TWI834863B - 修整工具 - Google Patents
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Abstract
[課題]提供可以適當地判斷修整板是否已磨耗至使用極限之厚度的修整工具。
[解決手段]提供一種修整工具，其係修整環狀地被配列在研削輪之一面側的複數研削磨石的修整工具，具備：修整研削磨石的修整部；和支持修整部之背面側的支持部，在修整部之背面側，設置未到達至位於與修整部之背面相反側的表面，而且與修整部之使用極限之厚度對應之深度的凹部。
Description
本發明係關於為了修整研削輪之磨石而所使用的修整工具。
作為將在表面側形成有複數裝置之晶圓分割成與各裝置對應之晶片之情況的加工方法，例如有於對晶圓之背面側進行研削之後，以切削刀切削晶圓並予以分割之方法。
晶圓之研削係由例如安裝有具備研削用之磨石(研削磨石)之研削輪的研削裝置進行。以研削裝置之保持台保持晶圓，將旋轉的研削輪推壓至晶圓之被加工面，研削晶圓(例如，參照專利文獻1)。
上述研削磨石例如藉由在瓷化結合或樹脂結合等之結合材，混合鑽石或cBN(cubic boron nitride)等之磨粒，並予以燒結而形成。當以該研削磨石研削晶圓時，從研削磨石之表面(即是，研削面)突出之多數磨粒分別作為切削刀發揮作用，刮取晶圓之被加工面。
隨著研削之進行，研削磨石也會磨耗，在與晶圓之被加工面接觸之研削磨石之表面連續不斷地出現新的磨粒。藉由該作用(被稱為自行磨銳作用等)，抑制磨粒掉落、堵塞、變鈍等所致的研削性能下降，實現良好的切削加工。
然而，針對未使用的研削磨石，磨粒不能適當地從研削磨石之表面突出，再者，在研削磨石之研削面之高度也有偏差。於是，在晶圓之研削前，進行以修整板(也稱為削銳板)對研削磨石進行銼磨處理，部分性地除去覆蓋磨粒之結合材而使磨粒適當地從研削磨石之表面突出的修整工程(例如，參照專利文獻2)。
修整板係由例如1mm至5mm程度之厚度形成，在其背面側經由接著劑等固定樹脂製之支持板。該修整板隨著研削磨石之銼磨處理而磨耗，當變薄至特定厚度時則被更換。例如，修整板之更換時期係藉由目視修整板之厚度來判斷。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2000-288881號公報
[專利文獻2]日本特開2009-142906號公報
[發明所欲解決之問題]
但是，在上述目視等之方法中，不一定可以適當地判斷修整板之更換時期。假設，不更換已磨耗至使用極限之厚度的修整板而使用，研削磨石研削支持板之情況，研削磨石可能會損傷。
本發明係鑒於如此之問題點，以提供可以適當地判斷修整板是否已磨耗至使用極限之厚度的修整工具。
[用以解決問題之技術手段]
若藉由本發明之一態樣時，提供修整工具，其係修整環狀地被配列在研削輪之一面側的複數研削磨石，該修整工具具備：修整部，其係修整該研削磨石；和支持部，其係支持該修整部之背面側，在該修整部之該背面側，設置未到達至位於與該修整部之該背面相反側的表面，並且與該修整部之使用極限之厚度對應之深度的凹部。
以該修整部之該凹部係在從該背面側觀看該修整部之情況被設置成直線狀為佳。再者，以該修整部之該凹部係在從該背面側觀看該修整部之情況被設置成較該修整部之中心更外周側為佳。
再者，以該修整部之該凹部係在從該背面側觀看該修整部之情況被設置成環狀為佳。再者，以該修整部之該凹部包含具有第1深度的第1凹部，和具有較該第1深度更深之第2深度的第2凹部。再者，以在該凹部之深度方向，該第1凹部和該第2凹部重疊為佳。
[發明之效果]
本發明之一態樣所涉及之修整工具具備修整研削磨石的修整部，和支持修整部之背面側的支持部。在修整部之背面側設置未到達至修整部之表面，並且與修整部之使用極限之厚度對應之深度的凹部。
修整部(修整板)隨著研削磨石之銼磨處理而磨耗，當變薄至特定厚度時，因在修整部之表面側出現凹部，故即使以目視亦可判斷修整部已磨耗至使用極限之厚度。因此，可以適當地判斷修整工具已到達使用極限之時序。
以下，參照附件圖面，針對本發明之實施形態予以說明。圖1(A)為第1實施形態所涉及之修整工具2之斜視圖，圖1(B)為第1實施形態所涉及之修整工具2之A-A剖面圖。
如圖1(A)所示般，第1實施形態所涉及之修整工具2具有被形成平坦的圓盤狀之修整板(修整部)4。另外，修整板4之形狀不限定於圓盤狀。修整板4之形狀即使為矩形之板狀亦可。
在修整板4之背面4b，接合支持修整板4之支持板(支持部)6之表面6a。支持板6係以可以支持修整板4之全體之方式，被形成直徑大於修整板4的圓盤狀。支持板6係由例如樹脂形成。
修整板4係使用在藉由例如在瓷化結合或樹脂結合等之結合材，混合白剛玉(WA)、綠碳(GC)等之磨粒的混合材料而形成。但是，構成修整板4之結合材及磨粒係因應研削磨石26(參照圖2)之構成等而變更。
修整板4具有例如3mm至5mm之厚度。在修整板4之背面4b側設置凹部8。凹部8係由概略圓柱狀之空間構成的孔，如圖1(B)之A-A剖面所示般，被設置在修整板4之背面4b側之略中央部。
另外，圖1(B)之A-A剖面係在通過修整板4之圓形之表面4a(即是，位於與背面4b相反側之面)之中心且與表面4a垂直之平面，且為切斷修整板4及支持板6的切斷面。
凹部8係被形成至從背面4b未到達至表面4a之特定深度。凹部8之深度係當修整板4磨耗至使用極限之厚度時，被調整成為在修整板4之表面4a側出現凹部8(即是，成為與修整板4之使用極限之厚度對應)。
例如，當修整板4之使用極限之厚度被設定成400μm之情況，凹部8之深度被調整成從背面4b算起400 μm的深度。但是，修整板4之使用極限之厚度，和凹部8之深度不限定於400μm，可以設定成各種數值。
當修整板4隨著研削磨石26之銼磨處理而磨耗，變薄至特定厚度時，在修整板4之表面出現凹部8。因此，因作業者即使以目視亦可以判斷修整板4是否已磨耗至使用極限之厚度，故可以適當地判斷修整工具2已到達至使用極限之時序。
上述修整板4可以藉由與以往之修整板之製造方法類似的製造方法製造。例如，首先成形上述混合材料，形成平坦之圓盤狀之成形體。但是，於成形時，在成形體之圓形之一面的中央部形成與凹部8對應的孔。之後，藉由使成形體燒結，可以製造具有凹部8之修整板4。
另外，即使在成形體不形成與凹部8對應之孔而在燒結體形成與凹部8對應之孔亦可。例如，於將混合材料成形成平坦之圓盤狀之後，燒結成形體。之後，切削圓盤狀之燒結體而形成凹部8。依此，可以製造具有凹部8之修整板4。
接著，針對使用第1實施形態之修整工具2之研削磨石26之修整工程予以說明。圖2為表示修整工具2之使用狀態的側視圖。如圖2所示般，在修整工程中所使用的研削裝置12具備能夠旋轉地支持轉軸14之圓筒狀的轉軸殼體16。
轉軸殼體16係經由移動機構(無圖示)被安裝於研削裝置12之支持柱(無圖示)，在上下方向移動。在轉軸14之下端側，固定安裝研削輪18之滾輪支架20。
在轉軸14之上端側連結包含馬達等之旋轉機構22。在滾輪支架20安裝研削輪18，該研削輪18係藉由從旋轉機構22被傳達的旋轉力而旋轉。
研削輪18具備由鋁、不鏽鋼等之金屬材料形成的圓筒狀之滾輪基台24。與滾輪支架20相反側之滾輪基台24之一面被形成在圓環狀，沿著該圓環狀之一面的圓周方向固定複數研削磨石26。即是，在滾輪基台24之一面側，環狀地配置複數研削磨石26。
在滾輪支架20之下方設置保持台28。保持台28與馬達等之驅動機構(無圖示)連結，在平行於轉軸14之軸方向的旋轉軸之周圍旋轉。
保持台28之表面28a成為吸引保持晶圓等之被加工物的保持面。在保持面通過被形成在保持台28之內部的流路(無圖示)而作用射出器等之吸引源(無圖示)之負壓，產生吸引被加工物的吸引力。
在使支持板6之背面6b側吸附於該保持台28之狀態，使研削輪18和保持台28旋轉，使轉軸殼體16下降。若以將研削磨石26推壓至修整板4之表面4a之方式調節轉軸殼體16之下降量時，研削磨石26藉由修整板4被修整。
圖3為已到達至使用極限之修整工具2之A-A剖面圖。當藉由上述研削磨石26之修整，修整板4磨耗時，修整板4逐漸變薄。當修整板4磨耗至使用極限之厚度時，在修整板4之表面4a側出現凹部8。
如上述般，在第1實施形態之修整工具2，設置與修整板4之使用極限之厚度對應之深度的凹部8。因此，可以根據在修整板4之表面4a側是否出現凹部8，判斷修整板4是否已磨耗至使用極限之厚度。
例如，在辨識是否在表面4a側出現凹部8之情況，因於修整工程結束後，修整工具2從保持台28朝卡匣(無圖示)被搬運，故作業者觀察朝卡匣被搬運之靜止狀態之修整板4之表面4a側。依此，作業者可以辨識在表面4a側是否出現凹部8。
再者，即使作業者觀察修整工具2在保持台28被保持且旋轉的狀態(即是，修整工程中)之修整板4之表面4a側亦可。如此這般，藉由目視旋轉狀態之修整板4，能夠辨識在表面4a側是否出現凹部8。
另外，辨識在表面4a側是否出現凹部8之主體不一定限定於作業者。例如，即使具備攝影表面4a側之攝影機，和從以攝影機攝影到的畫像判定在表面4a側是否出現凹部8之CPU等之判定部的判定裝置，自動地辨識在表面4a側是否出現凹部8亦可。
然而，凹部8之形狀可以進行各種變更。雖然第1實施形態之修整板4之凹部8為概略圓柱狀的孔，但是凹部8之形狀不限定於圓柱狀之孔。
圖4(A)為第2實施形態所涉及之修整工具2之斜視圖，圖4(B)為第2實施形態所涉及之修整工具2之B-B剖面圖。如圖4(A)及圖4(B)所示般，在第2實施形態之修整板4之背面4b側設置有凹部8a。凹部8a係在修整板4之直徑方向具有長邊部之直線狀的溝。
更具體而言，凹部8a係在從背面4b側觀看修整板4之情況，被形成通過圓形之背面4b之中心O的直線狀，凹部8a之長邊方向之長度被形成為與圓形之背面4b之直徑略相同。但是，即使凹部8a從背面4b觀看之情況，被形成不通過背面4b之中心O的直線狀亦可。
凹部8a係從背面4b被形成至未到達表面4a之特定深度。當凹部8a之深度係當修整板4磨耗至使用極限之厚度時，被調整成為在與研削磨石26接觸之修整板4之表面4a側出現凹部8a。
因此，即使在第2實施形態中，作業者亦可以根據在修整板4之表面4a側是否出現凹部8，判斷修整板4是否已磨耗至使用極限之厚度。
並且，因凹部8a被形成通過中心O之直線狀，故在修整板4旋轉之情況，凹部8a被辨識成表面4a側之全體。對此，如第1實施形態般，在凹部8之中心位置被設置在中心O之情況，當修整板4旋轉時，凹部8在表面4a以圓形之點被辨識。
如此一來，因在第2實施形態中，在修整板4旋轉之情況，當在凹部8a出現表面4a側時，比起第1實施形態可以在寬範圍觀察凹部8a，故比起第1實施形態可以更容易辨識在表面4a側是否出現凹部8a。
圖5(A)為第3實施形態所涉及之修整工具2之斜視圖，圖5(B)為第3實施形態所涉及之修整工具2之C-C剖面圖。如圖5(A)及圖5(B)所示般，在第3實施形態之修整板4之背面4b側設置有凹部8b。凹部8b係在從背面4b側觀看修整板4之情況，被設置在較圓形之背面4b之中心O更外側的概略圓柱狀的孔。
第3實施形態之凹部8b之中心位置位於從中心O起距離7r/8之位置(r為背面4b之半徑)。另外，在背面4b之凹部8b之中心位置即使位於較從中心O起距離r/2之位置更外側亦可，即使位於從中心O起距離3r/4之位置亦可。
凹部8b係從背面4b被形成至未達表面4a之特定深度。當凹部8b之深度也係當修整板4磨耗至使用極限之厚度時，被調整成為在在修整板4之表面4a側出現凹部8b。因此，即使在第3實施形態中，亦可以根據在修整板4之表面4a側是否出現凹部8b，判斷修整板4是否已磨耗至使用極限之厚度。
並且，因凹部8b之中心位置被設置在較背面4b之中心O更外側，故在修整板4旋轉之情況，凹部8b在表面4a側以環狀之軌跡被辨識。對此，如第1實施形態般，在凹部8之中心位置被設置在中心O之情況，當修整板4旋轉時，凹部8在表面4a以圓形之點被辨識。
如此一來，因在第3實施形態中，在修整板4旋轉之情況，當在凹部8b出現表面4a側時，比起第1實施形態可以在寬範圍觀察凹部8b，故比起第1實施形態可以更容易辨識在表面4a側是否出現凹部8b。
圖6(A)為第4實施形態所涉及之修整工具2之斜視圖，圖6(B)為第4實施形態所涉及之修整工具2之D-D剖面圖。如圖6(A)及圖6(B)所示般，第4實施形態之修整板4具有環狀的凹部8c，該環狀的凹部8c具有較修整板4之直徑小的直徑。
凹部8c係在從背面4b側觀看修整板4之情況，被設置在較圓形之背面4b之中心O更外周側的環狀的溝。凹部8c在從背面4b側寬看之情況為圓形，但是即使不一定係真圓亦可。另外，凹部8a也係從背面4b被形成至未達表面4a之特定深度。
當凹部8c之深度係當修整板4磨耗至使用極限之厚度時，被調整成為在與研削磨石26接觸之修整板4之表面4a側出現凹部8c。因此，即使在第4實施形態中，亦可以根據在修整板4之表面4a側是否出現凹部8c，判斷修整板4是否已磨耗至使用極限之厚度。
在第4實施形態中，因環狀地設置有凹部8c，故即使凹部8c上之圓周方向之任意區域部分性地被薄化，亦可以辨識在表面4a側是否出現凹部8c。除此之外，在修整板4旋轉之情況，當在表面4a側出現凹部8c時，因比起第1實施形態可以在寬範圍觀察凹部8c，故比起第1實施形態之凹部8，更容易進行凹部8c之辨識等。
然而，從上述第1實施形態至第4實施形態中之修整板4之凹部8、8a、8b及8c之各者由獨立的一個凹部構成。但是，修整板4之凹部8、8a、8b及8c之各者即使由獨立的兩個凹部構成亦可。
圖7(A)為第1實施形態之第1變形例所涉及之修整工具2之剖面圖。第1實施形態之第1變形例所涉及之修整板4在背面4b側之中央部具有第1凹部8-1及第2凹部8-2。第1凹部8-1及第2凹部8-2之各者係彼此分離成獨立而被形成的各者概略圓狀柱的孔。
第1凹部8-1從背面4b被形成至第1深度d1之位置，第2凹部8-2從背面4b被形成較第1深度d1之位置深(即是，接近於表面4a)，並且從背面4b未達表面4a之第2深度d2的位置。
因第2深度d2較第1深度d1深，故當表面4a側磨耗時，第2凹部8-2比起第1凹部8-1先在表面4a側出現。因此，朝向表面4a側出現的第2凹部8-2可以作為表示修整板4之厚度接近於使用極限之厚度的警告顯示而予以利用。
對此，當第1凹部8-1之深度係當修整板4磨耗至使用極限之厚度時，被調整成為在與研削磨石26接觸之修整板4之表面4a側出現第1凹部8-1。即是，朝表面4a側出現的第1凹部8-1與第1實施形態相同，表示修整板4已磨耗至使用極限之厚度之情形。
如此一來，在第1實施形態之第1變形例中，可以以2階段表示與使用極限有關的資訊。作業者係在表面4a側出現第2凹部8-2之情況，可以辨識修整板4之厚度接近於使用極限之厚度，在表面4a側出現第1凹部8-1之情況，可以辨識修整板4已磨耗至使用極限之厚度。
因此，作業者在第2凹部8-2出現在表面4a側之時點，可以採用準備預備的修整工具2等之對應。再者，在第1凹部8-1出現在表面4a側之時點，藉由將修整工具2更換成新的修整工具2，可以更確實地防止研削磨石26之損傷等。
圖7(B)為第2實施形態之第1變形例所涉及之修整工具2之B-B剖面圖。第2實施形態之第1變形例所涉及之修整板4具有具有第1凹部8a-1及第2凹部8a-2。
第1凹部8a-1及第2凹部8a-2係從背面4b側觀看修整板4之情況，被形成彼此平行之直線狀的凹部，被形成彼此分離成各者獨立。
更具體而言，第1凹部8a-1及第2凹部8a-2之各者係在與修整板4之徑向平行之方向具有長邊部之直線狀的溝。第1凹部8a-1係通過修整板4之背面4b側之中心O的直線狀的溝，在第2凹部8a-2(圖7(B)以虛線表示)係被配置成與第1凹部8a-1平行，不通過中心O之直線狀的溝。
第1凹部8a-1從背面4b被形成至第1深度d1之位置，第2凹部8a-2從背面4b被形成至較第1深度d1之位置深(即是，接近於表面4a)，並且從背面4b未達表面4a之第2深度d2的位置。
即使在第2實施形態之第1變形例，作業者也係在表面4a側出現第2凹部8a-2之情況，可以辨識修整板4之厚度接近於使用極限之厚度，在表面4a側出現第1凹部8a-1之情況，可以辨識修整板4已磨耗至使用極限之厚度。
圖7(C)為第3實施形態之第1變形例所涉及之修整工具2之剖面圖。第3實施形態之第1變形例所涉及之修整板4具有第1凹部8b-1及第2凹部8b-2。第1凹部8b-1及第2凹部8b-2之各者係分別被設置在修整板4之背面4b之中心O更外周側之的概略圓柱狀的孔。
第1凹部8b-1及第2凹部8b-2之各者從背面4b側觀看修整板4之情況，被設置在圓形之背面4b之徑向於不同的位置。具體而言，在背面4b之第1凹部8b-1之中心位於從中心O起距離r/2的位置。
對此，在背面4b之第2凹部8b-2之中心位於從中心O起距離7r/8的位置。另外，雖然第2凹部8b-2相對於中心O被配置在與第1凹部8-1相反側，但是第2凹部8b-2之配置不限定於該例，只要第1凹部8b-1及第2凹部8b-2從中心O的距離不相同，被配置在從中心O起的任意兩處即可。
第1凹部8b-1從背面4b被形成至第1深度d1之位置。對此，第2凹部8b-2係從背面4b被形成至較第1深度d1之位置深(即是，接近於表面4a)並且從背面4b未達表面4a之第2深度d2的位置。
即使在第3實施形態之第1變形例，也在表面4a側出現第2凹部8b-2之情況，可以辨識修整板4之厚度接近於使用極限之厚度，在表面4a側出現第1凹部8b-1之情況，可以辨識修整板4已磨耗至使用極限之厚度。
圖7(D)為第4實施形態之第1變形例所涉及之修整工具2之剖面圖。第4實施形態之第1變形例所涉及之修整板4從背面4b側觀看之情況在具有各者為環狀的第1凹部8c-1及第2凹部8c-2。
第1凹部8c-1及第2凹部8c-2之各者從背面4b側觀看修整板4之情況，係被設置在較圓形之背面4b之中心O更外周側的環狀的溝。第1凹部8c-1具有小於修整板4之直徑的第1直徑。對此，第2凹部8c-2具有大於第1凹部8c-1之直徑並且小於修整板4之直徑的第2直徑。
另外，第1凹部8c-1雖然被設置在較第2凹部8c-2更內側，但是在第1直徑大於第2直徑之情況，即使第1凹部8c-1被設置在較第2凹部8c-2更外側亦可。再者，第1凹部8c-1及第2凹部8c-2之各者從背面4b側觀看之時即使不一定係真圓亦可。
第1凹部8c-1從背面4b被形成至第1深度d1之位置，第2凹部8c-2從背面4b被形成至較第1深度d1之位置深(即是，接近於表面4a)，並且從背面4b未達表面4a之第2深度d2的位置。
即使在第4實施形態之第1變形例，也在表面4a側出現第2凹部8c-2之情況，可以辨識修整板4之厚度接近於使用極限之厚度，在表面4a側出現第1凹部8c-1之情況，可以辨識修整板4已磨耗至使用極限之厚度。
雖然在上述第1實施形態之第1變形例之修整板4，設置彼此獨立之第1凹部8-1和第2凹部8-2，但是即使在第1凹部8-1之深度方向，設置上述第1凹部8-1和第2凹部8-2連接之狀態的第3凹部8-3亦可。即是，即使在第1凹部8-1之深度方向，第1凹部8-1和第2凹部8-2完全或部分性地重疊亦可。
圖8(A)為第1實施形態之第2變形例所涉及之修整工具2之A-A剖面圖。第1實施形態之第2變形例所涉及之修整板4在背面4b側之中央部具有第3凹部8-3。
第3凹部8-3係由上述第1凹部8-1及第2凹部8-2構成。第1凹部8-1係具有第1深度d1之概略圓柱狀的孔。對此，第2凹部8-2從背面4b側觀看被配置在第1凹部8-1之略中央，第2凹部8-2從背面4b起具有較第1深度d1之位置深的第2深度d2，係具有較第1凹部8-1小之直徑的概略圓柱狀的孔。
另外，第2凹部8-2從背面4b側觀看即使不一定要配置在第1凹部8-1之略中央亦可。第2凹部8-2從背面4b側觀看若位於第1凹部8-1內，即使配置在任意的位置亦可。
即使在第1實施形態之第2變形例，也在表面4a側出現第2凹部8-2之情況，可以辨識修整板4之厚度接近於使用極限之厚度，在表面4a側出現第1凹部8-1之情況，可以辨識修整板4已磨耗至使用極限之厚度。
圖8(B)為第2實施形態之第2變形例所涉及之修整工具2之B-B剖面圖。第2實施形態之第2變形例所涉及之修整板4具有在修整板4之徑向擁有長邊部之直線狀的第3凹部8a-3。第3凹部8a-3被形成通過背面4b側之中心O，在修正板4之徑向具有長邊部的直線狀。
第3凹部8a-3也由上述第1凹部8a-1及第2凹部8a-2構成。第1凹部8a-1係具有第1深度d1之直線狀的溝。對此，第2凹部8a-2從背面4b側觀看被配置在第1凹部8a-1之略中央，係具有較第1深度d1深的第2深度d2，且具有小於第1凹部8a-1之寬度(即是，與第1凹部8a-1之長邊方向正交之方向的長度)的直線狀的溝。
即使在第2實施形態之第2變形例，也在表面4a側出現第2凹部8a-2之情況，可以辨識修整板4之厚度接近於使用極限之厚度，在表面4a側出現第1凹部8a-1之情況，可以辨識修整板4已磨耗至使用極限之厚度。
另外，第2凹部8a-2從背面4b側觀看即使不一定要配置在第1凹部8a-1之略中央亦可。第2凹部8a-2從背面4b側觀看若位於第1凹部8a-1內時則可以配置在任意的位置。
圖8(C)為第3實施形態之第2變形例所涉及之修整工具2之C-C剖面圖。第3實施形態之第2變形例所涉及之修整板4在較背面4b側之中心O更外周側具有第3凹部8b-3。第3凹部8b-3係由上述第1凹部8b-1及第2凹部8b-2構成。
第1凹部8b-1係具有第1深度d1之概略圓柱狀的孔。對此，第2凹部8b-2從背面4b側觀看被配置在第1凹部8b-1之略中央，係具有較第1深度d1深的第2深度d2，和較第1凹部8b-1小之直徑的概略圓柱狀的孔。
在背面4b之第1凹部8b-1及第2凹部8b-2之各者的中心位置被配置在中心O之外側之相同位置。本例之第1凹部8b-1及第2凹部8b-2之各者的中心被配置在從中心O起距離7r/8之位置。
但是，第1凹部8b-1及第2凹部8b-2之各者的中心位置不限定於從中心O起距離7r/8之位置，即使被配置在從中心O起距離r/2之位置，或從中心O起距離3r/4之位置亦可。
即使在第3實施形態之第2變形例，也在表面4a側出現第2凹部8b-2之情況，可以辨識修整板4之厚度接近於使用極限之厚度，在表面4a側出現第1凹部8b-1之情況，可以辨識修整板4已磨耗至使用極限之厚度。
另外，第2凹部8b-2從背面4b側觀看即使不一定要配置在第1凹部8b-1之略中央亦可。第2凹部8b-2從背面4b側觀看若位於第1凹部8b-1內時則可以配置在任意的位置。
圖8(D)為第4實施形態之第2變形例所涉及之修整工具2之D-D剖面圖。第4實施形態之第2變形例所涉及之修整板4在背面4b側具有被形成環狀之第3凹部8c-3。第3凹部8c-3係由各者為環狀之上述第1凹部8c-1及第2凹部8c-2構成。
第1凹部8c-1係具有第1深度d1之環狀的溝。對此，第2凹部8c-2從背面4b側觀看被配置在與第1凹部8c-1重疊之位置，係具有較第1深度d1深的第2深度d2，和較第1凹部8c-1之徑向之寬度小之寬度的環狀的溝。
另外，雖然第2凹部8c-2之內徑和外徑之中間位置從背面4b側觀看被配置在第1凹部8c-1之內徑和外徑之中間位置，但是第2凹部8c-2之配置不限定於此例。第2凹部8c-2從背面4b側觀看若位於第1凹部8c-1內時則可以配置在任意的位置。
即使在第4實施形態之第2變形例，也在表面4a側出現第2凹部8c-2之情況，可以辨識修整板4之厚度接近於使用極限之厚度，在表面4a側出現第1凹部8c-1之情況，可以辨識修整板4已磨耗至使用極限之厚度。
其他，與上述實施形態有關之構造、方法等只要在不脫離本發明之目的的範圍，可以適當變更而加以實施。例如，凹部8等之形狀不限定於圓柱狀、直線狀或環狀等，即使設為格子狀、多角形形狀亦可。
再者，即使在支持板6之表面6a之中與凹部8等對應的區域之位置，記載或標示用以引起作業者注意的文字或記號等亦可。例如，在支持板6之表面6a中，與凹部8等對應的區域，藉由記載「危險」、「停止」、「結束」、「Life End」等之文字，在表面4a側出現凹部8等之情況，作業者可以辨識「危險」等之文字。
再者，修整工具2即使以研削磨石26之整形為目的而被使用亦可，即使以研削磨石26之銼磨為目的而被使用亦可。研削磨石26之整形之用途可以使用包含尺寸比較大的磨粒之修整板4，研削磨石26之銼磨之用途可以使用包含尺寸比較小之磨粒的修整板4。
2:修整工具
4:修整板
4a:表面
4b:背面
6:支持板
6a:表面
6b:背面
8,8a,8b,8c:凹部
8-1,8a-1,8b-1,8c-1:第1凹部
8-2,8a-2,8b-2,8c-2:第2凹部
8-3,8a-3,8b-3,8c-3:第3凹部
12:研削裝置
14:轉軸
16:轉軸殼體
18:研削輪
20:滾輪支架
22:旋轉機構
24:滾輪基台
26:研削磨石
28:保持台
28a:表面
d1:第1深度
d2:第2深度
r:半徑
O:中心
[圖1(A)]為第1實施形態所涉及之修整工具之斜視圖，[圖1(B)]為第1實施形態所涉及之修整工具之A-A剖面圖。
[圖2]為表示修整工具之使用狀態的側視圖。
[圖3]為已到達至使用極限之修整工具之A-A剖面圖。
[圖4(A)]為第2實施形態所涉及之修整工具之斜視圖，[圖4(B)]為第2實施形態所涉及之修整工具之B-B剖面圖。
[圖5(A)]為第3實施形態所涉及之修整工具之斜視圖，[圖5(B)]為第3實施形態所涉及之修整工具之C-C剖面圖。
[圖6(A)]為第4實施形態所涉及之修整工具之斜視圖，[圖6(B)]為第4實施形態所涉及之修整工具之D-D剖面圖。
[圖7(A)]為第1實施形態之第1變形例所涉及之修整工具之A-A剖面圖，[圖7(B)]為第2實施形態之第1變形例所涉及之修整工具之B-B剖面圖，[圖7(C)]為第3實施形態之第1變形例所涉及之修整工具之C-C剖面圖，[圖7(D)]為第4實施形態之第1變形例所涉及之修整工具之D-D剖面圖。
[圖8(A)]為第1實施形態之第2變形例所涉及之修整工具之A-A剖面圖，[圖8(B)]為第2實施形態之第2變形例所涉及之修整工具之B-B剖面圖，[圖8(C)]為第3實施形態之第2變形例所涉及之修整工具之C-C剖面圖，[圖8(D)]為第4實施形態之第2變形例所涉及之修整工具之D-D剖面圖。
2:修整工具
4:修整板
4a:表面
4b:背面
6:支持板
6a:表面
6b:背面
8:凹部
Claims (4)
- 一種修整工具，其係修整環狀地被配列在研削輪之一面側的複數研削磨石，該修整工具之特徵在於，具備：修整部，其係修整該研削磨石；和支持部，其係支持該修整部之背面側，在該修整部之該背面側，設置未到達至位於與該修整部之該背面相反側的表面，並且與該修整部之使用極限之厚度對應之深度的凹部，該修整部之該凹部係在從該背面側觀看該修整部之情況，被設置成直線狀。
- 一種修整工具，其係修整環狀地被配列在研削輪之一面側的複數研削磨石，該修整工具之特徵在於，具備：修整部，其係修整該研削磨石；和支持部，其係支持該修整部之背面側，在該修整部之該背面側，設置未到達至位於與該修整部之該背面相反側的表面，並且與該修整部之使用極限之厚度對應之深度的凹部，該修整部之該凹部係在從該背面側觀看該修整部之情況，被設置成環狀。
- 如請求項1或2之修整工具，其中該修整部之該凹部包含具有第1深度的第1凹部，和具有較該第1深度更深之第2深度的第2凹部。
- 如請求項3之修整工具，其中在該凹部之深度方向，該第1凹部和該第2凹部係重疊。
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