JP2001143316A - 光ヘッド - Google Patents
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- G11B7/12—Heads, e.g. forming of the optical beam spot or modulation of the optical beam
- G11B7/135—Means for guiding the beam from the source to the record carrier or from the record carrier to the detector
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-
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- G11B7/08576—Swinging-arm positioners
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高速回転する高密度なメディアに対して、メ
ディアとの微小領域での光学的な相互作用を利用して、
高い信頼性で情報の記録と再生を行う光記録再生装置を
提供すること。 【解決手段】 浮上力を受けるスライダー６に対し、光
導波機構にて荷重をかけることにより、スライダー６に
光を導入する系と荷重をかける系を同一にした構成と
し、その結果、安定したスライダー６の姿勢維持とメデ
ィアへの照射強度の増加によって、信頼性の高い情報の
記録と再生を可能にする。さらに、微小構造をスライダ
ー６のメディア側の面内の縁近傍に配置した構成とし、
微小構造とメディアとの距離をより近接させることで、
さらなる高密度化を可能とする。
ディアとの微小領域での光学的な相互作用を利用して、
高い信頼性で情報の記録と再生を行う光記録再生装置を
提供すること。 【解決手段】 浮上力を受けるスライダー６に対し、光
導波機構にて荷重をかけることにより、スライダー６に
光を導入する系と荷重をかける系を同一にした構成と
し、その結果、安定したスライダー６の姿勢維持とメデ
ィアへの照射強度の増加によって、信頼性の高い情報の
記録と再生を可能にする。さらに、微小構造をスライダ
ー６のメディア側の面内の縁近傍に配置した構成とし、
微小構造とメディアとの距離をより近接させることで、
さらなる高密度化を可能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、メディア上の微小
領域での光学的な相互作用を利用し、微小領域に形成さ
れた構造的あるいは光学的な情報の再生や微小領域への
情報の記録を行うことによって、高密度な情報の再生お
よび記録を可能とした情報記録再生装置用の光ヘッドに
関する。
領域での光学的な相互作用を利用し、微小領域に形成さ
れた構造的あるいは光学的な情報の再生や微小領域への
情報の記録を行うことによって、高密度な情報の再生お
よび記録を可能とした情報記録再生装置用の光ヘッドに
関する。
【０００２】
【従来の技術】光を用いた情報記録再生装置は、大容量
化・小型化の方向へと進化しており、そのため記録ビッ
トの高密度化が要求されている。その対策として、青紫
色半導体レーザやSIL（Solid Immersion Lens）を用
いた研究がおこなわれているが、これらの技術では光の
回折限界の問題により、現在の記録密度の数倍程度の向
上しか望めない。これに対し、光の回折限界を超えた微
小領域の光学情報を扱う技術として近視野光を利用した
情報記録再生方法が期待されている。
化・小型化の方向へと進化しており、そのため記録ビッ
トの高密度化が要求されている。その対策として、青紫
色半導体レーザやSIL（Solid Immersion Lens）を用
いた研究がおこなわれているが、これらの技術では光の
回折限界の問題により、現在の記録密度の数倍程度の向
上しか望めない。これに対し、光の回折限界を超えた微
小領域の光学情報を扱う技術として近視野光を利用した
情報記録再生方法が期待されている。
【０００３】この技術では、微小領域と光ヘッドに形成
した光の波長以下サイズの光学的開口との相互作用によ
り発生する近視野光を利用する。これにより、従来の光
学系において限界とされていた光の波長以下となる領域
における光学情報を扱うことが可能となる。光学情報の
再生方法としては、散乱光を照射することによりメディ
ア表面に局在する多くの近視野光を微小開口との相互作
用により伝搬光に変換する（コレクションモード）し、
メディア上の微小領域に記憶されたデータの再生を行
う。また、微小開口より生成される近視野光をメディア
表面に照射し、メディア表面の情報が記録された微小な
凹凸との相互作用により変換される散乱光を別途設けた
デテクタで検出する（イルミネーションモード）ことに
よっても、再生が可能である。記録方法としては、微小
開口より生成される近視野光をメディア表面に照射さ
せ、メディア上の微小な領域の形状を変化させたり（ヒ
ートモード記録）、微小な領域の屈折率あるいは透過率
を変化させる（フォトンモード記録）ことにより行う。
これら、光の回折限界を超えた光学的微小開口を有する
ヘッドを用いることにより、従来の光情報記録再生装置
を超える記録ビットの高密度化が達成される。
した光の波長以下サイズの光学的開口との相互作用によ
り発生する近視野光を利用する。これにより、従来の光
学系において限界とされていた光の波長以下となる領域
における光学情報を扱うことが可能となる。光学情報の
再生方法としては、散乱光を照射することによりメディ
ア表面に局在する多くの近視野光を微小開口との相互作
用により伝搬光に変換する（コレクションモード）し、
メディア上の微小領域に記憶されたデータの再生を行
う。また、微小開口より生成される近視野光をメディア
表面に照射し、メディア表面の情報が記録された微小な
凹凸との相互作用により変換される散乱光を別途設けた
デテクタで検出する（イルミネーションモード）ことに
よっても、再生が可能である。記録方法としては、微小
開口より生成される近視野光をメディア表面に照射さ
せ、メディア上の微小な領域の形状を変化させたり（ヒ
ートモード記録）、微小な領域の屈折率あるいは透過率
を変化させる（フォトンモード記録）ことにより行う。
これら、光の回折限界を超えた光学的微小開口を有する
ヘッドを用いることにより、従来の光情報記録再生装置
を超える記録ビットの高密度化が達成される。
【０００４】近視野光を利用した記録再生装置の構成
は、磁気ディスク装置とほぼ同様であり、磁気ヘッドに
代わり、近視野光ヘッドを用いる。サスペンションアー
ムの先端に取り付けた光学的微小開口をもつスライダー
をフライングヘッド技術により一定の高さに浮上させ、
ディスク上に存在する任意のデータマークへアクセスす
る。ディスクの高回転に近視野光ヘッドを追従させるた
め、ディスクのうねりに対応して姿勢を安定させるフレ
クチャ機能をもたせている。このような構成の近視野光
ヘッドにおいて、スライダーに光を供給する方法とし
て、光ファイバや光導波路をスライダーやアームに接続
したり、スライダーの上方あるいは水平方向に設けたレ
ーザを直接スライダーに照射する手段をとっていた。
は、磁気ディスク装置とほぼ同様であり、磁気ヘッドに
代わり、近視野光ヘッドを用いる。サスペンションアー
ムの先端に取り付けた光学的微小開口をもつスライダー
をフライングヘッド技術により一定の高さに浮上させ、
ディスク上に存在する任意のデータマークへアクセスす
る。ディスクの高回転に近視野光ヘッドを追従させるた
め、ディスクのうねりに対応して姿勢を安定させるフレ
クチャ機能をもたせている。このような構成の近視野光
ヘッドにおいて、スライダーに光を供給する方法とし
て、光ファイバや光導波路をスライダーやアームに接続
したり、スライダーの上方あるいは水平方向に設けたレ
ーザを直接スライダーに照射する手段をとっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構造で光を入射させると、光ファイバや光導波路の
構造体がスライダーとアーム間に接続しており、そのこ
とがスライダーの自由な運動を妨げ、ディスクの運動に
対するスライダーの姿勢制御が困難となり、ディスクと
スライダーとの距離を一定に保つことができなかった。
この結果、ディスク上に描かれた光学情報からの出力Ｓ
Ｎ比が低下し、信号の読み込み・書き込みが困難な状況
であった。また、スライダー上方に配置したレーザによ
り直接スライダーに信号を照射させる場合は、スライダ
ーの高速な動きに対応し、入射させる光を同期させる必
要があり、スライダーの動きにあわせた動きをもつ構造
体を別途設ける必要があり、非常に困難であった。ま
た、そのような構造体を別途設けることにより、装置自
体が大型なものとなり、再生記録装置の小型化が困難で
あった。
うな構造で光を入射させると、光ファイバや光導波路の
構造体がスライダーとアーム間に接続しており、そのこ
とがスライダーの自由な運動を妨げ、ディスクの運動に
対するスライダーの姿勢制御が困難となり、ディスクと
スライダーとの距離を一定に保つことができなかった。
この結果、ディスク上に描かれた光学情報からの出力Ｓ
Ｎ比が低下し、信号の読み込み・書き込みが困難な状況
であった。また、スライダー上方に配置したレーザによ
り直接スライダーに信号を照射させる場合は、スライダ
ーの高速な動きに対応し、入射させる光を同期させる必
要があり、スライダーの動きにあわせた動きをもつ構造
体を別途設ける必要があり、非常に困難であった。ま
た、そのような構造体を別途設けることにより、装置自
体が大型なものとなり、再生記録装置の小型化が困難で
あった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、メディアとの相対運動により浮上力を受けるスライ
ダーと、前記スライダーの前記メディア側の面内に形成
され、近視野光を生成あるいは検出あるいはその両方を
行う微小構造と、前記スライダー内に形成され、前記微
小構造と光学的に接続されているスライダー側光導波機
構と、前記スライダーを支持するとともに負荷加重を与
えるアームと、前記アームに形成され、前記スライダー
側光導波機構に光を導くアーム側光導波機構と、前記ア
ーム側光導波機構と接触し、かつ前記スライダー側光導
波機構と接触している光導波機構と、から構成された情
報の記録および再生を行う光ヘッドにおいて、前記光導
波機構を介して、前記スライダーに負荷加重を与えてい
ることを特徴とする。
に、メディアとの相対運動により浮上力を受けるスライ
ダーと、前記スライダーの前記メディア側の面内に形成
され、近視野光を生成あるいは検出あるいはその両方を
行う微小構造と、前記スライダー内に形成され、前記微
小構造と光学的に接続されているスライダー側光導波機
構と、前記スライダーを支持するとともに負荷加重を与
えるアームと、前記アームに形成され、前記スライダー
側光導波機構に光を導くアーム側光導波機構と、前記ア
ーム側光導波機構と接触し、かつ前記スライダー側光導
波機構と接触している光導波機構と、から構成された情
報の記録および再生を行う光ヘッドにおいて、前記光導
波機構を介して、前記スライダーに負荷加重を与えてい
ることを特徴とする。
【０００７】また、前記光導波機構と前記アーム側光導
波機構とが一体構造であることを特徴とする。
波機構とが一体構造であることを特徴とする。
【０００８】また、前記光導波機構と前記スライダー側
光導波機構とが一体構造であることを特徴とする。
光導波機構とが一体構造であることを特徴とする。
【０００９】また、前記光導波機構と前記アーム側光導
波機構とが接している面積、もしくは前記光導波機構と
前記スライダー側光導波機構とが接している面積、もし
くはその両方の面積が極めて小さいことを特徴とする。
波機構とが接している面積、もしくは前記光導波機構と
前記スライダー側光導波機構とが接している面積、もし
くはその両方の面積が極めて小さいことを特徴とする。
【００１０】また、前記光導波機構が、前記アーム側光
導波機構と、あるいは前記スライダー側光導波機構と、
あるいはその両方と、１点で接していることを特徴とす
る。
導波機構と、あるいは前記スライダー側光導波機構と、
あるいはその両方と、１点で接していることを特徴とす
る。
【００１１】本発明により、アーム側の光を確実にスラ
イダーに伝搬するとともに、スライダーに光を導く構造
体によるスライダーの自由な運動の妨げを無くし、メデ
ィア上を走査するスライダーがメディアとの距離を一定
に保ちながら、メディアの動きに対応して自由にその姿
勢を制御することができる。この結果、ＳＮ比の高い安
定した信号の出力・入力が可能となる。また、光を伝搬
する光導波機構あるいはスライダーは、シリコンなどを
用いた微細加工プロセスにて作製される微小な構造体で
あるため、アームによるサスペンション機能の妨げやス
ライダーの過重量による運動の低下への影響はほとんど
無い。そのため、装置全体の小型化が可能となる。ま
た、光ヘッド全体もしくはそのほとんどを半導体プロセ
スを用いた量産工程にて作製でき、低コスト化が図れ
る。
イダーに伝搬するとともに、スライダーに光を導く構造
体によるスライダーの自由な運動の妨げを無くし、メデ
ィア上を走査するスライダーがメディアとの距離を一定
に保ちながら、メディアの動きに対応して自由にその姿
勢を制御することができる。この結果、ＳＮ比の高い安
定した信号の出力・入力が可能となる。また、光を伝搬
する光導波機構あるいはスライダーは、シリコンなどを
用いた微細加工プロセスにて作製される微小な構造体で
あるため、アームによるサスペンション機能の妨げやス
ライダーの過重量による運動の低下への影響はほとんど
無い。そのため、装置全体の小型化が可能となる。ま
た、光ヘッド全体もしくはそのほとんどを半導体プロセ
スを用いた量産工程にて作製でき、低コスト化が図れ
る。
【００１２】また、前記光導波機構の一部が錐状形状あ
るいは頂点の尖った釣り鐘状形状をしており、その頂点
にて接触していることを特徴とする。
るいは頂点の尖った釣り鐘状形状をしており、その頂点
にて接触していることを特徴とする。
【００１３】また、前記光導波機構の一部が球面の一部
の形状をしており、その球面の一部にて接していること
を特徴とする。
の形状をしており、その球面の一部にて接していること
を特徴とする。
【００１４】また、前記光導波機構の一部に集光機能が
あることを特徴とする。本発明により、光導波路の光学
的設計を行うことにより、光を確実にスライダーに導き
ながら、スライダーに多くの光を供給することができ、
また、球面形状や錐状形状あるいは光導波路の屈折率を
調整することにより、スライダー内に形成され近視野光
を発生する微小開口周辺により多くの光を集光すること
ができる。この結果、ＳＮ比の高い信号の入出力が可能
となり、信頼性の高い装置が作製できる。
あることを特徴とする。本発明により、光導波路の光学
的設計を行うことにより、光を確実にスライダーに導き
ながら、スライダーに多くの光を供給することができ、
また、球面形状や錐状形状あるいは光導波路の屈折率を
調整することにより、スライダー内に形成され近視野光
を発生する微小開口周辺により多くの光を集光すること
ができる。この結果、ＳＮ比の高い信号の入出力が可能
となり、信頼性の高い装置が作製できる。
【００１５】また、前記スライダーの重心部に向かって
前記負荷加重が与えられ、前記メディア側の面内に存在
する前記微小構造が、前記スライダーが前記負荷加重を
受けている点と前記スライダーの重心とを結ぶ直線上に
位置していることを特徴とする。
前記負荷加重が与えられ、前記メディア側の面内に存在
する前記微小構造が、前記スライダーが前記負荷加重を
受けている点と前記スライダーの重心とを結ぶ直線上に
位置していることを特徴とする。
【００１６】また、前記スライダーの形状及び密度分布
及びそれらの組み合わせにより、前記微小構造が前記メ
ディア側の面内の縁近傍に位置していることを特徴とす
る。
及びそれらの組み合わせにより、前記微小構造が前記メ
ディア側の面内の縁近傍に位置していることを特徴とす
る。
【００１７】また、前記スライダーの前記メディアと反
対側面内の一部にスライダー体積の１／５以上に相当す
る大きさの凹部が存在することを特徴とする。
対側面内の一部にスライダー体積の１／５以上に相当す
る大きさの凹部が存在することを特徴とする。
【００１８】また、前記スライダーの前記メディア側の
面内に段差があり、その段差の大きさが、スライダの平
均した厚みの１／１０以上であることを特徴とする。
面内に段差があり、その段差の大きさが、スライダの平
均した厚みの１／１０以上であることを特徴とする。
【００１９】また、前記スライダーの密度と異なる密度
を有する材料が前記スライダーの１／１０以上の体積を
占めていることを特徴とする。
を有する材料が前記スライダーの１／１０以上の体積を
占めていることを特徴とする。
【００２０】本発明により、メディアの高速運動により
受けるメディア側の面内の空気圧分布により、浮上した
スライダの姿勢がメディア面に対し少し傾くが、開口を
メディア側の面内のメディアに近接した領域に配置する
ことが可能となり、再生、記録におけるさらなる微細化
が可能となる。さらに、開口をメディアにより近接させ
ることで、信号再生時のＳＮ比が向上し、安定性・信頼
性の高い情報再生記録装置が作製できる。また、ＳＮ比
が向上したことで、大出力の光源を必要とせずに高速記
録再生が可能となり、小型薄型で、低価格な情報再生記
録装置が作製できる。
受けるメディア側の面内の空気圧分布により、浮上した
スライダの姿勢がメディア面に対し少し傾くが、開口を
メディア側の面内のメディアに近接した領域に配置する
ことが可能となり、再生、記録におけるさらなる微細化
が可能となる。さらに、開口をメディアにより近接させ
ることで、信号再生時のＳＮ比が向上し、安定性・信頼
性の高い情報再生記録装置が作製できる。また、ＳＮ比
が向上したことで、大出力の光源を必要とせずに高速記
録再生が可能となり、小型薄型で、低価格な情報再生記
録装置が作製できる。
【００２１】
【発明の実施の形態】［実施の形態１］図１に本発明の
実施の形態１に係る光記憶再生装置の一例の概略図を示
す。高速に回転するディスク１（メディア）上には、そ
の回転により発生する流体運動により受ける浮上力とア
ーム３による負荷加重によりディスク１との距離を一定
に保っているスライダー２が配置されている。スライダ
ー２はアーム３の先端部に支持されており、モータ付き
の回転軸４によりアーム３を水平方向に動かすことによ
り、スライダー２をディスク１上の任意の場所に走査す
ることができる。アーム３上の光導波路５を伝搬した光
は、スライダー２内の光導波路を経由し、スライダー２
のディスク側面内に形成された微小開口より近視野光に
変換されてディスク１上に照射される。この近視野光と
ディスク１表面の微小領域との相互作用により発生した
散乱光をスライダー２内もしくはスライダー２近傍に設
けた受光素子により電気信号に変換され、信号処理回路
へと送られて、微小領域情報が再生される。
実施の形態１に係る光記憶再生装置の一例の概略図を示
す。高速に回転するディスク１（メディア）上には、そ
の回転により発生する流体運動により受ける浮上力とア
ーム３による負荷加重によりディスク１との距離を一定
に保っているスライダー２が配置されている。スライダ
ー２はアーム３の先端部に支持されており、モータ付き
の回転軸４によりアーム３を水平方向に動かすことによ
り、スライダー２をディスク１上の任意の場所に走査す
ることができる。アーム３上の光導波路５を伝搬した光
は、スライダー２内の光導波路を経由し、スライダー２
のディスク側面内に形成された微小開口より近視野光に
変換されてディスク１上に照射される。この近視野光と
ディスク１表面の微小領域との相互作用により発生した
散乱光をスライダー２内もしくはスライダー２近傍に設
けた受光素子により電気信号に変換され、信号処理回路
へと送られて、微小領域情報が再生される。
【００２２】図２に本発明の実施の形態１に係る光ヘッ
ドの構造を示す。本構造の光ヘッド１００は、微小開口
８を有しスライダー側光導波路７が形成されたスライダ
ー６と、スライダー６を支持する支持部１４と、スライ
ダー６に負荷加重を与える荷重部１２を一部に有するア
ーム側光導波路１１と、そのアーム側光導波路１１が形
成されたアーム１０とから構成されている。スライダー
６は、アーム１０の先端近く、アーム１０の下方に配置
される。なお、図２においてアーム側光導波路１１は、
アーム１０上面に形成されているが、アーム１０内ある
いはアーム１０下面に形成しても良い。
ドの構造を示す。本構造の光ヘッド１００は、微小開口
８を有しスライダー側光導波路７が形成されたスライダ
ー６と、スライダー６を支持する支持部１４と、スライ
ダー６に負荷加重を与える荷重部１２を一部に有するア
ーム側光導波路１１と、そのアーム側光導波路１１が形
成されたアーム１０とから構成されている。スライダー
６は、アーム１０の先端近く、アーム１０の下方に配置
される。なお、図２においてアーム側光導波路１１は、
アーム１０上面に形成されているが、アーム１０内ある
いはアーム１０下面に形成しても良い。
【００２３】メディアへ照射される光は、アーム１０上
に形成されたアーム側光導波路１１内を伝搬し、スライ
ダー６上方へと導かれる。スライダー６上方では、アー
ム側光導波路１１の一部に光の伝搬方向を変化させる光
反射面１３が形成されており、スライダー６上方へと導
かれた光は、方向を変化させ、スライダー６内に形成さ
れたスライダー側光導波路７へと導かれる。このとき、
光は、アーム側光導波路１１の一部で形成され、スライ
ダー６に負荷加重を与えている凸形状の荷重部１２を通
して伝搬する。この荷重部１２における光の屈折率およ
び斜面のテーパ角および凸型形状を調整し、アーム側光
導波路１１内を伝搬し光反射面１３により反射して広が
った光を集光させ、スライダー側光導波路７に導入す
る。支持部１４によりアーム１０と接続しているスライ
ダー６は、近視野光の検出および生成を行う微小開口８
を頂点とする逆錐状の穴が存在し、その穴の内側にスラ
イダー側光導波路７が埋め込まれた構成をしている。荷
重部１２を通してスライダー側光導波路７に導入された
光は、逆錐状穴内のスライダー側光導波路７の周りに形
成された光反射層９の効果により、微小開口８の周辺に
集光される。集光された光は、微小開口８を通して近視
野光に変換され、メディア上に形成された微小領域へ照
射される。以上の説明では、主にイルミネーションモー
ドについて行ったが、近視野光の検出を行うコレクショ
ンモードについても同様に使用でき、同様の効果を発揮
する。
に形成されたアーム側光導波路１１内を伝搬し、スライ
ダー６上方へと導かれる。スライダー６上方では、アー
ム側光導波路１１の一部に光の伝搬方向を変化させる光
反射面１３が形成されており、スライダー６上方へと導
かれた光は、方向を変化させ、スライダー６内に形成さ
れたスライダー側光導波路７へと導かれる。このとき、
光は、アーム側光導波路１１の一部で形成され、スライ
ダー６に負荷加重を与えている凸形状の荷重部１２を通
して伝搬する。この荷重部１２における光の屈折率およ
び斜面のテーパ角および凸型形状を調整し、アーム側光
導波路１１内を伝搬し光反射面１３により反射して広が
った光を集光させ、スライダー側光導波路７に導入す
る。支持部１４によりアーム１０と接続しているスライ
ダー６は、近視野光の検出および生成を行う微小開口８
を頂点とする逆錐状の穴が存在し、その穴の内側にスラ
イダー側光導波路７が埋め込まれた構成をしている。荷
重部１２を通してスライダー側光導波路７に導入された
光は、逆錐状穴内のスライダー側光導波路７の周りに形
成された光反射層９の効果により、微小開口８の周辺に
集光される。集光された光は、微小開口８を通して近視
野光に変換され、メディア上に形成された微小領域へ照
射される。以上の説明では、主にイルミネーションモー
ドについて行ったが、近視野光の検出を行うコレクショ
ンモードについても同様に使用でき、同様の効果を発揮
する。
【００２４】スライダー６は、メディアの高速回転によ
る空気の流体運動によりメディア側より浮上力を受け
る。この浮上力を受けるスライダー６にサスペンション
の機能をもつアーム１０より負荷加重を与えることによ
り、メディアと近視野光の相互作用をおこす微小開口８
との距離を一定に保つことが可能となり、開口より発生
する一定な近視野光の強度分布から正確な情報の再生や
記録を行える。スライダー６は、メディア表面のうねり
に対し、絶えずその姿勢を整え、相対的な位置を一定に
保つ必要があり、スライダーの重心部を一点で荷重し、
メディアの動きに順応させる方法が有効である。本実施
の形態１では、この荷重を与える荷重部１２をアーム側
光導波路１１の一部で形成している。荷重部１２は、ス
ライダー６がメディアの動きに対して常に姿勢を整える
ことができるよう、スライダー６の重心部を先鋭化され
た逆錐形状の頂点でおさえているとともに、アーム１０
側からの光をスライダー６側へ導く役割も同時に果たし
ている。そのため、スライダー６が姿勢を整えるよう微
妙に位置を変動させても、スライダーの重心部を押さえ
ているアーム側光導波路１１と押さえられているスライ
ダー側光導波路７の相対位置はいつも一定であり、常に
安定した一定の光を供給できる。
る空気の流体運動によりメディア側より浮上力を受け
る。この浮上力を受けるスライダー６にサスペンション
の機能をもつアーム１０より負荷加重を与えることによ
り、メディアと近視野光の相互作用をおこす微小開口８
との距離を一定に保つことが可能となり、開口より発生
する一定な近視野光の強度分布から正確な情報の再生や
記録を行える。スライダー６は、メディア表面のうねり
に対し、絶えずその姿勢を整え、相対的な位置を一定に
保つ必要があり、スライダーの重心部を一点で荷重し、
メディアの動きに順応させる方法が有効である。本実施
の形態１では、この荷重を与える荷重部１２をアーム側
光導波路１１の一部で形成している。荷重部１２は、ス
ライダー６がメディアの動きに対して常に姿勢を整える
ことができるよう、スライダー６の重心部を先鋭化され
た逆錐形状の頂点でおさえているとともに、アーム１０
側からの光をスライダー６側へ導く役割も同時に果たし
ている。そのため、スライダー６が姿勢を整えるよう微
妙に位置を変動させても、スライダーの重心部を押さえ
ているアーム側光導波路１１と押さえられているスライ
ダー側光導波路７の相対位置はいつも一定であり、常に
安定した一定の光を供給できる。
【００２５】このような構成をしたアームおよびスライ
ダーは、シリコンに代表される微細加工技術により作製
できる。たとえば、スライダーの場合、スライダーの母
体となるシリコン基板に異方性を有するエッチングを用
いて逆錐状の穴をあけ、その頂点に光学的な微小開口を
形成する。その穴の内側に光反射率の高い材料を積層さ
せ、開口に光を導く光導波路材料を積層形成することに
よりスライダーを作製する。また、アームの場合、アー
ムの型を形成した金属材料上に光導波路となる材料を形
成し、エッチングもしくはフォトリソグラフィ技術によ
る露光と現像を行うことにより、任意の光導波路形状を
作製する。このように、半導体産業に代表される微細加
工技術を用いることにより、量産化が容易となり、スラ
イダーおよびアームの小型化、量産化が容易となる。さ
らに記録ビットの高密度化とディスクの小径化を加え、
光記録再生装置自体の小型化と軽量化が実現する。
ダーは、シリコンに代表される微細加工技術により作製
できる。たとえば、スライダーの場合、スライダーの母
体となるシリコン基板に異方性を有するエッチングを用
いて逆錐状の穴をあけ、その頂点に光学的な微小開口を
形成する。その穴の内側に光反射率の高い材料を積層さ
せ、開口に光を導く光導波路材料を積層形成することに
よりスライダーを作製する。また、アームの場合、アー
ムの型を形成した金属材料上に光導波路となる材料を形
成し、エッチングもしくはフォトリソグラフィ技術によ
る露光と現像を行うことにより、任意の光導波路形状を
作製する。このように、半導体産業に代表される微細加
工技術を用いることにより、量産化が容易となり、スラ
イダーおよびアームの小型化、量産化が容易となる。さ
らに記録ビットの高密度化とディスクの小径化を加え、
光記録再生装置自体の小型化と軽量化が実現する。
【００２６】このように、本実施の形態の光ヘッドは、
単純な構造でありながら、スライダーに負荷加重を与え
る荷重部を光導波路の一部で形成したことにより、高速
回転するメディアの動きに対応して、ディスク表面のう
ねりに対応して自由にスライダーの姿勢制御ができ、メ
ディアとスライダーとの距離を一定に保つことができる
とともに、アーム側の光導波路とスライダー側の光導波
路の相対位置が一定であることにより、微小開口より常
に安定した一定の光を供給できる。さらに、光導波路に
形成された形状による効果もしくは屈折率の調整による
集光効果により微小開口から十分多くの光をメディアに
供給することができ、ＳＮ比の高い信号による安定した
記録および再生が実現する。 ［実施の形態２］図３に本発明の実施の形態２に係る光
ヘッドの構造を示す。本構造の光ヘッド２００は、微小
開口８を有し、アーム１０からの負荷加重を受ける被荷
重部１５を一部に有するスライダー側光導波路７が形成
されたスライダー６と、スライダー６を支持する支持部
１４と、スライダー６に荷重を与えるアーム側光導波路
１１と、そのアーム側光導波路１１が形成されたアーム
１０とから構成されている。大まかな構成は実施の形態
１と同様であるが、アーム側光導波路１１からの荷重を
うける突起部がスライダー側光導波路７に形成されてい
る点に特徴がある。図３においても図２と同様にアーム
側光導波路１１は、アーム１０上、アーム１０内、およ
びアーム１０下面に形成しても良い。
単純な構造でありながら、スライダーに負荷加重を与え
る荷重部を光導波路の一部で形成したことにより、高速
回転するメディアの動きに対応して、ディスク表面のう
ねりに対応して自由にスライダーの姿勢制御ができ、メ
ディアとスライダーとの距離を一定に保つことができる
とともに、アーム側の光導波路とスライダー側の光導波
路の相対位置が一定であることにより、微小開口より常
に安定した一定の光を供給できる。さらに、光導波路に
形成された形状による効果もしくは屈折率の調整による
集光効果により微小開口から十分多くの光をメディアに
供給することができ、ＳＮ比の高い信号による安定した
記録および再生が実現する。 ［実施の形態２］図３に本発明の実施の形態２に係る光
ヘッドの構造を示す。本構造の光ヘッド２００は、微小
開口８を有し、アーム１０からの負荷加重を受ける被荷
重部１５を一部に有するスライダー側光導波路７が形成
されたスライダー６と、スライダー６を支持する支持部
１４と、スライダー６に荷重を与えるアーム側光導波路
１１と、そのアーム側光導波路１１が形成されたアーム
１０とから構成されている。大まかな構成は実施の形態
１と同様であるが、アーム側光導波路１１からの荷重を
うける突起部がスライダー側光導波路７に形成されてい
る点に特徴がある。図３においても図２と同様にアーム
側光導波路１１は、アーム１０上、アーム１０内、およ
びアーム１０下面に形成しても良い。
【００２７】スライダー側光導波路７の一部で形成され
た被荷重部１５は、錐状形状をしており、その頂点でア
ーム側光導波路１１と接している。光反射面１３で反射
され、スライダー６方向に伝搬する光は、常に安定して
スライダー側光導波路７の一部で形成された被荷重部１
５に入射し、微小開口８へと導かれる。また、実施の形
態１と同様に、被荷重部１５への入射角度とその屈折率
を調整することにより、スライダー側光導波路７に入射
した光を微小開口８に集光させることが可能となる。被
荷重部１５の突起部頂点は、スライダー６の重心位置上
方に位置し、スライダー６は、高速回転するメディアの
動きに対応して、自由にスライダー６の姿勢制御がで
き、メディアとスライダー６との距離を一定に保つこと
が可能となる。こういった構成により、安定した信号に
よる信頼性の高い記録再生が可能となる。 ［実施の形態３］図４に本発明の実施の形態３に係る光
ヘッドの構造を示す。本構造の光ヘッド３００は、実施
の形態１と同様な構成をしているが、荷重部１６となる
アーム側光導波路１１の一部の形状を、半球状の形状と
する。この結果、半球状のレンズ効果により、微小開口
８に供給する光をより集光することが可能となり、より
多くの光をメディアに照射することができる。また、本
構造の光ヘッド３００においても、球面体の１点にてス
ライダー側光導波路７と接し、荷重を与えることができ
るので、スライダー６は、自由にメディアの動きに対応
することができるので、メディアとの相対距離を一定に
でき、かつアーム１０とスライダー６の相対位置に変化
はないので、アーム１０側の光を一定に供給できる。結
果、光信号のＳＮ比がさらに向上し、信頼性の高い装置
を作製できる。なお、図４においても、アーム側光導波
路１１はアーム１０上面、アーム１０内、及びアーム１
０下面に形成しても良い。
た被荷重部１５は、錐状形状をしており、その頂点でア
ーム側光導波路１１と接している。光反射面１３で反射
され、スライダー６方向に伝搬する光は、常に安定して
スライダー側光導波路７の一部で形成された被荷重部１
５に入射し、微小開口８へと導かれる。また、実施の形
態１と同様に、被荷重部１５への入射角度とその屈折率
を調整することにより、スライダー側光導波路７に入射
した光を微小開口８に集光させることが可能となる。被
荷重部１５の突起部頂点は、スライダー６の重心位置上
方に位置し、スライダー６は、高速回転するメディアの
動きに対応して、自由にスライダー６の姿勢制御がで
き、メディアとスライダー６との距離を一定に保つこと
が可能となる。こういった構成により、安定した信号に
よる信頼性の高い記録再生が可能となる。 ［実施の形態３］図４に本発明の実施の形態３に係る光
ヘッドの構造を示す。本構造の光ヘッド３００は、実施
の形態１と同様な構成をしているが、荷重部１６となる
アーム側光導波路１１の一部の形状を、半球状の形状と
する。この結果、半球状のレンズ効果により、微小開口
８に供給する光をより集光することが可能となり、より
多くの光をメディアに照射することができる。また、本
構造の光ヘッド３００においても、球面体の１点にてス
ライダー側光導波路７と接し、荷重を与えることができ
るので、スライダー６は、自由にメディアの動きに対応
することができるので、メディアとの相対距離を一定に
でき、かつアーム１０とスライダー６の相対位置に変化
はないので、アーム１０側の光を一定に供給できる。結
果、光信号のＳＮ比がさらに向上し、信頼性の高い装置
を作製できる。なお、図４においても、アーム側光導波
路１１はアーム１０上面、アーム１０内、及びアーム１
０下面に形成しても良い。
【００２８】また、図には示していないが、実施の形態
２を示した図３のように、光導波路の一部で形成された
球面形状をスライダー側の光導波路７に形成しても良
い。この場合も同様な効果により、信頼性の高い装置を
作製できる。 ［実施の形態４］図５に本発明の実施の形態４に係る光
ヘッドの構造を示す。実施の形態１から３にかけては、
スライダー側もしくはアーム側の光導波路のどちらかに
凸部もしくは球面の一部が形成されているが、本実施の
形態に示す光ヘッド４００では、アーム側光導波路１１
に形成した荷重部１７とスライダー側光導波路７に形成
した被荷重部１８のように、その両方に存在し、かつそ
れらが接している構成をしている。図５では半球面形状
を示しているが、凸形状でももちろん良い。また、片方
が半球形状で、もう片方が凸形状でも良い。この場合、
半球状のレンズ効果がさらに増幅され、微小開口８に多
くの光を集光できる。結果、開口より発生する近視野光
の光量を増加させることができ、ＳＮ比のさらなる向上
が期待できる。もちろん、スライダー６は、一点で荷重
がかけられていることに変わりはなく、自由な姿勢制御
が行え、光導波路どうしによる接触による安定した光の
供給とレンズ効果の光の集光効果により、光信号におけ
る信頼性の高い装置構成が実現する。なお、図５におい
ても同様に、アーム側光導波路１１はアーム１０上面、
アーム１０内、及びアーム１０下面に形成しても良い。 ［実施の形態５］図６に本発明の実施の形態５に係る光
ヘッドの構造を示す。光ヘッド５００において、スライ
ダー６となるシリコン基板には、逆錐状の穴の頂点が微
小開口８となるよう形成されている。穴の内側には光反
射層９を形成し、微小開口８に光を集光させる機能を設
けている。この穴の内側に、球形状のレンズ１９を挿入
し、アーム側光導波路１１で荷重を与えることにより、
スライダー６に荷重が加わる。球形状のレンズ１９は、
スライダー側の穴の内壁とアーム側光導波路１１とにそ
れぞれ接しているが、自由に回転でき、その結果、スラ
イダー６はメディアの動きに追従してその姿勢を自由に
変動でき、フライングヘッド技術により、メディアに対
し常に一定の相対位置を保つことができる。
２を示した図３のように、光導波路の一部で形成された
球面形状をスライダー側の光導波路７に形成しても良
い。この場合も同様な効果により、信頼性の高い装置を
作製できる。 ［実施の形態４］図５に本発明の実施の形態４に係る光
ヘッドの構造を示す。実施の形態１から３にかけては、
スライダー側もしくはアーム側の光導波路のどちらかに
凸部もしくは球面の一部が形成されているが、本実施の
形態に示す光ヘッド４００では、アーム側光導波路１１
に形成した荷重部１７とスライダー側光導波路７に形成
した被荷重部１８のように、その両方に存在し、かつそ
れらが接している構成をしている。図５では半球面形状
を示しているが、凸形状でももちろん良い。また、片方
が半球形状で、もう片方が凸形状でも良い。この場合、
半球状のレンズ効果がさらに増幅され、微小開口８に多
くの光を集光できる。結果、開口より発生する近視野光
の光量を増加させることができ、ＳＮ比のさらなる向上
が期待できる。もちろん、スライダー６は、一点で荷重
がかけられていることに変わりはなく、自由な姿勢制御
が行え、光導波路どうしによる接触による安定した光の
供給とレンズ効果の光の集光効果により、光信号におけ
る信頼性の高い装置構成が実現する。なお、図５におい
ても同様に、アーム側光導波路１１はアーム１０上面、
アーム１０内、及びアーム１０下面に形成しても良い。 ［実施の形態５］図６に本発明の実施の形態５に係る光
ヘッドの構造を示す。光ヘッド５００において、スライ
ダー６となるシリコン基板には、逆錐状の穴の頂点が微
小開口８となるよう形成されている。穴の内側には光反
射層９を形成し、微小開口８に光を集光させる機能を設
けている。この穴の内側に、球形状のレンズ１９を挿入
し、アーム側光導波路１１で荷重を与えることにより、
スライダー６に荷重が加わる。球形状のレンズ１９は、
スライダー側の穴の内壁とアーム側光導波路１１とにそ
れぞれ接しているが、自由に回転でき、その結果、スラ
イダー６はメディアの動きに追従してその姿勢を自由に
変動でき、フライングヘッド技術により、メディアに対
し常に一定の相対位置を保つことができる。
【００２９】また、球形状をしたレンズの効果により、
さらに微小開口８に光を集光でき、微小開口８から多く
の光をメディアに照射することができる。よって、近視
野光の光強度分布に対し、一定の距離を保つことによる
信号レベルの安定と光強度の増加によるＳＮ比の向上に
より、信頼性の高い光記憶再生装置が実現する。 ［実施の形態６］図７に本発明の実施の形態６に係る光
ヘッドの構造を示す。本構造の光ヘッド６００は、実施
の形態１の図２で示した光ヘッド１００と同様な構成を
しているが、スライダー６はメディアに対向する面（メ
ディア側の面２２）の一部が欠け、側面に凸部２０を有
した形状をしており、荷重部１２で押される点における
スライダー６の厚みに比べ、アーム１０と支持部１４で
接続された点におけるスライダーの厚み（凸部２０での
厚み）が薄い構造をしている。メディアのうねりに対
し、スライダー６が常に一定の相対位置を保つよう、荷
重部１２はスライダー６の重心を押さえる位置で荷重を
かけており、アーム側光導波路１１を伝搬し光反射面１
３で反射される光は、荷重部１２を通して微小開口８へ
と伝搬する。そのため、微小開口８の位置は、メディア
側の面２２内のほぼ重心に近い所に配置されている。実
施の形態６に係わる光ヘッド６００は、スライダー６の
メディア側の面２２の一部を欠いた形状にすることで、
スライダー６の重心が移動し、メディアに近接する面
（メディア側の面２２）内では、端のほうに微小開口８
が存在する。このように、スライダー６の形状を調整す
ることで、メディアに対向する面（メディア側の面２
２）の任意の位置に微小開口８を配置することが可能と
なる。ここで、スライダー６がメディア上を浮動すると
きその空気流に影響を及ぼさないように、或いは凸部２
０の一部がメディアにぶつからず、開口を近接させるこ
とができるように、微小開口でのスライダー６の厚みに
対する凸部２０での厚みの比を、９／１０もしくはそれ
以下に設定する必要がある。
さらに微小開口８に光を集光でき、微小開口８から多く
の光をメディアに照射することができる。よって、近視
野光の光強度分布に対し、一定の距離を保つことによる
信号レベルの安定と光強度の増加によるＳＮ比の向上に
より、信頼性の高い光記憶再生装置が実現する。 ［実施の形態６］図７に本発明の実施の形態６に係る光
ヘッドの構造を示す。本構造の光ヘッド６００は、実施
の形態１の図２で示した光ヘッド１００と同様な構成を
しているが、スライダー６はメディアに対向する面（メ
ディア側の面２２）の一部が欠け、側面に凸部２０を有
した形状をしており、荷重部１２で押される点における
スライダー６の厚みに比べ、アーム１０と支持部１４で
接続された点におけるスライダーの厚み（凸部２０での
厚み）が薄い構造をしている。メディアのうねりに対
し、スライダー６が常に一定の相対位置を保つよう、荷
重部１２はスライダー６の重心を押さえる位置で荷重を
かけており、アーム側光導波路１１を伝搬し光反射面１
３で反射される光は、荷重部１２を通して微小開口８へ
と伝搬する。そのため、微小開口８の位置は、メディア
側の面２２内のほぼ重心に近い所に配置されている。実
施の形態６に係わる光ヘッド６００は、スライダー６の
メディア側の面２２の一部を欠いた形状にすることで、
スライダー６の重心が移動し、メディアに近接する面
（メディア側の面２２）内では、端のほうに微小開口８
が存在する。このように、スライダー６の形状を調整す
ることで、メディアに対向する面（メディア側の面２
２）の任意の位置に微小開口８を配置することが可能と
なる。ここで、スライダー６がメディア上を浮動すると
きその空気流に影響を及ぼさないように、或いは凸部２
０の一部がメディアにぶつからず、開口を近接させるこ
とができるように、微小開口でのスライダー６の厚みに
対する凸部２０での厚みの比を、９／１０もしくはそれ
以下に設定する必要がある。
【００３０】図８は、本発明の実施の形態６に係る光ヘ
ッド６００を高速回転したメディア２１上で走査させた
ときにメディア２１に対するスライダー６の位置関係を
示している。メディア２１を高速回転させた場合、空気
の流体運動により浮上力を受けるが、アーム１０からの
負荷加重をスライダー６に与えることで、メディア２１
表面との距離を一定に保つことが可能となる。このとき
のスライダー６の姿勢を示すのが図８である。メディア
２１が図８中に示した白抜き矢印の方向へ運動すること
で、メディア２１とスライダー６間に空気の流れが図８
中に示した黒矢印の方向に生じるが、その入り口におい
て、スライダーのメディア側の面２２はメディア垂直方
向に大きな圧力を受け、メディア２１との間隔が大きく
なる。このことで、スライダー６自体が傾き、空気流の
出口近辺では、スライダー６のメディア側の面２２とメ
ディア２１との距離が一番小さくなる。スライダー６の
メディア側の面２２内の、このメディア２１との距離の
小さい領域に微小開口８を形成することで、微小開口８
とメディア２１との距離が近接し、信号のＳＮ比が向上
し、高密度な情報の再生が可能となる。なお、メディア
側の面２２のサイズは１ｍｍ角以下で、開口はメディア
側の面２２の縁から０．４ｍｍの範囲内にあるものとす
る。よって、図７のようにスライダーの側面に凸部２０
を形成したような形状にすることで、スライダー６の重
心部を操作し、メディア側の面２２内の端の方に設けた
微小開口８は、高速走査時に、メディア２１との距離の
近い場所に存在することとなり、ＳＮ比の向上からさら
なる高密度化、大容量化、小型化した情報記録装置が可
能となる。
ッド６００を高速回転したメディア２１上で走査させた
ときにメディア２１に対するスライダー６の位置関係を
示している。メディア２１を高速回転させた場合、空気
の流体運動により浮上力を受けるが、アーム１０からの
負荷加重をスライダー６に与えることで、メディア２１
表面との距離を一定に保つことが可能となる。このとき
のスライダー６の姿勢を示すのが図８である。メディア
２１が図８中に示した白抜き矢印の方向へ運動すること
で、メディア２１とスライダー６間に空気の流れが図８
中に示した黒矢印の方向に生じるが、その入り口におい
て、スライダーのメディア側の面２２はメディア垂直方
向に大きな圧力を受け、メディア２１との間隔が大きく
なる。このことで、スライダー６自体が傾き、空気流の
出口近辺では、スライダー６のメディア側の面２２とメ
ディア２１との距離が一番小さくなる。スライダー６の
メディア側の面２２内の、このメディア２１との距離の
小さい領域に微小開口８を形成することで、微小開口８
とメディア２１との距離が近接し、信号のＳＮ比が向上
し、高密度な情報の再生が可能となる。なお、メディア
側の面２２のサイズは１ｍｍ角以下で、開口はメディア
側の面２２の縁から０．４ｍｍの範囲内にあるものとす
る。よって、図７のようにスライダーの側面に凸部２０
を形成したような形状にすることで、スライダー６の重
心部を操作し、メディア側の面２２内の端の方に設けた
微小開口８は、高速走査時に、メディア２１との距離の
近い場所に存在することとなり、ＳＮ比の向上からさら
なる高密度化、大容量化、小型化した情報記録装置が可
能となる。
【００３１】図９は、本発明の実施の形態６に係わる光
ヘッド７００のもう一例を示したものである。図９は、
スライダー６の一部を大きく削ることでスライダー６の
重心位置を偏らせた光ヘッド７００を示す。図７のよう
に、メディアに対向する面（メディア側の面２２）の一
部を大きく削ることで、メディア側の面２２内の端に微
小開口８を設ける構成にしても良いし、図９のように、
スライダー６のメディアに反対側の面内に大きな溝２３
を形成することで、重心位置を移動させ、微小開口８の
位置をメディア側の面２２内の端に形成した構成にして
も構わない。この場合、溝２３が高速回転時の空気流に
影響を及ぼさないような位置に作製することで、メディ
アに対し安定した浮上量を確保でき、ＳＮ比の高く信頼
性に優れた光記録装置が作製できる。なお、微小開口８
をメディアに十分近接させるために、この微小開口８の
位置を、中心から端の方へ、メディア側の面２２内で一
辺の長さに対し１／１０以上移動させる必要がある。そ
こで、この溝２３の大きさをスライダー６の体積の１／
５以上に設定する。 ［実施の形態７］図１０に本発明の実施の形態７に係る
光ヘッド８００の構造を示す。本光ヘッド８００は、図
７で示した実施の形態６の光ヘッド６００と同様な形状
をしているが、凸部２４は、スライダー６を構成する材
料と異なる材料からできている。例えば、スライダー６
を構成する材料が、Ｓｉ系あるいはＳｉＯ2系の材料で
ある場合、凸部２４は、金属であったり、あるいは、エ
ポキシ系材料であったりしても良い。このような異なる
材料では、その密度が異なることから、実施の形態６と
同様に、スライダー６の重心部に近い位置に存在する微
小開口８が、メディア側の面２２内において、端の方に
存在し、メディアとの距離をより近接させることが可能
となる。よって、その効果も実施の形態６と同様とな
る。
ヘッド７００のもう一例を示したものである。図９は、
スライダー６の一部を大きく削ることでスライダー６の
重心位置を偏らせた光ヘッド７００を示す。図７のよう
に、メディアに対向する面（メディア側の面２２）の一
部を大きく削ることで、メディア側の面２２内の端に微
小開口８を設ける構成にしても良いし、図９のように、
スライダー６のメディアに反対側の面内に大きな溝２３
を形成することで、重心位置を移動させ、微小開口８の
位置をメディア側の面２２内の端に形成した構成にして
も構わない。この場合、溝２３が高速回転時の空気流に
影響を及ぼさないような位置に作製することで、メディ
アに対し安定した浮上量を確保でき、ＳＮ比の高く信頼
性に優れた光記録装置が作製できる。なお、微小開口８
をメディアに十分近接させるために、この微小開口８の
位置を、中心から端の方へ、メディア側の面２２内で一
辺の長さに対し１／１０以上移動させる必要がある。そ
こで、この溝２３の大きさをスライダー６の体積の１／
５以上に設定する。 ［実施の形態７］図１０に本発明の実施の形態７に係る
光ヘッド８００の構造を示す。本光ヘッド８００は、図
７で示した実施の形態６の光ヘッド６００と同様な形状
をしているが、凸部２４は、スライダー６を構成する材
料と異なる材料からできている。例えば、スライダー６
を構成する材料が、Ｓｉ系あるいはＳｉＯ2系の材料で
ある場合、凸部２４は、金属であったり、あるいは、エ
ポキシ系材料であったりしても良い。このような異なる
材料では、その密度が異なることから、実施の形態６と
同様に、スライダー６の重心部に近い位置に存在する微
小開口８が、メディア側の面２２内において、端の方に
存在し、メディアとの距離をより近接させることが可能
となる。よって、その効果も実施の形態６と同様とな
る。
【００３２】また、この異種材料が突出している必要は
なく、図１１のように、スライダー内の一部に形成され
ていても良い。異種材料２５の密度がスライダー６を構
成する材料の密度より大きい場合、重心部に位置する微
小開口８は、メディア側の面２２の中心から外れ、メデ
ィアとの距離がより近い位置に配置することが可能とな
る。例えば、スライダー６の主材料がＳｉの場合、この
異種材料２５がＳｉより密度の大きい、銅、SUS、金、
その他の金属といった材料でも構わない。逆にＳｉより
密度の小さい、エポキシ材料を用いた場合でも、重心が
偏ることで微小開口８の位置をずらすことが可能とな
る。
なく、図１１のように、スライダー内の一部に形成され
ていても良い。異種材料２５の密度がスライダー６を構
成する材料の密度より大きい場合、重心部に位置する微
小開口８は、メディア側の面２２の中心から外れ、メデ
ィアとの距離がより近い位置に配置することが可能とな
る。例えば、スライダー６の主材料がＳｉの場合、この
異種材料２５がＳｉより密度の大きい、銅、SUS、金、
その他の金属といった材料でも構わない。逆にＳｉより
密度の小さい、エポキシ材料を用いた場合でも、重心が
偏ることで微小開口８の位置をずらすことが可能とな
る。
【００３３】なお、実施の形態６及び実施の形態７にお
いて、光ヘッドの構成が実施の形態１に係わる図２に示
した光ヘッド１００の構成を例にとり、説明したが、図
２の光ヘッド１００に限らず、実施の形態２で示した光
ヘッド２００、実施の形態３で示した光ヘッド３００、
実施の形態４で示した光ヘッド４００、実施の形態５で
示した光ヘッド５００のような構成であっても構わな
い。
いて、光ヘッドの構成が実施の形態１に係わる図２に示
した光ヘッド１００の構成を例にとり、説明したが、図
２の光ヘッド１００に限らず、実施の形態２で示した光
ヘッド２００、実施の形態３で示した光ヘッド３００、
実施の形態４で示した光ヘッド４００、実施の形態５で
示した光ヘッド５００のような構成であっても構わな
い。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
高速回転するメディアに対応した自由な動きをスライダ
ーが行うことにより、常にメディアとスライダーの距離
を一定に保ちながら、スライダー内に形成した微小開口
より発生する近視や光の強度を一定に安定させる構造に
したことにより、近視や光の強度分布に影響されること
なく、光を用いた情報信号の安定した記録および再生を
実現できる。さらに、光導波路内に、光を集光させる機
能を有したことにより、ＳＮ比が高く信頼性に優れた記
録再生方法を可能にする。また、本構成の光ヘッドもし
くは構成部品のほとんどが、シリコンなどを用いた微細
加工プロセスにて作製でき、装置全体の小型化が可能と
なり、同時に量産工程への適用による低コスト化も実現
できる。
高速回転するメディアに対応した自由な動きをスライダ
ーが行うことにより、常にメディアとスライダーの距離
を一定に保ちながら、スライダー内に形成した微小開口
より発生する近視や光の強度を一定に安定させる構造に
したことにより、近視や光の強度分布に影響されること
なく、光を用いた情報信号の安定した記録および再生を
実現できる。さらに、光導波路内に、光を集光させる機
能を有したことにより、ＳＮ比が高く信頼性に優れた記
録再生方法を可能にする。また、本構成の光ヘッドもし
くは構成部品のほとんどが、シリコンなどを用いた微細
加工プロセスにて作製でき、装置全体の小型化が可能と
なり、同時に量産工程への適用による低コスト化も実現
できる。
【００３５】加えて、スライダの自由な動きを損なうこ
となく、スライダのメディア側の面内において開口をよ
りメディアに近接した領域に配置させることで、信号の
ＳＮ比が向上し、製品の安定性・信頼性を向上させるこ
とが可能となる。また、より小さな開口から、より微細
な領域の読みとり、書き込みを行え、分解能の向上及び
情報の高密度化が可能となる。さらに、光源の出力を抑
えても、十分に高速再生できることから、製品の小型化
・薄型化・低価格化が可能となる。
となく、スライダのメディア側の面内において開口をよ
りメディアに近接した領域に配置させることで、信号の
ＳＮ比が向上し、製品の安定性・信頼性を向上させるこ
とが可能となる。また、より小さな開口から、より微細
な領域の読みとり、書き込みを行え、分解能の向上及び
情報の高密度化が可能となる。さらに、光源の出力を抑
えても、十分に高速再生できることから、製品の小型化
・薄型化・低価格化が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１に係る光記憶再生装置の
一例を示す概略図である。
一例を示す概略図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る光ヘッドの構造を
示す図である。
示す図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る光ヘッドの構造を
示す図である。
示す図である。
【図４】本発明の実施の形態３に係る光ヘッドの構造を
示す図である。
示す図である。
【図５】本発明の実施の形態４に係る光ヘッドの構造を
示す図である。
示す図である。
【図６】本発明の実施の形態５に係る光ヘッドの構造を
示す図である。
示す図である。
【図７】本発明の実施の形態６に係る光ヘッドの構造を
示す図である。
示す図である。
【図８】本発明の実施の形態６に係る光ヘッドとメディ
アとの位置関係を示す図である。
アとの位置関係を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態６に係る光ヘッドの構造を
示す図である。
示す図である。
【図１０】本発明の実施の形態７に係る光ヘッドの構造
を示す図である。
を示す図である。
【図１１】本発明の実施の形態７に係る光ヘッドの構造
を示す図である。
を示す図である。
１ ディスク ２ スライダー ３ アーム ４ 回転軸 ５ 光導波路 ６ スライダー ７ スライダー側光導波路 ８ 微小開口 ９ 光反射層 １０ アーム １１ アーム側光導波路 １２ 荷重部 １３ 光反射面 １４ 支持部 １５ 被荷重部 １６ 荷重部 １７ 荷重部 １８ 被荷重部 １９ 球面状のレンズ ２０ 凸部 ２１ メディア ２２ メディア側の面 ２３ 溝 ２４ 凸部 ２５ 異種材料 １００ 光ヘッド ２００ 光ヘッド ３００ 光ヘッド ４００ 光ヘッド ５００ 光ヘッド ６００ 光ヘッド ７００ 光ヘッド ８００ 光ヘッド ９００ 光ヘッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大海 学 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 笠間 宣行 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 新輪 隆 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 (72)発明者 市原 進 千葉県千葉市美浜区中瀬１丁目８番地 株 式会社エスアイアイ・アールディセンター 内 Ｆターム(参考） 5D119 AA01 AA28 BA01 JA34 MA05 MA06
Claims (13)
- 【請求項１】 メディアとの相対運動により浮上力を受
けるスライダーと、 前記スライダーの前記メディア側の面内に形成され、近
視野光を生成あるいは検出あるいはその両方を行う微小
構造と、 前記スライダー内に形成され、前記微小構造と光学的に
接続されているスライダー側光導波機構と、 前記スライダーを支持するとともに負荷加重を与えるア
ームと、 前記アームに形成され、前記スライダー側光導波機構に
光を導くアーム側光導波機構と、 前記アーム側光導波機構と接触し、かつ前記スライダー
側光導波機構と接触している光導波機構と、から構成さ
れた情報の記録および再生を行う光ヘッドにおいて、 前記光導波機構を介して、前記スライダーに負荷加重を
与えていることを特徴とする光ヘッド。 - 【請求項２】 前記光導波機構と前記アーム側光導波機
構とが一体構造であることを特徴とする請求項１に記載
の光ヘッド。 - 【請求項３】 前記光導波機構と前記スライダー側光導
波機構とが一体構造であることを特徴とする請求項１に
記載の光ヘッド。 - 【請求項４】 前記光導波機構と前記アーム側光導波機
構とが接している面積、もしくは前記光導波機構と前記
スライダー側光導波機構とが接している面積、もしくは
その両方の面積が極めて小さいことを特徴とする請求項
１から３のいずれか一項に記載の光ヘッド。 - 【請求項５】 前記光導波機構が、前記アーム側光導波
機構と、あるいは前記スライダー側光導波機構と、ある
いはその両方と、１点で接していることを特徴とする請
求項１から４のいずれか一項に記載の光ヘッド。 - 【請求項６】 前記光導波機構の一部が錐状形状あるい
は頂点の尖った釣り鐘状形状をしており、その頂点にて
接触していることを特徴とする請求項１から５のいずれ
か一項に記載の光ヘッド。 - 【請求項７】 前記光導波機構の一部が球面の一部の形
状をしており、その球面の一部にて接していることを特
徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載の光ヘッ
ド。 - 【請求項８】 前記光導波機構の一部に集光機能がある
ことを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載
の光ヘッド。 - 【請求項９】 前記スライダーの重心部に向かって前記
負荷加重が与えられ、前記メディア側の面内に存在する
前記微小構造が、前記スライダーが前記負荷加重を受け
ている点と前記スライダーの重心とを結ぶ直線上に配置
されていることを特徴とする請求項１から８のいずれか
一項に記載の光ヘッド。 - 【請求項１０】 前記スライダーの形状及び密度分布、
或いはそれらの組み合わせにより、前記微小構造が前記
メディア側の面内の縁近傍に配置されていることを特徴
とする請求項９に記載の光ヘッド。 - 【請求項１１】 前記スライダーの前記メディアと反対
側面内の一部にスライダー体積の１／５以上に相当する
大きさの凹部が存在することを特徴とする請求項１０に
記載の光ヘッド。 - 【請求項１２】 前記スライダーの前記メディア側の面
内に段差があり、その段差の高さが、スライダの平均し
た厚みの１／１０以上であることを特徴とする請求項１
０に記載の光ヘッド。 - 【請求項１３】 前記スライダーの密度と異なる密度を
有する材料が前記スライダーの１／１０以上の体積を占
めていることを特徴とする請求項１０に記載の光ヘッ
ド。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000127325A JP4485012B2 (ja) | 1999-08-30 | 2000-04-27 | 光ヘッド |
| US09/807,771 US6567373B1 (en) | 1999-08-30 | 2000-08-23 | Optical head |
| EP00954953A EP1126449B1 (en) | 1999-08-30 | 2000-08-23 | Optical head |
| DE60023101T DE60023101T2 (de) | 1999-08-30 | 2000-08-23 | Optischer kopf |
| PCT/JP2000/005668 WO2001016949A1 (fr) | 1999-08-30 | 2000-08-23 | Tete optique |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-242916 | 1999-08-30 | ||
| JP24291699 | 1999-08-30 | ||
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001143316A true JP2001143316A (ja) | 2001-05-25 |
| JP4485012B2 JP4485012B2 (ja) | 2010-06-16 |
Family
ID=26535980
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000127325A Expired - Fee Related JP4485012B2 (ja) | 1999-08-30 | 2000-04-27 | 光ヘッド |
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| Country | Link |
|---|---|
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| EP (1) | EP1126449B1 (ja) |
| JP (1) | JP4485012B2 (ja) |
| DE (1) | DE60023101T2 (ja) |
| WO (1) | WO2001016949A1 (ja) |
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-
2000
- 2000-04-27 JP JP2000127325A patent/JP4485012B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 2000-08-23 DE DE60023101T patent/DE60023101T2/de not_active Expired - Lifetime
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