TWI807484B - 剝離機構及使用該剝離機構的積層裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之課題在於提供一種剝離機構及使用該剝離機構的積層裝置，係藉著容易地形成剝離起點部，而能夠平順地進行剝離動作而不會對薄片造成損傷。剝離機構100具備：剝離載台20；剝離頭10；及冷卻手段11，係將具薄膜的薄片Sf的外周部的一部分冷卻，形成剝離起點部Ra；剝離頭10係包含薄膜保持手段12、14，該薄膜保持手段12、14係以保持著剝離起點部Ra之薄膜f的狀態，藉由剝離頭10及剝離載台20的相對移動，從薄片S剝離薄膜f。藉此，藉著容易地形成剝離起點部，能夠平順地進行剝離動作而不會對薄片造成損傷。

Description

剝離機構及使用該剝離機構的積層裝置

本發明特別是關於一種具備冷卻手段之剝離機構及使用該剝離機構的積層裝置。

積層裝置係將構成電子零件之複數片的薄片積層者，剝離機構具備對準手段、積層手段及搬運手段等。此剝離機構係於藉由對準手段將薄片對準之前，或藉由積層手段形成由複數片薄片構成的積層體之後，從最上層的薄片剝離薄膜。

例如，專利文獻1(特別是參照段落[0052]至[0055]及圖6之(a))記載有一種剝離機構(以下稱「以往的剝離機構」)，其係對具薄膜的薄片之整體進行加熱處理，藉由黏著層的起泡膨脹而使黏著力下降後，從薄片剝離薄膜。

然而，由於以往的剝離機構藉由加熱處理會產生具薄膜的薄片之整體性的軟化，所以存在有難以從薄片開始進行剝離薄膜，亦即難以形成剝離起點部等問題點(以下稱「難以形成剝離起點部」)。

[先前技術文獻]

[專利文獻]

專利文獻1：日本特開2019-186399號公報

而且，近年來，由於積層體被要求小型化及低高度化，乃進行著被積層的薄片本身的薄化，該薄化後的薄片的剛性會變得比較低。因此，當使用以往的剝離機構而對薄化後的具薄膜的薄片的整體進行加熱處理時，薄化後的薄片的剛性就更降低而產生薄膜及薄片一體化的現象。藉此，由於從薄片剝離薄膜的施作本身變得非常困難，所以前述的問題點(難以形成剝離起點部)就變得更顯著，而且一旦在該狀態下進行剝離動作時，也會於薄片形成不可逆的皺摺，以致於有對薄片本身造成損傷之虞。

本發明係鑒於上述的課題而完成的發明，目的在於提供一種剝離機構及使用該剝離機構的積層裝置，該剝離機構及使用該剝離機構的積層裝置係藉著容易地形成剝離起點部，能夠平順地進行剝離動作而不會對薄片造成損傷。

本發明之一實施型態的剝離機構，係具備：剝離載台，係以固定狀態載置具薄膜的薄片；及剝離頭，係從載置在前述剝離載台的前述薄片剝離前述薄膜；前述剝離頭係包含：冷卻手段，係將前述具薄膜的薄片的外周部的一部分冷卻，形成剝離起點部；及薄膜保持手段，係以保持著前述剝離起點部之前述薄膜的狀態，藉由前述剝離頭及前述剝離載台的相對移動，從前述薄 片剝離前述薄膜。

本發明之一實施型態的積層裝置，係具備前述剝離機構，且具備：對準手段，係進行前述薄片的對位；及積層手段，係將對位後的前述薄片積層。

依據本發明，能夠達成提供一種剝離機構及使用該剝離機構的積層裝置的目的，該剝離機構及使用該剝離機構的積層裝置係藉著容易地形成剝離起點部，能夠不會對薄片造成損傷而平順地進行剝離動作。

1:積層裝置

10:剝離頭

11:冷卻模組(冷卻手段)

11a:噴嘴

11b:管

11c:轉動軸

12:黏著輥(薄膜保持手段)

12b:外周面

13:彈推構件

13a:旋轉軸

14:夾箝爪(薄膜保持手段)

14a:突起

20:剝離載台

21:吸附板

22:吸附通口

100:剝離機構

200:對準手段

201:對準載台

300:積層手段

301:積層載台

A:剝離載台位置

B:對準載台位置

C:積層載台位置

D:待機位置

E:開始位置

f:薄膜

fa:黏著交界線

L:對角線方向

Pl1,Pl2,Pl3,Pl4:剝離線

Ra:剝離起點部

S:薄片

Sf:具薄膜的薄片

圖1係顯示使用有本發明之實施型態之剝離機構的積層裝置的俯視示意圖。

圖2係本發明之實施型態之剝離機構的概略說明圖，分別為(a)表示剝離機構的俯視圖，(b)表示剝離頭之沿薄片對角線的側視圖，(c)表示剝離載台之沿薄片對角線的側視圖。

圖3係從薄膜之剝離工序中的冷卻準備動作至剝離起點部形成動作為止的說明圖，分別為(a)及(b)表示冷卻準備動作的側視圖及俯視圖，(c)及(d)表示剝離起點部形成動作的側視圖及俯視圖。

圖4係從薄膜之剝離工序中的黏著動作至捲繞動作為止的說明圖，分別為(a)及(b)表示黏著動作的側視圖及俯視圖，(c)及(d)表示捲繞動作的側視圖及俯視圖。

圖5係從薄膜之剝離工序中的拉起動作至夾箝動作為止的說明圖，分別為(a)及(b)表示拉起動作的側視圖及俯視圖，(c)及(d)表示夾箝動作的側視圖及俯視圖。

圖6係薄膜之剝離工序中的剝離動作的說明圖，分別為(a)及(b)表示剝離動作(水平方向)的側視圖及俯視圖，(c)及(d)表示剝離動作(斜上方向)的側視圖及俯視圖。

圖7係薄膜之剝離工序中的剝離結束時的說明圖，分別為(a)及(b)表示剝離結束時的側視圖及俯視圖。

以下一邊參照圖式一邊詳細地說明本發明的實施型態。以下說明的實施型態係例示具體地實現本發明之型態者。如此一來，按照本發明適用的裝置之構成及各種條件，以下說明的實施型態的構成係應可適當地修正或變更者，本發明並非限定於以下的實施型態者。

<關於用語>

本說明書及專利申請範圍的記載中，係如以下的方式來定義各用語。所指的「積層」係表示複數片(也包含二片)的貼合。所指的「積層體」係表示貼合有複數片(也包含二片)的薄片S者。所指的「剝離線」係表示薄膜f接著於薄片S的區域與剝離後的區域的交界線。所指的「薄膜的黏著交界線」係表示黏著於黏著輥12之下端部的薄膜f的區域與未黏著於黏著輥12之下端部的薄膜f的區域的交界線。

圖1係顯示使用有本發明之實施型態之剝離機構100的積層裝置1的俯視示意圖。在此，X軸方向係表示剝離載台20延伸的一個方向者，Y軸方向係表示與X軸方向正交且剝離載台20延伸的另一個方向者。再者，Z軸方向係表示與X軸方向及Y軸方向正交且剝離載台20面臨的方向者。而且，圖1中的點A至點C表示各載台的中心位置，分別與剝離載台位置、對準載台位置及積層載台位置對應。

<關於積層裝置>

積層裝置1係將構成電子零件之經薄化後的複數片薄片S高精度且高速地積層者。此積層裝置1係具備剝離機構100、對準手段200、積層手段300及搬運手段(未圖示)。以下依序說明該等構成。此外，積層裝置1更具備剝離機構100、對準手段200、積層手段300以及控制搬運手段的控制手段(未圖示)。

<關於剝離機構>

剝離機構100具備剝離頭10(參照圖2之(a))以及剝離載台20。剝離機構100的詳細內容於後述，然而係以固定狀態將屬於剝離對象物的具薄膜的薄片Sf載置於剝離載台20之後，藉由剝離頭10從薄片S剝離薄膜f。

<關於對準手段>

對準手段200係進行薄片S之對基準位置的對位者，對準手段200具備：將薄片S吸附固定並載置的對準載台201；用以將薄片S對基準位置對位，而進行對準載台201之於XY平面內的移動及轉動的電動致動器(未圖示)、以及對設置 於薄片S之對位參照用的標記進行攝像的對準攝像單元(未圖示)。

對準手段200係藉由複數個吸附通口(未圖示)而對載置於對準載台201上的薄片S進行真空吸附。然後，對準攝像單元對設置於薄片S的參照用的標記進行攝像。此經攝像到的影像被傳送給影像處理裝置(未圖示)，藉由影像處理而算出參照用的標記的位置，並且算出該所算出的參照用的標記與預先決定的基準位置的誤差。在此，若該誤差在預定範圍內，則判斷為薄片S的對位已適切地進行，並依據來自控制手段的指示而將薄片S之對位動作結束。相對於此，若該誤差在預定範圍外，則判斷為薄片S的對位未適切地進行。此時，電動致動器依據來自控制手段的指示而以使誤差呈最小的方式，藉由對準載台201進行薄片S之於XY平面內的移動及轉動。此對於預先決定的基準位置的對位係持續進行直到誤差達預定範圍內為止。

<關於積層手段>

積層手段300具備供複數片的薄片S積層而形成積層體的積層載台301。

<關於搬運手段>

搬運手段具備：能夠往X軸方向(箭號I方向：剝離載台位置A與對準載台位置B，箭號II方向：對準載台位置B與積層載台位置C)及Z軸方向移動的搬運滑動機構(未圖示)；以及被搬運滑動機構垂懸支撐且將薄片S吸附保持的搬運保持機構(未圖示)。

<關於在積層裝置中的積層工序>

使用圖1來依序說明於積層裝置1中的薄片S的積層工序。

首先，於剝離機構100，一片具薄膜的薄片Sf以固定狀態載置於剝離載台20上之後，薄膜f的外周部的一部分藉由剝離頭10來保持。其後，藉由剝離頭10(參照圖2之(a))與剝離載台20的相對移動而從薄片S剝離薄膜f。此外，於本實施型態的剝離機構100中，由於不會像以往的剝離機構那般地對具薄膜的薄片Sf整體進行加熱處理，所以能夠抑制整體性的具薄膜的薄片的軟化。

於剝離機構100中，當從薄片S剝離薄膜f結束時，搬運保持機構就藉由搬運滑動機構而從待機位置(未圖示)移動到剝離載台位置A之後，往Z軸方向的下方移動。當此搬運保持機構抵接到薄片S時，就藉由真空吸附而使薄片S被搬運保持機構保持。其後，搬運保持機構藉由搬運滑動機構而往Z軸方向的上方移動，從剝離載台位置A往對準載台位置B移動，並且沿X軸方向移動之後，往Z軸方向的下方移動，並且抵接於對準載台201的上表面。然後，搬運保持機構藉由解除吸附保持而使薄片S被載置於對準載台201的預定位置之後，搬運保持機構藉由搬運滑動機構而移動至待機位置。

再者，於對準手段200，當適切地進行了薄片S的對位時，搬運保持機構藉由搬運滑動機構而從待機位置移動至對準載台位置B之後，往Z軸方向的下方移動。然後，當搬運保持機構抵接到已適切地對位於對準載台201上之薄片S時，藉由真空吸附而使薄片S被搬運保持機構保持。其後，搬運保持機構藉由搬運滑動機構而往Z軸方向的上方移動，從對準載台位置B往積層載台位置C移動，而沿X軸方向(箭號II方向)移動之後，往Z軸方向的下方移動而抵接於積層載台301的上表面，或抵接於已積層之其他的薄片S。然後，搬運保持機構藉由解除吸附保持而使薄片S被載置於積層載台301的預定位置。以上藉由進行 所說明的積層裝置1中的積層工序，薄膜f從薄片S剝離，並且積層已適切地進行了對位的薄片S而形成積層體。藉此，能夠使用抑制品質降低的薄片S而形成積層體。

此外，由於本實施型態的剝離機構100的剝離對象物為一片具薄膜的薄片Sf，所以在藉由對準手段200對薄片S進行對準之前，從薄片S剝離薄膜f。然而不限於此方式，例如剝離對象物若為積層體之最上層的具薄膜的薄片Sf，也可藉由積層手段300形成由複數片薄片S構成的積層體，進行暫時壓接之後，從最上層的薄片S剝離薄膜f。

本實施型態的積層裝置1係具備：剝離機構100、對準手段200、積層手段300、搬運手段及控制手段。然而本實施型態的積層裝置1不限於此構成，也可具備例如將薄片S供給到剝離載台20上的薄片供給手段，以及將薄片S的積層體進行壓接而予以一體化的壓接手段等。

<關於剝離機構的詳細構成>

圖2係本發明之實施型態之剝離機構的概略說明圖，分別為(a)表示剝離機構的俯視圖，(b)表示剝離頭之沿薄片對角線的側視圖，(c)表示剝離載台之沿薄片對角線的側視圖。在此，圖2之(a)中的一點鏈線L係表示載置於剝離載台20之具薄膜的薄片Sf之一方的對角線的延長線上者。再者，圖2之(a)中的點A、點D、點E及點F分別表示薄片S的中心位置、待機位置、開始位置及結束位置，且係配置於一點鏈線L上者。

剝離機構100具備：剝離頭10；進行剝離頭10之往對角線方向L之移動的剝離頭驅動手段(相對移動手段)(未圖示)；剝離載台20；以及進行剝離 載台20之往對角線方向L之移動的剝離載台驅動手段(相對移動手段)(未圖示)。以下依序說明此等構成。此外，於本實施型態中為了簡化說明，乃如圖2之(a)及圖2之(b)所示，設成將剝離載台20設為固定狀態，並藉由剝離頭驅動手段而使剝離頭10往對角線方向L(箭號III方向)、Z軸方向(箭號IV方向)以及沿對角線方向L之斜上方向(箭號IX方向)移動者。藉此，能夠使剝離頭10及剝離載台20產生相對移動。

<關於剝離頭>

如圖2之(b)所示，剝離頭10具備：冷卻模組(冷卻手段)11、黏著輥(薄膜保持手段)12、彈推構件13、夾箝爪(薄膜保持手段)14及夾箝爪驅動機構(未圖示)。

<冷卻模組>

冷卻模組11具備：設於剝離頭109下端部且噴射冷卻流體的噴嘴11a；被剝離頭10保持且從貯藏有冷卻流體的流體源(未圖示)對噴嘴11a供給冷卻流體之可撓性的管11b；將冷卻流體升壓及冷卻的壓縮機(未圖示)及冷卻裝置(未圖示)；以及使噴嘴11a轉動的噴嘴驅動機構(未圖示)。此外，採用以加壓狀態貯藏冷卻流體的高壓容器作為流體源等的情形下，能夠省略壓縮機。此噴嘴11a具有前端部縮窄的錐形(taper)形狀，能夠局部性地噴射冷卻流體(參照圖2之(b)中的虛線)。再者，噴嘴驅動機構係與對角線方向L正交，以沿水平方向延伸的轉動軸11c為中心，使噴嘴11a沿轉動方向(箭號V方向)轉動而調整冷卻流體的噴射角度α。

在此，本實施型態之冷卻流體的種類能夠從液化石油氣(LPG)、液化天然氣(LNG)、乙醇、薄荷醇、新型冷媒氣體(R32、R410a)、液態氮及二氧化碳氣體等之中選擇。本實施型態之冷卻流體的溫度係將冷卻對象部位的溫度設為周圍環境溫度(例如室溫)以下，然而較佳為設成0(℃)以下。再者，本實施型態之冷卻流體的噴射時間為10秒(sec)以下，然而較佳為設成3秒(sec)以下。再者，本實施型態之冷卻流體的流速、流量及溫度係保持於固定值，然而不限於此方式，例如也可使其變化。此外，為了使冷卻流體往各式各樣規格的具薄膜的薄片Sf的上表面及側面噴射，本實施型態之冷卻流體的噴射角度α係設成相對於水平面呈0(°)至90(°)。

<黏著輥及彈推構件>

黏著輥12具有圓筒形狀且於外周面12b具備具有黏著性的黏著面。詳細內容於後述，然而此黏著輥12的黏著面藉由黏著薄膜f而能夠使薄膜f從薄片S剝離，並且能夠保持此剝離後的薄膜f。本實施型態之黏著輥12的外周面12b係將整體設成黏著面，然而不限於此方式，也可至少僅一部分(例如薄膜f所黏著的區域)設為黏著面。再者，本實施型態之黏著輥12之黏著面的材質係由例如丙烯酸類或矽膠類等黏著劑構成。

彈推構件13係由彈簧等構成，於下端部具備與對角線方向L正交而沿水平方向延伸的旋轉軸13a，以從剝離頭10垂下的狀態被支撐。

黏著輥12係於彈推構件13被樞支成能夠向以旋轉軸13a為中心的旋轉方向(箭號VII方向)旋轉。於本實施型態中，使黏著輥12接觸薄膜f時，藉由剝離頭驅動手段來調整彈推構件13之往彈推方向(箭號VI方向)的推進量，藉 此，能夠將黏著輥12以所希望的彈推力對薄膜f施加負荷。

<夾箝爪及夾箝爪驅動機構>

夾箝爪14於下端部具備朝對角線方向L突出的突起14a，與黏著輥12沿著對角線方向L相對向配置。夾箝爪驅動機構使夾箝爪14相對於黏著輥12往分離、接近方向(箭號VIII方向)移動。藉由此夾箝爪驅動機構，夾箝爪14對黏著輥12接近配置，能夠於夾箝爪14與黏著輥12之間夾持薄膜f。

<關於剝離載台>

如圖2之(c)所示，剝離載台20具備：配置於剝離載台20上的吸附板21；及隔著吸附板21而使屬於剝離對象物的具薄膜的薄片Sf真空吸附的複數個吸附通口22。

為了防止薄片S的破損，吸附板21係具有複數個連通孔，例如可由具有複數個孔的板狀構件來構成，也可由樹脂製的多孔質材料來構成。

<關於具薄膜的薄片Sf>

屬於剝離對象物的具薄膜的薄片Sf係於薄片S上積層有薄膜f。此具薄膜的薄片Sf包含在薄片S與薄膜f之間具有黏著層者(例如膠帶)，以及在薄片S與薄膜f之間不具有黏著層者(例如PET薄膜)等。在此，本實施型態的具薄膜的薄片Sf係經薄化而成者，且薄片S及薄膜f的厚度分別設為50(μm)及20(μm)，然而不限於此方式，也可將薄片S及薄膜f的厚度分別設為1(μm)以下。

<關於剝離機構中的剝離工序>

使用圖3至圖7來說明於剝離機構100中的剝離工序。此外，剝離機構100的驅動係以控制手段為主體，依據來自控制手段的指示而執行。在此，為了方便說明，關於圖3之(b)、圖3之(d)、圖4之(b)、圖4之(d)、圖5之(b)、圖5之(d)、圖6之(b)、圖6之(d)及圖7之(b)，以虛線表示剝離頭10的外形，並且以實線表示噴嘴11a。

<關於冷卻準備動作>

首先，使用圖3之(a)及圖3之(b)來說明冷卻準備動作。此外，在初始狀態上，剝離頭10係在待機位置D停止，噴嘴11a係以朝向水平方向的方式配置。再者，，屬於剝離對象物的具薄膜的薄片Sf係隔著吸附板21被吸附固定於剝離載台20上。

剝離頭10藉由剝離頭驅動手段而從待機位置D往開始位置E沿對角線方向L(箭號III(1)方向)移動。此時，黏著輥12係配置於具薄膜的薄片Sf的角部之一(之後的剝離起點部Ra)的上方。其後，剝離頭10藉由剝離頭驅動手段而往Z軸方向的下方(箭號IV(2)方向)移動。再者，噴嘴11a藉由噴嘴驅動機構而沿轉動方向(箭號V(3)方向)轉動，與具薄膜的薄片Sf的角部之一相對向配置。

在此，能夠依據具薄膜的薄片Sf的種類(例如厚度等)而調整噴嘴11a的配置。例如，具薄膜的薄片Sf較薄時，藉由來自具薄膜的薄片Sf之上方的冷卻而能夠分別提高薄膜f及薄片S的剛性。如此一來，使噴嘴11a自具薄膜的薄片Sf往上方(箭號IV(2)方向)離開，並且使之往轉動方向(箭號V(3)方向)大幅地轉動，而將冷卻流體的噴射角度α(參照圖3之(c))較大地設定。相對於此，具薄膜 的薄片Sf的薄膜f較薄厚時，藉由來自具薄膜的薄片Sf之側方的冷卻而能夠分別提高薄膜f及薄片S的剛性。如此一來，使噴嘴11a朝向下方向(箭號IV(2)方向)往具薄膜的薄片Sf接近，並且使之往轉動方向(箭號V(3)方向)小幅地轉動，而將冷卻流體的噴射角度α(參照圖3之(c))較小地設定。

<關於剝離起點部形成動作>

接著，使用圖3之(c)及圖3之(d)來說明具薄膜的薄片Sf較薄時的剝離起點部形成動作。此外，由於具薄膜的薄片Sf的薄膜f較厚之情形與具薄膜的薄片Sf較薄之情形，僅冷卻流體的噴射角度α不同，所以省略說明。

冷卻模組11在冷卻處理上，係在使噴嘴11a在與具薄膜的薄片Sf的角部之一相對向配置的狀態下，從具薄膜的薄片Sf的上方噴射冷卻流體。藉此，於具薄膜的薄片Sf中經噴射冷卻流體後的局部的冷卻區域與非冷卻區域相比較，薄膜f及薄片S的剛性暫時地變大，因此，抑制了薄膜f及薄片S的一體化。從而，形成此局部的冷卻區域作為剝離起點部Ra，而能夠開始從薄片S剝離薄膜f。

在此，具薄膜的薄片Sf包含：在薄片S與薄膜f之間具有黏著層，此黏著層的黏著力(化學結合力)成為薄片S與薄膜f之間的密接力的薄片；在薄片S與薄膜f之間不具有黏著層，會有定錨效應(anchor effect)所造成的結合力(機械結合力)、分子間相互作用所造成的結合力(物理結合力)等成為薄片S與薄膜f之間的密接力的薄片。以往的剝離機構是進行藉由對具有黏著層的具薄膜的薄片Sf進行加熱處理而使黏著層起泡膨脹，降低薄片S與薄膜f之間的密接力者。

相對於此，本實施型態的剝離機構100則是無關有無黏著層，能 夠對各自的具薄膜的薄片Sf容易地形成剝離起點部Ra。此外，形成有此屬於冷卻區域之剝離起點部Ra的狀態係暫時的狀態，會因時間經過的變化而轉移成周圍環境溫度。因此，藉由噴射冷卻流體，形成剝離起點部Ra之後，必須迅速地進行於剝離起點部Ra的剝離。

於本實施型態的剝離機構100中，藉由進行冷卻處理，增大薄膜f及薄片S之各自的剛性，抑制薄膜f及薄片S的一體化，因此，能夠解決以往的剝離機構具有的問題點(難以形成剝離起點部)，能夠平順地進行剝離動作而不會對薄片S造成損傷。

此外，本實施型態係於具薄膜的薄片Sf的角部之一形成剝離起點部Ra，從此剝離起點部Ra朝向具薄膜的薄片Sf的中心位置A而自薄片S剝離薄膜f。本實施型態與沿著具薄膜的薄片Sf的一邊形成均勻的剝離起點部Ra的情形相比較，能夠縮短剝離起點部Ra的形成時間，並且能夠沿著剝離線均勻地持續從薄片S剝離薄膜f。再者，本實施型態中的冷卻模組11係在形成剝離起點部Ra時噴射冷卻流體，然而不限於此方式，例如也可將噴嘴11a設成可沿水平方向掃描的構成，而在從薄片S剝離薄膜f時，一邊沿水平方向進行掃描，一邊對薄片S及薄膜f的側部噴射冷卻流體。

<關於黏著動作>

使用圖4之(a)及圖4之(b)來說明黏著動作。剝離頭10藉由剝離頭驅動手段而往Z軸方向的下方(箭號IV(4)方向)移動，於黏著輥12之外周面12b中具有黏著性的黏著面會接觸薄膜f之與剝離起點部Ra對應的區域。此時，藉由剝離頭驅動手段調整彈推構件13之彈推方向(箭號VI(5)方向)之推進量，黏著輥12以所希望 的彈推力推壓薄膜f。藉此，薄膜f之與剝離起點部Ra對應的區域藉由黏著輥12的黏著面而確實地被黏著保持。而且，噴嘴11a藉由噴嘴驅動機構而沿轉動方向(箭號V(6)方向)轉動，並回復到朝向水平方向的初始狀態。藉此，於之後的剝離動作中，能夠避免噴嘴11a與其他的構件的相互干擾。

<關於捲繞動作>

使用圖4之(c)及圖4之(d)來說明捲繞動作。首先，剝離頭10藉由剝離頭驅動手段而從開始位置E朝向中心位置A沿對角線方向L(箭號III(7)方向)移動。

於此捲繞動作中，於剝離起點部Ra的冷卻效果被維持，薄膜f及薄片S的剛性與非冷卻區域比較，剛性依然變大。再者，黏著輥12藉由彈推構件13而恆常往彈推方向(箭號VI(5)方向)被施以負荷，薄膜f被黏著保持於黏著輥12的黏著面。再者，黏著輥12之黏著面相對於薄膜f的黏著力設定成比在薄片S與薄膜f之界面產生的密接力高。

接著，伴隨著剝離頭10往對角線方向L(箭號III(7)方向)移動，黏著輥12以旋轉軸13a為中心而沿旋轉方向(箭號VII(8)方向)旋轉。此時，藉由黏著輥12的外周面12b相對於薄膜f轉動，以從薄膜f之與剝離起點部Ra對應的區域依序捲繞於黏著輥12之黏著面的方式被黏著保持，並且形成剝離線Pl1。

藉由如此將薄膜f捲繞於黏著輥12，能夠增加被黏著保持的面積，亦即，能夠增加黏著輥12相對於薄膜f的黏著力。在此，為了之後的夾箝動作，將要捲繞於黏著輥12之薄膜f的前端捲繞至比連結夾箝爪14之突起14a及黏著輥12之旋轉軸13a的直線還位於Z軸方向的上方位置為止。

於本實施型態中，從剝離起點部形成動作後直到捲繞動作為止 的時間係設定為0(s)至30(s)，惟較佳為設成0(s)至10(s)。如此一來，在本實施型態中，在維持著剝離起點部Ra之冷卻效果的時間內(例如噴射冷卻流體後至數秒鐘以內)，進行於剝離起點部Ra的剝離，而能夠平順地進行剝離動作。

<關於拉起動作>

使用圖5之(a)及圖5之(b)來說明拉起動作。進行此拉起動作係為了避免於之後的剝離動作(水平方向)中，剝離頭10對於剝離載台20、吸附板21、薄片S以及剝離後的薄膜f造成實體上的干擾。

剝離頭10藉由剝離頭驅動手段而往Z軸方向的上方(箭號IV(9方向)移動。此時，黏著輥12藉由彈推構件13而朝彈推方向(箭號VI(10)方向)施加負荷，並且薄膜f的一部分捲繞於黏著輥12，因此，對於薄膜f之黏著交界線fa與剝離線Pl2之間的薄膜f產生拉伸力。藉由此拉伸力，薄膜f從薄片S重新剝離而從剝離線Pl1往剝離線Pl2移動。在此，藉由黏著輥12轉動時，調整在黏著輥12與彈推構件13之間產生的摩擦力，能夠防止於拉起動作中黏著輥12轉動。再者，藉由將薄膜f捲繞於黏著輥12的捲繞，由於會增加黏著輥12之相對於薄膜f的黏著力，所以能夠防止拉起動作時，薄膜f從黏著輥12落下。

<關於夾箝動作>

使用圖5之(c)及圖5之(d)來說明夾箝動作。此夾箝動作係為了於之後的剝離動作(水平方向)中，繼續地使薄膜f從薄片S剝離而進行者。

夾箝爪14藉由夾箝爪驅動機構而往接近方向(箭號VIII(11)方向)移動。此時，夾箝爪14的突起14a與黏著輥12之間夾持已捲繞在黏著輥12之黏 著面的薄膜f。藉此，除了黏著輥12的黏著力以外，更藉由夾箝爪14與黏著輥12的夾持力而能夠將薄膜f更牢固地支撐於黏著輥12。

<關於剝離動作(水平方向)>

使用圖6之(a)及圖6之(b)來說明剝離動作(水平方向)。剝離頭10藉由剝離頭驅動手段而沿對角線方向L(箭號III(12)方向)往中心位置A移動。在此，伴隨著剝離頭10朝向中心位置A，剝離線(Pl2、Pl3)的長度，亦即使之剝離的區域增加，剝離力變得較大。因此，將隔著剝離線Pl3之薄膜f接著於薄片S的區域與已剝離的區域所形成的角度β 1設定成較小的銳角，並且將往對角線方向L(箭號III(12)方向)的移動速度設定成較低速(例如1(mm/sec)至50(mm/sec))。藉此，如圖6之(a)所示，能夠使產生黏著輥12之黏著力及夾箝爪14與黏著輥12之夾持力的方向(大致水平方向)，與藉由剝離頭驅動手段而於薄膜f產生的拉伸力的方向一致，能夠防止薄膜f從黏著輥12脫落，並且能夠確實地將薄膜f從薄片S剝離。

<關於剝離動作(斜上方向)>

使用圖6之(c)及圖6之(d)來說明剝離動作(斜上方向)。剝離頭10藉由剝離頭驅動手段而往對角線方向L且往沿Z軸方向的上方，亦即斜上方向(箭號IX(13)方向)移動。在此，伴隨著剝離頭10從中心位置A朝向結束位置，剝離線(Pl3、Pl4)的長度，亦即要使之剝離的區域減少，剝離力變得較小。因此，將隔著剝離線Pl4之薄膜f接著於薄片S的區域與已剝離的區域所形成的角度β 2設定成較大的角度，並且將往斜上方向(箭號IX(13)方向)的移動速度設定成較高速(例如 10(mm/sec)至100(mm/sec))。藉此，如圖6之(c)所示，即使產生黏著輥12之黏著力及夾箝爪14與黏著輥12之夾持力的方向(大致水平方向)與藉由剝離頭驅動手段而對薄膜f產生的拉伸力的方向若干不同，也能夠迅速地使薄膜f從薄片S剝離，且薄膜f不會從黏著輥12脫落。

<關於剝離結束時>

使用圖7之(a)及圖7之(b)來說明剝離結束時。剝離頭10藉由剝離頭驅動手段移動至結束位置F。剝離後的薄膜f會從黏著輥12垂下。此剝離後的薄膜f藉由回收機構(未圖示)(例如吸盤、機器手等)吸附或把持之後，夾箝爪14藉由夾箝爪驅動機構自黏著輥12分離而解除夾箝爪14與黏著輥12的夾持力。而且，回收機構藉由回收機構驅動手段(未圖示)移動到回收箱(未圖示)的上方後，解除吸附或把持。藉此，薄膜f自黏著輥12剝離而往回收箱排出。其後，剝離頭10移動至屬於初始狀態的待機位置D，進行對其他的具薄膜的薄片Sf的剝離工序。

(關於其他的實施型態)

於本實施型態中，冷卻模組11係設成經由噴嘴11a而噴射冷卻流體，然而不限於方式。也可為例如採用小型的鼓風機以取代噴嘴11a，或也可於與具薄膜的薄片Sf的角部之一個(剝離起點部Ra)對應的剝離載台20的區域設置帕耳帖(Peltier)元件等，從具薄膜的薄片Sf的下方進行冷卻者。藉此，由於能夠使剝離頭10輕量化，以及預先使黏著輥12與具薄膜的薄片Sf的距離接近，所以能夠在維持著剝離起點部Ra之冷卻效果的時間內確實地進行剝離動作。此外，將冷卻模組11設於剝離載台20時，由於只要將冷卻模組11設於具薄膜的薄片Sf之至少 與剝離起點部Ra對應的區域即可，所以也可設於例如與具薄膜的薄片Sf整體對應的區域。

(發明的實施型態)

本發明的第一實施型態係一種剝離機構100，具備：剝離載台20，係以固定狀態載置具薄膜的薄片Sf；剝離頭10，係從載置在剝離載台20的薄片S剝離薄膜f；及冷卻手段11，係將具薄膜的薄片Sf的外周部的一部分冷卻，形成剝離起點部Ra；剝離頭10係包含薄膜保持手段12、14，該薄膜保持手段12、14係以保持著剝離起點部Ra之薄膜f的狀態，藉由剝離頭10及剝離載台20的相對移動，從薄片S剝離薄膜f。

如以上所述，藉由將具薄膜的薄片Sf的外周部的一部分冷卻，形成剝離起點部Ra，由於能夠增大薄膜f及薄片S各自的剛性，抑制薄膜f及薄片S的一體化，所以達到能夠解決以往的剝離機構存在有的問題點(難以形成剝離起點部)的效果。

本發明的第二實施型態，係於第一實施型態中，冷卻手段11更進一步設於剝離頭10，從具薄膜的薄片Sf的上方及側方進行冷卻以形成剝離起點部Ra。

如以上所述，達成能夠依據具薄膜的薄片Sf的種類(例如厚度等)而調整冷卻位置的效果。

本發明的第三實施型態，係於第一實施型態中，冷卻手段11更進一步設於剝離載台20，從具薄膜的薄片Sf的下方進行冷卻以形成剝離起點部Ra。

藉由以上構成，由於能夠預先使黏著輥12與具薄膜的薄片Sf的距離接近，所以達成能夠在維持著剝離起點部Ra之冷卻效果的時間內確實地進行剝離動作的效果。

本發明的第四實施型態，係於第一實施型態中，薄膜保持手段12、14更具備：彈推構件13，係於剝離頭10以垂下方式設置；及黏著輥12，係可旋轉地設於彈推構件13且外周面12b之至少一部分具備黏著面；黏著輥12藉由彈推構件13而使黏著面推壓剝離起點部Ra，並且對薄片S進行相對移動，藉此將薄膜f捲繞至黏著面。

藉由以上構成，達成能夠在維持著剝離起點部Ra之冷卻效果的時間內進行剝離動作的效果。

本發明的第五實施型態，係於第四實施型態中，薄膜保持手段12、14更具備：夾箝爪14，係與黏著輥12相對向配置，且能夠相對於黏著輥12而往分離、接近方向移動；夾箝爪14在接近配置於黏著輥12的狀態下，將捲繞於黏著輥12之黏著面的薄膜f夾持在與黏著輥12之間。

如以上所述，由於藉由夾箝爪14與黏著輥12的夾持力而能夠將薄膜f更牢固地支持於黏著輥12，所以達成進行剝離動作(水平方向、斜上方向)時，能夠防止薄膜f從黏著輥12脫落的效果。

本發明的第六實施型態，係於第一實施型態中更為：具薄膜的薄片Sf具有大致矩形形狀，剝離起點部Ra形成於具薄膜的薄片Sf的一個角部，使剝離頭10及剝離載台20之間產生往薄片S之對角線方向L的相對移動，而使薄膜f自薄片S剝離。

藉由以上構成，與沿著具薄膜的薄片Sf的一邊形成均勻的剝離起 點部Ra的情形相比較，可達成能夠縮短剝離起點部Ra的形成時間，並且能夠沿著剝離線均勻地維持從薄片S剝離薄膜f的效果。

本發明的第七實施型態，係一種積層裝置1，具備：第一至第六實施型態中任一實施型態所述之剝離機構100；對準手段200，係進行薄片S的對位；及積層手段300，係將對準後的薄片S積層。

藉由以上構成，可達成解決薄片S的品質降低，並使用該薄片S而形成積層體的效果。

10:剝離頭

11:冷卻模組(冷卻手段)

11a:噴嘴

11b:管

11c:轉動軸

12:黏著輥(薄膜保持手段)

13:彈推構件

14:夾箝爪(薄膜保持手段)

20:剝離載台

21:吸附板

22:吸附通口

100:剝離機構

A:剝離載台位置

E:開始位置

f:薄膜

L:對角線方向

Ra:剝離起點部

S:薄片

Claims (7)

1. 一種剝離機構，係具備：

   剝離載台，係以固定狀態載置具薄膜的薄片；

   剝離頭，係從載置在前述剝離載台的前述薄片剝離前述薄膜；及

   冷卻手段，係將前述具薄膜的薄片的外周部的一部分冷卻，形成剝離起點部；

   前述剝離頭係包含薄膜保持手段，該薄膜保持手段係以保持著前述剝離起點部之前述薄膜的狀態，藉由前述剝離頭及前述剝離載台的相對移動，從前述薄片剝離前述薄膜。
2. 如請求項1所述之剝離機構，其中，前述冷卻手段設於前述剝離頭，從前述具薄膜的薄片的上方及側方進行冷卻以形成剝離起點部。
3. 如請求項1所述之剝離機構，其中，前述冷卻手段設於前述載台，從前述具薄膜的薄片的下方進行冷卻以形成剝離起點部。
4. 如請求項1所述之剝離機構，其中，前述薄膜保持手段具備：彈推構件，係於前述剝離頭以垂下方式設置；及黏著輥，係可旋轉地設於前述彈推構件且外周面之至少一部分具備黏著面；

   前述黏著輥藉由前述彈推構件而使前述黏著面推壓前述剝離起點部，並且對前述薄片進行相對移動，藉此將前述薄膜捲繞至前述黏著面。
5. 如請求項4所述之剝離機構，其中，前述薄膜保持手段更具備：夾箝爪，係與前述黏著輥相對向配置，且能夠相對於前述黏著輥而往分離、接近方向移動；

   前述夾箝爪在接近配置於前述黏著輥的狀態下，將捲繞於前述黏著輥之黏著面的前述薄膜夾持在與前述黏著輥之間。
6. 如請求項1所述之剝離機構，其中，前述具薄膜的薄片具有大致矩形形狀，前述剝離起點部形成於前述具薄膜的薄片的一個角部，

   使前述剝離頭及前述剝離載台之間產生往前述薄片之對角線方向的相對移動，而使前述薄膜自前述薄片剝離。
7. 一種積層裝置，係具備：

   請求項1至6中任一項所述之剝離機構；

   對準手段，係進行前述薄片的對位；及

   積層手段，係將對位後的前述薄片積層。

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