JP3775982B2

JP3775982B2 - 流体圧シリンダ装置

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Publication number: JP3775982B2
Application number: JP2000339927A
Authority: JP
Inventors: 真廣島
Original assignee: 太陽鉄工株式会社
Priority date: 2000-11-08
Filing date: 2000-11-08
Publication date: 2006-05-17
Anticipated expiration: 2020-11-08
Also published as: JP2002147404A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高速駆動と高出力駆動（高圧駆動）とを行うことのできる流体圧シリンダ装置に関し、例えば、金型の型締め装置、圧入装置、カシメ機、刻印装置などに利用される。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、プレス装置の金型の型締めなどのために油圧シリンダが用いられる。１つの油圧シリンダで駆動するとすると、金型がワークに当たるまでの間において、油圧シリンダは高速で金型を移動させ、金型がワークに当たった後は、高出力で金型をワークに押し付ける。
【０００３】
その場合に、油圧シリンダに圧油を供給するための動力は、金型の移動時に必要な吐出量Ｑと、金型を押しつけるために必要な高出力Ｐとの両方を満足する必要がある。
【０００４】
例えば、最大速度を５００ｍｍ／ｓｅｃ、最大推力を３ｔｏｎとした場合には、汎用のモータを使うと、１４．７ＫＷ（Ｗ＝Ｆ・Ｖ［Ｎ］［ｍ／ｓｅｃ］＝２９．４［ＫＮ］×５００×ｌ０^-3＝１４７００Ｎ‐ｍ／ｓｅｃ＝１４．７ＫＷ）もの大きな動力が必要となる。
【０００５】
しかし、金型がワークに当たるまでの間においては金型を移動させるだけの僅かな出力でよく、金型でワークを押し付けるときには高出力が必要であるが移動量は僅かである。そこで、そのような駆動のために、高速用と高出力用との２つの油圧シリンダを用いると次のようになる。
【０００６】
高速用として、ユニット圧力が１０Ｍｐａ、内径がφ３２（断面積が８ｃｍ²）の油圧シリンダを選定すると、吐出量が２４リットル／ｍｉｎのポンプを用いることとなり、４ＫＷの少ない動力でよいことになる。この場合に、型締め用（高出力用）の油圧シリンダは、３０ＫＮ／１０Ｍｐａ＝３０ｃｍ²が必要であるので、内径をφ６３とする必要がある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この場合には、大小２つの油圧シリンダを用いるので、装置構造が複雑となり、設置スペースも増大する。
【０００８】
そこで、例えば双方向ポンプを用い、双方向ポンプによって１つの油圧シリンダを駆動し、回路を切り換えて高速駆動と高出力駆動とを行うことが考えられる。
【０００９】
図５は回路を切り換えて高速駆動と高出力駆動とを行う油圧シリンダ装置８０の回路を示す図である。
図５において、油圧シリンダ装置８０は、油圧シリンダ８１、双方向ポンプ８２、バルブ８３、アキュムレータ８４、バルブ８５、アキュムレータ８６、コントローラ８７、およびモータＭなどからなる。
【００１０】
油圧シリンダ８１は、シリンダチューブ、ピストン、ピストンに連結されてカバーを貫通するロッドなどを有する。ロッドには中空部が設けられ、そこに高速用シリンダ室ＡＣが形成されている。通常、ロッドの径はシリンダチューブに比べてかなり小さいので、高速用シリンダ室ＡＣの有効受圧面積は小さい。ピストンの左側には、高出力用シリンダ室ＢＣが形成されている。
【００１１】
また、ピストンの右側には復動側シリンダ室ＣＣが形成されている。復動側シリンダ室ＣＣは、ロッドの外周に形成されるものであり、その有効受圧面積は高速用シリンダ室ＡＣよりもかなり大きい。
【００１２】
油圧シリンダ８１が往動するときには、双方向ポンプ８２から吐出される圧油が、高速駆動の場合にはバルブ８３がオンして高速用シリンダ室ＡＣに流入し、高出力駆動の場合にはバルブ８３がオフして高速用シリンダ室ＡＣおよび高出力用シリンダ室ＢＣの両方に流入する。
【００１３】
アキュムレータ８４は、油圧シリンダ８１の復動時には、バルブ８３がオンして高出力用シリンダ室ＢＣから排出される圧油を蓄え、油圧シリンダ８１の往動時には、高速駆動の場合にはバルブ８３がオンして蓄えた圧油を高出力用シリンダ室ＢＣに供給し、高出力駆動の場合にはバルブ８３がオフして双方向ポンプ８２の吸入側に圧油を供給する。
【００１４】
また、アキュムレータ８６は、往動時の高速駆動の場合に、バルブ８５がオンして高速用シリンダ室ＡＣと復動側シリンダ室ＣＣとの有効受圧面積の差に応じて余った圧油を蓄え、復動時に、バルブ８５がオフして蓄えた圧油を双方向ポンプ８２の吸入側に供給する。
【００１５】
しかし、この油圧シリンダ装置８０では、高速用シリンダ室ＡＣと復動側シリンダ室ＣＣとの容積差分の油量を調整するために、バルブ８５およびアキュムレータ８６からなる油量調整機構ＹＴが必要であり、それだけ回路構成が複雑となる。
【００１６】
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたもので、１つの流体圧シリンダによって高速駆動と高出力駆動を行うことができ、しかも必要な動力が少なく且つ小型であり、油量調整機構を簡素化しまたは省略して回路構成を簡単化することのできる流体圧シリンダ装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る装置は、流体圧シリンダと、前記流体圧シリンダを往復駆動するために流体を給排する２つの給排ポートを有した双方向ポンプと、前記双方向ポンプを正方向および逆方向のいずれかに選択的に回転駆動するモータと、を有しており、前記流体圧シリンダは、シリンダチューブと、前記シリンダチューブ内を摺動するピストンと、前記シリンダチューブの両端面を閉塞するカバーと、前記ピストンに連結されて一方の前記カバーを貫通するロッドと、を有し、前記流体圧シリンダの往動側のシリンダ室は、復動側のシリンダ室である復動側シリンダ室とほぼ同じ有効受圧面積を有する高速用シリンダ室と、残りの有効受圧面積を有する高出力用シリンダ室とに区分されており、前記双方向ポンプから供給される流体を、選択的に前記高出力用シリンダ室に供給するように切り換えるためのバルブが設けられており、前記バルブは、前記高速用シリンダ室に供給する流体の圧力が所定以上になったときに前記双方向ポンプから供給される流体を前記高出力用シリンダ室に供給するように構成されてなる。
【００１８】
好ましくは、前記高速用シリンダ室は、前記ロッドの内部に設けられる。
【００１９】
また、前記双方向ポンプから前記高出力用シリンダ室に流体が供給されているときには前記復動側シリンダ室に接続され、前記双方向ポンプから前記高出力用シリンダ室に流体が供給されていないときには前記高出力用シリンダ室に接続されるアキュムレータが設けられてなる。
【００２０】
また、前記ロッドの内部には、当該ロッドのストローク位置を検出するための位置検出センサが設けられる。
【００２１】
【発明の実施の形態】
図１は本発明に係る油圧シリンダ装置１の回路を示す図、図２は油圧シリンダ１１の実施形態を示す断面正面図である。
【００２２】
図１において、油圧シリンダ装置１は、油圧シリンダ１１、ポンプ１２、シーケンスバルブ１３、アキュムレータ１４、およびコントローラ１５などからなる。
【００２３】
図２に示すように、油圧シリンダ１１は、シリンダチューブ３１、シリンダチューブ３１内を摺動するピストン３２、シリンダチューブ３１の両端面をそれぞれ閉塞するカバー３４，３５、ピストン３２に連結されて一方のカバー３４を密に貫通して摺動するロッド３３、カバー３４，３５を互いに締結するタイボルト３６，３６…などからなる。
【００２４】
ロッド３３には、軸心に沿って孔４１が設けられ、孔４１の内部に高速用シリンダ室ＡＡが形成される。カバー３５には、ピストン３２を密に貫通して摺動する送油管３７が設けられる。送油管３７の内側には、一端がカバー３５に固定された固定側センサ３８ａと一端がロッド３３に固定された可動側センサ３８ｂとからなり、ロッド３３のストローク位置を計測するための位置センサ３８（３８ａ，３８ｂ）が設けられる。位置センサ３８の検出信号ＳＧＬは、コネクタＣＮを介してコントローラ１５に送られる。
【００２５】
ピストン３２、カバー３５、シリンダチューブ３１、および送油管３７で囲まれる空間には、高出力用シリンダ室ＢＡが形成される。これら、高速用シリンダ室ＡＡおよび高出力用シリンダ室ＢＡは、油圧シリンダ１１の往動側のシリンダ室が区分されて形成されたものと考えればよい。
【００２６】
他方、ピストン３２、カバー３４、シリンダチューブ３１、およびロッド３３で囲まれる空間には、復動側シリンダ室ＣＡが形成される。復動側シリンダ室ＣＡと高速用シリンダ室ＡＡとは、有効受圧面積が互いに同一となっている。したがって、ピストン３２が移動するとき、これらの一方の室から出る油量と他方の室に入る油量とは同じである。
【００２７】
なお、高速用シリンダ室ＡＡには、カバー３５に設けられた図示しないポートＰＴＡが連通し、高出力用シリンダ室ＢＡには、カバー３５に設けられたポートＰＴＢが連通し、復動側シリンダ室ＣＡには、カバー３４に設けられたポートＰＴＣが連通する。
【００２８】
ポンプ１２は、正逆の両方向に回転可能な双方向ポンプであり、油圧シリンダ１１の往動側のポートＰＴＡ，ＰＴＢ、および復動側のポートＰＴＣに対して油圧を給排する２つの給排ポートＰＡ，ＰＢを備える。ポンプ１２の給排ポートＰＡの側の回路の圧力は、圧力センサによって検出され、その検出信号ＳＧＰはコントローラ１５に送られる。
【００２９】
モータＭは、ポンプ１２を正方向および逆方向のいずれかに選択的に回転駆動する。モータＭとして、直流サーボモータまたは交流サーボモータなどが用いられる。
【００３０】
シーケンスバルブ１３は、調整バネを調整することによって所定の動作圧となるように設定されており、ポンプ１２から供給される圧油を、パイロット圧に応じて選択的に高出力用シリンダ室ＢＡに供給するように切り換える。すなわち、パイロット圧が所定圧以下の状態では、ポンプ１２の給排ポートＰＡからの圧油は、高速用シリンダ室ＡＡのみに供給され、高出力用シリンダ室ＢＡには供給されない。その状態では、高出力用シリンダ室ＢＡはアキュムレータ１４に接続される。
【００３１】
シーケンスバルブ１３のパイロット圧が所定圧以上になると、シーケンスバルブ１３が切り換わり、ポンプ１２の給排ポートＰＡからの圧油は高出力用シリンダ室ＢＡにも供給される。その状態では、アキュムレータ１４はポンプ１２の給排ポートＰＢの側に接続される。
【００３２】
コントローラ１５は、位置センサ３８および圧力センサから出力される検出信号、図示しない設定信号および指令信号などに基づいて、油圧シリンダ１１が所定の動作を行うように、または所定の位置決めを行うように、モータＭの回転方向および回転速度などを制御する。
【００３３】
これら、油圧シリンダ１１、ポンプ１２、シーケンスバルブ１３、およびアキュムレータ１４などは、ボルトなどによって互いに連結され、油圧シリンダ装置１の全体が１つのユニットとして一体に構成されている。
【００３４】
なお、各部の接続のために配管部材が設けられているが、このような配管部材を設けることなく、それに代わる流路を形成したマニホールドを設け、またはそのような流路を油圧シリンダ１１の中に組み込むことも可能である。その際に、シーケンスバルブ１３およびアキュムレータ１４をマニホールドに一体的に組み込んでもよい。
【００３５】
次に、油圧シリンダ装置１の動作および作用について説明する。
モータＭによってポンプ１２が駆動され、給排ポートＰＡから圧油が出力されると、その圧油はポートＰＴＡから高速用シリンダ室ＡＡに入る。これによって、ピストン３２が往動し、例えばロッド３３の先端に取り付けられた金型を移動させる。金型が容易に移動し、負荷が軽い場合には、ポートＰＴＡの圧力は低くなり、シーケンスバルブ１３のパイロット圧は所定圧以下となるので、圧油は高出力用シリンダ室ＢＡには供給されない。
【００３６】
つまり、油圧シリンダ１１は、高速用シリンダ室ＡＡに供給される圧油のみで作動する。したがって、油圧シリンダ１１の出力は小さいが、ピストン３２は高速で移動する。
【００３７】
ピストン３２の移動によって、復動側シリンダ室ＣＡ内の圧油がポートＰＴＣから排出され、排出された圧油がポンプ１２によってポートＰＴＡから高速用シリンダ室ＡＡ内に送られる。つまり、高速用シリンダ室ＡＡと復動側シリンダ室ＣＡとの有効受圧面積が等しいので、上に述べたような油量調整機構ＹＴなどを設けなくとも、油量に過不足が生じず、正常に作動する。
【００３８】
ピストン３２の移動にともなって高出力用シリンダ室ＢＡ内に圧油を供給する必要があるが、そのためには、アキュムレータ１４に蓄えられていた圧油が供給される。
【００３９】
金型がワークに当接するに至ってロッド３３の負荷が増大すると、ポートＰＴＡの圧力が高くなり、パイロット圧が所定圧以上となってシーケンスバルブ１３が切り換わる。これによって、ポンプ１２の給排ポートＰＡからの圧油は高出力用シリンダ室ＢＡにも流入する。そうすると、油圧シリンダ１１の出力が大きくなり、金型による型締めを行うことができる。
【００４０】
その際に、ピストン３２が移動するとそれに応じた油量を高出力用シリンダ室ＢＡにも供給する必要がある。しかし、復動側シリンダ室ＣＡから排出される油量だけでは不足するので、アキュムレータ１４に蓄えられた圧油がポンプ１２を介して高出力用シリンダ室ＢＡに供給される。
【００４１】
モータＭが逆転し、ポンプ１２が逆方向に回転駆動されると、今度は給排ポートＰＢから圧油が出力される。そのときは、シーケンスバルブ１３のパイロット圧はゼロになるので、アキュムレータ１４は高出力用シリンダ室ＢＡに接続される。
【００４２】
ポンプ１２の給排ポートＰＢから出力される圧油は復動側シリンダ室ＣＡに入り、ピストン３２を復動させる。復動側シリンダ室ＣＡの有効受圧面積は小さいので、ピストン３２は高速で移動する。
【００４３】
そのとき、高速用シリンダ室ＡＡ内の圧油は、ポンプ１２を介して復動側シリンダ室ＣＡ内に送られる。これら高速用シリンダ室ＡＡと復動側シリンダ室ＣＡとの有効受圧面積が等しいので、油量に過不足が生じず、正常に作動する。高出力用シリンダ室ＢＡからは多量の圧油が排出されるが、排出された圧油はアキュムレータ１４に蓄えられる。
【００４４】
上に述べた油圧シリンダ装置１によると、１つの油圧シリンダ１１によって、高速駆動と高出力駆動とを切り換えて行うことができる。その切り換え動作が、シーケンスバルブ１３によって自動的に行われる。
【００４５】
したがって、油圧シリンダ１１によって、例えば金型がワークに当たるまでの間において高速で金型を移動させ、金型がワークに当たった後は高出力で金型をワークに押し付けることができる。
【００４６】
しかも、高速用シリンダ室ＡＡと復動側シリンダ室ＣＡとの有効受圧面積を互いに等しくしたことによって、油量調整機構が不要となり、回路構成が簡単となる。
【００４７】
位置センサ３８の検出信号に基づき、コントローラ１５によって油圧シリンダ１１の位置決め制御を高精度に行うことができる。コントローラ１５は、モータＭを駆動するだけでよいので、制御が容易である。
【００４８】
ポンプ１２によって直接に油圧シリンダ１１を駆動するので、油タンクが不要であり、油圧シリンダ装置１の全体を小型化することができる。したがって、油圧シリンダ装置１によると、省スペース化および省エネ化を図ることができ、装置をコンパクトに構成することができる。
【００４９】
次に、他の実施形態の油圧シリンダ１１Ｂについて説明する。
図３は油圧シリンダ１１Ｂの他の実施形態を示す断面正面図である。
図３に示す油圧シリンダ１１Ｂは、基本的な構成は上の油圧シリンダ１１と同じであるが、センサ５８の構成が異なっている。
【００５０】
すなわち、送油管３７の内周面には、ロッド３３に取り付けられた保護パイプ５１が摺動可能に挿入されている。保護パイプ５１の根元には、内周面と外周面とを連通するための孔が設けられている。保護パイプ５１の先端部には、リング状の永久磁石５２が取り付けられており、永久磁石５２の中心部を、一端がカバー３５に取り付けられた位置センサ５８が貫通して移動する。
【００５１】
したがって、ロッド３３の移動とともに永久磁石５２が移動し、位置センサ５８に対して相対移動する。ここに用いられる位置センサ５８は磁歪センサであり、永久磁石５２の相対位置に応じた検出信号ＳＧＬを出力する。
【００５２】
このように、ロッド３３に保護パイプ５１を取り付け、その先端にリング状の永久磁石５２を取り付けることにより、永久磁石５２と位置センサ５８との間隙を小さくして検出感度を高めることができる。しかも、高速用シリンダ室ＡＡの有効受圧面積を充分に大きくとることができる。
【００５３】
ところで、上に述べたように、油圧シリンダ装置１では、高速用シリンダ室ＡＡと復動側シリンダ室ＣＡとの有効受圧面積を等しくしたので、油量調整機構を要しない。しかし、有効受圧面積を完全に等しくするのは容易ではない。また、実質的に等しくした場合でも、ポンプ１２の内部漏れなどによって吸入油量と排出油量とに差が生じることがある。したがって、上に述べた油圧シリンダ装置１において、そのような不平衡分を補うための簡便な補給装置を設けるのが望ましい。
【００５４】
次に、そのような補給装置ＨＫを設けた油圧シリンダ装置の他の実施形態について説明する。
図４は本発明に係る他の実施形態の油圧シリンダ装置１Ｃの回路を示す図である。
【００５５】
図４において、図１に示す油圧シリンダ装置１と同じ機能を有する要素については同じ符号を付し、説明を省略または簡略化する。
図４において、シーケンスバルブ１３Ｃは、上のシーケンスバルブ１３とポート数が異なるが、その作用は同様である。シーケンスバルブ１３Ｃのパイロット回路には、リリーフバルブ１６ａおよびチェックバルブ１６ｂが設けられ、また、給排ポートＰＢからシーケンスバルブ１３Ｃのポートに至る回路にはチェックバルブ１６ｃが設けられている。
【００５６】
また、給排ポートＰＡ，ＰＢの間には、パイロットチェック弁１７，１８およびタンク１９からなる補給装置ＨＫ１が設けられている。
パイロットチェック弁１７，１８は、２つの給排ポートＰＡ，ＰＢとタンク１９との間において、タンク１９からそれぞれの給排ポートＰＡ，ＰＢに向かう方向に自由流となるようにそれぞれ接続され、それぞれ他方の給排ポートＰＢ，ＰＡの圧力によって開く。
【００５７】
タンク１９は、油圧シリンダ１１の高速用シリンダ室ＡＡと高出力用シリンダ室ＢＡとの有効受圧面積の誤差による油量の過不足、回路の温度などによる容積変化分、および漏れによるロス分などを補う圧油を収容する。
【００５８】
次に、油圧シリンダ装置１Ｃの動作および作用について説明する。
モータＭによってポンプ１２が駆動され、給排ポートＰＡから圧油が出力されると、その圧油はポートＰＴＡから高速用シリンダ室ＡＡに入る。これによって、ピストン３２が高速で移動する。
【００５９】
ポートＰＴＡの圧力が高くなり、パイロット圧が所定圧以上となると、まず、シーケンスバルブ１３Ｃが切り換わる。これによって、アキュムレータ１４の接続が、ポートＰＴＢからチェックバルブ１６ｃの側へ切り換わる。
【００６０】
パイロット圧がさらに高くなると、リリーフバルブ１６ａが作動し、パイロット回路の圧油がポートＰＴＢから高出力用シリンダ室ＢＡに流れ込む。これによって、高出力駆動が行われる。
【００６１】
また、いずれかの給排ポートＰＡ，ＰＢの側の圧油の不足分は、タンク１９からパイロットチェック弁１７または１８を介して他方の給排ポートＰＢ，ＰＡに吸入される。
【００６２】
いずれかの給排ポートＰＡ，ＰＢの側の圧油の過剰分は、いずれかのパイロットチェック弁１７または１８を介してタンク１９に戻る。なお、このときに、他方の側の圧力により、パイロット流路を介してそのパイロットチェック弁１７または１８が開く。
【００６３】
上の実施形態において、パイロットチェック弁１７，１８を用いて補給装置ＨＫ１を構成したが、上に述べたような機能を有したものであれば、種々のチェック弁、リリーフ弁、および切り換え弁などを組み合わせて構成することが可能である。
【００６４】
上の実施形態において、油圧シリンダ１１の上にポンプ１２を連結して併置形としてもよい。また、油圧シリンダ１１の端面にポンプユニット１２を連結した一直線形としてもよい。カバー３５内にポンプを形成してもよい。油圧シリンダ１１のシリンダチューブ３１を二重構造として、そこにタンクを形成してもよい。シーケンスバルブ１３に代えて、パイロット圧で動作する切り換えバルブ、電気的に切り換える電磁式切り換えバルブなどを用いてもよい。
【００６５】
その他、油圧シリンダ装置１，１Ｃの全体または各部の構成、形状、寸法、および回路などは、本発明の趣旨に沿って上述した以外の種々のものとすることができる。
【００６６】
油圧シリンダ装置１，１Ｃは、圧入のためのワークの移動および圧入、金型の移動および型締めなどの他、カシメ、粉末成型など、種々の用途に適用することができる。
【００６７】
【発明の効果】
本発明によると、１つの流体圧シリンダによって高速駆動と高出力駆動を行うことができ、しかも必要な動力が少なく且つ小型であり、油量調整機構を簡素化しまたは省略して回路構成を簡単化することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る油圧シリンダ装置の回路を示す図である。
【図２】油圧シリンダの実施形態を示す断面正面図である。
【図３】油圧シリンダの他の実施形態を示す断面正面図である。
【図４】本発明に係る他の実施形態の油圧シリンダ装置の回路を示す図である。
【図５】回路を切り換えて高速駆動と高出力駆動とを行う油圧シリンダ装置の回路の例を示す図である。
【符号の説明】
１，１Ｃ油圧シリンダ装置
１１，１１Ｂ油圧シリンダ（流体圧シリンダ）
１２ポンプ（双方向ポンプ）
１３，１３Ｃシーケンスバルブ（バルブ）
１４アキュムレータ
３１シリンダチューブ
３２ピストン
３３ロッド
３４，３５カバー
３８，５８位置センサ（位置検出センサ）
ＡＡ高速用シリンダ室（往動側のシリンダ室）
ＢＡ高出力用シリンダ室（往動側のシリンダ室）
ＣＡ復動側シリンダ室
ＰＡ，ＰＢ給排ポート
Ｍモータ

Claims

流体圧シリンダと、
前記流体圧シリンダを往復駆動するために流体を給排する２つの給排ポートを有した双方向ポンプと、
前記双方向ポンプを正方向および逆方向のいずれかに選択的に回転駆動するモータと、を有しており、
前記流体圧シリンダは、
シリンダチューブと、
前記シリンダチューブ内を摺動するピストンと、
前記シリンダチューブの両端面を閉塞するカバーと、
前記ピストンに連結されて一方の前記カバーを貫通するロッドと、を有し、
前記流体圧シリンダの往動側のシリンダ室は、復動側のシリンダ室である復動側シリンダ室とほぼ同じ有効受圧面積を有する高速用シリンダ室と、残りの有効受圧面積を有する高出力用シリンダ室とに区分されており、
前記双方向ポンプから供給される流体を、選択的に前記高出力用シリンダ室に供給するように切り換えるためのバルブが設けられており、
前記バルブは、前記高速用シリンダ室に供給する流体の圧力が所定以上になったときに前記双方向ポンプから供給される流体を前記高出力用シリンダ室に供給するように構成されている、
ことを特徴とする流体圧シリンダ装置。
前記高速用シリンダ室は、前記ロッドの内部に設けられている、
請求項１記載の流体圧シリンダ装置。
前記双方向ポンプから前記高出力用シリンダ室に流体が供給されているときには前記復動側シリンダ室に接続され、前記双方向ポンプから前記高出力用シリンダ室に流体が供給されていないときには前記高出力用シリンダ室に接続されるアキュムレータが設けられてなる、
請求項１または２記載の流体圧シリンダ装置。
前記ロッドの内部には、当該ロッドのストローク位置を検出するための位置検出センサが設けられてなる、
請求項２記載の流体圧シリンダ装置。