WO1994014892A1 - Photosensitive resin composition for color filter - Google Patents

Description

明 細

カ ラ ー フ ィ ル タ ー用感光性樹脂組成物 技術分野

本発明はカ ラ 一 フ ィ ルタ ー用感光性樹脂組成物に関 し、 よ り 詳 し く はカ ラ ー フ ィ ル 夕 一用 ポジ型及びネ ガ型感光 性樹脂組成物に関する

背景技術

カ ラ ー フ ィ ル 夕 一、 特に電荷結合素子 （ C C D ) も し く は液晶表示素子 （ L C D ) 等の固体影像素子用カ ラ ー フ ィ ルタ ーは透明又は不透明基体上に三原色要素 （赤、 綠、 青） 又は三補色要素 （ イ エ ロ —、 マ ゼ ン タ 、 シ ア ン ） のパ タ ー ンを形成する ものであ る。 カ ラ 一 フ ィ ル 夕 一用 感光性樹脂組成物 と して例えば特開平 4 一 1 7 5 7 5 3 号、 及び同 じ く 1 7 5 7 5 4 号公報には、 各々 、 （ A ) ア ル 力 リ 可溶性樹脂 と して、 5 0 モ ル％以上 ビス フ エ ノ ー ル A を含むフ ェ 'ノ 一ル成分 とアルデ ヒ ド成分を重縮合 させてな る ノ ボラ ッ ク樹脂、 （ B ) 光変性溶解抑制剤、 ( C ) 、 （ D ) の溶剤に可溶で （ A ) 樹脂 と相溶する染 料、 （ D ) 溶剤を含有 してな る、 及び上記 ( A ) 、

( B ) 、 （ D ) と 、 （ C ' ) 微粒子顔料 とを含有 してな ' る 、 カ ラ ー フ ィ ノレ 夕 一用感光性樹脂組成物が記載さ れて い る

しか しなが ら、 該カ ラ ー フ ィ ル タ ー用ポジ型感光性樹 脂組成物を用いる と、 パ タ ー ン形成後に高温 · 長時問の 加熱を要する ため、 パタ ー ン形状の変化及びカ ラ ー フ ィ ルタ ーの変色等の問題があ る。

発明の開示

本発明は解像度、 耐熱性及び透明度 （光透過性 ) 等の 諸性能に優れたカ ラ ー フ ィ ル タ ー用感光性樹脂組成物を 提供する。

本発明は、 一般式 （ I )

〔式中、 R , 〜 R ₅ は各々 独立 して水素原子、 ハロ ゲ ン 原子、 置換さ れていて も よい直鎖 も し く は分岐状のア ル キル又はアルケニル基或.いはァセチル基を表わす。 R ₆

R e

I

及び R ₇ は、 — C — 基が一 〇 H基に対 し 0 位又は

I

R 7

p 位に配位 している と い う 条件付きで各々 水素原子、 置 換さ れていて も よいアルキル基、 ベ ン ジル基又はフ ェ ニ ル基を表わす。 〕 、 一般式 ( I I )

〔式中、 R ₈ 〜 R 】 ₃は各々 独立 して水素原子、 ハロ ゲ ン 原子、 置換さ れていて も よい直鎖 も し く は分岐状のア ル キル又はア ルケニル基或いはァセチル基を表わす。 R , ,

K

およ び R , ₅は、 一 C —— 基が— 〇 H基に対 し 0 位又

I は p 位に配位 している とい う 条件付きで各々 水素原子、 置換さ れていて も よいア ルキル基、 ベ ン ジル基又はフ ェ 二ル基を表わす。 〕 及び一般式 （ I Iに）

I)

〔式中、 R , ₆〜 R _{2 1}は各々 独立 して水素原子、 ハ ロ ゲ ン 原子、 置換さ れていて も よい直鎖 も し く は分岐伏のアル キル又はアルケニル基或いはァセチル基を表わす。 R _{2 2}

R 2 2

I .

お よ び R _{2 3}は、 —— C —— 基が一 〇 H基に対 し 0 位又

K 2 3

は P 位に配位 している と い う 条件付きで各 々 水素原子、 置換さ れていて も よいアルキル基、 ベ ン ジル基又は フ ェ 二ル基を表わす。 〕 で示さ れる群の中か ら選ばれる少な く と も 1 種の繰返 し単位を含み、 且つ分子量が約 1 0 0 0 〜 5 0 0 0 0 の ノ ボラ ッ ク樹脂、 溶剤並びに、 染料又 は顔料を含むこ とを特徴 とする カ ラ ー フ ィ ルタ ー用感光 性樹脂組成物であ る。

発明を実施するための最良の形態

上記一般式 （ I ) 、 （ Π ) 及び （ I I Πで示される群の 中か ら選ばれる少な く と も 1 種の繰返 し単位を含むノ ボ ラ ッ ク樹脂は、 一般式 （： I V)

(式中、 Z > 〜 Z ₉ は各 々 水素原子、 ハ ロ ゲ ン原子、 置 換されていて も よい直鎖 も し く は分岐状のアルキル又は ァ ルケニル基、 ァセチル基或いは一 O H基を表わす。 但 し、 Z , 、 Z 、 Z 及び Z ₅ の中 1 つは一 O H基であ り 、 該— 0 H基に対 して 0 位又は p位に少な く と も 1 つ の水素原子を有 し、 且つ、 Z ₂ 〜 Z ₆ の中 1 つは— 0 H 基であ り 、 該ー 〇 H基に対 して o位又は p位に少な く と も 1 つの水素原子を有する。 ） で示さ れる 化合物を含有 する フ ェ ノ ール化合物 と カ ルボニル化合物 とを酸触媒の 存在下に付加縮合 させる こ と に よ り 得 られる。 そ して、 一般式 （ V )

(式中、 Z ,。〜 Z 】 ₈は各 々 水素原子、 ハ ロ ゲ ン原子、 置 換さ れていて も よ い直鎖 も し く は分岐状のア ルキル又'は アルケニル基、 ァセチル基或いは一 0 H基を表わす。 但 し、 2 _{1 1}〜∑ , ₅の中 1 っはー 〇 ^1基でぁ り 、 該ー O H基 に対 して 0 位又は p位に少な く と も 2つの水素原子を有 し、 且つ、 Z _{1 ()}、 Z ₁₆、 ∑ _{1 7}及び 2 ,₈はー 0：^基でぁ る こ と はない。 ） で示さ れる 化合物を含有する フ ノ ー ル 化合物 と カ ルボニル化合物 とを酸触媒の存在下に付加縮 合 さ せる と、 上記一般式 （ II) で示さ れる繰返 し単位を 含むノ ボラ ッ ク樹脂が得 られる。 又、 下記一般式 （VI)

(式中、 Z , _s〜 Z ₂₇は各々 水素原子、 ハロ ゲ ン原子、 置 換されていて も よ い直鎖 も し く は分岐状のア ルキル又は アルケニル基、 ァセチル基或いは — 0 H基を表わす。 但 し、 Z ₁₉、 Z 2 5 . Z ₂₆及び Z ₂₇の中 1 つは一 〇 H基であ り 、 該ー 〇 H基に対 して 0 位又は p位に少な く と も 2つ の水素原子を有 し、 且つ、 Z ₂₀〜 Z ₂₄は一 O H基であ る こ とはない。 ） で示される 化合物を含有する フ エ ノ ール 化合物 と カ ルボニル化合物 とを酸触媒の存在下に付加縮 合 させる と、 上記一般式 （ III)で示さ れる橾返 し単位を 含むノ ボラ ッ ク樹脂が得られる。

R 〜R ₂₃及び Z , 〜 Z で表わさ れる直鎖 も し く は 分岐状のアルキル基 と して好ま し く は炭素数 1 〜 5 の も のが、 R R ₅ 、 R R R R ₂ ,及び Z

Z ₂₇で表わさ れる直鎖 も し く は分岐状のアルケニル基 と して好ま し く は炭素数 2〜 5 の ものが、 各 々 挙げ られる こ れ らの置換基 と しては、 例えばハロ ゲ ン原子、 一 〇 H 基、 — S H基、 フ エ ニル基又は低級ア ルキルチオ基等が 挙げ られる。 R , 〜 R ₂₃及び 〜 Z ₂₇と して、 好ま し く は水素原子或いは直鎖 も し く は分岐状の炭素 ¾ 1 〜 5 のアルキル基 （例えば メ チル、 ェチル、 n — プロ ピル、 i — プロ ピル も し く は n — ブチル基等） 力〈、 よ り 好ま し く は水素原子或いは メ チル も し く はェチル基が、 各 々 举 げ られる。 一般式 （ IV) 〜 （ V【） で示さ れる好ま しい化 合物 と しては、 例えば '

等が挙げ られる。 一般式 （ IV) 〜 （ VI ) で示さ れる 化合 物は単独で、 或いは混合 して用い られる。 一般式 （ IV) で示さ れる 化合物は ΙΏ — も し く は p — イ ソ プロべニルフ ノ ール又はこ れ らの線状二量体を用いて、 米国特許第 3 2 8 8 8 6 4 号明細書に記載の方法で、 一般式 （ V ) 〜 （VI) で示さ れる 化合物は特開昭 5 4 一 6 4 5 8 9 号 又は特開昭 4 9 一 1 0 1 3 6 6 号公報に記載の方法で、 各々 製造する こ とができ る。

力 ルボニル化合物 と付加縮合 さ せる、 一般式 UV) 〜

(VI) で示される 化合物以外の フ ノ - ル化合物 と して は、 例えば一般式 （ V I Π

〔式中、 E , 〜 E ₆ は各々 水素原子、 ハロ ゲ ン原子、 置 換さ れていて も よい直鎖も し く は分岐状のアルキル又は アルケニル基、 一 〇 H基或いは低級アルキルカ ルボ二ル 基を表わす。 但 し、 E , 〜 E ₆ の中少な く と も 1 つは— 0 H基であ り 、 該ー 0 H基に対 して 0 位又は p位に少な く と も 2つの水素原子を有する。 〕 で示さ れる化合物、 一般式 （VIII)

〔式中、 E 7 〜 E ₁₆は各々 水素原子、 ハロ ゲ ン原子 換さ れていて も よい直鎖 も し く は分岐伏のァ ルキル又は ア ル ケ ニ ル基、 一 0 H基或い は低級 ァ ル キ ル 力 ル ボ二 ル 基を表わす。 但 し、 E ₇ 〜 E 】 ₅の中少な く と も 1 つは 一 0 H基であ り 、 該— 0 H基に対 して o 位又は p 位に少な く と も 2 つの水素原子を有する。 A は酸素原子、 硫黄原 子、 置換さ れていて も よい炭素数 1 〜 6 の 了 ル キ レ ン 基 を表わす。 〕 で示される 化合物或い は ナ フ タ レ ン化合物 等が挙げ られる。

一般式 （ V I I ) で示さ れる 化合物 と しては、 例えばフ ェ ノ ー ル、 m — ク レ ゾ一 ル 、 P — ク レ ゾ 一 ノレ、 0 — タ レ ゾ一 ノレ、 0 — ェ チ ノレ フ エ ノ 一 儿 、 m — ェ チ ル フ エ ノ ー ル p — ェ チ ル フ エ ノ ー ル、 2 — イ ソ プ ロ ピ ル フ エ ノ ー ル、 3 — イ ソ プ ロ ピル フ エ ノ ー ル、 4 — イ ソ プ ロ ピ ル フ エ ノ ー ル、 0 — s e 一 ブ'チ ノレ フ ェ ノ ー ノレ、 p — s e 一 ブチ ル フ エ ノ ー ル、 0 — t e r t— フ"チ ル フ エ ノ ー ノレ、 m — t e r t— ブチ ノレ フ エ ノ 一 ノレ、 p — t e r t— ブチ ノレ フ エ ノ 一ル、 2 , 5 — キ シ レ ノ ー ル、 3 ， 5 - キ シ レ ノ ー ル 、 3 , 4 — キ シ レ ノ ー ル 、 2 , 3 , 5 — 卜 リ メ チ ノレ フ エ ノ ー ノレ、 5 — メ チ ノレ ー 2 — t e r t— ブチ ル フ エ ノ 一 ル、 m — メ ト キ シ フ エ ノ 一 ル 、 イ ソ ア ミ ノレ フ エ ノ — 儿 、 レ ゾ ル シ ン 、 2 — メ 千 ノレ レ ゾ ル シ ン又はノヽ ィ ド 口 キ ノ ン等が挙げ られる。

一般式 （ V I I I ) で示される 化合物 と しては、 例えば 2 2 — ビ ス （ 4 — ヒ ド ロ キ シ フ ェニル） — プロパ ン等力く举 げ られる。

ナ フ タ レ ン化合物 と し て は 、 例えば 2 — ナ フ ト ール、 1 ， 3 — ジ ヒ ド ロ キ シ ナ フ 夕 レ ン 、 1 , 7 — ジ ヒ ド ロ キ シ ナ フ 夕 レ ン 又は 1 ， 5 — ジ ヒ ド ロ キ シ ナ フ 夕 レ ン 等力、 举げ られ る。

こ れ ら の フ ヱ ノ ー ル化合物は単独で、 或い は 2 種以上 混合 して用 い ら れ る 。 一般式 （ I V ) 、 （ V ) 又は （ V I ) で示 さ れ る 化合物 と 上記 フ エ ノ 一 ル化合物 と の仕込みモ ル比は通常 1 0 0 ： 0 〜 2 0 ： 8 0 であ る。

カ ルボニ ル化合物 と して は、 ア セ ト ン 、 メ チ ル ェチ ル ケ ト ン 、 メ チ ノレ ブ チ ノレ ケ ト ン 、 メ チ ノレ イ ソ ブ千 ノレ ケ 卜 ン も し く は メ チ ル イ ソ プロ ピルケ ト ン等のケ ト ン類或し、 は ホ ル 厶 ア ルデ ヒ ド、 パ ラ ホ ル ム ァ ルデ ヒ ド、 グ リ ォ キサ ー ル 、 ァ セ ト ア ルデ ヒ ド、 プロ ピル.ァ ノレデ ヒ ド、 ベ ン ズ ア ルデ ヒ ド、 フ エ ニルァ セ ト ァ ノレデ ヒ ド、 ひ 一 フ エ 二ル プ口 ピルア ルデ ヒ ド、 /3 — フ ヱ ニ ルプ ロ ピルァ ルデ ヒ ド 0 — ヒ ド ロ キ ンべ ン ズァ ノレデ ヒ ド、 m — ヒ ド ロ キ シベ ン ズア ルデ ヒ ド、 p — ヒ ド ロ キ シベ ン ズァ ル デ ヒ ド、 グル 夕 ノレァ ルデ ヒ ド 、 0 — メ チ ノレベ ン ズァ ノレデ ヒ ド も し く は p — メ チ ルベ ン ズ'ア ルデ ヒ ド等の脂肪族又は芳香族ア ル デ ヒ ド類が挙げ ら れ る 。 こ れ ら の中、 反応速度の観点か ら ア ルデ ヒ ド類が好 ま し く 、 工業的 に 入手 し易 い と い う 観点か ら ホ ルム ァ ル デ ヒ ドが特に好 ま し い。 力 ル ボ二 ル 化合物は単独で、 又は 2 種以上混合 して使用す る こ と が で き る 。 力 ル ボニル 化合物の使用量は フ ェ ノ 一 ル化合物 に対 して通常 0. 2 〜 3 倍モ ル、 好 ま し く は 0 . 5 〜 2 倍モ ノレであ る 。 触媒 と しては、 有機酸 （例えば蟻酸、 酢酸、 蓚酸、 卜 リ ク ロ ル酢酸 も し く は P — ト ル エ ン ス ル ホ ン酸等） 、 無 機酸 （例えば塩酸、 硫酸、 過塩素酸 も し く は燐酸等） 或 いは二価金属塩 （例えば酢酸亜鉛 も し く は酢酸マ グネ シ ゥ ム等） 等が举げ られる。 中で も蓚酸 も し く は酢酸が好 ま しい。 こ れ らは単独で、 又は 2 種以上混合 して用い ら れる。 触媒の使用量は、 フ エ ノ ー ル化合物に対 して好ま し く は 0. 1 〜 5 0 重量％、 よ り 好ま し く は 0 . 5 〜 3 0 重 量％であ る。

付加縮合はバル ク で、 或いは溶剂中で行われる。 溶剂 と し て は、 ト ノレ エ ン 、 キ シ レ ン 、 ェ チ ル セ 口 ソ ル ブァ セ テ ー ト 、 n — プロ ピ ノレ ア ノレ コ ー ノレ、 n — ブチノレ ァ ノレ コ 一 儿、 i 一 ブチノレアノレ コ ール、 n —へキ シルァノレ コ 一ノレ、 ジプロ ピルエーテル、 ジブチルエーテル、 ジ グラ イ ム、 n —ヘプタ ン、 n — オ ク タ ン も し く は メ チノレイ ソ ブチル ケ 卜 ン等が挙げ られる。

付加縮合温度は通常 6 () 〜 ！ 2 0 °Cであ り 、 溶剂を用 いる場合、 好ま し 'く は 8 0 〜 1 1 0 °Cの還流条件下であ る。 乂、 反応時間は生成 ノ ボラ ッ ク樹脂の分子量に よ つ て異な るが、 通常約 2 〜 3 0 時間である。

好ま しい生成ノ ボラ ッ ク樹脂ポ リ ス チ レ ン換算重量平 均分子量は 1 0 0 0 〜 1 0 0 0 0 である。

本発明のカ ラ ー フ ィ ルタ ー用感光性樹脂組成物に用 い られる ァ ルカ リ 可溶性樹脂 と しては、 前記ノ ボラ ッ ク樹 脂以外に、 該ノ ボラ ッ ク樹脂 とアル力 リ 可溶性 ビ二ル重 合体 との混合物が挙げ られる。

了 ル力 リ 可溶性 ビニル重合体 と しては、 例えばスチ レ ン と P — ヒ ドロキ シスチ レ ン との共重合体 （丸善石油製 の MARUKAい' NCUR- CST等 ) 、 ス チ レ ン 一無水マ レ イ ン酸共 重合体 （'ア ト ケ ミ 社製の S M A — 2 6 2 5 も し く は S M A - 1 7 3 5 2 等） 、 特公平 3 — 3 9 5 2 8 号公報に記 載のァ ク リ ル系モ ノ マー と p — ビニノレ フ エ ノ 一ノレ との共 重合休 （丸善石油製の MARUKALYNCUR- CMM等） 、 ビニルァ ルコ ール と P — ビニ儿 フ ヱ ノ ール との共重合休 （丸善石 油製の IWARUKALYNCUR-CHM等） 、 メ チル メ タ ク リ レ ー 卜 ( も し く は メ チ ルア タ リ レ 一 卜 ） 一無水マ レ イ ン酸共重 合体、 こ れ らの共重合体 と炭素数 〗 〜 1 0 のアルキル又 は シ ク ロ ア ルキル基を有する アルコ ール との部分エステ ル体又は下式

(式中、 Q , 及び Q ₂ は各々 独立 して水素原子又はア ル キル基を表わ し、 Q ₃ はアルキル、 ァ リ ール、 アル コ キ シ、 ヒ ド ロ キ シア ルキノレ も し く はア ルキ ノレ 力 ル ボ二ノレォ キ シ基を表わす。 X , 〜 X ₅ は少な く と も 1 つは水酸基 であ る と い う 条件付きで各 々 水素原子、 ハロ ゲ ン原子、 アルキル基又は水酸基を表わす。 ）

で示さ れる構造を含む共 ffi合休≠の ビニル フ ヱ ノ ー ル共 重合体、 ポ リ ビニル フ エ ノ ー ルを水素添加 した樹脂 (丸 善石油製の MAR UKA LYN C UR - PH S - C等、 或いはポ リ ビ二ル フ エ ノ 一ル （丸善石汕製の MA R UKA LYN C U R - M等） 等が挙げ ら れる。 こ れ らのァ ル力 リ 可溶性 ビニル ffi合体は— 迚で、 又は 2 種以上組合わせて用い られる。 又、 アルカ リ 可溶 性 ビニル重合体は必要に応 じて分子量 5 0 0 〜 1 0 0 0 0 程度の ものを選択する こ とができ る。

カ ラ 一 フ ィ ルタ ー用感光性樹脂組成物に用い られる溶 剤 と しては、 例えば メ チルセ ロ ソ ルブ、 ェチルセ ロ ソ ル ブ、 メ チ ルセ 口 ソ ルブア セ テー ト 、 ェチ ノレセ ロ ソ ルブァ セ テー ト 、 ジエチ レ ン グ リ コ ー ル ジ メ チ ルェ一 テ儿 、 ェ チ レ ン ダ リ コ ー ルモ ノ イ ソ プ ロ ピルエー テ ル、 プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ルモ ノ メ チ ルエー テル、 N， N — ジ メ チ ルァ セ 卜 ア ミ ド、 N — メ チ ノレ ピ ロ リ ド ン 、 ァ 一 ブチ ロ ラ ク 卜 ン、 メ チ ル イ ソ ブチ ルケ ト ン、 メ チ ルェチ ノレケ ト ン 、 シ ク ロ ペ ン 夕 ノ ン 、 シ ク ロ へキサ ノ ン 、 キ シ レ ン 、 2 — へ プ夕 ノ ン、 酢酸ェチル、 酢酸 n — ブチル、 酢酷プロ ピ レ ン グ リ コ ー ルモ ノ メ チ ルエー テル 、 酢酸プ ロ ピ レ ン グ リ コ ー ルモ ノ ェチ ルエー テル 、 乳酸 メ チ ル、 乳酸ェチ ル、 ピル ビ ン酸ェチ ル、 ジ メ チ ル ス ル ホキ シ ド、 ジォキサ ン も し く は ジチ メ ノレホル厶ア ミ ド等が挙げ られる。 こ れ ら の溶剂は単独で、 或いは 2 種以上組合わせて用い られる 染料 と しては例えば、 カ ラ 一 イ ンデ ッ ク スに記載の C. I. Solvent Co 1 ou r等を使用する こ とができ る。 顔料 と しては例えば、 カ ラ ー イ ンデ ッ ク スに記載の I . Pigment Co lour等を使用する こ とができ る。

ポジ型のカ ラ ー フ ィ ルタ ー用感光性樹脂組成物は、 前 記了 ル力 リ 可溶性樹脂、 溶剤、 及び染料又は顔料以外に 架橋剂を含有する こ とが好ま し く 、 さ ら には光酸発生剂 を含冇 していて も よい。

ネ ガ型のカ ラ 一 フ ィ ル タ ー用感光性樹脂組成物は、 前 記アル力 リ 可溶性樹脂、 溶剤及び、 染料又は顔料以外に 架橋剂及び光酸発生剤を含有する こ とが好ま しい。

架橋剤 と しては、 例えば下式

- ( C H 2 ) _s O R

(式中、 R は水素原子又は低級ァ ルキル基を表わ し、 έ は 1 〜 4 の'整数を表わす。 ） で示さ れる基を有する 化合 物及び メ ラ ミ ンが挙げ られる。

上式で示される基を有する 化合物 と しては、 例えば下 式 '

〔式中、 Ε , 9は — Ν ( Ε 2 2 ) ( Ε 2 3 ) 又は置換さ れてい て も よぃァ リ ール基を、 E ₁₇、 E _{1 S}、 E 2 u , E _{2 1}、 E 2 2 及び E ₂₃は各々 独立 して水素原子又は一 （ C H ₂ ) _s O R を、 各 々 表わす。 R 及 び s は上記 と 同 じ意味 を有す る。 〕 で示さ れる 化合物、 或いは

C¾?cH_{a j}A₍ :H₂0CH3

0< 、c=o

等が挙げ られる。 こ れ らの屮、 一般式 （ IX) で示さ れる 化合物が好ま しい。

E , _sで表わさ れる ァ リ ール基 と しては、 例えばフ エ 二 ル、 1 一 ナ フ チル も し く は 2 — ナ フ チル基等が举げ られ 置換基 と しては例えば低級アルキル も し く はァル コ キ シ 基、 ニ ト ロ基又はハロ ゲ ン原子等が挙げ られる。 Rで表 わさ れる低級アルキル基 と して好ま し く は、 例えば メ チ ノレ も し く はェチル基等が挙げられる。

好ま しい一般式 （ IX) で示さ れる 化合物 と しては、 例 えば C ) N

等が举げ られる

一般式 （ I X ) で示される化合物の中、 メ チ ロ ー ル体は メ ラ ミ ン又はべ ン ゾグァナ ミ ン誘導体を、 塩基性条件で ホル厶アルデ ヒ ド と反応させる こ と に よ り 製造する こ と ができ る。 又、 メ チ 口 一 ルェ ー テル体は上記 メ チ ロ ール 体をアルコ ール類と反応させる こ と に よ り 製造する こ と ができ る。 式 （ i ) 及び ( i i ) で示さ れる 化合物は P — ク レ ゾ一ル も し く は 4 一 t e r t - ブチル フ ノ ールを塩基 性条件でホルムアルデ ヒ ド と反応させる こ と に よ り 製造 する こ とができ る。 式 （ i i i ")〜 、 V i ) で示さ れる 化合物 は特開平 1 一 2 9 3 3 3 9 号公報に記載さ れている。

架橋剂は単独で、 或いは 2 種以上混合 して用い られる 光酸発生剤 と しては紫外線等の ^光に よ り酸を発生す る ものであれば特に制限さ れないが、 例えば、 特開昭 6 2 - 1 6 4 0 4 5 、 特開昭 6 3 — 1 5 3 5 4 2 、 特開昭 5 3 - 1 3 3 4 2 8 、 Bul l . Chem. So Japan, 4 2 , 2 9 2 4 ( 1 9 6 9 ) 、 米国特許第 3 9 8 7 0 3 7 号明 細書 も し く は F. C. Schaef er et. aし J. Org. Chem. , 2 9 1 5 2 7 ( 1 9 6 4 .) に記載の化合物、 或いは 英国特許第 1 3 8 8 4 9 2 号明細書に記載の 2 - フ 二 ル ー 4 , 6 — ビス （ ト リ ク ロ ル メ チ ノレ） 一 s — ト リ ア ジ ン 、 2 — ( p — ァ セ チ ノレ フ エ 二 ル ク ー 4 , 6 — ビス （ ト リ ク ロ ノレ メ チ ノレ） 一 s — ト リ ア ジ ン 、 2 — （ p — ク ロ ル フ エ ニ ル ） 一 4 , 6 — ビ ス （ 卜 リ ク ロ ル メ チ ノレ ） 一 s — ト リ 了 ジ ン 、 2 — （ p — ト リ ノレ） 一 4 , 6 — ビ ス （ ト リ ク ロ ノレ ズ チ ノレ） 一 s — 卜 リ ア ジ ン 、 2 — ( p — メ ト キ シ フ エ ニ ル） 一 4 , 6 — ビ ス （ ト リ ク ロ ノレ メ チ ル） 一 s — ト リ ァ ジ ン 、 2 — ( 2 ' ， 4 ' ー ジ ク ロ ノレ フ エ ニ ル ） 一 4 ， 6 — ビス （ ト リ ク ロ ル メ チ ノレ） 一 s — ト リ ア ジ ン 、 2 , 4 , 6 — 卜 リ ス （ 卜 リ ク ロ ル メ チ ル） 一 s — 卜 リ ア ジ ン 、 2 — メ チ ル 一 4 , 6 — ビ ス （ ト リ ク ロ ル メ チ ノレ ） 一 s — 卜 リ ア ジ ン 、 2 — ( ひ ， ひ ， /3 — ト リ ク ロ ル ェ チ ル） 一 4 , 6 — ビス （ ト リ ク ロ ノレ メ チ ノレ ） 一 s — ト リ 了 ジ ン 、 2 — n — ノ ニ ノレ ー 4 , 6 — ビス （ 卜 リ ク ロ ノレ メ チ ル） 一 s — 卜 リ ア ジ ン 、 2 — メ チ ノレ ー 4 , 6 — ビ ス （ 卜 リ ブ ロ 厶 メ チ ル） 一 s — 卜 リ ア ジ ン 、 2 , 4 , 6 — ト リ ス （ 卜 リ ブ ロ 厶 メ チ ル ） 一 s — 卜 リ ア ジ ン 、 2 ， 4 , 6 — 卜 リ ス （ ジ ブ ロ ム メ チ ル） 一 s — ト リ ア ジ ン 、 2 — ァ ミ ノ ー 4 — メ チ ノレ 一 6 — ト リ ブ ロ ム メ チ ノレ 一 s — ト リ 了 ジ ン 、 2 — メ ト キ シ 一 4 — メ チ ル 一 6 — ト リ ク ロ ノレ メ チ ル 一 s — 卜 リ ァ ジ ン 、 2 — ス チ リ ル 一 4 ， 6 — ビ ス （ 卜 リ ク 口 ル メ チ ル） 一 s — ト リ ア ジ ン 、 2 — ( p — メ チ 几 ス チ リ ル） 一 4 ， 6 — ビ ス （ ト リ ク ロ ノレ メ チ ル ） 一 s — ト リ ア ジ ン 、 2 — ( p — メ ト キ シ ス チ リ ノレ） 一 4 , 6 — ビス （ ト リ ク ロ ノレ メ チ ノし ） 一 s — 卜 リ ア ジ ン 、 2 — ( p — メ ト キ シ ス チ リ ノレ） 一 4 一 ア ミ ノ ー 6 — 卜 リ ク ロ ノレ メ チ ノし ' 一 s — 卜 リ ア ジ ン 、 2 — ( 4 — メ 卜 キ シ ー ナ フ ト ー 1 一 ィ ル ） ― 4 , 6 — ビ ス 一 卜 リ ク ロ ノレ メ チ ノレ ー s — ト リ ア ジ ン 、 2 一 （ 4 一 エ ト キ シ 一 ナ フ ト ー 1 — ィ ル ） 一 4 , G — ビ ス — ト リ ク ロ ル メ チ ノし■ 一 s — 卜 リ ア ジ ン 、 2 一 〔 ト （ 2 一 エ ト キ ン ェ チ ル） ナ フ ト ー 1 一 ィ ル 〕 一 4 , 6 — ビ ス ( ト リ ク ロ ル メ チ ノレ） 一 s — 卜 リ ア ジ ン 、 2 - ( 4 , 7 ー ジ メ 卜 キ シ 一 ナ フ 卜 一 1 ー ィ ノレ） 一 4 ， 6 — ビス （ 卜 リ ク ロ ノレ メ チ ル） 一 s — 卜 リ ア ジ ン 、 も し く は 2 - （ ァ セ ナ フ ト ー 5 — ィ ノレ） 一 4 ， 6 — ビス （ 卜 リ ク ロ ル メ チ ル） — s — ト リ ア ジ ン 等の有機ハ ロ ゲ ン 化 物、 特願平 3 一 1 4 2 3 4 4 号 に記載の

CF,S cT 、H

等の 卜 リ フ ルォロ メ タ ン ス ル ホ ン酸エ ス テ ル類も し く は 特願平 3 — 1 2 3 1 6 号記載の

等のァ リ ー ル ス ルホニルァ セ ト フ エ ノ ン類等が '·'·げ ら れ 。

キソ ン ジア ジ ド化合物 と して は、 例え ば 0 — ナ フ ト キ ノノ ンン ジジ ア ジ ト 一 5 — ス ノレ ホ ン酸エス テ ル又はス ル ホ ン ァ ミ ド、 或いは 0 — ナ フ ト キ ノ ン ジ ア ジ ド ー 4 — ス ル ホ ン 酸エス テ ル又は ス ル ホ ン ァ ミ ド等の o — ナ フ ト キ ノ ン ジ

Ύ ジ ド化合物が挙げ られ .る。 こ れ ら のエス テル又 はア ミ ドは、 例えば特開平 2 - 8 4 6 5 0 及び特開平 3 - 4 9 4 3 7 号公報に一般式 （ I ) で記載さ れて い る フ ヱ ノ ー ル化合物等を用いて公知の方法に よ り 製造する こ とがで き る。

ァ ル カ リ 可溶性樹脂 （上記ノ ボラ ッ ク樹脂及びアル 力 リ 可溶性 ビニル重合体） 並びに架橋剤は通常、 溶剂中に 各々 2 〜 5 0 重量％並びに 2 〜 3 0 重量％程度の割合で 溶解させる。 キ ノ ン ジア ジ ド化合物、 光酸発生剤及び染 料 （又は顔料） の使用量は通常、 溶剤に対 して各々 、 2 〜 3 0 、 2 〜 3 0 及び 2 〜 5 0 重量％程度の割合で添加 する。

又、 上記感光性樹脂組成物には '、 例えば均一な塗布性 を付与する ための平滑剤等の当該技術分野で慣用 さ れて いる各種の添加剂を加える こ と もでき る。

ポジ型感光性樹脂組成物は露光に よ り ァ ル力 リ 現像液 に対する溶解度に差が生 じ る こ とを利用 して、 露光部が 除去さ れ、 未露光部がポジ型カ ラ ー フ ィ ル夕 一 と して残 存する ものであ る。 即ち、 上記キ ノ ン ジア ジ ド化合物は 露光に よ り 分解 してアルカ リ 現像液に可溶 とな るが、 一 方、 未露光部では ノ ボラ ッ ク樹脂のア ルカ リ 現像液に対 する溶解を抑制する よ う に作用する。 そ して、 未露光部 を全而露光 した際、 残存 したキノ ン ジア ジ ド化合物は分 解さ れ、 一方、 光酸発生剤が含ま れている場合に、 こ れ は酸を発生 してポジ型カ ラ 一 フ ィ ル タ ーを硬化させる作 用を有する。

一方、 ネ ガ型感光性樹脂組成物にはキ ノ ン ジア ジ ド化 合物が含ま れていないので、 ポジ型感光性樹脂組成物の 場合 と は逆に露光部がネ ガ型カ ラ 一 フ ィ ルタ ー と して残 存する ものである。

露光には、 例えば水銀ラ ン プ等の紫外線、 遠紫外線、 電子線 も し く は X線等が用い られる。

実施例 次に実施例に よ り 本発明を さ らに詳 し く 説明するが、 本発明は こ れ らの実施例に よ っ て何 ら限定さ れる も ので はない。 例中、 部は重量部を示す。

カ ラ ー フ ィ ル タ ーを製造する際、 シ リ コ ン ウ ェハ一 に 感光性樹脂組成物をス ピ ン コ ー ト し、 加熱に よ り 溶剂を 蒸発させた後、 マス ク を通 して露光を行っ た。 次いで、 現像後 （ポジ型カ ラ 一 フ ィ ル夕 一の場合には、 さ らに全 面露光 して） カ ラ 一 フ ィ ルタ ーを得た。 露光は E3立製作 所製 i 線露光ス テ ツ パ - HITACHI LD- 5 0 1 0 - i ( NA = 0. 4 0 ) に よ り 行っ た。 又、 ア ル カ リ 現像液は住友化 学工業 （株） 製 S0PDを用いた。

参考例 1

下式で表わされる化合物 （ 1 ) ( p — 〇 S Tサ イ タ リ ッ ク ダイマ一、 三井東圧製） 5 3. 6 g ( 0. 2 mol)、 5 % シ ユ ウ酸 6. 0 8 g ( 0. 0 0 3 mo 1 )及び 3 7 %ホルマ リ ン 1 3. 0 g ( 0. 1 6 mo 1：)の混合物を加熱、 攪袢 して ノ ボラ ッ ク樹脂 （ポ リ スチ レ ン換算重量平均分子量 3 3 0 0 ) を得た。

参考例 2

m— イ ソ プロぺニル フ エ ノ ー ル 1 08. 5 g及び三 フ ッ 化ホウ素ジェチルエーテル錯体 （ B F ₃ 含有量 4 7 % ) 4. 4 m 1を ト ルエ ン （ 5 4 0 ml) 中で反応さ せて得 られた 下式で示さ れる 2つの化合物の混合物を fflいてホルムァ ルデ ヒ ド ノ ボラ ッ ク樹脂 （ ポ リ ス チ レ ン換算重量平均分 子量 3 0 0 0 ) を得た。

実施例 1 '

参考例 1 で得た ノ ボラ ッ ク樹脂 1. 0部、 下式

で示さ れる 化合物を用 いて製造 した 0 — ナ フ 卜 キ ノ ン ジ ア ジ ド ー 5 — ス ノレ ホ ン酸ェステル （平均 2 個の水酸基が エステル化されている 0. 6 部、 へキサ メ ト キ シ メ チ 口 — ル化 メ ラ ミ ン 0. 3 部、 ジ メ チ ル ホ ルムア ミ ド 3 部、 乳 酸ェチル 4 部及び田岡化学製 01 eoso 1 Fast Blue Rし 0.75部の混合物を メ ン ブ ラ ン フ ィ ル 夕 一を用いて加圧濾 過 して シア ン色ポジ型感光性樹脂組成物を得た。

こ の組成物を シ リ コ ン ゥ エ ノヽ 一 に ス ピ ン コ ー ト 、 露光 了 ル カ リ 現像 して 0. 8 / m の解像度を有する シア ン色ポ ジ型パタ ー ンを得た。 こ のポジ型パ夕 一 ンを全面露光後

1 5 0 °Cで 1 0 分加熱 して硬化さ せた。 こ の よ う に して 得 られたカ ラ ー フ ィ ル タ ーは 2 0 0 °Cで 4 0 分加熱 して も変色せず、 4 0 0 こ おける透明度 (光透過性） が優 れて いた。

実施例 2

参考例 1 で得た ノ ボラ ッ ク樹脂に代えて参考例 2 で得 た ノ ポラ ッ ク樹脂を用いる以外は、 実施例 1 と 同様に し て シア ン色ポ ジ型感光性樹脂組成物を得た。 こ の組成物を シ リ コ ン ウ ェハ— に ス ピ ン コ ー ト 、 露光 ア ルカ リ 現像 して 0 . 8 m の解像度を有する シ ア ン 色ポ ジ型パタ ー ンを得た。 こ のポジ型パ タ ー ンを全面露光後 1 5 0 °Cで 1 0 分加熱 して硬化させた。 こ のよ う に して 得 ら れた カ ラ 一 フ ィ ル タ 一 は 2 0 0 °Cで 4 0 分加熱 して も変色せず、 4 0 O n mにおける透明度 （光透過性） が優 れていた。

実施例 3

' ジ メ チ ル ホ ル ムア ミ ド及び乳酸ェチ ルの混合物に代え て ジ メ チ ル ホ ルム ア ミ ド Zェチ ルセ 口 ソ 儿'ブァ セ テ 一 卜 (比率 1 Z 1 ) を用い、 しか も o — ナフ ト キ ノ ン ジア ジ ド一 5 — ス ルホ ン酸エス テルを加えず、 且つ下式

で示さ れる光酸発生剤 0 . 2 部を加える以外は、 実施例 1 と同様に して シア ン色ネ ガ型感光性樹脂組成物を得た。

こ の組成物を シ リ コ ン ウ ェハ ー に ス ピ ン コ ー ト し、 露 光後 1 2 0 °Cで 2 分加熱 し、 次いでァ ル力 リ 現像 して ϋ . 8 a m の解像度を有する シア ン色カ ラ 一 フ ィ ル タ ーを得 た。 こ の よ う に して得 ら れた カ ラ 一 フ ィ ル タ 一 は 2 0 0 °Cで 4 0 分加熱 して も変色せず、 4 0 0 n mにおける透明 度 （光透過性） が優れていた。 比較例 1

m — ク レ ゾ 一 ル/ ρ — ク レ ゾ 一 ノレノホ ル ム ァ ル デ ヒ ド (反応モ ル比 = 5 Ζ 5 Ζ 7. 5 ) 混合物か ら得 られた ノ ボ ラ ッ ク樹脂 （ ポ リ ス チ レ ン換算重量平均分子量 4 3 0 5 0 ) を用いる以外は、 実施例 1 と同様に して得た シ ア ン 色ポジ型感光性樹脂組成物を実施例 2 と同様に操作 して シア ン色カ ラ 一 フ ィ ル夕 一を得た。 こ のよ う に して得 ら れたカ ラ 一 フ ィ ノレ夕 一を 2 0 0 °Cで 4 0 分加熱 した と こ • ろ、 4 0 0 nmにおける光透過性 （透過率） 力 1 5 96低下0 した。

実施例 4

参考例 1 で得た ノ ボラ ッ ク樹脂 0. 4 7 部、 丸善石油 (株） 製 Marukalyncur- CST— 7 0 (分子量約 2 3 0 0 ) 0. 7 部、 実施例 1 で用いた 0 — ナ フ ト キ ノ ン ジア ジ ド— 5 — スルホ ン酸エステル 0. 6 部、 へキサ メ ト キ シ メ チ 口 — ノレ化 メ ラ ミ ン 0. 3 部、 ジ メ チ ル ホ ル ム ア ミ ド 3 部、 乳 酸ェチル 4 部及び田岡化学 （株） 製染料 Oleosol Fast Blue RL 0. 7 5 部の混合物を メ ンブラ ン フ ィ ノレ 夕 一を用 いて加圧濾過 して シ 了 ン色ポ ジ型感光性樹脂組成物を得 た。

こ れを シ リ コ ン ウェハーにス ピ ン コ 一 卜 し、 次いで露 光後、 現像液で露光部を除去 して 0. 8 u m の解像度を有 する ポジ型着色パタ ー ン を得た。 こ れを全面露光 し、 次 いで 1 5 0 °Cで 1 0 分加熱 して シ ア ン色カ ラ ー フ ィ ル 夕 —を得た。 こ のカ ラ 一 フ ィ ル 夕 一を 2 0 0 °Cで 4 時間加 熱 して も変色せず、 又 4 0 0 nmにおける透過率 も殆 ど変 化 しなかつ た。

実施例 5

Marukalyncur-CST- 7 0 に代えて丸善石汕 （株） 製 Marukal yncur-CM (分子量約 5 3 0 0 ) を fflいる以外は 実施例 4 と同様に して シア ン色カ ラ ー フ ィ ルタ ーを得、 解像度、 耐熱性及び透過率について も同 じ結果であ つ た 実施例 6

Marukalyncur-CST- 7 0 に代えて丸善石汕 （株） 製 arukalyncur-PHS-C (分子量約 5 0 0 0 ) を川いる以外 は、 実施例 4 と同様に して シア ン色カ ラ 一 フ ィ ルタ ーを 得、 解像度、 耐熱性及び透過率について も同 じ結果であ つ 7こ o

実施例 7

o — ナ フ ト キ ノ ン ジア ジ ド一 5 — スルホ ン酸エステル (キ ノ ン ジア ジ ド化合物：） に代えて実施例 3 で用いた光 酸発生剤 0. 2 部を用い、 £iつ、 ジ メ チルホルムア ミ ド及 び乳酸ェチルの混合物に代えて ジ メ チルホルムァ ミ ド Z ェチルセ 口 ソ ルブアセテー ト （比率 1 1 ) 用いる以外 は、 実施例 4 と同様に して シア ン色ネ ガ型感光性樹脂組 成物を得た。

こ れを シ リ コ ン ウェハ一にス ピ ン コ ー ト し、 次いで露 光後、 1 2 0 °Cで 2 分加熱 し、 その後、 現像液で未露光 部を除去 して 0. 8 m の解像度を有する ネ ガ型 シア ン色 カ ラ 一 フ ィ ル タ ー を得た。 こ の カ ラ ー フ イ ノレ タ ー ^ · 2 0 0 °Cで 4 時間加熱 して も変色せず、 又 4 0 0 ii mにおける 透過率 も殆 ど変化 しなかつ た。

比較例 2

参考例 1 で得た ノ ボラ ッ ク樹脂に代えて m — ク レ ゾ一 ル / p — ク レ ゾ―ル /ホル厶ァルデ ヒ ド （反応モル比 = 5 X 5 / 7. 5 ) 混合物か ら得 られた ノ ボラ ッ ク樹脂 （ポ リ スチ レ ン換算重量平均分子量 4 3 0 0 ) を fflいる以外 は、 実施例 4 と同様に して シア ン色ポジ型カ ラ ー フ ィ ル 夕 一を得た。 （解像度は 0 . 8 〃 m )。 こ のカ ラ ー フ ィ ル夕 —を 2 0 0 °Cで 4 時間加熱 した と こ ろ、 4 0 0 n mにおけ る透過率が 1 0 %低下 した。

実施例 8

参考例 1 で得た ノ ボラ ッ ク樹脂 1 . 0 部、 下式

で示さ れる 化合物を用いて製造 した 0 — ナ フ ト キ ノ ン ジ ァ ジ ド一 5 — スルホ ン酸エステル （平均 2 個の水酸基が エステル化されている） 0 . 6 部、 へキサ メ ト キ シ メ チ 口 —ル化メ ラ ミ ン 0. 3 部、 ェチルセ 口 ソ ルブァセ一テ ト 1 0 部及び下記顔料分散液 6 部の混合物を メ ンブラ ン フ ィ ルタ ーを用いて加圧濾過 して青色ポジ型感光性樹脂組成 物を得た。

こ の組成物を シ リ コ ン ウ エノ、一 に ス ピ ン コ ー ト 、 露光 アル力 リ 現像 して 5 a m の解像度を有する青色ポジ型パ タ ー ンを得た。 こ のポジ型パタ ー ンを全面露光後、 1 5 0 °Cで 1 0 分加熱 して硬化させた。 こ のよ う に して得 ら れたカ ラ ー フ ィ ゾレ夕 一は 2 0 0 °Cで 4 0 分加熱 して も変 色せず、 4 0 0 nmにおける透明度 （光透過性） が優れて いた。

顔料分散液の調製

C. I. Pigment Blue 15 及び 【. Pigment Violet 2 3 の混合物 （組成比 = 9 5 5 ) 2 0 部、 ソ ル ビ夕 ン 系分散剤 5 部及びェチルセ 口 ソ ルプアセ テ 一 ト 7 5 部を 予備混練 り 後、 ビーズ ミ ル法によ り青色分散液を調製 し た。

実施例 9

参考例 1 で得た ノ ボラ ッ ク樹脂に代えて参考例 2 で得 た ノ ボラ ッ ク樹脂を用いた以外は、 実施例 8 と同様に し て青色ポジ型感光性樹脂組成物を得た。

こ の組成物を シ リ コ ン ウ ェハー に ス ピ ン コ ー 卜 、 露光 アル力 リ 現像 して 5 U m の解像度を有する青色ポジ型パ タ ー ンを得た。 こ のポジ型パタ ー ン を全面露光後、 1 5 0 てで 1 0 分加熱 して硬化させた。 こ の よ う に して得 ら れたカ ラ ー フ ィ ルタ 一は 2 0 0 °Cで 4 0 分加熱 して も変 色せず、 4 0 O nmにおける透明度 （光透過性） が優れて いた。

実施例 1 0

o — ナ フ ト キ ノ ン ジア ジ 5 — ス ル ホ ン酸エステル を加えず、 且つ下式

で示さ れる光酸発生剤 0. 2 部を加える以外は、 実施例 8 と同様に して青色ネ ガ型感光性樹脂組成物を得た。

こ の組成物をシ リ コ ン ゥ ェハー に ス ピ ン コ ー ト し、 露 光後 1 2 0 °Cで 2 分加熱 し、 次いでアルカ リ 現像 して 5 m の解像度を有する青色カ ラ 一 フ イ ノレ タ ー を得た。 こ のよ う に して得 られたカ ラ — フ ィ ノレ 夕 一 は 2 0 0 °Cで 4 0 分加熱 して も変色せず、 4 0 0 ii mにおける透明度 （光 透過性） が優れていた。

比較例 3 .

m — ク レ ゾ一 ノレ / p — ク レ ゾ一 ル /ホ ル ム ア ルデ ヒ ド (反応モ ル比 = 5 Z 5 Z 7. 5 ) 混合物か ら得 られた ノ ボ ラ ッ ク樹脂 （ ポ リ ス チ レ ン換算重量平均分子量 4 3 0 0 ) を用いる以外は、 実施例 8 と同様に して得た青色ポ ジ型感光性樹脂組成物を実施例 2 と同様に操作 して青色 カ ラ 一 フ イ ノレタ ーを得た。 こ のよ う に して得 られたカ ラ 一 フ ィ ル タ ーを 2 0 0 °Cで 4 0 分加熱 した と こ ろ、 4 0 0 nmにおける光透過性 （透過率） が 1 5 %低下 した。 実施例 1 1

参考例 1 で得た ノ ボラ ッ ク樹脂 0. 4 7 部、 丸善石汕 (株） 製 Maruka ncur- CST— 7 0 (分子量約 2 3 0 0 ) 0. 7 部、 実施例 1 で用いた 0 — ナ フ ト キ ノ ン ジア ジ ド— 5 — ス ルホ ン酸エス テル 0. 6 部、 へキサ メ ト キ シ メ チ 口 —ル化メ ラ ミ ン 0. 3 部、 ェチルセ 口 ソ ルブァセテー 卜 1 0 部、 及び実施例 8 で用いた顔料分散液 6 部の混合物を メ ンブラ ン フ ィ ルタ ーを用いて加圧濾過 して青色ポジ型 感光性樹脂組成物を得た。

こ れをシ リ コ ン ウェハ一にス ピ ン コ ー ト し、 次いで露 光後、 アルカ リ 現像液で露光部を除去 して 5 / m の解像 度を存する ポジ型着色パタ ー ンを得た。 こ れを全面露光 し、 次いで 1 5 0 °Cで 1 0 分加熱 して青色カ ラ 一 フ ィ ル 夕 一を得た。 こ のカ ラ ー フ イ ノレタ ーを 2 0 0 °Cで 4 時間 加熱 して も変色せず、 又 4 0 0 nmにおける透過率 も殆 ど 変化 しなかっ た。

実施例 1 2

arukalyncur-CST- 7 0 に代えて丸善石油 （株） 製 Marukalyncur-CMM (分子量約 5 3 0 0 ) を用いる以外は 実施例 1 1 と同様に して青色カ ラ ー フ ィ ルタ 一を得、 解 像度、 耐熱性及び透過率について も同 じ結果であ っ た。 実施例 1 3

Marukalyncur-CST- 7 0 に代えて丸善石油 （株） 製 Marukalyncur-PHS-C (分子量約 5 0 0 0 ) を用いる以外 は、 実施例 1 1 と同様に して青色カ ラ ー フ ィ ルタ ーを得 解像度、 耐熱性及び透過率について も同 じ結果であ っ た 実施例 1 4

0 — ナ フ ト キ ノ ン ジア ジ ド ー 5 — ス ル ホ ン酸エス テ ル (キ ノ ン ジア ジ ド化合物） に代えて実施例 1 0 で用 いた 光酸発生剤 0 . 2 部を用いる以外は、 実施例 1 1 と同様に して青色ネ ガ型感光性樹脂組成物を得た。

こ れを シ リ コ ン ウェハーにス ピ ン コ 一 卜 し、 次いで露 光後、 1 2 0 °Cで 2 分加熱 し、 そ の ¾、 現像液で未露光 部を除去 して 5 m の解像度を有する ネ ガ型青色カ ラ 一 フ ィ ル 夕 一を得た。 こ の カ ラ 一 フ ィ ノレ 夕 一を 2 0 0 °Cで 4 時間加熱 して も変色せず、 又 4 0 0 π πιにおける透過率 も殆 ど変化 しなかっ た。

比較例 4

参考例 1 で得た ノ ボラ ッ ク樹脂に代えて m — ク レ ゾ一 ル / p — ク レ ゾー ル Zホ ルム ア ルデ ヒ ド （反応モ ル比 5 / 5 / 7.' 5 ) .混合物か ら得 られた ノ ボラ ッ ク樹脂 （ポ リ ス チ レ ン換算重量平均分子量 4 3 0 0 ) を用 いる以外 は、 実施例 1 1 と同様に して青色ポジ型カ ラ ー フ ィ ル夕 —を得た。 （解像度は 5 〃 m )。 こ の力'ラ ー フ ィ ル夕 一を 2 0 0 °Cで 4 時間加熱 した と こ ろ、 4 0 0 n mにおけ る透 過率が 1 5 %低下 した。

産業上の利用可能性

本発明の感光性樹脂組成物を用いる こ と に よ り 解像度 . 耐熱性及び透明度に優れたカ ラ 一 フ ィ ノレ 夕 一が得 ら.れる ,

Claims

1 . 般式 （ I )

二青

の

〔式中、 R , 〜 R ₅ は各々 独立 して水素原子、 ハロ ゲ ン 原子、 置換されていて も よい直鎖 も し く は分岐状のアル キル又はアルケニル基或いはァセチル基を表わす。 R 6

R 7

I

及び R ₇ は、 一 C —— 基が— 0 H基に対 し 0 位又は

R 6

P 位に配位 している とい う 条件付きで各々 水素原子、 置 換されていて も よ いアルキル基、 ベ ン ジル基又はフ ェ ニ ル基を表わす。 〕 、 一般式 （ I I )

〔式中、 R ₈ 〜 R , 3は各々 独立 して水素原子、 ハ ロ ゲ ン 原子、 置換されていて も よい直鎖 も し く は分岐状のア ル キル又はアルケニル基或いはァセチル基を表わす。 R 1 4

1

I

およ び R , ₅は、 一 C —— 基が— 〇 Η基に対 し 0 位又

I

I 5

は Ρ 位に配位 してい とい う 条件付きで各々 水素原子、 置換さ れていて も よい ルキル基、 ベ ン ジル基又は フ ェ 二ル基を表わす。 〕 及び一般式 （ I I Π

〔式中、 R _{1 6}〜 R _{2 1}は各々 独立 して水素原子、 ハロ ゲ ン 原子、 置換さ れていて も よい直鎖 も し く は分岐状のア ル キル又はアルケニル基或いはァセチル基を表わす。 R _{2 2}

2 2

I

およ び R _{2 3}は、 一 C —— 基が— 0 H基に対 し 0 位又

2 3

は P 位に配位 している と い う 条件付きで各々 水素原子、 置換されていて も よいアルキル基、 ベ ン ジル基又は フ エ 二ル基を表わす。 〕 で示さ れる群の中か ら選ばれる少な く と も 1 種の繰返 し単位を含み、 且つ分子量が約 1 0 0 0 〜 5 0 0 0 0 の ノ ボラ ッ ク樹脂、 溶剤並びに、 染料又 は顔料を含むこ どを特徴 とする カ ラ ー フ ィ ル タ ー用感光 性樹脂組成物。

2 . さ らに、 アルカ リ 可溶性 ビニル重合体を含有する 請求項 1 に記載のカ ラ ー フ ィ ルタ ー用感光性樹脂組成物

3 . アルカ リ 可溶性 ビニル重合体がポ リ ビニル フ エ ノ —ル、 ポ リ ビニルフ ヱ ノ ールを水素添加 した樹脂又は ビ ニルフ ノ ール共重合体であ る請求項 2 に記載のカ ラ 一 フ ィ ルタ 一用感光性樹脂組成物。

4 . キ ノ ン ジア ジ ド化合物を含有する請求項 1 〜 3 の いずれかに記載のカ ラ ー フ ィ ルタ ー用感光性樹脂組成物,

5 . 架橋剤を含有する請求項 1 〜 4 のいずれかに記載 のカ ラ ー フ ィ ル夕 一用感光性樹脂組成物。

6. さ らに、 光酸発生剤を含有する請求項 1 〜 5 のい ずれかに記載のカ ラ ー フ ィ ルタ ー用感光性樹脂組成物。

7. キ ノ ン ジア ジ ド化合物力 o — ナ フ ト キ ノ ン ジア ジ ド化合物である請求項 4 〜 6 のいずれかに記載のカ ラ ー フ ィ ルタ ー用感光性樹脂組成物。

8 . 架橋剤が、 下式

- ( C H ₂ ) _s O R

(式中、 s は 1 〜 4 の整数を表わ し、 R は水素原子又は 低級アルキル基を表わす。 ） で示される基を有する 化合 物であ る請求項 5 〜 7 のいずれかに記載の力 ラ ー フ ィ ル タ 一用感光性樹脂組成物。