JP2015139844A - ドレッシング工具 - Google Patents
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 5
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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Abstract
Description
4 ドレッシングボード
4a 表面(上面)
4b 裏面(下面)
4c 溝(溝部)
4d 底
4e 一端
4f 他端
4g 段差(段差部)
6 支持プレート
6a 上面
6b 下面
1 研削装置
3 保持テーブル
5 スピンドル
7 ホイールマウント
9 研削ホイール
9a ホイール基台
9b 研削砥石
D 深さ
T 厚さ
Claims (3)
- 研削ホイールに装着された研削砥石をドレッシングするドレッシング工具であって、
該研削砥石をドレッシングするドレッシングボードと、該ドレッシングボードが上面に固定された支持プレートと、を備え、
該ドレッシングボードの表面側には、該ドレッシングボードの使用限界の厚さに対応する深さの溝部が形成されており、
該ドレッシングボードによって該研削砥石をドレッシングした際に該ドレッシングボードの該表面側が摩耗することで該溝部が浅くなり、該溝部が識別できなくなることで該ドレッシングボードの厚さが使用限界の厚さに達したことを検知できることを特徴とするドレッシング工具。 - 該溝部は、該ドレッシングボードの該表面と平行な方向において所定の長さに形成されるとともに、一端から他端に向けて深くなっており、
該ドレッシングボードが摩耗するにつれて該溝部の該長さが短くなることを特徴とする請求項1に記載のドレッシング工具。 - 研削ホイールに装着された研削砥石をドレッシングするドレッシング工具であって、
該研削砥石をドレッシングするドレッシングボードと、該ドレッシングボードが上面に固定された支持プレートと、を備え、
該ドレッシングボードの表面側の外周縁には、該ドレッシングボードの使用限界の厚さに対応する深さの段差部が形成されており、
該ドレッシングボードによって該研削砥石をドレッシングした際に該ドレッシングボードの表面側が摩耗することで該段差部が浅くなり、該段差部が識別できなくなることで該ドレッシングボードの厚さが使用限界の厚さに達したことを検知できることを特徴とするドレッシング工具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014013952A JP6234250B2 (ja) | 2014-01-29 | 2014-01-29 | ドレッシング工具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014013952A JP6234250B2 (ja) | 2014-01-29 | 2014-01-29 | ドレッシング工具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015139844A true JP2015139844A (ja) | 2015-08-03 |
JP6234250B2 JP6234250B2 (ja) | 2017-11-22 |
Family
ID=53770569
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014013952A Active JP6234250B2 (ja) | 2014-01-29 | 2014-01-29 | ドレッシング工具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6234250B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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TWI834863B (zh) | 2019-04-15 | 2024-03-11 | 日商迪思科股份有限公司 | 修整工具 |
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2014
- 2014-01-29 JP JP2014013952A patent/JP6234250B2/ja active Active
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TWI834863B (zh) | 2019-04-15 | 2024-03-11 | 日商迪思科股份有限公司 | 修整工具 |
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