JP2008308330A - トレー搬送装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】操作プッシュレバーの待機を回避してダイス分類機の効率を高めること。
【解決手段】緩衝ゾーンと操作ゾーンを含む搬送ステージと、搬送ステージに設置し緩衝ゾーンにあるトレーを押し上げて搬送ステージで移動させるための搬入用プッシュレバーと、搬送ステージに設置し操作ゾーンにあるトレーを押し上げて搬送ステージ上で移動させるための操作プッシュレバーと、搬送ステージから搬出されるトレーに載せるための搬出ステージとを含み、搬入用プッシュレバーと操作プッシュレバーは同様に作動し、操作プッシュレバーが操作ゾーンにあるトレーを搬出ステージに押し上げると、搬入用プッシュレバーは緩衝ゾーンにあるトレーを操作ゾーンに押し上げる。
【選択図】図２Ｂ

Description

本発明はトレー搬送装置に関し、特にトレー搬送時の効率を改善するために同様に作動する二組のプッシュレバーを具備したトレー搬送装置に関する。
現在、半導体部品は大部分が自動検査システム（ＡＴＥ）によって検査を行っており、検査が完了したウェーハは切断してダイスとし、さらにダイス分類機でダイスをトレー上に置いているが、ダイス分類機上のトレー搬送装置はダイス分類機の処理効率に大きな影響を及ぼしている。
図１Ａ、図１Ｂはそれぞれ従来技術におけるトレー搬送装置の側面概略図と俯瞰概略図を示している。前記トレー搬送装置１０はトレー保管槽１１、搬送ステージ１２、プッシュレバー１３、操作プッシュレバー１４、搬出ステージ１６、搬出用プッシュレバー１８及びトレー保管装置１９を含み、この他にチップピックアップヘッド１７を更に含む。
トレー保管槽１１は複数のトレー２を保管し、前記トレー保管槽１１はトレー搬出装置１１２を具備し、毎回トレー２を搬出することができる。プッシュレバー１３はトレー保管槽１１下方に設置してトレー保管槽１１から搬出するトレー２を搬送ステージ１２へ押し送る。
搬送ステージ１２はトレー保管槽１１から搬出したトレー２を載せるためのもので、また前記搬送ステージ１２は緩衝ゾーン１２１と操作ゾーン１２２を含む。操作プッシュレバー１４は搬送ステージ１２に設置して搬送ステージ１２のあるトレー２を押し上げて前記トレー２を搬送ステージ１２上で移動させる。チップピックアップヘッド１７は操作ゾーン１２２の上方に設置し、ウェーハ上のチップをトレー２に入れる。
搬出ステージ１６は搬送ステージ１２から搬出したトレー２を載せるためのものである。搬出用プッシュレバー１８は搬出ステージ１６に設置して搬出ステージ１６にあるトレー２を押し上げて搬出ステージ１６上で移動させる。トレー保管装置１９は複数のトレー２に保管する。
図１Ｃ乃至図１Ｈは図１Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。そのうち、図１Ｃはプッシュレバー１３がトレー保管槽１１から搬出したトレー２を搬送ステージ１２上の緩衝ゾーン１２１へ移動させることを示している。
図１Ｄは操作プッシュレバー１４が緩衝ゾーン１２１へ移動してトレー２を押し上げて搬送ステージ１２上で移動させることを示しており、この時トレー保管槽１１はトレー２をプッシュレバー１３前方に搬出する。
図１Ｅは操作プッシュレバー１４がトレー２を操作ゾーン１２２に押し上げることを示しており、前記チップピックアップヘッド１７はウェーハ上のチップをトレー２に入れることができ（図示せず）、このときプッシュレバー１３はトレー保管槽１１から搬出してトレー２を搬送ステージ１２上の緩衝ゾーン１２１へ移動させる。
図１Ｆは操作プッシュレバー１４がチップを置き終えたトレー２を搬送ステージ１２と搬出ステージ１６の境界に移動させる。
図１Ｇは操作プッシュレバー１４がトレー２の側面に移動し、トレー２を押し上げて搬出ステージ１６に向けて移動させると、トレー保管槽１１はトレー２をプッシュレバー１３前方に搬出させる。
図１Ｈは操作プッシュレバー１４がトレー２の側面を押し上げ、トレー２を搬出ステージ１６へ移した後、搬出用プッシュレバー１８がトレー２をトレー保管装置１９へ移し、続いて操作プッシュレバー１４が前記動作を繰り返し、緩衝ゾーン１２１へ移して次のトレー２を押し上げて搬送ステージ１２上で移動させる。
前記トレー搬送装置１０は操作プッシュレバー１４を具備するだけで、前記操作プッシュレバー１４によりトレー２を搬送ステージ１２上へ移動させることができるものの、操作プッシュレバー１４がトレー２を搬出ステージ１６へ移した後、前記操作プッシュレバー１４は長時間かけて、搬出ステージ１６の位置から前記緩衝ゾーン１２１の位置へ移動して次のトレー２を取るが、このときダイス分類機は前記操作プッシュレバー１４が動作を完了するのを待たねばならず、時間の浪費となっている。
前記従来技術にある欠点を考慮して、ダイス分類機が操作プッシュレバーを待機しなければならない問題を改善し、ダイス分類機の効率を高めると共にトレー搬送装置を具備した類似した設備にも使用できるトレー搬送装置を提示する必要がある。
本発明の目的はダイス分類機が操作プッシュレバーを待機しなければならない問題を改善し、ダイス分類機の効率を高めるトレー搬送装置を提供することにある。
上記の目的に基づき本発明では、緩衝ゾーンと操作ゾーンを含む搬送ステージと、搬送ステージに設置し緩衝ゾーンにあるトレーを押し上げて搬送ステージで移動させるための搬入用プッシュレバーと、搬送ステージに設置し操作ゾーンにあるトレーを押し上げて搬送ステージ上で移動させるための操作プッシュレバーと、搬送ステージから搬出されるトレーに載せるための搬出ステージとを含み、搬入用プッシュレバーと操作プッシュレバーは同様に作動し、操作プッシュレバーが操作ゾーンにあるトレーを搬出ステージに押し上げると、搬入用プッシュレバーは緩衝ゾーンにあるトレーを操作ゾーンに押し上げることができるトレー搬送装置を開示する。
本発明のトレー搬送装置を使用するとトレーを搬出すると同時に緩衝ゾーンにあるトレーを操作ゾーンに移動させることができるが、操作プッシュレバーの移動距離が大幅に縮小することで、移動にかかる時間もこれに連れて短縮され、ダイス分類機が操作プッシュレバーを待機しなければならない問題を効率的に改善できるだけでなく、移動にかかる時間もこれに連れて短縮されることで、トレー搬送効率が大幅に高められる。
以下に図面を参照しながら本発明の実施例について説明するが、本発明は以降の実施例に限定されない。
なお、本発明について一層明確に記述し理解しやすくするために、図面内各部分は相対的サイズに基づいておらず、またサイズとその他の関連尺度を比較した場合誇張されたものとなっており、図面を簡潔にするため関連のない細部についても完全に描いているわけではない。
図２Ａと図２Ｂはそれぞれ本発明の好ましい実施例のトレー搬送装置の側面概略図と俯瞰概略図を示している。前記トレー搬送装置２０は、トレー保管槽２１、搬送ステージ２２、プッシュレバー２３、搬入用プッシュレバー２４、操作プッシュレバー２５、搬出用プッシュレバー２８、搬出ステージ２６及びトレー保管装置２９を含み、そのほかにさらに操作装置２７を含む。
トレー保管槽２１は複数のトレー２を保管するためのもので、前記トレー保管槽２１はトレー搬出装置２１２を具備し、毎回トレー２を搬出することができる。プッシュレバー２３はトレー保管槽下方に設置してトレー保管槽２１から搬出されるトレー２を搬送ステージ２２に押し送る。
搬送ステージ２２はトレー保管槽から搬出されたトレー２を載せ、且つ前記搬送ステージ２２は緩衝ゾーン２２１と操作ゾーン２２２を含む。操作装置２７は操作ゾーン２２２上方に設置され、操作ゾーン２２２にあるトレー２を操作する。
前記操作装置２７はウェーハ上のチップをトレー２に入れるためのチップピックアップヘッドであるか、又はトレー２上のチップを検査するためのチップ検査ヘッドであってもよい。搬入用プッシュレバー２４は搬送ステージ２２に設置して、前記搬入プッシュレバー２４は緩衝ゾーン２２１にあるトレー２を押し上げて搬送ステージ２２上を移動させるための第一搬入押し上げ端２４１と第二搬入押し上げ端２４２を含む。
操作プッシュレバー２５は第一操作押し上げ端２５１と第二操作押し上げ端２５２を含み、搬送ステージ２２に設置して操作ゾーン２２２にあるトレー２を押し上げて搬送ステージ２２上で移動させる。
そのうち、搬入用プッシュレバー２４と操作プッシュレバー２５は同様に作動し、操作プッシュレバー２５が操作ゾーン２２２にあるトレー２を搬出ステージ２６に押し上げると、搬入用プッシュレバー２４は緩衝ゾーン２２１にあるトレー２を操作ゾーン２２２へ押し上げることができる。
搬出ステージ２６は搬送ステージ２２から搬出されるトレー２を載せるためのものである。搬出用プッシュレバー２８は第一搬出押し上げ端２８１と第二搬出押し上げ端２８２を含み、搬出ステージ２６に設置して搬出ステージ２６にあるトレー２を押し上げて搬出ステージ２６上を移動させる。トレー保管装置２９は複数のトレー２を保管するものである。
図２Ｃ乃至図２Ｆは図２Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。
そのうち、図２Ｃは操作プッシュレバー２５がトレー２を押し上げて操作ゾーン２２２を移動させ、操作ゾーン２２２上方に設置された操作装置２７（図示せず）は操作ゾーン２２２にあるトレー２を操作することができることを示している。
操作装置２７がチップピックアップヘッドである場合、ウェーハ上のチップをトレー２に入れることができ、又は操作装置２７がチップ検査ヘッドである場合、トレー２上のチップを検査することができる。
このとき、搬入用プッシュレバー２４もトレー２を押し上げて緩衝ゾーン２２１で移動させると同時に、トレー保管槽２１はトレーをプッシュレバー２３前方へ搬出させる。
図２Ｄは操作プッシュレバー２５が操作を完了したトレー２を押し上げて搬送ステージ２２と搬出ステージ２６の境界へ移すと同時に、搬入用プッシュレバー２４はトレー２を押し上げて操作ゾーン２２２へ移動させる。
図２Ｅは操作プッシュレバー２５がトレー２の側面に移動した場合、搬入用プッシュレバー２４もトレー２の側面に移動することを示している。
図２Ｆは操作プッシュレバー２５がトレー２の側面に移動すると、トレー２を搬出ステージ２６に移動させた後、搬出用プッシュレバー２８からトレー２をトレー保管装置２９に移し、このとき搬入用プッシュレバー２４もトレー２の側面を押し上げて、トレー２を操作ゾーン２２２に移すと同時に、プッシュレバー２３はトレー保管槽２１から搬出したトレー２を搬送ステージ２２上の緩衝ゾーン２２１に移した後、搬入用プッシュレバー２４と操作プッシュレバー２５は前記動作を繰り返して、搬入用プッシュレバー２４が緩衝ゾーン２２１に移動して緩衝ゾーン２２１にあるトレー２を押し上げると同時に、操作プッシュレバー２５は操作ゾーン２２２に移動して操作ゾーン２２２にあるトレー２を押し上げる。
図３Ａと図３Ｂはそれぞれ本発明による別途好ましい実施例のトレー搬送装置の側面概略図と俯瞰概略図を示している。
本実施例は搬入用装置５０を具備しており、トレー２を搬送ステージ２２の緩衝ゾーン２２１に移し、前記搬入用装置５０は駆動装置５１、支持バー５２及び少なくとも一つの吸盤５３を含む。前記支持バー５２は前記駆動装置５１に設置し、また前記支持バー５２は吸盤５３を具備し、トレー２を吸盤５３で吸着させてから、駆動装置５１より緩衝ゾーン２２１へ送る。
本実施例によると、前記支持バー５２はＬ字型外型をしているが、この限りではなくＬ字型の支持バー５２は移動工程で搬送ステージ２２の構造と衝突が起きるのを防止することができ、搬送ステージ２２のスペースを充分に利用することができ、ステージの設計に多大な効果をもたらすものである。
本発明のトレー搬送装置を使用するとトレーを搬出すると同時に緩衝ゾーンにあるトレーを操作ゾーンに移動させることができるが、操作プッシュレバーの移動距離が大幅に縮小することで、移動にかかる時間もこれに連れて短縮され、ダイス分類機が操作プッシュレバーを待機しなければならない問題を効率的に改善できるだけでなく、移動にかかる時間もこれに連れて短縮されることで、トレー搬送効率が大幅に高められる。
以上述べた実施例は本発明の技術趣旨及び特徴を説明したに過ぎず、その目的は当業者が本発明の内容を理解し実施することにあり、これを以って本発明の範囲を限定するものではなく、その他本発明で開示した趣旨により仕上がった各種等価変更若しくは修正についてもすべて、本発明に含むものとする。
それぞれ従来技術におけるトレー搬送装置の側面概略図を示している。 それぞれ従来技術におけるトレー搬送装置の俯瞰概略図を示している。 図１Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。 図１Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。 図１Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。 図１Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。 図１Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。 図１Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。 それぞれ本発明の好ましい実施例に基づくトレー搬送装置の側面概略図を示している。 それぞれ本発明の好ましい実施例に基づくトレー搬送装置の俯瞰概略図を示している。 図２Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。 図２Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。 図２Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。 図２Ｂにおけるトレー搬送装置の操作工程を示している。 それぞれ本発明の別途好ましい実施例に基づくトレー搬送装置の側面概略図を示している。 それぞれ本発明の別途好ましい実施例に基づくトレー搬送装置の俯瞰概略図を示している。
符号の説明
２ トレー
１０ トレー搬送装置
１１ トレー保管槽
１２ 搬送ステージ
１３ プッシュレバー
１４ 操作プッシュレバー
１６ 搬出ステージ
１７ チップピックアップヘッド
１８ 搬出用プッシュレバー
１９ トレー保管装置
１１２ トレー搬出装置
１２１ 緩衝ゾーン
１２２ 操作ゾーン
２０ トレー搬送装置
２１ トレー保管槽
２２ 搬送ステージ
２３ プッシュレバー
２４ 搬入用プッシュレバー
２５ 操作プッシュレバー
２６ 搬出ステージ
２７ 操作装置
２８ 搬出用プッシュレバー
２９ トレー保管装置
５０ 搬入用装置
５１ 駆動装置
５２ 支持バー
５３ 吸盤
２１２ トレー搬出装置
２２１ 緩衝ゾーン
２２２ 操作ゾーン
２４１ 第一搬入用押し上げ端
２４２ 第二搬入用押し上げ端
２５１ 第一操作用押し上げ端
２５２ 第二操作用押し上げ端
２８１ 第一搬出用押し上げ端
２８２ 第二搬出用押し上げ端

Claims (5)

  1. 緩衝ゾーンと操作ゾーンを含む搬送ステージと、
    前記搬送ステージに設置し、前記緩衝ゾーンにあるトレーを前記搬送ステージに押し上げるための搬入用プッシュレバーと、
    前記搬送ステージに設置し、前記操作ゾーンにある前記トレーを前記搬送ステージ上に移動するための操作プッシュレバーと、
    前記搬送ステージから搬出される前記トレーを載せるための搬出ステージを含むトレー搬送装置であって、
    前記搬入用プッシュレバーと前記操作プッシュレバーは同様に作動し、前記操作プッシュレバーが前記操作ゾーンにある前記トレーを前記搬出ステージに押し上げると、前記搬入用プッシュレバーは前記緩衝ゾーンにある前記トレーを前記操作ゾーンに押し上げることを特徴とするトレー搬送装置。
  2. 前記搬入用プッシュレバーが第一搬入用押し上げ端と第二搬入用押し上げ端を含み、まず前記第一搬入用押し上げ端で前記トレーを押し上げ、次に前記第二搬入用押し上げ端で前記トレーを押し上げて、前記緩衝ゾーンにある前記トレーを前記操作ゾーンに押し上げることを特徴とする請求項１に記載するトレー搬送装置。
  3. 前記操作ゾーン上方に設置し、前記操作ゾーンにある前記トレーに対して作動するための操作装置を更に含むことを特徴とする請求項１に記載するトレー搬送装置。
  4. 前記搬出ステージ上に設置され、前記搬出ステージにある前記トレーを押し上げて前記搬出ステージ上を移動させるための搬出用プッシュレバーを更に含むことを特徴とする請求項１に記載するトレー搬送装置。
  5. 前記トレーを前記緩衝ゾーンに移すための搬入用装置を更に含み、前記搬入用装置は前記トレーを送達するための支持バーを具備し、前記支持バーの外型がＬ字型の態様であることを特徴とする請求項１に記載するトレー搬送装置。
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