TWI772532B - 搬送系統 - Google Patents
搬送系統 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI772532B TWI772532B TW107135575A TW107135575A TWI772532B TW I772532 B TWI772532 B TW I772532B TW 107135575 A TW107135575 A TW 107135575A TW 107135575 A TW107135575 A TW 107135575A TW I772532 B TWI772532 B TW I772532B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- work
- specific
- specific vehicle
- priority
- vehicle
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G35/00—Mechanical conveyors not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67259—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection
- H01L21/67265—Position monitoring, e.g. misposition detection or presence detection of substrates stored in a container, a magazine, a carrier, a boat or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/0492—Storage devices mechanical with cars adapted to travel in storage aisles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/137—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
- B65G1/02—Storage devices
- B65G1/04—Storage devices mechanical
- B65G1/137—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed
- B65G1/1373—Storage devices mechanical with arrangements or automatic control means for selecting which articles are to be removed for fulfilling orders in warehouses
-
- G—PHYSICS
- G08—SIGNALLING
- G08G—TRAFFIC CONTROL SYSTEMS
- G08G1/00—Traffic control systems for road vehicles
- G08G1/01—Detecting movement of traffic to be counted or controlled
- G08G1/0104—Measuring and analyzing of parameters relative to traffic conditions
- G08G1/0137—Measuring and analyzing of parameters relative to traffic conditions for specific applications
- G08G1/0145—Measuring and analyzing of parameters relative to traffic conditions for specific applications for active traffic flow control
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67046—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly scrubbing means, e.g. brushes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67276—Production flow monitoring, e.g. for increasing throughput
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
- H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
- H01L21/67733—Overhead conveying
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Control Of Conveyors (AREA)
- Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)
- Liquid Crystal Substances (AREA)
Abstract
實現下述技術:在具備複數台搬送物品的搬送車之搬送系統中,可緩和起因於進行特定的作業之特定車的行走速度比搬送車更低之情形所產生的堵塞。搬送系統具備有複數台在搬送路徑上行走以搬送物品的搬送車,且更具備有:特定車,一邊以比搬送車更低速來行走於搬送路徑上,一邊進行特定的作業;及堵塞判定部,判定特定車的後方中的堵塞之有無。在堵塞判定部已判定為有堵塞的情況下,特定車是將作業中斷並且執行退避行走,前述退避行走是從原本進行作業的作業地點退避。
Description
發明領域
本發明是有關於一種具備有複數台在搬送路徑上行走以搬送物品的搬送車之搬送系統。
發明背景
在例如日本專利特開2013-000605號公報中揭示有一種搬送系統,其具備有複數台在搬送路徑上行走以搬送物品的搬送車(以下,在先前技術中附加在括弧內的符號為參照之文獻的符號)。在此搬送系統中,是藉由可行走於行走導引部(L)的複數台搬送用台車(2)來搬送物品(7)。又,此搬送系統是和上述之搬送用台車(2)分開而另外具備有可行走於行走導引部(L)的清掃用台車(W),並藉由此清掃用台車(W)來去除附著於行走導引部(L)的塵埃等,以進行該行走導引部(L)的清掃。如此,在此搬送系統中,是形成為特定車行走於和搬送用台車(2)所行走的路徑相同的路徑上之構成,其中前述特定車是進行物品(7)的搬送以外的特定作業(在此為行走導引部(L)的清掃)之特定車。
然而,為了適當地進行行走導引部(L)的清掃,清掃用台車(W)的行走速度大多也會設定得比搬送用台車(2)更低。又,不限於清掃作業,在進行搬送以外的特定作業之情況下,進行該特定作業的特定車的行走速度有時會設定得比搬送台車(2)更低。並且,在這種特定車以比搬送用台車(2)更低速來行走的情況下,會有在特定車的後方產生由複數台搬送用台車(2)所造成的堵塞之情況。但是,在上述文獻所記載的技術中,並未特別地考慮到對於像這樣的堵塞之對策。
發明概要
於是,所期望的是下述技術的實現:在具備複數台搬送物品的搬送車之搬送系統中,能夠緩和起因於進行特定的作業之特定車的行走速度比搬送車更低之情形所產生的堵塞。
有鑒於上述之具備有複數台在搬送路徑上行走以搬送物品的搬送車之搬送系統的特徵構成之點在於:前述搬送系統更具備:特定車,一邊以比前述搬送車更低速來行走於前述搬送路徑上,一邊進行特定的作業;及堵塞判定部,判定前述特定車的後方中的堵塞之有無,在前述堵塞判定部已判定為有堵塞的情況下,前述特定車將前述作業中斷並且執行退避行走,前述退避行走是從原本進行前述作業的作業地點退避。
根據本構成,由於特定車是一邊以比搬送車更低速來行走一邊進行特定的作業,因此易於將作業精度維持得較高。並且,在特定車的後方已產生堵塞的情況下,因為特定車可將作業中斷並執行退避行走,所以可以讓原本行走於特定車的後方之搬送車相對較早地回復到能夠以常規的行走速度來行走的狀態,而變得可緩和堵塞。
本揭示之技術的更進一步之特徵與優點,透過參照圖式所記述之以下的例示性且非限定的實施形態之說明應可變得更加明確。
用以實施發明之形態
1.第1實施形態
參照圖式來說明搬送系統的第1實施形態。
1-1.搬送系統的機械性構成
如圖1所示,搬送系統1具備有複數台行走於搬送路徑99上以搬送物品9(參照圖2)的搬送車2。搬送車2可將物品9搬送至各處。例如,作為搬送對象的物品9,為收容半導體晶圓的容器(前開式晶圓傳送盒,Front Opening Unified Pod;FOUP)等。在此情況下,搬送車2是將物品9搬送至用於處理半導體基板的處理裝置、或用於暫時保管在製品的保管庫等。在以下,是以將搬送系統1適用於半導體製造設備的情況為例來說明。
搬送路徑99是藉由沿著天花板而設置的行走軌道R來設定,搬送車2是構成為行走於此行走軌道R,藉此行走於搬送路徑99上。
如圖2所示,搬送車2具備有行走部21、本體部23、及連結行走部21與本體部23的連結部22。行走部21是配置於行走軌道R的上側。本體部23是藉由連結部22而連結於行走部21,且配置於行走軌道R的下側。
行走部21具有在行走軌道R上滾動的複數個車輪21A。在本例中,複數個車輪21A是設置於行走部21的左右及前後,行走部21合計具有4個車輪21A。複數個車輪21A當中的至少1個是藉由未圖示的行走馬達來驅動而在行走軌道R上滾動。
於本體部23具備有用於移載物品9的移載裝置24。移載裝置24是在搬送車2與搬送對象場所(處理裝置或保管庫等)之間移載物品9。雖然省略詳細的說明,但移載裝置24具有例如用於把持物品9的把持部、配置於行走軌道R的下方之用於使物品9在與搬送對象場所之間升降的升降部、又,用於因應於需要而將物品9的擺姿變更成對應於搬送對象場之適當的擺姿的旋繞部等。但是,移載裝置24只要為了在與搬送對象場所之間移載物品9而具備必要的構成即可,並不限定於如上述之構成。
如圖3所示,搬送車2具備有位置資訊讀取部2F,前述位置資訊讀取部2F是用於從設置於搬送路徑99或其附近的各地點之位置資訊儲存部F,讀取該各地點中的位置資訊。藉此,搬送車2就變得可掌握自身車的現在位置。再者,位置資訊儲存部F亦可藉由例如條碼來構成,亦可藉由無線射頻識別標籤來構成。在位置資訊儲存部F是藉由條碼來構成的情況下,位置資訊讀取部2F宜作為條碼讀取器而構成,在位置資訊儲存部F是藉由無線射頻識別標籤來構成的情況下,位置資訊讀取部2F宜作為標籤讀取器而構成。
如圖1所示,搬送系統1具備有特定車3,前述特定車3是一邊以比搬送車2更低速來行走於搬送路徑99上,一邊進行特定的作業。在本實施形態中,於搬送路徑99中設定有複數個作業區WA,特定車3是在各作業區WA中進行特定的作業。再者,作業區WA可設定於任意的範圍,並不限定於圖示的例子。又,行走於搬送路徑99上的特定車3的台數,可以設定成任意的台數,但宜至少設定成比搬送車2的台數更少的台數。在圖示的例子中,搬送系統1是相對於複數台搬送車2而具備有1台特定車3。
在此,在本說明書中「特定的作業」是指用於搬送物品9的作業以外的作業,可包含例如用於清掃行走軌道R的清掃作業、用於製作搬送路徑99的地圖、或用於特定出設備內的需要維護的部位的拍攝作業等。在本實施形態中,特定的作業是用於清掃行走軌道R的清掃作業,特定車3是作為進行清掃作業的清掃車而構成。特定車3是進行用於去除附著於行走軌道R的塵埃等的清掃作業。在以下,有時會將作為特定的作業之清掃作業簡稱為「特定作業」來說明。
如圖2所示,特定車3具備有行走部31、本體部33、及連結行走部31與本體部33的連結部32。行走部31是配置於行走軌道R的上側。本體部33是藉由連結部32而連結於行走部31,且配置於行走軌道R的下側。
行走部31具有在行走軌道R上滾動的複數個車輪31A。在本例中,複數個車輪31A是設置於行走部31的左右及前後,行走部31合計具有4個車輪31A。複數個車輪31A當中的至少1個是藉由未圖示的行走馬達來驅動而在行走軌道R上滾動。
如圖3所示,特定車3具備有位置資訊讀取部3F,前述位置資訊讀取部3F是用於從設置於搬送路徑99或其附近的各地點之位置資訊儲存部F,讀取該各地點中的位置資訊。藉此,特定車3就變得可掌握自身車的現在位置。如以上,特定車3的基本上的構成是形成為和搬送車2大致相同。
在此,特定車3更具備有吸塵器單元34。並且,特定車3是構成為可藉由吸塵器單元34來清掃行走軌道R。
如圖2所示,吸塵器單元34具有吸引行走軌道R上的塵埃等的管嘴部34A、以及在該管嘴部34A中產生吸引力的吸引力產生部34B。在圖示的例子中,管嘴部34A是設置於行走部31,且藉由軟管部34C而連接於吸引力產生部34B。又,在圖示的例子中,吸引力產生部34B是設置於本體部33。但是,並不限定於像這樣的構成,吸引力產生部34B亦可設置於行走部31。吸引力產生部34B具備例如馬達以及被該馬達所驅動的泵浦。
在本實施形態中,吸塵器單元34更具有用於使附著於行走軌道R的塵埃等從該行走軌道R剝離的刷部34D。在圖示的例子中,刷部34D是設置於行走部31,且配置成相對於管嘴部34A而於特定車3的行走方向的前方側相鄰。藉此,在由管嘴部34A所進行的吸引之前,可以使附著於行走軌道R的塵埃等從該行走軌道R剝離,而形成易於進行吸引的狀態。
1-2.搬送系統的控制構成
如圖3所示,搬送系統1具備有控制系統整體的統合控制裝置4H、控制搬送車2的動作的搬送車控制裝置2H、以及控制特定車3的動作的特定車控制裝置3H。搬送車控制裝置2H是設置於複數台搬送車2的每一台上。特定車控制裝置3H是設置於特定車3。這些控制裝置具備有例如微電腦等之處理器、記憶體等之周邊電路等。並且,藉由可在這些硬體、及電腦等的處理器上執行的程式之協同合作,而可實現各個功能。
統合控制裝置4H是構成為可和搬送車控制裝置2H及特定車控制裝置3H的每一個進行通訊。統合控制裝置4H具備有用於對搬送車控制裝置2H(搬送車2)及特定車控制裝置3H(特定車3)進行各種指令的指令部41。例如,統合控制裝置4H是對搬送車控制裝置2H(搬送車2)進行用於使其搬送物品9的搬送指令,且對特定車控制裝置3H(特定車3)進行用於使其進行特定作業的作業指令。
統合控制裝置4H具備有儲存各種資訊的儲存部42。儲存部42是例如按複數個作業區WA的每一個而儲存有已進行特定作業的日期時間。又,在本實施形態中,儲存部42至少儲存有後述之堵塞判定基準、判定開始閾值Tt、及中斷閾值Nt。
統合控制裝置4H具備有位置資訊取得部4F,前述位置資訊取得部4F是從搬送車控制裝置2H(搬送車2)及特定車控制裝置3H(特定車3),取得對應之搬送車2及特定車3的現在位置。藉此,變得可掌握存在於搬送路徑99的搬送車2及特定車3的現在位置。
統合控制裝置4H具備有用於判定開始進行特定作業之開始地點SP的開始地點判定部44。在本例中,可在依據搬送車2及特定車3的行走方向來定義上游及下游的情況下,將複數個作業區WA中的各最上游地點當中的任一個判定為開始地點SP。在本實施形態中,開始地點判定部44是依據儲存部42中按複數個作業區WA所儲存的已進行特定作業的日期時間,而按複數個作業區WA來算出從該日期時間到現在為止的經過期間。並且,在複數個作業區WA當中,將從進行前次的特定作業時(日期時間)到現在為止的經過期間為較長的作業區WA設為開始區SA,並將該開始區SA的最上游地點判定為開始地點SP(參照圖1)。具體而言,開始地點判定部44是依據事先已儲存於儲存部42的基準期間PE(例如1週),而提取出從進行前次的特定作業時到現在為止的經過期間為基準期間PE以上的作業區WA。藉此提取出1個作業區WA的情況下,將該作業區WA設為開始區SA。另一方面,在提取出複數個作業區WA的情況下,開始地點判定部44是在所提取出的複數個作業區WA當中,將從進行前次的特定作業時到現在為止的經過期間為最長的作業區WA設為開始區SA。統合控制裝置4H是對特定車控制裝置3H(特定車3)進行作業指令,以在開始地點SP中開始特定作業。藉此,作為系統整體即變得可有效率地進行特定作業。
此搬送系統1具備有判定特定車3中的後方的堵塞之有無的堵塞判定部45。在本例中,統合控制裝置4H具備有堵塞判定部45。在本實施形態中,堵塞判定部45是依據堵塞判定基準來判定特定車3的後方中的堵塞(以下,簡稱為堵塞)之有無。
在此,統合控制裝置4H具備有用於設定堵塞判定基準的判定基準設定部43,堵塞判定基準是因應於各種參數來設定。如圖4所示,在本實施形態中,是將設定於特定車3的後方的設定範圍SR中存在有設定台數SN以上的搬送車2之情況,設為堵塞判定基準。在圖4中例示有將設定台數SN設定為5台的情況。在已滿足堵塞判定基準的情況下,在本例中,為在設定範圍SR中存在有5台以上的搬送車2的情況下,堵塞判定部45即判定為有堵塞。統合控制裝置4H因為是如上述地構成為可掌握存在於搬送路徑99的搬送車2的現在位置,所以可依據各搬送車2的現在位置,來掌握設定範圍SR內的搬送車2的台數。再者,設定範圍SR及設定台數SN宜因應於設備的特性(搬送車2的常規速度等)來適當設定。
又,較理想的是,堵塞判定基準是因應於各種狀況而進行可變設定。例如,在考慮到有限的區內之情況下,存在於該區內的搬送車2的台數越多,變得越易於發生涉及多數台搬送車2之較大規模的堵塞。在本實施形態中,是因應於存在於特定車3正在進行特定作業的作業區WA內的搬送車2之台數,而將堵塞判定基準進行可變設定,以讓堵塞判定部45在該台數為較多的情況下,相較於該台數為較少的情況,較易於判定為有堵塞。例如,可以對堵塞判定基準進行可變設定,以在設定台數SN為設定當初的狀態原樣下,使設定範圍SR變寬。或者,可以對堵塞判定基準進行可變設定,以在設定範圍SR為設定當初的狀態原樣下,使設定台數SN變少。藉此,可以趁未發生較大的堵塞前及早判定堵塞之有無,而變得可迅速地進行用於堵塞緩和的對應。
在此搬送系統1中,在堵塞判定部45已判定為有堵塞的情況下,特定車3是將特定作業中斷並且執行退避行走,前述退避行走是從原本進行特定作業的作業地點WP退避。在本實施形態中,特定車3是從統合控制裝置4H接收用於使其中斷特定作業的作業中斷指令,並於將該特定作業中斷後,藉由接收退避行走指令而執行退避行走。在退避行走指令中,統合控制裝置4H是對特定車3指示例如行走於和行走於該特定車3的後方之搬送車2的行走路徑不同的路徑的指令。藉此,可以使特定車3從搬送車2的前方退避,而使該搬送車2以常規速度(或者比常規速度更高速)來行走。其結果即變得可緩和堵塞。在此,亦可在搬送系統1中,和搬送路徑99分開而設置有退避用路徑的情況下,將特定車3設成藉由退避行走的執行來行走於該退避用路徑。再者,堵塞判定部45未判定為有堵塞的情況(判定為無堵塞的情況)下,特定車3是持續進行特定作業。
在本實施形態中,退避行走中的特定車3的行走速度是設定成比特定作業中的特定車3的行走速度更快的速度。藉此,變得可在特定車3已開始退避行走的階段,將行走於該特定車3的後方之搬送車2的行走速度加快,而變得可更早期地實現堵塞的緩和。
在此,退避行走中的特定車3的行走速度的上限,宜設定於不會有吸塵器單元34的管嘴部34A或刷部34D強力地接觸於行走軌道R而破損之可能性的範圍。較理想的是,例如,將退避行走中的特定車3的行走速度的上限設定成和搬送車2的常規速度(例如搬送物品9中的速度)相同程度。即使是這樣的設定,也變得可使行走於特定車3的後方之搬送車2以常規速度來行走。
又,較理想的是,例如,將吸塵器單元34中的管嘴部34A或刷部34D構成為進退自如,並將吸塵器單元34構成為可在作業狀態(管嘴部34A、刷部34D突出於接近行走軌道R之側的狀態)與非作業狀態(管嘴部34A、刷部34D退回到遠離行走軌道R之側的狀態)切換自如。在此情況下,吸塵器單元34宜構成為在特定車3為退避行走中的狀態下是成為非作業狀態。根據此構成,即可以抑制起因於對行走軌道R的接觸之管嘴部34A或刷部34D的破損等,並且更加提高退避行走中的特定車3的行走速度。
如圖5所示,在本實施形態中,特定車3是在退避行走的執行後,返回到已將特定作業中斷的作業地點WP(中斷地點CP)並重新開始特定作業。在本例中,開始地點判定部44是在具有由特定車3所進行的退避行走的情況下,對已將特定作業中斷的作業地點WP(中斷地點CP),判定作為再次開始特定作業的重新開始地點RP。
在以上,說明了進行由堵塞判定部45所進行的堵塞之有無的判定處理的情況。但是,在本實施形態中,堵塞判定部45是構成為在特定作業的持續時間T超過事先設定的判定開始閾值Tt之前,不進行堵塞之有無的判定處理。如上述,判定開始閾值Tt是儲存於統合控制裝置4H所具備的儲存部42。並且,如圖3所示,在本例中,統合控制裝置4H具備有作業時間測量部46,前述作業時間測量部46是用於測量由特定車3所進行的特定作業開始後之該特定作業的持續時間T。在此,作業時間測量部46所測量的特定作業的持續時間T,是在1個作業區WA內連續進行之特定作業的持續時間。堵塞判定部45是構成為對照儲存部42所儲存的判定開始閾值Tt、以及由作業時間測量部46所測量的特定作業的持續時間T,而在持續時間T超過判定開始閾值Tt之前不進行堵塞之有無的判定處理。並且,堵塞判定部45在持續時間T已超過判定開始閾值Tt的情況下,是進行堵塞之有無的判定處理。再者,判定開始閾值Tt是表示時間的值,且宜設定成適當且合宜的值。作為一例,宜將判定開始閾值Tt設定成30~60秒。
又,在以上,說明了藉由堵塞判定部45判定為有堵塞的情況下,特定車3將特定作業中斷並且執行退避行走的情況。但是,在本實施形態中是構成為:在1個作業區WA內的特定作業的中斷次數N已到達事先設定的中斷閾值Nt之情況下,即使在堵塞判定部45判定為有堵塞的情況下,特定車3仍然會在該作業區WA中的特定作業完成之前持續進行該特定作業。如上述,中斷閾值Nt是儲存於統合控制裝置4H所具備的儲存部42。並且,如圖3所示,在本例中,統合控制裝置4H具備有中斷次數測量部47,前述中斷次數測量部47是用於測量1個作業區WA內的特定作業的中斷次數N。在本例中,中斷次數測量部47是構成為:在其他的作業區WA中未進行特定作業,而在1個作業區WA中連續發生特定作業的中斷之情況下,對該作業區WA內的特定作業的中斷次數N作加總計算。換句話說,在某個作業區WA中發生特定作業的中斷後,將其他的作業區WA設定作為優先作業區PA而在該優先作業區PA中已開始特定作業的情況下,是將發生特定作業的中斷之上述作業區WA中的特定作業的中斷次數N重設為初始值(零)。但是,並不限定於像這樣的構成,中斷次數測量部47亦可構成為:即使是在1個作業區WA中未連續發生特定作業的中斷之情況下,仍然可隨時對中斷次數N作加總計算。再者,無論是上述哪一種構成,都可在1個作業區WA中特定作業已完成的情況下,將該作業區WA中的中斷次數N重設為初始值(零)。
統合控制裝置4H是構成為:對照儲存部42所儲存的中斷閾值Nt、以及由中斷次數測量部47所測量的1個作業區WA內的特定作業的中斷次數N,而在中斷次數N已到達中斷閾值Nt的情況下,即使藉由堵塞判定部45而判定為有堵塞的情況下,仍然不對特定車3進行作業中斷指令。統合控制裝置4H在中斷次數N未到達中斷閾值Nt的情況,且藉由堵塞判定部45而判定為有堵塞的情況下,是對特定車3進行作業中斷指令及退避行走指令。再者,中斷閾值Nt是表示次數(自然數)的值,且宜設定成適當且合宜的值。作為一例,宜將中斷閾值Nt設定成5~10次。
接著,參照圖6的流程圖來說明在搬送系統1中進行的控制順序。
統合控制裝置4H是對特定車3進行使其進行特定作業的作業指令(#10)。如上述,作為進行特定作業的作業區WA,而在複數個作業區WA當中,將從進行前次的特定作業時(日期時間)到現在為止的經過期間為較長的作業區WA選擇作為開始區SA。統合控制裝置4H是在已進行作業指令之後,進行堵塞判定基準的設定(#11)。在本例中,是依據存在於所選擇的作業區WA內之搬送車2的台數,來設定特定車3的後方的設定範圍SR及設定範圍SR內的搬送車2的設定台數SN。再者,對特定車3的作業指令與堵塞判定基準的設定,亦可為實施的順序為相反。
統合控制裝置4H是在已設定堵塞判定基準之後,判定特定作業的持續時間T是否已超過判定開始閾值Tt(#12)。在特定作業的持續時間T超過判定開始閾值Tt之前,是不進行堵塞之有無的判定,而是持續進行特定作業(#12;否)。在判定為特定作業的持續時間T已超過判定開始閾值Tt的情況下(#12;是),統合控制裝置4H會判定特定車3的後方中的堵塞之有無(#13)。堵塞之有無的判定是依據堵塞判定基準而藉由堵塞判定部45來進行。已判定為無堵塞的情況下(#13;否),持續進行特定作業,並且週期性地重複堵塞之有無的判定。
已判定為有堵塞的情況下(#13;是),統合控制裝置4H會判定正在進行特定作業的作業區WA中的現在的特定作業的中斷次數N,是否已到達中斷閾值Nt(#14)。判定為中斷次數N已到達中斷閾值Nt的情況下(#14;是),是持續進行特定作業。
已判定為有堵塞的情況(#13;是),且已判定為中斷次數N未到達中斷閾值Nt的情況下(#14;否),統合控制裝置4H會對特定車3進行使其中斷特定作業的作業中斷指令(#15),並且進行使特定車3從作業地點WP(中斷地點CP)退避的退避行走指令(#16)。
已進行了作業中斷指令及退避行走指令之後(#15、#16),統合控制裝置4H會進行下述意旨之指令:將已中斷特定作業的作業地點WP(中斷地點CP)設為再次開始進行特定作業的重新開始地點RP,且在該重新開始地點RP(中斷地點CP)中進行特定作業(#17)。
2.第2實施形態
接著,說明搬送系統1的第2實施形態。在本實施形態中,和上述第1實施形態相較之下,控制構成不同。在以下,主要是針對和上述第1實施形態不同的點來說明。關於未特別說明的點,是與上述第1實施形態同樣。
如圖7所示,在本實施形態中,統合控制裝置4H具備有優先地點判定部48,前述優先地點判定部48是用於判定應優先進行特定作業的地點即優先地點PP。在本例中,優先地點判定部48是在特定車3執行了退避行走之後,判定應比已中斷特定作業的作業地點WP(中斷地點CP)更優先進行特定作業的地點即優先地點PP之有無。並且,優先地點判定部48在判定為有應比中斷地點CP更優先的優先地點PP的情況下,如圖8所示,特定車3是在退避行走的執行後,移動到該優先地點PP並開始特定作業。藉此,變得可作為系統整體而提升特定車3所進行的特定作業的作業效率。
優先地點判定部48是藉由執行優先地點判定處理,而判定優先地點PP之有無。在圖9中所顯示的是,顯示執行優先地點判定處理時的處理順序的一例的流程圖。
在本實施形態之優先地點判定處理中,是如圖9所示,首先,優先地點判定部48是按每個作業區WA來算出經過期間指標X,其中前述經過期間指標X是因應於從進行前次的特定作業時到現在為止的經過期間之指標(#100)。經過期間指標X是以從進行前次的特定作業時到現在為止的經過期間越長,即成為越高的值的方式來算出。亦即,經過期間指標X為越高的值(經過期間越長),則應進行特定作業的優先順位變得越高。可以設為例如以下之設定:按從前次的特定作業起算的經過日數之每「1天」,使經過期間指標X之值增加「1」。
又,優先地點判定部48是按每個作業區WA來算出台車密度指標Y,其中前述台車密度指標Y是因應於作業區WA內之搬送車2的密度之指標(#200)。在此,搬送車2的密度能夠以各作業區WA中每單位路徑長度之搬送車2的台數來表示。並且,台車密度指標Y是以搬送車2的密度越小成為越高的值的方式來算出。亦即,台車密度指標Y為越高的值(台車密度越小),則應進行特定作業的優先順位變得越高。可以設為例如以下之設定:路徑長度每「10[m]」的搬送車2的台數之倒數成為台車密度指標Y。
並且,在本實施形態中,優先地點判定部48是對經過期間指標X與台車密度指標Y之和乘上中斷地點優先係數α,以算出優先度Z(#300)。優先度Z是按每個作業區WA來算出。在此,中斷地點優先係數α,是就已於過去進行特定作業的中斷,且在該作業區WA內的特定作業尚未完成之作業區WA,而設為「比1更大的值(實數)」,且就於過去未進行過特定作業的中斷的作業區WA、或即使已於過去進行特定作業的中斷但在其之後仍已完成特定作業的作業區WA,而設為「1」。藉此,於過去中斷特定作業,且尚未在作業區WA的整體中完成特定作業的作業區WA,變得易於被選擇作為優先地點PP。
按每個作業區WA來算出優先度Z後,優先地點判定部48是在緊接於優先地點判定處理之前,以已中斷特定作業的中斷地點CP所屬的作業區WA、及其他的作業區WA,來比較優先度Z(#400)。藉此,即可判定優先地點PP之有無(#500)。具體而言,是在緊接於優先地點判定處理之前,有比已中斷特定作業的中斷地點CP所屬的作業區WA的優先度Z更高的優先度Z之作業區WA的情況下,將具有該較高的優先度Z之作業區WA設為優先作業區PA(參照圖8)。再者,比中斷地點CP所屬的作業區WA的優先度Z更高的優先度Z之作業區WA存在複數個的情況下,是將其中優先度Z最高的作業區WA設為優先作業區PA。
並且,在中斷地點CP所屬的作業區WA的優先度Z為最高的情況下,是將中斷地點CP設為再次開始特定作業的重新開始地點RP。在中斷地點CP所屬的作業區WA以外的作業區WA被判定為優先作業區PA的情況下,是如以下地決定重新開始地點RP。亦即,在優先作業區PA中,在於過去並未進行特定作業的中斷、或即使是已在過去進行特定作業的中斷的情況下仍然在之後完成特定作業的情況下,是將該優先作業區PA的最上游地點判定為優先地點PP,且將該優先地點PP決定成重新開始地點RP。另一方面,雖然省略圖示,但在優先作業區PA中,已於過去進行特定作業的中斷,且該優先作業區PA中的特定作業尚未完成的情況下,是將在過去已中斷特定作業的中斷地點CP判定為優先地點PP,且將該優先地點PP決定成重新開始地點RP。再者,在圖8中是省略了行走於作業區WA內的搬送車2。
接著,參照圖10的流程圖來說明在本實施形態中進行的控制順序。再者,因為圖10所示之本實施形態的步驟#20~步驟#26,和圖6所示之第1實施形態的步驟#10~步驟#16是相同的,所以省略說明。在以下,是針對在本實施形態的步驟#26之後所進行的控制順序進行說明。
如圖10所示,統合控制裝置4H在進行了退避行走指令後(#26),是進行優先地點判定處理,前述優先地點判定處理是用於判定比中斷地點CP更應優先的優先地點PP之有無(#27)。統合控制裝置4H是在藉由優先地點判定處理的執行而判定為無優先地點PP的情況下(#28;否),對特定車3進行將中斷地點CP設為重新開始地點RP來進行特定作業之意旨的作業指令(#29)。統合控制裝置4H是在藉由優先地點判定處理的執行而判定為有優先地點PP的情況下(#28;是),對特定車3進行將優先地點PP設為重新開始地點RP來進行特定作業之意旨的作業指令(#30)。
3.其他的實施形態
接著,針對搬送系統1的其他的實施形態進行說明。
(1)在上述之各實施形態中,是針對退避行走中的特定車3的行走速度設定成比特定作業中的特定車3的行走速度更快的速度的例子作了說明。但是,並非限定於像這樣的例子,退避行走中的特定車3的行走速度亦可設定成和特定作業中的特定車3的行走速度相同程度的速度。
(2)在上述的各實施形態中,是針對設定有判定開始閾值Tt的例子作了說明,其中前述判定開始閾值Tt是成為是否依據特定作業的持續時間T來進行堵塞之有無的判定處理的基準。但是,並非限定於像這樣的例子,亦可為未設定有判定開始閾值Tt。在此情況下,在已滿足堵塞判定基準的情況下,堵塞判定部45是無論特定作業的持續時間T如何,都對堵塞之有無進行判定。
(3)在上述之各實施形態中,是針對設定有中斷閾值Nt的例子作了說明,其中前述中斷閾值Nt是成為是否依據1個作業區WA內的特定作業的中斷次數N來進行特定作業的中斷之判斷的基準。但是,並非限定於像這樣的例子,亦可為未設定有中斷閾值Nt。在此情況下,藉由堵塞判定部45而判定為有堵塞的情況下,特定車3是無論該作業區WA內的特定作業的中斷次數N如何,都中斷特定作業並執行退避行走。
(4)在上述之各實施形態中,是針對因應於存在於特定車3正在進行特定作業的作業區WA內的搬送車2之台數,來將堵塞判定基準進行可變設定的例子作了說明。但是,並非限定於像這樣的例子,堵塞判定基準亦可固定為事先設定的基準。或者,堵塞判定基準亦可為因應於存在於作業區WA的搬送車2之台數以外的條件而進行可變設定的構成。例如,亦可為以下述方式來將堵塞判定基準進行可變設定的構成:依據各作業區WA中的從進行前次的特定作業的日期時間到現在為止的經過期間,在該經過期間為較長的情況下,設為比該經過期間為較短的情況難以判定為有堵塞。
(5)在上述之第1實施形態中,是針對在複數個作業區WA當中,將從進行前次的特定作業時(日期時間)到現在為止的經過期間為較長的作業區WA設為開始區SA,且將該開始區SA的最上游地點判定為開始地點SP的例子作了說明。但是,並非限定於像這樣的例子,亦可設為:在複數個作業區WA當中的任一個中,由於在前次的特定作業的實施期間中將特定作業中斷,而存在有尚未完成特定作業的作業區WA之情況下,將該作業區WA設為開始區SA,且將已中斷前次的特定作業的中斷地點CP判定為開始地點SP。
(6)在上述之各實施形態中,是針對特定車3作為清掃車而構成的例子作了說明。但是,並非限定於像這樣的例子,特定車3亦可為具有物品9的搬送及行走軌道R的清掃之雙方的功能的構成。換句話說,亦可將複數台搬送車2當中的任一台作為具有行走軌道R的清掃功能之特定車3而構成。又,如上述,特定車3所進行的特定作業並非限於清掃作業,亦可為沿著行走軌道R進行的拍攝作業或用於發現異物或異常的檢查作業等其他的作業。
(7)在上述之各實施形態中,是針對搬送車2及特定車3是構成為行走於沿著天花板而設置的行走軌道R之例子作了說明。但是,並非限定於像這樣的例子,搬送車2及特定車3亦可為例如行走於地板面的無人搬送車等。
(8)再者,在上述之各實施形態所揭示的構成,只要沒有發生矛盾,亦可與其他實施形態所揭示的構成組合來適用。關於其他的構成,在本說明書中所揭示的實施形態在全部之點上均只不過是例示。從而,可在不脫離本發明的主旨之範圍內,適當地進行各種的改變。
4.上述實施形態之概要
以下,針對在上述已說明之搬送系統之概要作説明。
一種搬送系統,具備複數台在搬送路徑上行走以搬送物品的搬送車,前述搬送系統更具備:特定車,一邊以比前述搬送車更低速來行走於前述搬送路徑上,一邊進行特定的作業;及堵塞判定部,判定前述特定車的後方中的堵塞之有無,在前述堵塞判定部已判定為有堵塞的情況下,前述特定車是將前述作業中斷並且執行退避行走,前述退避行走是從原本進行前述作業的作業地點退避。
根據本構成,由於特定車是一邊以比搬送車更低速來行走一邊進行特定的作業,因此易於將作業精度維持得較高。並且,在特定車的後方已產生堵塞的情況下,因為特定車可將作業中斷並執行退避行走,所以可以讓原本行走於特定車的後方之搬送車相對較早地回復到能夠以常規的行走速度來行走的狀態,而變得可緩和堵塞。
在此,較理想的是,前述特定車是在前述退避行走的執行後,返回到將前述作業中斷的前述作業地點並重新開始前述作業。
根據本構成,可以在藉由退避行走的執行而緩和堵塞後,從已中斷的作業地點再次進行作業。藉此,變得可緩和堵塞,並且相對較早期地完成當初所預定的作業區中的作業。
又,較理想的是,更具備有優先地點判定部,前述優先地點判定部是判定應比已中斷前述作業的前述作業地點更優先進行前述作業的地點即優先地點之有無,且在前述優先地點判定部判定為有優先地點的情況下,前述特定車是在前述退避行走的執行後,移動到前述優先地點而開始前述作業。
根據本構成,可以利用用於緩和堵塞的退避行走,而進行往優先地點的移動。藉此,變得可作為系統整體來提升特定車所進行的特定作業的作業效率。
又,較理想的是,前述退避行走中的前述特定車的行走速度是設定成比前述作業中的前述特定車的行走速度更快的速度。
根據本構成,變得可在特定車已開始退避行走的階段,將行走於該特定車的後方之搬送車的行走速度加快。藉此,變得可更早期地實現堵塞的緩和。
又,較理想的是,前述堵塞判定部在前述作業的持續時間超過事先設定的判定開始閾值之前,不進行堵塞之有無的判定處理。
根據本構成,可以限制緊接於由特定車所進行的作業的開始後將該作業中斷的情形。因此,變得可避免由特定車所進行的作業幾乎未進行而光重複進行特定車的退避行走的事態的產生。
又,較理想的是,在前述搬送路徑中設定有複數個作業區,在1個前述作業區內的前述作業的中斷次數已到達事先設定的中斷閾值之情況下,即使是前述堵塞判定部已判定為有堵塞的情況下,前述特定車在該作業區中的前述作業完成之前仍然會持續進行前述作業。
根據本構成,可以限制一個作業區內的由特定車所進行的作業,重複中斷相當於中斷閾值的次數以上的情形。從而,變得既可緩和因特定車所發生的堵塞,並且可避免各作業區中的作業發生一直無法完成的事態。
又,較理想的是,在前述搬送路徑中設定有複數個作業區,且因應於存在於前述特定車正在進行前述作業的前述作業區內的前述搬送車之台數,將堵塞判定基準進行可變設定,以讓前述堵塞判定部在該台數為較多的情況下,相較於該台數為較少的情況,較易於判定為有堵塞。
存在於作業區內的搬送車的台數為較多的情況下,相較於該台數為較少的情況,較易於發生涉及多數台搬送車之較大規模的堵塞。根據本構成,因為在存在於作業區內的搬送車的台數為較多的情況下變得較易於判定為有堵塞,所以變得可趁較大的堵塞未發生之前及早地執行退避行走。從而,可以更有效果地實施堵塞緩和用的控制。
1‧‧‧搬送系統
2‧‧‧搬送車
2F、3F‧‧‧位置資訊讀取部
4F‧‧‧位置資訊取得部
2H‧‧‧搬送車控制裝置
3‧‧‧特定車
3H‧‧‧特定車控制裝置
4H‧‧‧統合控制裝置
9‧‧‧物品
21、31‧‧‧行走部
21A、31A‧‧‧車輪
22、32‧‧‧連結部
23、33‧‧‧本體部
24‧‧‧移載裝置
34‧‧‧吸塵器單元
34A‧‧‧管嘴部
34B‧‧‧吸引力產生部
34C‧‧‧軟管部
34D‧‧‧刷部
41‧‧‧指令部
42‧‧‧儲存部
43‧‧‧判定基準設定部
44‧‧‧開始地點判定部
45‧‧‧堵塞判定部
46‧‧‧作業時間測量部
47‧‧‧中斷次數測量部
48‧‧‧優先地點判定部
99‧‧‧搬送路徑
#10、#11、#12、#13、#14、#15、#16、#17、#20、#21、#22、#23、#24、#25、#26、#27、#28、#29、#30、#100、#200、#300、#400、#500‧‧‧步驟
CP‧‧‧中斷地點
F‧‧‧位置資訊儲存部
PA‧‧‧優先作業區
PP‧‧‧優先地點
R‧‧‧行走軌道
RP‧‧‧重新開始地點
SA‧‧‧開始區
SN‧‧‧設定台數
SP‧‧‧開始地點
SR‧‧‧設定範圍
T‧‧‧持續時間
Tt‧‧‧判定開始閾值
N‧‧‧中斷次數
Nt‧‧‧中斷閾值
WA‧‧‧作業區
WP‧‧‧作業地點
圖1是顯示搬送系統的的佈置(layout)之一例的平面示意圖。
圖2是特定車及搬送車的側面示意圖。
圖3是搬送系統的控制方塊圖。
圖4是顯示堵塞判定基準的一例的說明圖。
圖5是顯示退避行走後的作業開始地點的一例的說明圖。
圖6是顯示控制順序的流程圖。
圖7是第2實施形態之搬送系統的控制方塊圖。
圖8是顯示第2實施形態中的退避行走後的作業開始地點的一例的說明圖。
圖9是顯示執行優先地點判定處理時的處理順序的一例的流程圖。
圖10是顯示第2實施形態之控制順序的流程圖。
#10、#11、#12、#13、#14、#15、#16、#17‧‧‧步驟
Claims (8)
- 一種搬送系統,具備有複數台在搬送路徑上行走以搬送物品的搬送車,前述搬送系統的特徵在於以下:更具備:特定車,一邊以比前述搬送車更低速來行走於前述搬送路徑上,一邊進行用於搬送前述物品的作業以外的特定的作業;及堵塞判定部,判定前述特定車的後方中的堵塞之有無,在前述堵塞判定部已判定為有堵塞的情況下,前述特定車中斷前述作業並且執行退避行走,前述退避行走是從原本進行前述作業的作業地點退避。
- 如請求項1之搬送系統,其中前述特定車在前述退避行走的執行後,是返回到已中斷前述作業的前述作業地點並重新開始前述作業。
- 如請求項1之搬送系統,其更具備優先地點判定部,前述優先地點判定部是判定應比已中斷前述作業的前述作業地點更優先進行前述作業的地點即優先地點之有無,且在前述優先地點判定部判定為有優先地點的情況下,前述特定車是在前述退避行走的執行後,移動到前述優先地點並開始前述作業。
- 如請求項2之搬送系統,其更具備優先地 點判定部,前述優先地點判定部是判定應比已中斷前述作業的前述作業地點更優先進行前述作業的地點即優先地點之有無,且在前述優先地點判定部判定為有優先地點的情況下,前述特定車是在前述退避行走的執行後,移動到前述優先地點並開始前述作業。
- 如請求項1至4中任一項之搬送系統,其中前述退避行走中的前述特定車的行走速度是設定成比前述作業中的前述特定車的行走速度更快的速度。
- 如請求項1至4中任一項之搬送系統,其中前述堵塞判定部在前述作業的持續時間超過事先設定的判定開始閾值之前,不進行堵塞之有無的判定處理。
- 如請求項1至4中任一項之搬送系統,其中在前述搬送路徑中設定有複數個作業區,在1個前述作業區內的前述作業的中斷次數已到達事先設定的中斷閾值之情況下,即使是前述堵塞判定部已判定為有堵塞的情況下,前述特定車在該作業區中的前述作業完成之前仍然會持續進行前述作業。
- 如請求項1至4中任一項之搬送系統,其中在前述搬送路徑中設定有複數個作業區,且因應於存在於前述特定車正在進行前述作業的前述作業區內的前述搬送車之台數,將堵塞判定基準進行可變設定,以讓前述堵塞判定部在該台數為較多的情況下,相較於該台數為較少的情況,較易於判定為有堵塞。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017-198770 | 2017-10-12 | ||
JP2017198770A JP6825532B2 (ja) | 2017-10-12 | 2017-10-12 | 搬送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201922598A TW201922598A (zh) | 2019-06-16 |
TWI772532B true TWI772532B (zh) | 2022-08-01 |
Family
ID=66096563
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW107135575A TWI772532B (zh) | 2017-10-12 | 2018-10-09 | 搬送系統 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10699925B2 (zh) |
JP (1) | JP6825532B2 (zh) |
KR (1) | KR102501289B1 (zh) |
CN (1) | CN109649974B (zh) |
TW (1) | TWI772532B (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102303109B1 (ko) * | 2019-07-05 | 2021-09-15 | 세메스 주식회사 | 반송체 제어 장치 및 이를 구비하는 반송체 제어 시스템 |
CN111599169A (zh) * | 2020-04-01 | 2020-08-28 | 广东中科臻恒信息技术有限公司 | 路侧单元巡检方法、设备、计算机可读存储介质 |
JP7400666B2 (ja) * | 2020-08-31 | 2023-12-19 | 株式会社ダイフク | 清掃システム |
KR102664132B1 (ko) * | 2020-11-06 | 2024-05-10 | 세메스 주식회사 | 대상물 이송 방법 |
CN113401677B (zh) * | 2021-06-29 | 2023-04-07 | 上海华力微电子有限公司 | 自动物料传输系统及自动化物料传输方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1091238A (ja) * | 1996-09-11 | 1998-04-10 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 有軌道台車の運行制御方法及び運行制御システム |
JP2005173779A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Asyst Shinko Inc | 台車制御装置及び制御方法 |
CN101443247A (zh) * | 2006-05-12 | 2009-05-27 | 村田机械株式会社 | 搬送系统和搬送方法 |
TW201726520A (zh) * | 2015-11-27 | 2017-08-01 | Murata Machinery Ltd | 搬送系統及搬送方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3374668B2 (ja) * | 1996-09-09 | 2003-02-10 | 株式会社豊田自動織機 | 移動体の通信方法及び通信システム |
US6308818B1 (en) * | 1999-08-02 | 2001-10-30 | Asyst Technologies, Inc. | Transport system with integrated transport carrier and directors |
JP2007257154A (ja) * | 2006-03-22 | 2007-10-04 | Asyst Shinko Inc | 搬送車管理装置、搬送車管理システム、搬送車管理方法及び搬送車管理プログラム |
JP5344366B2 (ja) * | 2008-09-05 | 2013-11-20 | 村田機械株式会社 | 搬送システム |
JP2010079407A (ja) * | 2008-09-24 | 2010-04-08 | Toyota Motor Corp | 無人搬送車の走行制御方法 |
JP5597965B2 (ja) * | 2009-10-15 | 2014-10-01 | 中西金属工業株式会社 | 台車搬送装置 |
JP5495070B2 (ja) | 2011-06-10 | 2014-05-21 | 株式会社ダイフク | 天井搬送設備の清掃装置 |
EP2806323B1 (en) * | 2012-01-17 | 2019-08-21 | Murata Machinery, Ltd. | Traveling vehicle system |
JP5928402B2 (ja) * | 2013-04-19 | 2016-06-01 | 株式会社ダイフク | 走行車制御システム |
US9691640B2 (en) * | 2013-09-11 | 2017-06-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Mechanisms for cleaning load ports of semiconductor process tools |
WO2015186444A1 (ja) * | 2014-06-04 | 2015-12-10 | 村田機械株式会社 | 搬送車システムと搬送方法 |
JP6340976B2 (ja) * | 2014-07-17 | 2018-06-13 | 村田機械株式会社 | 自動倉庫 |
US10410895B2 (en) * | 2015-07-15 | 2019-09-10 | Murata Machinery, Ltd. | Conveyance control device and conveyance control system |
JP6613941B2 (ja) * | 2016-02-10 | 2019-12-04 | 株式会社ダイフク | 物品搬送設備 |
CN106647734B (zh) * | 2016-10-12 | 2020-11-24 | 北京京东乾石科技有限公司 | 自动导引车、路径规划方法与装置 |
-
2017
- 2017-10-12 JP JP2017198770A patent/JP6825532B2/ja active Active
-
2018
- 2018-10-09 TW TW107135575A patent/TWI772532B/zh active
- 2018-10-10 US US16/156,084 patent/US10699925B2/en active Active
- 2018-10-10 KR KR1020180120284A patent/KR102501289B1/ko active IP Right Grant
- 2018-10-12 CN CN201811189697.6A patent/CN109649974B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1091238A (ja) * | 1996-09-11 | 1998-04-10 | Toyota Autom Loom Works Ltd | 有軌道台車の運行制御方法及び運行制御システム |
JP2005173779A (ja) * | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Asyst Shinko Inc | 台車制御装置及び制御方法 |
CN101443247A (zh) * | 2006-05-12 | 2009-05-27 | 村田机械株式会社 | 搬送系统和搬送方法 |
TW201726520A (zh) * | 2015-11-27 | 2017-08-01 | Murata Machinery Ltd | 搬送系統及搬送方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10699925B2 (en) | 2020-06-30 |
JP2019073349A (ja) | 2019-05-16 |
CN109649974B (zh) | 2021-10-29 |
US20190115234A1 (en) | 2019-04-18 |
CN109649974A (zh) | 2019-04-19 |
JP6825532B2 (ja) | 2021-02-03 |
KR102501289B1 (ko) | 2023-02-16 |
KR20190041417A (ko) | 2019-04-22 |
TW201922598A (zh) | 2019-06-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI772532B (zh) | 搬送系統 | |
TWI683772B (zh) | 搬運系統及搬運方法 | |
JP5773200B2 (ja) | 処理設備 | |
US9606532B2 (en) | Method and manufacturing system | |
JP6370084B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JPWO2013005466A1 (ja) | 搬送車システムと搬送車の制御方法 | |
IL272426A (en) | Storage system and purification method in said system | |
JP4143828B2 (ja) | 搬送台車システム | |
JP2011022974A (ja) | 搬送車システムと搬送車システムの管理方法 | |
US11278997B2 (en) | Machine system performing workpiece transport control | |
CN108349650B (zh) | 输送系统 | |
JP4128756B2 (ja) | 取り出し並びに配置処理のための装置及び方法 | |
TWI441762B (zh) | Pallet truck system | |
JP5337543B2 (ja) | 搬送制御方法、制御装置及び搬送システム | |
JP5733522B2 (ja) | 物品処理装置 | |
JP2008308330A (ja) | トレー搬送装置 | |
JP7364536B2 (ja) | ワークの搬送制御を行う機械システム | |
JP7490493B2 (ja) | 物品移動機構の制御装置 | |
TW202348521A (zh) | 搬運系統 | |
TW202438414A (zh) | 控制系統 | |
JP2005109072A (ja) | 半導体搬送システム | |
JP2018093131A (ja) | 搬送システム | |
CN101003328A (zh) | 搬运装置及其承载装置 | |
JP2007254131A (ja) | 自動倉庫搬送制御システム、搬送車制御方法および搬送車制御プログラム | |
JP2004071718A (ja) | 搬送システム |