JP2003099968A

JP2003099968A - 光ヘッド

Info

Publication number: JP2003099968A
Application number: JP2001296287A
Authority: JP
Inventors: Takashi Arawa; 隆新輪; Yasuyuki Mitsuoka; 靖幸光岡; Manabu Omi; 学大海; Nobuyuki Kasama; 宣行笠間; Kenji Kato; 健二加藤; Hidetaka Maeda; 英孝前田; Yoko Shinohara; 陽子篠原; Susumu Ichihara; 進市原
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 2001-09-27
Filing date: 2001-09-27
Publication date: 2003-04-04
Anticipated expiration: 2021-09-27
Also published as: JP4482254B2

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】高速移動が可能で、強度の大きな近接場光を
安定に照射でき、組立時の取り扱いが容易な光ヘッドを
得ることである。【解決手段】負荷加重を与えるサスペンションアーム
に取り付けられる固定部１１と、固定部１１に取り付け
られ、固定部１１に対する姿勢を変化し得るフレクシャ
ー１と、フレクシャー１に取り付けられ、記録媒体との
相対運動により浮上力を得、負荷加重と浮上力との均衡
により記録媒体との間に隙間をつくるスライダー４と、
記録媒体と対向するように形成された光学的な開口３
と、開口３へ光を導入する光導入部６からなり、光導入
部６が固定部１１に形成され、フレクシャー１が固定部
１１の記録媒体に面する側の極表層に形成されているこ
とを特徴とする光ヘッド１０００とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光を利用して記録
媒体表面の微小領域との相互作用を検出することによ
り、高密度な情報記録および再生を行う記録装置、特に
入力光の波長以下の微小領域での構造情報あるいは光学
情報を観察し、高密度な情報記録および再生に利用する
近視野光利用情報記録装置のための光ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、光ディスクなど光を利用した高密
度な情報記録および再生を行う装置の開発が盛んに進め
られている。情報の高密度化のためには紫外線を用いる
など波長を短くすることが必要だが、これには限界があ
るため油浸あるいは固浸対物レンズ（以下、SIL）を使
うなどの方法がある。実質的な波長を短くする別の方法
として波数の一成分を虚数にする近視野光利用が挙げら
れる。近視野光を利用した高分解能プローブは、近視野
光顕微鏡や近視野光ヘッドに使われている。プローブの
先端から近視野光を発生させて、顕微鏡試料あるいは記
録媒体と近視野光の相互作用の結果発生する伝播光を検
出することで、光の回折限界を超える空間分解能が得ら
れる。入射伝播光と、試料あるいは記録媒体との相互作
用の結果発生した近視野光をプローブによって検出する
方法もある。近視野顕微鏡はこの原理によって従来の光
学顕微鏡の回折限界を超える分解能を達成している。ま
たこのような近視野光プローブを近視野光ヘッドに利用
した場合には、従来の光ディスクを超えるデータ記録密
度が可能となる。

【０００３】近視野光ヘッドを用いたデータストレージ
装置においては、基本的構成は従来型の磁気ディスク装
置と同じで、磁気ヘッドの代わりに近視野光ヘッドを用
いる。このとき近視野光ヘッドはフレクシャー構造によ
って、動作中に記録媒体表面に対して常に一定の姿勢を
保つことができる。サスペンションアームの長さ方向を
ｚ軸とし、ｚ軸に垂直で記録媒体に平行な方向をｘ軸、
垂直方向をｙ軸とすると、典型的なフレクシャー構造は
ｚ軸方向においてのみサスペンションアームと接続され
た枠状構造の内側に、光ヘッドが、ｘ軸方向においての
み前記枠状構造に接続されている。この構造により、前
記枠状構造はｚ軸に対して回転自由度をもち、光ヘッド
は前記枠状構造に対してｘ軸を回転軸とする自由度を持
つ。すなわち光ヘッドはサスペンションアームに対して
ｚ軸とｘ軸を軸とする回転自由度を持つ。

【０００４】このような光ヘッドの例を図７に示す。図
７（ａ）にしめす光ヘッドアセンブリ７００１は、サス
ペンションアーム701にフレクシャー構造702が取り付け
られ、フレクシャー構造702には、光ヘッド703が取り付
けられている。光ヘッド７０３は、反射基板７０６、レ
ンズ７０７、スライダー７０５、チップ７１０、および
チップ７１０の先端に形成された開口７０９からなる。
光ヘッドアセンブリ７００１では、開口７０９に光を導
入するために、反射基板７０６に光ファイバーや光導波
路などの光伝搬体７０４が接続される。光伝搬対７０４
から出射された光９９９は、反射基板７０６、レンズ７
０７を経て開口７０９へ導入される。この構造によれ
ば、光９９９の光軸が固定されるため、開口７０９から
記録媒体に安定した強度の近接場光を照射することがで
きる。

【０００５】また、図７（ｂ）に示すような光ヘッドア
センブリ７００２が知られている。光ヘッドアセンブリ
７００２の構成要素は、図７（ａ）に示した光ヘッドア
センブリ７００１と同じであり、反射基板７０６、レン
ズ７０７をサスペンションアーム７０１に取り付けると
ともに、サスペンションアームにフレクシャー構造７０
２を取り付け、フレクシャー構造７０２に光ヘッド７０
３を取り付けた構造となっている。

【０００６】また、特開２０００-２１５４９４に開示
されているように導波路をスライダーとして用い、記録
媒体と接する面に開口をもうけた光ピックアップが知ら
れている。

【０００７】姿勢を高速に変化させている光ヘッドに光
を入射する必要は近視野光を利用した記録装置に限ら
ず、光ディスクなどの他の光記録装置においても起こる
ものである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図７
（ａ）に示した構造によって光を開口に入射させると、
導波路などのなんらかの構造体が光ヘッドに接続してい
ることが光ヘッドの自由な運動を妨げ、光ヘッドの姿勢
維持が困難となり、記録媒体表面と開口の距離を一定に
保つことができない。

【０００９】また、図７（ｂ）に示した構造によれば、
光ヘッド７０３の運動を妨げるような構造ではないが、
回転軸を有するフレクシャー構造７０２から開口７０９
までの距離Ｌ１が長いため、光ヘッド７０３の運動によ
って、光９９９の光軸から開口７０９の位置がずれる。
従って、開口７０９から記録媒体に照射される近接場光
の強度が不安定である問題があった。この問題を解決す
るために、光ヘッド７０３を薄片化してＬ１を短くする
ことが容易に考えられる。しかし、光ヘッド７０３とフ
レクシャー構造７０２との組立を容易に行うためにはあ
る程度の厚さ（数１００μｍ程度）が必要である。ま
た、一般的なレンズ７０７の焦点距離Ｌ２は、数１０μ
ｍ以上であり、開口７０９の位置で焦点となるように光
ヘッド７０３を薄片化するには限界がある。仮に光ヘッ
ド７０３が薄片化できたとしても、Ｌ２が非常に小さく
なるためレンズ７０７にＳＩＬを用いる必要があり、各
光学素子の位置決めに高い精度が要求されるため、組立
コストが高くなる問題があった。

【００１０】また、回転機能を有するフレクシャー構造
に重い光ヘッドが取り付けられているため、記録媒体の
凹凸に対して姿勢を維持するための追従性が良くないた
め、高速に光ヘッドを移動することが困難であった。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記の問題に
鑑みてなされたものであり、負荷加重を与えるサスペン
ションアームに取り付けられる固定部分と、前記固定部
分に取り付けられ、前記固定部分に対する姿勢を変化し
得るフレクシャー構造と、前記フレクシャー構造に取り
付けられ、記録媒体との相対運動により浮上力を得、前
記負荷加重と前記浮上力との均衡により前記記録媒体と
の間に隙間をつくるスライダーと、前記記録媒体と対向
するように形成された光学的な開口と、前記開口へ光を
導入する光入射部からなり、前記光入射部が前記固定部
に形成され、前記フレクシャー構造が前記固定部分の前
記記録媒体に面する側の極表層に形成されていることを
特徴とする光ヘッドとした。

【００１２】また、前記フレクシャー構造が前記固定部
分の表面から２０μｍ以内に構成されていることを特徴
とする光ヘッドとした。

【００１３】また、前記開口へ導入される入射光の光軸
と前記フレクシャー構造の少なくとも一つの回転軸とが
交わることを特徴とする光ヘッドとした。

【００１４】また、前記開口が、錐状のチップの先端に
形成されていることを特徴とする光ヘッドとした。

【００１５】また、前記チップおよび前記開口が前記固
定部分に固定されていることを特徴とする光ヘッドとし
た。

【００１６】また、前記チップおよび前記開口が前記フ
レクシャーとともに可動なことを特徴とする光ヘッドと
した。

【００１７】また、前記開口へ光を導入するための光学
的空間が前記フレクシャーに形成されていることを特徴
とする光ヘッドとした。また、前記フレクシャー構造が
２つ以上形成されていることを特徴とする光ヘッドとし
た。

【００１８】また、前記光入射部から前記開口までのす
べての光学系が固定されていることを特徴とする光ヘッ
ドとした。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の光ヘッドについ
て、添付の図面を参照して詳細に説明する。

【００２０】（実施の形態１）図１は、本発明の実施の
形態１に係る光ヘッドの概略図である。図１(a)は、光
ヘッド1000のスライダー4が形成された面からみた上面
図である。図１(b)は、同図(a)中a-a’で示す位置での
断面図である。図１（ｃ）は、同図(a)中c-c’で示す位
置での断面図である。図１（ｄ）は、同図(a)中ｂ-ｂ’
で示す位置での断面図である。

【００２１】本発明の光ヘッド１０００は、基部５、基
部５の上に形成されたエッチングストップ層８、エッチ
ングストップ層の上に形成された支持層７、支持層７の
上に形成されたフレクシャー１、フレクシャー１の上に
形成された錐状のチップ２およびスライダー４、チップ
２の先端に形成された開口３、基部５に形成された光導
入部６と、開口３以外の少なくともチップ２を覆うよう
に形成された遮光膜（図示していない）からなる。図１
（ｂ）および同図（ｃ）に示すように、フレクシャー１
は、軸１０を介して外周部１２と接続し、フレクシャー
１の外周部１２は、軸9および固定部１１を介して支持
層７に固定される。したがって、フレクシャー１は、軸
9、軸１０を中心とした回転運動が可能である。また、
軸９および軸１０の回転軸は、それぞれ、開口３のほぼ
中心をとおりフレクシャーに対して垂直な線と交わる。
図１（ｂ）に示すように、光ヘッド１０００は、光導入
部６を通して入射光９９９を開口３へ導入することによ
って、開口３から近接場光を照射することができる。

【００２２】チップ２およびスライダー４は、シリコン
や二酸化ケイ素などの誘電体からなる。また、基部５
は、シリコンや二酸化ケイ素などの誘電体からなる。な
お、フレクシャー１、軸９、軸１０、固定部１１、外周
部１２は、シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素などの
誘電体からなる。また、図示していない遮光膜は、アル
ミニウムや金などの金属からなる。

【００２３】光ヘッド１０００の長さL、幅Wは、それぞ
れ３mm以下である。また、基部５の厚さT1は、数１００
μｍ以上であり、支持層７およびエッチングストップ層
８の厚さは、数１０μｍ以下である。また、フレクシャ
ー１、軸９、軸１０、固定部１１、外周部１２の厚さ
は、数μｍ以下である。軸９および軸１０の長さおよび
幅は、それぞれ、数μｍから１０００μｍ、数μｍから
数１００μｍである。また、チップ２の高さH１は、１
０数μｍである。また、チップ２の高さH１とスライダ
ー４の高さH2の高さの差は、１００ｎｍ以下である。

【００２４】図２は、光ヘッド１０００を用いた光ヘッ
ドアセンブリ１００１を説明する図である。光ヘッド１
０００は、説明を簡単にするため、一部の構成要素を省
略している。光ヘッドアセンブリ１００１は、サスペン
ションアーム２３に固定された光ヘッド１０００、ミラ
ー２１、レンズ２６、およびミラー２１に固定された光
伝搬体２２、記録媒体２７、図示しない光源、記録媒体
を回転させるための回転駆動部、受光光学系および信号
処理部からなる。光源から照射された入射光９９９は、
光伝搬体２２によってミラー２１へ導かれる。ミラー２
１によって偏向された入射光９９９はレンズ２６に導入
される。レンズ２６によって集光された入射光９９９
は、チップ２を通り、チップ先端に形成された開口３へ
導入され、開口３からは、近接場光が照射される。開口
３から照射される近接場光は、記録媒体２７との相互作
用によって、記録媒体２７の近接場が照射された領域の
光学情報を反映した伝搬光に変換され、受光光学系へと
導かれる。受光光学系によって得られた信号は、信号処
理部によって処理され、記録媒体に記録された情報を再
生する。光ヘッド１０００は、記録媒体が回転すること
によって生じる空気流とスライダー４との相互作用によ
って生じる浮力とサスペンションアームの押し付け力と
のつりあいによって、記録媒体上を１００ｎｍ以下の高
さで浮上する。また、フレクシャー１は、軸９および軸
１０を中心とした回転運動が可能であり、記録媒体のう
ねりに対して浮上量が一定になるように追従することが
可能である。なお、上記では、記録媒体に記録された情
報を再生する手順を説明したが、入射光９９９の強度を
大きくすることによって、記録媒体上へ情報を書き込む
こともできる。

【００２５】図３は、光ヘッド１０００の作製方法を説
明した図である。光ヘッド１０００の作製方法は、ま
ず、図３（ａ）に示すように、基板105上にエッチング
ストップ層１０８を形成し、エッチングストップ層１０
８上に支持層１０７を形成し、支持層１０７上にフレク
シャー層１０１を形成する。基板１０５、エッチングス
トップ層１０８、支持層１０７、フレクシャー層１０１
のそれぞれの厚さは、２００μｍ以上、数μｍ、数μ
ｍ、数μｍである。また、基板１０５、エッチングスト
ップ層１０８、支持層１０７、フレクシャー層１０１
は、シリコン、二酸化ケイ素、窒化ケイ素などの誘電体
からなる。

【００２６】次に、図３（ｂ）に示すように、透明体１
０２を形成する。透明体１０２は、二酸化ケイ素、シリ
コン、窒化ケイ素などの誘電体からなる。透明体１０２
の厚さは、数μｍ以上である。

【００２７】次に、図３（ｃ）に示すように、透明体１
０２の上に、フォトレジスト１０３を形成し、透明体１
０２に１００〜２００ｎｍの段差を形成する。

【００２８】次に、図３（ｄ）に示すように、チップ用
マスク１１２およびスライダー用マスク１１１をフォト
リソグラフィ工程によって形成し、透明体１０２を等方
性エッチングによってエッチングし、チップ２を形成す
るとともに、スライダー原型１１５を形成する。

【００２９】次に、図３（ｅ）に示すように、マスク１
１３をフォトリソグラフィ工程によってマスク１１３を
形成し、異方性ドライエッチングによって、スライダー
１１６を形成する。

【００３０】次に、図３（ｆ）に示すように、マスク１
１４を形成して、所望の形状のフレクシャー１、軸９、
軸１０、外周部１２、固定部１１を形成する。さらに、
図３（ｇ）に示すように、支持層１０７および基板１０
５の一部をウエットエッチングによって除去することに
よって、フレクシャーをリリースし、かつ、光導入部６
を形成する。この後、少なくともチップ２を覆うように
遮光膜を形成し、チップ２の先端の遮光膜を除去して開
口３を形成する。なお、遮光膜が薄い場合は、物理的に
開口３を形成しなくても良い。

【００３１】以上説明したように、本発明の実施の形態
１に係る光ヘッド１０００は、フレクシャー１の回転中
心から開口３までの距離をほぼチップ２の高さ程度に小
さくすることができるため、フレクシャー１が回転する
ことによって生じる入射光９９９と開口３との光軸ずれ
を小さくすることができる。したがって、開口３へ効率
よく入射光９９９を導入することができ、開口３から照
射される近接場光の強度を大きくできる。また、開口３
から照射される近接場光の強度むらを小さく抑えること
ができる。また、基部５の厚さを適切に選定することに
よって、レンズ２６の焦点距離に開口３を位置させるこ
とが可能であるため、開口３から照射される近接場光の
強度を大きくすることができる。また、一般的なレンズ
２６を用いることによって組立精度を緩和することがで
きるため、光ヘッドアセンブリ１００１の組立が容易に
なり、光ヘッドアセンブリ１００１の組立時の歩留まり
が向上する。したがって、光ヘッド１０００によって、
光ヘッドアセンブリ１００１および光記録再生装置を安
価に提供することができる。

【００３２】また、光ヘッド１０００は、基部５が数１
００μｍ以上であるため、取り扱いが容易である。した
がって、光ヘッドアセンブリ１００１の組立が容易に行
える。また、光ヘッド１０００は、スライダー４とフレ
クシャー１とを一体に形成しているため、光ヘッドアセ
ンブリ１００１を組み立てる工程を簡略化することがで
きる。したがって、安価に光ヘッドアセンブリ１００１
を提供することができる。

【００３３】また、光ヘッド１０００は、フレクシャー
１を含む可動部分が小型である。また、フレクシャー１
を含む可動部分の重量は、従来の光ヘッドの１０分の１
と軽量である。したがって、記録媒体に対する追従性が
向上し、光ヘッド１０００を用いた情報記録再生装置
は、高速に情報を記録再生することができる。

【００３４】また、光ヘッド１０００は、半導体プロセ
スを応用したバッチプロセスによって作製することがで
きるため、性能が均一な光ヘッド１０００を安価に提供
することができる。

【００３５】（実施の形態２）図４は、本発明の第２の
実施例に係る光ヘッド２０００を説明する図であり、図
４(a)は、光ヘッド２０００のスライダー4が形成された
面からみた上面図である。図４(b)は、同図(a)中ｂ-
ｂ’で示す位置での断面図である。図４（ｃ）は、同図
(a)中c-c’で示す位置での断面図である。本発明の第１
の実施例の光ヘッド１０００と重複する部分は、同一記
号を用い説明を省略する。

【００３６】光ヘッド２０００は、光ヘッド１０００の
構成に加え、チップ２の底面にチップ固定層３１と光接
続部３２を有している。光接続部３２は、光導入部６上
に固定されている。したがって、チップ２および開口３
は、光接続部３２およびチップ固定層３１を介して基部
５に固定されている。光接続部３１は、フレクシャー１
と同じ材料を用いて作製される。また、光接続部３２
は、固定層７と同一の材料を用いて作製され、入射光９
９９を少なくとも透過するような材料を用いる。

【００３７】光ヘッド２０００は、図２の光ヘッド１０
００の代わりに用いることができる。光ヘッド２０００
は、チップ２が固定され、かつ、フレクシャー１が光ヘ
ッド１０００と同様に回転運動が可能であり、記録媒体
のうねりに追従した一定間隔の浮上量を維持することが
できるとともに、チップ２が固定されているため、開口
３へ導かれる入射光９９９の光軸が常に一定である。

【００３８】光ヘッド２０００の製造方法は、光ヘッド
１０００の製造方法とほぼ同じである。

【００３９】以上説明したように、光ヘッド２０００
は、本発明の第１の実施例で説明した効果に加え、フレ
クシャー１の動きに関わらず、一定の強度を有する近接
場光を開口３から照射することができる。また、フレク
シャー１にチップ２がないことから、フレクシャー１の
重量が軽減されるため、フレクシャー１の記録媒体のう
ねりなどへの追従性が向上する。

【００４０】（実施の形態３）図５は、本発明の第３の
実施例に係る光ヘッド３０００を説明する図である。

【００４１】本発明の第１の実施例の光ヘッド１０００
および本発明の第２の実施例の光ヘッド２０００と重複
する部分は、同一記号を用い説明を省略する。

【００４２】光ヘッド３０００は、光ヘッド２０００の
構成に加え、チップ固定層３１に光通過部３３を有して
いる。光通過部３３は、空洞でもよいし、チップ２と同
一の材質でもよく、少なくとも入射光９９９を透過する
材料を用いる。光ヘッド３０００は、図２の光ヘッド１
０００の代わりに用いることができる。

【００４３】光ヘッド３０００は、実施の形態２で説明
した効果に加え、光通過部３３を設けたことによって、
フレクシャー１を構成する材料に入射光９９９を透過し
ない材料を用いることができる。

【００４４】（実施の形態４）図６は、本発明の第４の
実施例に係る光ヘッド４０００を説明する図であり、本
発明の第１の実施例の光ヘッド１０００と重複する部分
は同一記号を用い、説明を省略する。光ヘッド４０００
は、スライダー４それぞれにフレクシャー部６１を有す
る構成となっている。フレクシャー部６１は、実施の形
態１で説明したフレクシャー１、軸９、軸１０、外周部
１２からなり、材質もそれぞれの構成要素と同じものを
用いる。また、チップ２は、固定部１１に固定されてい
る。

【００４５】光ヘッド４０００は、図２の光ヘッド１０
００の代わりに用いることができる。

【００４６】本発明の光ヘッド４０００は、実施の形態
１から実施の形態３で説明した効果に加え、各スライダ
ー４に個別のフレクシャー部６１を設けることによっ
て、各フレクシャー部６１の可動部にかかる重量を軽減
することができるため、記録媒体のうねりなどに対する
追従性をさらに向上させることができる。

【００４７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の第１の実
施例の光ヘッドによれば、フレクシャーの回転中心から
開口までの距離をほぼチップの高さ程度に小さくするこ
とができるため、フレクシャーが回転することによって
生じる入射光と開口との光軸ずれを小さくすることがで
きる。したがって、開口へ効率よく入射光を導入するこ
とができ、開口から照射される近接場光の強度を大きく
できる。また、開口から照射される近接場光の強度むら
を小さく抑えることができる。また、基部の厚さを適切
に選定することによって、レンズの焦点距離に開口を位
置させることが可能であるため、開口から照射される近
接場光の強度を大きくすることができる。

【００４８】また、一般的なレンズを用いることによっ
て組立精度を緩和することができるため、光ヘッドアセ
ンブリの組立が容易になり、光ヘッドアセンブリの組立
時の歩留まりが向上する。したがって、光ヘッドによっ
て、光ヘッドアセンブリおよび光記録再生装置を安価に
提供することができる。また、光ヘッドは、基部が数１
００μｍ以上であるため、取り扱いが容易である。した
がって、光ヘッドアセンブリの組立が容易に行える。ま
た、光ヘッドは、スライダーとフレクシャーとを一体に
形成しているため、光ヘッドアセンブリを組み立てる工
程を簡略化することができる。したがって、安価に光ヘ
ッドアセンブリを提供することができる。

【００４９】また、光ヘッドは、フレクシャーを含む可
動部分が小型である。また、フレクシャーを含む可動部
分の重量は、従来の光ヘッドのほぼ１０分の１と軽量で
ある。したがって、記録媒体に対する追従性が向上し、
光ヘッドを用いた情報記録再生装置は、高速に情報を記
録再生することができる。

【００５０】また、光ヘッドは、半導体プロセスを応用
したバッチプロセスによって作製することができるた
め、性能が均一な光ヘッドを安価に提供することができ
る。

【００５１】また、本発明の第２の実施例の光ヘッドに
よれば、本発明の第１の実施例で説明した効果に加え、
フレクシャーの動きに関わらず、一定の強度を有する近
接場光を開口から照射することができる。また、フレク
シャーにチップがないことから、フレクシャーの重量が
軽減されるため、フレクシャーの記録媒体のうねりなど
への追従性が向上する。

【００５２】また、本発明の第３の実施例の光ヘッドに
よれば、実施の形態１および２で説明した効果に加え、
光通過部を設けたことによって、フレクシャーを構成す
る材料に入射光を透過しない材料を用いることができ
る。

【００５３】また、本発明の第４の実施例の光ヘッドに
よれば、実施の形態１から実施の形態３で説明した効果
に加え、各スライダーに個別のフレクシャー部を設ける
ことによって、各フレクシャー部の可動部にかかる重量
を軽減することができるため、記録媒体のうねりなどに
対する追従性をさらに向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光ヘッド１０００を説明する図であ
る。

【図２】本発明の光ヘッド１０００を用いた光ヘッドア
センブリ１００１を説明する図である。

【図３】本発明の光ヘッド１０００の製造方法を説明す
る図である。

【図４】本発明の光ヘッド２０００を説明する図であ
る。

【図５】本発明の光ヘッド３０００を説明する図であ
る。

【図６】本発明の光ヘッド４０００を説明する図であ
る。

【図７】従来の光ヘッドを説明する図である。

【符号の説明】

１フレクシャー２チップ３開口４スライダー５基部６光導入部７支持層８エッチングストップ層９軸１０軸１１固定部１２外周部９９９入射光１０００，２０００，３０００，４０００光ヘッド１００１光ヘッドアセンブリ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者大海学千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者笠間宣行千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者加藤健二千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者前田英孝千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者篠原陽子千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内 (72)発明者市原進千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地セイコーインスツルメンツ株式会社内Ｆターム(参考） 5D119 AA08 AA22 AA38 AA43 BA01 CA06 FA16 JA34 MA01 MA04 5D789 AA08 AA22 AA38 AA43 BA01 CA06 CA21 CA22 CA23 FA16 JA34 MA01 MA04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】負荷加重を与えるサスペンションアーム
に取り付けられる固定部分と、前記固定部分に取り付けられ、前記固定部分に対する姿
勢を変化し得るフレクシャー構造と、前記フレクシャー構造に取り付けられ、記録媒体との相
対運動により浮上力を得、前記負荷加重と前記浮上力と
の均衡により前記記録媒体との間に隙間をつくるスライ
ダーと、前記記録媒体と対向するように形成された光学的な開口
と、前記開口へ光を導入する光入射部からなり、前記光入射部が前記固定部分に形成され、前記フレクシ
ャー構造が前記固定部分の前記記録媒体に面する側の極
表層に形成されていることを特徴とする光ヘッド。
【請求項２】前記フレクシャー構造が前記固定部分の
表面から２０μｍ以内に構成されていることを特徴とす
る請求項１に記載の光ヘッド。
【請求項３】前記開口へ導入される入射光の光軸と前
記フレクシャー構造の少なくとも一つの回転軸とが交わ
ることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光ヘ
ッド。
【請求項４】前記開口が、錐状のチップの先端に形成
されていることを特徴とする請求項１から請求光３のい
ずれか一つに記載の光ヘッド。
【請求項５】前記チップおよび前記開口が前記固定部
分に固定されていることを特徴とする請求項４に記載の
光ヘッド。
【請求項６】前記チップおよび前記開口が前記フレク
シャーとともに可動なことを特徴とする請求項４に記載
の光ヘッド。
【請求項７】前記開口へ光を導入するための光学的空
間が前記フレクシャーに形成されていることを特徴とす
る請求項１から請求項６のいずれか一つに記載の光ヘッ
ド。
【請求項８】前記フレクシャー構造が２つ以上形成さ
れていることを特徴とする請求項１から請求項７のいず
れか一つに記載の光ヘッド。
【請求項９】前記光入射部から前記開口までのすべて
の光学系が固定されていることを特徴とする請求項１に
記載の光ヘッド。