JPH11339308A - 近視野光学ヘッド - Google Patents
近視野光学ヘッドInfo
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- JPH11339308A JPH11339308A JP11000354A JP35499A JPH11339308A JP H11339308 A JPH11339308 A JP H11339308A JP 11000354 A JP11000354 A JP 11000354A JP 35499 A JP35499 A JP 35499A JP H11339308 A JPH11339308 A JP H11339308A
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- JP
- Japan
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- recording medium
- slider
- minute
- load
- optical head
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/122—Flying-type heads, e.g. analogous to Winchester type in magnetic recording
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
- Y10S977/86—Scanning probe structure
- Y10S977/862—Near-field probe
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
- Y10S977/86—Scanning probe structure
- Y10S977/873—Tip holder
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Head (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構造で記録媒体とヘッドとの距離制御
を簡略化すること。 【解決手段】 浮上ヘッド機構を構成するスライダー１
にカンチレバー２を形成する。カンチレバー２は、その
先端に先鋭化処理を施したチップ３を有する。記録媒体
４が回転すると、スライダー１が傾いて浮上するから、
カンチレバー２先端のチップ３が記録媒体４にコンタク
トする。
を簡略化すること。 【解決手段】 浮上ヘッド機構を構成するスライダー１
にカンチレバー２を形成する。カンチレバー２は、その
先端に先鋭化処理を施したチップ３を有する。記録媒体
４が回転すると、スライダー１が傾いて浮上するから、
カンチレバー２先端のチップ３が記録媒体４にコンタク
トする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、近視野光学ヘッ
ドに関し、より詳しくは、近視野顕微鏡技術をハードデ
ィスクなどに代表される記録装置のヘッドに適用した近
視野光学ヘッドに関する。
ドに関し、より詳しくは、近視野顕微鏡技術をハードデ
ィスクなどに代表される記録装置のヘッドに適用した近
視野光学ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】近視野光を利用する光プローブを備えた
近視野顕微鏡では、光の回折限界以上の高分解能にて試
料を観測することができる。このような近視野顕微鏡で
は、当該光プローブの試料対向端部として、先鋭化した
光ファイバー先端に設けた微小開口や異方性エッチング
を施して形成されたシリコン基板上のチップに設けた微
小開口を用いたり、光ファイバーの先鋭化された先端や
当該チップによる微小突起を用いている。
近視野顕微鏡では、光の回折限界以上の高分解能にて試
料を観測することができる。このような近視野顕微鏡で
は、当該光プローブの試料対向端部として、先鋭化した
光ファイバー先端に設けた微小開口や異方性エッチング
を施して形成されたシリコン基板上のチップに設けた微
小開口を用いたり、光ファイバーの先鋭化された先端や
当該チップによる微小突起を用いている。
【０００３】一方、このような観測原理を応用した、例
えば（E. Betzig et al., Science257,189(1992)）に開
示されているような近接場光学メモリも提案されてい
る。このような応用例においては、記録または読取ヘッ
ドに形成される微小開口または微小突起を記録媒体表面
に伝搬光である照射光の波長以下に近接または当接させ
る必要がある。
えば（E. Betzig et al., Science257,189(1992)）に開
示されているような近接場光学メモリも提案されてい
る。このような応用例においては、記録または読取ヘッ
ドに形成される微小開口または微小突起を記録媒体表面
に伝搬光である照射光の波長以下に近接または当接させ
る必要がある。
【０００４】近接場光学メモリの記録／読取システムに
おける多くの場合、ディスク状の記録媒体を回転させ、
その表面をヘッドにより走査している。このため、記録
媒体の回転に伴い、主面の面内方向（主面に平行な方
向）および面外方向（主面に垂直な方向）に振動が発生
する。記録／読取システムでは、ヘッドと被検出表面と
を近接させる必要があるため、前記面外方向の振動が重
要になる。面外方向の振動は、主に記録媒体主面の平面
度、記録媒体と回転軸との取り付け精度、および回転軸
の軸受け精度に起因する。一方、ヘッド側では、微小開
口や微小突起を前記記録媒体の面外方向の振動に追従さ
せる必要がある。
おける多くの場合、ディスク状の記録媒体を回転させ、
その表面をヘッドにより走査している。このため、記録
媒体の回転に伴い、主面の面内方向（主面に平行な方
向）および面外方向（主面に垂直な方向）に振動が発生
する。記録／読取システムでは、ヘッドと被検出表面と
を近接させる必要があるため、前記面外方向の振動が重
要になる。面外方向の振動は、主に記録媒体主面の平面
度、記録媒体と回転軸との取り付け精度、および回転軸
の軸受け精度に起因する。一方、ヘッド側では、微小開
口や微小突起を前記記録媒体の面外方向の振動に追従さ
せる必要がある。
【０００５】一般的に、近接場光学メモリの記録／読取
システムでは、微小開口または微小突起を有するカンチ
レバー構造を採るヘッドが用いられ、当該ヘッドをコン
タクトＡＦＭ（原子力間力顕微鏡：Atomic Force Micro
scope ）で動作させる場合には当該カンチレバーの撓み
を、または、前記ヘッドをサイクリックコンタクト或い
はシェアフォースにて動作させる場合にはその振動数、
振幅および振動の位相などの変化を検出する距離検出機
構が必要になる。さらに、その検出信号をフィードバッ
クするフィードバック回路と、このフィードバック信号
に基づいてカンチレバーと記録媒体との間隔を能動的に
変化させる距離変位機構とが必要となる。
システムでは、微小開口または微小突起を有するカンチ
レバー構造を採るヘッドが用いられ、当該ヘッドをコン
タクトＡＦＭ（原子力間力顕微鏡：Atomic Force Micro
scope ）で動作させる場合には当該カンチレバーの撓み
を、または、前記ヘッドをサイクリックコンタクト或い
はシェアフォースにて動作させる場合にはその振動数、
振幅および振動の位相などの変化を検出する距離検出機
構が必要になる。さらに、その検出信号をフィードバッ
クするフィードバック回路と、このフィードバック信号
に基づいてカンチレバーと記録媒体との間隔を能動的に
変化させる距離変位機構とが必要となる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の近接場光学メモリの記録／読取システムでは、距離
検出機構、フィードバック回路および距離変位機構を必
要とするため、構成が複雑化するという問題点があっ
た。
来の近接場光学メモリの記録／読取システムでは、距離
検出機構、フィードバック回路および距離変位機構を必
要とするため、構成が複雑化するという問題点があっ
た。
【０００７】そこで、この発明は、上記に鑑みてなされ
たものであって、簡単な構造でしかも記録媒体とヘッド
との距離制御を簡略化できる近視野光学ヘッドを提供す
ることを目的とする。
たものであって、簡単な構造でしかも記録媒体とヘッド
との距離制御を簡略化できる近視野光学ヘッドを提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項１に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を
与えるサスペンションアームにより支持されると共に記
録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と
前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつく
るスライダーと、当該スライダーから延出し、その端部
に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、を
備え、前記スライダーが浮上して傾くことで、前記微小
突起または微小開口を前記記録媒体に接触させるもので
ある。
めに、請求項１に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を
与えるサスペンションアームにより支持されると共に記
録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と
前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙間をつく
るスライダーと、当該スライダーから延出し、その端部
に微小突起または微小開口を有するカンチレバーと、を
備え、前記スライダーが浮上して傾くことで、前記微小
突起または微小開口を前記記録媒体に接触させるもので
ある。
【０００９】この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機
構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機
構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の
回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小
開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用している
こと、から微細なデータの録再が可能になり、データの
転送速度が向上する。
構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機
構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の
回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小
開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用している
こと、から微細なデータの録再が可能になり、データの
転送速度が向上する。
【００１０】また、請求項２に係る近視野光学ヘッド
は、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持
されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、
前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との
間に隙間をつくるスライダーと、微小突起または微小開
口を有し、前記スライダーが記録媒体に接触状態にある
ときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触
状態になるように前記スライダーから延出したカンチレ
バーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾いたと
き、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触
するものである。
は、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持
されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、
前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との
間に隙間をつくるスライダーと、微小突起または微小開
口を有し、前記スライダーが記録媒体に接触状態にある
ときは前記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触
状態になるように前記スライダーから延出したカンチレ
バーと、を備え、前記スライダーが浮上して傾いたと
き、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触
するものである。
【００１１】この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機
構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機
構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の
回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小
開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用している
こと、から微細なデータの録再が可能になり、データの
転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上したと
きにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触
し、静止状態では非接触になるので、微小突起または微
小開口を有効に保護できる。
構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機
構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の
回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小
開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用している
こと、から微細なデータの録再が可能になり、データの
転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上したと
きにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触
し、静止状態では非接触になるので、微小突起または微
小開口を有効に保護できる。
【００１２】また、請求項３に係る近視野光学ヘッド
は、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持
されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、
前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との
間に隙間をつくるスライダーと、端部に微小突起または
微小開口を有し、スライダーから延出すると共に前記微
小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差
を設けたカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮
上して傾いたとき、前記微小突起または微小開口が前記
記録媒体に接触するものである。
は、負荷加重を与えるサスペンションアームにより支持
されると共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、
前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との
間に隙間をつくるスライダーと、端部に微小突起または
微小開口を有し、スライダーから延出すると共に前記微
小突起または微小開口とスライダー底面との間に高低差
を設けたカンチレバーと、を備え、前記スライダーが浮
上して傾いたとき、前記微小突起または微小開口が前記
記録媒体に接触するものである。
【００１３】この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機
構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機
構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の
回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小
開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用している
こと、から微細なデータの録再が可能になり、データの
転送速度が向上する。さらに、前記微小突起または微小
開口とスライダー底面との間に高低差を設けることによ
り、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または
微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、
微小突起または微小開口を有効に保護できる。また、請
求項４に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサ
スペンションアームにより支持されると共に記録媒体と
の相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上
力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライ
ダーと、当該スライダーから延出し、その端部に微小突
起または微小開口を有するカンチレバーと、前記スライ
ダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動
機構と、を備え、前記移動機構により前記スライダーが
前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起ま
たは微小開口が前記記録媒体に接触するものである。こ
の近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるの
で、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要にな
る。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上
の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒
体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微
細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向
上する。また、請求項５に係る近視野光学ヘッドは、負
荷加重を与えるサスペンションアームにより支持される
と共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負
荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙
間をつくるスライダーと、前記スライダーを前記記録媒
体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、微小突起
または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体から
離れた状態にあるときは前記微小突起または微小開口が
記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから
延出したカンチレバーと、を備え、前記スライダーが前
記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起また
は微小開口が前記記録媒体に接触することを特徴とする
近視野光学ヘッド。この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘ
ッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離
制御機構が不要になる。また、近視野光を利用すること
で光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起
や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用し
ていること、から微細なデータの録再が可能になり、デ
ータの転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上
したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に
接触し、その他の状態では非接触になるので、微小突起
または微小開口を有効に保護できる。
構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離制御機
構が不要になる。また、近視野光を利用することで光の
回折限界以上の分解能が得られること、微小突起や微小
開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用している
こと、から微細なデータの録再が可能になり、データの
転送速度が向上する。さらに、前記微小突起または微小
開口とスライダー底面との間に高低差を設けることによ
り、スライダーが浮上したときにのみ、微小突起または
微小開口が記録媒体に接触するようになる。このため、
微小突起または微小開口を有効に保護できる。また、請
求項４に係る近視野光学ヘッドは、負荷加重を与えるサ
スペンションアームにより支持されると共に記録媒体と
の相対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上
力との均衡により記録媒体との間に隙間をつくるスライ
ダーと、当該スライダーから延出し、その端部に微小突
起または微小開口を有するカンチレバーと、前記スライ
ダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動
機構と、を備え、前記移動機構により前記スライダーが
前記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起ま
たは微小開口が前記記録媒体に接触するものである。こ
の近視野光学ヘッドは、浮上型ヘッド機構を用いるの
で、記録媒体に対する能動的な距離制御機構が不要にな
る。また、近視野光を利用することで光の回折限界以上
の分解能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒
体にコンタクトさせる方式を採用していること、から微
細なデータの録再が可能になり、データの転送速度が向
上する。また、請求項５に係る近視野光学ヘッドは、負
荷加重を与えるサスペンションアームにより支持される
と共に記録媒体との相対運動により浮上力を得、前記負
荷加重と前記浮上力との均衡により記録媒体との間に隙
間をつくるスライダーと、前記スライダーを前記記録媒
体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、微小突起
または微小開口を有し、前記スライダーが記録媒体から
離れた状態にあるときは前記微小突起または微小開口が
記録媒体に非接触状態になるように前記スライダーから
延出したカンチレバーと、を備え、前記スライダーが前
記記録媒体に接近して浮上したとき、前記微小突起また
は微小開口が前記記録媒体に接触することを特徴とする
近視野光学ヘッド。この近視野光学ヘッドは、浮上型ヘ
ッド機構を用いるので、記録媒体に対する能動的な距離
制御機構が不要になる。また、近視野光を利用すること
で光の回折限界以上の分解能が得られること、微小突起
や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採用し
ていること、から微細なデータの録再が可能になり、デ
ータの転送速度が向上する。さらに、スライダーが浮上
したときにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に
接触し、その他の状態では非接触になるので、微小突起
または微小開口を有効に保護できる。
【００１４】また、請求項６に係る近視野光学ヘッド
は、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小開口を、
カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成し
たものである。
は、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小開口を、
カンチレバーの端部に設けたコンタクトパッドに形成し
たものである。
【００１５】現在、スライダー底面にコンタクトパット
を設けて行うコンタクト方式が知られており（跳躍をし
たときでも最大１０ｎｍの浮上量が得られる）、この発
明は、このコンタクトパットに微小開口を形成したもの
である。特に、チップ先端とスライダー底面との高さ合
わせが困難なときに有効な構成となる。また、コンタク
トパット程度の大きさならば、チップが破壊しにくくな
る。また、記録媒体との吸着が少なくなる。
を設けて行うコンタクト方式が知られており（跳躍をし
たときでも最大１０ｎｍの浮上量が得られる）、この発
明は、このコンタクトパットに微小開口を形成したもの
である。特に、チップ先端とスライダー底面との高さ合
わせが困難なときに有効な構成となる。また、コンタク
トパット程度の大きさならば、チップが破壊しにくくな
る。また、記録媒体との吸着が少なくなる。
【００１６】また、請求項７に係る近視野光学ヘッド
は、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小突起また
は微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光
し、当該分光光を前記各微小突起または微小開口に対応
する記録媒体部分に照射するようにしたものである。
は、上記近視野光学ヘッドにおいて、前記微小突起また
は微小開口を複数設け、分光器を用いて照射光を分光
し、当該分光光を前記各微小突起または微小開口に対応
する記録媒体部分に照射するようにしたものである。
【００１７】このように、分光器を用いて照射光を分光
すれば、単一の光源でマルチ化できる。このため、ヘッ
ドサイズをコンパクトにできる。
すれば、単一の光源でマルチ化できる。このため、ヘッ
ドサイズをコンパクトにできる。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、この発明につき図面を参照
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
しつつ詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこ
の発明が限定されるものではない。
【００１９】（実施の形態１）図１は、この発明の実施
の形態１による近視野光学ヘッドを示す概略構成図であ
る。より詳しくは、記録媒体の断面構造とともに当該記
録媒体にアクセスする際の姿勢を示すものである。スラ
イダー１は、サスペンションアーム（図示省略）により
支持される。これらサスペンションアームとスライダー
１とによって浮上ヘッド機構が構成される。サスペンシ
ョンアームは、ボイスコイルモータ（図示省略）を駆動
源とし揺動軸を中心に揺動する。スライダー１の走査方
位には、テーパ１ａが設けてある。このテーパ１ａとス
ライダー底面１ｂおよび記録媒体４の表面とにより、く
さび膜形状の流路１ｃを形成する。スライダー１には、
サスペンションアームおよびジンバルバネにより、記録
媒体４側への負荷加重が与えられている。スライダー１
は、シーク制御およびフォローイング制御により記録媒
体４のトラック上に位置決めされている。
の形態１による近視野光学ヘッドを示す概略構成図であ
る。より詳しくは、記録媒体の断面構造とともに当該記
録媒体にアクセスする際の姿勢を示すものである。スラ
イダー１は、サスペンションアーム（図示省略）により
支持される。これらサスペンションアームとスライダー
１とによって浮上ヘッド機構が構成される。サスペンシ
ョンアームは、ボイスコイルモータ（図示省略）を駆動
源とし揺動軸を中心に揺動する。スライダー１の走査方
位には、テーパ１ａが設けてある。このテーパ１ａとス
ライダー底面１ｂおよび記録媒体４の表面とにより、く
さび膜形状の流路１ｃを形成する。スライダー１には、
サスペンションアームおよびジンバルバネにより、記録
媒体４側への負荷加重が与えられている。スライダー１
は、シーク制御およびフォローイング制御により記録媒
体４のトラック上に位置決めされている。
【００２０】カンチレバー２は、スライダー１から走査
方向に沿って延出している。また、カンチレバー２はそ
の先端にチップ３を有する。チップ３は、先鋭化処理に
よってくびれたように鋭くなっている。このため、カン
チレバー２が記録媒体４に吸着しにくい。また、チップ
３とスライダー底面１ｂとの間には、高低差がある。カ
ンチレバー２は、Ｓｉプロセスによりスライダー１と一
体成形する。Ｓｉプロセスにより一体成形すれば、スラ
イダー底面１ｂとチップ３との高さを精密に制御でき
る。このため、非常に先鋭なチップ３であってもその先
端を破壊することがない。
方向に沿って延出している。また、カンチレバー２はそ
の先端にチップ３を有する。チップ３は、先鋭化処理に
よってくびれたように鋭くなっている。このため、カン
チレバー２が記録媒体４に吸着しにくい。また、チップ
３とスライダー底面１ｂとの間には、高低差がある。カ
ンチレバー２は、Ｓｉプロセスによりスライダー１と一
体成形する。Ｓｉプロセスにより一体成形すれば、スラ
イダー底面１ｂとチップ３との高さを精密に制御でき
る。このため、非常に先鋭なチップ３であってもその先
端を破壊することがない。
【００２１】記録媒体４の表面には、ビット９が形成さ
れている。記録媒体４の裏面には、光源（図示省略）が
配置されている。なお、本例では全反射によるコレクシ
ョンの場合を示したが、全反射を用いない場合（暗視野
照明など）や、イルミネーションでも良い。また、カン
チレバー２上方には、集光レンズ５と受光素子６とが配
置してある。受光素子６は、光電変換した信号を処理す
る信号処理系（図示省略）に接続されている。
れている。記録媒体４の裏面には、光源（図示省略）が
配置されている。なお、本例では全反射によるコレクシ
ョンの場合を示したが、全反射を用いない場合（暗視野
照明など）や、イルミネーションでも良い。また、カン
チレバー２上方には、集光レンズ５と受光素子６とが配
置してある。受光素子６は、光電変換した信号を処理す
る信号処理系（図示省略）に接続されている。
【００２２】つぎに、この近視野光学ヘッド１００の動
作について説明する。記録媒体４が回転していないとき
は、スライダー１が浮上せず記録媒体４に接地してい
る。この状態では、図２に示すように、カンチレバー２
が記録媒体４にコンタクトすることはない。つぎに、記
録媒体４が回転することにより記録媒体４表面上の空気
１０がくさび膜形状の流路１ｃに押し込まれると、当該
流路１ｃに圧力が発生してスライダー１が浮上する。一
方、スライダー１には、サスペンションアームによって
負荷加重が与えられている。この負荷加重と前記浮上圧
力が均衡して、スライダー１と記録媒体４との間に流路
１ｃが生じる。スライダー１は傾いて浮上するから、カ
ンチレバー２のチップ３が記録媒体４にコンタクトす
る。コンタクトは、図３に示すように記録媒体４に押し
付けた状態でも、図４に示すように記録媒体表面４の吸
着層１２により引きつけられている状態でもよい。但
し、押し付けている場合は、その荷重は少ない方がよ
い。
作について説明する。記録媒体４が回転していないとき
は、スライダー１が浮上せず記録媒体４に接地してい
る。この状態では、図２に示すように、カンチレバー２
が記録媒体４にコンタクトすることはない。つぎに、記
録媒体４が回転することにより記録媒体４表面上の空気
１０がくさび膜形状の流路１ｃに押し込まれると、当該
流路１ｃに圧力が発生してスライダー１が浮上する。一
方、スライダー１には、サスペンションアームによって
負荷加重が与えられている。この負荷加重と前記浮上圧
力が均衡して、スライダー１と記録媒体４との間に流路
１ｃが生じる。スライダー１は傾いて浮上するから、カ
ンチレバー２のチップ３が記録媒体４にコンタクトす
る。コンタクトは、図３に示すように記録媒体４に押し
付けた状態でも、図４に示すように記録媒体表面４の吸
着層１２により引きつけられている状態でもよい。但
し、押し付けている場合は、その荷重は少ない方がよ
い。
【００２３】記録媒体４の表面には、光源による光７の
照射によって近視野光が発生している。スライダー１が
浮上してカンチレバー２のチップ３が記録媒体４にコン
タクトすると、近視野光が散乱し伝搬光１１が発生す
る。この伝搬光１１は、集光レンズ５によって集光さ
れ、受光素子６により受光される。伝搬光１１の強度そ
の他の状態はビット９の有無により変化するため、これ
に従い、光電変換した信号の強度が変化する。信号処理
系では、信号強度をデータ変換して記録媒体上の情報を
再生する。
照射によって近視野光が発生している。スライダー１が
浮上してカンチレバー２のチップ３が記録媒体４にコン
タクトすると、近視野光が散乱し伝搬光１１が発生す
る。この伝搬光１１は、集光レンズ５によって集光さ
れ、受光素子６により受光される。伝搬光１１の強度そ
の他の状態はビット９の有無により変化するため、これ
に従い、光電変換した信号の強度が変化する。信号処理
系では、信号強度をデータ変換して記録媒体上の情報を
再生する。
【００２４】なお、カンチレバー２の長さや厚さ（バネ
定数に対応する）は、スライダー底面１ｂとチップ３と
の高低差や浮上時のスライダー１の傾きなどに基づき、
コンタクト状態でもチップが破壊しないようにバネ定数
を小さく設定する。また、カンチレバー２の質量を小さ
くして応答速度を向上させるようにする。
定数に対応する）は、スライダー底面１ｂとチップ３と
の高低差や浮上時のスライダー１の傾きなどに基づき、
コンタクト状態でもチップが破壊しないようにバネ定数
を小さく設定する。また、カンチレバー２の質量を小さ
くして応答速度を向上させるようにする。
【００２５】以上、この近視野光学ヘッド１００によれ
ば、カンチレバー２がスライダー１に支持されているた
め、記録媒体４の回転による面外振動成分のうち大部分
がサスペンションアームにより吸収される。また、スラ
イダー１側で吸収できない、例えば記録媒体表面の微小
な凹凸やスライダー１の振動によって加振されるカンチ
レバー２の振動成分は、コンタクトモードによって吸収
可能である。従って、従来のような能動的距離変位機構
が不要になる。また、簡単な構成で記録媒体４の表面に
カンチレバー２を追従させることができる。さらに、カ
ンチレバーは記録媒体にコンタクトする方式を採用する
ため、微細なデータの録再が可能になり、データの転送
速度が向上する。
ば、カンチレバー２がスライダー１に支持されているた
め、記録媒体４の回転による面外振動成分のうち大部分
がサスペンションアームにより吸収される。また、スラ
イダー１側で吸収できない、例えば記録媒体表面の微小
な凹凸やスライダー１の振動によって加振されるカンチ
レバー２の振動成分は、コンタクトモードによって吸収
可能である。従って、従来のような能動的距離変位機構
が不要になる。また、簡単な構成で記録媒体４の表面に
カンチレバー２を追従させることができる。さらに、カ
ンチレバーは記録媒体にコンタクトする方式を採用する
ため、微細なデータの録再が可能になり、データの転送
速度が向上する。
【００２６】また、上記では、カンチレバーの先端に微
小突起を形成したが、通常のＡＦＭカンチレバーに開口
が開いている、いわゆる微小開口付きのカンチレバーを
用いても良い。
小突起を形成したが、通常のＡＦＭカンチレバーに開口
が開いている、いわゆる微小開口付きのカンチレバーを
用いても良い。
【００２７】（実施の形態２）図５は、この発明の実施
の形態２に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図であ
る。この実施の形態２に係る近視野光学ヘッド２００
は、カンチレバー２２先端に微小開口２４を持つコンタ
クトパッド２３を設けた点に特徴がある。その他の構成
は実施の形態１の近視野光学ヘッド１００と同様である
ので、当該構成の説明は省略する。スライダー２１から
延出したカンチレバー型光プローブ（以下、単に「カン
チレバー」という）２２の先端には、コンタクトパッド
２３が設けてある。このコンタクトパッド２３はＨＤＤ
のコンタクトスライダーに使用されるような形状になっ
ている。スライダー２１をセラミックで製作する場合、
スライダーとチップとが別体となり、これらの高さ合わ
せが困難になる。このため、記録媒体に対してチップを
押し込む状態でコンタクトさせることになって当該チッ
プを破損させるおそれがあるが、微小開口２４を有する
コンタクトパッド２３を用いることで前記破壊を防止す
ることができる。
の形態２に係る近視野光学ヘッドを示す概略構成図であ
る。この実施の形態２に係る近視野光学ヘッド２００
は、カンチレバー２２先端に微小開口２４を持つコンタ
クトパッド２３を設けた点に特徴がある。その他の構成
は実施の形態１の近視野光学ヘッド１００と同様である
ので、当該構成の説明は省略する。スライダー２１から
延出したカンチレバー型光プローブ（以下、単に「カン
チレバー」という）２２の先端には、コンタクトパッド
２３が設けてある。このコンタクトパッド２３はＨＤＤ
のコンタクトスライダーに使用されるような形状になっ
ている。スライダー２１をセラミックで製作する場合、
スライダーとチップとが別体となり、これらの高さ合わ
せが困難になる。このため、記録媒体に対してチップを
押し込む状態でコンタクトさせることになって当該チッ
プを破損させるおそれがあるが、微小開口２４を有する
コンタクトパッド２３を用いることで前記破壊を防止す
ることができる。
【００２８】コンタクトパッド２３の先端には微小開口
２４が形成されている。図６に、微小開口２４を示す拡
大断面図を示す。この微小開口２４は、異方性エッチン
グにより形成する。微小開口２４は、漏斗形状をしてお
り底には開口部２５を有する。また、コンタクトパッド
２３の先端は、記録媒体４との吸着を防止するため、面
積を小さくするのが好ましい。その一方、記録媒体４の
凹凸に追従するには吸着層で引っ張られるだけの面積が
必要である。また、カンチレバーのバネ定数（押し込み
力）が小さいと摩耗しにくくなるが、小さすぎると記録
媒体４の凹凸により跳躍するので、両条件を満たす適当
なバネ定数を設定する必要がある。
２４が形成されている。図６に、微小開口２４を示す拡
大断面図を示す。この微小開口２４は、異方性エッチン
グにより形成する。微小開口２４は、漏斗形状をしてお
り底には開口部２５を有する。また、コンタクトパッド
２３の先端は、記録媒体４との吸着を防止するため、面
積を小さくするのが好ましい。その一方、記録媒体４の
凹凸に追従するには吸着層で引っ張られるだけの面積が
必要である。また、カンチレバーのバネ定数（押し込み
力）が小さいと摩耗しにくくなるが、小さすぎると記録
媒体４の凹凸により跳躍するので、両条件を満たす適当
なバネ定数を設定する必要がある。
【００２９】つぎに、この近視野光学ヘッド２００の動
作について説明する。記録媒体４が回転していないとき
は、スライダー２１が浮上せず記録媒体４に接地してい
る。この状態では、コンタクトパッド２３が記録媒体４
にコンタクトすることはない。つぎに、記録媒体４が回
転することにより記録媒体４表面上の空気１０がくさび
膜形状の流路２１ｃに押し込まれると、当該流路２１ｃ
に圧力が発生してスライダー２１が浮上する。一方、ス
ライダー２１には、サスペンションアーム（図示省略）
によって負荷加重が与えられている。この負荷加重と前
記浮上圧力が均衡して、スライダー２１と記録媒体４と
の間に流路２１ｃが生じる。スライダー２１は傾いて浮
上するから、微小開口２４を持つコンタクトパッド２３
が記録媒体４にコンタクトする。ここで、コンタクトパ
ッド２３の信頼性を向上させる必要があるが、サスペン
ション荷重やパッド質量などを最適に設定することで磨
耗を略ゼロにすることができる。
作について説明する。記録媒体４が回転していないとき
は、スライダー２１が浮上せず記録媒体４に接地してい
る。この状態では、コンタクトパッド２３が記録媒体４
にコンタクトすることはない。つぎに、記録媒体４が回
転することにより記録媒体４表面上の空気１０がくさび
膜形状の流路２１ｃに押し込まれると、当該流路２１ｃ
に圧力が発生してスライダー２１が浮上する。一方、ス
ライダー２１には、サスペンションアーム（図示省略）
によって負荷加重が与えられている。この負荷加重と前
記浮上圧力が均衡して、スライダー２１と記録媒体４と
の間に流路２１ｃが生じる。スライダー２１は傾いて浮
上するから、微小開口２４を持つコンタクトパッド２３
が記録媒体４にコンタクトする。ここで、コンタクトパ
ッド２３の信頼性を向上させる必要があるが、サスペン
ション荷重やパッド質量などを最適に設定することで磨
耗を略ゼロにすることができる。
【００３０】記録媒体４の表面には、光源による光７の
照射によって近視野光が発生している。スライダー２１
が浮上して微小開口２４が記録媒体４にコンタクトする
と、近視野光が散乱し伝搬光１１が発生する。この伝搬
光１１は、集光レンズ５によって集光され、受光素子６
により受光される。伝搬光１１の強度その他の状態はビ
ット９の有無により変化するため、これに従い、光電変
換した信号の強度が変化する。信号処理系では、信号強
度をデータ変換して記録媒体上の情報を再生する。
照射によって近視野光が発生している。スライダー２１
が浮上して微小開口２４が記録媒体４にコンタクトする
と、近視野光が散乱し伝搬光１１が発生する。この伝搬
光１１は、集光レンズ５によって集光され、受光素子６
により受光される。伝搬光１１の強度その他の状態はビ
ット９の有無により変化するため、これに従い、光電変
換した信号の強度が変化する。信号処理系では、信号強
度をデータ変換して記録媒体上の情報を再生する。
【００３１】コンタクトパッド２３を持つカンチレバー
２２としては、導波路が形成されたものでも、光源や受
光素子、集光系などと一体化されているものでも良く、
記録再生可能なヘッドとして機能させることができる。
また、導波路や光源などが一体化されたカンチレバーを
用いれば、マルチ化することができる。マルチ化するこ
とで、同時に複数系統の記録再生ができるようになる。
２２としては、導波路が形成されたものでも、光源や受
光素子、集光系などと一体化されているものでも良く、
記録再生可能なヘッドとして機能させることができる。
また、導波路や光源などが一体化されたカンチレバーを
用いれば、マルチ化することができる。マルチ化するこ
とで、同時に複数系統の記録再生ができるようになる。
【００３２】マルチ化近視野光学ヘッドは、図７に示す
ような構成により実現できる。 すなわち、図６に示し
た漏斗形状の微小開口３２、開口部３３をコンタクトパ
ッド３１に複数形成し、各微小開口３２の上方に光源
（図示省略）を配置するようにする。光源から微小開口
に向けて光３５を照射することにより、記録媒体３４面
に近視野光が発生する。この近視野光を散乱させて伝搬
光を得、記録媒体３４の下方に配置した受光素子（図示
省略）によってこの伝搬光を受光し、当該伝搬光のビッ
ト３６による強度変化から記録情報を再生する。
ような構成により実現できる。 すなわち、図６に示し
た漏斗形状の微小開口３２、開口部３３をコンタクトパ
ッド３１に複数形成し、各微小開口３２の上方に光源
（図示省略）を配置するようにする。光源から微小開口
に向けて光３５を照射することにより、記録媒体３４面
に近視野光が発生する。この近視野光を散乱させて伝搬
光を得、記録媒体３４の下方に配置した受光素子（図示
省略）によってこの伝搬光を受光し、当該伝搬光のビッ
ト３６による強度変化から記録情報を再生する。
【００３３】（実施の形態３）上述したヘッドのマルチ
化は、次のような構成によっても実現できる。図８に、
かかるマルチ化ヘッドの概略構成を示す。複数のチップ
４３は、対応する複数のカンチレバー４２の先端に形成
される。各カンチレバー４２はスライダー（図示省略）
から延出している。スライダーは、図１と同様に流体潤
滑の原理に基づいて浮上する。スライダーが傾いて浮上
することにより、各チップ４３が同時に記録媒体４４の
表面にコンタクトする。各カンチレバー４２の上方に
は、それぞれレンズアレイ４５が設けてある。レンズア
レイ４５は、チップ４３毎に得られる散乱光を個々に集
光して光学フィルタアレイ４８に導く。光学フィルタア
レイ４８を通過した光は、受光素子アレイ４６で受光す
る。
化は、次のような構成によっても実現できる。図８に、
かかるマルチ化ヘッドの概略構成を示す。複数のチップ
４３は、対応する複数のカンチレバー４２の先端に形成
される。各カンチレバー４２はスライダー（図示省略）
から延出している。スライダーは、図１と同様に流体潤
滑の原理に基づいて浮上する。スライダーが傾いて浮上
することにより、各チップ４３が同時に記録媒体４４の
表面にコンタクトする。各カンチレバー４２の上方に
は、それぞれレンズアレイ４５が設けてある。レンズア
レイ４５は、チップ４３毎に得られる散乱光を個々に集
光して光学フィルタアレイ４８に導く。光学フィルタア
レイ４８を通過した光は、受光素子アレイ４６で受光す
る。
【００３４】照明光は、分光器４７により、λ１〜λ４
の波長を持つ光に分割する。分光した各波長の光は、記
録媒体４４の裏面であって前記各チップ４３に対応する
部分に照射される。なお、分光器４７には、例えばグレ
ーティングや三角プリズムなどを用いる。光学フィルタ
アレイ４８は、波長λ１〜λ４の波長成分を持つ光のみ
を透過させる。このため、各受光素子は、各チップ４３
に対応する散乱光のみを受光できる。以上のように、分
光器４７を用いてマルチヘッドを構成すれば、各チップ
毎に光源を設置する必要がないので、比較的コンパクト
にまとめることができる。 （実施の形態４）以上に述べた実施例は、スライダーが
浮上して傾くことで先鋭なチップやコンタクトパッドが
記録媒体に接触し、スライダーが浮上せず停止している
場合にはチップやコンタクトパッドは記録媒体から離れ
ていた。このチップやコンタクトパッドの記録媒体への
接触・非接触を制御する方法には、スライダーの浮上に
よる傾きを利用するだけではなく、他の方法によっても
可能である。図９は、この発明の実施の形態４に係る近
視野光学ヘッドを示す概略構成図である。この実施の形
態４に係る近視野光学ヘッド３００は、サスペンション
アーム５０を記録媒体４に対して垂直方向に移動させる
ｚ方向移動機構５２を設けた点に特徴がある。その他の
構成は実施の形態１の近視野光学ヘッド１００と同様で
あるので、当該構成の説明は省略する。次に、この近視
野光学ヘッド３００の動作について説明する。記録媒体
４が回転している場合には、ｚ方向移動機構５２によ
り、サスペンションアーム５０につながるスライダー６
１が記録媒体４に接近した状態となり、実施の形態１と
同様にスライダー６１は浮上する。このとき、スライダ
ー６１から延びたカンチレバー６２の先端に設けたチッ
プ６３は、チップ６３とスライダー６１の底面との間に
高低差を設けて、記録媒体４に必ず接触するようにして
いる。ただし、カンチレバー６２のバネ定数が十分柔ら
かいので、チップ６３が破壊されることはない。また、
記録媒体４が回転していない場合、ｚ方向移動機構５２
により、サスペンションアーム５０につながるスライダ
ー６１が記録媒体４から離れた状態となり、チップ６３
やスライダー６１は記録媒体４から離れる。そのため、
チップ６３やスライダー６１は記録媒体４と吸着するこ
とがなくなる。このように、ｚ方向移動機構によりチッ
プ６３の記録媒体への接触・非接触を制御することがで
きる。その結果、スライダー６１の浮上時には実施の形
態１で示したと同様に、チップ６３を破壊することなく
接触した状態を保つことができる。また、停止時には、
スライダー６１やチップ６３を記録媒体４から離した状
態に保つことができるため、スライダー６１やチップ６
３の記録媒体４への吸着や破壊を防止することができ
る。ここで、近視野光学ヘッド３００としては、チップ
６３がカンチレバー６２先端近傍に形成されている場合
だけではなく、実施の形態２に示したように、チップ６
３の代わりにコンタクトパッドが形成されていても良い
ことは言うまでもない。また、サスペンションアーム５
０を記録媒体４に対して垂直に移動させるｚ方向移動機
能５２として、図１０に示すように、スライダー６１が
回転軸５１を中心に記録媒体４の半径方向に移動した場
合、ガイドなどにより垂直方向にも移動する機構であっ
ても良い。例えば、スライダー６１が記録媒体４から半
径方向に離れた場合（実線の状態）、スライダー６１は
ガイド６４により記録媒体４から垂直方向に離れる。逆
に、スライダー６１が記録媒体４の半径方向に近づいた
場合（点線の状態）、スライダー６１はガイド６４によ
り記録媒体４に垂直方向に接近する。
の波長を持つ光に分割する。分光した各波長の光は、記
録媒体４４の裏面であって前記各チップ４３に対応する
部分に照射される。なお、分光器４７には、例えばグレ
ーティングや三角プリズムなどを用いる。光学フィルタ
アレイ４８は、波長λ１〜λ４の波長成分を持つ光のみ
を透過させる。このため、各受光素子は、各チップ４３
に対応する散乱光のみを受光できる。以上のように、分
光器４７を用いてマルチヘッドを構成すれば、各チップ
毎に光源を設置する必要がないので、比較的コンパクト
にまとめることができる。 （実施の形態４）以上に述べた実施例は、スライダーが
浮上して傾くことで先鋭なチップやコンタクトパッドが
記録媒体に接触し、スライダーが浮上せず停止している
場合にはチップやコンタクトパッドは記録媒体から離れ
ていた。このチップやコンタクトパッドの記録媒体への
接触・非接触を制御する方法には、スライダーの浮上に
よる傾きを利用するだけではなく、他の方法によっても
可能である。図９は、この発明の実施の形態４に係る近
視野光学ヘッドを示す概略構成図である。この実施の形
態４に係る近視野光学ヘッド３００は、サスペンション
アーム５０を記録媒体４に対して垂直方向に移動させる
ｚ方向移動機構５２を設けた点に特徴がある。その他の
構成は実施の形態１の近視野光学ヘッド１００と同様で
あるので、当該構成の説明は省略する。次に、この近視
野光学ヘッド３００の動作について説明する。記録媒体
４が回転している場合には、ｚ方向移動機構５２によ
り、サスペンションアーム５０につながるスライダー６
１が記録媒体４に接近した状態となり、実施の形態１と
同様にスライダー６１は浮上する。このとき、スライダ
ー６１から延びたカンチレバー６２の先端に設けたチッ
プ６３は、チップ６３とスライダー６１の底面との間に
高低差を設けて、記録媒体４に必ず接触するようにして
いる。ただし、カンチレバー６２のバネ定数が十分柔ら
かいので、チップ６３が破壊されることはない。また、
記録媒体４が回転していない場合、ｚ方向移動機構５２
により、サスペンションアーム５０につながるスライダ
ー６１が記録媒体４から離れた状態となり、チップ６３
やスライダー６１は記録媒体４から離れる。そのため、
チップ６３やスライダー６１は記録媒体４と吸着するこ
とがなくなる。このように、ｚ方向移動機構によりチッ
プ６３の記録媒体への接触・非接触を制御することがで
きる。その結果、スライダー６１の浮上時には実施の形
態１で示したと同様に、チップ６３を破壊することなく
接触した状態を保つことができる。また、停止時には、
スライダー６１やチップ６３を記録媒体４から離した状
態に保つことができるため、スライダー６１やチップ６
３の記録媒体４への吸着や破壊を防止することができ
る。ここで、近視野光学ヘッド３００としては、チップ
６３がカンチレバー６２先端近傍に形成されている場合
だけではなく、実施の形態２に示したように、チップ６
３の代わりにコンタクトパッドが形成されていても良い
ことは言うまでもない。また、サスペンションアーム５
０を記録媒体４に対して垂直に移動させるｚ方向移動機
能５２として、図１０に示すように、スライダー６１が
回転軸５１を中心に記録媒体４の半径方向に移動した場
合、ガイドなどにより垂直方向にも移動する機構であっ
ても良い。例えば、スライダー６１が記録媒体４から半
径方向に離れた場合（実線の状態）、スライダー６１は
ガイド６４により記録媒体４から垂直方向に離れる。逆
に、スライダー６１が記録媒体４の半径方向に近づいた
場合（点線の状態）、スライダー６１はガイド６４によ
り記録媒体４に垂直方向に接近する。
【００３５】なお、上記各実施の形態では、記録媒体の
面外方向における変動に対してヘッドと記録媒体との能
動的な距離制御機構を全く持たないという点について説
明をしたが、本発明は、かかる機構を補助的な役目とし
てヘッドに組み合わせることを全て排除するものではな
い。この他にも、上記実施の形態においては種々の手
段、部材ないしは構造を限定的に説明したが、当業者の
設計可能な範囲にて適宜改変することも可能である。
面外方向における変動に対してヘッドと記録媒体との能
動的な距離制御機構を全く持たないという点について説
明をしたが、本発明は、かかる機構を補助的な役目とし
てヘッドに組み合わせることを全て排除するものではな
い。この他にも、上記実施の形態においては種々の手
段、部材ないしは構造を限定的に説明したが、当業者の
設計可能な範囲にて適宜改変することも可能である。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の近視野
光学ヘッド（請求項１）によれば、浮上型ヘッド機構を
構成するスライダーにカンチレバーを設けたので、記録
媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。ま
た、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解
能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコ
ンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデ
ータの録再が可能になり、データの転送速度が向上す
る。
光学ヘッド（請求項１）によれば、浮上型ヘッド機構を
構成するスライダーにカンチレバーを設けたので、記録
媒体に対する能動的な距離制御機構が不要になる。ま
た、近視野光を利用することで光の回折限界以上の分解
能が得られること、微小突起や微小開口を記録媒体にコ
ンタクトさせる方式を採用していること、から微細なデ
ータの録再が可能になり、データの転送速度が向上す
る。
【００３７】また、この発明の近視野光学ヘッド（請求
項２）では、浮上型ヘッド機構を構成するスライダーに
カンチレバーを設けたので、記録媒体に対する能動的な
距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用する
ことで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小
突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採
用していること、から微細なデータの録再が可能にな
り、データの転送速度が向上する。さらに、スライダー
が静止した状態でカンチレバーが記録媒体に非接触にな
るので、先端の微小突起または微小開口を有効に保護で
きる。
項２）では、浮上型ヘッド機構を構成するスライダーに
カンチレバーを設けたので、記録媒体に対する能動的な
距離制御機構が不要になる。また、近視野光を利用する
ことで光の回折限界以上の分解能が得られること、微小
突起や微小開口を記録媒体にコンタクトさせる方式を採
用していること、から微細なデータの録再が可能にな
り、データの転送速度が向上する。さらに、スライダー
が静止した状態でカンチレバーが記録媒体に非接触にな
るので、先端の微小突起または微小開口を有効に保護で
きる。
【００３８】また、この発明の近視野光学ヘッド（請求
項３）では、微小突起または微小開口とスライダー底面
との間に高低差を設けたので、スライダーが浮上したと
きにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触す
るようになる。このため、微小突起または微小開口を有
効に保護できる。また、上記同様に近視野光と浮上型ヘ
ッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対す
る能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速
度が向上する。また、この発明の近視野光学ヘッド（請
求項４）では、サスペンションアームを記録媒体に垂直
方向に移動させる移動機構を設けたので、サスペンショ
ンアームを記録媒体に接近させたときにのみ、微小突起
または微小開口が記録媒体に接触するようになる。この
ため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。ま
た、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合
わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御
機構が不要になり、データの転送速度が向上する。ま
た、この発明の近視野光学ヘッド（請求項５）では、サ
スペンションアームが記録媒体から離れた状態では、微
小突起または微小開口が記録媒体に非接触で、先端の微
小突起または微小開口を有効に保護できる。そして、サ
スペンションアームを記録媒体に接近させたときにの
み、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するよう
になる。そのため、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド
機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能
動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が
向上する。
項３）では、微小突起または微小開口とスライダー底面
との間に高低差を設けたので、スライダーが浮上したと
きにのみ、微小突起または微小開口が記録媒体に接触す
るようになる。このため、微小突起または微小開口を有
効に保護できる。また、上記同様に近視野光と浮上型ヘ
ッド機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対す
る能動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速
度が向上する。また、この発明の近視野光学ヘッド（請
求項４）では、サスペンションアームを記録媒体に垂直
方向に移動させる移動機構を設けたので、サスペンショ
ンアームを記録媒体に接近させたときにのみ、微小突起
または微小開口が記録媒体に接触するようになる。この
ため、微小突起または微小開口を有効に保護できる。ま
た、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド機構とを組み合
わせたことにより、記録媒体に対する能動的な距離制御
機構が不要になり、データの転送速度が向上する。ま
た、この発明の近視野光学ヘッド（請求項５）では、サ
スペンションアームが記録媒体から離れた状態では、微
小突起または微小開口が記録媒体に非接触で、先端の微
小突起または微小開口を有効に保護できる。そして、サ
スペンションアームを記録媒体に接近させたときにの
み、微小突起または微小開口が記録媒体に接触するよう
になる。そのため、上記同様に近視野光と浮上型ヘッド
機構とを組み合わせたことにより、記録媒体に対する能
動的な距離制御機構が不要になり、データの転送速度が
向上する。
【００３９】また、この発明の近視野光学ヘッド（請求
項６）では、微小開口を、カンチレバーの端部に設けた
コンタクトパッドに形成したので、チップが破壊しにく
くなる。また、記録媒体との吸着が少なくなる。特に、
チップ先端とスライダー底面との高さ合わせが困難なと
きに有効な構成となる。
項６）では、微小開口を、カンチレバーの端部に設けた
コンタクトパッドに形成したので、チップが破壊しにく
くなる。また、記録媒体との吸着が少なくなる。特に、
チップ先端とスライダー底面との高さ合わせが困難なと
きに有効な構成となる。
【００４０】また、この発明の近視野光学ヘッド（請求
項７）では、微小突起または微小開口を複数設け、分光
器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記各微小突
起または微小開口に対応する記録媒体部分に照射するよ
うにしたので、単一の光源でマルチ化できる。このた
め、ヘッドサイズをコンパクトにできる。
項７）では、微小突起または微小開口を複数設け、分光
器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記各微小突
起または微小開口に対応する記録媒体部分に照射するよ
うにしたので、単一の光源でマルチ化できる。このた
め、ヘッドサイズをコンパクトにできる。
【図１】この発明の実施の形態１による近視野光学ヘッ
ドを示す概略構成図である。
ドを示す概略構成図である。
【図２】記録媒体が回転していない状態を示す説明図で
ある。
ある。
【図３】チップのコンタクト状態を示す説明図である。
【図４】チップのコンタクト状態を示す説明図である。
【図５】この発明の実施の形態２に係る近視野光学ヘッ
ドを示す概略構成図である。
ドを示す概略構成図である。
【図６】図５に示した微小開口を示す拡大断面図であ
る。
る。
【図７】ヘッドをマルチ化した場合の構成例を示す概略
構成図である。
構成図である。
【図８】この発明の実施の形態３に係る近視野光学ヘッ
ドを示す概略構成図である。
ドを示す概略構成図である。
【図９】この発明の実施の形態４に係る近視野光学ヘッ
ドを示す概略構成図である。
ドを示す概略構成図である。
【図１０】この発明の実施の形態４に係る近視野光学ヘ
ッドの水平方向の動きを示すを示す概略構成図である。
ッドの水平方向の動きを示すを示す概略構成図である。
１００ 近視野光学ヘッド １ スライダー １ａ テーパ １ｂ スライダー底面 １ｃ 流路 ２ カンチレバー ３ チップ ４ 記録媒体 ５ 集光レンズ ６ 受光素子 ７ 光 ９ 記録ビット １０ 空気 １１ 散乱光 １２ 吸着層 ２００ 近視野光学ヘッド ２１ スライダー ２２ カンチレバー ２３ コンタクトパッド ２４ 微小開口 ２５ 開口部 ３１ コンタクトパッド ３２ 微小開口 ３３ 開口部 ３４ 記録媒体 ３５ 光 ３６ ビット ４２ カンチレバー ４３ チップ ４４ 記録媒体 ４５ レンズアレイ ４６ 受光素子アレイ ４７ 分光器 ４８ フィルターアレイ ３００ 近視野光学ヘッド ５０ サスペンションアーム ５１ 回転軸 ５２ ｚ方向移動機構 ６１ スライダー ６２ カンチレバー ６３ チップ ６４ ガイド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新輪 隆 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 加藤 健二 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 大海 学 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者 中島 邦雄 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 セ イコーインスツルメンツ株式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】 負荷加重を与えるサスペンションアーム
により支持されると共に記録媒体との相対運動により浮
上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記
録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、 当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または
微小開口を有するカンチレバーと、を備え、 前記スライダーが浮上して傾くことで、前記微小突起ま
たは微小開口を前記記録媒体に接触させることを特徴と
する近視野光学ヘッド。 - 【請求項２】 負荷加重を与えるサスペンションアーム
により支持されると共に記録媒体との相対運動により浮
上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記
録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、 微小突起または微小開口を有し、前記スライダーが記録
媒体に接触状態にあるときは前記微小突起または微小開
口が記録媒体に非接触状態になるように前記スライダー
から延出したカンチレバーと、を備え、 前記スライダーが浮上して傾いたとき、前記微小突起ま
たは微小開口が前記記録媒体に接触することを特徴とす
る近視野光学ヘッド。 - 【請求項３】 負荷加重を与えるサスペンションアーム
により支持されると共に記録媒体との相対運動により浮
上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記
録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、 端部に微小突起または微小開口を有し、スライダーから
延出すると共に前記微小突起または微小開口とスライダ
ー底面との間に高低差を設けたカンチレバーと、を備
え、 前記スライダーが浮上して傾いたとき、前記微小突起ま
たは微小開口が前記記録媒体に接触することを特徴とす
る近視野光学ヘッド。 - 【請求項４】 負荷加重を与えるサスペンションアーム
により支持されると共に記録媒体との相対運動により浮
上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記
録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、 当該スライダーから延出し、その端部に微小突起または
微小開口を有するカンチレバーと、前記スライダーを前
記記録媒体に対して垂直方向に移動させる移動機構と、
を備え、 前記移動機構により前記スライダーが前記記録媒体に接
近して浮上したとき、前記微小突起または微小開口が前
記記録媒体に接触することを特徴とする近視野光学ヘッ
ド。 - 【請求項５】 負荷加重を与えるサスペンションアーム
により支持されると共に記録媒体との相対運動により浮
上力を得、前記負荷加重と前記浮上力との均衡により記
録媒体との間に隙間をつくるスライダーと、 前記スライダーを前記記録媒体に対して垂直方向に移動
させる移動機構と、微小突起または微小開口を有し、前
記スライダーが記録媒体から離れた状態にあるときは前
記微小突起または微小開口が記録媒体に非接触状態にな
るように前記スライダーから延出したカンチレバーと、
を備え、 前記スライダーが前記記録媒体に接近して浮上したと
き、前記微小突起または微小開口が前記記録媒体に接触
することを特徴とする近視野光学ヘッド。 - 【請求項６】 前記微小開口を、カンチレバーの端部に
設けたコンタクトパッドに形成したことを特徴とする請
求項１〜５のいずれか１つに記載の近視野光学ヘッド。 - 【請求項７】 前記微小突起または微小開口を複数設
け、分光器を用いて照射光を分光し、当該分光光を前記
各微小突起または微小開口に対応する記録媒体部分に照
射するようにしたことを特徴とする請求項１〜６のいず
れか１つに記載の近視野光学ヘッド。
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| JPH10293134A (ja) * | 1997-02-19 | 1998-11-04 | Canon Inc | 光検出または照射用のプローブ、及び該プローブを備えた近視野光学顕微鏡・記録再生装置・露光装置、並びに該プローブの製造方法 |
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