WO1990001241A1 - Automatic focusing system - Google Patents

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WO1990001241A1
WO1990001241A1 PCT/JP1989/000696 JP8900696W WO9001241A1 WO 1990001241 A1 WO1990001241 A1 WO 1990001241A1 JP 8900696 W JP8900696 W JP 8900696W WO 9001241 A1 WO9001241 A1 WO 9001241A1
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image
time
charge accumulation
focus
optical system
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PCT/JP1989/000696
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Inventor
Yoshio Kanata
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
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Filing date
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/24—Base structure
    • G02B21/241—Devices for focusing
    • G02B21/244—Devices for focusing using image analysis techniques
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/28—Systems for automatic generation of focusing signals
    • G02B7/36—Systems for automatic generation of focusing signals using image sharpness techniques, e.g. image processing techniques for generating autofocus signals
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
    • G03B13/00—Viewfinders; Focusing aids for cameras; Means for focusing for cameras; Autofocus systems for cameras
    • G03B13/32—Means for focusing
    • G03B13/34—Power focusing
    • G03B13/36—Autofocus systems
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/60—Control of cameras or camera modules
    • H04N23/67—Focus control based on electronic image sensor signals
    • H04N23/673—Focus control based on electronic image sensor signals based on contrast or high frequency components of image signals, e.g. hill climbing method

Definitions

  • the present invention relates to an automatic focus adjustment device for an optical device used in an assembly inspection work in a manufacturing process of an electronic device or the like.
  • an image of an inspection object is taken through an optical system, a video signal photoelectrically converted by a camera is digitally converted and transferred to a frame memory.
  • the signal read out from the image is processed to obtain a focus matching evaluation value, and the position of the optical system is controlled so that the focus matching evaluation value approaches a maximum. .
  • an optical inspection device as shown in FIG. 1 has been used for assembly inspection work.
  • Contact test object 1 is placed on the tape over table 2, the tape over table 2 are attached Unito I capable microscope 4 is moved up and down through the slide Lee bank over table 3.
  • An industrial camera 5 using a CCD as a solid-state imaging device is attached to the eyepiece of the microscope 4 ]), and the industrial camera 5 moves up and down integrally with the microscope 4. I do.
  • the slide table 3 is configured to drive the microscope 4 up and down by the motor 6.
  • the motor 6 is driven as described below based on the output signal of the industrial power camera 5 to perform automatic focus adjustment.
  • the focused image is obtained from the output of the A / D converter 7 ]. It is inputted to the inspection device outside figure Ru is used etc.
  • the video signal of the industrial camera 5 is digitally converted by the A / D converter, and then temporarily and alternately temporarily stored in the first and second frame memories 9 and 10 via the control unit 8 . Is stored.
  • the control unit 8 alternately reads out the images of the first and second frame memories 9 and 10 and processes the images to calculate a focus matching evaluation amount.
  • the motor 6 is driven one step via the drive circuit 11 in the direction in which the focus matching evaluation amount approaches the maximum.
  • Numeral 12 denotes a power generation circuit for generating a power signal serving as an operation reference of the control unit 8.
  • the basic operation of the control unit 8 is shown in FIGS.
  • the basic operation is as shown in Fig. 2 by sending the microscope 4 in small increments.], And by using a method such as calculating the differential coefficient or integral value of the gray level of the Etsu part from the image data at that time.
  • the evaluation amount Hi is calculated, and when this Hi takes the maximum value, it is assumed that the position of the microscope 4 is the best and the position of the heslide table nozzle 3 is determined.
  • the image-to-electricity conversion, video transfer to frame memory, calculation of the focus matching evaluation amount Hi (image processing), and motor operation are performed.
  • this series of processing is performed in parallel and synchronized with the force clock, as shown in Fig. 3, in order to shorten the focusing time.
  • the pulse interval T generated by the clock generation circuit 12 is set to be the same as the camera clock of the industrial power camera 5 , and the clock is set to this clock. Synchronize images. Performs electrical conversion, video transfer to frame memory, image processing, and motor operation. In addition, the next motor operation is performed while performing video transfer, and the next image is performed while performing image processing. Each process is performed in parallel with a repetition period of 2 T, like performing electrical conversion. First Therefore or. The second full-les over arm Note Li 1 1, 1 2 are used alternately. In addition, in order to shorten the focusing time while securing the measurement accuracy after focusing, the focus lens is used in non-interlaced mode during focusing, and after the focusing, it is 2 : 1 a. The measurement is switched to the interlaced mode.
  • FIG. 4 shows the above operation in a flowchart.
  • the charge accumulation time is twice as long, so focus. and brightness of the image when the brightness is large Kuayaru image during measurement after focus] 9, there are two problems with this occurring the images processed on inconvenient.
  • the present invention has been made in view of the above problems, and has as its object to reduce the focusing time.
  • the automatic focus adjustment apparatus of the present invention captures an image of an inspection object via an optical system, digitally converts a video signal photoelectrically converted by a camera, transfers the video signal to a frame memory, and The focus read evaluation value is obtained by performing image processing on the signal read out from the memory
  • the optical system is configured to control the position in a direction approaching large, and the position control operation of the optical system is controlled by a blanking time between charge accumulation times of two consecutive images of the camera. Before and after the blanking time within the range that does not affect the calculation accuracy
  • the configuration is such that the operation is performed within one part of the charge storage time of No. 5.
  • the movement of the optical system is performed within the blanking time between the charge accumulation times of two consecutive images or within a very short time before and after the blanking time.
  • T no and the conventional method repeats stationary and moving with a period of 2 T I)
  • the period of ⁇ that is, the conventional 2 Repeat the stationary 'movement at 9 times the speed.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of an optical inspection device having an automatic focus adjustment device
  • FIG. 2 is a curve diagram of a focus matching evaluation value with respect to a transmission amount of a microscope in the device.
  • FIG. 3 is a timing chart of the processing of the conventional automatic focus adjustment apparatus
  • FIG. 4 is a flow chart of the processing. number 5
  • FIG. 6 is a block diagram showing an embodiment of the automatic focus adjusting apparatus according to the present invention.
  • FIG. 6 is a timing chart of processing in the 2 : 1 interlace mode of the apparatus, and
  • the optical inspection apparatus having the moving focus adjusting apparatus of the present invention is basically the same as the conventional example shown in FIG. 1], except that the internal configuration of the control unit 8 is different. However, when used in the 2 : 1 interlace mode, the second frame memory 1 may be omitted.
  • the amount of movement of the motors is calculated in Motor movement amount calculating means 8 5-focus evaluation value This calculated by evaluating in-focus evaluation means 8 4, direction rather closer to the maximum in-focus evaluation value the motor 6 1 scan tape Tsu to-flops driven through the drive circuit 1 1.
  • each means of the control unit 8 is based on the signal from the blanking time synchronizing means 86 which is synchronized with the clock signal from the clock signal generating circuit 12 and is based on the CCD camera. And a blanking time between the charge accumulation time of the first image and the charge accumulation time of the next image.
  • control unit 8 Next, the basic operation of the control unit 8 will be described separately for 2 : the interlace mode and the noninterlaced mode.
  • Fig. 6 shows the operation in the 2: 1 interlace mode. Only odd field data is used for image processing, and even data is used. No feed data is used.
  • the full rate arm Note video transfer and in-focus evaluation value calculated based on it from re (image processing) B 2 of the first image B is completed within the second image CO charge accumulation time, the first image B Let row to the position control B 3 of the optical system based in bra down King time between the charge storage time of the second image C and the third image D. Similarly, assuming that the transfer time of one field is T, the above process is repeated at a cycle of 2T.
  • the position control of the optical system is performed within the blanking time of the force camera, so that the conventional non-linear mode is maintained in the 2: 1 interlace mode. Focusing can be performed in the same period (2T) as the processing at the time of interlacing, and it is not necessary to switch from noninterlaced to 2 : 1 interlaced.
  • the time can be reduced by about 2 seconds, and the brightness of the image is constant.
  • FIG. 3 shows the basic operation of the control unit 8 during the non-interlace.
  • the video transfer of the first image A to the frame memory is performed within the charge accumulation time of the second image B, and the image processing A 2 based on the first image A is the charge of the third image C.
  • the light based on the result Position control A 3 academic system intends rows in the bra down key in g time between the charge storage time of the third image C and the fourth image D.
  • the transfer time of one field is T
  • the above processing is repeated in parallel at the cycle of T j9.
  • the position control of the optical system is performed within the accumulation blanking time of the camera, so that the conventional non-interlaced mode is used. Focusing is twice as fast as. Depends on the characteristics of the object to be inspected.] 5 If the same measurement accuracy can be obtained as the 2 : 1 interface with the non-interlaced condition, or the non-interlaced If sufficient accuracy can be obtained with the camera still in focus, the fastest focusing can be achieved by performing measurements in the noninterlaced mode both during focusing and after the focusing point.

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Description

明 細 書
発明の名称
自動焦点調整装置
技術分野
本発明は電子機器の製造工程る どにおける組立検査作業で使 用される光学装置の自動焦点調整装置に関するものである。
さ らに詳しく は、 光学系を介して検査対象物を撮像し、 カ メ ラ で光電変換した映像信号をデジタ ノレ変換してフ レー ム メ モ リ に転送し、 フ レー ム メ モ リ か ら読み出 した信号を画像処理して 焦点合致評価量を求め、 この焦点合致評価量が最大に近づく方 向に前記光学系を位置制御するよ ぅ搆成される自動焦点調整装 置の改良に関する。
背景技術
従来、 組立検査作業では第 1 図に示すよ う 光学検査装置が 使用されている。 検査対象物 1 はテ ー ブル 2の上に載置されて お 、 テ ー ブル 2にはスラ イ ドテ ー ブル 3を介して顕微鏡 4が 上下動できるよ うに取 付け られている。 顕微鏡4の接眼部に は固体撮像素子と して C C Dを用いた工業用カ メ ラ 5が取 ]?付 けられてお ])、 工業用カ メ ラ 5は顕微鏡 4 と一体に上下動する。 ス ラ イ ドテ ー ブル 3はモ ータ 6によ つ て顕微鏡4を昇降駆動す る よ う構成されている。 モー タ 6は工業用力 メ ラ 5の出力信号 に基づいて後述のよ う に駆動されて自動焦点調整が実施されて お ^、 合焦点の画像は A / D変換器7の出力から取 ] 出されて 図外の検査装置に入力され、 検査対象物 1 の形状検査やテー プ ル 2上での検查対象物 1 の位置制御 どに使用されて る- 工業用カ メ ラ 5 の映像信号は A / D変換器ァ でデジタ 変換 されたのち、 制御部 8を介して第 1 . 第2のフ レー ム メ モ リ 9 , 1 Oに交互に一時的に記憶される。 次に制御部 8では第 1 , 第 2のフ レー ム メ モ リ 9 , 1 Oの画像を交互に読み出 してこの画 像を画像処理して焦点合致評価量を算出し、 制御部 8は次に焦 点合致評価量が最大に近づく方向に駆動回路 1 1 を介してモー タ 6を 1 ステ ッ プ駆動する。 1 2は制御部 8の動作基準となる ク 口 ッ ク信号を発生するク 口 ッ ク発生回路である。
制御部 8の基本的な動作を第 2図〜第 4図に示す。 基本的な 動作は第 2図に示すよ うに顕微鏡4を微小量ずつ送 ] 、 そのと きの画像データからエツヂ部分の濃淡レベルの微分係数または 積分値を求めるなどの手法によ ]?焦点合致評価量 Hi を計算し、 この Hi が最大値 をと つたとき顕微鏡 4の位置が最も ピ ン トが合つたと して、 その位置 ヘス ラ イ ドテー ブノレ 3を 位置決めする。 このとき顕微鏡 4を 1 ス テッ プ送るたびに画像 ° 電気変換 ， フ レ ー ム メ モ リ への ビデオ転送 ， 焦点合致評価量 Hi の計算（ 画像処理 ） 、 モ—タ動作の各処理を行 う必要が ある o
従来の自動焦点調整装置では焦点合わせ時間を短縮するため に第 3 図に示すよ うにこの一連の処理を並列に、 かつ力 メ ラ ク ロ ッ クに同期させて行 つている。
す わち、 ク ロ ッ ク発生回路1 2によ 発生させるパルス間 隔 Tを工業用力 メ ラ 5のカ メ ラ ク ロ ッ ク と同一と るよ うに設 定し、 このク ロ ッ ク に同期して画像 。 電気変換、 フ レ ー ムメ モ リへのビデオ転送 ， 画像処理 ， モータ動作の各処理を行ない、 かつ、 ビデオ転送を行 つている間に次のモー タ動作を行 い、 画像処理を行 ¾つている間に次の画像 。電気変換を行る う とい う よ うに 2 Tの繰 ] 返し周期で各処理を並列的に行るつている。 ま たそのため第 1 . 第2 のフ レ ー ム メ モ リ 1 1 , 1 2は交互に 使用されている。 さ らに合焦点後の計測精度を確保しつつ焦点 合わせ時間を短縮するため焦点合わせ時は力 メ ラをノ ン イ ン タ 一レ ー スモー ドで使用し、 合焦点後は 2 ： 1 イ ン タ ー レー ス モ 一 ドに切換えて計測している。
第 4図は上記動作をフ ロ ー チ ヤ一 ト に示 したものである。 しかしるがら、 上記のよ う ¾癀成では、 ノ ン イ ン タ 一 レ ー ス モ ー ド力 ら 2 ： 1 イ ン タ 一 レ ー スモー ドへの切換え時に、 画像 が安定するまで約 O . 2秒程度の時間が必要でその分ロ ス タ ィ ム と るつていること、 ノ ン イ ンタ 一 レース と 2 ： イ ン タ ー レ ー スでは電荷の蓄積時間が倍違うため、 焦点合わせ時の画像の明 るさ と、 合焦点後の計測時の画像の明るさが大き く異る ]9、 画 像処理上不都合を生じているこ との2つの問題点がある。
本発明は以上の問題点に鑑みて ¾されたもので、 焦点合わせ 時間を短縮することを目的とする。
また、 焦点合わせ時と合焦点後の計測時の画像の明るさの違 いのない自動焦点調整装置を提供することを目的とする。
発明の開示
本発明の自動焦点調整装置は、 光学系を介 して検査対象物を 撮像し、 カ メ ラ で光電変換した映像信号をデ ジタ ル変換してフ レー ム メ モ リ に転送し、 フ レー ム メ モ リ力 ら読み出した信号を 画像処理して焦点合致評価量を求め、 この焦点合致評価量が最 . 大に近づく方向に前記光学系を位置制御するよ う構成すると と もに、 前記光学系の位置制御動作をカ メ ラ の 2つの連続した画 像の電荷蓄積時間の間のブラ ンキ ング時間内又は焦点合致評価 量計算精度に影響を与えない範囲内のブラ ン キ ン グ時間の前後
5 の電荷蓄積時間の 1 部分の時間内で行な う よ うに構成したこと を特徴とする。
この構成によると、 光学系の移動を 2つの連続した画像の電 荷蓄積時間の間のブラ ン キ ング時間内又はその前後の極めて短 い時間内に行 うため、 一つの画像の電荷蓄積時間を T とする n o と、 従来の方法では 2 Tの周期で、 静止 ' 移動を繰 I)返してい たものが、 ノ ン イ ンタ ー レー ス モー ドでは τの周期、 す わち 従来の 2倍の速さで静止 ' 移動を繰 ]9返すことにるる。 又、 2 ： 1 ィ ン タ ー レー スモー ドでもモー ド変換する必要がないので、 ロ スタ イ ムがな く ¾ ]9、 かつ焦点合わせ時と合焦点後の計測時 1 5 において画像の明るさが変化しない。
図面の簡単な説明
第 1 図は自動焦点調整装置を有する光学検査装置の構成 ϋ、 第 2 図は同装置における顕微鏡の送]?量に対する焦点合致評価 量の曲線図である。 第 3図は従来の自動焦点調整装置の処理の 20 タ イ ミ ングチ ャ ー ト 、 第 4図は同処理のフ ロ ー図である。 第 5
図は本発明の自動焦点調整装置の一実施例を示すプロッ ク図 ， 第 6図は同装置の 2 ： 1 イ ン ター レ ースモー ド時の処理のタ イ ミ ングチ ヤ一ト、 第 7図は同装置のノ ン ィ ンタ ー レ ー スモー ド 時の処理のタ イ ミ ン グチ ヤ一 トである。
2S 発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明の一実施例を第5図〜第了図に基づいて説明す る
本発明のき動焦点調整装置を有する光学検査装置は、 第 1 図 に示した従来例と基本的に同一であ ] 、 制御部 8の内部構成が 異るるだけである。 ただし2 ： 1 イ ン タ ー レ スモー ドで使用す るときは第 2のフ レ ー ム メ モ リ 1 Οは く ても良い。
まず、 制御部 8 の構成を第 5図を参照して説明する。 C C D を用いたカ メ ラ 5の映像信号は A / D変換器ァでデジタ ノレ変換 されたのち、 書き込み手段8 1 を介 してフ レ ームメモリ 9 に一時 的に記憶される。 次に読み込み手段 8 2ではフ レー ム メ モ リ 9 の画像を読み出 して焦点合致評価量算出手段 8 3に送 、 この 焦点合致評価量算出手段 8 3で読み込んだ画像を画像処理して 焦点合致評価量を算出する。 この算出された焦点合致評価量を 焦点合致評価手段8 4で評価してモ ー タ の移動量をモ ー タ移動 量算出手段 8 5で算出し、 焦点合致評価量が最大に近づ く方向 に駆動回路 1 1 を介してモー タ 6を 1 ス テ ッ プ駆動する。 お、 制御部8の各手段の動作は、 ク ロ ッ ク信号発生回路 1 2からの ク 口 ッ ク信号に同期するブラ ンキ ング時間同期手段 8 6からの 信号にも とづき、 C C Dカメ ラ によ る第 1 の画像の電荷蓄積時 間と次の画像の電荷蓄積時間の間のブ ラ ン キ ング時間に行な う よ うに構成 している。
次に制御部 8の基本的 動作を 2 ： イ ンタ ー レ ー ス モ ー ド 時と ノ ン ィ ンタ 一 レー スモー ド時に分けて説明する。
第 6図は 2 ： 1 イ ンタ ー レ ー ス モ ー ド時の動作を示したもの で、 画像処理には奇数フ ィ —ノレ ドのデー タのみを使用し、 偶数 フ ィ ー ドのデータは使用していない。
第 1 の画像 B のフ レー ム メ モ リ へのビデオ転送 とそれに 基づく焦点合致評価量計算（画像処理） B2 を第 2の画像 C O 電荷蓄積時間内に完了し、 第 1 の画像 Bに基づく光学系の位置 制御 B3 を第2の画像 Cと第3の画像 Dの電荷蓄積時間の間の ブラ ン キング時間内に行な う。 下同様に 1 フ ィ ール ドの転送 時間を T とすると、 2 Tの周期で上記処理を繰 ]9返す。
¾お、 第 1 の画像 Bに基づく光学系の位置制御 B3 がブラ ン キ ン グ時間内に完了せず第 3 の画像 Dの電荷蓄積時間にズレ込 んでも、 その量がわずかで焦点合致評価量計算精度に影響を与 え い、 すなわち第 2図における Hmax の位置 が変化し な 範囲であればかまわない。 同様に影響を与え い範囲内で 第 2の画像 Cの電荷蓄積時間の終了直前から光学系の位置制御
B3 を始めてもかまわない。
上のよ うに本実施例によれば、 光学系の位置制街を力 メ ラ の蓄積ブラ ンク時間内に行なう ことによ 、 2 ： 1 イ ンタ ー レ ー スモー ドのままで従来のノ ンィ ンターレ-ス時の処理と同じ周 期 （ 2 T ) で焦点合わせができ、 かつノ ン イ ン タ 一 レ-スから 2 ： 1 イ ンタ ー レー スへの切換えが不要なため約 o。2秒程度の時 間短縮ができ、 画像の明るさも一定である。
次にノ ンイ ンタ ー レー ス時の制御部 8の基本的な動作を第 3 図に示す。 第 1 の画像 Aのフ レー ム メモ リへの ビデオ転送 は第 2の画像 Bの電荷蓄積時間内に行るわれ、 第 1 の画像 Aに 基づく画像処理 A2 は第 3の画像 Cの電荷蓄積時間内、 第 2の 画像 B のビデオ転送 時間内に行 、 その結果に基づく光 学系の位置制御 A3 は第 3の画像 C と第 4の画像 Dの電荷蓄積 時間の間のブラ ン キ ン グ時間内に行 う。 以下同様に、 1 フ ィ 一ル ドの転送時間を T とする と、 Tの周期で上記処理を並列的 に繰 j9返す。
以上のよ うに本実施例によれば、 光学系の位置制御をカ メ ラ の蓄積ブラ ン ク時間内に行る う こ とによ 、 ノ ン イ ン タ 一 レ ー ス モ — ドでは従来の 2倍の速さで焦点合わせができ る。 検査対 象物の特性によ ]5 ノ ンイ ン タ 一レ ー ス のままで 2 ： 1 イ ン タ 一 レ ース と同等の計測精度が得られる場合や、 ノ ン イ ン タ ー レ ー スのままでも充分な精度が得られた場合は焦点合わせ時も合焦 点後の計測も ノ ン ィ ン タ ー レ ー スモ ー ドで行るえば最も速い焦 点合わせができ る。
産業上の利用可能性
以上のよ うに本発明によると、 光学系の移動を連続した2つ の画像の電荷蓄積時間の間のブ ラ ン キ ン グ時間内又はその前後 の極めて短 時間内に行な うため、 従来のよ うに次の画像の蓄 積時間内に移動しているものに比べて 2倍の周期で焦点合わせ の処理ができる。 また、 2 ： 1 イ ンタ ー レー ス では従来のノ ン ィ ン タ 一 レ ース よ j?若干速度が上が ]? ¾おかつ焦点合わせ時と 合焦後の計測時において画像の明るさが変化 しないというすぐ れた効果を発揮する自動焦点調整装置を提供することができる。

Claims

• 請 求 の 範 囲
1 . 光学系を介して検査対象物を撮像し、 カ メ ラで光電変換し た映像信号をデジタノレ変換してフ レー ム メ モ リ に転送し、 フ レ ーム メ モ リから読み出した信号を画像処理して焦点合致評価量 を求め、 この焦点合致評価量が最大に近づく方向に前記光学系 を位置制御するよ う構成するとともに、 前記光学系の位置制御 動作をカ メ ラの 2つの連続した画像の電荷蓄積時間の間のブラ ン キ ング時間内又は焦点合致評価量計算精度に影響を与えない 範囲内のブ ラ ンキ ング時間の前後の電荷蓄積時間の 1 部分の時0 間内で行 う よ うに構成した自動焦点調整装置。
2 . 請求の範囲第 1 項において、 2 ： 1 イ ン タ ー レ 一 スモ ー ド にお て奇数フ ィ 一ノレド又は偶数フ ィ 一 ル ドのみを使用し、 第 1 の画像のフ レ ー ム メ モ リへの転送と画像に基づく焦点合致評 価量の算出処理を第 2の画像の電荷蓄積時間内に完了し、 第 1 5 の画像に基づく前記光学系の位置制御を第 2の画像と第 3の画 像の電荷蓄積時間の間のブラ ン キ ング時間内又は焦点合致評価 量計算精度に影響を与え い範囲内で第 3の画像の電荷蓄積時 間の始めの 1 部分も しくは第 2の画像の電荷蓄積時間の終わ の 1 部分の時間内で行なう ように構成したことを特徴とする自 0 動焦点調整装置。
3 . 請求の範囲第1 項にお て、 ノ ンイ ンタ ー レー スモードに おいて第 1 の画像のフ レ ームメモ リへの転送を第 2の画像の電 荷蓄積時間内に行 ¾い、 フ レ— ムメモ リから読み出した第 1 の 画像に基づく焦点合致評価量の算出処理を第 3の画像の電荷蓄 5 積時間内に行ない、 その結果に基づく光学系の位置制御を第 3 • の画像と第 4の画像の電荷蓄積時間の間のブラ ンキ ン グ時間内 又は焦点合致評価量計算精度に影響を与え 範囲内で第 4の 画像の電荷蓄積時間の始めの 1 部分も しく は第 3の画像の電荷 蓄積時間の終わ ]3の 1 部分の時間内で行 う よ うに構成したこ とを特徴とする自動焦点調整装置。
4 . 請求の範囲第 1 項において、 カ メ ラは固体撮像素子にて構 成したことを特徴とする自動焦点調整装置。
5 . 検査対象物を撮像する固体撮像素子を用 たカ メ ラ と 、 こ のカ メ ラ で光電変換した映像信号を A D変換器を介してフ レ0 ー ム メ モ リ に転送する書き込み手段と、 フ レ ー ム メ モ リ に記憶 した画像情報を読み出す読み込み手段と、 読み出した信号を画 像処理して焦点合致評価量を算出する焦点合致評価量算出手段 と、 この焦点合致評価量が最大値と つたとき焦点が合致した と判断する焦点合致評価手段と、 この焦点合致評価手段からの 信号にも とづき光学系を駆動するモ ー タ の移動量を算出するモ ー タ移動量算出手段と、 このモータ移動量算出手段からの信号 にも とづきモ ータをステ ツ プ駆動する駆動回路と、 前記光学系 の位置制御動作を力 メ ラ の 2つの連続した画像の電荷蓄積時間 の間のブラ ン キ ング時間内又は焦点合致評価量計算精度に影響 を与え 範囲内のブラ ン キ ング時間の前後の電荷蓄積時間の 1 部分の時間内で行なう よ うにク 口 ッ ク発生回路からのク 口 ッ クに同期させるブラ ン キ ング時間同期手段と よ ]?構成した自動 焦点調整装置。
PCT/JP1989/000696 1988-07-19 1989-07-11 Automatic focusing system WO1990001241A1 (en)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP89908269A EP0404952B1 (en) 1988-07-19 1989-07-11 Automatic focusing system
DE68922992T DE68922992T2 (de) 1988-07-19 1989-07-11 System zur automatischen scharfeinstellung.
KR1019900700578A KR930001674B1 (ko) 1988-07-19 1989-11-07 자동초점 조정장치 및 방법
KR1019900700578A KR900702705A (ko) 1988-07-19 1989-11-07 자동 초점 조정 장치

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63179551A JPH0834551B2 (ja) 1988-07-19 1988-07-19 自動焦点調整装置
JP63/179551 1988-07-19

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