WO1999049463A1

WO1999049463A1 - Tete optique en champ proche

Info

Publication number: WO1999049463A1
Application number: PCT/JP1999/001377
Authority: WO
Inventors: Yasuyuki Mitsuoka; Norio Chiba; Nobuyuki Kasama; Takashi Niwa; Kunio Nakajima; Kenji Kato; Manabu Oumi
Original assignee: Seiko Instruments Inc.
Priority date: 1998-03-24
Filing date: 1999-03-19
Publication date: 1999-09-30
Also published as: EP0986057B1; EP0986057A4; US6625109B1; DE69926962D1; DE69926962T2; JP4146017B2; JPH11339308A; EP0986057A1

Description

明細書近視野光学ヘッド技術分野

この発明は、近視野光学ヘッドに関し、より詳しくは、近視野顕微鏡技術をハードディスクなどに代表される記録装置のヘッドに適用した近視野光学ヘッドに関する。背景技術

近視野光を利用する光プローブを備えた近視野顕微鏡では、光の回折限界以上の高分解能にて試料を観測することができる。このような近視野顕微鏡では、当該光プローブの試料対向端部として、先鋭化した光ファイバ一先端に設けた微小開口や異方性エッチングを施して形成されたシリコン基板上のチップに設けた微小開口を用いたり、光ファイバ一の先鋭化された先端や当該チップによる微小突起を用いている。

—方、このような観測原理を応用した、例えば（E. Betzig et al.， Science

257, 189(1992))に開示されているような近接場光学メモリも提案されている。このような応用例においては、記録または読取ヘッドに形成される微小開口または微小突起を記録媒体表面に伝搬光である照射光の波長以下に近接または当接させる必要がある。

近接場光学メモリの記録 Z読取システムにおける多くの場合、ディスク状の記録媒体を回転させ、その表面をヘッドにより走査している。このため、記録媒体の回転に伴い、主面の面内方向（主面に平行な方向）および面外方向（主面に垂直な方向）に振動が発生する。記録 Z読取システムでは、ヘッドと被検出表面とを近接させる必要があるため、前記面外方向の振動が重要になる。面外方向の振動は、主に記録媒体主面の平面度、記録媒体と回転軸との取り付け精度、および回転軸の軸受け精度に起因する。一方、ヘッド側では、微小開口や微小突起を前記記録媒体の面外方向の振動に追従させる必要がある。

一般的に、近接場光学メモリの記録ノ読取システムでは、微小開口または微小突起を有するカンチレバー構造を採るヘッドが用いられ、当該ヘッドをコンタクト AFM (原子力間力顕微鏡： Atomic Force Microscope )で動作させる場合には当該カンチレバーの橈みを、または、前記ヘッドをサイクリックコンタクト或いはシェアフォースにて動作させる場合にはその振動数、振幅および振動の位相などの変化を検出する距離検出機構が必要になる。さらに、その検出信号をフィードバックするフィードバック回路と、このフィードバック信号に基づいてカンチレバーと記録媒体との間隔を能動的に変化させる距離変位機構とが必要となる。

しかしながら、上記従来の近接場光学メモリの記録読取システムでは、距離検出機構、フィードバック回路および距離変位機構を必要とするため、構成が複雑化するという問題点があった。

そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡単な構造でしかも記録媒体とヘッドとの距離制御を簡略化できる近視野光学ヘッドを提供することを目的とする。発明の開示

上述の目的を達成するために、本発明に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾くことで、前記微小突起または微小開口を前記記録媒体に接触させるものである。

この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタク卜させる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。

また、本発明に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションァームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、微小突起または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体に接触状態にあるときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから延出したカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾いたとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。

この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタク卜させる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触し、静止状態では非接触になるので、微小突起または微小開口を有効に保護できる。

また、本発明に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションァームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、端部に微小突起または微小開口を有し、スライダーから延出すると共に前記微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けたカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾いたとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。

この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタク卜させる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、前記微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けることにより、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。

また、本発明に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションァームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、を備え、前記移動機構により前記スライダーが前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。

また、本発明に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションァー厶により支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、微小突起または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体から離れた状態にあるときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから延出したカンチレバーと、を備え、前記スライダーが前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触することを特徴とする近視野光学ヘッド。

この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタク卜させる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触し、その他の状態では非接触になるので、微小突起または微小開口を有効に保護できる。

また、本発明に係る近視野光学ヘッドは、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小開口を、カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成したものでめる。

現在、スライダー底面にコンタクトパットを設けて行うコンタクト方式が知られており（跳躍をしたときでも最大 1 0nmの浮上量が得られる）、この発明は、このコンタクトパットに微小開口を形成したものである。特に、チップ先端とスライダ —底面との高さ合わせが困難なときに有効な構成となる。また、コンタクトパット程度の大きさならば、チップが破壊しに《なる。また、記録媒体との吸着が少なくなる。

また、本発明に係る近視野光学ヘッドは、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小突起または微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記各微小突起または微小開口に対応する記録媒体部分に照射するようにしたものである。このように、分光器を用いて照射光を分光すれば、単一の光源でマルチ化できる。このため、ヘッドサイズをコンパクトにできる。図面の簡単な説明

図 1は、この発明の実施の形態 1による近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。

図 2は、記録媒体が回転していない状態を示す説明図である。

図 3は、チップのコンタクト状態を示す説明図である。

図 4は、チップのコンタクト状態を示す説明図である。

図 5は、この発明の実施の形態 2に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。

図 6は、図 5に示した微小開口を示す拡大断面図である。

図 7は、ヘッドをマルチ化した場合の構成例を示す概略構成図である。

図 8は、この発明の実施の形態 3に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。

図 9は、この発明の実施の形態 4に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。

図 1 0は、この発明の実施の形態 4に係る近視野光学ヘッドの水平方向の動きを示す概略構成図である。発明を実施するための最良の形態

以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。

(実施の形態 1 )

図 1は、この発明の実施の形態 1による近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。より詳しくは、記録媒体の断面構造とともに当該記録媒体にアクセスす η

る際の姿勢を示すものである。スライダー 1は、サスペンションアーム（図示省略 )により支持される。これらサスペンションアームとスライダー 1とによって浮上へッド機構が構成される。サスペンションアームは、ボイスコイルモータ（図示省略)を駆動源とし揺動軸を中心に揺動する。スライダー 1の走査方位には、亍ーパ 1 aが設けてある。このテーパ 1 aとスライダー底面 1 bおよび記録媒体 4の表面とにより、くさび膜形状の流路 1 cを形成する。スライダー 1には、サスペンションアームおよびジンバルパネにより、記録媒体 4側への負荷加重が与えられている。スライダー 1は、シーク制御およびフォローイング制御により記録媒体 4のトラック上に位置決めされている。

カンチレバー 2は、スライダー 1から走査方向に沿って延出している。また、力ンチレバー 2はその先端にチップ 3を有する。チップ 3は、先鋭化処理によってくびれたように鋭くなつている。このため、カンチレバー 2が記録媒体 4に吸着しにくい。また、チップ 3とスライダー底面 1 bとの間には、高低差がある。カンチレバ —2は、 Siプロセスによリスライダー 1と一体成形する。 Siプロセスによリー体成形すれば、スライダー底面 1 bとチップ 3との高さを精密に制御できる。このため、非常に先鋭なチップ 3であってもその先端を破壊することがない。

記録媒体 4の表面には、ビット 9が形成されている。記録媒体 4の裏面には、光源（図示省略）が配置されている。なお、本例では全反射によるコレクションの場合を示したが、全反射を用いない場合（暗視野照明など）や、イルミネーションでも良い。また、カンチレバ一 2上方には、集光レンズ 5と受光素子 6とが配置してある。受光素子 6は、光電変換した信号を処理する信号処理系（図示省略）に接続されている。

つぎに、この近視野光学ヘッド 1 00の動作について説明する。記録媒体 4が回転していないときは、スライダー 1が浮上せず記録媒体 4に接地している。この状態では、図 2に示すように、カンチレバー 2が記録媒体 4にコンタクトすることはない。つぎに、記録媒体 4が回転することにより記録媒体 4表面上の空気 1 _g

0力さび膜形状の流路 1 cに押し込まれると、当該流路 1 cに圧力が発生してスライダー 1が浮上する。一方、スライダー 1には、サスペンションアームによって負荷加重が与えられている。この負荷加重と前記浮上圧力が均衡して、スライダー 1と記録媒体 4との間に流路 1 cが生じる。スライダー 1は傾いて浮上するから、カンチレバー 2のチップ 3が記録媒体 4にコンタクトする。コンタクトは、図 3に示すように記録媒体 4に押し付けた状態でも、図 4に示すように記録媒体表面 4 の吸着層 1 2により引きつけられている状態でもよい。但し、押し付けている場合は、その荷重は少ない方がよい。

記録媒体 4の表面には、光源による光 7の照射によって近視野光が発生している。スライダー 1が浮上してカンチレバー 2のチップ 3が記録媒体 4にコンタクトすると、近視野光が散乱し伝搬光 1 1が発生する。この伝搬光 1 1は、集光レンズ 5によって集光され、受光素子 6によリ受光される。伝搬光 1 1の強度その他の状態はビット 9の有無により変化するため、これに従い、光電変換した信号の強度が変化する。信号処理系では、信号強度をデータ変換して記録媒体上の情報を再生する。

なお、カンチレバー 2の長さや厚さ（パネ定数に対応する）は、スライダー底面 1 bとチップ 3との高低差や浮上時のスライダー 1の傾きなどに基づき、コンタクト状態でもチップが破壊しないようにパネ定数を小さく設定する。また、カンチレノヽ' 一 2の質量を小さくして応答速度を向上させるようにする。

以上、この近視野光学ヘッド Ί 00によれば、カンチレバー 2がスライダー 1に支持されているため、記録媒体 4の回転による面外振動成分のうち大部分がサスペンションアームにより吸収される。また、スライダー 1側で吸収できない、例えば記録媒体表面の微小な凹凸やスライダー 1の振動によって加振されるカンチレバー 2の振動成分は、コンタクトモードによって吸収可能である。従って、従来のような能動的距離変位機構が不要になる。また、簡単な構成で記録媒体 4 の表面にカンチレバー 2を追従させることができる。さらに、カンチレバーは記録媒体にコンタクトする方式を採用するため、微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。

また、上記では、カンチレバーの先端に微小突起を形成したが、通常の AFM カンチレバーに開口が開いている、いわゆる微小開口付きのカンチレバーを用いても良い。

(実施の形態 2)

図 5は、この発明の実施の形態 2に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。この実施の形態 2に係る近視野光学ヘッド 200は、カンチレバー 22先端に微小開口 24を持つコンタクトパッド 23を設けた点に特徴がある。その他の構成は実施の形態 1の近視野光学ヘッド 1 00と同様であるので、当該構成の説明は省略する。スライダー 21から延出したカンチレバー型光プローブ（以下、単に「カンチレバー」という） 22の先端には、コンタクトパッド 23が設けてある。このコンタクトパッド 23は HDDのコンタクトスライダーに使用されるような形状になつている。スライダー 21をセラミックで製作する場合、スライダーとチップとが别体となり、これらの高さ合わせが困難になる。このため、記録媒体に対してチップを押し込む状態でコンタクトさせることになつて当該チップを破損させるおそれがある力《、微小開口 24を有するコンタクトパッド 23を用いることで前記破壊を防止することができる。

コンタクトパッド 23の先端には微小開口 24が形成されている。図 6に、微小開口 24を示す拡大断面図を示す。この微小開口 24は、異方性エッチングによリ形成する。微小開口 24は、漏斗形状をしており底には開口部 25を有する。また、コンタクトパッド 23の先端は、記録媒体 4との吸着を防止するため、面積を小さくするのが好ましい。その一方、記録媒体 4の凹凸に追従するには吸着層で引っ張られるだけの面積が必要である。また、カンチレバーのパネ定数（押し込み力）が小さいと摩耗しにくくなるが、小さすぎると記録媒体 4の凹凸により跳躍するので、両条件を満たす適当なパネ定数を設定する必要がある。 _1Q

つぎに、この近視野光学ヘッド 200の動作について説明する。記録媒体 4が回転していないときは、スライダー 21が浮上せず記録媒体 4に接地している。この状態では、コンタクトパッド 23が記録媒体 4にコンタクトすることはなし、。つぎに、記録媒体 4が回転することにより記録媒体 4表面上の空気 1 0がくさび膜形状の流路 21 cに押し込まれると、当該流路 21 cに圧力が発生してスライダー 2 1が浮上する。一方、スライダー 21には、サスペンションアーム（図示省略）によつて負荷加重が与えられている。この負荷加重と前記浮上圧力が均衡して、スライダー 21と記録媒体 4との間に流路 21 cが生じる。スライダー 21は傾いて浮上するから、微小開口 24を持つコンタクトパッド 23が記録媒体 4にコンタクトする。ここで、コンタクトパッド 23の信頼性を向上させる必要がある力サスペンシヨン荷重やパッド質量などを最適に設定することで磨耗を略ゼロにすることがでさる。

記録媒体 4の表面には、光源による光 7の照射によって近視野光が発生している。スライダー 21が浮上して微小開口 24が記録媒体 4にコンタクトすると、近視野光が散乱し伝搬光 1 1が発生する。この伝搬光 1 1は、集光レンズ 5によつて集光され、受光素子 6によリ受光される。伝搬光 1 1の強度その他の状態はビット 9の有無により変化するため、これに従い、光電変換した信号の強度が変化する。信号処理系では、信号強度をデータ変換して記録媒体上の情報を再生する。

コンタクトパッド 23を持つカンチレバー 22としては、導波路が形成されたものでも、光源ゃ受光素子、集光系などと一体化されているものでも良記録再生可能なヘッドとして機能させることができる。また、導波路や光源などが一体化されたカンチレバーを用いれば、マルチ化することができる。マルチ化することで、同時に複数系統の記録再生ができるようになる。

マルチ化近視野光学ヘッドは、図 7に示すような構成により実現できる。すなわち、図 6に示した漏斗形状の微小開口 32、開口部 33をコンタクトパッド 3 1に丄丄

複数形成し、各微小開口 32の上方に光源（図示省略）を配置するようにする。光源から微小開口に向けて光 35を照射することにより、記録媒体 34面に近視野光が発生する。この近視野光を散乱させて伝搬光を得、記録媒体 34の下方に配置した受光素子（図示省略）によってこの伝搬光を受光し、当該伝搬光のビット 36による強度変化から記録情報を再生する。

(実施の形態 3)

上述したヘッドのマルチ化は、次のような構成によっても実現できる。図 8に、かかるマルチ化ヘッドの概略構成を示す。複数のチップ 43は、対応する複数のカンチレバー 42の先端に形成される。各カンチレバー 42はスライダー（図示省略）から延出している。スライダーは、図 1と同様に流体潤滑の原理に基づいて浮上する。スライダーが傾いて浮上することにより、各チップ 43が同時に記録媒体 44の表面にコンタクトする。各カンチレバー 42の上方には、それぞれレンズアレイ 45が設けてある。レンズアレイ 45は、チップ 43毎に得られる散乱光を個々に集光して光学フィルタアレイ 48に導く。光学フィルタアレイ 48を通過した光は、受光素子アレイ 46で受光する。

照明光は、分光器 47により、 λ 1 ~ λ 4の波長を持つ光に分割する。分光した各波長の光は、記録媒体 44の裏面であって前記各チップ 43に対応する部分に照射される。なお、分光器 47には、例えばグレーティングや三角プリズムなどを用いる。光学フィルタアレイ 48は、波長 λ 1〜λ 4の波長成分を持つ光のみを透過させる。このため、各受光素子は、各チップ 43に対応する散乱光のみを受光できる。以上のように、分光器 47を用いてマルチヘッドを構成すれば、各チップ毎に光源を設置する必要がないので、比較的コンパクトにまとめることがでさる。

(実施の形態 4)

以上に述べた実施例は、スライダーが浮上して傾くことで先鋭なチップゃコンタク卜パッドが記録媒体に接触し、スライダーが浮上せず停止している場合にはチップやコンタクトパッドは記録媒体から離れていた。このチップやコンタクトパッドの記録媒体への接触，非接触を制御する方法には、スライダーの浮上による傾きを利用するだけではなぐ他の方法によっても可能である。

図 9は、この発明の実施の形態 4に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。この実施の形態 4に係る近視野光学ヘッド 300は、サスペンションァ一ム 50を記録媒体 4に対して垂直方向に移動させる z方向移動機構 52を設けた点に特徴がある。その他の構成は実施の形態 1の近視野光学ヘッド Ί 00と同様であるので、当該構成の説明は省略する。

次に、この近視野光学ヘッド 300の動作について説明する。記録媒体 4が回転している場合には、 z方向移動機構 52により、サスペンションアーム 50につながるスライダー 61が記録媒体 4に接近した状態となり、実施の形態 1と同様にスライダー 61は浮上する。このとき、スライダー 61から延びたカンチレバ一 6 2の先端に設けたチップ 63は、チップ 63とスライダー 6 1の底面との間に高低差を設けて、記録媒体 4に必ず接触するようにしている。ただし、カンチレバー 6 2のパネ定数が十分柔らかいので、チップ 63が破壊されることはない。

また、記録媒体 4が回転していない場合、 z方向移動機構 52により、サスペンシヨンアーム 50につながるスライダー 61が記録媒体 4から離れた状態となり、チップ 63やスライダー 61は記録媒体 4から離れる。そのため、チップ 63ゃスライダー 61は記録媒体 4と吸着することがなくなる。

このように、 z方向移動機構によりチップ 63の記録媒体への接触'非接触を制御することができる。その結果、スライダー 61の浮上時には実施の形態 1で示したと同様に、チップ 63を破壊することなく接触した状態を保つことができる。また、停止時には、スライダー 61やチップ 63を記録媒体 4から離した状態に保つことができるため、スライダー 61やチップ 63の記録媒体 4への吸着や破壊を防止することができる。

ここで、近視野光学ヘッド 300としては、チップ 63がカンチレバー 62先端近傍に形成されている場合だけではなく、実施の形態 2に示したように、チップ 63 の代わりにコンタクトパッドが形成されていても良いことは言うまでもない。

また、サスペンションアーム 50を記録媒体 4に対して垂直に移動させる _Z方向移動機構 52として、図 1 0に示すように、スライダー 61が回転軸 5 1を中心に記録媒体 4の半径方向に移動した場合、ガイドなどにより垂直方向にも移動する機構であっても良い。例えば、スライダー 6 1が記録媒体 4から半径方向に離れた場合（実線の状態）、スライダー 6 1はガイド 64により記録媒体 4から垂直方向に離れる。逆に、スライダー 61が記録媒体 4の半径方向に近づいた場合（点線の状態）、スライダー 6 1はガイド 64により記録媒体 4に垂直方向に接近する。

なお、上記各実施の形態では、記録媒体の面外方向における変動に対してヘッドと記録媒体との能動的な距離制御機構を全く持たないという点について説明をしたが、本発明は、かかる機構を補助的な役目としてヘッドに組み合わせることを全て排除するものではない。この他にも、上記実施の形態においては種々の手段、部材ないしは構造を限定的に説明したが、当業者の設計可能な範囲にて適宜改変することも可能である。産業上の利用可能性

以上説明したように、この発明の近視野光学ヘッドによれば、浮上型ヘッド機構を構成するスライダーにカンチレバ一を設けたので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。

また、この発明の近視野光学ヘッドでは、浮上型ヘッド機構を構成するスライダ一にカンチレバーを設けたので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが静止した状態でカンチレバーが記録媒体に非接触になるので、先端の微小突起または微小開口を有効に保護できる。

また、この発明の近視野光学ヘッドでは、微小突起または微小開口とスライダ一底面との間に高低差を設けたので、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。また、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。

また、この発明の近視野光学ヘッドでは、サスペンションアームを記録媒体に垂直方向に移動させる移動機構を設けたので、サスペンションアームを記録媒体に接近させたときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。また、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。また、この発明の近視野光学ヘッドでは、サスペンションアームが記録媒体から離れた状態では、微小突起または微小開口が記録媒体に非接触で、先端の微小突起または微小開口を有効に保護できる。そして、サスペンションアームを記録媒体に接近させたときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。そのため、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。

また、この発明の近視野光学ヘッドでは、微小開口を、カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成したので、チップが破壊しにくくなる。また、記録媒体との吸着が少なくなる。特に、チップ先端とスライダー底面との高さ合わせが困難なときに有効な構成となる。

また、この発明の近視野光学ヘッドでは、微小突起または微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記各微小突起または微小開口に対応する記録媒体部分に照射するようにしたので、単一の光源でマルチ化できる。このため、ヘッドサイズをコンパクトにできる。

Claims

lb 請求の範囲

1 . 負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、

当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または微小開口を有する力ンチレバーと、を備え、

前記スライダーが浮上して傾くことで、前記微小突起または微小開口を前記記録媒体に接触させることを特徴とする近視野光学ヘッド。

2. 負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、

微小突起または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体に接触状態にあるときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから延出したカンチレバーと、を備え、

前記スライダーが浮上して傾いたとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触することを特徴とする近視野光学ヘッド。

3. 負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、

端部に微小突起または微小開口を有し、スライダーから延出すると共に前記微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けたカンチレバ —と、を備え、

4. 負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、

当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または微小開口を有する力ンチレバーと、

前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、を備え、

前記移動機構により前記スライダーが前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触することを特徴とする近視野光学ヘッド。

5. 負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、

前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、微小突起または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体から離れた状態にあるときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから延出したカンチレバーと、を備え、

前記スライダーが前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触することを特徴とする近視野光学ヘッド。

6. 前記微小開口を、カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成したことを特徴とする請求項 1 ~5のいずれか 1つに記載の近視野光学ヘッド。

7. 前記微小突起または微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記各微小突起または微小開口に対応する記録媒体部分に照射するようにしたことを特徴とする請求項 1 ~ 6のいずれか 1つに記載の近視野光学ヘッド。