WO1993025390A1

WO1993025390A1 - Ink jet head and method of manufacturing ink jet head

Info

Publication number: WO1993025390A1
Application number: PCT/JP1993/000788
Authority: WO
Inventors: Kazuhiko Miura; Toshio Narita
Original assignee: Seiko Epson Corporation
Priority date: 1992-06-11
Filing date: 1993-06-11
Publication date: 1993-12-23
Also published as: EP0616890A4; JP3208775B2; DE69314315D1; HK1005905A1; US5604522A; EP0616890B1; EP0616890A1; DE69314315T2; SG47692A1

Description

明細書 - インクジェヅ卜へッド及びインクジェヅトへヅドの製造方法技術分野

本発明は、印字信号に応じてインク滴を吐出して、記録紙等の記録媒体上にィンク像を形成するオンデマンド型ィンクジェヅト記録装置の記録へッドとその製造方法に関し、より詳細にはインク滴を吐出するためのィンク室の一壁面を形成し、圧電変換器からの振動をインク室に伝達する振動膜の構成に関する。背景

従来から印字信号に応じてインク滴を飛翔させる、いわゆるオンデマンド型のインクジェヅ卜へヅドは、吐出力発生手段から大きく分けて 2種類の形式のものがある。第 1の形式のものはィンクを瞬間的に気化させるヒータをノズル先端に設け、インク気化時の膨張圧力によりインク滴を生成、飛翔させる、いわゆるバブルジェット型であり、第 2の形式のものはィンク溜部を形成するィンク室の一部を印字信号で変形する圧電変換器により構成し、圧電変換器の変形で生じたィンク室内の圧力によりインクを液滴として飛翔させるものである。

上記第 2の型式のオンデマンド型ィンクジェヅトへヅドは、特開昭 5 8 - 1 1 9 8 7 0号公報や特開昭 5 8 - 1 1 9 8 7 2号公報に開示されたように、一端が基台に固定された圧電変換器の他端に、インク室を形成する振動膜（前述公報では共にダイァフラムと称す）が島状の突起（前述公報では共に脚部と称す）を介して当接するように構成され、圧電変換器の伸縮により、圧電変換器が脚部を押圧して振動膜を変形させて、インク室のインクをノズル開口から液滴として飛翔させるように構成されている。

しかしながら前述した何れの公報においても、振動膜、脚部の具体的な形成方法は提案されていない。また脚部は、軸受部へ嵌合する複雑な構成であるため、小型化、高密度のために脚部材と軸受部材とを高精度に製造し、組み立てることが極めて困難である。これらの問題を解決するために、第 1の方策として特開平 3— 1 5 5 5 5号公報に開示されている方策は第 1 0図に示すように、厚さ 1 . 8 ; mのシリコンからなる振動膜 6 l a (同号公報では振動板と称す）と厚さ 1 0 0 / mの酸化シリコンからなる島状突起 6 1 b (同号公報では突起部と称す）とを半導体素子の製造技術によって突起付きの振動膜 6 1に形成し、島状突起 6 1 b と圧電変換器 6 0とを当接する方策である。

また、第 2の方策として同号公報では前述の方策の他に、厚さが 1乃至 1 0 tz m前後であって、ニッケル、ステンレス、鉄、銅、銀、金、タンタル、チタン等の金属からなる振動膜 6 1 a上に、電鎳法によって島状突起 6 1 bを形成し、島状突起 6 1 bと圧電変換器 6 0とを当接する方策が開示されている。

さらに、第 3の方策として同号公報では前述の方策の他に、厚さが 5 0〃 mの有機材料フィルムからなる振動膜 6 1 a上に、材料とその方法の明示されない島状突起 6 l bを固着し、島状突起 6 l bと圧電変換器 6 0とを当接する方策が開示されている。

他方、第 4の方策として特開平 3 _ 1 9 0 7 4 4号公報では、第 1 1図に示すように、圧電変換器 7 0の電極 7 l a上に 1 0 0 m程度のダミ一層を形成して、ダイシング加工を行う。ダイシングによって圧電変換器 7 0は分割され、ダミー層島状突起 7 3 bに加工される。さらにこの島状突起 7 3 bに、厚さが略 5 0 mからなる振動膜 7 3 a (同号公報では覆板部材と称す）をエポキシ系接着剤により固着する方策が開示されている。

上記の従来例をもってして、実用的なインクジェットへヅドを実現するためには先に述べた高精度の製造、組み立ての困難さの他に以下の問題が生じる。

第 1 に従来例に示された振動膜 6 1 aに 5 0； a m程の厚さの高分子樹脂を用いては、インクを吐出するに十分な圧力と変位をインク室 6 4に伝えることができない。例えば圧電変換気器の圧電体材料として圧電材料に現在得られる最も変換効率の高いチタン酸ジルコン酸鉛を用いたとしても、変位は数/ m以下である。それに比較して 1 0倍以上厚い高分子樹脂を圧電変換器により押圧しても、変位や押圧力は樹脂の塑性変形で吸収されてしまい、小型、高密度化した記録ヘッドには適さない。第 2に、振動膜にシリコンゃ金属箔を用いると繰り返しの屈曲変形に対して脆弱であり、疲労破壊を生じてしまう。よって高速でのベ数億回以上の変形を繰り返すインクジェットプリンタ用の変位伝達部材には適さない。さらに、これらの材質は剛性率が非常に高いために、可及的に柔軟性の求められる振動膜の材質には適さない。

そこで本発明の目的とするところは、これらの課題を解決して、高効率、高信頼性のィンクジエツトへッド構成を実現し、その構成を容易に量産できる突起付きの振動膜によって、インクジェヅトへヅドを廉価に製造することにある。発明の開示

本発明のインクジエツトへヅドは、圧電変換器によってィンク室の一部を構成する振動板を変位させ、インク室のインクの圧力を高め、ノズル開口よりインク滴'を吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記振動板が高分子樹脂製薄膜と該高分子樹脂製薄膜に直接固着した剛体突起部から構成されることを特徴とする。この構成により圧電変換器の伸縮運動をインク室に効率よく伝達し、微小な圧電変換器の当接面積を拡大して、インク室の押圧力を増幅する、信頼性が高くィンクの吐出特性に優れたィンクジェヅトへヅドを提供することができる。図面の簡単な説明

第 1図は、本発明の実施例を適用したインクジエツトへッドの構成を示す斜視図である。

第 2図は、本発明の実施例を適用したィンクジエツトへッド部分断面図である。第 3図は、本発明のインクジエツトへッドの動作を示す図である。

第 4図は、本発明の実施例を適用したインクジエツ卜へッドの圧力発生手段を示した断面図である。

第 5図は、本発明の実施例を適用したインクジエツトへッドの要部を下方より見た部分斜視図である。

第 6図は、本発明の一実施例を示した製造工程図である。

第 7図は、本発明のインクジェットヘッドの製造方法の 1実施例を示す製造ェ程図である。

第 8図は、本発明の方法のィンクジエツトへッドの一例を示す要部の斜視図である。

第 9図は、本発明のィンクジエツトへッドの別の実施例を示す製造工程図である。

第 1 0図は、従来技術を示す図である。

第 1 1図は、従来技術を示す図である。発明を実施するための最良の形態

本発明をより詳細に説述するために、添付の図面に従ってこれを説明する。本実施例では解像度 3 6 0 d p i ( dot/ inch )のプリン夕を実現すべく、ノズルを 1 8 0 d p iの解像度に 2列複数個並べたものである。

第 1図は、本実施例を適用したィンクジエツ卜へヅドの一例を示した分解斜視図である。第 1図に示すように、ヘッドフレーム 1 0内を貫通する取り付け穴 1 1は、圧電変換器 1の X軸、 Y軸方向の位置決めをするべく、後述するべ一ス部材 5を支持している。圧電変換器 1の長手方向の先端面は、突起付きの振動板であるところの振動膜 2 0 (以下、島付き振動膜 2 0 と称す）と、流路基板 1 2と、ノズル開口 1 3 aを形成した板状のノズル基板 1 3の順に積層された接合体の、島付き振動膜 2 0の剛体突起部であるところの島状突起 2 O bに接合されており、 Z軸方向の位置決めを得ている。

第 2図は、本実施例を適用したインクジェットヘッドの部分断面図である。ィンク室 2 2は、ノズル開口 1 3 aを形成した板状のノズル基板 1 3、流路基板 1 2、並びに島付き振動膜 2 0の高分子樹脂製薄膜であるところの振動膜 2 0 aとの三部材よりなる。

また図示しないインク溜部と、インク供給管 1 4と、インク連絡口 1 6 と、ィンク室 2 2とは連通関係であって、インク溜部よりインク 6が供給される（第 1 図参照）。 2 3は前記突起部 2 0 bと同時形成した肉厚部である。圧電変換器 1 はその基台 5を介してへヅドフレーム 1 0に接着剤 9 0により固定されている。かかる構成において、インク滴の吐出原理は第 3図に示す如くである。圧電変換器 1 を駆動する駆動配線は第 3図には示してはいないが第 2図に示す如く、第 1配線基板 3 0 a、第 2配線基板 3 0 bと、基台電極 5 aと、第 1変換器電極 4 a、第 2変換器電極 1 4 bとを通じて動作信号が入力されるものである。圧電変換器 1は、第 3 A図に示す状態において待機状態あるが、第 3 B図に示すように圧電変換器 1 に電圧が印可されると、振動膜 2 0 aと島上突起 2 0 bとから成る島付振動膜 2 0を引っ張りながら、ノズル基板 1 3 と直交する方向（ Z軸方向）に収縮する。この電界を解除すると第 3 C図に示すように、圧電変換器 1 と振動膜 2 0の弾性的な復元力は、インク流路 2 2内のインク 6の圧力を高めてノズル 1 3 aよりインク滴 6 aを吐出させ、圧電変換器 1は再び待機状態に戻る。

そもそも島付振動膜 2 0は、圧電変換器 1が発生した押圧力に対して、より多くのインク滴 6 a (つまり、吐出するインク滴 6 aの重量あるいは体積が大きいこと）を吐出させることがおもな働きである。

したがつて、

①振動膜 2 0 aは可及的に柔軟であって、

②島状突起 2 0 bはィンク流路 2 2を押圧する面積を広くし、

③島状突起 2 0 bが可及的に剛直であること、

によってより多くのインク滴 6 aが吐出できる。

しかしながら①は、振動膜 2 0 aがピンホールなどの欠陥によって発生するィンク 6の漏れを勘案すると、その厚みは 0. 0 0 2 m mまでが限界であって、柔軟な材料である高分子樹脂フイルムを用いることによって、この限界の厚みまで達成することができる。

また②は、インクジェットへヅドの小型化や高密度化によって制約を受けるため、島状突起 2 0 bを安易に拡大することはできない。また隣接するインク流路 2 2との相互干渉を防止するためには、振動膜 2 0 aの面積をある一定以上にする必要があって、これも島状突起 2 O bを容易に拡大できない理由の一つである。そのために③の剛直な、つまり剛性が高くかつ変位方向に対して厚い島付突起 2 0 bを形成することは、もつとも効果的にィンク滴 6 aの体積あるいは重量を増加させる手段である。 .，

またこれは本発明者が幾種もの構成の試作実験を重おた上で判明したことであるが、高分子樹脂製の振動膜 2 0 aと剛体の島状突起 20 bの間に接着剤等を介在させると、その界面から剥離が生じ著しく信頼性を損なうとともに、その接着剤の厚みにより、変位の伝達効率が激動し、特性ばらつきを抑えることが極めて困難であることがわかった。したがって振動膜 20 aと島状突起 20 bは直接固着させることが肝要である。

第 4図は、本実施例を適用したィンクジェットへッドの吐出力発生手段の斜視図である。

インク 6を液滴として吐出させるための圧力発生手段は、圧電変換器 1であつて、圧電体 2 と導電材 3 a、 3 b (以下、内部電極 3 a、 3 b と称す）とが、交互に積み重ねられた多層構造である。さらに圧電変換器 1 には、導電材 4 a、 4 b (以下、外部電極 4 a、 4 bと称す）が形成されており、外部電極 4 aは内部電極 3 aと、外部電極 4 bは内部電極 3 bと、それぞれが電気的に接続している。また圧電変換器 1の長手方向の略半分はべ一ス部材 5上に接合され、接合されていない他略半分の先端は、前述の如く島付き振動膜 20の島状突起 20 bと接合している（第 2図参照）。

このような縦振動型振動子を用いることにより、たわみ振動子に比べて高い圧力を発生させることができる。また、積層型にすることにより低い電圧で大きな変位をとることができる。本実施例では圧電変換器の寸法を配列方向の個々の圧電変換器の幅を 8 0 ^m、配列方向の個々の圧電変換器の配列ピッチを約 1 4 1 fx m, 積層方向の厚さを約 0. 5 mni、積層方向の積層ピッチつまり内部電極間の距離が約 20 /zm、長手方向の積層長さを約 5 mmとした。この寸法で外部電極 4 a、 4 b間に略 20 Vの電圧を加えることにより、圧電変換器 1の非接合の先端で l mの変位と 30万パスカルの圧力を得ることができ、最終的に約 0. グラムののインクを吐出することができた。

第 5図は、本発明の一実施例を適用したィンクジェットへッドの要部を下方より見た部分斜視図である。

なお各々の寸法はインク室 2 2の長さ（第 2図中 1 1 ) は 1. 5 m m、インク室 22の高さ（第 2図中 h i )は 1 80 m、インク室 22の幅は 1 00 wm、振動膜 2 0 aの厚さは 4 m、突起 2 O bの長さ（第 2図中 1 2 ) は 1. 3 m m、 O 9325390 P T 300788 突起 2 O bの高さ（第 2図中 h 2 ) は 40 m、突起 2 O bの幅（第 5図中 w 2 )は 30 / mとした。

上記本発明の構成を実現するための製造方法を以下に述べる。

第 6 A図〜第 6 I図に、本発明の第 1の製造工程の実施例を示す。

先ず、厚さが 0. 0 1〜 1 mmの金属あるいはセラミヅクスからなる薄板 50 を準備する。なお材質は銅、ニッケル、鉄、ステンレス、シリコン等が後述する加工の容易性から好適である（第 6 A図）。

次に、薄板 50の何れか一方の略全面に高分子樹脂 20 aを、 1乃至 25 Aim の何れかの厚さで成膜する（第 6 B図）。成膜方法は、蒸着等の真空成膜法、浸漬法、ロールコート法、スプレー法、注型法によって行なう。高分子樹脂 20 a の材料としては、ポリイミド（ P I ) 樹脂、ポリエーテルイミド（ P E I ) 樹脂、ポリアミドイミド（ P A I ) 樹脂、ポリパラバン酸（ P P A ) 樹脂、ポリサルホン（P S F ) 樹脂、ポリエーテルサルホン（ P E S ) 樹脂樹脂、ポリエーテルケトン（ P EK) 樹脂、ポリエーテルエ一テルケ卜ン（ PE EK ) 樹脂、ポリフエ二レンサルファイド（PP S ) 樹脂、ポリオレフイン（APO ) 樹脂、ポリェチレンナフタレ一卜（ PE N) 樹脂、ァラミド樹脂などが挙げられる。材料よつて、可能な成膜方法は異なが、容易に平滑で均一な厚さの薄膜が形成できる注型法が好適である。

なお、高分子樹脂 20 aは前述の振動膜 20 aであって、後述するエッチング工程でのエッチング液やレジスト除去液への耐性、インク 6の成分への耐性、樹脂自身が発現する接着性、振動する膜として柔軟性を鑑みてポリイミド樹脂が好適である。

次に高分子樹脂 20 aが成膜されていない、薄板 50の他方の面にフォ卜レジスト 5 1を形成する（第 6 C図）。

更にフォトマスク 52を用いて、形成したフォトレジスト 5 1へ紫外線 53を照射する。フォトレジス卜 5 1は選択的に露光される（第 6 D図、第 6 E図）。 .次に、露光したフォトレジスト 5 1を現像して、露光部 5 1 aを残す（第 6 F 図）。

次に、フォトレジスト 5 1 aによって、薄板 50を選択的に化学エッチングする。薄板 5 0の残存部は、島状突起 2 0 bとして形成される（第 6 G図）。

次に、フォトレジスト 5 1 aを除去して、島状突起 2 O bと、振動膜である高分子樹脂 2 0 aからなる島付き振動膜 2 0並びに肉厚部（第 2図中 2 3 ) が形成される（第 6 H図）。

次に、島付き振動膜 2 0の何れか一方の略全面に金属あるいはセラミックスからなる無機薄膜 2 1 を成膜する。無機薄膜 2 1は島付き振動膜 2 0の何れの面に形成しても良い。しかしながら、無機薄膜 2 1を成膜する第 1の目的は、インク組成物の透過による圧電変換器の振動特性の劣化の防止であって、第 2の目的は、インク 6の曝露による振動膜 2 0 aの劣化と寸法変化の防止であるため、島状突起 2 0 bの形成されていない、振動膜 2 0 aの他方の面に無機薄膜 2 1を形成するのが好適である。なお無機薄膜 2 1の厚さは、インク遮蔽性の機能を損なわず、且つ圧電変換器 1の振動特性を阻害しないために、 0 · 1 〜 2 mが好適である（第 6 I図）。尚上記無機薄膜 2 1は本発明の目的達成のための必ずしも必須のものではなく、振動膜 2 0 aの膨潤は使用するインクの選択、最適化によって実使用上問題ない範囲に抑えることもできる。また上記製法の行程（ b ) 中で樹脂膜に塗布面方向に内部応力を付した状態で硬化させることにより、島付振動膜 2 0 として完成した時点で、肉厚部 2 3に樹脂膜 2 1が張力を付して張架されたごとく形成することができる。こうすると多少のィンクによる膨潤が生じても樹脂膜 2 0 aに過剰なたるみが生じることもない。

次に、第 7 A図〜第 7 F図に本発明の第 2の実施例の製造工程を示す。

まず第 7 A図に示すように板材 4 0とを準備する。板材 4 0は後述する工程によって、第 1の島状突起 1 6 aとなる。

つぎに第 7 B図に示すように板材 4 0の一方の面に高分子樹脂の前駆体を一面に押しなベて、熱ないし光などの反応によって振動膜 2 0 aに成膜する。

引き続く第 7 C図では、板材 4 0の他方の面に感光性レジスト 4 1を成膜し、露光と現像とによって所望する形状にパターニングする。

つぎに第 7 D図に示す如く、感光性レジスト 4 1がパ夕一ニングされた板材 4 0の窓部 4 2に第 2の島状突起 1 6 bとなる金属を析出させる。

つぎに第 7 E図に示す如く、感光性レジスト 4 1 を除去する。最後に第 7 F図に示す如く、感光性レジスト 41が除去され、板材 40が露出した窓部 43を化学エッチングなどの手段によって除去し、第 2の島状突起 16 bの下層に第 1の島状突起 1 6 aが形成される。本工程によって島付振動膜 20 が成る。

以上の工程で示すように、析出した金属（第 2の島状突起 1 6 b ) が、板材 4 0の上で既に島状突起 2 O bの一部を成し、然る後に下層部の板材 40をエッチングして第 1の島状突起 16 aと成すことによって島状突起 20 bを形成している。したがって大きな厚さの島付振動膜 20を製造しやすいことは自明である。第 8図は本発明の方法によって製造されたィンクジェットへッドの要部斜視図であって、本実施例の製造工程によって成された島付振動膜 20の一例を示してレ、る。

振動膜 20 aをその厚さが 0. 005 mmのポリイミドとし、島状突起 20 b の形成密度 Xが 1 80 d p iに当たる 0. 14 1 1 mmとし、島状突起 20 bの幅 x lを 0. 03 mmとした。またその長さ yを 1. 7 m mとした。このような寸法によって、厚さが z 1なる第 1の島状突起 16 aと、厚さが z 2なる第 2の島状突起 16 bとを、 0. 05 mmのベリリウム銅箔と、 0. 05 mmの電鑲のニッケルとによって製造で、本質的に剛性の高い材質を使いかつ十分に厚いことにより、変形の少ない変位伝達効率の高い島状突起 20 bを実現できた。

第 9 A図〜第 9 H図に本発明の第 3の実施例の製造工程を示す。

まず第 9 A図に示すように板材 9とを準備する。板材 9の材料としては、銅、ベリリウム銅、チタン銅、リン青銅、鉄、鉄一ニッケル合金など腐蝕性の高い材料を好適用例として説明する。

つぎに第 9 B図に示すように板材 9の、少なくとも一方の面に第 1無機薄膜 1 2 1を形成する。形成手段はスパッタリング、蒸着、 CVD (化学気相堆積）などの真空成膜法や、溶液にした無機薄膜 1 2 1による浸漬法、ロールコート法、スプレー法や、無機薄膜 12 1を析出させるメツキ法などが挙げられるが、第 1 無機薄膜 12 1には封止性の高い金属或いは、セラミックスが好適であるため、真空成膜法ゃメツキ法が適している。本実施例では、ニッケル（第 1無機薄膜 1 2 1 ) をメヅキ法で形成した。二ヅケル以外にも金、クロム、パラジウム、白金などが好適である。

なお、第 1無機薄膜 1 2 1の厚みは、エッチングによる島状突起 2 0 bの寸法精度を確保し、且つ第 2無機薄膜 1 2 2 とで板材 9の封止を確実に成すため、 0. 0 0 0 1 〜 0. 0 2 m mが好適である。

つぎに第 9 C図に示すように、第 1無機薄膜 1 2 1 を形成した、何れか一方の面に弾性膜 2 0 aを形成する。弾性膜 2 0 aは前述の如く、圧電変換器 1の押圧力を効率よく伝達させるために、島状突起 2 0 bとは逆の特性であって、可及的に薄く、且つ柔軟な特性が求められるが、本例でも先実施例と同様にポリイミドを用いた。

つぎに第 9 D図と第 9 E図に示すように、板材 9の他方の面に感光性レジス卜 9 aを成膜し、露光と現像とによって所望する形状にパターニングする。本実施例では、感光性レジスト 9 aの形成密度を、 1 8 0 d p i となる 0. 1 4 1 1 m m間隔とした。

つぎに第 9 F図では、化学エッチングなどの手段によって板材 9を選択的に除去し、引き続き化学ェヅチングゃ、プラズマやイオンエッチングによって第 1無機薄膜 1 2 1 を略同等に選択的に除去する。

つぎに第 9 G図に示す如く、感光性レジスト 9 aを除去する。

最後に第 9 H図に示す如く、島状突起 2 0 bの表面に第 2無機薄膜 1 2 2を形成して、島状突起 2 0 bを全方向より封止する。形成手段は、島状突起 2 O bのみに選択的に形成できる無電解メツキ法が最適である。本実施例では、第 1無機薄膜と同じ、ニッケルを第 2無機薄膜 1 2 2とした。ニッケル以外にも金、クロム、パラジウム、白金などが好適である。

なお第 2無機薄膜 1 2 2の厚みは、 0. 0 0 0 1 m m以上が好適であって、最も好適には、 0. 0 2 m m以上である。

以上の行程により島付振動膜 2 0が成る。このような構成を用いれば、たとえ弾性膜 2 0 aを通してィンク成分が遺漏しょうとも島状突起 2 0 bの耐蝕性が確保され、インクジェットへヅドの長期信頼性が確保できる。しかもインク吐出性能を満足するような剛性が高くかつ微細加工が容易な銅系の腐蝕性の高い材料を島状突起 2 0 bとして実用できるので、信頼とィンク吐出性能とを両立させることが可能となった。

以上のような本発明の構成と方法によって製造されたィンクジェットへヅドは、従来例に比して、吐出するインク滴 6 aが 1 5重量％以上も増加し、高い押圧力の伝達効率が得られた。

以上述べてきたように、島付振動膜を高分子樹脂製のごく薄い振動膜に高剛性の厚い島状突起を直接固着するごとき構成により、インク吐出特性を向上させることができた。またこのような構成を高精度にかつ容易に製造することにより、インクジエツトへッドの低廉化と高品質化に達成することができた。

また上記構成によれば、振動膜 2 0 aが絶縁性物を使用できるので、島状突起に剛性の高い金属を用いても、振動子表面に露出する駆動用電極類との絶縁も容易にとることができた。産業上の利用可能性

以上述べたように、本発明のインクジェットへヅドは、プリン夕、ファクシミリ、複写機等の記録装置に用いるのに適している。

Claims

請求の範囲

1 . 圧電変換器によってインク室の一部を構成する振動板を変位させ、インク室のィンクの圧力を高め、ノズル開口よりインク滴を吐出させるインクジェヅ卜へヅドにおいて、

前記振動板が高分子樹脂製薄膜とこの高分子樹脂製薄膜に直接固着した剛体突起部から構成されることを特徴とするィンクジェヅトへヅド。

2. 前記振動板の少なくとも何れか一方の面に、無機薄膜が形成されてなることを特徴とする請求の範囲第 1項記載のィンクジエツトへッド。

3. 前記剛体突起部の表面と前記高分子樹脂製薄膜との界面に、無機薄膜が形成されてなることを特徴とする請求の範囲第 1項記載のィンクジェヅ卜へヅド。

4. 前記振動板は前記剛体突起を包囲しかつ剛体突起と同一層をなす肉厚部を有し、前記樹脂製薄膜がこの肉厚部に対して張力を付して張架されてなることを特徴とする請求の範囲第 1項記載のィンクジエツ卜へッド。

5 . 前記高分子樹脂製薄膜がポリイミド樹脂であることを特徴とする請求の範囲第 1項記載のィンクジェヅトへヅド。

6. 前記剛体突起部がステンレス、ニヅケル、ベリリウム銅のいずれかを主成分とすることを特徴とする請求の範囲第 1項記載のィンクジエツ卜へッド。

7. 前記圧電変換器が縦振動型圧電振動子であることを特徴とする請求の範囲第 1記載のィンクジェヅトへヅド。

8. 前記圧電変換器が積層型圧電振動子であることを特徴とする請求の範囲第 1項記載のインクジェヅ卜へヅド。

9. 圧電変換器によってィンク室の一部を構成する突起付きの振動膜を変位させ、インク室のインクの圧力を高め、ノズル開口よりインク滴を吐出させるインクジェヅ卜へヅドの製造方法において、

前記振動板は、

. 1 ) 無機薄板上の何れか一方の面に、高分子樹脂を成膜する工程と、

2 ) 前記薄板を選択的に除去する工程とによって、

高分子樹脂製薄膜と剛体突起部とを一体的に形成したこと特徴とするィンクジェットへッドの製造方法。

1 0. 前記突起付きの振動板の何れか一方の面に、無機薄膜を成膜する工程を有することを特徴とする請求の範囲第 9項記載のインクジェットへッドの製造方法。

1 1 . 前記無機薄板上の何れか一方の面に、高分子樹脂を成膜する工程において、この高分子樹脂に収縮方向の内部応力を付して成膜することを特徴とする請求の範囲第 9項記載のインクジェットヘッドの製造方法。

1 2. 前記剛体突起部がステンレス、ニッケルのいずれかを主成分とすることを特徴とする請求の範囲第 9項記載のインクジエツ卜へッドの製造方法。

1 3. 前記高分子樹脂製薄膜がポリイミド樹脂であることを特徴とする請求の範囲第 9項記載のィンクジヱットへッドの製造方法。

1 4. 圧電変換器によってィンク室の一部を構成する突起付きの振動板を変位させ、インク室のインクの圧力を高め、ノズル開口よりインク滴を吐出させるィンクジェットへヅドの製造方法であって、

前記突起付きの振動板は、

1 ) 板材の何れか、一方の面に高分子樹脂薄膜を成膜する第 1工程と、

2 ) 前記板材の他方の面に、第 2の剛性突起部材を選択的に析出させる第 2ェ程と、

3 ) 前記板材を選択的に除去して、第 1の剛性突起部材を形成する第 3工程と、によって成ること特徴とするインクジェヅ卜へヅドの製造方法。

1 5. 前記剛体突起部がベリリウム銅を主成分とすることを特徴とする請求の範囲第 1 4項記載のィンクジェットへッドの製造方法。

1 6 . 前記高分子樹脂製薄膜がポリイミド樹脂であることを特徴とする請求の範囲第 1 4項記載のィンクジェットへヅドの製造方法。