WO2004085855A1 - 液圧装置 - Google Patents

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Teruaki Yogo
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Kabushiki Kaisha Opton
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    • F15B2211/765—Control of position or angle of the output member

Definitions

  • the present invention relates to a hydraulic device in which both ports of a hydraulic pump driven by an electric motor and rotatable in both directions and both ports of a hydraulic actuator are connected via a pair of flow paths, respectively.
  • both ports of a hydraulic pump driven by an electric motor and rotatable in both directions are connected to a liquid.
  • a hydraulic device is known in which both ports of a pressure chamber are connected to each other via a pair of flow paths.
  • the operating direction of the hydraulic actuator is switched by switching the rotation direction of the electric motor.
  • the rotation speed of the electric motor is controlled, the driving speed of the hydraulic actuator is controlled, and the stop position of the hydraulic actuator is controlled. And so on.
  • An object of the present invention is to provide a hydraulic device capable of performing stable pressing. Disclosure of the invention
  • the present invention has taken the following means to solve the object. That is,
  • a hydraulic pump driven by an electric motor and rotatable in both directions; connecting both ports of the hydraulic pump and both ports of the hydraulic pump via a pair of flow paths, respectively, In a hydraulic device that is pressed against the fixed side by driving overnight,
  • a throttle is interposed in a leak flow path that communicates a high-pressure side flow path of the pair of flow paths to a low-pressure side. That is it.
  • a position control means for controlling the electric motor based on a position detected by a movement detection sensor for detecting movement by the hydraulic pressure actuator
  • Pressure control means for controlling the electric motor based on a pressure detected by a pressure sensor for detecting a pressure of the high-pressure side flow path
  • a switching means for switching the control of the electric motor by the position control means to the control by the pressure control means may be provided.
  • the switching means may switch control of the electric motor by the position control means to control by the pressure control means based on detection by the movement detection sensor.
  • the hydraulic actuator may be either a single rod type hydraulic cylinder, a double rod type hydraulic cylinder, or a hydraulic motor, and the hydraulic pump is a piston pump. Is also good.
  • the Lee An electromagnetic on-off valve may be interposed in the flow passage.
  • FIG. 1 is a circuit diagram of a hydraulic device as one embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a graph showing a pressure change in a conventional control in which driving and stopping of an electric motor are repeated.
  • reference numeral 1 denotes a hydraulic pump, which is a swash plate type piston pump that can rotate in both directions.
  • hydraulic pump When the pump is rotated forward, hydraulic fluid is sucked from the first port 2 side and the second port is pumped. The hydraulic fluid is discharged to the fourth port, and when it is rotated in the reverse direction, the hydraulic fluid is sucked from the second port 4 and discharged from the first port 2.
  • the hydraulic pump is connected so as to be rotationally driven by an electric motor 6 such as a saponomo.
  • the first port 2 and the second port 4 are connected to a rod-side flow path 8 and a head-side flow path 10, respectively.
  • the rod side flow path 8 is connected to the rod side port 14 of the single rod type hydraulic cylinder 12, and the head side flow path 10 is connected to the head side port of the hydraulic cylinder 12. It is connected to U16. It is to be noted that the present invention is not limited to the single rod type hydraulic cylinders 12 and may be a double rod type hydraulic cylinder or a hydraulic motor, and can be implemented as long as the hydraulic actuator is used.
  • a low pressure side tank 18 is connected to the inlet side flow path 8 via a pilot check valve 20, and the pilot check valve 20 flows out of the tank 18 to the rod side flow path 8. Is provided in a direction that allows The pilot check valve 20 introduces the hydraulic pressure in the head side flow path 10 as the pilot pressure, and opens when the hydraulic pressure in the head side flow path 10 rises, and the rod is opened. Sidestream The road 8 and the tank 18 are connected so as to communicate with each other.
  • the head side flow path 10 is connected to the tank 18 via a pilot check valve 22, and the pilot check valve 22 is connected from the tank 18 to the head side flow path 10. It is provided in a direction that allows outflow.
  • the pilot check valve 22 introduces the fluid pressure in the rod-side flow path 8 as pilot pressure, and opens when the fluid pressure in the rod-side flow path 8 rises to open the head-side flow path 10. It is connected so that it communicates with evening 18.
  • the hydraulic cylinder 12 is configured to move the transported object 26 via the rod 24, and the moved transported object 26 is fixed to a fixed side such as a wall 28. It is configured to press.
  • the fixed side is not limited to a wall, but may be a configuration in which the rod 24 is pressed against a not-shown stall as the fixed side.
  • a leak channel 30 communicating with the tank 18 is connected to the head-side channel 10.
  • the leak passage 30 is provided with an electromagnetic on-off valve 31 and a variable throttle 32.
  • the rod 24 is protruded and pressed against the fixed side.
  • a leak passage 30, a solenoid on-off valve 31, and a variable throttle 32 may be provided in the mouth-side passage 8.
  • a movement detection sensor 34 for detecting the movement of the transferred object 26 by the hydraulic cylinder 12 is provided, and the movement detection sensor 34 outputs a movement position signal corresponding to the movement of the transferred object 26. Output.
  • a pressure sensor 36 is provided in the head-side flow path 10, and the pressure sensor 36 detects the pressure of the pressurized liquid in the head-side flow path 10 and outputs a pressure signal.
  • the movement detection sensor 34 is connected to the position control circuit 38 and has a pressure sensor.
  • the sensor 36 is connected to the pressure control circuit 40.
  • the position control circuit 38 and the pressure control circuit 40 are connected to the electric motor 6 via the switching circuit 42. These circuits may be configured by hardware or software.
  • the position control circuit 38 is configured to control the electric motor 6 based on the movement position signal from the movement detection sensor 34 to move the transfer target 26 to a preset movement position. I have.
  • the pressure control circuit 40 is configured to control the electric motor 6 such that the pressure of the hydraulic fluid in the head-side flow path 10 detected by the pressure sensor 36 becomes a predetermined specified pressure. Have been. That is, by rotating the electric motor 6 forward, the hydraulic fluid is discharged from the hydraulic pump 1 to the head side flow path 10 so that the pressure of the pressure liquid in the head side flow path 10 becomes the specified pressure. Control.
  • the switching circuit 42 switches between controlling the electric motor 6 with a signal from the position control circuit 38 and controlling the electric motor 6 with a signal from the pressure control circuit 40. For example, when the movement position of the transported object 26 detected by the movement detection sensor 34 becomes a state of being pressed against the wall 28, the control by the position control circuit 38 and the pressure control circuit It is configured to switch to control by 40.
  • the difference between the amount of hydraulic fluid discharged from the head-side port 16 and the amount of hydraulic fluid flowing from the rod-side port 14 corresponds to the volume of the rod 24. Occurs.
  • the excess hydraulic fluid is discharged from the rod-side flow path 8 to the tank 18 from the head-side flow path 10 by opening the pie-mouth check valve 22 by the action of the pie-port pressure. You.
  • the hydraulic cylinder 12 is of a double-head type, there is no need to provide the pilot check valves 20 and 22.
  • the electric motor 6 When the electric motor 6 is connected to the position control circuit 38 by the switching circuit 42, the transferred object 26 is moved by the movement detecting sensor 34 so as to move to a preset position.
  • the rotation position of the electric motor 6 is controlled such that the moving position of the motor 6 is detected and the moving speed of the transported object 26 becomes a preset speed.
  • the pressure control circuit 40 is controlled by the switching circuit 42. And electric motor 6 to be connected.
  • the switching of the connection by the switching circuit 42 is performed based on the movement position of the transported object 26 detected by the movement detection sensor 34 or the pressure detected by the pressure sensor 36 is set to a predetermined value. Perform when the value exceeds It is good to do.
  • the pressure control circuit 40 controls the electric motor 6 based on the pressure of the hydraulic fluid in the head-side flow path 10 detected by the pressure sensor 36.
  • an excitation signal is output to the electromagnetic opening / closing valve 31 to open the electromagnetic opening / closing valve 31.
  • the pressurized liquid returns from the leak flow path 30 to the tank 18 via the electromagnetic on-off valve 31 and the variable throttle valve 32.
  • the pressure control circuit 40 controls the rotation of the electric motor 6 so that the pressure detected by the pressure sensor 36 becomes a preset specified pressure. If the amount of hydraulic fluid discharged from hydraulic pump 1 is larger than the amount of hydraulic fluid due to internal leak of hydraulic pump 1 or the amount of hydraulic fluid returning from leak channel 30 to tank 18, the head The pressure in the side channel 10 increases. On the other hand, if the discharge amount is small, the pressure in the head-side flow path 10 decreases. Therefore, the pressure in the head-side flow path 10 can be controlled even when the pressurized liquid is returned from the leak flow path 30 to the tank 18.
  • a torque at least equal to the sum of the reverse rotation torque caused by the pressure of the head side flow path 10 and the friction torque when driving the hydraulic pump 1 is required.
  • the electric motor 6 is driven with a torque slightly larger than this torque to discharge the hydraulic fluid from the hydraulic pump 1. Then, by adjusting the opening degree of the variable throttle 32 to return the excess pressure fluid to the tank 18 and constantly rotating the electric motor 6 at a low speed, the head side flow path 1 The pressure in 0 is controlled to the specified pressure. Further, since the electric motor 6 keeps rotating at all times, there is no control to repeat the rotation and stop of the electric motor 6.
  • the opening degree of the variable throttle 32 may be set by experiments or the like. If the opening degree is determined in advance, it can be implemented even with a fixed throttle.
  • the solenoid on-off valve 31 may be provided as needed, and without the solenoid on-off valve 31, regardless of the switching of the switching circuit 42, the tank is always tanned from the leak passage 30.
  • the present invention is also applicable to a configuration in which the pressurized liquid leaks to the pump 18.
  • the present invention is not limited to such embodiments at all, and can be implemented in various modes without departing from the gist of the present invention.
  • the hydraulic device of the present invention returns the hydraulic fluid in the high-pressure side flow path from the leak flow path to the low-pressure side through the throttle while pressing the hydraulic pressure apparatus. Since the control in which the driving and the stopping of the motor are not repeated is not performed, there is an effect that stable pressing can be performed. Industrial applicability

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Description

明細書
液圧装置 技術分野
本発明は、 電動モータにより駆動され両方向回転可能な液圧ポンプの 両ポ一卜と液圧ァクチユエ一夕の両ポー卜とを一対の流路を介してそれ ぞれ接続した液圧装置に関する。 背景技術
従来よリ、 特開平 1 0 — 2 6 1 0 1 号公報 （第 2， 3頁、 図 1 ) にあ るように、 電動モータにより駆動され両方向回転可能な液圧ポンプの両 ポー卜と液圧ァクチユエ一夕の両ポー卜とを一対の流路を介してそれぞ れ接続した液圧装置が知られている。 この液圧装置では、 電動モータの 回転方向を切り替えることにより、 液圧ァクチユエ一夕の動作方向を切 リ替えている。 また、 液圧ァクチユエ一夕の移動をセンサにより検出す るようにして、 電動モータの回転数等を制御すると共に、 液圧ァクチュ エー夕の駆動速度を制御し、 液圧ァクチユエ一夕の停止位置等を制御す るようにしていた。
しかしながら、 こうした従来のものでは、 液圧ァクチユエ一夕を駆動 して、 被搬送物を移動した際、 壁あるいはストツバ等の固定側に押し当 てて、 液圧ァクチユエ一夕による押圧力を保持した状態を維持させる場 合、 液圧ァクチユエ一夕に供給される圧液が指定圧以上となったときに は、 電動モータの駆動を停止する。 そして、 液圧ポンプ等からのリーク により、 圧液の圧力が低下したときには、 再び電動モータを駆動して、 指定圧となるようにしているが、 液圧ァクチユエ一夕の押力が変動する と共に、 電動モータの駆動 ·停止の繰り返し頻度が高くなリ、 制御性が 悪化するという問題があつた。
本発明の課題は、 安定した押し当てができる液圧装置を提供すること にある。 発明の開示
かかる課題を達成すべく、 本発明は課題を解決するため次の手段を取 つた。 即ち、
電動モータにより駆動され両方向回転可能な液圧ポンプを備え、 液圧ァクチユエ一夕の両ポー卜と前記液圧ポンプの両ポー卜とを一対 の流路を介してそれぞれ接続し、 前記液圧ァクチユエ一夕の駆動により 固定側に押し当てる液圧装置において、
前記液圧ァクチユエ一夕を押し当てた状態で、 前記一対の流路のうち の高圧側の流路を低圧側に連通するリーク流路に絞りを介装したことを 特徴とする液圧装置がそれである。
かつ、 前記液圧ァクチユエ一夕による移動を検出する移動検出センサ により検出される位置に基づいて前記電動モータを制御する位置制御手 段と、
前記高圧側の流路の圧力を検出する圧力センサにより検出される圧力 に基づいて前記電動モータを制御する圧力制御手段とを備え、
更に、 前記位置制御手段による前記電動モータの制御を前記圧力制御 手段による制御に切リ替える切替手段を設けてもよい。前記切替手段は、 前記移動検出センサによる検出に基づいて、 前記位置制御手段による前 記電動モータの制御を前記圧力制御手段による制御に切リ替えるように してもよい。 前記液圧ァクチユエ一夕は片ロッ ド型の液圧シリンダ、 又 は両ロッ ド型の液圧シリンダ、 又は油圧モータのいずれかであってもよ く、 前記液圧ポンプはピストンポンプであってもよい。 更に、 前記リー ク流路に電磁開閉弁を介装してもよい。 図面の簡単な説明
図 1 は、 本発明の一実施形態としての液圧装置の回路図であり、 図 2は、 従来の電動モータの駆動と停止とが繰り返される制御での圧 力変化を示すグラフである。 発明を実施するための最良の形態
以下本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図 1 に示すように、 1 は液圧ポンプで、 両方向の回転可能な斜板式ピ ス卜ンポンプであり、 正回転されたときには第 1 ポー卜 2側から作動液 を吸入して第 2ポー卜 4側に吐出すると共に、 逆回転されたときには第 2ポー卜 4側から作動液を吸入して第 1 ポー卜 2側から吐出する。 液圧 ポンプ は、 サ一ポモ一夕等の電動モータ 6により回転駆動されるよう に接続されている。
第 1 ポー卜 2、 第 2ポー卜 4にはそれぞれロッ ド側流路 8、 ヘッ ド側 流路 1 0が接続されている。 ロッ ド側流路 8は片ロッ ド型の液圧シリン ダ 1 2のロッ ド側ポー卜 1 4に接続されており、 へッ ド側流路 1 0は液 圧シリンダ 1 2のヘッド側ポー卜 1 6に接続されている。 尚、 片ロッ ド 型の液圧シリンダ 1 2に限らず、 両ロッ ド型の液圧シリンダや液圧モ一 夕であってもよく、 液圧ァクチユエ一夕であれば実施可能である。
口ッ ド側流路 8には低圧側としてのタンク 1 8がパイロットチェック 弁 2 0を介して接続されており、 パイロッ トチェック弁 2 0はタンク 1 8からロッ ド側流路 8への流出を許容する方向に設けられている。 パイ ロッ トチェック弁 2 0はへッ ド側流路 1 0の液圧をパイ口ッ卜圧として 導入し、 ヘッ ド側流路 1 0の液圧が上昇したときに開弁してロッ ド側流 路 8とタンク 1 8とを連通するように接続されている。
更に、 へッ ド側流路 1 0はタンク 1 8とパイロッ トチェック弁 2 2を 介して接続されており、 パイロッ トチェック弁 2 2はタンク 1 8からへ ッド側流路 1 0への流出を許容する方向に設けられている。 パイロッ ト チェック弁 2 2はロッ ド側流路 8の液圧をパイロッ 卜圧として導入し、 ロッド側流路 8の液圧が上昇したときに開弁してへッ ド側流路 1 0と夕 ンク 1 8とを連通するように接続されている。
本実施形態では、 液圧シリンダ 1 2は、 ロッ ド 2 4を介して被搬送体 2 6を移動するように構成されており、 移動した被搬送体 2 6を壁 2 8 等の固定側に押し当てるように構成されている。 尚、 固定側としては、 壁に限らず、 ロッ ド 2 4を固定側としての図示しないス卜ツバに押し当 てるような構成でもよい。
押し当てた状態では、 ヘッド側流路 1 0を介してヘッド側ポー卜 1 6 から液圧シリンダ 1 2に高圧作動油が供給される。 このヘッ ド側流路 1 0には、 タンク 1 8に連通したリーク流路 3 0が接続されている。 リー ク流路 3 0には電磁開閉弁 3 1 と可変絞り 3 2とが介装されている。 本実施形態では、 ロッ ド 2 4を突き出して、 固定側に押し当てる構成 としているが、 ロッ ド 2 4を引き込み側に移動したときに、 被搬送体 2 6を固定側に押し当てる構成とした際には、 口ッ ド側流路 8にリーク流 路 3 0、 電磁開閉弁 3 1 、 可変絞り 3 2を設ければよい。
一方、 液圧シリンダ 1 2による被搬送体 2 6の移動を検出する移動検 出センサ 3 4が設けられており、 移動検出センサ 3 4は被搬送体 2 6の 移動に応じた移動位置信号を出力する。 また、 ヘッド側流路 1 0には、 圧力センサ 3 6が設けられており、 圧力センサ 3 6はへッド側流路 1 0 の圧液の圧力を検出して圧力信号を出力する。
移動検出センサ 3 4は、 位置制御回路 3 8に接続されており、 圧力セ ンサ 3 6は圧力制御回路 4 0に接続されている。 位置制御回路 3 8と圧 力制御回路 4 0とは、 切替回路 4 2を介して電動モー夕 6に接続されて いる。 これらの回路は、 ハードにより構成しても、 ソフトにより構成し てもよい。 位置制御回路 3 8は、 移動検出センサ 3 4からの移動位置信 号に基づいて、 電動モータ 6を制御して、 予め設定された移動位置に被 搬送体 2 6を移動するように構成されている。
圧力制御回路 4 0は、 圧力センサ 3 6により検出されるへッ ド側流路 1 0の圧液の圧力が、 予め設定された指定圧となるように、 電動モータ 6を制御するように構成されている。 即ち、 電動モータ 6を正回転させ て、 ヘッ ド側流路 1 0に液圧ポンプ 1 から圧液を吐出して、 ヘッ ド側流 路 1 0の圧液の圧力が指定圧となるように制御する。
切替回路 4 2は、 位置制御回路 3 8からの信号により電動モータ 6を 制御するか、圧力制御回路 4 0の信号により電動モータ 6を制御するか、 を切り替える構成のものである。 例えば、 移動検出センサ 3 4によリ検 出される被搬送体 2 6の移動位置が、 壁 2 8に押し当てられた状態とな つたときに、 位置制御回路 3 8による制御から、 圧力制御回路 4 0によ る制御に切リ替えるように構成されている。
次に、 前述した本実施形態の液圧装置の作動について説明する。
まず、 電動モータ 6を正回転させると、 第 1 ポー卜 2側から作動液を 吸入して第 2ポー卜 4側から圧液を吐出する。 よって、 液圧シリンダ 1 2のロッ ド側ポー卜 Ί 4からロッド側流路 8を介して液圧ポンプ 1 の第 1 ポート 2に作動液が吸入される。 そして、 第 2ポー卜 4からへッド側 流路 1 0、 ヘッ ド側ポー卜 1 6を介して液圧シリンダ 1 2に圧液が供給 される。 これにより、 ロッド 2 4が突き出し側に駆動される。
このとき、 ロッ ド側ポー卜 1 4から吐出される作動液量と、 ヘッド側 ポー卜 1 6から流入する圧液量とでは、 ロッ ド 2 4の体積分の差が生じ る。 このときの不足分の作動液は、 ロッド側流路 8の圧力が低下するこ とから、 パイロッ トチェック弁 2 0が開弁されて、 タンク 1 8からパイ ロッ トチェック弁 2 0を介してロッド側流路 8に補給される。
また、 電動モータ 6を逆回転させると、 液圧シリンダ 1 2のヘッ ド側 ポー卜 1 6、 へッ ド側流路 1 0を介して液圧ポンプ 1 の第 2ポート 4か ら作動液が吸入され、 第 1 ポー卜 2、 ロッ ド側流路 8、 ロッド側ポー卜 1 4を介して液圧シリンダ 1 2に圧液が供給される。 よって、 ロッ ド 2 4が引き込み側に駆動される。
このとき、 前述したと同様に、 ヘッ ド側ポート 1 6から吐出される作 動液量と、 ロッ ド側ポー卜 1 4から流入する圧液量とでは、 ロッ ド 2 4 の体積分の差が生じる。 その余分な作動液は、 ロッ ド側流路 8からパイ 口ッ 卜圧の作用によりパイ口ッ卜チェック弁 2 2が開弁されて、 ヘッ ド 側流路 1 0からタンク 1 8に吐出される。 尚、 液圧シリンダ 1 2が両口 ッド式である場合には、 パイロッ トチェック弁 2 0， 2 2を設ける必要 がない。
切替回路 4 2により、 電動モータ 6が位置制御回路 3 8と接続されて いるときには、被搬送体 2 6は、予め設定された位置に移動するように、 移動検出センサ 3 4により被搬送体 2 6の移動位置を検出すると共に、 被搬送体 2 6の移動速度が予め設定された速度となるように、 電動モー 夕 6の回転数が制御される。
図 1 に示すように、被搬送体 2 6を液圧シリンダ 1 2により移動して、 固定側としての壁 2 8に押し当てた状態として保持するときには、 切替 回路 4 2により圧力制御回路 4 0と電動モータ 6とを接続するように切 リ替える。 切替回路 4 2による接続の切替は、 移動検出センサ 3 4によ リ検出される被搬送体 2 6の移動位置に基づいて行うか、 あるいは、 圧 力センサ 3 6により検出される圧力が、 所定値以上となったときに行う ようにするとよい。
圧力制御回路 4 0は、 圧力センサ 3 6により検出されるへッ ド側流路 1 0の圧液の圧力に基づいて、 電動モータ 6を制御する。 まず、 電磁開 閉弁 3 1 に励磁信号を出力して、 電磁開閉弁 3 1 を開弁する。 これによ リ、 ヘッ ド側流路 1 0では、 タンク 1 8に、 電磁開閉弁 3 1及び可変絞 リ弁 3 2を介して、 リーク流路 3 0から圧液が戻る。
圧力制御回路 4 0は、 圧力センサ 3 6により検出される圧力が予め設 定された指定圧となるように電動モータ 6の回転を制御する。 液圧ボン プ 1 の内部リークによる圧液量や、 リーク流路 3 0からタンク 1 8に戻 る圧液量よりも、 液圧ポンプ 1 から吐出される圧液量が多ければ、 へッ ド側流路 1 0の圧力は上昇する。 一方、 吐出量が少なければ、 ヘッ ド側 流路 1 0の圧力は低下する。 従って、 リーク流路 3 0からタンク 1 8に 圧液を戻すようにしても、 ヘッド側流路 1 0の圧力を制御できる。
また、 液圧ポンプ 1 を駆動するためには、 ヘッド側流路 1 0の圧力に よる逆方向回転トルクと、 液圧ポンプ 1 を駆動する際の摩擦トルクとの 合計以上のトルクを最低限必要とする。 このトルクよりも僅かに大きい トルクで電動モータ 6を駆動して、液圧ポンプ 1 から圧液を吐出させる。 そして、 可変絞り 3 2の開度を調整して、 余分な圧液をタンク 1 8に戻 すようにして、 電動モータ 6を常に低速で回転させるようにすれば、 へ ッド側流路 1 0内の圧力は指定圧に制御される。 また、 電動モータ 6は 常時回転を継続するので、 電動モータ 6の回転と停止とを繰り返す制御 がなされることはない。
可変絞り 3 2の開度は、 実験等により設定すればよく、 予め開度が決 定している場合には、 固定絞りであっても実施可能である。 また、 電磁 開閉弁 3 1 は必要に応じて設ければよく、 電磁開閉弁 3 1 を設けること なく、 切替回路 4 2の切替にかかわらず、 常にリーク流路 3 0からタン ク 1 8に圧液をリークさせるように構成しても実施可能である。
以上本発明はこの様な実施形態に何等限定されるものではなく、 本発 明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態様で実施し得る。
以上詳述したように本発明の液圧装置は、 液圧ァクチユエ一夕を押し 当てた状態で、 高圧側の流路の圧液を絞りを介してリーク流路から低圧 側に戻すので、 電動モータの駆動と停止とが繰り返される制御を行わな いので、 安定した押し当てを行うことができるという効果を奏する。 産業上の利用可能性
本願発明によれば、 安定した押し当てができる液圧装置を提供するこ とができる。

Claims

請求の範囲
1 . 電動モータにより駆動され両方向回転可能な液圧ポンプを備え、 液圧ァクチユエ一夕の両ポ一卜と前記液圧ポンプの両ポー卜とを一対 の流路を介してそれぞれ接続し、 前記液圧ァクチユエ一夕の駆動により 固定側に押し当てる液圧装置において、
前記液圧ァクチユエ一夕を押し当てた状態で、 前記一対の流路のうち の高圧側の流路を低圧側に連通するリーク流路に絞りを介装したことを 特徴とする液圧装置。
2 . 更に、 前記液圧ァクチユエ一夕による移動を検出する移動検出セン サにより検出される位置に基づいて前記電動モータを制御する位置制御 手段と、
前記高圧側の流路の圧力を検出する圧力センサによリ検出される圧力 に基づいて前記電動モータを制御する圧力制御手段とを備え、
かつ、 前記位置制御手段による前記電動モータの制御を前記圧力制御 手段による制御に切リ替える切替手段を設けたことを特徴とする請求項 1 記載の液圧装置。
3 . 前記切替手段は、 前記移動検出センサによる検出に基づいて、 前記 位置制御手段による前記電動モータの制御を前記圧力制御手段による制 御に切リ替えることを特徴とする請求項 1 又は請求項 2記載の液圧装置 (
4 . 前記液圧ァクチユエ一夕は片ロッ ド型の液圧シリンダ、 又は両口ッ ド型の液圧シリンダ、 又は油圧モータのいずれかであることを特徴とす る請求項 1 ないし請求項 3記載の液圧装置。
5 . 前記液圧ポンプはビストンポンプであることを特徴とする請求項 1 ないし請求項 4記載の液圧装置。
6 . 前記リーク流路に電磁開閉弁を介装したことを特徴とする請求項 1 ないし請求項 5記載の液圧装置 <
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