JP2002147404A - 流体圧シリンダ装置 - Google Patents

流体圧シリンダ装置

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JP2002147404A JP2000339927A JP2000339927A JP2002147404A JP 2002147404 A JP2002147404 A JP 2002147404A JP 2000339927 A JP2000339927 A JP 2000339927A JP 2000339927 A JP2000339927 A JP 2000339927A JP 2002147404 A JP2002147404 A JP 2002147404A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】1つの流体圧シリンダによって高速駆動と高出
力駆動を行うことができ、しかも必要な動力が少なく且
つ小型であり、油量調整機構を簡素化しまたは省略して
回路構成を簡単化できること。 【解決手段】流体圧シリンダ11、双方向ポンプ12、
モータMを有しており、流体圧シリンダ11は、シリン
ダチューブ31、シリンダチューブ31内を摺動するピ
ストン32、シリンダチューブ31の両端面を閉塞する
カバー34,35、ピストン32に連結されて一方のカ
バーを貫通するロッド33を有し、流体圧シリンダの往
動側のシリンダ室は、復動側シリンダ室CAとほぼ同じ
有効受圧面積を有する高速用シリンダ室AAと、残りの
有効受圧面積を有する高出力用シリンダ室BAとに区分
されており、双方向ポンプ12から供給される流体を、
選択的に高出力用シリンダ室BAに供給するように切り
換えるためのシーケンスバルブ13が設けられてなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、高速駆動と高出力
駆動(高圧駆動)とを行うことのできる流体圧シリンダ
装置に関し、例えば、金型の型締め装置、圧入装置、カ
シメ機、刻印装置などに利用される。
【0002】
【従来の技術】従来より、プレス装置の金型の型締めな
どのために油圧シリンダが用いられる。1つの油圧シリ
ンダで駆動するとすると、金型がワークに当たるまでの
間において、油圧シリンダは高速で金型を移動させ、金
型がワークに当たった後は、高出力で金型をワークに押
し付ける。
【0003】その場合に、油圧シリンダに圧油を供給す
るための動力は、金型の移動時に必要な吐出量Qと、金
型を押しつけるために必要な高出力Pとの両方を満足す
る必要がある。
【0004】例えば、最大速度を500mm/sec、
最大推力を3tonとした場合には、汎用のモータを使
うと、14.7KW(W=F・V[N][m/sec]
=29.4[KN]×500×l0-3=14700N‐
m/sec=14.7KW)もの大きな動力が必要とな
る。
【0005】しかし、金型がワークに当たるまでの間に
おいては金型を移動させるだけの僅かな出力でよく、金
型でワークを押し付けるときには高出力が必要であるが
移動量は僅かである。そこで、そのような駆動のため
に、高速用と高出力用との2つの油圧シリンダを用いる
と次のようになる。
【0006】高速用として、ユニット圧力が10Mp
a、内径がφ32(断面積が8cm2)の油圧シリンダ
を選定すると、吐出量が24リットル/minのポンプ
を用いることとなり、4KWの少ない動力でよいことに
なる。この場合に、型締め用(高出力用)の油圧シリン
ダは、30KN/10Mpa=30cm2 が必要である
ので、内径をφ63とする必要がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この場合に
は、大小2つの油圧シリンダを用いるので、装置構造が
複雑となり、設置スペースも増大する。
【0008】そこで、例えば双方向ポンプを用い、双方
向ポンプによって1つの油圧シリンダを駆動し、回路を
切り換えて高速駆動と高出力駆動とを行うことが考えら
れる。
【0009】図5は回路を切り換えて高速駆動と高出力
駆動とを行う油圧シリンダ装置80の回路を示す図であ
る。図5において、油圧シリンダ装置80は、油圧シリ
ンダ81、双方向ポンプ82、バルブ83、アキュムレ
ータ84、バルブ85、アキュムレータ86、コントロ
ーラ87、およびモータMなどからなる。
【0010】油圧シリンダ81は、シリンダチューブ、
ピストン、ピストンに連結されてカバーを貫通するロッ
ドなどを有する。ロッドには中空部が設けられ、そこに
高速用シリンダ室ACが形成されている。通常、ロッド
の径はシリンダチューブに比べてかなり小さいので、高
速用シリンダ室ACの有効受圧面積は小さい。ピストン
の左側には、高出力用シリンダ室BCが形成されてい
る。
【0011】また、ピストンの右側には復動側シリンダ
室CCが形成されている。復動側シリンダ室CCは、ロ
ッドの外周に形成されるものであり、その有効受圧面積
は高速用シリンダ室ACよりもかなり大きい。
【0012】油圧シリンダ81が往動するときには、双
方向ポンプ82から吐出される圧油が、高速駆動の場合
にはバルブ83がオンして高速用シリンダ室ACに流入
し、高出力駆動の場合にはバルブ83がオフして高速用
シリンダ室ACおよび高出力用シリンダ室BCの両方に
流入する。
【0013】アキュムレータ84は、油圧シリンダ81
の復動時には、バルブ83がオンして高出力用シリンダ
室BCから排出される圧油を蓄え、油圧シリンダ81の
往動時には、高速駆動の場合にはバルブ83がオンして
蓄えた圧油を高出力用シリンダ室BCに供給し、高出力
駆動の場合にはバルブ83がオフして双方向ポンプ82
の吸入側に圧油を供給する。
【0014】また、アキュムレータ86は、往動時の高
速駆動の場合に、バルブ85がオンして高速用シリンダ
室ACと復動側シリンダ室CCとの有効受圧面積の差に
応じて余った圧油を蓄え、復動時に、バルブ85がオフ
して蓄えた圧油を双方向ポンプ82の吸入側に供給す
る。
【0015】しかし、この油圧シリンダ装置80では、
高速用シリンダ室ACと復動側シリンダ室CCとの容積
差分の油量を調整するために、バルブ85およびアキュ
ムレータ86からなる油量調整機構YTが必要であり、
それだけ回路構成が複雑となる。
【0016】本発明は、上述の問題に鑑みてなされたも
ので、1つの流体圧シリンダによって高速駆動と高出力
駆動を行うことができ、しかも必要な動力が少なく且つ
小型であり、油量調整機構を簡素化しまたは省略して回
路構成を簡単化することのできる流体圧シリンダ装置を
提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明に係る装置は、流
体圧シリンダと、前記流体圧シリンダを往復駆動するた
めに流体を給排する2つの給排ポートを有した双方向ポ
ンプと、前記双方向ポンプを正方向および逆方向のいず
れかに選択的に回転駆動するモータと、を有しており、
前記流体圧シリンダは、シリンダチューブと、前記シリ
ンダチューブ内を摺動するピストンと、前記シリンダチ
ューブの両端面を閉塞するカバーと、前記ピストンに連
結されて一方の前記カバーを貫通するロッドと、を有
し、前記流体圧シリンダの往動側のシリンダ室は、復動
側のシリンダ室である復動側シリンダ室とほぼ同じ有効
受圧面積を有する高速用シリンダ室と、残りの有効受圧
面積を有する高出力用シリンダ室とに区分されており、
前記双方向ポンプから供給される流体を、選択的に前記
高出力用シリンダ室に供給するように切り換えるための
バルブが設けられてなる。
【0018】好ましくは、前記高速用シリンダ室は、前
記ロッドの内部に設けられてる。また、前記バルブは、
前記高速用シリンダ室に供給する流体の圧力が所定以上
になったときに前記双方向ポンプから供給される流体を
前記高出力用シリンダ室に供給するように構成される。
【0019】また、前記双方向ポンプから前記高出力用
シリンダ室に流体が供給されているときには前記復動側
シリンダ室に接続され、前記双方向ポンプから前記高出
力用シリンダ室に流体が供給されていないときには前記
高出力用シリンダ室に接続されるアキュムレータが設け
られてなる。
【0020】また、前記ロッドの内部には、当該ロッド
のストローク位置を検出するための位置検出センサが設
けられる。
【0021】
【発明の実施の形態】図1は本発明に係る油圧シリンダ
装置1の回路を示す図、図2は油圧シリンダ11の実施
形態を示す断面正面図である。
【0022】図1において、油圧シリンダ装置1は、油
圧シリンダ11、ポンプ12、シーケンスバルブ13、
アキュムレータ14、およびコントローラ15などから
なる。
【0023】図2に示すように、油圧シリンダ11は、
シリンダチューブ31、シリンダチューブ31内を摺動
するピストン32、シリンダチューブ31の両端面をそ
れぞれ閉塞するカバー34,35、ピストン32に連結
されて一方のカバー34を密に貫通して摺動するロッド
33、カバー34,35を互いに締結するタイボルト3
6,36…などからなる。
【0024】ロッド33には、軸心に沿って孔41が設
けられ、孔41の内部に高速用シリンダ室AAが形成さ
れる。カバー35には、ピストン32を密に貫通して摺
動する送油管37が設けられる。送油管37の内側に
は、一端がカバー35に固定された固定側センサ38a
と一端がロッド33に固定された可動側センサ38bと
からなり、ロッド33のストローク位置を計測するため
の位置センサ38(38a,38b)が設けられる。位
置センサ38の検出信号SGLは、コネクタCNを介し
てコントローラ15に送られる。
【0025】ピストン32、カバー35、シリンダチュ
ーブ31、および送油管37で囲まれる空間には、高出
力用シリンダ室BAが形成される。これら、高速用シリ
ンダ室AAおよび高出力用シリンダ室BAは、油圧シリ
ンダ11の往動側のシリンダ室が区分されて形成された
ものと考えればよい。
【0026】他方、ピストン32、カバー34、シリン
ダチューブ31、およびロッド33で囲まれる空間に
は、復動側シリンダ室CAが形成される。復動側シリン
ダ室CAと高速用シリンダ室AAとは、有効受圧面積が
互いに同一となっている。したがって、ピストン32が
移動するとき、これらの一方の室から出る油量と他方の
室に入る油量とは同じである。
【0027】なお、高速用シリンダ室AAには、カバー
35に設けられた図示しないポートPTAが連通し、高
出力用シリンダ室BAには、カバー35に設けられたポ
ートPTBが連通し、復動側シリンダ室CAには、カバ
ー34に設けられたポートPTCが連通する。
【0028】ポンプ12は、正逆の両方向に回転可能な
双方向ポンプであり、油圧シリンダ11の往動側のポー
トPTA,PTB、および復動側のポートPTCに対し
て油圧を給排する2つの給排ポートPA,PBを備え
る。ポンプ12の給排ポートPAの側の回路の圧力は、
圧力センサによって検出され、その検出信号SGPはコ
ントローラ15に送られる。
【0029】モータMは、ポンプ12を正方向および逆
方向のいずれかに選択的に回転駆動する。モータMとし
て、直流サーボモータまたは交流サーボモータなどが用
いられる。
【0030】シーケンスバルブ13は、調整バネを調整
することによって所定の動作圧となるように設定されて
おり、ポンプ12から供給される圧油を、パイロット圧
に応じて選択的に高出力用シリンダ室BAに供給するよ
うに切り換える。すなわち、パイロット圧が所定圧以下
の状態では、ポンプ12の給排ポートPAからの圧油
は、高速用シリンダ室AAのみに供給され、高出力用シ
リンダ室BAには供給されない。その状態では、高出力
用シリンダ室BAはアキュムレータ14に接続される。
【0031】シーケンスバルブ13のパイロット圧が所
定圧以上になると、シーケンスバルブ13が切り換わ
り、ポンプ12の給排ポートPAからの圧油は高出力用
シリンダ室BAにも供給される。その状態では、アキュ
ムレータ14はポンプ12の給排ポートPBの側に接続
される。
【0032】コントローラ15は、位置センサ38およ
び圧力センサから出力される検出信号、図示しない設定
信号および指令信号などに基づいて、油圧シリンダ11
が所定の動作を行うように、または所定の位置決めを行
うように、モータMの回転方向および回転速度などを制
御する。
【0033】これら、油圧シリンダ11、ポンプ12、
シーケンスバルブ13、およびアキュムレータ14など
は、ボルトなどによって互いに連結され、油圧シリンダ
装置1の全体が1つのユニットとして一体に構成されて
いる。
【0034】なお、各部の接続のために配管部材が設け
られているが、このような配管部材を設けることなく、
それに代わる流路を形成したマニホールドを設け、また
はそのような流路を油圧シリンダ11の中に組み込むこ
とも可能である。その際に、シーケンスバルブ13およ
びアキュムレータ14をマニホールドに一体的に組み込
んでもよい。
【0035】次に、油圧シリンダ装置1の動作および作
用について説明する。モータMによってポンプ12が駆
動され、給排ポートPAから圧油が出力されると、その
圧油はポートPTAから高速用シリンダ室AAに入る。
これによって、ピストン32が往動し、例えばロッド3
3の先端に取り付けられた金型を移動させる。金型が容
易に移動し、負荷が軽い場合には、ポートPTAの圧力
は低くなり、シーケンスバルブ13のパイロット圧は所
定圧以下となるので、圧油は高出力用シリンダ室BAに
は供給されない。
【0036】つまり、油圧シリンダ11は、高速用シリ
ンダ室AAに供給される圧油のみで作動する。したがっ
て、油圧シリンダ11の出力は小さいが、ピストン32
は高速で移動する。
【0037】ピストン32の移動によって、復動側シリ
ンダ室CA内の圧油がポートPTCから排出され、排出
された圧油がポンプ12によってポートPTAから高速
用シリンダ室AA内に送られる。つまり、高速用シリン
ダ室AAと復動側シリンダ室CAとの有効受圧面積が等
しいので、上に述べたような油量調整機構YTなどを設
けなくとも、油量に過不足が生じず、正常に作動する。
【0038】ピストン32の移動にともなって高出力用
シリンダ室BA内に圧油を供給する必要があるが、その
ためには、アキュムレータ14に蓄えられていた圧油が
供給される。
【0039】金型がワークに当接するに至ってロッド3
3の負荷が増大すると、ポートPTAの圧力が高くな
り、パイロット圧が所定圧以上となってシーケンスバル
ブ13が切り換わる。これによって、ポンプ12の給排
ポートPAからの圧油は高出力用シリンダ室BAにも流
入する。そうすると、油圧シリンダ11の出力が大きく
なり、金型による型締めを行うことができる。
【0040】その際に、ピストン32が移動するとそれ
に応じた油量を高出力用シリンダ室BAにも供給する必
要がある。しかし、復動側シリンダ室CAから排出され
る油量だけでは不足するので、アキュムレータ14に蓄
えられた圧油がポンプ12を介して高出力用シリンダ室
BAに供給される。
【0041】モータMが逆転し、ポンプ12が逆方向に
回転駆動されると、今度は給排ポートPBから圧油が出
力される。そのときは、シーケンスバルブ13のパイロ
ット圧はゼロになるので、アキュムレータ14は高出力
用シリンダ室BAに接続される。
【0042】ポンプ12の給排ポートPBから出力され
る圧油は復動側シリンダ室CAに入り、ピストン32を
復動させる。復動側シリンダ室CAの有効受圧面積は小
さいので、ピストン32は高速で移動する。
【0043】そのとき、高速用シリンダ室AA内の圧油
は、ポンプ12を介して復動側シリンダ室CA内に送ら
れる。これら高速用シリンダ室AAと復動側シリンダ室
CAとの有効受圧面積が等しいので、油量に過不足が生
じず、正常に作動する。高出力用シリンダ室BAからは
多量の圧油が排出されるが、排出された圧油はアキュム
レータ14に蓄えられる。
【0044】上に述べた油圧シリンダ装置1によると、
1つの油圧シリンダ11によって、高速駆動と高出力駆
動とを切り換えて行うことができる。その切り換え動作
が、シーケンスバルブ13によって自動的に行われる。
【0045】したがって、油圧シリンダ11によって、
例えば金型がワークに当たるまでの間において高速で金
型を移動させ、金型がワークに当たった後は高出力で金
型をワークに押し付けることができる。
【0046】しかも、高速用シリンダ室AAと復動側シ
リンダ室CAとの有効受圧面積を互いに等しくしたこと
によって、油量調整機構が不要となり、回路構成が簡単
となる。
【0047】位置センサ38の検出信号に基づき、コン
トローラ15によって油圧シリンダ11の位置決め制御
を高精度に行うことができる。コントローラ15は、モ
ータMを駆動するだけでよいので、制御が容易である。
【0048】ポンプ12によって直接に油圧シリンダ1
1を駆動するので、油タンクが不要であり、油圧シリン
ダ装置1の全体を小型化することができる。したがっ
て、油圧シリンダ装置1によると、省スペース化および
省エネ化を図ることができ、装置をコンパクトに構成す
ることができる。
【0049】次に、他の実施形態の油圧シリンダ11B
について説明する。図3は油圧シリンダ11Bの他の実
施形態を示す断面正面図である。図3に示す油圧シリン
ダ11Bは、基本的な構成は上の油圧シリンダ11と同
じであるが、センサ58の構成が異なっている。
【0050】すなわち、送油管37の内周面には、ロッ
ド33に取り付けられた保護パイプ51が摺動可能に挿
入されている。保護パイプ51の根元には、内周面と外
周面とを連通するための孔が設けられている。保護パイ
プ51の先端部には、リング状の永久磁石52が取り付
けられており、永久磁石52の中心部を、一端がカバー
35に取り付けられた位置センサ58が貫通して移動す
る。
【0051】したがって、ロッド33の移動とともに永
久磁石52が移動し、位置センサ58に対して相対移動
する。ここに用いられる位置センサ58は磁歪センサで
あり、永久磁石52の相対位置に応じた検出信号SGL
を出力する。
【0052】このように、ロッド33に保護パイプ51
を取り付け、その先端にリング状の永久磁石52を取り
付けることにより、永久磁石52と位置センサ58との
間隙を小さくして検出感度を高めることができる。しか
も、高速用シリンダ室AAの有効受圧面積を充分に大き
くとることができる。
【0053】ところで、上に述べたように、油圧シリン
ダ装置1では、高速用シリンダ室AAと復動側シリンダ
室CAとの有効受圧面積を等しくしたので、油量調整機
構を要しない。しかし、有効受圧面積を完全に等しくす
るのは容易ではない。また、実質的に等しくした場合で
も、ポンプ12の内部漏れなどによって吸入油量と排出
油量とに差が生じることがある。したがって、上に述べ
た油圧シリンダ装置1において、そのような不平衡分を
補うための簡便な補給装置を設けるのが望ましい。
【0054】次に、そのような補給装置HKを設けた油
圧シリンダ装置の他の実施形態について説明する。図4
は本発明に係る他の実施形態の油圧シリンダ装置1Cの
回路を示す図である。
【0055】図4において、図1に示す油圧シリンダ装
置1と同じ機能を有する要素については同じ符号を付
し、説明を省略または簡略化する。図4において、シー
ケンスバルブ13Cは、上のシーケンスバルブ13とポ
ート数が異なるが、その作用は同様である。シーケンス
バルブ13Cのパイロット回路には、リリーフバルブ1
6aおよびチェックバルブ16bが設けられ、また、給
排ポートPBからシーケンスバルブ13Cのポートに至
る回路にはチェックバルブ16cが設けられている。
【0056】また、給排ポートPA,PBの間には、パ
イロットチェック弁17,18およびタンク19からな
る補給装置HK1が設けられている。パイロットチェッ
ク弁17,18は、2つの給排ポートPA,PBとタン
ク19との間において、タンク19からそれぞれの給排
ポートPA,PBに向かう方向に自由流となるようにそ
れぞれ接続され、それぞれ他方の給排ポートPB,PA
の圧力によって開く。
【0057】タンク19は、油圧シリンダ11の高速用
シリンダ室AAと高出力用シリンダ室BAとの有効受圧
面積の誤差による油量の過不足、回路の温度などによる
容積変化分、および漏れによるロス分などを補う圧油を
収容する。
【0058】次に、油圧シリンダ装置1Cの動作および
作用について説明する。モータMによってポンプ12が
駆動され、給排ポートPAから圧油が出力されると、そ
の圧油はポートPTAから高速用シリンダ室AAに入
る。これによって、ピストン32が高速で移動する。
【0059】ポートPTAの圧力が高くなり、パイロッ
ト圧が所定圧以上となると、まず、シーケンスバルブ1
3Cが切り換わる。これによって、アキュムレータ14
の接続が、ポートPTBからチェックバルブ16cの側
へ切り換わる。
【0060】パイロット圧がさらに高くなると、リリー
フバルブ16aが作動し、パイロット回路の圧油がポー
トPTBから高出力用シリンダ室BAに流れ込む。これ
によって、高出力駆動が行われる。
【0061】また、いずれかの給排ポートPA,PBの
側の圧油の不足分は、タンク19からパイロットチェッ
ク弁17または18を介して他方の給排ポートPB,P
Aに吸入される。
【0062】いずれかの給排ポートPA,PBの側の圧
油の過剰分は、いずれかのパイロットチェック弁17ま
たは18を介してタンク19に戻る。なお、このとき
に、他方の側の圧力により、パイロット流路を介してそ
のパイロットチェック弁17または18が開く。
【0063】上の実施形態において、パイロットチェッ
ク弁17,18を用いて補給装置HK1を構成したが、
上に述べたような機能を有したものであれば、種々のチ
ェック弁、リリーフ弁、および切り換え弁などを組み合
わせて構成することが可能である。
【0064】上の実施形態において、油圧シリンダ11
の上にポンプ12を連結して併置形としてもよい。ま
た、油圧シリンダ11の端面にポンプユニット12を連
結した一直線形としてもよい。カバー35内にポンプを
形成してもよい。油圧シリンダ11のシリンダチューブ
31を二重構造として、そこにタンクを形成してもよ
い。シーケンスバルブ13に代えて、パイロット圧で動
作する切り換えバルブ、電気的に切り換える電磁式切り
換えバルブなどを用いてもよい。
【0065】その他、油圧シリンダ装置1,1Cの全体
または各部の構成、形状、寸法、および回路などは、本
発明の趣旨に沿って上述した以外の種々のものとするこ
とができる。
【0066】油圧シリンダ装置1,1Cは、圧入のため
のワークの移動および圧入、金型の移動および型締めな
どの他、カシメ、粉末成型など、種々の用途に適用する
ことができる。
【0067】
【発明の効果】本発明によると、1つの流体圧シリンダ
によって高速駆動と高出力駆動を行うことができ、しか
も必要な動力が少なく且つ小型であり、油量調整機構を
簡素化しまたは省略して回路構成を簡単化することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る油圧シリンダ装置の回路を示す図
である。
【図2】油圧シリンダの実施形態を示す断面正面図であ
る。
【図3】油圧シリンダの他の実施形態を示す断面正面図
である。
【図4】本発明に係る他の実施形態の油圧シリンダ装置
の回路を示す図である。
【図5】回路を切り換えて高速駆動と高出力駆動とを行
う油圧シリンダ装置の回路の例を示す図である。
【符号の説明】
1,1C 油圧シリンダ装置 11,11B 油圧シリンダ(流体圧シリンダ) 12 ポンプ(双方向ポンプ) 13,13C シーケンスバルブ(バルブ) 14 アキュムレータ 31 シリンダチューブ 32 ピストン 33 ロッド 34,35 カバー 38,58 位置センサ(位置検出センサ) AA 高速用シリンダ室(往動側のシリンダ室) BA 高出力用シリンダ室(往動側のシリンダ室) CA 復動側シリンダ室 PA,PB 給排ポート M モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3H081 AA03 BB01 BB02 CC23 CC25 DD13 DD32 FF26 GG04 GG15 GG22 HH04 3H089 AA32 BB15 BB27 CC01 CC17 DA02 DA04 DA14 DB03 DB06 DB33 EE36 FF03 GG01 GG02 HH29 JJ03

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】流体圧シリンダと、 前記流体圧シリンダを往復駆動するために流体を給排す
    る2つの給排ポートを有した双方向ポンプと、 前記双方向ポンプを正方向および逆方向のいずれかに選
    択的に回転駆動するモータと、を有しており、 前記流体圧シリンダは、 シリンダチューブと、 前記シリンダチューブ内を摺動するピストンと、 前記シリンダチューブの両端面を閉塞するカバーと、 前記ピストンに連結されて一方の前記カバーを貫通する
    ロッドと、を有し、 前記流体圧シリンダの往動側のシリンダ室は、復動側の
    シリンダ室である復動側シリンダ室とほぼ同じ有効受圧
    面積を有する高速用シリンダ室と、残りの有効受圧面積
    を有する高出力用シリンダ室とに区分されており、 前記双方向ポンプから供給される流体を、選択的に前記
    高出力用シリンダ室に供給するように切り換えるための
    バルブが設けられてなる、 ことを特徴とする流体圧シリンダ装置。
  2. 【請求項2】前記高速用シリンダ室は、前記ロッドの内
    部に設けられている、 請求項1記載の流体圧シリンダ装置。
  3. 【請求項3】前記バルブは、前記高速用シリンダ室に供
    給する流体の圧力が所定以上になったときに前記双方向
    ポンプから供給される流体を前記高出力用シリンダ室に
    供給するように構成されている、 請求項1または2記載の流体圧シリンダ装置。
  4. 【請求項4】前記双方向ポンプから前記高出力用シリン
    ダ室に流体が供給されているときには前記復動側シリン
    ダ室に接続され、前記双方向ポンプから前記高出力用シ
    リンダ室に流体が供給されていないときには前記高出力
    用シリンダ室に接続されるアキュムレータが設けられて
    なる、 請求項1ないし3のいずれかに記載の流体圧シリンダ装
    置。
  5. 【請求項5】前記ロッドの内部には、当該ロッドのスト
    ローク位置を検出するための位置検出センサが設けられ
    てなる、 請求項2記載の流体圧シリンダ装置。
  6. 【請求項6】シリンダチューブと、 前記シリンダチューブ内を摺動するピストンと、 前記シリンダチューブの両端面を閉塞するカバーと、 前記ピストンに連結されて一方の前記カバーを貫通する
    ロッドと、を有し、 往動側のシリンダ室は、前記ロッドの内部に設けられて
    復動側のシリンダ室である復動側シリンダ室とほぼ同じ
    有効受圧面積を有する高速用シリンダ室と、前記ピスト
    ンの往動側に設けられた高出力用シリンダ室とに区分さ
    れてなる、 ことを特徴とする流体圧シリンダ。
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