JP4146017B2 - 近視野光学ヘッド - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、近視野光学ヘッドに関し、より詳しくは、近視野顕微鏡技術をハードディスクなどに代表される記録装置のヘッドに適用した近視野光学ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近視野光を利用する光プローブを備えた近視野顕微鏡では、光の回折限界以上の高分解能にて試料を観測することができる。このような近視野顕微鏡では、当該光プローブの試料対向端部として、先鋭化した光ファイバー先端に設けた微小開口や異方性エッチングを施して形成されたシリコン基板上のチップに設けた微小開口を用いたり、光ファイバーの先鋭化された先端や当該チップによる微小突起を用いている。
【０００３】
一方、このような観測原理を応用した、例えば（E. Betzig et al., Science 257,189(1992)）に開示されているような近接場光学メモリも提案されている。このような応用例においては、記録または読取ヘッドに形成される微小開口または微小突起を記録媒体表面に伝搬光である照射光の波長以下に近接または当接させる必要がある。
【０００４】
近接場光学メモリの記録／読取システムにおける多くの場合、ディスク状の記録媒体を回転させ、その表面をヘッドにより走査している。このため、記録媒体の回転に伴い、主面の面内方向（主面に平行な方向）および面外方向（主面に垂直な方向）に振動が発生する。記録／読取システムでは、ヘッドと被検出表面とを近接させる必要があるため、前記面外方向の振動が重要になる。面外方向の振動は、主に記録媒体主面の平面度、記録媒体と回転軸との取り付け精度、および回転軸の軸受け精度に起因する。一方、ヘッド側では、微小開口や微小突起を前記記録媒体の面外方向の振動に追従させる必要がある。
【０００５】
一般的に、近接場光学メモリの記録／読取システムでは、微小開口または微小突起を有するカンチレバー構造を採るヘッドが用いられ、当該ヘッドをコンタクトＡＦＭ（原子力間力顕微鏡：Atomic Force Microscope ）で動作させる場合には当該カンチレバーの撓みを、または、前記ヘッドをサイクリックコンタクト或いはシェアフォースにて動作させる場合にはその振動数、振幅および振動の位相などの変化を検出する距離検出機構が必要になる。さらに、その検出信号をフィードバックするフィードバック回路と、このフィードバック信号に基づいてカンチレバーと記録媒体との間隔を能動的に変化させる距離変位機構とが必要となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の近接場光学メモリの記録／読取システムでは、距離検出機構、フィードバック回路および距離変位機構を必要とするため、構成が複雑化するという問題点があった。
【０００７】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡単な構造でしかも記録媒体とヘッドとの距離制御を簡略化できる近視野光学ヘッドを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、請求項１に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾くことで、前記微小突起または微小開口を前記記録媒体に接触させるものである。
【０００９】
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
【００１０】
また、請求項２に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、微小突起または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体に接触状態にあるときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから延出したカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾いたとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。
【００１１】
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触し、静止状態では非接触になるので、微小突起または微小開口を有効に保護できる。
【００１２】
また、請求項３に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、端部に微小突起または微小開口を有し、スライダーから延出すると共に前記微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けたカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾いたとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。
【００１３】
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、前記微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けることにより、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。
また、請求項４に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、を備え、前記移動機構により前記スライダーが前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
また、請求項５に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、微小突起または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体から離れた状態にあるときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから延出したカンチレバーと、を備え、前記スライダーが前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触することを特徴とする近視野光学ヘッド。
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触し、その他の状態では非接触になるので、微小突起または微小開口を有効に保護できる。
【００１４】
また、請求項６に係る近視野光学ヘッドは、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小開口を、カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成したものである。
【００１５】
現在、スライダー底面にコンタクトパットを設けて行うコンタクト方式が知られており（跳躍をしたときでも最大１０ｎｍの浮上量が得られる）、この発明は、このコンタクトパットに微小開口を形成したものである。特に、チップ先端とスライダー底面との高さ合わせが困難なときに有効な構成となる。また、コンタクトパット程度の大きさならば、チップが破壊しにくくなる。また、記録媒体との吸着が少なくなる。
【００１６】
また、請求項７に係る近視野光学ヘッドは、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小突起または微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記各微小突起または微小開口に対応する記録媒体部分に照射するようにしたものである。
【００１７】
このように、分光器を用いて照射光を分光すれば、単一の光源でマルチ化できる。このため、ヘッドサイズをコンパクトにできる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１による近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。より詳しくは、記録媒体の断面構造とともに当該記録媒体にアクセスする際の姿勢を示すものである。スライダー１は、サスペンションアーム（図示省略）により支持される。これらサスペンションアームとスライダー１とによって浮上ヘッド機構が構成される。サスペンションアームは、ボイスコイルモータ（図示省略）を駆動源とし揺動軸を中心に揺動する。スライダー１の走査方位には、テーパ１ａが設けてある。このテーパ１ａとスライダー底面１ｂおよび記録媒体４の表面とにより、くさび膜形状の流路１ｃを形成する。スライダー１には、サスペンションアームおよびジンバルバネにより、記録媒体４側への負荷加重が与えられている。スライダー１は、シーク制御およびフォローイング制御により記録媒体４のトラック上に位置決めされている。
【００２０】
カンチレバー２は、スライダー１から走査方向に沿って延出している。また、カンチレバー２はその先端にチップ３を有する。チップ３は、先鋭化処理によってくびれたように鋭くなっている。このため、カンチレバー２が記録媒体４に吸着しにくい。また、チップ３とスライダー底面１ｂとの間には、高低差がある。カンチレバー２は、Ｓｉプロセスによりスライダー１と一体成形する。Ｓｉプロセスにより一体成形すれば、スライダー底面１ｂとチップ３との高さを精密に制御できる。このため、非常に先鋭なチップ３であってもその先端を破壊することがない。
【００２１】
記録媒体４の表面には、ビット９が形成されている。記録媒体４の裏面には、光源（図示省略）が配置されている。なお、本例では全反射によるコレクションの場合を示したが、全反射を用いない場合（暗視野照明など）や、イルミネーションでも良い。また、カンチレバー２上方には、集光レンズ５と受光素子６とが配置してある。受光素子６は、光電変換した信号を処理する信号処理系（図示省略）に接続されている。
【００２２】
つぎに、この近視野光学ヘッド１００の動作について説明する。記録媒体４が回転していないときは、スライダー１が浮上せず記録媒体４に接地している。この状態では、図２に示すように、カンチレバー２が記録媒体４にコンタクトすることはない。つぎに、記録媒体４が回転することにより記録媒体４表面上の空気１０がくさび膜形状の流路１ｃに押し込まれると、当該流路１ｃに圧力が発生してスライダー１が浮上する。一方、スライダー１には、サスペンションアームによって負荷加重が与えられている。この負荷加重と前記浮上圧力が均衡して、スライダー１と記録媒体４との間に流路１ｃが生じる。スライダー１は傾いて浮上するから、カンチレバー２のチップ３が記録媒体４にコンタクトする。コンタクトは、図３に示すように記録媒体４に押し付けた状態でも、図４に示すように記録媒体表面４の吸着層１２により引きつけられている状態でもよい。但し、押し付けている場合は、その荷重は少ない方がよい。
【００２３】
記録媒体４の表面には、光源による光７の照射によって近視野光が発生している。スライダー１が浮上してカンチレバー２のチップ３が記録媒体４にコンタクトすると、近視野光が散乱し伝搬光１１が発生する。この伝搬光１１は、集光レンズ５によって集光され、受光素子６により受光される。伝搬光１１の強度その他の状態はビット９の有無により変化するため、これに従い、光電変換した信号の強度が変化する。信号処理系では、信号強度をデータ変換して記録媒体上の情報を再生する。
【００２４】
なお、カンチレバー２の長さや厚さ（バネ定数に対応する）は、スライダー底面１ｂとチップ３との高低差や浮上時のスライダー１の傾きなどに基づき、コンタクト状態でもチップが破壊しないようにバネ定数を小さく設定する。また、カンチレバー２の質量を小さくして応答速度を向上させるようにする。
【００２５】
以上、この近視野光学ヘッド１００によれば、カンチレバー２がスライダー１に支持されているため、記録媒体４の回転による面外振動成分のうち大部分がサスペンションアームにより吸収される。また、スライダー１側で吸収できない、例えば記録媒体表面の微小な凹凸やスライダー１の振動によって加振されるカンチレバー２の振動成分は、コンタクトモードによって吸収可能である。従って、従来のような能動的距離変位機構が不要になる。また、簡単な構成で記録媒体４の表面にカンチレバー２を追従させることができる。さらに、カンチレバーは記録媒体にコンタクトする方式を採用するため、微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
【００２６】
また、上記では、カンチレバーの先端に微小突起を形成したが、通常のＡＦＭカンチレバーに開口が開いている、いわゆる微小開口付きのカンチレバーを用いても良い。
【００２７】
（実施の形態２）
図５は、この発明の実施の形態２に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。この実施の形態２に係る近視野光学ヘッド２００は、カンチレバー２２先端に微小開口２４を持つコンタクトパッド２３を設けた点に特徴がある。その他の構成は実施の形態１の近視野光学ヘッド１００と同様であるので、当該構成の説明は省略する。スライダー２１から延出したカンチレバー型光プローブ（以下、単に「カンチレバー」という）２２の先端には、コンタクトパッド２３が設けてある。このコンタクトパッド２３はＨＤＤのコンタクトスライダーに使用されるような形状になっている。スライダー２１をセラミックで製作する場合、スライダーとチップとが別体となり、これらの高さ合わせが困難になる。このため、記録媒体に対してチップを押し込む状態でコンタクトさせることになって当該チップを破損させるおそれがあるが、微小開口２４を有するコンタクトパッド２３を用いることで前記破壊を防止することができる。
【００２８】
コンタクトパッド２３の先端には微小開口２４が形成されている。図６に、微小開口２４を示す拡大断面図を示す。この微小開口２４は、異方性エッチングにより形成する。微小開口２４は、漏斗形状をしており底には開口部２５を有する。また、コンタクトパッド２３の先端は、記録媒体４との吸着を防止するため、面積を小さくするのが好ましい。その一方、記録媒体４の凹凸に追従するには吸着層で引っ張られるだけの面積が必要である。また、カンチレバーのバネ定数（押し込み力）が小さいと摩耗しにくくなるが、小さすぎると記録媒体４の凹凸により跳躍するので、両条件を満たす適当なバネ定数を設定する必要がある。
【００２９】
つぎに、この近視野光学ヘッド２００の動作について説明する。記録媒体４が回転していないときは、スライダー２１が浮上せず記録媒体４に接地している。この状態では、コンタクトパッド２３が記録媒体４にコンタクトすることはない。つぎに、記録媒体４が回転することにより記録媒体４表面上の空気１０がくさび膜形状の流路２１ｃに押し込まれると、当該流路２１ｃに圧力が発生してスライダー２１が浮上する。一方、スライダー２１には、サスペンションアーム（図示省略）によって負荷加重が与えられている。この負荷加重と前記浮上圧力が均衡して、スライダー２１と記録媒体４との間に流路２１ｃが生じる。スライダー２１は傾いて浮上するから、微小開口２４を持つコンタクトパッド２３が記録媒体４にコンタクトする。ここで、コンタクトパッド２３の信頼性を向上させる必要があるが、サスペンション荷重やパッド質量などを最適に設定することで磨耗を略ゼロにすることができる。
【００３０】
記録媒体４の表面には、光源による光７の照射によって近視野光が発生している。スライダー２１が浮上して微小開口２４が記録媒体４にコンタクトすると、近視野光が散乱し伝搬光１１が発生する。この伝搬光１１は、集光レンズ５によって集光され、受光素子６により受光される。伝搬光１１の強度その他の状態はビット９の有無により変化するため、これに従い、光電変換した信号の強度が変化する。信号処理系では、信号強度をデータ変換して記録媒体上の情報を再生する。
【００３１】
コンタクトパッド２３を持つカンチレバー２２としては、導波路が形成されたものでも、光源や受光素子、集光系などと一体化されているものでも良く、記録再生可能なヘッドとして機能させることができる。また、導波路や光源などが一体化されたカンチレバーを用いれば、マルチ化することができる。マルチ化することで、同時に複数系統の記録再生ができるようになる。
【００３２】
マルチ化近視野光学ヘッドは、図７に示すような構成により実現できる。 すなわち、図６に示した漏斗形状の微小開口３２、開口部３３をコンタクトパッド３１に複数形成し、各微小開口３２の上方に光源（図示省略）を配置するようにする。光源から微小開口に向けて光３５を照射することにより、記録媒体３４面に近視野光が発生する。この近視野光を散乱させて伝搬光を得、記録媒体３４の下方に配置した受光素子（図示省略）によってこの伝搬光を受光し、当該伝搬光のビット３６による強度変化から記録情報を再生する。
【００３３】
（実施の形態３）
上述したヘッドのマルチ化は、次のような構成によっても実現できる。図８に、かかるマルチ化ヘッドの概略構成を示す。複数のチップ４３は、対応する複数のカンチレバー４２の先端に形成される。各カンチレバー４２はスライダー（図示省略）から延出している。スライダーは、図１と同様に流体潤滑の原理に基づいて浮上する。スライダーが傾いて浮上することにより、各チップ４３が同時に記録媒体４４の表面にコンタクトする。各カンチレバー４２の上方には、それぞれレンズアレイ４５が設けてある。レンズアレイ４５は、チップ４３毎に得られる散乱光を個々に集光して光学フィルタアレイ４８に導く。光学フィルタアレイ４８を通過した光は、受光素子アレイ４６で受光する。
【００３４】
照明光は、分光器４７により、λ１〜λ４の波長を持つ光に分割する。分光した各波長の光は、記録媒体４４の裏面であって前記各チップ４３に対応する部分に照射される。なお、分光器４７には、例えばグレーティングや三角プリズムなどを用いる。光学フィルタアレイ４８は、波長λ１〜λ４の波長成分を持つ光のみを透過させる。このため、各受光素子は、各チップ４３に対応する散乱光のみを受光できる。以上のように、分光器４７を用いてマルチヘッドを構成すれば、各チップ毎に光源を設置する必要がないので、比較的コンパクトにまとめることができる。
（実施の形態４）
以上に述べた実施例は、スライダーが浮上して傾くことで先鋭なチップやコンタクトパッドが記録媒体に接触し、スライダーが浮上せず停止している場合にはチップやコンタクトパッドは記録媒体から離れていた。このチップやコンタクトパッドの記録媒体への接触・非接触を制御する方法には、スライダーの浮上による傾きを利用するだけではなく、他の方法によっても可能である。
図９は、この発明の実施の形態４に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。この実施の形態４に係る近視野光学ヘッド３００は、サスペンションアーム５０を記録媒体４に対して垂直方向に移動させるｚ方向移動機構５２を設けた点に特徴がある。その他の構成は実施の形態１の近視野光学ヘッド１００と同様であるので、当該構成の説明は省略する。
次に、この近視野光学ヘッド３００の動作について説明する。記録媒体４が回転している場合には、ｚ方向移動機構５２により、サスペンションアーム５０につながるスライダー６１が記録媒体４に接近した状態となり、実施の形態１と同様にスライダー６１は浮上する。このとき、スライダー６１から延びたカンチレバー６２の先端に設けたチップ６３は、チップ６３とスライダー６１の底面との間に高低差を設けて、記録媒体４に必ず接触するようにしている。ただし、カンチレバー６２のバネ定数が十分柔らかいので、チップ６３が破壊されることはない。
また、記録媒体４が回転していない場合、ｚ方向移動機構５２により、サスペンションアーム５０につながるスライダー６１が記録媒体４から離れた状態となり、チップ６３やスライダー６１は記録媒体４から離れる。そのため、チップ６３やスライダー６１は記録媒体４と吸着することがなくなる。
このように、ｚ方向移動機構によりチップ６３の記録媒体への接触・非接触を制御することができる。その結果、スライダー６１の浮上時には実施の形態１で示したと同様に、チップ６３を破壊することなく接触した状態を保つことができる。また、停止時には、スライダー６１やチップ６３を記録媒体４から離した状態に保つことができるため、スライダー６１やチップ６３の記録媒体４への吸着や破壊を防止することができる。
ここで、近視野光学ヘッド３００としては、チップ６３がカンチレバー６２先端近傍に形成されている場合だけではなく、実施の形態２に示したように、チップ６３の代わりにコンタクトパッドが形成されていても良いことは言うまでもない。
また、サスペンションアーム５０を記録媒体４に対して垂直に移動させるｚ方向移動機構５２として、図１０に示すように、スライダー６１が回転軸５１を中心に記録媒体４の半径方向に移動した場合、ガイドなどにより垂直方向にも移動する機構であっても良い。例えば、スライダー６１が記録媒体４から半径方向に離れた場合（実線の状態）、スライダー６１はガイド６４により記録媒体４から垂直方向に離れる。逆に、スライダー６１が記録媒体４の半径方向に近づいた場合（点線の状態）、スライダー６１はガイド６４により記録媒体４に垂直方向に接近する。
【００３５】
なお、上記各実施の形態では、記録媒体の面外方向における変動に対してヘッドと記録媒体との能動的な距離制御機構を全く持たないという点について説明をしたが、本発明は、かかる機構を補助的な役目としてヘッドに組み合わせることを全て排除するものではない。この他にも、上記実施の形態においては種々の手段、部材ないしは構造を限定的に説明したが、当業者の設計可能な範囲にて適宜改変することも可能である。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の近視野光学ヘッド（請求項１）によれば、浮上型ヘッド機構を構成するスライダーにカンチレバーを設けたので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
【００３７】
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項２）では、浮上型ヘッド機構を構成するスライダーにカンチレバーを設けたので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが静止した状態でカンチレバーが記録媒体に非接触になるので、先端の微小突起または微小開口を有効に保護できる。
【００３８】
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項３）では、微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けたので、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。また、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項４）では、サスペンションアームを記録媒体に垂直方向に移動させる移動機構を設けたので、サスペンションアームを記録媒体に接近させたときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。また、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項５）では、サスペンションアームが記録媒体から離れた状態では、微小突起または微小開口が記録媒体に非接触で、先端の微小突起または微小開口を有効に保護できる。そして、サスペンションアームを記録媒体に接近させたときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。そのため、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。
【００３９】
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項６）では、微小開口を、カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成したので、チップが破壊しにくくなる。また、記録媒体との吸着が少なくなる。特に、チップ先端とスライダー底面との高さ合わせが困難なときに有効な構成となる。
【００４０】
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項７）では、微小突起または微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記各微小突起または微小開口に対応する記録媒体部分に照射するようにしたので、単一の光源でマルチ化できる。このため、ヘッドサイズをコンパクトにできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１による近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図２】 記録媒体が回転していない状態を示す説明図である。
【図３】 チップのコンタクト状態を示す説明図である。
【図４】 チップのコンタクト状態を示す説明図である。
【図５】 この発明の実施の形態２に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図６】 図５に示した微小開口を示す拡大断面図である。
【図７】 ヘッドをマルチ化した場合の構成例を示す概略構成図である。
【図８】 この発明の実施の形態３に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図９】 この発明の実施の形態４に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図１０】 この発明の実施の形態４に係る近視野光学ヘッドの水平方向の動きを示す概略構成図である。
【符号の説明】
１００ 近視野光学ヘッド
１ スライダー
１ａ テーパ
１ｂ スライダー底面
１ｃ 流路
２ カンチレバー
３ チップ
４ 記録媒体
５ 集光レンズ
６ 受光素子
７ 光
９ 記録ビット
１０ 空気
１１ 散乱光
１２ 吸着層
２００ 近視野光学ヘッド
２１ スライダー
２２ カンチレバー
２３ コンタクトパッド
２４ 微小開口
２５ 開口部
３１ コンタクトパッド
３２ 微小開口
３３ 開口部
３４ 記録媒体
３５ 光
３６ ビット
４２ カンチレバー
４３ チップ
４４ 記録媒体
４５ レンズアレイ
４６ 受光素子アレイ
４７ 分光器
４８ フィルターアレイ
３００ 近視野光学ヘッド
５０ サスペンションアーム
５１ 回転軸
５２ ｚ方向移動機構
６１ スライダー
６２ カンチレバー
６３ チップ
６４ ガイド
【発明の属する技術分野】
この発明は、近視野光学ヘッドに関し、より詳しくは、近視野顕微鏡技術をハードディスクなどに代表される記録装置のヘッドに適用した近視野光学ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近視野光を利用する光プローブを備えた近視野顕微鏡では、光の回折限界以上の高分解能にて試料を観測することができる。このような近視野顕微鏡では、当該光プローブの試料対向端部として、先鋭化した光ファイバー先端に設けた微小開口や異方性エッチングを施して形成されたシリコン基板上のチップに設けた微小開口を用いたり、光ファイバーの先鋭化された先端や当該チップによる微小突起を用いている。
【０００３】
一方、このような観測原理を応用した、例えば（E. Betzig et al., Science 257,189(1992)）に開示されているような近接場光学メモリも提案されている。このような応用例においては、記録または読取ヘッドに形成される微小開口または微小突起を記録媒体表面に伝搬光である照射光の波長以下に近接または当接させる必要がある。
【０００４】
近接場光学メモリの記録／読取システムにおける多くの場合、ディスク状の記録媒体を回転させ、その表面をヘッドにより走査している。このため、記録媒体の回転に伴い、主面の面内方向（主面に平行な方向）および面外方向（主面に垂直な方向）に振動が発生する。記録／読取システムでは、ヘッドと被検出表面とを近接させる必要があるため、前記面外方向の振動が重要になる。面外方向の振動は、主に記録媒体主面の平面度、記録媒体と回転軸との取り付け精度、および回転軸の軸受け精度に起因する。一方、ヘッド側では、微小開口や微小突起を前記記録媒体の面外方向の振動に追従させる必要がある。
【０００５】
一般的に、近接場光学メモリの記録／読取システムでは、微小開口または微小突起を有するカンチレバー構造を採るヘッドが用いられ、当該ヘッドをコンタクトＡＦＭ（原子力間力顕微鏡：Atomic Force Microscope ）で動作させる場合には当該カンチレバーの撓みを、または、前記ヘッドをサイクリックコンタクト或いはシェアフォースにて動作させる場合にはその振動数、振幅および振動の位相などの変化を検出する距離検出機構が必要になる。さらに、その検出信号をフィードバックするフィードバック回路と、このフィードバック信号に基づいてカンチレバーと記録媒体との間隔を能動的に変化させる距離変位機構とが必要となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の近接場光学メモリの記録／読取システムでは、距離検出機構、フィードバック回路および距離変位機構を必要とするため、構成が複雑化するという問題点があった。
【０００７】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡単な構造でしかも記録媒体とヘッドとの距離制御を簡略化できる近視野光学ヘッドを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、請求項１に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾くことで、前記微小突起または微小開口を前記記録媒体に接触させるものである。
【０００９】
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
【００１０】
また、請求項２に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、微小突起または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体に接触状態にあるときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから延出したカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾いたとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。
【００１１】
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触し、静止状態では非接触になるので、微小突起または微小開口を有効に保護できる。
【００１２】
また、請求項３に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、端部に微小突起または微小開口を有し、スライダーから延出すると共に前記微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けたカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾いたとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。
【００１３】
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、前記微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けることにより、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。
また、請求項４に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、を備え、前記移動機構により前記スライダーが前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
また、請求項５に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、微小突起または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体から離れた状態にあるときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから延出したカンチレバーと、を備え、前記スライダーが前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触することを特徴とする近視野光学ヘッド。
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触し、その他の状態では非接触になるので、微小突起または微小開口を有効に保護できる。
【００１４】
また、請求項６に係る近視野光学ヘッドは、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小開口を、カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成したものである。
【００１５】
現在、スライダー底面にコンタクトパットを設けて行うコンタクト方式が知られており（跳躍をしたときでも最大１０ｎｍの浮上量が得られる）、この発明は、このコンタクトパットに微小開口を形成したものである。特に、チップ先端とスライダー底面との高さ合わせが困難なときに有効な構成となる。また、コンタクトパット程度の大きさならば、チップが破壊しにくくなる。また、記録媒体との吸着が少なくなる。
【００１６】
また、請求項７に係る近視野光学ヘッドは、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小突起または微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記各微小突起または微小開口に対応する記録媒体部分に照射するようにしたものである。
【００１７】
このように、分光器を用いて照射光を分光すれば、単一の光源でマルチ化できる。このため、ヘッドサイズをコンパクトにできる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は、この発明の実施の形態１による近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。より詳しくは、記録媒体の断面構造とともに当該記録媒体にアクセスする際の姿勢を示すものである。スライダー１は、サスペンションアーム（図示省略）により支持される。これらサスペンションアームとスライダー１とによって浮上ヘッド機構が構成される。サスペンションアームは、ボイスコイルモータ（図示省略）を駆動源とし揺動軸を中心に揺動する。スライダー１の走査方位には、テーパ１ａが設けてある。このテーパ１ａとスライダー底面１ｂおよび記録媒体４の表面とにより、くさび膜形状の流路１ｃを形成する。スライダー１には、サスペンションアームおよびジンバルバネにより、記録媒体４側への負荷加重が与えられている。スライダー１は、シーク制御およびフォローイング制御により記録媒体４のトラック上に位置決めされている。
【００２０】
カンチレバー２は、スライダー１から走査方向に沿って延出している。また、カンチレバー２はその先端にチップ３を有する。チップ３は、先鋭化処理によってくびれたように鋭くなっている。このため、カンチレバー２が記録媒体４に吸着しにくい。また、チップ３とスライダー底面１ｂとの間には、高低差がある。カンチレバー２は、Ｓｉプロセスによりスライダー１と一体成形する。Ｓｉプロセスにより一体成形すれば、スライダー底面１ｂとチップ３との高さを精密に制御できる。このため、非常に先鋭なチップ３であってもその先端を破壊することがない。
【００２１】
記録媒体４の表面には、ビット９が形成されている。記録媒体４の裏面には、光源（図示省略）が配置されている。なお、本例では全反射によるコレクションの場合を示したが、全反射を用いない場合（暗視野照明など）や、イルミネーションでも良い。また、カンチレバー２上方には、集光レンズ５と受光素子６とが配置してある。受光素子６は、光電変換した信号を処理する信号処理系（図示省略）に接続されている。
【００２２】
つぎに、この近視野光学ヘッド１００の動作について説明する。記録媒体４が回転していないときは、スライダー１が浮上せず記録媒体４に接地している。この状態では、図２に示すように、カンチレバー２が記録媒体４にコンタクトすることはない。つぎに、記録媒体４が回転することにより記録媒体４表面上の空気１０がくさび膜形状の流路１ｃに押し込まれると、当該流路１ｃに圧力が発生してスライダー１が浮上する。一方、スライダー１には、サスペンションアームによって負荷加重が与えられている。この負荷加重と前記浮上圧力が均衡して、スライダー１と記録媒体４との間に流路１ｃが生じる。スライダー１は傾いて浮上するから、カンチレバー２のチップ３が記録媒体４にコンタクトする。コンタクトは、図３に示すように記録媒体４に押し付けた状態でも、図４に示すように記録媒体表面４の吸着層１２により引きつけられている状態でもよい。但し、押し付けている場合は、その荷重は少ない方がよい。
【００２３】
記録媒体４の表面には、光源による光７の照射によって近視野光が発生している。スライダー１が浮上してカンチレバー２のチップ３が記録媒体４にコンタクトすると、近視野光が散乱し伝搬光１１が発生する。この伝搬光１１は、集光レンズ５によって集光され、受光素子６により受光される。伝搬光１１の強度その他の状態はビット９の有無により変化するため、これに従い、光電変換した信号の強度が変化する。信号処理系では、信号強度をデータ変換して記録媒体上の情報を再生する。
【００２４】
なお、カンチレバー２の長さや厚さ（バネ定数に対応する）は、スライダー底面１ｂとチップ３との高低差や浮上時のスライダー１の傾きなどに基づき、コンタクト状態でもチップが破壊しないようにバネ定数を小さく設定する。また、カンチレバー２の質量を小さくして応答速度を向上させるようにする。
【００２５】
以上、この近視野光学ヘッド１００によれば、カンチレバー２がスライダー１に支持されているため、記録媒体４の回転による面外振動成分のうち大部分がサスペンションアームにより吸収される。また、スライダー１側で吸収できない、例えば記録媒体表面の微小な凹凸やスライダー１の振動によって加振されるカンチレバー２の振動成分は、コンタクトモードによって吸収可能である。従って、従来のような能動的距離変位機構が不要になる。また、簡単な構成で記録媒体４の表面にカンチレバー２を追従させることができる。さらに、カンチレバーは記録媒体にコンタクトする方式を採用するため、微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
【００２６】
また、上記では、カンチレバーの先端に微小突起を形成したが、通常のＡＦＭカンチレバーに開口が開いている、いわゆる微小開口付きのカンチレバーを用いても良い。
【００２７】
（実施の形態２）
図５は、この発明の実施の形態２に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。この実施の形態２に係る近視野光学ヘッド２００は、カンチレバー２２先端に微小開口２４を持つコンタクトパッド２３を設けた点に特徴がある。その他の構成は実施の形態１の近視野光学ヘッド１００と同様であるので、当該構成の説明は省略する。スライダー２１から延出したカンチレバー型光プローブ（以下、単に「カンチレバー」という）２２の先端には、コンタクトパッド２３が設けてある。このコンタクトパッド２３はＨＤＤのコンタクトスライダーに使用されるような形状になっている。スライダー２１をセラミックで製作する場合、スライダーとチップとが別体となり、これらの高さ合わせが困難になる。このため、記録媒体に対してチップを押し込む状態でコンタクトさせることになって当該チップを破損させるおそれがあるが、微小開口２４を有するコンタクトパッド２３を用いることで前記破壊を防止することができる。
【００２８】
コンタクトパッド２３の先端には微小開口２４が形成されている。図６に、微小開口２４を示す拡大断面図を示す。この微小開口２４は、異方性エッチングにより形成する。微小開口２４は、漏斗形状をしており底には開口部２５を有する。また、コンタクトパッド２３の先端は、記録媒体４との吸着を防止するため、面積を小さくするのが好ましい。その一方、記録媒体４の凹凸に追従するには吸着層で引っ張られるだけの面積が必要である。また、カンチレバーのバネ定数（押し込み力）が小さいと摩耗しにくくなるが、小さすぎると記録媒体４の凹凸により跳躍するので、両条件を満たす適当なバネ定数を設定する必要がある。
【００２９】
つぎに、この近視野光学ヘッド２００の動作について説明する。記録媒体４が回転していないときは、スライダー２１が浮上せず記録媒体４に接地している。この状態では、コンタクトパッド２３が記録媒体４にコンタクトすることはない。つぎに、記録媒体４が回転することにより記録媒体４表面上の空気１０がくさび膜形状の流路２１ｃに押し込まれると、当該流路２１ｃに圧力が発生してスライダー２１が浮上する。一方、スライダー２１には、サスペンションアーム（図示省略）によって負荷加重が与えられている。この負荷加重と前記浮上圧力が均衡して、スライダー２１と記録媒体４との間に流路２１ｃが生じる。スライダー２１は傾いて浮上するから、微小開口２４を持つコンタクトパッド２３が記録媒体４にコンタクトする。ここで、コンタクトパッド２３の信頼性を向上させる必要があるが、サスペンション荷重やパッド質量などを最適に設定することで磨耗を略ゼロにすることができる。
【００３０】
記録媒体４の表面には、光源による光７の照射によって近視野光が発生している。スライダー２１が浮上して微小開口２４が記録媒体４にコンタクトすると、近視野光が散乱し伝搬光１１が発生する。この伝搬光１１は、集光レンズ５によって集光され、受光素子６により受光される。伝搬光１１の強度その他の状態はビット９の有無により変化するため、これに従い、光電変換した信号の強度が変化する。信号処理系では、信号強度をデータ変換して記録媒体上の情報を再生する。
【００３１】
コンタクトパッド２３を持つカンチレバー２２としては、導波路が形成されたものでも、光源や受光素子、集光系などと一体化されているものでも良く、記録再生可能なヘッドとして機能させることができる。また、導波路や光源などが一体化されたカンチレバーを用いれば、マルチ化することができる。マルチ化することで、同時に複数系統の記録再生ができるようになる。
【００３２】
マルチ化近視野光学ヘッドは、図７に示すような構成により実現できる。 すなわち、図６に示した漏斗形状の微小開口３２、開口部３３をコンタクトパッド３１に複数形成し、各微小開口３２の上方に光源（図示省略）を配置するようにする。光源から微小開口に向けて光３５を照射することにより、記録媒体３４面に近視野光が発生する。この近視野光を散乱させて伝搬光を得、記録媒体３４の下方に配置した受光素子（図示省略）によってこの伝搬光を受光し、当該伝搬光のビット３６による強度変化から記録情報を再生する。
【００３３】
（実施の形態３）
上述したヘッドのマルチ化は、次のような構成によっても実現できる。図８に、かかるマルチ化ヘッドの概略構成を示す。複数のチップ４３は、対応する複数のカンチレバー４２の先端に形成される。各カンチレバー４２はスライダー（図示省略）から延出している。スライダーは、図１と同様に流体潤滑の原理に基づいて浮上する。スライダーが傾いて浮上することにより、各チップ４３が同時に記録媒体４４の表面にコンタクトする。各カンチレバー４２の上方には、それぞれレンズアレイ４５が設けてある。レンズアレイ４５は、チップ４３毎に得られる散乱光を個々に集光して光学フィルタアレイ４８に導く。光学フィルタアレイ４８を通過した光は、受光素子アレイ４６で受光する。
【００３４】
照明光は、分光器４７により、λ１〜λ４の波長を持つ光に分割する。分光した各波長の光は、記録媒体４４の裏面であって前記各チップ４３に対応する部分に照射される。なお、分光器４７には、例えばグレーティングや三角プリズムなどを用いる。光学フィルタアレイ４８は、波長λ１〜λ４の波長成分を持つ光のみを透過させる。このため、各受光素子は、各チップ４３に対応する散乱光のみを受光できる。以上のように、分光器４７を用いてマルチヘッドを構成すれば、各チップ毎に光源を設置する必要がないので、比較的コンパクトにまとめることができる。
（実施の形態４）
以上に述べた実施例は、スライダーが浮上して傾くことで先鋭なチップやコンタクトパッドが記録媒体に接触し、スライダーが浮上せず停止している場合にはチップやコンタクトパッドは記録媒体から離れていた。このチップやコンタクトパッドの記録媒体への接触・非接触を制御する方法には、スライダーの浮上による傾きを利用するだけではなく、他の方法によっても可能である。
図９は、この発明の実施の形態４に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。この実施の形態４に係る近視野光学ヘッド３００は、サスペンションアーム５０を記録媒体４に対して垂直方向に移動させるｚ方向移動機構５２を設けた点に特徴がある。その他の構成は実施の形態１の近視野光学ヘッド１００と同様であるので、当該構成の説明は省略する。
次に、この近視野光学ヘッド３００の動作について説明する。記録媒体４が回転している場合には、ｚ方向移動機構５２により、サスペンションアーム５０につながるスライダー６１が記録媒体４に接近した状態となり、実施の形態１と同様にスライダー６１は浮上する。このとき、スライダー６１から延びたカンチレバー６２の先端に設けたチップ６３は、チップ６３とスライダー６１の底面との間に高低差を設けて、記録媒体４に必ず接触するようにしている。ただし、カンチレバー６２のバネ定数が十分柔らかいので、チップ６３が破壊されることはない。
また、記録媒体４が回転していない場合、ｚ方向移動機構５２により、サスペンションアーム５０につながるスライダー６１が記録媒体４から離れた状態となり、チップ６３やスライダー６１は記録媒体４から離れる。そのため、チップ６３やスライダー６１は記録媒体４と吸着することがなくなる。
このように、ｚ方向移動機構によりチップ６３の記録媒体への接触・非接触を制御することができる。その結果、スライダー６１の浮上時には実施の形態１で示したと同様に、チップ６３を破壊することなく接触した状態を保つことができる。また、停止時には、スライダー６１やチップ６３を記録媒体４から離した状態に保つことができるため、スライダー６１やチップ６３の記録媒体４への吸着や破壊を防止することができる。
ここで、近視野光学ヘッド３００としては、チップ６３がカンチレバー６２先端近傍に形成されている場合だけではなく、実施の形態２に示したように、チップ６３の代わりにコンタクトパッドが形成されていても良いことは言うまでもない。
また、サスペンションアーム５０を記録媒体４に対して垂直に移動させるｚ方向移動機構５２として、図１０に示すように、スライダー６１が回転軸５１を中心に記録媒体４の半径方向に移動した場合、ガイドなどにより垂直方向にも移動する機構であっても良い。例えば、スライダー６１が記録媒体４から半径方向に離れた場合（実線の状態）、スライダー６１はガイド６４により記録媒体４から垂直方向に離れる。逆に、スライダー６１が記録媒体４の半径方向に近づいた場合（点線の状態）、スライダー６１はガイド６４により記録媒体４に垂直方向に接近する。
【００３５】
なお、上記各実施の形態では、記録媒体の面外方向における変動に対してヘッドと記録媒体との能動的な距離制御機構を全く持たないという点について説明をしたが、本発明は、かかる機構を補助的な役目としてヘッドに組み合わせることを全て排除するものではない。この他にも、上記実施の形態においては種々の手段、部材ないしは構造を限定的に説明したが、当業者の設計可能な範囲にて適宜改変することも可能である。
【００３６】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の近視野光学ヘッド（請求項１）によれば、浮上型ヘッド機構を構成するスライダーにカンチレバーを設けたので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
【００３７】
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項２）では、浮上型ヘッド機構を構成するスライダーにカンチレバーを設けたので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが静止した状態でカンチレバーが記録媒体に非接触になるので、先端の微小突起または微小開口を有効に保護できる。
【００３８】
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項３）では、微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けたので、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。また、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項４）では、サスペンションアームを記録媒体に垂直方向に移動させる移動機構を設けたので、サスペンションアームを記録媒体に接近させたときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。また、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項５）では、サスペンションアームが記録媒体から離れた状態では、微小突起または微小開口が記録媒体に非接触で、先端の微小突起または微小開口を有効に保護できる。そして、サスペンションアームを記録媒体に接近させたときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。そのため、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。
【００３９】
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項６）では、微小開口を、カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成したので、チップが破壊しにくくなる。また、記録媒体との吸着が少なくなる。特に、チップ先端とスライダー底面との高さ合わせが困難なときに有効な構成となる。
【００４０】
また、この発明の近視野光学ヘッド（請求項７）では、微小突起または微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記各微小突起または微小開口に対応する記録媒体部分に照射するようにしたので、単一の光源でマルチ化できる。このため、ヘッドサイズをコンパクトにできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１による近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図２】 記録媒体が回転していない状態を示す説明図である。
【図３】 チップのコンタクト状態を示す説明図である。
【図４】 チップのコンタクト状態を示す説明図である。
【図５】 この発明の実施の形態２に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図６】 図５に示した微小開口を示す拡大断面図である。
【図７】 ヘッドをマルチ化した場合の構成例を示す概略構成図である。
【図８】 この発明の実施の形態３に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図９】 この発明の実施の形態４に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図１０】 この発明の実施の形態４に係る近視野光学ヘッドの水平方向の動きを示す概略構成図である。
【符号の説明】
１００ 近視野光学ヘッド
１ スライダー
１ａ テーパ
１ｂ スライダー底面
１ｃ 流路
２ カンチレバー
３ チップ
４ 記録媒体
５ 集光レンズ
６ 受光素子
７ 光
９ 記録ビット
１０ 空気
１１ 散乱光
１２ 吸着層
２００ 近視野光学ヘッド
２１ スライダー
２２ カンチレバー
２３ コンタクトパッド
２４ 微小開口
２５ 開口部
３１ コンタクトパッド
３２ 微小開口
３３ 開口部
３４ 記録媒体
３５ 光
３６ ビット
４２ カンチレバー
４３ チップ
４４ 記録媒体
４５ レンズアレイ
４６ 受光素子アレイ
４７ 分光器
４８ フィルターアレイ
３００ 近視野光学ヘッド
５０ サスペンションアーム
５１ 回転軸
５２ ｚ方向移動機構
６１ スライダー
６２ カンチレバー
６３ チップ
６４ ガイド
Claims (6)
- 記録媒体との相対運動により浮上力を得るスライダーと、
前記スライダーを支持すると共に前記スライダーに負荷荷重を与えるサスペンションアームと、
前記スライダーから延出し、端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、を備え、
前記微小突起または前記微小開口と、前記スライダーの底面との間に高低差を設けることにより、
前記記録媒体が回転している時のみ、前記スライダーが、前記浮上力と前記負荷荷重との均衡により前記記録媒体より傾いて浮上し、前記微小突起または前記微小開口は、前記記録媒体にコンタクトすることを特徴とする近視野光学ヘッド。 - 記録媒体との相対運動により浮上力を得るスライダーと、
前記スライダーを支持すると共に前記スライダーに負荷荷重を与えるサスペンションアームと、
前記スライダーから延出し、端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、
前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、を備え、
前記微小突起または前記微小開口と、前記スライダーの底面との間に高低差を設けることにより、
前記記録媒体が回転している時、前記スライダーは、前記移動機構により移動させられ
前記記録媒体に接近した状態となると共に前記記録媒体より傾いて浮上し、前記微小突起または前記微小開口は、前記記録媒体にコンタクトすることを特徴とする近視野光学ヘッド。 - 前記記録媒体が静止している時、前記スライダーは、前記記録媒体と接触状態にあり、前記微小突起または前記微小開口は、前記記録媒体に対して離間状態となることを特徴とする請求項１に記載の近視野光学ヘッド。
- 前記記録媒体が静止している時、前記スライダーは、前記移動機構により移動させられ前記記録媒体から離れた状態となり、前記微小突起または前記微小開口は、前記記録媒体に対して離間状態となることを特徴とする請求項２に記載の近視野光学ヘッド。
- 前記微小開口を、前記カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成したことを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の近視野光学ヘッド。
- 前記微小突起または前記微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光し、前記分光光を各前記微小突起または前記微小開口に対応する前記記録媒体に照射することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれかに記載の近視野光学ヘッド。
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