JP3569669B2

JP3569669B2 - 電動空気圧シリンダ

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Publication number: JP3569669B2
Application number: JP2000289709A
Authority: JP
Inventors: 満妹尾; 護平張; 尚武小根山
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2000-09-25
Filing date: 2000-09-25
Publication date: 2004-09-22
Anticipated expiration: 2020-09-25
Also published as: JP2002098108A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空気圧シリンダ、方向制御弁、ポンプ、電動機からなる空気圧シリンダシステムを一体に結合した電動空気圧シリンダに関する。
【０００２】
【従来の技術】
空気圧シリンダシステムにおいては、空気圧源と複数個の方向制御弁とを配管を介して連通させ、各方向制御弁と各空気圧シリンダとをさらに配管を介して連通させていた。そのため、配管とそのためのスペースを要し、また方向制御弁と空気圧シリンダとの間の配管中の圧縮空気が完全には利用されず、また空気圧シリンダの応答が抑制されていた。こうした欠点をなくすため、空気圧シリンダ・複動形アクチュエータ、ポンプ、電動機等を一体に結合して電動空気圧シリンダとなし、電動空気圧シリンダ中の配管・連通路を短くし、電動空気圧シリンダを電気配線で接続するだけで空気圧シリンダを作動させることが考えられた（特開昭５０−６５７７５号公報、特開昭６３−１３５６０３号公報参照）。
【０００３】
特開昭５０−６５７７５号公報記載の電動空気圧シリンダでは、大気から取り入れた空気をポンプ（圧縮機）で圧縮し、方向制御弁を通して空気圧シリンダのヘッド側シリンダ室又はロッド側シリンダ室に流入させ、ピストンを移動させている。また、特開昭６３−１３５６０３号公報記載の操作駆動装置では、複動形アクチュエータのヘッド側シリンダ室及びロッド側シリンダ室がポンプの吸入側及び吐出側にそれぞれ連通され、ポンプの駆動によりヘッド側シリンダ室とロッド側シリンダ室との間に圧力差が生じて、ロッドが移動する。そして、これらの２従来例では、ポンプの停止時には、空気圧シリンダのヘッド側シリンダ室とロッド側シリンダ室とが同圧になるように構成されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来例では、ポンプの停止時には空気圧シリンダのヘッド側シリンダ室とロッド側シリンダ室とが同圧になっており、ピストンを移動させるには、同圧（例えば大気圧）の状態から所定の圧力差のある状態にさせる必要があった。そのため、移送させる空気量が多く、急速移動のためには大型のポンプを必要としていた。
本発明は、電動空気圧シリンダにおいて、ピストン移動後の圧縮空気を保存しておき、その圧縮空気をピストンの移動に利用することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、空気圧シリンダ、方向制御弁、ポンプ、電動機が一体に結合された電動空気圧シリンダにおいて、空気圧シリンダのロッド側ポート及びヘッド側ポートが方向制御弁の２つのシリンダ側連通ポートにそれぞれ連通され、方向制御弁の２つのポンプ側連通ポートが双方向形ポンプの２つの流入流出孔にそれぞれ連通され、方向制御弁が停止位置にあるときに、空気圧シリンダのロッド側シリンダ室・ヘッド側シリンダ室の一方のシリンダ室に圧縮空気が充填、保持されているとともに他方のシリンダ室が大気に連通され、方向制御弁が作動位置に切り換えられると、双方向形ポンプが作動して空気圧シリンダのロッド側シリンダ室・ヘッド側シリンダ室の一方のシリンダ室の圧縮空気が他方のシリンダ室へ移送されて、空気圧シリンダのピストンが移動され、ピストンの停止後に他方のシリンダ室に圧縮空気が充填されることを第１構成とする。
本発明は、第１構成において、方向制御弁が作動位置にあるときに、大気中の空気が方向制御弁の空気流入ポートを通って双方向形ポンプに吸込み可能とされることを第２構成とする。
本発明は、空気圧シリンダ、方向制御弁、ポンプ、電動機が一体に結合された電動空気圧シリンダにおいて、空気圧シリンダのロッド側ポート及びヘッド側ポートが方向制御弁の２つのシリンダ側連通ポートにそれぞれ連通され、方向制御弁のポンプ吐出側連通ポート及びポンプ吸込側連通ポートが一方向形ポンプの吐出側孔及び吸込側孔にそれぞれ連通され、方向制御弁が停止位置にあるときに、空気圧シリンダのロッド側シリンダ室・ヘッド側シリンダ室の一方のシリンダ室に圧縮空気が充填、保持されているとともに他方のシリンダ室が大気に連通され、方向制御弁が作動位置に切り換えられると、一方向形ポンプが作動して空気圧シリンダのロッド側シリンダ室・ヘッド側シリンダ室の一方のシリンダ室の圧縮空気が他方のシリンダ室へ移送されて、空気圧シリンダのピストンが移動され、ピストンの停止後に他方のシリンダ室に圧縮空気が充填されることを第３構成とする。
本発明は、第３構成において、方向制御弁が作動位置にあるとき、大気中の空気が方向制御弁の空気流入ポートを通って一方向形ポンプに吸込み可能とされることを第４構成とする。
本発明は、第４構成において、方向制御弁の空気流入ポートとポンプ吸込側連通ポートとの間に逆止弁が連通され、逆止弁が空気流入ポートからポンプ吸込側連通ポートへの空気の流れのみを許し、反対方向への空気の流れを阻止することを第５構成とする。
本発明は、第１〜第５構成において、他方のシリンダ室に圧縮空気が充填され、他方のシリンダ室の圧力が設定値に達すると、方向制御弁が停止位置に切り換えられることを第６構成とする。
なお、本発明において、空気圧シリンダとは、容積式複動アクチュエータを意味し、複動形空気圧シリンダ、ロータリアクチュエータ等を包含することと解釈する。
【０００６】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の電動空気圧シリンダの実施の形態第１の構成を示す。実施の形態第１の電動空気圧シリンダは、空気圧シリンダ１０、方向制御弁１１、双方向形ポンプ１２、可逆回転形電動機１３からなる空気圧シリンダシステムを一体に結合したものである。図１では、空気圧シリンダ１０と一点鎖線内の各機器を配管で連通させた状態が示されているが、ブロックに形成した通路によって各機器を連通させてもよい。
【０００７】
方向制御弁１１は、４位置５ポート方向制御弁であり、シリンダ側連通ポート２，４、ポンプ側連通ポート１，３、空気流入ポート５を有する。方向制御弁１１の機能は、図１の記号に示す通りであり、位置▲１▼（右端位置）及び位置▲３▼（左端位置）が作動位置であり、位置▲２▼（右から２番目の位置）及び位置▲４▼（左から２番目の位置）が停止位置である。作動位置では圧縮空気を空気圧シリンダ１０へ流してピストン１８を移動させ、停止位置ではピストン１８を停止させる。
【０００８】
位置▲１▼では、ポート１と２とが連通され、かつポート３と４とが連通され、ポート５は逆止弁を介してポート３と４との連通路に連通され、この逆止弁は空気流入ポート５からポート３への空気の流れのみを許し、反対方向への空気の流れを阻止する。位置▲２▼では、ポート２が閉鎖され、ポート１，３，４，５は相互に連通されている。
【０００９】
位置▲３▼では、ポート３と４とが連通され、かつポート１と２とが連通され、ポート５は逆止弁を介してポート１と２との連通路に連通され、この逆止弁は空気流入ポート５からポート１への空気の流れのみを許し、反対方向への空気の流れを阻止する。位置▲４▼では、ポート４が閉鎖され、ポート１，２，３，５は相互に連通されている。方向制御弁１１は位置決め装置１６により位置決めされ、位置決め装置１６はコントローラ（＋ドライバ）１７からの出力信号により制御される。なお、図１ではコントローラ１７と各機器とを接続する配線は、原則として省略されている。
【００１０】
空気圧シリンダ１０のシリンダ孔内にはピストン１８が摺動自在に嵌合され、ピストン１８にはピストンロッド１９が連結されている。空気圧シリンダ１０には、ロッド側シリンダ室２２に連通されるロッド側ポート２０、及びヘッド側シリンダ室２３に連通されるヘッド側ポート２１がそれぞれ形成されている。空気圧シリンダ１０のロッド側ポート２０及びヘッド側ポート２１は、方向制御弁１１のシリンダ側連通ポート２，４に通路３８，３９によってそれぞれ連通されている。通路３８，３９には圧力センサ４４，４５が配設され、圧力センサ４４，４５の出力信号はコントローラ１７に入力されるように接続されている。
【００１１】
双方向形ポンプ１２は可逆回転形電動機１３により駆動され、可逆回転形電動機１３の駆動はコントローラ１７からの出力信号により制御される。双方向形ポンプ１２には流入流出孔２５，２６が形成され、流入流出孔２５，２６は通路４０，４１によって方向制御弁１１のポンプ側連通ポート１，３にそれぞれ連通されている。なお、可逆回転形電動機１３を右回転させると双方向形ポンプが右回転し、流入流出孔２６から吸い込んだ流体が流入流出孔２５から吐出され、その逆回転のときは逆方向に流体が流れるようにされている。
【００１２】
図１，図３を参照して、本発明の実施の形態第１の作動について説明する。長時間休止後の初期状態（方向制御弁１１は位置▲２▼にある）において、空気圧シリンダ１０のロッド側シリンダ室２２及びヘッド側シリンダ室２３の圧力はともに大気圧である。初期充填をするため、時点Ｔ_１において、コントローラ１７からの制御信号により、方向制御弁１１が位置▲１▼に切り換えられ、同時に可逆回転形電動機１３が右回転駆動させられる。
【００１３】
双方向形ポンプが右回転し、流入流出孔２６から吸い込んだ空気を流入流出孔２５から吐出しようとするので、空気圧シリンダ１０のヘッド側シリンダ室２３の空気はヘッド側ポート２１、通路３９、方向制御弁１１のポート４・連通路・ポート３、通路４１を通ってポンプ１２の流入流出孔２６から吸い込まれる。ヘッド側シリンダ室２３の空気が大気圧未満になると、空気が方向制御弁１１の空気流入ポート５・逆止弁・連通路・ポート３、通路４１を通って流入流出孔２６から吸い込まれる。
【００１４】
ポンプ１２の流入流出孔２５から吐出される圧縮空気は、通路４０、方向制御弁１１のポート１・連通路・ポート２、通路３８、ロッド側ポート２０を通って空気圧シリンダ１０のロッド側シリンダ室２２に流入、充填される。空気圧シリンダ１０のピストン１８は左ストローク端（後退位置）に位置し、ロッド側シリンダ室２２の圧力は、図３に示されているように、大気圧から徐々に上昇し、時点Ｔ_２においてＰ_１（設定値）になる。このとき、ロッド側シリンダ室２２の圧力Ｐ_１が圧力センサ４４により検出され、圧力センサ４４からの圧力Ｐ_１値の出力信号がコントローラ１７に入力される。
【００１５】
圧力Ｐ_１の入力信号に応答して、コントローラ１７から、電動機１３の制御部に停止信号が出力されると同時に、方向制御弁１１の位置決め装置１６に位置▲２▼への切換信号が出力される。電動機１３・ポンプ１２が直ちに停止し、方向制御弁１１が位置▲１▼から位置▲２▼に切り換えられる。位置▲２▼において、方向制御弁１１のシリンダ側連通ポート２はブロックされているので、ロッド側シリンダ室２２及び通路３８の圧力がＰ_１に保持されている。また、方向制御弁１１のポート１，３，４，５が相互に連通されているので、空気圧シリンダ１０のヘッド側シリンダ室２３等の圧力が大気圧となる。初期充填（時間Ｔ_２−Ｔ_１）は、ピストン１８の停止時に行われるので、相当長くすることが可能であり、小形ポンプを用いてゆっくり初期充填を行うことができる。なお、後述の補給充填も、ピストン１８の停止時に行われるので、長い時間をかけることが可能である。
【００１６】
ピストン１８を前進（押出駆動）させたいときは、時点Ｔ_３で、コントローラ１７からの出力信号により、電動機１３を左回転駆動させ、同時に方向制御弁１１を位置▲２▼から位置▲３▼へ切り換える。双方向形ポンプ１２が左回転し、流入流出孔２５から吸い込んだ空気を流入流出孔２６から吐出しようとし、また空気圧シリンダ１０のロッド側シリンダ室２２とヘッド側シリンダ室２３との間に圧力差ΔＰが存在し、圧力差ΔＰによって空気が移動しようとする。
【００１７】
空気圧シリンダ１０のロッド側シリンダ室２２の空気は、ロッド側ポート２０、通路３８、方向制御弁１１のポート２・連通路・ポート１、通路４０、ポンプ１２の流入流出孔２５・２６、通路４１、方向制御弁１１のポート３・連通路・ポート４、通路３９、ヘッド側ポート２１を通って空気圧シリンダ１０のヘッド側シリンダ室２３へ還流する。この還流により、ピストンロッド１９は前進を開始する。還流は、主としてロッド側シリンダ室２２とヘッド側シリンダ室２３との間に圧力差ΔＰに起因するものであり、ポンプ１２の圧縮力は殆ど受けないので、空気は殆ど加熱されない。
【００１８】
図３に示すように、還流により時点Ｔ_３からヘッド側シリンダ室２３の圧力（破線）が急上昇し、ロッド側シリンダ室２２の圧力（実線）は少々下降し、時点Ｔ_３＋ａで
〔ヘッド側シリンダ室２３の圧力〕−〔ロッド側シリンダ室２２の圧力〕＝ΔＰ
となり、ピストン１８・ピストンロッド１９が前進し、押出駆動される。この状態が継続し、やがてピストン１８が右ストローク端に到達して停止し、この時点をＴ_３＋ｂとする。前進は時点Ｔ_３から時点Ｔ_３＋ｂにかけて行われる。
【００１９】
ピストン１８の停止後もポンプ１２は回転を継続して、ロッド側シリンダ室２２の空気がポンプ１２の圧縮作用によりヘッド側シリンダ室２３に補給充填され、ヘッド側シリンダ室２３の圧力が更に上昇し始める。そして、ロッド側シリンダ室２２の断面積はヘッド側シリンダ室２３の断面積よりもピストンロッド１９の断面積だけ小さいので、ヘッド側シリンダ室２３の圧力がＰ_１に達する前（時点Ｔ_３＋ｃ）に、ロッド側シリンダ室２２の圧力は大気圧未満となる。
【００２０】
ロッド側シリンダ室２２の圧力が大気圧未満となると、大気中の空気が方向制御弁１１の空気流入ポート５・逆止弁・連通路・ポート１、通路４０を通って流入流出孔２５からポンプ１２に吸い込まれ、ポンプ１２からの吐出空気はヘッド側シリンダ室２３に補給充填される。ヘッド側シリンダ室２３の圧力は上昇を続け、時点Ｔ_４においてＰ_１になる。補給充填は、時点Ｔ_３＋ｂから時点Ｔ_４にかけて行われたこととなる。ヘッド側シリンダ室２３の圧力Ｐ_１が圧力センサ４５により検出され、圧力センサ４５からの圧力Ｐ_１値の出力信号がコントローラ１７に入力される。
【００２１】
圧力Ｐ_１の入力信号に応答して、コントローラ１７から、電動機１３の制御部に停止信号が出力されると同時に、方向制御弁１１の位置決め装置１６に位置▲４▼への切換信号が出力される。電動機１３・ポンプ１２が直ちに停止し、方向制御弁１１が位置▲３▼から位置▲４▼に切り換えられる。方向制御弁１１のポート１，２，３，５が相互に連通されているので、空気圧シリンダ１０のロッド側シリンダ室２２等の圧力が大気圧となる。方向制御弁１１のシリンダ側連通ポート４はブロックされているので、ヘッド側シリンダ室２３及び通路３９の圧力がＰ_１に保持され、ピストンロッド１９にＳ（ピストン１８のヘッド側受圧面積）×圧力Ｐ_１の加圧力が発生する。
【００２２】
ピストンロッド１９を後退させたいときは、時点Ｔ_５で、コントローラ１７からの出力信号により、電動機１３を右回転駆動させ、方向制御弁１１を位置▲４▼から位置▲１▼へ切り換える。双方向形ポンプ１２が右回転し、流入流出孔２６から吸い込んだ空気を流入流出孔２５から吐出しようとし、また空気圧シリンダ１０のヘッド側シリンダ室２３とロッド側シリンダ室２２との間に圧力差ΔＰが存在し、圧力差ΔＰによって空気が移動しようとする。
【００２３】
ヘッド側シリンダ室２３の圧縮空気が方向制御弁１１、ポンプ１２、方向制御弁１１を通ってロッド側シリンダ室２２へ還流してピストンロッド１９が後退し、時点Ｔ_５＋ｄでロッド側シリンダ室２２とヘッド側シリンダ室２３との間に所定の圧力差が生じ、ピストンロッド１９が後退を続ける。時点Ｔ_５＋ｅでピストン１８が左ストローク端に達し、補給充填が行われ、時点Ｔ_６でロッド側シリンダ室２２の圧力がＰ_１となり、方向制御弁１１が位置▲２▼に切り換えられ、電動機１３・ポンプ１２が停止する。ヘッド側シリンダ室２３の圧力は、方向制御弁１１が位置▲２▼に切り換えられた後に、大気圧になる。
【００２４】
図２は本発明の電動空気圧シリンダの実施の形態第２の構成を示す。実施の形態第２の説明において、実施の形態第１と同じ部材には同一の符号を付す。実施の形態第２では、一方向回転形電動機１３Ａ、一方向形ポンプ１２Ａを用い、それに応じて方向制御弁１１Ａの機能を変更したものであり、空気圧シリンダ１０等の構成及び空気圧シリンダ１０の作動は実施の形態第１と同じである。
【００２５】
実施の形態第２の方向制御弁１１Ａは、ポート１〜５、位置▲１▼，▲２▼，▲４▼の機能が実施の形態第１の方向制御弁１１と同じであり（ただしポート１はポンプ吐出側連通ポートと称し、ポート３はポンプ吸込側連通ポートと称する）、位置▲３▼の機能のみが方向制御弁１１と異なる。位置▲３▼では、ポート１と４とが連通され、かつポート２と３とが連通され、ポート５は逆止弁を介してポート２と３との連通路に連通され、この逆止弁は空気流入ポート５からポート３への空気の流れのみを許し、反対方向への空気の流れを阻止する。そして、一方向回転形電動機１３Ａは右回転駆動のみを行い、従って一方向形ポンプ１２Ａは右方向回転のみを行い、常に空気を吸込孔２６Ａから吸い込み、吐出孔２８から吐出する。実施の形態第１のその他の構成は、実施の形態第１の構成と同様である。
【００２６】
図２，図３を参照して、本発明の実施の形態第２の作動について説明する。実施の形態第２の空気圧シリンダ１０の動きは、図３に示す通り、実施の形態第１と同様である。そして、実施の形態第２の空気の流れは、時点Ｔ_１から時点Ｔ_３まで及び時点Ｔ_４から時点Ｔ_６までは実施の形態第１と同様であり、時点Ｔ_３から時点Ｔ_４までの押出駆動及び補給充填のみが実施の形態第１と異なる。
【００２７】
ピストン１８を前進（押出駆動）させたいときは、時点Ｔ_３で、電動機１３Ａを右回転駆動させ、同時に方向制御弁１１Ａを位置▲２▼から位置▲３▼へ切り換える。一方向形ポンプ１２Ａが右回転し、吸込孔２６Ａから吸い込んだ空気を吐出孔２５Ａから吐出しようとし、また空気圧シリンダ１０のロッド側シリンダ室２２とヘッド側シリンダ室２３との間に圧力差ΔＰが存在し、圧力差ΔＰによって空気が移動しようとする。
【００２８】
空気圧シリンダ１０のロッド側シリンダ室２２の空気は、通路３８、方向制御弁１１のポート２・連通路・ポート３、通路４１、ポンプ１２Ａの吸込孔２６Ａ・吐出孔２５Ａ、通路４０、方向制御弁１１のポート１・連通路・ポート４、通路３９を通って空気圧シリンダ１０のヘッド側シリンダ室２３へ還流し始める。このとき、ピストンロッド１９は前進を開始する。
【００２９】
時点Ｔ_３＋ａでヘッド側シリンダ室２３の圧力とロッド側シリンダ室２２の圧力との差がΔＰとなり、この圧力差ΔＰによりピストン１８・ピストンロッド１９が前進し、押出駆動される。時点Ｔ_３＋ｂでピストン１８が右ストローク端に到達して停止し、ピストンロッド１９の停止後もポンプ１２Ａは回転を継続する。ロッド側シリンダ室２２の空気がポンプ１２Ａの圧縮作用によりヘッド側シリンダ室２３に補給充填され、ヘッド側シリンダ室２３の圧力が更に上昇し始める。
【００３０】
ヘッド側シリンダ室２３の圧力がＰ_１に達する前（時間Ｔ_３＋ｃ）に、ロッド側シリンダ室２２の圧力は大気圧未満となる。そして、空気が方向制御弁１１の空気流入ポート５・逆止弁・連通路・ポート３、通路４１を通って吸込孔２６Ａからポンプ１２Ａに吸い込まれ、ポンプ１２Ａの吐出孔２５Ａからの吐出空気はヘッド側シリンダ室２３に補給充填する。ヘッド側シリンダ室２３の圧力は上昇を続け、時点Ｔ_４においてＰ_１になる。実施の形態第２のその他の作動は、実施の形態第１と同様である。
【００３１】
【発明の効果】
請求項１，３の電動空気圧シリンダは、ピストンの停止後にロッド側シリンダ室・ヘッド側シリンダ室の他方のシリンダ室に圧縮空気が充填され、空気圧シリンダのピストン停止時に一方のシリンダ室に圧縮空気が充填されており、方向制御弁を作動位置に切り換えたとき、ピストンは充填された圧縮空気を循環させて駆動される。このように、ピストン移動後の圧縮空気を保存しておき、その圧縮空気をピストンの移動に利用される。圧縮空気を循環させて利用するので、圧縮空気の消費が節減され、また空気の加熱が少なくなる。また、圧縮空気の充填はピストンの停止時に行われるので、相当長い時間をかけて充填すればよく、ポンプ及び電動機の小形化、従って電動空気圧シリンダの小形化が実現し、コストが低減する。
請求項２，４，５の電動空気圧シリンダは、方向制御弁が作動位置にあるときに、大気中の空気を吸い込むことができるので、圧縮空気の充填を円滑に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の電動空気圧シリンダの実施の形態第１の構成を示す図である。
【図２】本発明の電動空気圧シリンダの実施の形態第２の構成を示す図である。
【図３】本発明の電動空気圧シリンダの実施の形態第１，第２のシリンダ内圧と時間との関係を示す図である。
【符号の説明】
１０空気圧シリンダ
１１方向制御弁
１２双方向形ポンプ
１３可逆回転形電動機
２０ロッド側ポート
２１ヘッド側ポート
２２ロッド側シリンダ
２３ヘッド側シリンダ
２５流入流出孔
２６流入流出孔

Claims

空気圧シリンダ、方向制御弁、ポンプ、電動機が一体に結合された電動空気圧シリンダにおいて、空気圧シリンダのロッド側ポート及びヘッド側ポートが方向制御弁の２つのシリンダ側連通ポートにそれぞれ連通され、方向制御弁の２つのポンプ側連通ポートが双方向形ポンプの２つの流入流出孔にそれぞれ連通され、方向制御弁が停止位置にあるときに、空気圧シリンダのロッド側シリンダ室・ヘッド側シリンダ室の一方のシリンダ室に圧縮空気が充填、保持されているとともに他方のシリンダ室が大気に連通され、方向制御弁が作動位置に切り換えられると、双方向形ポンプが作動して空気圧シリンダのロッド側シリンダ室・ヘッド側シリンダ室の一方のシリンダ室の圧縮空気が他方のシリンダ室へ移送されて、空気圧シリンダのピストンが移動され、ピストンの停止後に他方のシリンダ室に圧縮空気が充填されることを特徴とする電動空気圧シリンダ。
方向制御弁が作動位置にあるときに、大気中の空気が方向制御弁の空気流入ポートを通って双方向形ポンプに吸込み可能とされる請求項１の電動空気圧シリンダ。
空気圧シリンダ、方向制御弁、ポンプ、電動機が一体に結合された電動空気圧シリンダにおいて、空気圧シリンダのロッド側ポート及びヘッド側ポートが方向制御弁の２つのシリンダ側連通ポートにそれぞれ連通され、方向制御弁のポンプ吐出側連通ポート及びポンプ吸込側連通ポートが一方向形ポンプの吐出側孔及び吸込側孔にそれぞれ連通され、方向制御弁が停止位置にあるときに、空気圧シリンダのロッド側シリンダ室・ヘッド側シリンダ室の一方のシリンダ室に圧縮空気が充填、保持されているとともに他方のシリンダ室が大気に連通され、方向制御弁が作動位置に切り換えられると、一方向形ポンプが作動して空気圧シリンダのロッド側シリンダ室・ヘッド側シリンダ室の一方のシリンダ室の圧縮空気が他方のシリンダ室へ移送されて、空気圧シリンダのピストンが移動され、ピストンの停止後に他方のシリンダ室に圧縮空気が充填されることを特徴とする電動空気圧シリンダ。
方向制御弁が作動位置にあるとき、大気中の空気が方向制御弁の空気流入ポートを通って一方向形ポンプに吸込み可能とされる請求項３の電動空気圧シリンダ。
方向制御弁の空気流入ポートとポンプ吸込側連通ポートとの間に逆止弁が連通され、逆止弁が空気流入ポートからポンプ吸込側連通ポートへの空気の流れのみを許し、反対方向への空気の流れを阻止する請求項４の電動空気圧シリンダ。
他方のシリンダ室に圧縮空気が充填され、他方のシリンダ室の圧力が設定値に達すると、方向制御弁が停止位置に切り換えられる請求項１〜５のいずれかひとつの電動空気圧シリンダ。