JP4146017B2 - 近視野光学ヘッド - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、近視野光学ヘッドに関し、より詳しくは、近視野顕微鏡技術をハードディスクなどに代表される記録装置のヘッドに適用した近視野光学ヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
近視野光を利用する光プローブを備えた近視野顕微鏡では、光の回折限界以上の高分解能にて試料を観測することができる。このような近視野顕微鏡では、当該光プローブの試料対向端部として、先鋭化した光ファイバー先端に設けた微小開口や異方性エッチングを施して形成されたシリコン基板上のチップに設けた微小開口を用いたり、光ファイバーの先鋭化された先端や当該チップによる微小突起を用いている。
【0003】
一方、このような観測原理を応用した、例えば(E. Betzig et al., Science 257,189(1992))に開示されているような近接場光学メモリも提案されている。このような応用例においては、記録または読取ヘッドに形成される微小開口または微小突起を記録媒体表面に伝搬光である照射光の波長以下に近接または当接させる必要がある。
【0004】
近接場光学メモリの記録/読取システムにおける多くの場合、ディスク状の記録媒体を回転させ、その表面をヘッドにより走査している。このため、記録媒体の回転に伴い、主面の面内方向(主面に平行な方向)および面外方向(主面に垂直な方向)に振動が発生する。記録/読取システムでは、ヘッドと被検出表面とを近接させる必要があるため、前記面外方向の振動が重要になる。面外方向の振動は、主に記録媒体主面の平面度、記録媒体と回転軸との取り付け精度、および回転軸の軸受け精度に起因する。一方、ヘッド側では、微小開口や微小突起を前記記録媒体の面外方向の振動に追従させる必要がある。
【0005】
一般的に、近接場光学メモリの記録/読取システムでは、微小開口または微小突起を有するカンチレバー構造を採るヘッドが用いられ、当該ヘッドをコンタクトAFM(原子力間力顕微鏡:Atomic Force Microscope )で動作させる場合には当該カンチレバーの撓みを、または、前記ヘッドをサイクリックコンタクト或いはシェアフォースにて動作させる場合にはその振動数、振幅および振動の位相などの変化を検出する距離検出機構が必要になる。さらに、その検出信号をフィードバックするフィードバック回路と、このフィードバック信号に基づいてカンチレバーと記録媒体との間隔を能動的に変化させる距離変位機構とが必要となる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の近接場光学メモリの記録/読取システムでは、距離検出機構、フィードバック回路および距離変位機構を必要とするため、構成が複雑化するという問題点があった。
【0007】
そこで、この発明は、上記に鑑みてなされたものであって、簡単な構造でしかも記録媒体とヘッドとの距離制御を簡略化できる近視野光学ヘッドを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上述の目的を達成するために、請求項1に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾くことで、前記微小突起または微小開口を前記記録媒体に接触させるものである。
【0009】
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
【0010】
また、請求項2に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、微小突起または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体に接触状態にあるときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから延出したカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾いたとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。
【0011】
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触し、静止状態では非接触になるので、微小突起または微小開口を有効に保護できる。
【0012】
また、請求項3に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、端部に微小突起または微小開口を有し、スライダーから延出すると共に前記微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けたカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾いたとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。
【0013】
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、前記微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けることにより、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。
また、請求項4に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、を備え、前記移動機構により前記スライダーが前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触するものである。
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
また、請求項5に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、微小突起または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体から離れた状態にあるときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから延出したカンチレバーと、を備え、前記スライダーが前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触することを特徴とする近視野光学ヘッド。
この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触し、その他の状態では非接触になるので、微小突起または微小開口を有効に保護できる。
【0014】
また、請求項6に係る近視野光学ヘッドは、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小開口を、カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成したものである。
【0015】
現在、スライダー底面にコンタクトパットを設けて行うコンタクト方式が知られており(跳躍をしたときでも最大10nmの浮上量が得られる)、この発明は、このコンタクトパットに微小開口を形成したものである。特に、チップ先端とスライダー底面との高さ合わせが困難なときに有効な構成となる。また、コンタクトパット程度の大きさならば、チップが破壊しにくくなる。また、記録媒体との吸着が少なくなる。
【0016】
また、請求項7に係る近視野光学ヘッドは、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小突起または微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記各微小突起または微小開口に対応する記録媒体部分に照射するようにしたものである。
【0017】
このように、分光器を用いて照射光を分光すれば、単一の光源でマルチ化できる。このため、ヘッドサイズをコンパクトにできる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、この発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
【0019】
(実施の形態1)
図1は、この発明の実施の形態1による近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。より詳しくは、記録媒体の断面構造とともに当該記録媒体にアクセスする際の姿勢を示すものである。スライダー1は、サスペンションアーム(図示省略)により支持される。これらサスペンションアームとスライダー1とによって浮上ヘッド機構が構成される。サスペンションアームは、ボイスコイルモータ(図示省略)を駆動源とし揺動軸を中心に揺動する。スライダー1の走査方位には、テーパ1aが設けてある。このテーパ1aとスライダー底面1bおよび記録媒体4の表面とにより、くさび膜形状の流路1cを形成する。スライダー1には、サスペンションアームおよびジンバルバネにより、記録媒体4側への負荷加重が与えられている。スライダー1は、シーク制御およびフォローイング制御により記録媒体4のトラック上に位置決めされている。
【0020】
カンチレバー2は、スライダー1から走査方向に沿って延出している。また、カンチレバー2はその先端にチップ3を有する。チップ3は、先鋭化処理によってくびれたように鋭くなっている。このため、カンチレバー2が記録媒体4に吸着しにくい。また、チップ3とスライダー底面1bとの間には、高低差がある。カンチレバー2は、Siプロセスによりスライダー1と一体成形する。Siプロセスにより一体成形すれば、スライダー底面1bとチップ3との高さを精密に制御できる。このため、非常に先鋭なチップ3であってもその先端を破壊することがない。
【0021】
記録媒体4の表面には、ビット9が形成されている。記録媒体4の裏面には、光源(図示省略)が配置されている。なお、本例では全反射によるコレクションの場合を示したが、全反射を用いない場合(暗視野照明など)や、イルミネーションでも良い。また、カンチレバー2上方には、集光レンズ5と受光素子6とが配置してある。受光素子6は、光電変換した信号を処理する信号処理系(図示省略)に接続されている。
【0022】
つぎに、この近視野光学ヘッド100の動作について説明する。記録媒体4が回転していないときは、スライダー1が浮上せず記録媒体4に接地している。この状態では、図2に示すように、カンチレバー2が記録媒体4にコンタクトすることはない。つぎに、記録媒体4が回転することにより記録媒体4表面上の空気10がくさび膜形状の流路1cに押し込まれると、当該流路1cに圧力が発生してスライダー1が浮上する。一方、スライダー1には、サスペンションアームによって負荷加重が与えられている。この負荷加重と前記浮上圧力が均衡して、スライダー1と記録媒体4との間に流路1cが生じる。スライダー1は傾いて浮上するから、カンチレバー2のチップ3が記録媒体4にコンタクトする。コンタクトは、図3に示すように記録媒体4に押し付けた状態でも、図4に示すように記録媒体表面4の吸着層12により引きつけられている状態でもよい。但し、押し付けている場合は、その荷重は少ない方がよい。
【0023】
記録媒体4の表面には、光源による光7の照射によって近視野光が発生している。スライダー1が浮上してカンチレバー2のチップ3が記録媒体4にコンタクトすると、近視野光が散乱し伝搬光11が発生する。この伝搬光11は、集光レンズ5によって集光され、受光素子6により受光される。伝搬光11の強度その他の状態はビット9の有無により変化するため、これに従い、光電変換した信号の強度が変化する。信号処理系では、信号強度をデータ変換して記録媒体上の情報を再生する。
【0024】
なお、カンチレバー2の長さや厚さ(バネ定数に対応する)は、スライダー底面1bとチップ3との高低差や浮上時のスライダー1の傾きなどに基づき、コンタクト状態でもチップが破壊しないようにバネ定数を小さく設定する。また、カンチレバー2の質量を小さくして応答速度を向上させるようにする。
【0025】
以上、この近視野光学ヘッド100によれば、カンチレバー2がスライダー1に支持されているため、記録媒体4の回転による面外振動成分のうち大部分がサスペンションアームにより吸収される。また、スライダー1側で吸収できない、例えば記録媒体表面の微小な凹凸やスライダー1の振動によって加振されるカンチレバー2の振動成分は、コンタクトモードによって吸収可能である。従って、従来のような能動的距離変位機構が不要になる。また、簡単な構成で記録媒体4の表面にカンチレバー2を追従させることができる。さらに、カンチレバーは記録媒体にコンタクトする方式を採用するため、微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
【0026】
また、上記では、カンチレバーの先端に微小突起を形成したが、通常のAFMカンチレバーに開口が開いている、いわゆる微小開口付きのカンチレバーを用いても良い。
【0027】
(実施の形態2)
図5は、この発明の実施の形態2に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。この実施の形態2に係る近視野光学ヘッド200は、カンチレバー22先端に微小開口24を持つコンタクトパッド23を設けた点に特徴がある。その他の構成は実施の形態1の近視野光学ヘッド100と同様であるので、当該構成の説明は省略する。スライダー21から延出したカンチレバー型光プローブ(以下、単に「カンチレバー」という)22の先端には、コンタクトパッド23が設けてある。このコンタクトパッド23はHDDのコンタクトスライダーに使用されるような形状になっている。スライダー21をセラミックで製作する場合、スライダーとチップとが別体となり、これらの高さ合わせが困難になる。このため、記録媒体に対してチップを押し込む状態でコンタクトさせることになって当該チップを破損させるおそれがあるが、微小開口24を有するコンタクトパッド23を用いることで前記破壊を防止することができる。
【0028】
コンタクトパッド23の先端には微小開口24が形成されている。図6に、微小開口24を示す拡大断面図を示す。この微小開口24は、異方性エッチングにより形成する。微小開口24は、漏斗形状をしており底には開口部25を有する。また、コンタクトパッド23の先端は、記録媒体4との吸着を防止するため、面積を小さくするのが好ましい。その一方、記録媒体4の凹凸に追従するには吸着層で引っ張られるだけの面積が必要である。また、カンチレバーのバネ定数(押し込み力)が小さいと摩耗しにくくなるが、小さすぎると記録媒体4の凹凸により跳躍するので、両条件を満たす適当なバネ定数を設定する必要がある。
【0029】
つぎに、この近視野光学ヘッド200の動作について説明する。記録媒体4が回転していないときは、スライダー21が浮上せず記録媒体4に接地している。この状態では、コンタクトパッド23が記録媒体4にコンタクトすることはない。つぎに、記録媒体4が回転することにより記録媒体4表面上の空気10がくさび膜形状の流路21cに押し込まれると、当該流路21cに圧力が発生してスライダー21が浮上する。一方、スライダー21には、サスペンションアーム(図示省略)によって負荷加重が与えられている。この負荷加重と前記浮上圧力が均衡して、スライダー21と記録媒体4との間に流路21cが生じる。スライダー21は傾いて浮上するから、微小開口24を持つコンタクトパッド23が記録媒体4にコンタクトする。ここで、コンタクトパッド23の信頼性を向上させる必要があるが、サスペンション荷重やパッド質量などを最適に設定することで磨耗を略ゼロにすることができる。
【0030】
記録媒体4の表面には、光源による光7の照射によって近視野光が発生している。スライダー21が浮上して微小開口24が記録媒体4にコンタクトすると、近視野光が散乱し伝搬光11が発生する。この伝搬光11は、集光レンズ5によって集光され、受光素子6により受光される。伝搬光11の強度その他の状態はビット9の有無により変化するため、これに従い、光電変換した信号の強度が変化する。信号処理系では、信号強度をデータ変換して記録媒体上の情報を再生する。
【0031】
コンタクトパッド23を持つカンチレバー22としては、導波路が形成されたものでも、光源や受光素子、集光系などと一体化されているものでも良く、記録再生可能なヘッドとして機能させることができる。また、導波路や光源などが一体化されたカンチレバーを用いれば、マルチ化することができる。マルチ化することで、同時に複数系統の記録再生ができるようになる。
【0032】
マルチ化近視野光学ヘッドは、図7に示すような構成により実現できる。 すなわち、図6に示した漏斗形状の微小開口32、開口部33をコンタクトパッド31に複数形成し、各微小開口32の上方に光源(図示省略)を配置するようにする。光源から微小開口に向けて光35を照射することにより、記録媒体34面に近視野光が発生する。この近視野光を散乱させて伝搬光を得、記録媒体34の下方に配置した受光素子(図示省略)によってこの伝搬光を受光し、当該伝搬光のビット36による強度変化から記録情報を再生する。
【0033】
(実施の形態3)
上述したヘッドのマルチ化は、次のような構成によっても実現できる。図8に、かかるマルチ化ヘッドの概略構成を示す。複数のチップ43は、対応する複数のカンチレバー42の先端に形成される。各カンチレバー42はスライダー(図示省略)から延出している。スライダーは、図1と同様に流体潤滑の原理に基づいて浮上する。スライダーが傾いて浮上することにより、各チップ43が同時に記録媒体44の表面にコンタクトする。各カンチレバー42の上方には、それぞれレンズアレイ45が設けてある。レンズアレイ45は、チップ43毎に得られる散乱光を個々に集光して光学フィルタアレイ48に導く。光学フィルタアレイ48を通過した光は、受光素子アレイ46で受光する。
【0034】
照明光は、分光器47により、λ1〜λ4の波長を持つ光に分割する。分光した各波長の光は、記録媒体44の裏面であって前記各チップ43に対応する部分に照射される。なお、分光器47には、例えばグレーティングや三角プリズムなどを用いる。光学フィルタアレイ48は、波長λ1〜λ4の波長成分を持つ光のみを透過させる。このため、各受光素子は、各チップ43に対応する散乱光のみを受光できる。以上のように、分光器47を用いてマルチヘッドを構成すれば、各チップ毎に光源を設置する必要がないので、比較的コンパクトにまとめることができる。
(実施の形態4)
以上に述べた実施例は、スライダーが浮上して傾くことで先鋭なチップやコンタクトパッドが記録媒体に接触し、スライダーが浮上せず停止している場合にはチップやコンタクトパッドは記録媒体から離れていた。このチップやコンタクトパッドの記録媒体への接触・非接触を制御する方法には、スライダーの浮上による傾きを利用するだけではなく、他の方法によっても可能である。
図9は、この発明の実施の形態4に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。この実施の形態4に係る近視野光学ヘッド300は、サスペンションアーム50を記録媒体4に対して垂直方向に移動させるz方向移動機構52を設けた点に特徴がある。その他の構成は実施の形態1の近視野光学ヘッド100と同様であるので、当該構成の説明は省略する。
次に、この近視野光学ヘッド300の動作について説明する。記録媒体4が回転している場合には、z方向移動機構52により、サスペンションアーム50につながるスライダー61が記録媒体4に接近した状態となり、実施の形態1と同様にスライダー61は浮上する。このとき、スライダー61から延びたカンチレバー62の先端に設けたチップ63は、チップ63とスライダー61の底面との間に高低差を設けて、記録媒体4に必ず接触するようにしている。ただし、カンチレバー62のバネ定数が十分柔らかいので、チップ63が破壊されることはない。
また、記録媒体4が回転していない場合、z方向移動機構52により、サスペンションアーム50につながるスライダー61が記録媒体4から離れた状態となり、チップ63やスライダー61は記録媒体4から離れる。そのため、チップ63やスライダー61は記録媒体4と吸着することがなくなる。
このように、z方向移動機構によりチップ63の記録媒体への接触・非接触を制御することができる。その結果、スライダー61の浮上時には実施の形態1で示したと同様に、チップ63を破壊することなく接触した状態を保つことができる。また、停止時には、スライダー61やチップ63を記録媒体4から離した状態に保つことができるため、スライダー61やチップ63の記録媒体4への吸着や破壊を防止することができる。
ここで、近視野光学ヘッド300としては、チップ63がカンチレバー62先端近傍に形成されている場合だけではなく、実施の形態2に示したように、チップ63の代わりにコンタクトパッドが形成されていても良いことは言うまでもない。
また、サスペンションアーム50を記録媒体4に対して垂直に移動させるz方向移動機構52として、図10に示すように、スライダー61が回転軸51を中心に記録媒体4の半径方向に移動した場合、ガイドなどにより垂直方向にも移動する機構であっても良い。例えば、スライダー61が記録媒体4から半径方向に離れた場合(実線の状態)、スライダー61はガイド64により記録媒体4から垂直方向に離れる。逆に、スライダー61が記録媒体4の半径方向に近づいた場合(点線の状態)、スライダー61はガイド64により記録媒体4に垂直方向に接近する。
【0035】
なお、上記各実施の形態では、記録媒体の面外方向における変動に対してヘッドと記録媒体との能動的な距離制御機構を全く持たないという点について説明をしたが、本発明は、かかる機構を補助的な役目としてヘッドに組み合わせることを全て排除するものではない。この他にも、上記実施の形態においては種々の手段、部材ないしは構造を限定的に説明したが、当業者の設計可能な範囲にて適宜改変することも可能である。
【0036】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明の近視野光学ヘッド(請求項1)によれば、浮上型ヘッド機構を構成するスライダーにカンチレバーを設けたので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。
【0037】
また、この発明の近視野光学ヘッド(請求項2)では、浮上型ヘッド機構を構成するスライダーにカンチレバーを設けたので、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向上する。さらに、スライダーが静止した状態でカンチレバーが記録媒体に非接触になるので、先端の微小突起または微小開口を有効に保護できる。
【0038】
また、この発明の近視野光学ヘッド(請求項3)では、微小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差を設けたので、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。また、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。
また、この発明の近視野光学ヘッド(請求項4)では、サスペンションアームを記録媒体に垂直方向に移動させる移動機構を設けたので、サスペンションアームを記録媒体に接近させたときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。また、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。
また、この発明の近視野光学ヘッド(請求項5)では、サスペンションアームが記録媒体から離れた状態では、微小突起または微小開口が記録媒体に非接触で、先端の微小突起または微小開口を有効に保護できる。そして、サスペンションアームを記録媒体に接近させたときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するようになる。そのため、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が向上する。
【0039】
また、この発明の近視野光学ヘッド(請求項6)では、微小開口を、カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成したので、チップが破壊しにくくなる。また、記録媒体との吸着が少なくなる。特に、チップ先端とスライダー底面との高さ合わせが困難なときに有効な構成となる。
【0040】
また、この発明の近視野光学ヘッド(請求項7)では、微小突起または微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記各微小突起または微小開口に対応する記録媒体部分に照射するようにしたので、単一の光源でマルチ化できる。このため、ヘッドサイズをコンパクトにできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図2】 記録媒体が回転していない状態を示す説明図である。
【図3】 チップのコンタクト状態を示す説明図である。
【図4】 チップのコンタクト状態を示す説明図である。
【図5】 この発明の実施の形態2に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図6】 図5に示した微小開口を示す拡大断面図である。
【図7】 ヘッドをマルチ化した場合の構成例を示す概略構成図である。
【図8】 この発明の実施の形態3に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図9】 この発明の実施の形態4に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図である。
【図10】 この発明の実施の形態4に係る近視野光学ヘッドの水平方向の動きを示す概略構成図である。
【符号の説明】
100 近視野光学ヘッド
1 スライダー
1a テーパ
1b スライダー底面
1c 流路
2 カンチレバー
3 チップ
4 記録媒体
5 集光レンズ
6 受光素子
7 光
9 記録ビット
10 空気
11 散乱光
12 吸着層
200 近視野光学ヘッド
21 スライダー
22 カンチレバー
23 コンタクトパッド
24 微小開口
25 開口部
31 コンタクトパッド
32 微小開口
33 開口部
34 記録媒体
35 光
36 ビット
42 カンチレバー
43 チップ
44 記録媒体
45 レンズアレイ
46 受光素子アレイ
47 分光器
48 フィルターアレイ
300 近視野光学ヘッド
50 サスペンションアーム
51 回転軸
52 z方向移動機構
61 スライダー
62 カンチレバー
63 チップ
64 ガイド
Claims (6)
- 記録媒体との相対運動により浮上力を得るスライダーと、
前記スライダーを支持すると共に前記スライダーに負荷荷重を与えるサスペンションアームと、
前記スライダーから延出し、端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、を備え、
前記微小突起または前記微小開口と、前記スライダーの底面との間に高低差を設けることにより、
前記記録媒体が回転している時のみ、前記スライダーが、前記浮上力と前記負荷荷重との均衡により前記記録媒体より傾いて浮上し、前記微小突起または前記微小開口は、前記記録媒体にコンタクトすることを特徴とする近視野光学ヘッド。 - 記録媒体との相対運動により浮上力を得るスライダーと、
前記スライダーを支持すると共に前記スライダーに負荷荷重を与えるサスペンションアームと、
前記スライダーから延出し、端部に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、
前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、を備え、
前記微小突起または前記微小開口と、前記スライダーの底面との間に高低差を設けることにより、
前記記録媒体が回転している時、前記スライダーは、前記移動機構により移動させられ
前記記録媒体に接近した状態となると共に前記記録媒体より傾いて浮上し、前記微小突起または前記微小開口は、前記記録媒体にコンタクトすることを特徴とする近視野光学ヘッド。 - 前記記録媒体が静止している時、前記スライダーは、前記記録媒体と接触状態にあり、前記微小突起または前記微小開口は、前記記録媒体に対して離間状態となることを特徴とする請求項1に記載の近視野光学ヘッド。
- 前記記録媒体が静止している時、前記スライダーは、前記移動機構により移動させられ前記記録媒体から離れた状態となり、前記微小突起または前記微小開口は、前記記録媒体に対して離間状態となることを特徴とする請求項2に記載の近視野光学ヘッド。
- 前記微小開口を、前記カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成したことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の近視野光学ヘッド。
- 前記微小突起または前記微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光し、前記分光光を各前記微小突起または前記微小開口に対応する前記記録媒体に照射することを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の近視野光学ヘッド。
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