように遮蔽する遮蔽壁５０の一部を構成している。また、コンベア遮蔽部５２および５３は、コンベア部２２の移動範囲（Ｘ方向およびＹ方向）に対応するように、他の遮蔽壁５０の部分よりも外装カバー７０側に突出して形成されている。また、コンベア遮蔽部５２には、基板１の搬送経路と交差する位置に基板１を装置本体内に搬入するための開口部５２ａが形成されるとともに、コンベア遮蔽部５３には、基板１を装置本体外に搬出するための開口部５３ａが形成されている。

また、図１に示すように、外装カバー７０（左右のカバー部材７１）にも開口部７１ａが形成されており、シャッター機構部９５の一部（シャッター部）が開口部７１ａの奥側に露出している。したがって、作業者またはオペレータは、操作機器類９０を介して所定の操作を行うことにより、左右のシャッター機構部９５（図２参照）の開閉動作を確認することが可能とされている。また、運転中に検知スイッチ９６によりシャッター機構部９５の開放動作が検知されると、Ｘ線の照射が停止されるように構成されている。

また、Ｘ線源３０は、図２および図３に示すように、支持梁３１に懸架されることにより搬送機構部２０の上方（Ｚ１側）に配置された状態で、下方（Ｚ２側）に位置する基板１に対してＸ線を照射する機能を有している。また、Ｘ線源３０は、図示しない昇降機構部により上下方向（Ｚ方向）に沿って所定の高さ範囲内を移動することが可能に構成されている。これにより、Ｘ線源３０を基板１に接近させる場合と遠ざける場合とで、取得されるＸ線撮像画像の解像度が切り換えられるように構成されている。

また、Ｘ線撮像部４０は、図２および図３に示すように、搬送機構部２０のＸ線源３０とは反対側の下方（Ｚ２側）に配置されている。また、Ｘ線撮像部４０は、Ｘ線源３０から照射されて基板１を透過したＸ線を検出してＸ線画像（透過画像）を撮像する機能を有している。なお、Ｘ線撮像部４０は、基台１０の上面１０ａと搬送機構部２０との間に設けられた駆動機構４１によって、搬送機構部２０の下方の空間を水平面（Ｘ−Ｙ平面）内において移動可能であるように構成されている。

具体的には、駆動機構４１は、図２および図３に示すように、Ｘ線撮像部４０が固定された台座部４２をＹ方向（図２における紙面に垂直な方向）に沿って水平移動させるための一対のＹ軸レール４３と、台座部４２およびＹ軸レール４３を共にＸ方向（図３における紙面に垂直な方向）に沿って水平移動させるための一対のＸ軸レール４４とを含んでいる。ここで、Ｙ軸レール４３は、台座部４２とＸ軸レール４４との間（Ｚ方向）に配置された台座部４５（図２参照）の上面に敷設されている。この台座部４５は、Ｘ軸レール４４上をＸ方向にスライド移動することが可能に構成されている。また、図３に示すように、一対のＸ軸レール４４は、各々がＸ方向に所定の間隔を隔てて略平行に配置された状態でＸ方向（紙面に垂直な方向）に延びている。また、Ｘ軸レール４４は、駆動機構４１が配置される領域の基台１０の上面１０ａ上に固定された台座部４９に敷設されている。

また、駆動機構４１は、図２に示すように、Ｘ軸レール４４のＸ２側の端部近傍における基台１０の上面１０ａ上に設けられたＸ軸モータ４６ａおよびＸ軸モータ４６ａに接続されるＸ軸ボールねじ４６ｂと、図３に示すように、台座部４５のＹ１側の端部近傍に設けられたＹ軸モータ４７ａおよびＹ軸モータ４７ａに接続されるＹ軸ボールねじ４７ｂとを含んでいる。これにより、Ｘ線撮像部４０が固定された台座部４２は、Ｘ軸モータ４６ａおよびＸ軸ボールねじ４６ｂによってＸ軸レール４４上をＸ方向（図２参照）に往復移動されるとともに、Ｙ軸モータ４７ａおよびＹ軸ボールねじ４７ｂによってＹ軸レール４３上をＹ方向（図３参照）に往復移動されるように構成されている。したがって、Ｘ線撮像部４０は、搬送機構部２０よりも下方の領域（高さ位置）において、基台１０の上面１０ａ上をＸ−Ｙ面内において任意の方向（位置）に移動可能に構成されている。

したがって、Ｘ線検査装置１００では、図２に示すように、Ｘ線源３０が所定の照射位置（Ｚ方向）に配置された状態で、基板１（搬送機構部２０）およびＸ線撮像部４０がＸ−Ｙ面内における所定の範囲内で互いに独立して移動される。これにより、搬送機構部２０およびＸ線撮像部４０を互いに独立して移動させてＸ線源３０に対する基板１およびＸ線撮像部４０の相対的な位置関係が調整されることにより、基板１に対してＺ方向の真上からＸ線を照射して撮像することのみならず、基板１に対して斜め方向からＸ線を照射して撮像することも可能に構成されている。

制御ユニット８０ａ（図２参照）は、バックアップ支持機構部６０を有する搬送機構部２０、Ｘ線源３０、Ｘ線撮像部４０、シャッター機構部９５および圧縮空気源８０ｃ（図２参照）を含めたＸ線検査装置１００全体の動作を制御する機能を有している。第１実施形態においては、Ｘ線撮像時、制御ユニット８０ａの指令に基づいてコンベア部２２に基板１が固定されるとともに、基板１の固定状態に基づいて、エアシリンダ６５（図６参照）が制御されて昇降機構部６６ａおよび６６ｂの昇降部６４（図６参照）が上昇されるように構成されている。また、Ｘ線撮像の前後では、クランプ部２２ｂに対する可動部２２ａ（図６参照）の下降（開放）状態および昇降部６４の下降状態が検出された後に、搬送ベルト２２ｃ（図６参照）が駆動されるように構成されている。また、電源ユニット８０ｂ（図２参照）は、制御ユニット８０ａおよび圧縮空気源８０ｃを含めたＸ線検査装置１００全体に電力を供給する機能を有している。

また、第１実施形態によるＸ線検査装置１００は、搬送ラインによって基板を搬送しながら電子部品の実装回路基板の製造を行う回路基板製造ラインを構成する装置群の一部として使用することが可能である。

たとえば、回路基板製造ライン５００では、図１２に示すように、電子部品実装前の基板１を保持するローダー５０２から搬送ライン５０１に基板１が送り出され、印刷機５０３による基板１上へのペースト半田印刷工程、表面実装機５０４による基板１への部品実装工程、および、リフロー炉５０５により半田を溶融させて部品を基板１上の電極部に接合するリフロー工程が順次行われた後、Ｘ線検査装置１００に実装済みの基板１が搬送される。実装済みの基板１がコンベア遮蔽部５２の開口部５２ａ（図２参照）を介して搬送ライン５０１ａから搬送機構部２０（図２参照）に受け渡されると、Ｘ線検査装置１００では、Ｘ線を使用して実装済みの基板１が撮像され、各部品の半田接合状態などが検査される。その後、コンベア遮蔽部５３の開口部５３ａ（図２参照）を介して搬送機構部２０から搬送ライン５０１ｂに基板１が受け渡され、次の光学検査装置５０６に搬入される。光学検査装置５０６では、可視光を用いた部品実装状態の外観検査が行われ、これらの検査工程の終了後、基板１が搬送ライン５０１からアンローダー５０７に受け渡されて基板１の製造が完了する。

第１実施形態では、上記のように、搬送機構部２０は、水平面（Ｘ−Ｙ平面）内における基板１のＸ方向の端部１ｃよりも外側（Ｘ２側）に配置され、基板１がＸ線撮像部４０により撮像される際に、上下方向（Ｚ方向）に昇降して基板１を支持する昇降機構部６６ａ（図６参照）と、基板１のＸ方向の端部１ｄよりも外側（Ｘ１側）に配置され、基板１がＸ線撮像部４０により撮像される際に上下方向（Ｚ方向）に昇降して基板１を支持する昇降機構部６６ｂ（図６参照）とを含む一対のバックアップ支持機構部６０を備えている。これにより、昇降機構部６６ａおよび６６ｂを含むバックアップ支持機構部６０が上方向（Ｚ１方向）に上昇して基板１を補助的に支持した状態でＸ線撮像を行うことができる。すなわち、バックアップ支持機構部６０が基板１を補助的に支持することにより、基板１が自重に起因して水平面に対して下方に撓み変形を起こすことを抑制することができる。Ｘ線検査装置１００では、この状態で基板１のＸ線撮像を行うことができるので、検査面（水平面）に沿ったＸ線撮像画像を正確に取得することができる。特に、基板１に対して斜め方向からＸ線が照射された場合、基板１が下方に撓むことによる検査面の高さ位置のずれがＸ線撮像画像の鮮明さに大きく影響するので、基板１が撓みにくくなる分、斜め方向からのＸ線照射においても、より正確な画像が得られる。

また、第１実施形態では、昇降機構部６６ａおよび６６ｂは、それぞれ、基板１の端部１ｃよりも外側（Ｘ２側）かつ端部１ｄよりも外側（Ｘ１側）に配置されるので、昇降機構部６６ａおよび６６ｂが基板１を撮像したＸ線撮像画像に写り込むことを容易に抑制することができる。

また、第１実施形態では、昇降機構部６６ａは、ベース部２１の辺部２１ａに設けられるとともに、昇降機構部６６ｂは、辺部２１ｂに設けられている。これにより、バックアップ支持機構部６０における昇降機構部６６ａおよび６６ｂを、それぞれ、搬送機構部２０上の基板１の端部１ｃおよび１ｄよりもＸ方向の外側（撮像領域の外側）に容易に配置することができる。したがって、ベース部２１に設けられた昇降機構部６６ａおよび６６ｂを使用して基板１を容易にバックアップ支持することができる。

また、第１実施形態では、基板１がコンベア部２２に固定された状態でＸ線撮像部４０により撮像される際に、昇降機構部６６ａおよび６６ｂを含むバックアップ支持機構部６０は、搬送機構部２０に対してＺ１方向に上昇して基板１を支持するように構成されている。これにより、可動部２２ａおよびクランプ部２２ｂにより基板１のＹ方向の端部１ａおよび１ｂがそれぞれ固定されることに加えて、昇降機構部６６ａおよび６６ｂを含むバックアップ支持機構部６０によって基板１を補助的に支持した状態でＸ線撮像を行うことができる。すなわち、コンベア部２２に固定されない基板１のＹ方向の端部１ａおよび１ｂ以外の部分（たとえば、基板１のＸ方向の端部１ｃおよび１ｄや、基板１の中央（中心）部およびその周辺など）が自重に起因して水平面に対して著しく撓み変形を起こすことを効果的に抑制することができる。

また、第１実施形態では、昇降機構部６６ａおよび６６ｂを含むバックアップ支持機構部６０はＺ１方向に上昇することにより、基板１のＹ方向（幅方向）の中央部近傍を支持するように構成されている。これにより、Ｘ線撮像の際に、端部１ａおよび端部１ｂが固定された基板１のＹ方向の中央部近傍がバックアップ支持機構部６０によって補助的に支持されるので、基板１の下方への撓み変形を効果的に抑制することができる。

また、第１実施形態では、搬送機構部２０は、Ｙ１側およびＹ２側の両方のコンベア部２２が搬送機構部２０のＹ方向の中央線７００を基準としてＹ方向に沿って互いに同じ間隔で接近するかまたは離間することにより、基板１の端部１ａおよび１ｂに対応した位置で端部１ａおよび１ｂが固定されるように構成されている。そして、昇降機構部６６ａおよび６６ｂは、搬送機構部２０の中央線７００上に対応する位置に配置されている。このように、基板１が、Ｙ方向の幅に関係なく常にベース部２１の中央線７００上にＹ方向の中央部を配置した状態でコンベア部２２に固定される搬送機構部２０において、昇降機構部６６ａおよび６６ｂがベース部２１のＹ方向の中央線７００上に対応する位置に配置されているので、基板１のＹ方向の中央部近傍を確実にバックアップ支持することができる。

また、第１実施形態では、バックアップ支持機構部６０は、昇降機構部６６ａ（６６ｂ）に装着され、昇降機構部６６ａ（６６ｂ）とともにベース部２１に対してＺ１方向に上昇して基板１の下面１ｅを支持する支持部材６７を含んでいる。これにより、昇降機構部６６ａ（６６ｂ）に装着される支持部材６７を有効に活用して、多様な形状および大きさを有する基板１を容易にバックアップ支持することができる。

また、第１実施形態では、昇降機構部６６ａおよび６６ｂの各々に装着された支持部材６７は、それぞれ、昇降機構部６６ａおよび６６ｂとともにＺ１方向に上昇して基板１のＸ方向の端部１ｃ近傍および端部１ｄ近傍を支持するように構成されている。これにより、昇降機構部６６ａおよび６６ｂにそれぞれ装着される支持部材６７を有効に利用して、基板１のＸ方向の端部１ｃ近傍および端部１ｄ近傍を容易に支持することができる。また、支持部材６７により基板１のＸ方向の端部１ｃ近傍および端部１ｄ近傍が支持されるので、昇降機構部６６ａおよび６６ｂがＸ線撮像画像に写り込むことを容易に抑制することができる。また、支持部材６７（本体部６７ａ）は、昇降部６４に対してネジ部材２により着脱可能に装着されている。これにより、基板１の形状や大きさに合わせて所望形状に形成された本体部６７ａおよび延長部６７ｂを含む支持部材６７を、昇降部６４に自由に取り付けることができるので、Ｘ線検査装置１００を多種多様な形状および大きさを有する基板１に対応させて使用することができる。

また、第１実施形態では、支持部材６７は、本体部６７ａと、基板１のＸ方向の長さに応じて伸縮可能な延長部６７ｂとを有している。これにより、バックアップ支持機構部６０における昇降機構部６６ａおよび６６ｂと、基板１のＸ方向の端部１ｃおよび１ｄとが各々離間している場合においても、昇降機構部６６ａおよび６６ｂ側から延ばされた支持部材６７の延長部６７ｂを使用して基板１のＸ方向の端部１ｃ近傍および端部１ｄ近傍を確実に支持することができる。

また、第１実施形態では、支持部材６７の本体部６７ａは、昇降機構部６６ａおよび６６ｂにそれぞれ装着されており、昇降機構部６６ａおよび６６ｂがＺ１方向に上昇することにより、支持部材６７の延長部６７ｂに設けられたピン６８が、基板１のＸ方向の端部１ｃ近傍および端部１ｄ近傍を支持するように構成されている。これにより、支持部材６７のピン６８を使用して基板１のＸ方向の両側において基板１の端部１ｃ近傍および端部１ｄ近傍を支持することができるので、基板１全体に亘って撓み変形などを抑制することができる。

また、第１実施形態では、基板１がＸ線撮像部４０により撮像される際に加えて、基板１がコンベア部２２に固定された状態で水平面（Ｘ−Ｙ平面）内を移動される際に、昇降機構部６６ａおよび６６ｂを含むバックアップ支持機構部６０は上昇して基板１を支持するように構成されている。これにより、Ｘ線撮像の有無に関係なく基板１を搬送する最中においても一対のコンベア部２２が基板１を固定した状態でバックアップ支持機構部６０が上昇して基板１を補助的に支持することができるので、基板１に生ずる撓み変形が抑制された状態を維持することができる。

（第２実施形態）
次に、図２、図７および図１３〜図１５を参照して、第２実施形態について説明する。第２実施形態では、Ｘ方向に互いに対向する昇降機構部６６ａおよび６６ｂを繋ぐ１つの支持部材２６７を装着してバックアップ支持機構部２６０を構成する例について説明する。なお、図中において、上記第１実施形態と同様の構成には、第１実施形態と同じ符号を付して図示している。なお、支持部材２６７は、本発明の「第２支持部材」の一例である。

本発明の第２実施形態によるＸ線検査装置２００では、図１３に示すように、バックアップ支持機構部２６０は、Ｘ２側の昇降部６４とＸ１側の昇降部６４とをＸ方向に繋ぐ１つの支持部材２６７を含んでいる。より詳細には、図１４に示すように、支持部材２６７は、各々の昇降部６４の下側部材６２に取付部材６９を介してそれぞれ固定される一対の本体部２６７ａと、一対の本体部２６７ａを繋ぐ２本の架橋部材２６８とを有している。なお、本体部２６７ａには、ネジ部材３（合計４本）を用いて一対の取付部材６９が両側（Ｙ方向）から取り付けられている。そして、この状態で、取付部材６９が下側部材６２の上面にネジ部材２（合計４本）を用いて固定されている。

また、図１５に示すように、架橋部材２６８は、左右の本体部２６７ａの上面２６７ｂから上方（Ｚ１方向）に略垂直に延びた後、約４５度だけ内側（基板１側）に曲げられて所定距離だけ斜めに延び、さらに約４５度だけ曲げられて水平方向（Ｘ方向）に延びている。また、架橋部材２６８の水平方向に延びた梁部２６８ａは、昇降部６４の上側部材６１と略同じ高さ位置（Ｚ方向）に配置されている。

これにより、Ｘ線検査装置２００では、図１３に示すように、基板１（外形を破線で示す）の端部１ａおよび端部１ｂが一対のコンベア部２２に固定された状態でＸ線撮像部４０（図２参照）により撮像される際に、昇降機構部６６ａおよび６６ｂが上方向（Ｚ１方向）に上昇することによって、支持部材２６７および架橋部材２６８が上昇されて、梁部２６８ａが基板１の下面１ｅをＸ方向に沿って支持するように構成されている。なお、２本の架橋部材２６８は、ベース部２１の中央線７００（図７参照）に沿ってその近傍における下面１ｅ（図１５参照）に下方から線接触して支持するように配置されている。

なお、架橋部材２６８は、Ｘ線透過性の良好な材料により形成されている。このような材料としては、所定の剛性を有するカーボン素材などを適用することが有効である。これにより、架橋部材２６８が基板１の下面１ｅ側においてＸ方向に横切ったとしても、架橋部材２６８がＸ線撮像画像に写り込む場合の影響は軽微となる。また、架橋部材２６８は、断面が所定の外径を有して棒状に形成された線材に曲げ加工を施して形成されることが好ましい。これにより、架橋部材２６８と基板１の下面１ｅとの接触面積を極力小さくした状態で、基板１を支持することが可能である。また、架橋部材２６８は、本体部２６７ａから上方に延び、約４５度だけ内側（基板１側）に曲げられ、さらに約４５度だけ曲げられているので、架橋部材２６８の全体がＸ線の照射領域に侵入しないように構成されている。

また、Ｘ線検査装置２００では、制御ユニット８０ａ（図２参照）の指令に基づいて、昇降機構部６６ａおよび昇降機構部６６ｂは、互いに同期して上下方向（Ｚ方向）に昇降するように構成されている。したがって、図１５に示すように、支持部材２６７が上方に移動される際、架橋部材２６８の梁部２６８ａは、Ｘ方向に沿って水平を保ったまま基板１の下面１ｅを支持するように構成されている。なお、Ｘ線検査装置２００のその他の構成については、上記第１実施形態のＸ線検査装置１００と同じである。

第２実施形態では、上記のように、バックアップ支持機構部２６０では、Ｘ線透過性の良好な材料を含む架橋部材２６８（支持部材２６７）が昇降機構部６６ａおよび昇降機構部６６ｂを繋ぐように装着されている。そして、昇降機構部６６ａおよび昇降機構部６６ｂがＺ１方向に上昇することにより、架橋部材２６８が基板１の下面１ｅをＸ方向に沿って支持するように構成されている。これにより、昇降機構部６６ａおよび昇降機構部６６ｂを繋ぐ支持部材２６７を有効に利用して、基板１をＸ方向に沿って容易に支持することができる。この際、支持部材２６７はＸ線透過性の良好な材料を含んでいるので、支持部材２６７が基板１の撮像領域をＸ方向に横切ったとしても、支持部材２６７がＸ線撮像画像に写り込んだ場合の影響を軽微に抑えることができる。

また、第２実施形態では、昇降機構部６６ａおよび昇降機構部６６ｂは、互いに同期してＺ１方向に上昇するように構成されている。これにより、昇降機構部６６ａおよび６６ｂが昇降する際に、昇降機構部６６ａおよび昇降機構部６６ｂを繋ぐ支持部材２６７の高さ位置がＸ方向に沿って略変化しないので、支持部材２６７の高さ位置を水平面にほぼ揃えた状態で昇降させることができる。これにより、基板１をＸ方向に沿って一様に支持することができるので、基板１を水平面内で安定して支持することができる。なお、第２実施形態のその他の効果は、上記第１実施形態と同様である。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記第１実施形態では、バックアップ支持機構部６０をベース部２１の辺部２１ａ（Ｘ２側）および辺部２１ｂ（Ｘ１側）にそれぞれ設けた例について示したが、本発明はこれに限られない。すなわち、バックアップ支持機構部６０をベース部２１の辺部２１ａ（Ｘ２側）または辺部２１ｂ（Ｘ１側）のいずれか一方にのみ設けてもよい。このように構成しても、１つのバックアップ支持機構部６０によって基板１の下面１ｅを補助的に支持した状態でＸ線撮像を行うことができる。

また、上記第２実施形態では、一対の昇降機構部６６ａおよび６６ｂをＸ方向に繋ぐ支持部材２６７（架橋部材２６８）を設けてバックアップ支持機構部２６０を構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、昇降機構部６６ａのみをベース部２１の辺部２１ａ（Ｘ２側）に設け、かつ、この１つの昇降機構部６６ａから辺部２１ｂ側に向けてＸ方向に延びる支持部材を装着して基板１の下面１ｅを片持ち支持するように構成してもよい。このように構成しても、１つのバックアップ支持機構部２６０を上昇させて基板１を補助的に支持した状態でＸ線撮像を行うことができる。

また、上記第１実施形態では、昇降機構部６６ａおよび６６ｂを、基板１のＸ方向の端部１ｃおよび１ｄよりも外側（Ｘ２側およびＸ１側）に配置した例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、昇降機構部６６ａおよび６６ｂを、基板１のＸ方向の端部１ｃ近傍および端部１ｄ近傍に配置してもよい。そして、支持部材６７を装着することなく昇降機構部６６ａおよび６６ｂを用いて基板１の下面１ｅを直接的に支持するように構成してもよい。

また、上記第１実施形態では、昇降機構部６６ａおよび６６ｂの上昇とともに支持部材６７のピン６８が基板１の下面１ｅを支持するように構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、昇降機構部に取り付けられた支持部材が、基板１の上面に吸着した状態で基板１を引き上げて支持するように構成してもよい。このように構成しても、基板１の自重に起因した撓み変形を抑制した状態でＸ線撮像を行うことができる。また、別な変形例として、昇降機構部に取り付けられた支持部材が、昇降（上昇）移動とともに基板１の端部１ｃおよび端部１ｄを把持して外方向に引張るようにして支持してもよい。この場合、基板１のみならず、サイズ（平面積）が非常に大きくかつ厚みが薄いシート状の検査対象物の下方への垂れが抑制される点で、本発明のバックアップ支持機構部を用いることは有用である。

また、上記第１実施形態では、昇降機構部６６ａ（６６ｂ）と支持部材６７とを別部品として構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、支持部材と昇降部とが一体的に形成されていてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、支持部材の支持箇所が中央線７００上の位置Ｐである例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、支持部材の支持箇所が、中央線７００以外の場所でもよい。

また、上記第１実施形態では、１つの（片側の）支持部材６７に対してピン６８を２本設けた例について示したが、本発明はこれに限られない。ピン６８は１本でもよいし、３本以上でもよい。また、上記第２実施形態では、架橋部材２６８を２本平行に設けた例について示したが、本発明はこれに限られない。架橋部材２６８は１本でもよいし３本以上でもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、搬送機構部２０（基板１）の上方にＸ線源３０を配置するとともに、搬送機構部２０（基板１）の下方にＸ線撮像部４０を配置してＸ線検査装置を構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。すなわち、基板１の下方にＸ線源が配置され基板１の上方にＸ線撮像部が配置されていてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、圧縮空気により上下駆動されるエアシリンダ６５を用いて昇降部６４を駆動するように構成した例について示したが、本発明はこれに限られない。エアシリンダ６５以外の、たとえば電動モータ（ステッピングモータ）と、電動モータの回転力を上下方向の往復移動に変換するギア機構とをによって昇降機構部を構成してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、装置本体の前面部側から見て右側（Ｘ１側）から基板１が装置本体内に搬入されるとともに、左側（Ｘ２側）から基板１が外部に搬出されるように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、装置本体の左側（Ｘ２側）から基板１が装置本体内に搬入されるとともに、右側（Ｘ１側）から基板１が外部に搬出されるようにＸ線検査装置が構成されていてもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、回路基板製造ライン５００を構成するＸ線検査装置１００および２００に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、回路基板製造ライン５００の外部に単独で設けられ、単体（オフライン）で使用されるＸ線検査装置（基板検査装置）に本発明を適用してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、基板１を検査するためのＸ線検査装置１００および２００に本発明を適用した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、回路基板以外の物品を検査対象物とするＸ線検査装置に本発明を適用してもよい。

また、上記第１および第２実施形態では、Ｘ線源３０のみを備えたＸ線検査装置１００（２００）を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、可視光線源および可視光線撮像部をさらに備え、基板１のＸ線検査と可視光による外観検査との両方が行えるような基板検査装置（Ｘ線検査装置）として構成してもよい。バックアップ支持機構部により基板１の撓み変形が抑制されるので、可視光による外観検査時の撮像画像もより鮮明なものが得られる。

１ 基板（検査対象物）
１ａ 端部（第２方向の一方端部）
１ｂ 端部（第２方向の他方端部）
１ｃ 端部（第１方向の端部）
１ｄ 端部（第１方向の端部）
２０ 搬送機構部（搬送部）
２２ａ 可動部（固定部、第１固定部、第２固定部）
２２ｂ クランプ部（固定部、第１固定部、第２固定部）
３０ Ｘ線源
４０ Ｘ線撮像部
６０、２６０ バックアップ支持機構部
６６ａ、６６ｂ 昇降機構部
６７ 支持部材（第１支持部材）
１００、２００ Ｘ線検査装置
２６７ 支持部材（第２支持部材）

Claims (12)

1. Ｘ線を用いて検査対象物を撮像するＸ線撮像部と、
   水平面内における前記検査対象物の第１方向の端部近傍または前記端部よりも外側に配置され、前記検査対象物が前記Ｘ線撮像部により撮像される際に、水平面と直交する上下方向に昇降して前記検査対象物を支持するように構成された昇降機構部を含むバックアップ支持機構部とを備える、Ｘ線検査装置。
2. 前記検査対象物にＸ線を照射するＸ線源と、
   前記検査対象物を搬送して前記Ｘ線源と前記Ｘ線撮像部との間に配置する搬送部とをさらに備え、
   前記バックアップ支持機構部の前記昇降機構部は、前記搬送部に設けられている、請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記搬送部は、水平面内において前記第１方向と交差する前記検査対象物の第２方向の端部を固定する固定部をさらに含み、
   前記検査対象物が前記固定部に固定された状態で前記Ｘ線撮像部により撮像される際に、前記昇降機構部を含む前記バックアップ支持機構部は、前記搬送部に対して上下方向に昇降して前記検査対象物を支持するように構成されている、請求項２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記固定部は、前記検査対象物の前記第２方向の両端部を固定するように構成されており、
   前記昇降機構部を含む前記バックアップ支持機構部は、上下方向に昇降して前記検査対象物の前記第２方向の中央部近傍を支持するように構成されている、請求項３に記載のＸ線検査装置。
5. 前記固定部は、前記検査対象物の前記第２方向の一方端部を固定する第１固定部および他方端部を固定する第２固定部を含み、
   前記第１固定部および前記第２固定部が前記搬送部の前記第２方向の中央線を基準として前記第２方向に沿って互いに略同じ間隔で接近または離間することにより、前記検査対象物の前記第２方向の端部に対応した位置で前記検査対象物の前記一方端部および前記他方端部が固定されるように構成されており、
   前記バックアップ支持機構部は、前記搬送部の、前記第２方向の中央線上に対応する位置に配置されている、請求項４に記載のＸ線検査装置。
6. 前記バックアップ支持機構部は、前記昇降機構部に装着され、前記昇降機構部とともに前記搬送部に対して上下方向に昇降して前記検査対象物を支持可能に構成された支持部材をさらに含む、請求項２〜５のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
7. 前記支持部材は、前記昇降機構部とともに上下方向に昇降して前記検査対象物の前記第１方向の端部近傍を支持可能に構成された第１支持部材を有する、請求項６に記載のＸ線検査装置。
8. 前記第１支持部材は、前記検査対象物の前記第１方向の長さに応じて伸縮可能なように構成されている、請求項７に記載のＸ線検査装置。
9. 前記バックアップ支持機構部の前記昇降機構部は、前記搬送部の前記第１方向の一方側に設けられた第１昇降機構部および他方側に設けられた第２昇降機構部を有し、
   前記第１支持部材は、前記第１昇降機構部および前記第２昇降機構部にそれぞれ装着されており、
   前記第１昇降機構部および前記第２昇降機構部が上下方向に昇降することにより、前記第１支持部材は、前記検査対象物の前記第１方向の両端部近傍を支持するように構成されている、請求項７または８に記載のＸ線検査装置。
10. 前記バックアップ支持機構部の前記昇降機構部は、前記搬送部の前記第１方向の一方側に設けられた第１昇降機構部および他方側に設けられた第２昇降機構部を有し、
    前記支持部材は、Ｘ線透過性の良好な材料を含み、前記第１昇降機構部および前記第２昇降機構部を繋ぐように装着された第２支持部材を有し、
    前記第１昇降機構部および前記第２昇降機構部が上下方向に昇降することにより、前記第２支持部材は、前記検査対象物を前記第１方向に沿って支持するように構成されている、請求項６に記載のＸ線検査装置。
11. 前記第１昇降機構部および前記第２昇降機構部は、互いに同期して上下方向に昇降するように構成されている、請求項１０に記載のＸ線検査装置。
12. 前記搬送部は、前記検査対象物が前記固定部に固定された状態で水平面内を移動可能に構成されており、
    前記検査対象物が前記Ｘ線撮像部により撮像される際に加えて、前記検査対象物が前記固定部に固定された状態で水平面内を移動される際に、前記昇降機構部を含む前記バックアップ支持機構部は上下方向に昇降して前記検査対象物を支持するように構成されている、請求項３〜１１のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。

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