JP3208775B2 - インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は、印字信号に応じてインク滴を吐出して、記
録紙等の記録媒体上にインク像を形成するオンデマンド
型インクジェット記録装置の記録ヘッドとその製造方法
に関し、より詳細にはインク滴を吐出するためのインク
室の一壁面を形成し、圧電変換器からの振動をインク室
に伝達する振動膜の構成に関する。

背景技術 従来から印字信号に応じてインク滴を飛翔させる、い
わゆるオンデマンド型のインクジェットヘッドは、吐出
力発生手段から大きく分けて２種類の形式のものがあ
る。第１の形式のものはインクを瞬間的に気化させるヒ
ータをノズル先端に設け、インク気化時の膨張圧力によ
りインク滴を生成、飛翔させる、いわゆるバブルジェッ
ト型であり、第２の形式のものはインク溜部を形成する
インク室の一部を印字信号で変形する圧電変換器により
構成し、圧電変換器の変形で生じたインク室内の圧力に
よりインクを液滴として飛翔させるものである。

上記第２の型式のオンデマンド型インクジェットヘッ
ドは、特開昭58−119870号公報や特開昭58−119872号公
報に開示されたように、一端が基台に固定された圧電変
換器の他端に、インク室を形成する振動膜（前述公報で
は共にダイアフラムと称す）が島状の突起（前述公報で
は共に脚部と称す）を介して当接するように構成され、
圧電変換器の伸縮により、圧電変換器が脚部を押圧して
振動膜を変形させて、インク室のインクをノズル開口か
ら液滴として飛翔させるように構成されている。

しかしながら前述した何れの公報においても、振動
膜、脚部の具体的な形成方法は提案されていない。また
脚部は、軸受部へ嵌合する複雑な構成であるため、小型
化、高密度のために脚部材と軸受部材とを高精度に製造
し、組み立てることが極めて困難である。

これらの問題を解決するために、第１の方策として特
開平３−15555号公報に開示されている方策は第10図に
示すように、厚さ1.8μｍのシリコンからなる振動膜61a
（同号公報では振動板と称す）と厚さ100μｍの酸化シ
リコンからなる島状突起61b（同号公報では突起部と称
す）とを半導体素子の製造技術によって突起付きの振動
膜61に形成し、島状突起61bと圧電変換器60とを当接す
る方策である。

また、第２の方策として同号公報では前述の方策の他
に、厚さが１乃至10μｍ前後であって、ニッケル、ステ
ンレス、鉄、銅、銀、金、タンタル、チタン等の金属か
らなる振動膜61a上に、電鋳法によって島状突起61bを形
成し、島状突起61bと圧電変換器60とを当接する方策が
開示されている。

さらに、第３の方策として同号公報では前述の方策の
他に、厚さが50μｍの有機材料フィルムからなる振動膜
61a上に、材料とその方法の明示されない島状突起61bを
固着し、島状突起61bと圧電変換器60とを当接する方策
が開示されている。

他方、第４の方策として特開平３−190744号公報で
は、第11図に示すように、圧電変換器70の電極71a上に1
00μｍ程度のダミー層を形成して、ダイシング加工を行
う。ダイシングによって圧電変換器70は分割され、ダミ
ー層島状突起73bに加工される。さらにこの島状突起73b
に、厚さが略50μｍからなる振動膜73a（同号公報では
覆板部材と称す）をエポキシ系接着剤により固着する方
策が開示されている。

上記の従来例をもってして、実用的なインクジェット
ヘッドを実現するためには先に述べた高精度の製造、組
み立ての困難さの他に以下の問題が生じる。

第１に従来例に示された振動膜61aに50μｍ程の厚さ
の高分子樹脂を用いては、インクを吐出するに十分な圧
力と変位をインク室64に伝えることができない。例えば
圧電変換気器の圧電体材料として圧電材料に現在得られ
る最も変換効率の高いチタン酸ジルコン酸鉛を用いたと
しても、変位は数μｍ以下である。それに比較して10倍
以上厚い高分子樹脂を圧電変換器により押圧しても、変
位や押圧力は樹脂の塑性変形で吸収されてしまい、小
型、高密度化した記録ヘッドには適さない。

第２に、振動膜にシリコンや金属箔を用いると繰り返
しの屈曲変形に対して脆弱であり、疲労破壊を生じてし
まう。よって高速でのべ数億回以上の変形を繰り返すイ
ンクジェットプリンタ用の変位伝達部材には適さない。
さらに、これらの材質は剛性率が非常に高いために、可
及的に柔軟性の求められる振動膜の材質には適さない。

そこで本発明の目的とするところは、これらの課題を
解決して、高効率、高信頼性のインクジェットヘッド構
成を実現し、その構成を容易に量産できる突起付きの振
動膜によって、インクジェットヘッドを廉価に製造する
ことにある。

発明の開示 本発明のインクジェットヘッドは、圧電変換器によっ
てインク室の一部を構成する振動板を変位させ、インク
室のインクの圧力を高め、ノズル開口よりインク滴を吐
出させるインクジェットヘッドにおいて、前記振動板が
高分子樹脂製膜と、エッチング可能な無機質膜との積層
体として構成され、かつ前記インク室に対向する領域の
前記無機質膜をエッチング加工して前記圧力変換器が当
接する剛体突起部が形成されていることを特徴とする。
この構成により圧電変換器の伸縮運動をインク室に効率
よく伝達し、微小な圧電変換器の当接面積を拡大して、
インク室の押圧力を増幅する、信頼性が高くインクの吐
出特性に優れたインクジェットヘッドを提供することが
できる。

図面の簡単な説明 第１図は、本発明の実施例を適用したインクジェット
ヘッドの構成を示す斜視図である。

第２図は、本発明の実施例を適用したインクジェット
ヘッド部分断面図である。

第３図は、本発明のインクジェットヘッドの動作を示
す図である。

第４図は、本発明の実施例を適用したインクジェット
ヘッドの圧力発生手段を示した断面図である。

第５図は、本発明の実施例を適用したインクジェット
ヘッドの要部を下方より見た部分斜視図である。

第６図は、本発明の一実施例を示した製造工程図であ
る。

第７図は、本発明のインクジェットヘッドの製造方法
の１実施例を示す製造工程図である。

第８図は、本発明の方法のインクジェットヘッドの一
例を示す要部の斜視図である。

第９図は、本発明のインクジェットヘッドの別の実施
例を示す製造工程図である。

第10図は、従来技術を示す図である。

第11図は、従来技術を示す図である。

発明を実施するための最良の形態 本発明をより詳細に説述するために、添付の図面に従
ってこれを説明する。

本実施例では解像度360dpi（dot/inch）のプリンタを
実現すべく、ノズルを180dpiの解像度に２列複数個並べ
たものである。

第１図は、本実施例を適用したインクジェットヘッド
の一例を示した分解斜視図である。第１図に示すよう
に、ヘッドフレーム10内を貫通する取り付け穴11は、圧
電変換器１のＸ軸、Ｙ軸方向の位置決めをするべく、後
述するベース部材５を支持している。圧電変換器１の長
手方向の先端面は、突起付きの振動板であるところの振
動膜20（以下、島付き振動膜20と称す）と、流路基板12
と、ノズル開口13aを形成した板状のノズル基板13の順
に積層された接合体の、島付き振動膜20の剛体突起部で
あるところの島状突起20bに接合されており、Ｚ軸方向
の位置決めを得ている。

第２図は、本実施例を適用したインクジェットヘッド
の部分断面図である。インク室22は、ノズル開口13aを
形成した板状のノズル基板13、流路基板12、並びに島付
き振動膜20の高分子樹脂製薄膜であるところの振動膜20
aとの三部材よりなる。

また図示しないインク溜部と、インク供給管14と、イ
ンク連絡口16と、インク室22とは連通関係であって、イ
ンク溜部よりインク６が供給される（第１図参照）。23
は前記突起部20bと同時形成した肉厚部である。圧電変
換器１はその基台５を介してヘッドフレーム10に接着剤
90により固定されている。

かかる構成において、インク滴の吐出原理は第３図に
示す如くである。圧電変換器１を駆動する駆動配線は第
３図には示してはいないが第２図に示す如く、第１配線
基板30a、第２配線基板30bと、基台電極5aと、第１変換
器電極4a、第２変換器電極14bとを通じて動作信号が入
力されるものである。圧電変換器１は、第3A図に示す状
態において待機状態あるが、第3B図に示すように圧電変
換器１に電圧が印可されると、振動膜20aと島上突起20b
とから成る島付振動膜20を引っ張りながら、ノズル基板
13と直交する方向（Ｚ軸方向）に収縮する。この電界を
解除すると第3C図に示すように、圧電変換器１と振動膜
20の弾性的な復元力は、インク流路22内のインク６の圧
力を高めてノズル13aよりインク滴6aを吐出させ、圧電
変換器１は再び待機状態に戻る。

そもそも島付振動膜20は、圧電変換器１が発生した押
圧力に対して、より多くのインク滴6a（つまり、吐出す
るインク滴6aの重量あるいは体積が大きいこと）を吐出
させることがおもな働きである。

したがって、 振動膜20aは可及的に柔軟であって、 島状突起20bはインク流路22を押圧する面積を広く
し、 島状突起20bが可及的に剛直であること、 によってより多くのインク滴6aが吐出できる。

しかしながらは、振動膜20aがピンホールなどの欠
陥によって発生するインク６の漏れを勘案すると、その
厚みは0.002mmまでが限界であって、柔軟な材料である
高分子樹脂フィルムを用いることによって、この限界の
厚みまで達成することができる。

または、インクジェットヘッドの小型化や高密度化
によって制約を受けるため、島状突起20bを安易に拡大
することはできない。また隣接するインク流路22との相
互干渉を防止するためには、振動膜20aの面積をある一
定以上にする必要があって、これも島状突起20bを容易
に拡大できない理由の一つである。

そのためにの剛直な、つまり剛性が高くかつ変位方
向に対して厚い島付突起20bを形成することは、もっと
も効果的にインク滴6aの体積あるいは重量を増加させる
手段である。

またこれは本発明者が幾種もの構成の試作実験を重ね
た上で判明したことであるが、高分子樹脂製の振動膜20
aと剛体の島状突起20bの間に接着剤等を介在させると、
その界面から剥離が生じ著しく信頼性を損なうととも
に、その接着剤の厚みにより、変位の伝達効率が激動
し、特性ばらつきを抑えることが極めて困難であること
がわかった。したがって振動膜20aと島状突起20bは直接
固着させることが肝要である。

第４図は、本実施例を適用したインクジェットヘッド
の吐出力発生手段の斜視図である。

インク６を液滴として吐出させるための圧力発生手段
は、圧電変換器１であって、圧電体２と導電材3a、3b
（以下、内部電極3a、3bを称す）とが、交互に積み重ね
られた多層構造である。さらに圧電変換器１には、導電
材4a、4b（以下、外部電極4a、4bと称す）が形成されて
おり、外部電極4aは内部電極3aと、外部電極4bは内部電
極3bと、それぞれが電気的に接続している。また圧電変
換器１の長手方向の略半分はベース部材５上に接合さ
れ、接合されていない他略半分の先端は、前述の如く島
付き振動膜20の島状突起20bと接合している（第２図参
照）。

このような縦振動型振動子を用いることにより、たわ
み振動子に比べて高い圧力を発生させることができる。
また、積層型にすることにより低い電圧で大きな変位を
とることができる。本実施例では圧電変換器の寸法を配
列方向の個々の圧電変換器の幅を80μｍ、配列方向の個
々の圧電変換器の配列ピッチを約141μｍ、積層方向の
厚さを約0.5mm、積層方向の積層ピッチつまり内部電極
間の距離が約20μｍ、長手方向の積層長さを約5mmとし
た。この寸法で外部電極4a、4b間に略20Vの電圧を加え
ることにより、圧電変換器１の非接合の先端で１μｍの
変位と30万パスカルの圧力を得ることができ、最終的に
約0.1μｍグラムののインクを吐出することができた。

第５図は、本発明の一実施例を適用したインクジェッ
トヘッドの要部を下方より見た部分斜視図である。

なお各々の寸法はインク室22の長さ（第２図中11）は
1.5mm、インク室22の高さ（第２図中h1）は180μｍ、イ
ンク室22の幅は100μｍ、振動膜20aの厚さは４μｍ、突
起20bの長さ（第２図中12）は1.3mm、突起20bの高さ
（第２図中h2）は40μｍ、突起20bの幅（第５図中w2）
は30μｍとした。

上記本発明の構成を実現するための製造方法を以下に
述べる。

第6A図〜第6I図に、本発明の第１の製造工程の実施例
を示す。

先ず、厚さが0.01〜1mmの金属あるいはセラミックス
からなる薄板50を準備する。なお材質は銅、ニッケル、
鉄、ステンレス、シリコン等が後述する加工の容易性か
ら好適である（第6A図）。

次に、薄板50の何れか一方の略全面に高分子樹脂20a
を、１乃至25μｍの何れかの厚さで成膜する（第6B
図）。成膜方法は、蒸着等の真空成膜法、浸漬法、ロー
ルコート法、スプレー法、注型法によって行なう。高分
子樹脂20aの材料としては、ポリイミド（PI）樹脂、ポ
リエーテルイミド（PEI）樹脂、ポリアミドイミド（PA
I）樹脂、ポリパラバン酸（PPA）樹脂、ポリサルホン
（PSF）樹脂、ポリエーテルサルホン（PES）樹脂樹脂、
ポリエーテルケトン（PEK）樹脂、ポリエーテルエーテ
ルケトン（PEEK）樹脂、ポリフェニレンサルファイド
（PPS）樹脂、ポリオレフィン（APO）樹脂、ポリエチレ
ンナフタレート（PEN）樹脂、アラミド樹脂などが挙げ
られる。材料よって、可能な成膜方法は異なが、容易に
平滑で均一な厚さの薄膜が形成できる注型法が好適であ
る。

なお、高分子樹脂20aは前述の振動膜20aであって、後
述するエッチング工程でのエッチング液やレジスト除去
液への耐性、インク６の成分への耐性、樹脂自身が発現
する接着性、振動する膜として柔軟性を鑑みてポリイミ
ド樹脂が好適である。

次に高分子樹脂20aが成膜されていない、薄板50の他
方の面にフォトレジスト51を形成する（第6C図）。

更にフォトマスク52を用いて、形成したフォトレジス
ト51へ紫外線53を照射する。フォトレジスト51は選択的
に露光される（第6D図、第6E図）。

次に、露光したフォトレジスト51を現像して、露光部
51aを残す（第6F図）。

次に、フォトレジスト51aによって、薄板50を選択的
に化学エッチングする。薄板50の残存部は、島状突起20
bとして形成される（第6G図）。

次に、フォトレジスト51aを除去して、島状突起20b
と、振動膜である高分子樹脂20aからなる島付き振動膜2
0並びに肉厚部（第２図中23）が形成される（第6H
図）。

次に、島付き振動膜20の何れか一方の略全面に金属あ
るいはセラミックスからなる無機薄膜21を成膜する。無
機薄膜21は島付き振動膜20の何れの面に形成しても良
い。しかしながら、無機薄膜21を成膜する第１の目的
は、インク組成物の透過による圧電変換器の振動特性の
劣化の防止であって、第２の目的は、インク６の曝露に
よる振動膜20aの劣化と寸法変化の防止であるため、島
状突起20bの形成されていない、振動膜20aの他方の面に
無機薄膜21を形成するのが好適である。なお無機薄膜21
の厚さは、インク遮蔽性の機能を損なわず、且つ圧電変
換器１の振動特性を阻害しないために、0.1〜２μｍが
好適である（第6I図）。尚上記無機薄膜21は本発明の目
的達成のための必ずしも必須のものではなく、振動膜20
aの膨潤は使用するインクの選択、最適化によって実使
用上問題ない範囲に抑えることもできる。また上記製法
の行程（ｂ）中で樹脂膜に塗布面方向に内部応力を付し
た状態で硬化させることにより、島付振動膜20として完
成した時点で、肉厚部23に樹脂膜21が張力を付して張架
されたごとく形成することができる。こうすると多少の
インクによる膨潤が生じても樹脂膜20aに過剰なたるみ
が生じることもない。

次に、第7A図〜第7F図に本発明の第２の実施例の製造
工程を示す。

まず第7A図に示すように板材40とを準備する。板材40
は後述する工程によって、第１の島状突起16aとなる。

つぎに第7B図に示すように板材40の一方の面に高分子
樹脂の前駆体を一面に押しなべて、熱ないし光などの反
応によって振動膜20aに成膜する。

引き続く第7C図では、板材40の他方の面に感光性レジ
スト41を成膜し、露光と現像とによって所望する形状に
パターニングする。

つぎに第7D図に示す如く、感光性レジスト41がパター
ニングされた板材40の窓部42に第２の島状突起16dとな
る金属を析出させる。

つぎに第7E図に示す如く、感光性レジスト41を除去す
る。

最後に第7F図に示す如く、感光性レジスト41が除去さ
れ、板材40が露出した窓部43を化学エッチングなどの手
段によって除去し、第２の島状突起16bの下層に第１の
島状突起16aが形成される。本工程によって島付振動膜2
0が成る。

以上の工程で示すように、析出した金属（第２の島状
突起16b）が、板材40の上で既に島状突起20bの一部を成
し、然る後に下層部の板材40をエッチングして第１の島
状突起16aと成すことによって島状突起20bを形成してい
る。したがって大きな厚さの島付振動膜20を製造しやす
いことは自明である。

第８図は本発明の方法によって製造されたインクジェ
ットヘッドの要部斜視図であって、本実施例の製造工程
によって成された島付振動膜20の一例を示している。

振動膜20aをその厚さが0.005mmのポリイミドとし、島
状突起20bの形成密度ｘが180dpiに当たる0.1411mmと
し、島状突起20bの幅x1を0.03mmとした。またその長さ
ｙを1.7mmとした。このような寸法によって、厚さがz1
なる第１の島状突起16aと、厚さがz2なる第２の島状突
起16bとを、0.05mmのベリリウム銅箔と、0.05mmの電鋳
のニッケルとによって製造でき、本質的に剛性の高い材
質を使いかつ十分に厚いことにより、変形の少ない変位
伝達効率の高い島状突起20bを実現できた。

第9A図〜第9H図に本発明の第３の実施例の製造工程を
示す。

まず第9A図に示すように板材９とを準備する。板材９
の材料としては、銅、ベリリウム銅、チタン銅、リン青
銅、鉄、鉄−ニッケル合金など腐食性の高い材料を好適
用例として説明する。

つぎに第9B図に示すように板材９の、少なくとも一方
の面に第１無機薄膜121を形成する。形成手段はスパッ
タリング、蒸着、CVD（化学気相体積）などの真空成膜
法や、溶液にした無機薄膜121による浸漬法、ロールコ
ート法、スプレー法や、無機薄膜121を析出させるメッ
キ法などが挙げられるが、第１無機薄膜121には封止性
の高い金属或いは、セラミックスが好適であるため、真
空成膜法やメッキ法が適している。本実施例では、ニッ
ケル（第１無機薄膜121）をメッキ法で形成した。ニッ
ケル以外にも金、クロム、パラジウム、白金などが好適
である。

なお、第１無機薄膜121の厚みは、エッチングによる
島状突起20bの寸法精度を確保し、且つ第２無機薄膜122
とで板材９の封止を確実に成すため、0.0001〜0.02mmが
好適である。

つぎに第9C図に示すように、第１無機薄膜121を形成
した、何れか一方の面に弾性膜20aを形成する。弾性膜2
0aは前述の如く、圧電変換器１の押圧力を効率よく伝達
させるために、島状突起20bとは逆の特性であって、可
及的に薄く、且つ柔軟な特性が求められるが、本例でも
先実施例と同様にポリイミドを用いた。

つぎに第9D図と第9E図に示すように、板材９の他方の
面に感光性レジスト9aを成膜し、露光と現像とによって
所望する形状にパターニングする。本実施例では、感光
性レジスト9aの形成密度を、180dpiとなる0.1411mm間隔
とした。

つぎに第9F図では、化学エッチングなどの手段によっ
て板材９を選択的に除去し、引き続き化学エッチング
や、プラズマやイオンエッチングによって第１無機薄膜
121を略同等に選択的に除去する。

つぎに第9G図に示す如く、感光性レジスト9aを除去す
る。

最後に第9H図に示す如く、島状突起20bの表面に第２
無機薄膜122を形成して、島状突起20bを全方向より封止
する。形成手段は、島状突起20bのみに選択的に形成で
きる無電解メッキ法が最適である。本実施例では、第１
無機薄膜と同じ、ニッケルを第２無機薄膜122とした。
ニッケル以外にも金、クロム、パラジウム、白金などが
好適である。

なお第２無機薄膜122の厚みは、0.0001mm以上が好適
であって、最も好適には、0.02mm以上である。

以上の行程により島付振動膜20が成る。このような構
成を用いれば、たとえば弾性膜20aを通してインク成分
が遺漏しようとも島状突起20bの耐蝕性が確保され、イ
ンクジェットヘッドの長期信頼性が確保できる。しかも
インク吐出性能を満足するような剛性が高くかつ微細加
工が容易な銅系の腐食性の高い材料を島状突起20bとし
て実用できるので、信頼とインク吐出性能とを両立させ
ることが可能となった。

以上のような本発明の構成と方法によって製造された
インクジェットヘッドは、従来例に比して、吐出するイ
ンク滴6aが15重量％以上も増加し、高い押圧力の伝達効
率が得られた。

以上述べてきたように、島状振動膜を高分子樹脂製の
ごく薄い振動膜に高剛性の厚い島状突起を直接固着する
ごとき構成により、インク吐出特性を向上させることが
できた。またこのような構成を高精度にかつ容易に製造
することにより、インクジェットヘッドの低廉化と高品
質化に達成することができた。

また上記構成によれば、振動膜20aが絶縁性物を使用
できるので、島状突起に剛性の高い金属を用いても、振
動子表面に露出する駆動用電極類との絶縁も容易にとる
ことができた。

産業上の利用可能性 以上述べたように、本発明のインクジェットヘッド
は、プリンタ、ファクシミリ、複写機等の記録装置に用
いるのに適している。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−15555（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−130350（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−238009（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−366643（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−220955（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−169651（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055

Claims (15)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】圧電変換器によってインク室の一部を構成
   する振動板を変位させ、インク室のインクの圧力を高
   め、ノズル開口よりインク滴を吐出させるインクジェッ
   トヘッドにおいて、 前記振動板が高分子樹脂製膜と、エッチング可能な無機
   質膜との積層体として構成され、かつ前記インク室に対
   向する領域の前記無機質膜をエッチング加工して前記圧
   力変換器が当接する剛体突起部が形成されているインク
   ジェットヘッド。
2. 【請求項２】前記剛体突起部の表面と前記高分子樹脂製
   膜との界面に、無機膜が形成されている請求の範囲第１
   項記載のインクジェットヘッド。
3. 【請求項３】前記振動板が、前記剛体突起部の周囲を包
   囲し、かつ前記剛体突起と同一厚さの肉厚部を有し、ま
   た前記高分子樹脂製膜が前記肉厚部に対して張力を付し
   て張架されている請求の範囲第１項記載のインクジェッ
   トヘッド。
4. 【請求項４】前記高分子樹脂製膜がポリイミド樹脂であ
   ることを特徴とする請求の範囲第１項記載のインクジェ
   ットヘッド。
5. 【請求項５】前記剛体突起部が、ステンレス、ニッケ
   ル、ベリリウム銅のいずれか１つを含む請求の範囲第１
   項記載のインクジェットヘッド。
6. 【請求項６】前記圧電変換器が、縦振動型圧電振動子で
   あることを特徴とする請求の範囲第１項記載のインクジ
   ェットヘッド。
7. 【請求項７】前記圧電変換器が積層型圧電振動子である
   ことを特徴とする請求の範囲第１項記載のインクジェッ
   トヘツド。
8. 【請求項８】圧電変換器によってインク室の一部を構成
   する振動板を変位させてインクを加圧し、ノズル開口か
   らインク滴を吐出させるインクジェットヘッドの製造方
   法において、 無機薄板の一方の面に、高分子樹脂の膜を成膜する工程
   と、前記無機薄板を選択的に除去して前記高分子樹脂の
   膜に剛体突起部を一体的に形成する工程とにより前記振
   動板が構成されているインクジェットヘッドの製造方
   法。
9. 【請求項９】前記振動板の何れか一方の面に、無機膜を
   成膜する工程を含む請求の範囲第８項記載のインクジェ
   ットヘッドの製造方法。
10. 【請求項１０】前記無機薄板の一方の面への高分子樹脂
    の膜を成膜する際に、前記高分子の膜にその収縮方向の
    内部応力が付与されている請求の範囲第８項記のヘッド
    の製造方法。
11. 【請求項１１】前記剛体突起部がステンレス、ニッケル
    のいずれかを主成分とすることを特徴とする請求の範囲
    第９項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
12. 【請求項１２】前記高分子樹脂成膜がポリイミド樹脂で
    あることを特徴とする請求の範囲第９項記載のインクジ
    ェットヘッドの製造方法。
13. 【請求項１３】圧電変換器によってインク室の一部を構
    成する突起付きの振動板を変位させ、インク室のインク
    の圧力を高め、ノズル開口よりインク滴を吐出させるイ
    ンクジェットヘッドの製造方法であって、 無機薄板の一方の面に、高分子樹脂の膜を成膜する工程
    と、前記板材の他方の面に第１の剛性突起部を選択的に
    析出させる工程と、前記無機薄板を選択的に除去して前
    記高分子樹脂の膜に第１の剛性突起部を含む剛体突起部
    を一体的に形成する工程とにより前記振動板が構成され
    ているインクジェットヘッドの製造方法。
14. 【請求項１４】前記無機薄板が、ベリリウム銅を主成分
    とする請求の範囲第13項記載のインクジェットの製造方
    法。
15. 【請求項１５】前記高分子樹脂の膜が、ポリイミド樹脂
    である請求の範囲第14項記載のインクジェットヘッドの
    製造方法。