JP5068063B2 - LIQUID DISCHARGE HEAD, LIQUID DISCHARGE DEVICE, IMAGE FORMING APPARATUS, AND LIQUID DISCHARGE HEAD MANUFACTURING METHOD - Google Patents

LIQUID DISCHARGE HEAD, LIQUID DISCHARGE DEVICE, IMAGE FORMING APPARATUS, AND LIQUID DISCHARGE HEAD MANUFACTURING METHOD Download PDF

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Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置、液体吐出ヘッドの製造方法に関する。   The present invention relates to a liquid discharge head, a liquid discharge apparatus, an image forming apparatus, and a method for manufacturing a liquid discharge head.

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、これらの複合機等の画像形成装置として、例えば、記録液(液体)の液滴を吐出する液体吐出ヘッド(液滴吐出ヘッド)で構成した記録ヘッドを含む液体吐出装置を用いて、媒体(以下「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。)を搬送しながら、液体としての記録液(以下、インクともいう。)を用紙に付着させて画像形成(記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる。)を行なうものがある。   As an image forming apparatus such as a printer, a facsimile machine, a copying apparatus, and a multifunction machine of these, for example, a liquid ejection apparatus including a recording head composed of a liquid ejection head (droplet ejection head) that ejects liquid droplets of a recording liquid (liquid) As a liquid while transporting a medium (hereinafter also referred to as “paper”, but the material is not limited, and a recording medium, a recording medium, a transfer material, recording paper, etc. are also used synonymously). The recording liquid (hereinafter also referred to as ink) is attached to a sheet to form an image (recording, printing, printing, and printing are also used synonymously).

なお、画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することをも意味する。また、液体とは記録液、インクに限るものではなく、画像形成を行うことができる液体であれば特に限定されるものではない。また、液体吐出装置とは、液体吐出ヘッドから液体を吐出する装置を意味し、画像を形成するものに限らない。   The image forming apparatus means an apparatus for forming an image by discharging a liquid onto a medium such as paper, thread, fiber, fabric, leather, metal, plastic, glass, wood, ceramics, etc. The term “not only” means not only giving an image having a meaning such as a character or a figure to a medium but also giving an image having no meaning such as a pattern to the medium. Further, the liquid is not limited to the recording liquid and ink, and is not particularly limited as long as it is a liquid capable of forming an image. Further, the liquid ejection apparatus means an apparatus that ejects liquid from a liquid ejection head, and is not limited to an apparatus that forms an image.

このような液体吐出装置ないし画像形成装置は、捺染装置や金属配線などの産業用システムにまで利用されるようになってきている。近年、より高品位な画像を、より速い印刷速度で出力できることが求められるようになっている。前者の要求に対してノズルの数、密度共に増加する傾向にある。それに伴い、各加圧液室間隔は狭まっている。また、エネルギー印加の周波数も高くなる傾向にある。後者の要求に対しては、記録ヘッドの長尺化が試みられており、最近記録媒体の幅全領域を覆うことのできる、いわゆるライン型プリンタの開発が進められている。ラインプリンタの場合、ばらつきの少ない高精度な加工が要求されてくる。   Such liquid ejecting apparatuses or image forming apparatuses have come to be used for industrial systems such as textile printing apparatuses and metal wiring. In recent years, it has been demanded that higher quality images can be output at a higher printing speed. Both the number and density of nozzles tend to increase with respect to the former requirement. Accordingly, the intervals between the pressurized liquid chambers are narrowed. In addition, the frequency of energy application tends to increase. In response to the latter requirement, an attempt has been made to increase the length of the recording head, and recently, development of a so-called line type printer that can cover the entire width of the recording medium has been promoted. In the case of a line printer, high-precision processing with little variation is required.

液体吐出ヘッドとしては、液滴を吐出するノズル、ノズルが連通する液室(加圧液室、吐出室、圧力室、液体流路などとも称される。)、液室内の液体を加圧する圧力を発生する圧力発生手段とを備えて、圧力発生手段で発生させる圧力で液室内の液体を加圧することによってノズルから液滴を吐出させる。ここで、圧力発生手段としては、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するサーマル方式、圧電素子(本願では電気機械変換素子と同義語として用いる。)などを用いる圧電方式、静電力を発生する静電型アクチュエータを用いる静電方式などが知られている。   The liquid discharge head includes a nozzle that discharges droplets, a liquid chamber (also referred to as a pressurized liquid chamber, a discharge chamber, a pressure chamber, and a liquid flow path) that communicates with the nozzle, and a pressure that pressurizes the liquid in the liquid chamber. And a pressure generating means for generating the liquid, and the liquid in the liquid chamber is pressurized by the pressure generated by the pressure generating means to discharge the liquid droplets from the nozzle. Here, as the pressure generating means, a thermal method using a phase change caused by film boiling of a liquid using an electrothermal transducer such as a heating resistor, a piezoelectric device (in this application, it is used as a synonym for an electromechanical transducer). There are known a piezoelectric method using an electrostatic method, an electrostatic method using an electrostatic actuator that generates an electrostatic force, and the like.

ところで、圧電素子を用いる方式の液体吐出ヘッドでは、液室の壁面を効率的に変形させるとともに、隣接する液室への圧力のクロストークを抑制する必要上、弾性変形可能な板材からなる振動板に液室の長手方向に延びる突起部(凸部、アイランド部などとも称される。)を設け、この突起部を介して圧電素子の変位を振動板に伝えるようにしている。   By the way, in a liquid discharge head using a piezoelectric element, it is necessary to efficiently deform the wall surface of the liquid chamber and to suppress crosstalk of pressure to the adjacent liquid chamber. A protrusion (also referred to as a protrusion or an island) extending in the longitudinal direction of the liquid chamber is provided in the liquid chamber, and the displacement of the piezoelectric element is transmitted to the diaphragm via the protrusion.

従来の液体吐出ヘッド或いは振動板部材(振動板とも称される。)として、例えば、特許文献1には、振動板部材が高分子延伸フィルムに金属薄板を接着剤により接合した板材からなり、金属薄板をエッチング加工して、アイランド部が形成され、アイランド部以外の領域も接着剤により被覆されている構成としたものが記載されている。
特許第3503661号公報
As a conventional liquid discharge head or diaphragm member (also referred to as a diaphragm), for example, in Patent Document 1, a diaphragm member is made of a plate material obtained by bonding a metal thin plate to a polymer stretched film with an adhesive, The thin plate is etched to form an island portion, and a region other than the island portion is covered with an adhesive.
Japanese Patent No. 3503661

また、特許文献2には、SUS板上に熱硬化性及び熱可塑性ポリイミドを直接成膜した振動板が記載されている。
特開平11−198368号公報
Patent Document 2 describes a diaphragm in which thermosetting and thermoplastic polyimide are directly formed on a SUS plate.
JP-A-11-198368

なお、静電型ヘッドの例については例えば特許文献3に記載されている。また、液体吐出ヘッドではないが、ポリイミドと金属箔との積層体としては、特許文献4、5に記載されている。さらに、共通液室の壁面をダンパとした液体吐出ヘッドについては特許文献6に記載されている。
特開2005−81790号公報 特許第2640304号公報 特開平11−298114号公報
An example of the electrostatic head is described in, for example, Patent Document 3. Moreover, although it is not a liquid discharge head, it is described in patent documents 4 and 5 as a laminated body of polyimide and metal foil. Furthermore, Patent Document 6 describes a liquid discharge head using a common liquid chamber wall as a damper.
JP 2005-81790 A Japanese Patent No. 2640304 JP 11-298114 A

上述した特許文献1に記載のヘッドにあっては、高分子延伸フィルムや金属薄膜(ステンレス圧延鋼)はバラツキを持ってはいるものの、製法上、大面積(長尺)になっても小面積(短尺)と同じ膜厚ばらつきで作ることが可能であることから、ヘッドの長尺化が進んでも、一定の同じ高さバラツキの範囲で振動板の突起部を管理して使用することができる。   In the head described in Patent Document 1, the polymer stretched film and the metal thin film (stainless rolled steel) have variations, but due to the manufacturing method, the area is small even when the area is large (long). Because it can be made with the same film thickness variation as the (short), even if the head lengthens, the projections on the diaphragm can be managed and used within a certain range of the same height variation. .

しかしながら、振動板部材は高分子延伸フィルムと金属薄膜を接着剤で接合した後、金属薄膜をエッチャントでエッチングしているので、金属薄膜をエッチングするとき、接着剤は金属薄膜をエッチングするエッチャントに接触し、接着層が部分的に侵食され変質するという課題がある。この接着層は高分子延伸フィルムと積層で振動板部材を構成することになるため、接着層の部分的な侵食や、変質は振動板(振動領域:ダイアフラム部)の板厚ばらつきとなり、振動特性のばらつきの発生につながるという問題が生じる。また、振動領域は高分子延伸フィルムと接着層の二層構成となり各層の膜厚ばらつきが振動特性のばらつきに繋がるという課題もある。   However, since the diaphragm member is bonded to the polymer stretched film and the metal thin film with an adhesive, the metal thin film is etched with an etchant. Therefore, when the metal thin film is etched, the adhesive contacts the etchant that etches the metal thin film. However, there is a problem that the adhesive layer is partially eroded and deteriorated. Since this adhesive layer is composed of a polymer stretched film and a laminate to form a diaphragm member, partial erosion or alteration of the adhesive layer results in variations in the thickness of the diaphragm (vibration region: diaphragm part), resulting in vibration characteristics. There arises a problem that it leads to the occurrence of variations. In addition, the vibration region has a two-layer structure of a polymer stretched film and an adhesive layer, and there is a problem that variations in film thickness of each layer lead to variations in vibration characteristics.

これに対して、特許文献2に記載されているように、SUS板にポリイミドを成膜と同時に接着することで、特許文献1のような接着層を介在させることに伴う課題は解決される。   On the other hand, as described in Patent Document 2, the problem associated with interposing an adhesive layer as in Patent Document 1 is solved by adhering polyimide to a SUS plate simultaneously with film formation.

ところが、金属板にポリイミドを直接成膜して振動板部材を形成する場合、樹脂を塗工して高温による加熱をし、常温に戻すことでイミド化して樹脂層を形成する(このような工法をワニス工法という。)ことから、その後、金属板側の非接合部分を除去して樹脂層のみとしたとき、樹脂層に皺が発生するという課題がある。   However, when forming a diaphragm member by directly forming a polyimide film on a metal plate, a resin is applied, heated at a high temperature, and imidized by returning to room temperature to form a resin layer (such a method) Therefore, there is a problem that wrinkles are generated in the resin layer when the non-bonded portion on the metal plate side is removed to make only the resin layer.

例えば、上述したように振動板部材の振動領域には圧電素子と接合するために島状の突起部が設けられ、液室の並び方向(チャンネル方向)で突起部よりも幅の広い樹脂層のみの変形可能部分が形成されるが、この突起部よりも幅の広い部分で樹脂層の皺が発生しやすくなる。このように、振動板領域の樹脂層に皺が発生すると、圧電素子の変位が効率的に液室に伝達されず、滴吐出特性が低下したり、吐出特性が液室間(ノズル間)でばらつくなどの不都合を生じる。   For example, as described above, an island-shaped protrusion is provided in the vibration region of the diaphragm member to join the piezoelectric element, and only the resin layer wider than the protrusion in the liquid chamber arrangement direction (channel direction) is provided. The deformable portion is formed, but the resin layer is easily wrinkled at a portion wider than the protrusion. Thus, when wrinkles occur in the resin layer in the diaphragm region, the displacement of the piezoelectric element is not efficiently transmitted to the liquid chamber, so that the droplet discharge characteristics are deteriorated or the discharge characteristics are between the liquid chambers (between the nozzles). It causes inconvenience such as dispersion.

また、共通液室の壁面の一部を樹脂層として変形可能なダンパ部を形成することにより、液室から共通液室に伝播する圧力変動を吸収する構成を採用した場合、ダンパ部となる樹脂層に皺があると、圧力変動吸収性能が均一でなくなって、ノズル毎に吐出特性がばらつくおそれがある。   In addition, if a structure that absorbs pressure fluctuations propagating from the liquid chamber to the common liquid chamber is formed by forming a deformable damper portion using a part of the wall surface of the common liquid chamber as a resin layer, the resin that becomes the damper portion If there are wrinkles in the layer, the pressure fluctuation absorbing performance is not uniform, and there is a possibility that the discharge characteristics vary from nozzle to nozzle.

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、樹脂振動板の皺の発生を低減してノズル間での滴吐出特性のバラツキを低減した液体吐出ヘッド、この液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置、画像形成装置、この液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and a liquid discharge head in which the occurrence of wrinkles on a resin diaphragm is reduced to reduce variations in droplet discharge characteristics between nozzles, and a liquid discharge including the liquid discharge head An object of the present invention is to provide an apparatus, an image forming apparatus, and a method for manufacturing the liquid discharge head.

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルが各々連通する複数の液室と、
各液室の変形可能な壁面を形成する振動板領域を有する振動板部材と、を備え、
前記振動板部材は、金属部材上に、この金属部材の線膨張係数よりも大きな線膨張係数を持つ樹脂を直接塗布して加熱して固化させることで形成された前記振動板領域を形成する樹脂層を有し、
前記液室間に形成された隔壁部に対応して前記振動板領域間に前記金属部材からなる厚肉部が形成され、
各々の前記振動板領域には、振動板領域を振動させる駆動部と接合される前記金属部材からなる島状の凸部が形成されている
構成とした。
In order to solve the above-described problem, a liquid discharge head according to the present invention includes:
A plurality of nozzles for discharging liquid;
A plurality of liquid chambers each communicating with the plurality of nozzles;
A diaphragm member having a diaphragm region that forms a deformable wall surface of each liquid chamber,
The diaphragm member is a resin that forms the diaphragm region formed by directly applying a resin having a linear expansion coefficient larger than that of the metal member on the metal member, and heating and solidifying the resin. Has a layer,
A thick part made of the metal member is formed between the diaphragm regions corresponding to the partition part formed between the liquid chambers,
In each of the diaphragm regions, an island-shaped convex portion made of the metal member joined to a drive unit that vibrates the diaphragm region is formed.

ここで、樹脂はイミド結合を持つポリマである構成とできる。また、振動板領域にはこの振動板領域の幅方向全域に亘り樹脂層のみで形成される部分がある構成とできる。この場合、振動板領域の幅方向全域に亘り樹脂層のみで形成される部分の金属部材はエッチングで除去されている構成とできる。さらに、複数の液室に液体を供給する共通液室を有し、この共通液室の壁面の一部が振動板部材の樹脂層で形成された変形可能なダンパ部とされている構成とできる。また、液体を供給する液体タンクを一体に備えている構成とできる。   Here, the resin can be a polymer having an imide bond. Further, the diaphragm region may have a portion formed only by the resin layer over the entire width direction of the diaphragm region. In this case, the metal member of the part formed only by the resin layer over the entire width direction of the diaphragm region can be removed by etching. Furthermore, it has a common liquid chamber for supplying liquid to a plurality of liquid chambers, and a part of the wall surface of this common liquid chamber can be configured as a deformable damper portion formed of a resin layer of the diaphragm member. . Moreover, it can be set as the structure which is integrally provided with the liquid tank which supplies a liquid.

本発明に係る液体吐出装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えたものである。   The liquid discharge apparatus according to the present invention includes the liquid discharge head according to the present invention.

本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えたものである。   An image forming apparatus according to the present invention includes the liquid ejection head according to the present invention.

本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、本発明に係る液体吐出ヘッドを製造する製造方法であって、金属部材を準備する第1のステップと、この金属部材上に、金属部材よりも線膨張係数が大きくなるように調製された樹脂を直接塗布する第2のステップと、樹脂を加熱し固化させてイミド化させることで前記金属部材上に樹脂層を接合形成する第3のステップとを行う構成とした。   A manufacturing method of a liquid discharge head according to the present invention is a manufacturing method of manufacturing a liquid discharge head according to the present invention, and includes a first step of preparing a metal member, and a wire more than the metal member on the metal member. A second step of directly applying a resin prepared so as to increase the expansion coefficient, and a third step of bonding and forming a resin layer on the metal member by heating and solidifying the resin to imidize the resin. The configuration is to be performed.

ここで、樹脂層が接合形成された前記金属部材に対し、前記樹脂層の変形可能とする部分以外の部分をマスキングする第4のステップと、このマスキングされた該金属部材に対してエッチャントを接触させてエッチングにより前記樹脂層の変形可能とする部分の前記金属部材を除去して振動板部材を形成する第5のステップとを行う構成とできる。さらに、この記振動板部材に対して圧電素子を接合する構成とできる。   Here, a fourth step of masking a portion other than the deformable portion of the resin layer with respect to the metal member to which the resin layer is bonded, and an etchant is brought into contact with the masked metal member Then, the fifth step of forming the diaphragm member by removing the metal member of the resin layer that can be deformed by etching is performed. Furthermore, a piezoelectric element can be joined to the diaphragm member.

本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、皺の発生が低減して、ノズル間での滴吐出特性のバラツキが低減する。 According to the liquid discharge head according to the present invention, generation of wrinkles is reduced, and variation in droplet discharge characteristics between nozzles is reduced.

本発明に係る液体吐出装置、本発明に係る画像形成装置によれば、滴吐出特性のばらつきの少ない滴吐出を行うことができる。   According to the liquid ejection apparatus according to the present invention and the image forming apparatus according to the present invention, it is possible to perform droplet ejection with little variation in droplet ejection characteristics.

本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、本発明に係る液体吐出ヘッドを製造する方法であって、金属部材を準備する第1のステップと、この金属部材上に金属部材よりも線膨張係数が大きくなるように調製された樹脂を直接塗布する第2のステップと、樹脂を加熱し固化させてイミド化させることで金属部材上に樹脂層を接合形成する第3のステップとを行う構成としたので、皺の発生が低減してノズル間での滴吐出特性のバラツキの少ない液体吐出ヘッドを得ることができる。   The method of manufacturing a liquid discharge head according to the present invention is a method of manufacturing the liquid discharge head according to the present invention, and includes a first step of preparing a metal member, and a linear expansion coefficient on the metal member higher than that of the metal member. A structure in which a second step of directly applying a resin prepared so as to be large and a third step of bonding and forming a resin layer on a metal member by heating and solidifying the resin to imidize and Therefore, the occurrence of wrinkles is reduced, and a liquid discharge head with little variation in droplet discharge characteristics between nozzles can be obtained.

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態について図1ないし図6を参照して説明する。なお、図1は同液体吐出ヘッドの側面説明図、図2は同じく平面説明図、図3は図2のA−A線に沿う液室長手方向(液室の並び方向と直交する方向)に沿う断面説明図、図4は同じく液室短手方向(液室の並び方向)に沿う断面説明図、図5は図4の1つの加圧液室部分の拡大断面説明図、図6は液室部分の要部平面説明図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. First, an embodiment of a liquid discharge head according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 is an explanatory side view of the liquid discharge head, FIG. 2 is an explanatory plan view of the same, and FIG. 3 is a longitudinal direction of the liquid chamber along the line AA in FIG. 4 is a cross-sectional explanatory view along the short direction of the liquid chamber (liquid chamber arrangement direction), FIG. 5 is an enlarged cross-sectional explanatory view of one pressurized liquid chamber portion of FIG. 4, and FIG. It is principal part plane explanatory drawing of a chamber part.

この液体吐出ヘッドHは、SUS基板で形成した流路基板(液室基板)1と、この流路基板1の下面に接合した振動板部材2と、流路基板1の上面に接合したノズル板3とを有し、これらによって液滴(液体の滴)を吐出するノズル4が連通する個別流路としての液室(以下「加圧液室」というが、圧力室、加圧室、流路などとも称される。)6、加圧液室6に液体であるインク(記録液)を供給する供給路を兼ねた流体抵抗部7、複数の加圧液室6に記録液を供給する共通液室8を形成している。なお、共通液室8には図示しない記録液タンクから供給路を介して記録液が供給される。   The liquid discharge head H includes a flow path substrate (liquid chamber substrate) 1 formed of a SUS substrate, a vibration plate member 2 bonded to the lower surface of the flow path substrate 1, and a nozzle plate bonded to the upper surface of the flow path substrate 1. 3, and a liquid chamber (hereinafter referred to as “pressurized liquid chamber” as an individual flow path) through which a nozzle 4 that discharges droplets (liquid droplets) communicates is referred to as a pressure chamber, a pressure chamber, and a flow path. 6. A fluid resistance unit 7 that also serves as a supply path for supplying ink (recording liquid) that is liquid to the pressurized liquid chamber 6, and a common supply of recording liquid to the plurality of pressurized liquid chambers 6. A liquid chamber 8 is formed. The common liquid chamber 8 is supplied with a recording liquid from a recording liquid tank (not shown) via a supply path.

ここで、流路基板1は、リストリクタプレート1Aとチャンバーブレート1Bとを接着して構成している。この流路基板1は、SUS基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜き(プレス)などの機械加工することで、各加圧液室6、流体抵抗部7、共通液室8などの開口をそれぞれ形成している。なお、流体抵抗部7は、リストリクタプレート1Aの部分を開口し、チャンバーブレート1Bの部分を開口しないことで形成している。   Here, the flow path substrate 1 is configured by adhering a restrictor plate 1A and a chamber plate 1B. The flow path substrate 1 is formed by etching the SUS substrate with an acidic etchant or machining such as punching (pressing), so that each pressurized liquid chamber 6, fluid resistance portion 7, common liquid chamber 8, etc. Each opening is formed. The fluid resistance portion 7 is formed by opening a portion of the restrictor plate 1A and not opening a portion of the chamber plate 1B.

振動板部材2は、流路基板1を構成するチャンバーブレート1Bに接着接合している。この振動板部材2は、SUS基板などの金属部材21に金属部材21よりも線膨張係数を大きく調製した樹脂を直接塗布(塗工)して加熱、固化させた樹脂層(樹脂部材)22を直接成膜して形成したものであり、樹脂層22で液室6の壁面となる変形可能な部分(振動板領域)2Aを形成し、この振動板領域2Aの液室6と反対側には金属部材21からなる島状の突起部(以下「島状凸部」ともいう。)2Bを形成している。   The diaphragm member 2 is adhesively bonded to the chamber plate 1B constituting the flow path substrate 1. The vibration plate member 2 includes a resin layer (resin member) 22 obtained by directly applying (coating) a resin whose linear expansion coefficient is larger than that of the metal member 21 to a metal member 21 such as a SUS substrate, and heating and solidifying the resin layer. It is formed by direct film formation, and a deformable portion (vibrating plate region) 2A that becomes the wall surface of the liquid chamber 6 is formed by the resin layer 22, and on the opposite side of the vibrating plate region 2A from the liquid chamber 6 An island-shaped protrusion (hereinafter also referred to as “island-shaped protrusion”) 2B made of the metal member 21 is formed.

なお、上述したように流体抵抗部7の振動板部材2側のチャンバーブレート1Bを振動板部材2の樹脂層22と接合することで、振動板部材2の薄いポリイミドなどの樹脂層22を介して加圧液室6内の圧力が外部に逃げることを防ぎ、効率的に液滴を吐出することが可能になる。   As described above, the chamber plate 1B on the diaphragm member 2 side of the fluid resistance portion 7 is joined to the resin layer 22 of the diaphragm member 2, so that the diaphragm member 2 such as a thin polyimide layer is interposed therebetween. It is possible to prevent the pressure in the pressurized liquid chamber 6 from escaping to the outside, and to efficiently eject droplets.

ノズル板3は、各加圧液室6に対応して直径10〜30μmの多数のノズル4を形成し、流路基板1のリストリクタプレート1Aに接着剤接合している。このノズル板3としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面(吐出方向の表面:吐出面)には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。   The nozzle plate 3 forms a large number of nozzles 4 having a diameter of 10 to 30 μm corresponding to the pressurized liquid chambers 6 and is bonded to the restrictor plate 1 </ b> A of the flow path substrate 1 with an adhesive. As this nozzle plate 3, what consists of metals, such as stainless steel and nickel, resin, such as a polyimide resin film, silicon | silicone, and those combinations can be used. Further, a water repellent film is formed on the nozzle surface (surface in the ejection direction: ejection surface) by a known method such as a plating film or a water repellent coating in order to ensure water repellency with ink.

そして、振動板部材2の面外側(加圧液室6と反対面側)に島状凸部2Bを介して各加圧液室6に対応して圧力発生手段(アクチュエータ手段)を構成する積層型圧電素子12をそれぞれ接合し、これらの積層型圧電素子12をベース部材13に接合している。複数の圧電素子12は1つの圧電素子部材12Aに溝加工(スリット加工)によって分断することなく形成したものであり、圧電素子部材12Aは複数個圧電素子12の並び方向に沿ってベース部材13上に固定配置している。また、圧電素子12の一端面には駆動波形を与えるためのFPCケーブル14を接続している。   And the lamination | stacking which comprises a pressure generation means (actuator means) corresponding to each pressurization liquid chamber 6 via the island-like convex part 2B on the surface outside (surface opposite to the pressurization liquid chamber 6) of the diaphragm member 2. Each of the piezoelectric elements 12 is joined, and the laminated piezoelectric elements 12 are joined to the base member 13. The plurality of piezoelectric elements 12 are formed on one piezoelectric element member 12A without being divided by groove processing (slit processing). The piezoelectric element members 12A are formed on the base member 13 along the arrangement direction of the plurality of piezoelectric elements 12. It is fixedly arranged. Further, an FPC cable 14 for giving a driving waveform is connected to one end face of the piezoelectric element 12.

圧電素子部材12Aは、図5に示すように、厚さ10〜50μm/1層のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の圧電層121と、厚さ数μm/1層の銀・パラジューム(AgPd)からなる内部電極層122とを交互に積層したものであり、内部電極122を交互に端面の端面電極(外部電極)である図示しない個別電極及び共通電極にそれぞれ電気的に接続したものである。この圧電定数がd33(d33は内部電極面に垂直(厚み方向)の伸び縮みを指す。)である圧電素子12の伸縮により振動板領域2Aを変位させて液室6を収縮、膨張させるようになっている。圧電素子12に駆動信号が印加され充電が行われると伸長し、また圧電素子12に充電された電荷が放電すると反対方向に収縮する。   As shown in FIG. 5, the piezoelectric element member 12A is composed of a lead zirconate titanate (PZT) piezoelectric layer 121 having a thickness of 10 to 50 μm / layer and a silver / palladium (AgPd) having a thickness of several μm / layer. The internal electrode layers 122 are alternately stacked, and the internal electrodes 122 are alternately electrically connected to individual electrodes and common electrodes (not shown) which are end electrodes (external electrodes) on the end faces. The diaphragm region 2A is displaced by the expansion and contraction of the piezoelectric element 12 whose piezoelectric constant is d33 (d33 indicates the expansion / contraction perpendicular to the internal electrode surface (thickness direction)) so that the liquid chamber 6 contracts and expands. It has become. When the drive signal is applied to the piezoelectric element 12 and charging is performed, the piezoelectric element 12 expands. When the charge charged in the piezoelectric element 12 is discharged, the piezoelectric element 12 contracts in the opposite direction.

なお、圧電素子12の圧電方向としてd33方向の変位を用いて加圧液室6内インクを加圧する構成とすることも、圧電素子12の圧電方向としてd31方向の変位を用いて加圧液室6内インクを加圧する構成とすることもできる。本実施形態ではd33方向の変位を用いた構成をとっている。   It should be noted that the ink in the pressurized liquid chamber 6 may be pressurized using the displacement in the d33 direction as the piezoelectric direction of the piezoelectric element 12, or the pressurized liquid chamber using the displacement in the d31 direction as the piezoelectric direction of the piezoelectric element 12. It is also possible to employ a configuration in which the ink in the six is pressurized. In the present embodiment, a configuration using displacement in the d33 direction is adopted.

ベース部材13は金属材料で形成することが好ましい。ベース部材13の材質(材料)が金属であれば、圧電素子12の自己発熱による蓄熱を防止することができる。圧電素子12とベース部材13は接着剤により接着接合しているが、チャンネル数が増えると、圧電素子12の自己発熱により100℃近くまで温度が上昇し、接合強度が著しく低下することになる。また、自己発熱によりヘッド内部の温度上昇が発生し、インク温度が上昇するが、インクの温度が上昇すると、インク粘度が低下し、噴射特性に大きな影響を与える。したがって、ベース部材13を金属材料で形成して圧電素子12の自己発熱による蓄熱を防止することで、これらの接合強度の低下、インク粘度の低下による噴射特性の劣化を防止することができる   The base member 13 is preferably formed of a metal material. If the material (material) of the base member 13 is a metal, heat storage due to self-heating of the piezoelectric element 12 can be prevented. The piezoelectric element 12 and the base member 13 are bonded and bonded with an adhesive. However, when the number of channels increases, the temperature rises to near 100 ° C. due to self-heating of the piezoelectric element 12 and the bonding strength is significantly reduced. Further, due to self-heating, the temperature inside the head increases, and the ink temperature rises. However, when the ink temperature rises, the ink viscosity decreases, and the ejection characteristics are greatly affected. Therefore, by forming the base member 13 of a metal material and preventing heat storage due to self-heating of the piezoelectric element 12, it is possible to prevent deterioration in jetting characteristics due to a decrease in bonding strength and a decrease in ink viscosity.

さらに、振動板2の周囲にはフレーム部材17を接着剤で接合している。そして、このフレーム部材17には、振動板2の樹脂層22で構成した変形可能な部分としてのダイアフラム部2Cを介して共通液室8に隣接するバッファ室18を形成している。ダイアフラム部2Cは共通液室8及びバッファ室18の壁面を形成する。なお、バッファ室18は連通路20を介して大気と連通させている。   Further, a frame member 17 is joined around the diaphragm 2 with an adhesive. A buffer chamber 18 adjacent to the common liquid chamber 8 is formed in the frame member 17 via a diaphragm portion 2 </ b> C as a deformable portion constituted by the resin layer 22 of the diaphragm 2. The diaphragm portion 2 </ b> C forms wall surfaces of the common liquid chamber 8 and the buffer chamber 18. The buffer chamber 18 communicates with the atmosphere via the communication path 20.

また、この液体吐出ヘッドでは、圧電素子12は300dpiの間隔で形成し、それが対向して2列に並んでいる構成としている。また、加圧液室6及びノズル4は1列150dpiの間隔で2列を千鳥状に並べて配置しており、300dpiの解像度を1スキャンで得ることができる。この場合、1列に並ぶ複数の圧電素子12は、交互に駆動する圧電素子12と単なる支柱部となる駆動されない圧電素子12(これを「支柱部16」と表記する。)となる。   In this liquid discharge head, the piezoelectric elements 12 are formed at intervals of 300 dpi and are arranged in two rows so as to face each other. Further, the pressurized liquid chamber 6 and the nozzle 4 are arranged in two rows in a staggered manner at intervals of 150 dpi, and a resolution of 300 dpi can be obtained in one scan. In this case, the plurality of piezoelectric elements 12 arranged in a row are the piezoelectric elements 12 that are alternately driven and the non-driven piezoelectric elements 12 that are simply the pillars (this will be referred to as “posts 16”).

また、上述したようにこの液体吐出ヘッドは、ほとんどの部材をSUSから形成し、その熱膨張係数を揃えているので、ヘッドの組立中、あるいは、使用中における熱膨張による種々の不具合を避けることができる。   In addition, as described above, since this liquid discharge head is made of SUS and has the same thermal expansion coefficient, various problems due to thermal expansion during the assembly or use of the head are avoided. Can do.

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子12に印加する電圧を基準電位から下げることによって圧電素子12が収縮し、振動板2が下降して加圧液室6の容積が膨張することで、加圧液室6内にインクが流入し、その後圧電素子12に印加する電圧を上げて圧電素子12を積層方向に伸長させ、振動板2をノズル4方向に変形させて加圧液室6の容積/体積を収縮させることにより、加圧液室6内の記録液が加圧され、ノズル4から記録液の滴が吐出(噴射)される。   In the liquid ejection head configured as described above, for example, the voltage applied to the piezoelectric element 12 is lowered from the reference potential, the piezoelectric element 12 contracts, and the diaphragm 2 descends to expand the volume of the pressurized liquid chamber 6. Thus, the ink flows into the pressurized liquid chamber 6, and then the voltage applied to the piezoelectric element 12 is increased to extend the piezoelectric element 12 in the stacking direction, and the diaphragm 2 is deformed in the nozzle 4 direction to pressurize the liquid. By contracting the volume / volume of the chamber 6, the recording liquid in the pressurized liquid chamber 6 is pressurized, and droplets of the recording liquid are ejected (jetted) from the nozzle 4.

そして、圧電素子12に印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板2が初期位置に復元し、加圧液室6が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室8から加圧液室6内に記録液が充填される。そこで、ノズル4のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。   Then, by returning the voltage applied to the piezoelectric element 12 to the reference potential, the diaphragm 2 is restored to the initial position, and the pressurized liquid chamber 6 expands to generate a negative pressure. The pressurized liquid chamber 6 is filled with a recording liquid. Therefore, after the vibration of the meniscus surface of the nozzle 4 is attenuated and stabilized, the operation proceeds to the next droplet discharge.

なお、このヘッドの駆動方法については上記の例(引き−押し打ち)に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行うこともできる。   Note that the driving method of the head is not limited to the above example (drawing-pushing), and striking or pushing can be performed depending on the direction of the drive waveform.

次に、この液体吐出ヘッドにおける振動板部材2について説明する。
この振動板部材2は、SUS基板などの金属部材21に、この金属部材21の熱膨張係数よりも大きな線膨張係数を有する樹脂、例えば金属部材21の熱膨張係数よりも大きな線膨張係数に調製したポリイミド前駆体を直接塗布(塗工)し、この塗工膜を加熱してイミド化して固化させることで、金属部材21上に直接接着剤を介することなく樹脂層22を接合形成したものである。
Next, the diaphragm member 2 in the liquid discharge head will be described.
The diaphragm member 2 is prepared on a metal member 21 such as a SUS substrate with a resin having a linear expansion coefficient larger than the thermal expansion coefficient of the metal member 21, for example, a linear expansion coefficient larger than the thermal expansion coefficient of the metal member 21. The resin layer 22 is bonded and formed on the metal member 21 directly without using an adhesive by applying (coating) the polyimide precursor directly and heating the coating film to imidize and solidify it. is there.

そして、金属部材21をエッチングして樹脂層22で形成される振動板領域(変形可能な領域)2Aに対応して島状凸部2Bを形成し(振動板領域2Aのうちの島状凸部2B以外の部分を除去し)、また、樹脂層22で形成されるダイアフラム部2Cに対応する部分を除去し、更に、流路基板1の液室間隔壁部6Aに対応して厚肉部2Dを形成している。   And the island-shaped convex part 2B is formed corresponding to the diaphragm area | region (deformable area | region) 2A formed by the resin layer 22 by etching the metal member 21 (the island-shaped convex part in the diaphragm area 2A) 2B), the portion corresponding to the diaphragm portion 2C formed of the resin layer 22 is removed, and the thick portion 2D corresponding to the liquid chamber interval wall portion 6A of the flow path substrate 1 is removed. Is forming.

この振動板部材2の樹脂層22には流路基板1の液室間隔壁部6Aを接着剤31で接合し、また、島状凸部2Bには駆動部となる圧電素子12を接着剤32で接合し、液室間隔壁部6Aに対応する厚肉部2Dには支柱部となる圧電素子12(支柱部16)を接着剤32で接合している。   The liquid chamber interval wall 6A of the flow path substrate 1 is bonded to the resin layer 22 of the vibration plate member 2 with an adhesive 31, and the piezoelectric element 12 serving as a driving unit is bonded to the island-shaped convex portion 2B with an adhesive 32. The piezoelectric element 12 (the column portion 16) serving as a column portion is bonded with an adhesive 32 to the thick portion 2D corresponding to the liquid chamber interval wall portion 6A.

このように、振動板部材2は、金属部材21上に、この金属部材21の線膨張係数よりも大きな線膨張係数を持つ樹脂を直接塗布して加熱して固化させることで形成された振動板領域2Aを形成する樹脂層22を有しているので、樹脂層22をワニス工法で形成した場合でも、樹脂層22の収縮量が金属部材21よりも大きく、樹脂層22の皺の発生が低減し、これによりノズル間での液滴吐出特性のバラツキが低減する。   Thus, the diaphragm member 2 is formed by directly applying a resin having a linear expansion coefficient larger than the linear expansion coefficient of the metal member 21 on the metal member 21 and heating and solidifying the resin. Since the resin layer 22 forming the region 2A is included, even when the resin layer 22 is formed by a varnish method, the shrinkage amount of the resin layer 22 is larger than that of the metal member 21, and the generation of wrinkles in the resin layer 22 is reduced. As a result, variations in droplet discharge characteristics between nozzles are reduced.

つまり、図6に示すように、振動板領域2Aに島状凸部2Bを設ける場合、液室の並び方向で、島状凸部2Bによって液室並び方向(チャンネルの並び方向、ノズルの並び方向も同義語である。)の幅L2となる樹脂層22の部分(樹脂層単層領域)2Abよりも、島状凸部2Bがなく幅L1(L1>L2)となる樹脂層22の部分(振動板領域2Aの幅方向全域に亘り樹脂層22のみで形成される部分:これを「樹脂層単層領域」という。)2Aaで皺が発生し易くなるが、この樹脂層単層領域2Aaで樹脂層22の皺が発生すると、液室6内に対する圧電素子12の変位伝達効率が変動し、その結果、ノズル間で液滴吐出特性にバラツキが生じることになる。これに対して、本発明における振動板部材2では樹脂層22の単層領域での皺の発生が抑制されることで滴吐出特性のバラツキが抑制されるのである。   That is, as shown in FIG. 6, in the case where the island-shaped protrusions 2B are provided in the diaphragm region 2A, the liquid chamber alignment direction (channel alignment direction, nozzle alignment direction) by the island-shaped protrusions 2B in the liquid chamber alignment direction. Is also a synonym.) The portion of the resin layer 22 where the width L1 (L1> L2) does not exist, and the portion of the resin layer 22 (resin layer single layer region) 2Ab is less than the width L2 (the resin layer single layer region) 2Ab A portion formed only by the resin layer 22 over the entire width direction of the diaphragm region 2A: this is referred to as a “resin layer single layer region”. 2Aa tends to generate wrinkles, but the resin layer single layer region 2Aa When wrinkles of the resin layer 22 occur, the displacement transmission efficiency of the piezoelectric element 12 with respect to the liquid chamber 6 fluctuates, and as a result, the droplet discharge characteristics vary among the nozzles. On the other hand, in the diaphragm member 2 according to the present invention, the occurrence of wrinkles in the single layer region of the resin layer 22 is suppressed, thereby suppressing variations in droplet discharge characteristics.

このように、振動板領域にはこの振動板領域の幅方向全域に亘り樹脂層のみで形成される部分がある構成とすることで、圧電素子の変位を効率的に突起部(島状凸部)を介して振動板領域に伝達できるとともに、振動板領域となる樹脂層の皺の発生が抑制されることで滴吐出特性のバラツキが抑制される。   In this way, the diaphragm region has a portion formed only by the resin layer over the entire width direction of the diaphragm region, so that the displacement of the piezoelectric element can be efficiently suppressed by the protrusion (island-shaped protrusion). ) To the diaphragm region, and the occurrence of wrinkles in the resin layer serving as the diaphragm region is suppressed, thereby suppressing variations in the droplet discharge characteristics.

そこで、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法における振動板部材2の製造方法について図7及び図8を参照して説明する。
先ず、図7を参照して金属部材21と樹脂層22とが接合された部材50の製造工程について説明すると、図7(a)に示す第1のステップでは、金属部材21として洗浄等の前処理により表面が活性化された例えばSUS304のテンションアニール材(以下「SUS304−TA」とも記す。)を準備する。金属部材21としては、SUS304以外のSUS材(SUS303、SUS316、SUS412等)や銅、ニッケル、クロム等の金属、またはそれらの合金、更にはSiなどの半導体を用いることができる。
Therefore, a manufacturing method of the diaphragm member 2 in the manufacturing method of the liquid discharge head according to the present invention will be described with reference to FIGS.
First, the manufacturing process of the member 50 in which the metal member 21 and the resin layer 22 are joined will be described with reference to FIG. 7. In the first step shown in FIG. For example, a SUS304 tension annealing material (hereinafter also referred to as “SUS304-TA”) whose surface is activated by the treatment is prepared. As the metal member 21, SUS materials other than SUS304 (SUS303, SUS316, SUS412 and the like), metals such as copper, nickel, and chromium, alloys thereof, and semiconductors such as Si can be used.

この金属部材21は吐出させる液体に接触することがない構造であるので、材料選択に当たって吐出させる液体による腐食、侵食を考慮する必要はないが、吐出させる液体に接触する構造をとった場合は耐腐食性材料を選択する必要がある。また、振動板部材2と流路基板1との接着や、振動板部材2と圧電素子12との接着時に接着剤を硬化させるために百数十度の加熱を要する。SUS材を用いる場合は熱処理工程を通った材料、例えばブライトアニール材やテンションアニール材等を用いることが好ましいが、熱処理工程を通さない材料でも適用できる。特に応力緩和処理されているテンションアニール材は長尺のヘッドやフルライン型ヘッドには好適である。前処理の洗浄は主に脱脂を目的とし、溶剤を使った洗浄が好ましい。   Since the metal member 21 has a structure that does not come into contact with the liquid to be ejected, it is not necessary to consider corrosion and erosion due to the liquid to be ejected in selecting a material. It is necessary to select a corrosive material. In addition, heating is required for several hundreds of degrees in order to cure the adhesive when the diaphragm member 2 and the flow path substrate 1 are bonded or when the diaphragm member 2 and the piezoelectric element 12 are bonded. In the case of using the SUS material, it is preferable to use a material that has passed through the heat treatment step, such as a bright annealing material or a tension annealing material, but a material that does not pass through the heat treatment step can also be applied. In particular, a tension annealing material that has been subjected to stress relaxation treatment is suitable for a long head or a full-line head. The pretreatment is mainly performed for degreasing and is preferably performed using a solvent.

続いて、図7(b)及び(c)に示す第2のステップでは、洗浄を行い表面を活性化させた金属部材21(SUS304−TA)上に、ポリイミドの前駆体であるポリアミック酸ワニス51を、金属部材21(SUS304−TA)の表面から一定のギャップgを保ってブレード52を用いて塗工する。ポリアミック酸ワニス51の塗布方法としては、ポリアミック酸ワニス溶液中にSUS304−TAを浸漬する浸漬法や、スプレーコーティング法でも適用できる。   Subsequently, in the second step shown in FIGS. 7B and 7C, the polyamic acid varnish 51, which is a polyimide precursor, is formed on the metal member 21 (SUS304-TA) whose surface has been activated by cleaning. Is applied using a blade 52 while maintaining a certain gap g from the surface of the metal member 21 (SUS304-TA). As a method for applying the polyamic acid varnish 51, an immersion method in which SUS304-TA is immersed in a polyamic acid varnish solution or a spray coating method can be applied.

その後、図7(d)に示す第3のステップで、金属部材21上に塗工したポリアミック酸ワニス51を120℃で乾燥させ、ステップで徐々に360℃まで温度を上げ、イミド化させ、樹脂層22を形成する。本例で用いたポリイミド以外にも使うことができるが、そのときの乾燥温度、イミド化温度は材料の成分によって選ぶことになる。   Thereafter, in the third step shown in FIG. 7 (d), the polyamic acid varnish 51 coated on the metal member 21 is dried at 120 ° C., and the temperature is gradually raised to 360 ° C. in the step to imidize the resin. Layer 22 is formed. Although it can be used other than the polyimide used in this example, the drying temperature and imidization temperature at that time are selected according to the components of the material.

以上の工法を用いることで、接着力と寸法安定性に優れた無接着剤の積層部材が作れる。このとき、複数のワニスを調合して樹脂振動板の線膨張係数を金属部材の線膨張係数よりも大きくしているので、金属部材をエッチングしても振動板の皺の発生を抑制し、ノズル毎の吐出特性を安定にできる。   By using the above method, a non-adhesive laminated member excellent in adhesive strength and dimensional stability can be produced. At this time, a plurality of varnishes are mixed so that the linear expansion coefficient of the resin diaphragm is larger than the linear expansion coefficient of the metal member. Each discharge characteristic can be stabilized.

ここでは、樹脂層22の膜厚は6μmとした。樹脂層22の膜厚が6μmになるようにポリアミック酸ワニス51を塗布する。好ましい樹脂層22の膜厚は3〜7μmの範囲でより高い特性の液吐出装置が得られる。また、膜厚のばらつきは0.5μm以下にすることが好ましい。一方、金属部材21としては板厚20μmのSUS304−TAを用いた。島状凸部2B間の加工を考慮して板厚は決められるが、板厚は薄いほうがエッチング加工性の面では良い。ただし、金属部材21の板厚が薄くなりすぎると、樹脂層22と金属部材21との積層部材のコシが弱くなり、エッチング加工作業性、部材組立性の点で不利になるため、金属部材21の板厚は10〜25μm程度が好ましい。   Here, the film thickness of the resin layer 22 was 6 μm. The polyamic acid varnish 51 is applied so that the thickness of the resin layer 22 is 6 μm. A liquid discharge apparatus having higher characteristics can be obtained when the thickness of the resin layer 22 is preferably in the range of 3 to 7 μm. Further, the variation in film thickness is preferably 0.5 μm or less. On the other hand, as the metal member 21, SUS304-TA having a plate thickness of 20 μm was used. The plate thickness is determined in consideration of the processing between the island-shaped convex portions 2B, but a thinner plate thickness is better in terms of etching processability. However, if the thickness of the metal member 21 becomes too thin, the stiffness of the laminated member of the resin layer 22 and the metal member 21 is weakened, which is disadvantageous in terms of etching workability and member assembly. The plate thickness is preferably about 10 to 25 μm.

なお、上述したワニス工法以外の工法として金属部材21となるSUS304−TAを金型に装填した後、ポリアミック酸ワニス51を金型に流し込み固化することで樹脂層22を成形する工法も適用できる。ただし、この工法の場合、長尺化では金型が大きくなり金型の維持管理費等の製造コストの面でワニス工法よりもやや不利になる。   As a method other than the above-described varnish method, a method of forming the resin layer 22 by pouring the polyamic acid varnish 51 into a mold and solidifying it after applying SUS304-TA serving as the metal member 21 to the mold can be applied. However, in the case of this construction method, when the length is increased, the mold becomes larger, which is slightly disadvantageous compared to the varnish construction method in terms of manufacturing costs such as mold maintenance and management costs.

次に、図8を参照して金属部材21と樹脂層22とが接合された部材50の金属部材21をエッチングして所要の振動板部材2とする製造工程について説明すると、図8(a)に示すように、上述した図7で説明した工程で得られた金属部材21と樹脂層22とが接着剤を介することなく接合された部材50を準備する。   Next, a manufacturing process in which the metal member 21 of the member 50 in which the metal member 21 and the resin layer 22 are joined is etched to obtain the required diaphragm member 2 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 5, a member 50 is prepared in which the metal member 21 and the resin layer 22 obtained in the process described with reference to FIG. 7 are joined without using an adhesive.

そして、図8(b)に示す第4のステップでは、金属部材21(SUS304−TA)の露出側に所望のパターンでエッチングマスク53を形成する。SUS材はエッチングマスクであるレジストとは比較的密着性が弱いので、レジストを塗布する前に、アルゴンや窒素などの不活性ガス中でプラズマ処理をすることで密着性を上げることができる。また、塩酸等を用いた薬液処理でも密着性向上は図れる。   In a fourth step shown in FIG. 8B, an etching mask 53 is formed in a desired pattern on the exposed side of the metal member 21 (SUS304-TA). Since the SUS material has relatively low adhesion to the resist that is an etching mask, the adhesion can be improved by performing plasma treatment in an inert gas such as argon or nitrogen before applying the resist. In addition, adhesion can be improved by chemical treatment using hydrochloric acid or the like.

次いで、図8(c)に示す第5のステップでは、マスキングされた金属部材21(SUS304−TA)に対して塩化第二鉄を主成分とするエッチャントを接触させてエッチングし、島状凸部2B、厚肉部2Dなどを形成する。その後、図8(d)に示すように、エッチングマスク53を除去して、振動板部材2を完成する。   Next, in a fifth step shown in FIG. 8C, etching is performed by bringing an etchant mainly composed of ferric chloride into contact with the masked metal member 21 (SUS304-TA) and etching. 2B, thick part 2D, etc. are formed. Thereafter, as shown in FIG. 8D, the etching mask 53 is removed, and the diaphragm member 2 is completed.

以上の工法を用いることで、突起部(島状凸部)になるところが金属部材の加工時にマスキングされるので、金属部材の厚さを維持することができるため、突起部の高さばらつきは金属部材の膜厚となり、高さ管理が容易である。高さばらつきが小さく高さ管理がされた突起に対して、圧電素子を取り付けられるため、金属部材と圧電素子との接着強度ばらつきが抑制され、圧電素子の変位を、効率よくばらつきが小さく、振動板領域2Aに伝えることができるようになり、ノズル毎の滴吐出特性を安定にできる。   By using the above method, the protrusion (island-shaped protrusion) is masked at the time of processing the metal member, so that the thickness of the metal member can be maintained. It becomes the film thickness of the member, and height management is easy. Since the piezoelectric element can be attached to the protrusion with small height variation and height management, variation in the adhesive strength between the metal member and the piezoelectric element is suppressed, and the displacement of the piezoelectric element is efficiently reduced with less variation. It becomes possible to transmit to the plate region 2A, and the droplet discharge characteristics for each nozzle can be stabilized.

次に、図9を参照して振動板部材2と圧電素子12とを接合した部材(圧電アクチュエータ)の接合工程について説明する。
ここでは、図9(a)に示すように、上述した図8で示す構成で製造された振動板部材2の金属部材21で形成されている島状凸部(突起部)2Bに対して加熱処理にてイミド化させ結合している樹脂層22からなる振動板部材2を準備する。突起部2Bは樹脂層22と接着剤を介さずに接合されているため、突起部2Bの高さばらつきは金属部材21の母材の板厚ばらつきのみとなり、十分に高さ管理がされたものである。
Next, with reference to FIG. 9, the joining process of the member (piezoelectric actuator) which joined the diaphragm member 2 and the piezoelectric element 12 is demonstrated.
Here, as shown in FIG. 9A, the island-shaped convex portion (projection portion) 2B formed by the metal member 21 of the diaphragm member 2 manufactured with the configuration shown in FIG. 8 is heated. A diaphragm member 2 comprising a resin layer 22 imidized and bonded by processing is prepared. Since the protrusion 2B is bonded to the resin layer 22 without using an adhesive, the height variation of the protrusion 2B is only the thickness variation of the base material of the metal member 21, and the height is sufficiently controlled. It is.

また、図9(b)に示すように、圧電定数がd33である圧電素子12(圧電素子部材12)を準備する。圧電定数がd33である圧電素子12は、前述したように、厚さ10〜50μm/1層のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)の圧電層121と、厚さ数μm/1層の銀・パラジューム(AgPd)からなる内部電極層122とを交互に積層したものであり、内部電極122を交互に端面の端面電極(外部電極)である個別電極(図示せず)、共通電極(図示せず)に電気的に接続したものである。   Further, as shown in FIG. 9B, a piezoelectric element 12 (piezoelectric element member 12) having a piezoelectric constant d33 is prepared. As described above, the piezoelectric element 12 having a piezoelectric constant d33 is composed of a lead zirconate titanate (PZT) piezoelectric layer 121 having a thickness of 10 to 50 μm / layer and a silver / palladium having a thickness of several μm / layer. The internal electrode layers 122 made of (AgPd) are alternately stacked, and the internal electrodes 122 are alternately arranged as individual electrodes (not shown) which are end face electrodes (external electrodes) and common electrodes (not shown). Are electrically connected.

そして、図9(c)に示すように、振動板部材2の島状凸部2Bに圧電素子12を接着剤31で接合する。   Then, as shown in FIG. 9C, the piezoelectric element 12 is bonded to the island-shaped convex portion 2 </ b> B of the diaphragm member 2 with an adhesive 31.

以上の工法を用いることで、高さばらつきが小さく高さ管理がされた島状凸部に対して圧電素子を取り付けられるため、金属部材21と圧電素子12との接着強度ばらつきが抑制され、圧電素子の変位を効率よくばらつきが小さく振動板領域2Aに伝えることができるようになり、ノズル毎の吐出特性を安定にできる。また、島状凸部と圧電素子の接合面における平面度が出やすく、高い接合信頼性が得られることから製造歩留まりを上げることができる。   By using the above construction method, since the piezoelectric element can be attached to the island-shaped convex part whose height variation is small and the height is controlled, the adhesive strength variation between the metal member 21 and the piezoelectric element 12 is suppressed, and the piezoelectric element is suppressed. The displacement of the element can be efficiently transmitted to the diaphragm region 2A with little variation, and the discharge characteristics for each nozzle can be stabilized. Further, the flatness at the joint surface between the island-shaped convex portion and the piezoelectric element is easily obtained, and high joint reliability can be obtained, so that the manufacturing yield can be increased.

次に、振動板部材2における樹脂層22の撓みについて図10及び図11を参照して説明する。
図10に示すように、ポリイミドの前駆体である複数種のポリアミック酸ワニス51を調合して、イミド化処理されることでイミド結合を持つようになったポリマからなる線膨張係数(ppm/K)の異なる4種類の樹脂層(ポリイミド膜)22を準備した。樹脂層22の膜厚は全て6μmに揃えた。また、積層する金属部材21であるSUS304−TAの板厚は20μmで、線膨張係数は17〜18ppm/Kである。
Next, the bending of the resin layer 22 in the diaphragm member 2 will be described with reference to FIGS. 10 and 11.
As shown in FIG. 10, a plurality of types of polyamic acid varnishes 51, which are polyimide precursors, were prepared, and linear expansion coefficient (ppm / K) made of a polymer having an imide bond by being imidized. 4) different resin layers (polyimide film) 22 were prepared. The film thickness of the resin layer 22 was all adjusted to 6 μm. Moreover, the plate | board thickness of SUS304-TA which is the metal member 21 to laminate | stack is 20 micrometers, and a linear expansion coefficient is 17-18 ppm / K.

そして、樹脂層22とSUS304−TAからなる金属部材21とが接着剤を介さずに結合された部材シートに対して、SUS304−TAに対して塩化第二鉄を主成分とするエッチャントを接触させてエッチングし4.5mm×4.5mmサイズの樹脂層22の単層膜領域を形成した。金属部材21がエッチング除去された4.5mm×4.5mmサイズの樹脂層22の単層膜領域の表面形状(撓み)を計測した結果を図10に示している。なお、同図中、「CTE」は、Coefficient of Thermal Expansion(線膨張係数)を示している。また、同図の結果を図11に線図で示している。   Then, an etchant mainly composed of ferric chloride is brought into contact with SUS304-TA to the member sheet in which the resin layer 22 and the metal member 21 made of SUS304-TA are bonded without using an adhesive. Etching was performed to form a single-layer film region of the resin layer 22 having a size of 4.5 mm × 4.5 mm. FIG. 10 shows the measurement result of the surface shape (deflection) of the single layer film region of the resin layer 22 having a size of 4.5 mm × 4.5 mm from which the metal member 21 has been removed by etching. In the figure, “CTE” indicates Coefficient of Thermal Expansion. Moreover, the result of the figure is shown with the diagram in FIG.

これらの結果から、金属部材21よりも線膨張係数が小さい調合Aの樹脂層では表面変位(撓み)が大きくなっており、金属部材21よりも線膨張係数が大きい調合B、C、Dの樹脂層では相対的に表面変位(撓み)が小さくなっている。   From these results, the resin layer of Formulation A having a smaller linear expansion coefficient than that of the metal member 21 has a large surface displacement (deflection), and the resins of Formulations B, C, and D having a greater linear expansion coefficient than that of the metal member 21. The surface displacement (deflection) is relatively small in the layer.

この例のような方法で作製した樹脂層を用いた、金属部材21と樹脂層22との積層膜では250〜400℃程度の高温で硬化し、金属部材21と固着するため、金属部材21よりも線膨張係数が小さい調合(調合A)の樹脂層の場合は、金属部材21をエッチングし消失させると、硬化温度よりも低い温度の室温付近では樹脂層22に弛みが生じる。逆に、金属部材21よりも線膨張係数が大きい調合(調合B、C、D)の樹脂層の場合は、一様に張られた状態になっている。   The laminated film of the metal member 21 and the resin layer 22 using the resin layer produced by the method as in this example is cured at a high temperature of about 250 to 400 ° C. and fixed to the metal member 21. In the case of a resin layer having a small linear expansion coefficient (preparation A), if the metal member 21 is etched away, the resin layer 22 becomes slack near room temperature, which is lower than the curing temperature. On the contrary, in the case of a resin layer having a larger linear expansion coefficient than that of the metal member 21 (preparation B, C, D), the resin layer is uniformly stretched.

図11は図10の結果をグラフ化したもので、金属部材21よりも線膨張係数が小さい調合Aの樹脂層の撓みに対して、金属部材21よりも線膨張係数が大きい調合B、C、Dの樹脂層で顕著に撓みが小さくなっていることが分かる。   FIG. 11 is a graph of the result of FIG. 10, and the blends B, C, and B having a linear expansion coefficient larger than that of the metal member 21 with respect to the bending of the resin layer of the blend A having a smaller linear expansion coefficient than that of the metal member 21. It can be seen that the deflection is significantly reduced in the resin layer D.

また、ここでは、同時に金属部材21と樹脂層22との積層膜の反りについても測定した。その結果を図12に示している。なお、図12は75mmの大きさでの反りの測定結果である。これより、樹脂層22の線膨張係数を大きくすると、積層膜の反りは大きくなる傾向を示した。特に、調合Cと調合Dとの間では顕著な変化が見られ、樹脂層22の撓みの結果とは相反する傾向を示しており、調合B〜調合C程度の線膨張係数とすることが最も好ましいことも判った。   Here, the warpage of the laminated film of the metal member 21 and the resin layer 22 was also measured at the same time. The result is shown in FIG. FIG. 12 shows the measurement result of warpage with a size of 75 mm. Accordingly, when the linear expansion coefficient of the resin layer 22 is increased, the warpage of the laminated film tends to increase. In particular, a remarkable change is seen between Formulation C and Formulation D, showing a tendency that is contrary to the result of the bending of the resin layer 22, and the linear expansion coefficient of about Formulation B to Formulation C is the most. I also found it preferable.

したがって、17〜18ppm/K程度の線膨張係数をもつ金属部材に樹脂層を直接成膜する場合、樹脂層22の線膨張係数は金属部材よりも大きく、23.5ppm/K以下の範囲とすることが、樹脂層22の撓み抑制と積層膜の反り抑制の両面で最適な範囲であるといえる。   Therefore, when a resin layer is directly formed on a metal member having a linear expansion coefficient of about 17 to 18 ppm / K, the linear expansion coefficient of the resin layer 22 is larger than that of the metal member and is in a range of 23.5 ppm / K or less. It can be said that this is the optimum range in terms of both suppression of bending of the resin layer 22 and suppression of warpage of the laminated film.

この場合、理論的には樹脂層の線膨張係数が金属部材の線膨張係数と同じであれば皺の発生は抑制されるが、樹脂の製造ばらつきを考慮した場合、樹脂層の線膨張係数を金属部材の線膨張係数と完全に一致させることは不可能である。そして、金属部材よりも線膨張係数が小さい樹脂層の場合は樹脂層の撓みが急激に大きくなる。したがって、本発明のように積極的に金属部材よりも線膨張係数が大きい樹脂層を用いることで振動板部材及びダンパ部の皺の発生が抑制され、液体吐出ヘッドにおけるノズル毎の滴吐出特性のバラツキを抑えることができるようになる。   In this case, theoretically, if the linear expansion coefficient of the resin layer is the same as the linear expansion coefficient of the metal member, the generation of wrinkles is suppressed. It is impossible to completely match the linear expansion coefficient of the metal member. And in the case of the resin layer whose linear expansion coefficient is smaller than a metal member, the bending of a resin layer becomes large rapidly. Therefore, by actively using a resin layer having a linear expansion coefficient larger than that of the metal member as in the present invention, generation of wrinkles of the diaphragm member and the damper portion is suppressed, and the droplet discharge characteristics of each nozzle in the liquid discharge head are reduced. Variations can be suppressed.

また、金属部材をエッチングすることで島状凸部を形成することで、材料の板厚制御のみで金属部材の高さ制御が行えるため高さばらつきが小さくできる。これにより、金属部材と圧電素子との接着強度ばらつきが抑制され、圧電素子の変位を効率よく、ばらつきが小さく振動領域に伝えることができるようになり、更にノズル毎の滴吐出特性を安定にできる。   Further, by forming the island-shaped convex portions by etching the metal member, the height variation of the metal member can be controlled only by controlling the thickness of the material, so that the height variation can be reduced. As a result, the adhesive strength variation between the metal member and the piezoelectric element is suppressed, the displacement of the piezoelectric element can be efficiently transmitted with little variation, and the droplet ejection characteristics for each nozzle can be stabilized. .

さらには、この液体吐出ヘッドの吐出特性が安定することで液体吐出ヘッドを組み込んだ液体吐出装置における滴吐出性能の安定化を図ることができ、画像形成装置に組み込むことで画像品質の向上を図れる。   Furthermore, since the ejection characteristics of the liquid ejection head are stabilized, the droplet ejection performance of the liquid ejection apparatus incorporating the liquid ejection head can be stabilized, and the image quality can be improved by incorporating the liquid ejection head into the image forming apparatus. .

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例について図13を参照して説明する。なお、図13は同液体吐出ヘッドの一例を示す斜視説明図である。
この液体吐出ヘッド90は、ノズル91を有する液体吐出ヘッド部92に液体としての例えば記録液を供給する液体収容部(液体タンク)93とを一体的に備えている。これにより、タンク一体化型液体吐出ヘッドを得ることができる。
Next, another example of the liquid discharge head according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 13 is an explanatory perspective view showing an example of the liquid discharge head.
The liquid discharge head 90 is integrally provided with a liquid storage portion (liquid tank) 93 that supplies, for example, a recording liquid as a liquid to a liquid discharge head portion 92 having a nozzle 91. Thereby, a tank integrated liquid discharge head can be obtained.

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る液体吐出装置を含む画像形成装置の一例について図14及び図15を参照して説明する。なお、図14は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図、図15は同機構部の要部平面説明図である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板201A、201Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。
Next, an example of an image forming apparatus including the liquid ejection apparatus according to the present invention including the liquid ejection head according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 14 is a schematic configuration diagram for explaining the overall configuration of the mechanism unit of the apparatus, and FIG.
This image forming apparatus is a serial type image forming apparatus, and a carriage 233 is slidably held in the main scanning direction by main and sub guide rods 231 and 232 which are guide members horizontally mounted on the left and right side plates 201A and 201B. The main scanning motor that does not perform moving scanning in the direction indicated by the arrow (carriage main scanning direction) via the timing belt.

このキャリッジ233には、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド234a、234b(区別しないときは「記録ヘッド234」という。)を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。   The carriage 233 has recording heads 234a and 234b (which are composed of liquid ejection heads according to the present invention for ejecting ink droplets of each color of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (K). When not distinguished, it is referred to as “recording head 234”). A nozzle row composed of a plurality of nozzles is arranged in the sub-scanning direction orthogonal to the main scanning direction, and is mounted with the ink droplet ejection direction facing downward.

記録ヘッド234は、それぞれ2つのノズル列を有し、記録ヘッド234aの一方のノズル列はブラック(K)の液滴を、他方のノズル列はシアン(C)の液滴を、記録ヘッド234bの一方のノズル列はマゼンタ(M)の液滴を、他方のノズル列はイエロー(Y)の液滴を、それぞれ吐出する。   Each of the recording heads 234 has two nozzle rows. One nozzle row of the recording head 234a has black (K) droplets, the other nozzle row has cyan (C) droplets, and the recording head 234b has one nozzle row. One nozzle row ejects magenta (M) droplets, and the other nozzle row ejects yellow (Y) droplets.

また、キャリッジ233には、記録ヘッド234のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのヘッドタンク235a、235b(区別しないときは「ヘッドタンク35」という。)を搭載している。このサブタンク235には各色の供給チューブ36を介して、各色のインクカートリッジ210から各色のインクが補充供給される。   The carriage 233 is equipped with head tanks 235a and 235b (referred to as “head tank 35” when not distinguished) for supplying ink of each color corresponding to the nozzle rows of the recording head 234. The sub tank 235 is supplementarily supplied with ink of each color from the ink cartridge 210 of each color via the supply tube 36 of each color.

一方、給紙トレイ202の用紙積載部(圧板)241上に積載した用紙242を給紙するための給紙部として、用紙積載部241から用紙242を1枚ずつ分離給送する半月コロ(給紙コロ)243及び給紙コロ243に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド244を備え、この分離パッド244は給紙コロ243側に付勢されている。   On the other hand, as a paper feeding unit for feeding the paper 242 stacked on the paper stacking unit (pressure plate) 241 of the paper feed tray 202, a half-moon roller (feeding) that separates and feeds the paper 242 one by one from the paper stacking unit 241. A separation pad 244 made of a material having a large coefficient of friction is provided opposite to the sheet roller 243 and the sheet feeding roller 243, and the separation pad 244 is urged toward the sheet feeding roller 243 side.

そして、この給紙部から給紙された用紙242を記録ヘッド234の下方側に送り込むために、用紙242を案内するガイド部材245と、カウンタローラ246と、搬送ガイド部材247と、先端加圧コロ249を有する押さえ部材248とを備えるとともに、給送された用紙242を静電吸着して記録ヘッド234に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト251を備えている。   In order to feed the sheet 242 fed from the sheet feeding unit to the lower side of the recording head 234, a guide member 245 for guiding the sheet 242, a counter roller 246, a conveyance guide member 247, and a tip pressure roller. And a conveying belt 251 which is a conveying means for electrostatically attracting the fed paper 242 and conveying it at a position facing the recording head 234.

この搬送ベルト251は、無端状ベルトであり、搬送ローラ252とテンションローラ253との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向(副走査方向)に周回するように構成している。また、この搬送ベルト251の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ256を備えている。この帯電ローラ256は、搬送ベルト251の表層に接触し、搬送ベルト251の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト251は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ252が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。   The conveyor belt 251 is an endless belt, and is configured to wrap around the conveyor roller 252 and the tension roller 253 so as to circulate in the belt conveyance direction (sub-scanning direction). In addition, a charging roller 256 that is a charging unit for charging the surface of the transport belt 251 is provided. The charging roller 256 is disposed so as to come into contact with the surface layer of the conveyor belt 251 and to rotate following the rotation of the conveyor belt 251. The transport belt 251 rotates in the belt transport direction when the transport roller 252 is rotationally driven through timing by a sub-scanning motor (not shown).

さらに、記録ヘッド234で記録された用紙242を排紙するための排紙部として、搬送ベルト251から用紙242を分離するための分離爪261と、排紙ローラ262及び排紙コロ263とを備え、排紙ローラ262の下方に排紙トレイ203を備えている。   Further, as a paper discharge unit for discharging the paper 242 recorded by the recording head 234, a separation claw 261 for separating the paper 242 from the transport belt 251, a paper discharge roller 262, and a paper discharge roller 263 are provided. A paper discharge tray 203 is provided below the paper discharge roller 262.

また、装置本体1の背面部には両面ユニット271が着脱自在に装着されている。この両面ユニット271は搬送ベルト251の逆方向回転で戻される用紙242を取り込んで反転させて再度カウンタローラ246と搬送ベルト251との間に給紙する。また、この両面ユニット271の上面は手差しトレイ272としている。   A duplex unit 271 is detachably mounted on the back surface of the apparatus body 1. The duplex unit 271 takes in the paper 242 returned by the reverse rotation of the transport belt 251, reverses it, and feeds it again between the counter roller 246 and the transport belt 251. The upper surface of the duplex unit 271 is a manual feed tray 272.

さらに、キャリッジ233の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド234のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む維持回復機構281を配置している。この維持回復機構281には、記録ヘッド234の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材(以下「キャップ」という。)282a、282b(区別しないときは「キャップ282」という。)と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード283と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け284などを備えている。   Further, a maintenance / recovery mechanism 281 including a recovery means for maintaining and recovering the nozzle state of the recording head 234 is disposed in the non-printing area on one side in the scanning direction of the carriage 233. The maintenance / recovery mechanism 281 includes cap members (hereinafter referred to as “caps”) 282a and 282b (hereinafter referred to as “caps 282” when not distinguished) for capping each nozzle surface of the recording head 234, and nozzle surfaces. A wiper blade 283 that is a blade member for wiping the ink, and an empty discharge receiver 284 that receives liquid droplets for discharging the liquid droplets that do not contribute to recording in order to discharge the thickened recording liquid. ing.

また、キャリッジ233の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器であるインク回収ユニット(空吐出受け)288を配置し、このインク回収ユニット288には記録ヘッド234のノズル列方向に沿った開口部289などを備えている。   In addition, in the non-printing area on the other side in the scanning direction of the carriage 233, the liquid that receives liquid droplets when performing idle ejection that ejects liquid droplets that do not contribute to recording in order to discharge the recording liquid thickened during recording or the like. An ink recovery unit (empty discharge receiver) 288 that is a recovery container is disposed, and the ink recovery unit 288 includes an opening 289 along the nozzle row direction of the recording head 234 and the like.

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ202から用紙242が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙242はガイド245で案内され、搬送ベルト251とカウンタローラ246との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド237で案内されて先端加圧コロ249で搬送ベルト251に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。   In this image forming apparatus configured as described above, the sheets 242 are separated and fed one by one from the sheet feeding tray 202, and the sheet 242 fed substantially vertically upward is guided by the guide 245, and is conveyed to the conveyor belt 251 and the counter. It is sandwiched between the rollers 246 and conveyed, and further, the leading end is guided by the conveying guide 237 and pressed against the conveying belt 251 by the leading end pressing roller 249, and the conveying direction is changed by approximately 90 °.

このとき、帯電ローラ256に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト251が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト251上に用紙242が給送されると、用紙242が搬送ベルト251に吸着され、搬送ベルト251の周回移動によって用紙242が副走査方向に搬送される。   At this time, a positive output and a negative output are alternately applied to the charging roller 256, that is, an alternating voltage is applied, and a charging voltage pattern in which the conveying belt 251 alternates, that is, in the sub-scanning direction that is the circumferential direction. , Plus and minus are alternately charged in a band shape with a predetermined width. When the sheet 242 is fed onto the conveyance belt 251 charged alternately with plus and minus, the sheet 242 is attracted to the conveyance belt 251, and the sheet 242 is conveyed in the sub scanning direction by the circumferential movement of the conveyance belt 251.

そこで、キャリッジ233を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド234を駆動することにより、停止している用紙242にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙242を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙242の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙242を排紙トレイ203に排紙する。   Therefore, by driving the recording head 234 according to the image signal while moving the carriage 233, ink droplets are ejected onto the stopped paper 242 to record one line, and after the paper 242 is conveyed by a predetermined amount, Record the next line. Upon receiving a recording end signal or a signal that the trailing edge of the paper 242 has reached the recording area, the recording operation is finished and the paper 242 is discharged onto the paper discharge tray 203.

このようなシリアル型画像形成装置において、本発明に係る液体吐出ヘッドないしこれを含む液体吐出装置を備えることによって、安定した滴吐出特性が得られるので、高速で高画質画像を記録できるようになる。   In such a serial type image forming apparatus, by providing the liquid ejection head according to the present invention or the liquid ejection apparatus including the liquid ejection head, stable droplet ejection characteristics can be obtained, so that high-quality images can be recorded at high speed. .

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えた液体吐出装置を含む画像形成装置の他の例について図16を参照して説明する。なお、図16は同画像形成装置の概略構成図である。
この画像形成装置はフルライン型ヘッドを備えたライン型画像形成装置であり、装置本体401の内部に画像形成部402及び用紙を搬送する搬送機構403等を有し、装置本体401の一方側に多数枚の用紙405を積載可能な給紙トレイ404を備え、この給紙トレイ404から給紙される用紙405を取り込み、副走査搬送機構403によって用紙405を搬送しながら画像形成部402によって所要の画像を記録した後、装置本体401の他方側に装着された排紙トレイ406に用紙405を排紙する。
Next, another example of an image forming apparatus including a liquid discharge apparatus including the liquid discharge head according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 16 is a schematic configuration diagram of the image forming apparatus.
This image forming apparatus is a line type image forming apparatus provided with a full line type head. The image forming apparatus includes an image forming unit 402 and a transport mechanism 403 for transporting paper inside the apparatus main body 401. A paper feed tray 404 on which a large number of paper sheets 405 can be stacked is provided. After the image is recorded, the paper 405 is discharged onto a paper discharge tray 406 mounted on the other side of the apparatus main body 401.

画像形成部402は、記録液となる液体を収容した液体タンクを一体にし、用紙の幅方向(搬送方向と直交する方向)の長さ相当分のノズル列を有する本発明に係る液体吐出ヘッドで構成したライン型ヘッド410y、410m、410c、410kを備えたものである。これらのライン型ヘッド410y、410m、410c、410kは図示しないヘッドホルダに取り付けている。   The image forming unit 402 is a liquid discharge head according to the present invention that has a liquid tank that contains a liquid as a recording liquid and has a nozzle row corresponding to the length in the paper width direction (direction perpendicular to the transport direction). The line type heads 410y, 410m, 410c and 410k are provided. These line type heads 410y, 410m, 410c, 410k are attached to a head holder (not shown).

ライン型ヘッド410y、410m、410c、410kは、用紙搬送方向上流側からそれぞれ例えば、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの順に各色の液滴を吐出する。なお、ライン型ヘッドとしては、各色の液滴を吐出する複数のノズル列を所定間隔で配置した1つのヘッドを用いることもできるし、ヘッドと液体カートリッジを別体としたものを用いることもできる。   The line-type heads 410y, 410m, 410c, and 410k discharge droplets of each color in the order of, for example, yellow, magenta, cyan, and black from the upstream side in the sheet conveyance direction. As the line-type head, a single head in which a plurality of nozzle rows that discharge droplets of each color are arranged at a predetermined interval can be used, or a head and a liquid cartridge can be used separately. .

給紙トレイ404の用紙405は、給紙コロ421によって1枚ずつ分離され装置本体401内に給紙され、用紙供給ローラ422によって搬送機構403に送り込まれる。   The sheets 405 in the sheet feeding tray 404 are separated one by one by a sheet feeding roller 421, fed into the apparatus main body 401, and sent to the transport mechanism 403 by a sheet supply roller 422.

この搬送機構403は、駆動ローラ423と従動ローラ424との間に掛け渡した搬送ベルト425と、この搬送ベルト425を帯電させるための帯電ローラ426と、搬送ベルト425を画像形成部2に対向する部分で案内するガイド部材(プラテンプレート)427と、搬送ベルト425に付着した記録液(インク)を除去するためのクリーニング手段である多孔質体などからなる記録液拭き取り部材(ここでは、クリーニングローラ)428と、用紙405を除電するための導電ゴムを主体とした除電ローラ429と、用紙405を搬送ベルト425側へ押える用紙押さえローラ430とを備えている。   The conveyance mechanism 403 is configured such that a conveyance belt 425 stretched between a driving roller 423 and a driven roller 424, a charging roller 426 for charging the conveyance belt 425, and the conveyance belt 425 face the image forming unit 2. A recording liquid wiping member (here, a cleaning roller) composed of a guide member (plastic template) 427 for guiding part and a porous body as a cleaning means for removing the recording liquid (ink) attached to the conveying belt 425 428, a neutralizing roller 429 mainly composed of conductive rubber for neutralizing the sheet 405, and a sheet pressing roller 430 for pressing the sheet 405 toward the conveying belt 425.

また、搬送機構403の下流側には画像が記録された用紙405を排紙トレイ406に送り出すための排紙ローラ431を備えている。   Further, on the downstream side of the transport mechanism 403, a paper discharge roller 431 for sending the paper 405 on which an image is recorded to the paper discharge tray 406 is provided.

このように構成したライン型画像形成装置においても、搬送ベルト425を帯電させて用紙405を送り込むことによって、静電力で用紙405が搬送ベルト425に吸着されて、搬送ベルト425の周回移動によって搬送され、画像形成部402によって画像が形成されて、排紙トレイ406に排紙される。   Also in the line type image forming apparatus configured as described above, by feeding the sheet 405 by charging the conveyance belt 425, the sheet 405 is attracted to the conveyance belt 425 by electrostatic force and conveyed by the circular movement of the conveyance belt 425. Then, an image is formed by the image forming unit 402 and discharged to the discharge tray 406.

そして、本発明に係る液体吐出ヘッドないしこれを含む液体吐出装置を備えることによって、安定した滴吐出特性が得られるので、高速で高画質画像を記録できるようになる。   By providing the liquid discharge head according to the present invention or the liquid discharge apparatus including the liquid discharge head, stable droplet discharge characteristics can be obtained, so that high-quality images can be recorded at high speed.

なお、本発明に係る液体吐出装置、画像形成装置は、例えば、プリンタ/ファックス/コピアの単機能機やこれらの複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、インク以外の液体である記録液や定着処理液などを用いる画像形成装置、その他の前述したような各種の液体を吐出する液体吐出装置にも適用することができる。   The liquid ejection apparatus and the image forming apparatus according to the present invention can be applied to, for example, an image forming apparatus such as a printer / fax / copier single function machine or a multifunction machine thereof. Further, the present invention can also be applied to an image forming apparatus that uses a recording liquid or a fixing processing liquid that is a liquid other than ink, and other liquid ejecting apparatuses that eject various liquids as described above.

本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態を示す側面説明図である。It is side explanatory drawing which shows one Embodiment of the liquid discharge head which concerns on this invention. 同じく図1の平面説明図である。FIG. 2 is also an explanatory plan view of FIG. 1. 図2のA−A線に沿う液室長手方向(液室の並び方向と直交する方向)に沿う断面説明図である。FIG. 3 is a cross-sectional explanatory view along a liquid chamber longitudinal direction (a direction perpendicular to the liquid chamber arrangement direction) along the line AA in FIG. 2. 同じく液室短手方向(液室の並び方向)に沿う断面説明図である。FIG. 5 is a cross-sectional explanatory view along the liquid chamber short direction (liquid chamber arrangement direction). 図4の1つの加圧液室部分の拡大断面説明図である。FIG. 5 is an enlarged cross-sectional explanatory view of one pressurized liquid chamber portion of FIG. 4. 同じく液室部分の要部平面説明図である。It is a principal plane explanatory drawing of a liquid chamber part similarly. 本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の説明に供する金属部材と樹脂部材の積層部材の製造工程を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the manufacturing process of the laminated member of the metal member and resin member with which it uses for description of the manufacturing method of the liquid discharge head which concerns on this invention. 同じく図7の積層部材を用いて振動板部材の製造工程を説明する説明図である。FIG. 8 is an explanatory view for explaining a manufacturing process of the diaphragm member using the laminated member of FIG. 7. 同じく振動板部材と圧電素子との接合工程を説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the joining process of a diaphragm member and a piezoelectric element similarly. 振動板部材の樹脂層の熱膨張係数と撓みの発生の説明に供する説明図である。It is explanatory drawing with which it uses for description of the thermal expansion coefficient of the resin layer of a diaphragm member, and generation | occurrence | production of bending. 図11をグラフ化して示す説明図である。FIG. 12 is an explanatory diagram illustrating FIG. 11 in a graph. 振動板部材の樹脂層の熱膨張係数と撓みの発生と反りの発生の説明に供する説明図である。It is explanatory drawing with which it uses for description of the thermal expansion coefficient of the resin layer of a diaphragm member, generation | occurrence | production of bending, and generation | occurrence | production of curvature. 本発明に係る液体吐出ヘッドの他の例の説明に供する斜視説明図である。FIG. 6 is a perspective explanatory view for explaining another example of the liquid ejection head according to the present invention. 本発明に係る画像形成装置の一例を示す概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram illustrating an example of an image forming apparatus according to the present invention. 同機構部の要部平面説明図である。It is principal part plane explanatory drawing of the mechanism part. 本発明に係る画像形成装置の他の例を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the other example of the image forming apparatus which concerns on this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1…流路基板
2…振動板部材
2A…振動板領域
2B…島状凸部
3…ノズル板
4…ノズル
6…加圧液室
8…共通液室
12…圧電素子
18…ダンパ室
19…ダイアフラム部
21…金属部材
22…樹脂層
234a、234b…記録ヘッド
410k、410c、410m、410y…ライン型ヘッド
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Flow path board 2 ... Vibration plate member 2A ... Vibration plate area | region 2B ... Island-shaped convex part 3 ... Nozzle plate 4 ... Nozzle 6 ... Pressurizing liquid chamber 8 ... Common liquid chamber 12 ... Piezoelectric element 18 ... Damper chamber 19 ... Diaphragm Part 21: Metal member 22 ... Resin layer 234a, 234b ... Recording head 410k, 410c, 410m, 410y ... Line head

Claims (11)

  1. 液体を吐出する複数のノズルと、
    前記複数のノズルが各々連通する複数の液室と、
    各液室の変形可能な壁面を形成する振動板領域を有する振動板部材と、を備え、
    前記振動板部材は、金属部材上に、この金属部材の線膨張係数よりも大きな線膨張係数を持つ樹脂を直接塗布して加熱して固化させることで形成された前記振動板領域を形成する樹脂層を有し、
    前記液室間に形成された隔壁部に対応して前記振動板領域間に前記金属部材からなる厚肉部が形成され、
    各々の前記振動板領域には、振動板領域を振動させる駆動部と接合される前記金属部材からなる島状の凸部が形成されている
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
    A plurality of nozzles for discharging liquid;
    A plurality of liquid chambers each communicating with the plurality of nozzles;
    A diaphragm member having a diaphragm region that forms a deformable wall surface of each liquid chamber,
    The diaphragm member is a resin that forms the diaphragm region formed by directly applying a resin having a linear expansion coefficient larger than that of the metal member on the metal member, and heating and solidifying the resin. Has a layer,
    A thick part made of the metal member is formed between the diaphragm regions corresponding to the partition part formed between the liquid chambers,
    In each of the diaphragm regions, an island-shaped convex portion made of the metal member joined to a drive unit that vibrates the diaphragm region is formed.
  2. 請求項1に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記樹脂はイミド結合を持つポリマであることを特徴とする液体吐出ヘッド。   2. The liquid discharge head according to claim 1, wherein the resin is a polymer having an imide bond.
  3. 請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板領域にはこの振動板領域の幅方向全域に亘り樹脂層のみで形成される部分があることを特徴とする液体吐出ヘッド。   3. The liquid discharge head according to claim 1, wherein the diaphragm region includes a portion formed only by a resin layer over the entire width direction of the diaphragm region.
  4. 請求項3に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板領域の幅方向全域に亘り樹脂層のみで形成される部分の前記金属部材はエッチングで除去されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。   4. The liquid ejection head according to claim 3, wherein the metal member in a portion formed by only the resin layer over the entire width direction of the diaphragm region is removed by etching. 5.
  5. 請求項1ないし4のいずれかに記載の液体吐出ヘッドにおいて、複数の液室に液体を供給する共通液室を有し、この共通液室の壁面の一部が前記振動板部材の樹脂層で形成された変形可能なダンパ部とされていることを特徴とする液体吐出ヘッド。   5. The liquid ejection head according to claim 1, further comprising a common liquid chamber that supplies liquid to a plurality of liquid chambers, wherein a part of a wall surface of the common liquid chamber is a resin layer of the diaphragm member. A liquid discharge head, characterized in that the liquid discharge head is formed as a deformable damper portion.
  6. 請求項1ないし5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドにおいて、液体を供給する液体タンクを一体に備えていることを特徴とする液体吐出ヘッド。   6. The liquid discharge head according to claim 1, wherein a liquid tank for supplying a liquid is integrally provided.
  7. 液滴を吐出する液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置において、請求項1ないし6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする液体吐出装置。   A liquid ejection apparatus comprising a liquid ejection head for ejecting liquid droplets, comprising the liquid ejection head according to claim 1.
  8. 液体吐出ヘッドから液滴を吐出して画像を形成する画像形成装置において、請求項1ないし6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。   7. An image forming apparatus for forming an image by discharging droplets from a liquid discharge head, comprising the liquid discharge head according to claim 1.
  9. 請求項1に記載の液体吐出ヘッドを製造する製造方法であって、
    金属部材を準備する第1のステップと、
    この金属部材上に、金属部材よりも線膨張係数が大きくなるように調製された樹脂を直接塗布する第2のステップと、
    前記樹脂を加熱し固化させてイミド化させることで前記金属部材上に樹脂層を接合形成する第3のステップと
    を行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
    A manufacturing method for manufacturing the liquid ejection head according to claim 1,
    A first step of preparing a metal member;
    A second step of directly applying a resin prepared on the metal member such that the coefficient of linear expansion is larger than that of the metal member;
    And a third step of bonding and forming a resin layer on the metal member by heating and solidifying the resin to imidize the liquid discharge head.
  10. 請求項9に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、
    前記樹脂層が接合形成された前記金属部材に対し、前記樹脂層の変形可能とする部分以外の部分をマスキングする第4のステップと、
    このマスキングされた該金属部材に対してエッチャントを接触させてエッチングにより前記樹脂層の変形可能とする部分の前記金属部材を除去して振動板部材を形成する第5のステップと
    を行うことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
    In the manufacturing method of the liquid discharge head according to claim 9,
    A fourth step of masking a portion other than the deformable portion of the resin layer for the metal member to which the resin layer is bonded;
    A fifth step of forming an oscillating plate member by bringing an etchant into contact with the masked metal member and removing the metal member in a portion where the resin layer can be deformed by etching. A method for manufacturing a liquid discharge head.
  11. 請求項10に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、前記振動板部材に対して圧電素子を接合することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。   The method of manufacturing a liquid discharge head according to claim 10, wherein a piezoelectric element is bonded to the diaphragm member.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5327435B2 (ja) * 2008-09-08 2013-10-30 株式会社リコー 液体吐出ヘッド及びその製造方法、画像形成装置
JP5387953B2 (ja) * 2009-03-17 2014-01-15 株式会社リコー 液体吐出ヘッド、インクカートリッジ及び画像形成装置
JP5696934B2 (ja) * 2011-02-14 2015-04-08 株式会社リコー 液体吐出ヘッド及びこれを備えた画像形成装置
CN105984220B (zh) * 2015-01-27 2018-07-17 常州市东科电子科技有限公司 一种多节段压电材料的3d打印机部件
JP6331029B2 (ja) * 2015-02-09 2018-05-30 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置
JP2018152541A (ja) * 2017-02-13 2018-09-27 Tdk株式会社 振動デバイス
JP2018133372A (ja) * 2017-02-13 2018-08-23 Tdk株式会社 振動デバイス
CN109895501B (zh) * 2017-12-08 2020-10-16 松下知识产权经营株式会社 喷墨头以及喷墨印刷装置
JP2019177588A (ja) 2018-03-30 2019-10-17 ブラザー工業株式会社 液体吐出装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4908181A (en) 1988-03-07 1990-03-13 Allied-Signal Inc. Ingot cast magnesium alloys with improved corrosion resistance
JP2640304B2 (ja) 1991-12-21 1997-08-13 シンワ測定株式会社 Manufacturing method of sheet heating element
JP3208775B2 (ja) * 1992-06-11 2001-09-17 セイコーエプソン株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法
JPH11320873A (ja) * 1997-06-05 1999-11-24 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド
JPH11198368A (ja) 1998-01-09 1999-07-27 Ricoh Co Ltd インクジェットヘッド用振動板
JPH11298114A (ja) 1998-04-14 1999-10-29 Mitsui Chem Inc ポリイミド−金属積層体の製造方法
JP3945097B2 (ja) * 1999-10-28 2007-07-18 セイコーエプソン株式会社 インクジェット式記録ヘッド
JP4342749B2 (ja) * 2000-08-04 2009-10-14 株式会社リコー 液滴吐出ヘッド、インクカートリッジ及びインクジェット記録装置
JP3687662B2 (ja) * 2002-07-05 2005-08-24 セイコーエプソン株式会社 液体噴射ヘッド
JP4190322B2 (ja) 2003-03-24 2008-12-03 株式会社リコー インクジェット記録ヘッド及びプリンタ
JP4307938B2 (ja) 2003-09-11 2009-08-05 株式会社リコー 静電型アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジ及び画像形成装置
JP2005265784A (ja) * 2004-03-22 2005-09-29 Noritake Co Ltd 金属ダイヤフラム式センサ

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