TWI716137B - 使用在非揮發性快閃記憶體裝置中之改良式電荷泵 - Google Patents

使用在非揮發性快閃記憶體裝置中之改良式電荷泵 Download PDF

Info

Publication number
TWI716137B
TWI716137B TW108136070A TW108136070A TWI716137B TW I716137 B TWI716137 B TW I716137B TW 108136070 A TW108136070 A TW 108136070A TW 108136070 A TW108136070 A TW 108136070A TW I716137 B TWI716137 B TW I716137B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
terminal
boost
coupled
output
node
Prior art date
Application number
TW108136070A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202025451A (zh
Inventor
曉萬 陳
英 李
順 武
卡 阮
賢 范
史丹利 洪
史蒂芬 鄭
Original Assignee
美商超捷公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 美商超捷公司 filed Critical 美商超捷公司
Publication of TW202025451A publication Critical patent/TW202025451A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI716137B publication Critical patent/TWI716137B/zh

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/10—Programming or data input circuits
    • G11C16/14—Circuits for erasing electrically, e.g. erase voltage switching circuits
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C5/00—Details of stores covered by group G11C11/00
    • G11C5/14—Power supply arrangements, e.g. power down, chip selection or deselection, layout of wirings or power grids, or multiple supply levels
    • G11C5/145—Applications of charge pumps; Boosted voltage circuits; Clamp circuits therefor
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/30—Power supply circuits
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/32—Timing circuits
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/22—Read-write [R-W] timing or clocking circuits; Read-write [R-W] control signal generators or management 
    • G11C7/222—Clock generating, synchronizing or distributing circuits within memory device
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M3/00—Conversion of dc power input into dc power output
    • H02M3/02—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac
    • H02M3/04—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters
    • H02M3/06—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider
    • H02M3/07—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider using capacitors charged and discharged alternately by semiconductor devices with control electrode, e.g. charge pumps
    • H02M3/073—Charge pumps of the Schenkel-type
    • G—PHYSICS
    • G11—INFORMATION STORAGE
    • G11C—STATIC STORES
    • G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/04—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS
    • G11C16/0408—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors
    • G11C16/0425—Erasable programmable read-only memories electrically programmable using variable threshold transistors, e.g. FAMOS comprising cells containing floating gate transistors comprising cells containing a merged floating gate and select transistor
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M3/00—Conversion of dc power input into dc power output
    • H02M3/02—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac
    • H02M3/04—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters
    • H02M3/06—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider
    • H02M3/07—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider using capacitors charged and discharged alternately by semiconductor devices with control electrode, e.g. charge pumps
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02M—APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M3/00—Conversion of dc power input into dc power output
    • H02M3/02—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac
    • H02M3/04—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters
    • H02M3/06—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider
    • H02M3/07—Conversion of dc power input into dc power output without intermediate conversion into ac by static converters using resistors or capacitors, e.g. potential divider using capacitors charged and discharged alternately by semiconductor devices with control electrode, e.g. charge pumps
    • H02M3/073—Charge pumps of the Schenkel-type
    • H02M3/076—Charge pumps of the Schenkel-type the clock signals being boosted to a value being higher than the input voltage value

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Dc-Dc Converters (AREA)
  • Read Only Memory (AREA)

Abstract

揭露改良式電荷泵設計的許多具體例，以便產生在非揮發性快閃記憶體裝置中執行抹除及程式化操作所需的高電壓。在這些具體例中，修改電荷泵中之每個升壓級，以克服習知技藝的電荷泵中之缺點，由於此缺點，電壓實際上將在最終升壓級中降低。這些修改包括添加時脈加倍電路、局部自預充電電路、前饋預充電電路、反饋預充電電路以及包含NMOS及PMOS電晶體及二極體的混合電路中之一個或多個。

Description

使用在非揮發性快閃記憶體裝置中之改良式電荷泵 [優先權請求]
本申請案主張2018年10月16日所提出之名稱為「使用在非揮發性快閃記憶體裝置中之改良式電荷泵」的美國臨時專利申請案第62/746,408號及2018年12月13日所提出之名稱為「使用在非揮發性快閃記憶體裝置中之改良式電荷泵」的美國專利申請案第16/219,424號之優先權。
揭露改良式電荷泵設計的許多具體例，以便產生在非揮發性快閃記憶體裝置中執行抹除及程式化操作所需的高電壓。在這些具體例中，修改電荷泵中之每個升壓級，以克服習知技藝之電荷泵中電壓實際上將在最終升壓級中降低的缺點。
數位非揮發性記憶體係眾所周知的。例如，美國專利第5,029,130號(「'130專利」)揭露一種分離式閘極非揮發性記憶體單元(其係一類型的快閃記憶體單元)陣列，並且針對所有目的以提及方式將其併入本文。這樣的記憶體單元110顯示在圖1中。每個記憶體單元110包括在半導體基板12中形成之源極區域14及汲極區域16，並且在其間具有通道區域18。浮動閘極20形成在通道區域18的第一部分上方且與其絕緣(並控制其導電性)，並且形成在源 極區域14的一部分上方。字元線端子22(通常耦接至字元線)具有第一部分及第二部分，其中第一部分設置在通道區域18的第二部分上方且與其絕緣(並控制其導電性)，而第二部分向上朝浮動閘極20延伸。浮動閘極20及字元線端子22藉由閘極氧化物與基板12絕緣。位元線24耦接至汲極區域16。
藉由在字元線端子22上施加高正電壓來抹除記憶體單元110(其中從浮動閘極移除電子)，這導致浮動閘極20上的電子藉由富爾-諾罕穿隧(Fowler-Nordheim tunneling)從浮動閘極20隧穿中間絕緣體至字元線端子22。
藉由在字元線端子22上施加正電壓及在源極14上施加正電壓來程式化記憶體單元110(其中在浮動閘極上放置電子)。電子流將從源極區域14流向汲極區域16。當電子到達字元線端子22與浮動閘極20之間的間隙時，電子將加速並變熱。由於來自浮動閘極20的靜電吸引力，一些加熱的電子將通過閘極氧化物被注入至浮動閘極20上。
藉由在汲極區域16及字元線端子22上施加正讀取電壓(這會導通在字元線端子下方之通道區域18部分)來讀取記憶體單元110。如果浮動閘極20帶正電(亦即，被抹除電子)，則浮動閘極20下方之通道區域18的部分亦導通，並且電流將流過通道區域18，因而被感測為抹除狀態或狀態「1」。如果浮動閘極20帶負電(亦即，用電子來程式化)，則浮動閘極20下方之通道區域的部分大部分或完全截止，並且電流不會流過(或者幾乎不流過)通道區域18，因而被感測為程式化狀態或狀態「0」。
表1描繪可以施加至記憶體單元110的端子以執行讀 取、抹除及程式化操作的典型電壓範圍：
Figure 108136070-A0101-12-0003-1
已知有其它分離式閘極記憶體單元組態，其係其它類型的快閃記憶體單元。例如，圖2描繪4-閘極記憶體單元210，其包括源極區域14、汲極區域16、在通道區域18的第一部分上方之浮動閘極20、在通道區域18的第二部分上方之選擇閘極22(通常耦接至字元線WL)、在浮動閘極20上方之控制閘極28以及在源極區域14上方之抹除閘極30。這種組態被描述在美國專利第6,747,310號中，針對各種目的以提及方式將其併入本文。這裡，除浮動閘極20外，所有其它閘極皆是非浮動閘極，這意味著它們電連接或可電連接至電壓源。藉由將加熱的電子從通道區域18注入至浮動閘極20上來執行程式化。藉由電子從浮動閘極20隧穿至抹除閘極30來執行抹除。
表2描繪可以施加至記憶體單元210的端子以執行讀取、抹除及程式化操作的典型電壓範圍：
Figure 108136070-A0101-12-0003-2
圖3描繪3-閘極記憶體單元310，其係為另一類型的 快閃記憶體單元。除了記憶體單元310不具有單獨的控制閘極之外，記憶體單元310與圖2的記憶體單元210相同。除了沒有施加控制閘極偏壓之外，抹除操作(從而藉由抹除閘極的使用來抹除)及讀取操作相似於記憶體單元210的操作。程式化操作亦在沒有控制閘極偏壓的情況下完成，結果，在程式化操作期間必須在源極線上施加較高電壓，以補償控制閘極偏壓的缺少。
表3描繪可以施加至記憶體單元310的端子以執行讀取、抹除及程式化操作的典型電壓範圍：
Figure 108136070-A0101-12-0004-3
圖4描繪堆疊式閘極記憶體單元410，其係另一類型的快閃記憶體單元。除了浮動閘極20在整個通道區域18上方延伸及控制閘極22(在此將耦接至字元線)在浮動閘極20上方延伸且以絕緣層(未顯示)隔開之外，記憶體單元410相似於圖1的記憶體單元110。抹除、程式化及讀取操作以與先前針對記憶體單元110所描述之方式相似的方式來進行。
表4描繪可以施加至記憶體單元410的端子及基板12以執行讀取、抹除及程式化操作的典型電壓範圍：
Figure 108136070-A0101-12-0004-4
圖5描繪用於二維習知技藝的快閃記憶體系統之典型習知技藝架構。晶片500包括：記憶體陣列501及記憶體陣列502，其各自用於儲存資料，每個記憶體陣列501及502包括數列及數行的記憶體單元，其中每個記憶體單元任選地具有下列類型中之一：圖1所示之記憶體單元110、圖2所示之記憶體單元210、圖3所示之記憶體單元310及圖4所示之記憶體單元410；墊503及墊504，其用於實現晶片500的其它組件與通常是打線(未顯示)之間的電連接，其中打線轉而連接至用於從已封裝晶片500的外部存取晶片500之接腳(未顯示)或封裝凸塊；高電壓電路505，其用於對快閃記憶體系統提供正負電壓源；控制邏輯506，其用於提供各種控制功能，例如，冗餘及內建自測；類比邏輯507；複數個感測電路508及509，其用於分別從記憶體陣列501及記憶體陣列502讀取資料；列解碼電路510及列解碼電路511，每個列解碼電路以XDEC來表示，用於分別存取記憶體陣列501及記憶體陣列502中之要讀取或寫入的被選列；行解碼器512及行解碼器513，每個行解碼器以YMUX來表示，用於分別存取記憶體陣列501及記憶體陣列502中之要讀取或寫入的被選行；電荷泵電路514及電荷泵電路515，其用於分別對記憶體陣列501及記憶體陣列502提供用於程式化及抹除操作之增加的電壓；高電壓驅動電路516，其以NCG來表示，並且為了讀取及寫入(抹除/程式化)操作由記憶體陣列501及記憶體陣列502來共用；高電壓驅動電路517，其以WSHDRHALFV來表示，並且在讀取及寫入操作期間由記憶體陣列501使用；高電壓驅動電路518，其以WSHDRHALFV來表示，並且在讀取及寫入(抹除/程式化)操作期間由記憶體陣列502使用；以 及位元線禁止電壓電路519及位元線禁止電壓電路520，其用於分別取消在記憶體陣列501及記憶體陣列502之寫入操作期間不打算被程式化之位元線的選擇。這些功能區塊係為所屬技術領域之通常技藝人士所理解，並且圖5所示之區塊佈局在該項技藝中係已知的。
從前面可以看出，快閃記憶體單元的程式化及抹除操作需要高電壓。這些高電壓通常由電荷泵(例如，電荷泵514及515)產生，這些電荷泵將從外部電壓源接收之電壓提升至所需的位準。
圖6描繪習知技藝的電荷泵600。電荷泵600接收輸入電壓VIN並產生輸出電壓VOUT。電荷泵600包括N個升壓級，以級601-1、......、級601-N來標記，其中每個升壓級接收輸入電壓，並產生超過輸入電壓一定量的輸出電壓。藉由將每個級添加至電荷泵600，可以增加輸出電壓VOUT，以達到期望的電壓。
圖7描繪習知技藝的升壓級700i，其係可以用於圖6中之級601-1、......、601-N的升壓級之實例。在此，i是介於1與N之間的整數。升壓級700i接收電壓輸入VINi並產生電壓輸出VOUTi。升壓級700i包括電容器701及702、全局預充電閘(電晶體)703、升壓閘(電晶體)704及傳送閘(電晶體)705。電晶體703、704及705係NMOS電晶體。電容器701及702由NMOS電晶體構成，其中源極與汲極互連。
在全局預充電階段期間，預充電閘703導通並將VOUTi預充電至電壓VB-VT，其中VT是NMOS電晶體的臨界電壓，而VB係對預充電閘703供應之汲極電壓。對於每個時鐘泵送週期，具有一個(局部)預充電期間(當時鐘為低位準時)及一個電荷泵送期間(當時鐘從低位準轉換為高位準時)。在預充電期間，當 CLKP為低位準時，電容器701的上極板處於電壓VINi。CLKP及CLKB通常是非重疊的同相時鐘信號，其中通常CLKP變為高位準，則CLKB變為高位準，而CLKB變為低位準，則CLKP變為低位準。在電荷泵送期間，CLKP變為高位準，並且電容器701的上極板電壓將提升至VINi+VDD(其中VDD係CLKP的高狀態電壓與低狀態電壓之間的電壓差)。
以串聯方式將升壓級700i加在一起的一個固有挑戰是，因為傳送閘705僅在施加至其閘極的電壓超過其源極上的電壓(亦即，VOUTi)達傳送閘705的臨界電壓VT時才會導通，所以當VINi隨著每個後續升壓級增加時，必須施加至傳送閘705的閘極以導通傳送閘705的電壓亦將增加。由於NMOS基體效應(body effect)，對於後續級，傳送閘705及升壓閘704的臨界電壓VT逐漸升高，因此，變得難以在較高電壓級之間進行有效泵送。
在預充電期間，節點ING係電容器702的上極板，將由電晶體704的作用而處於VINi(電晶體704的閘極上之VOUTi將導致ING=VINi)。當CLKB接著變為高位準(亦即，從接地至VDDboost)時，其中VDDboost係CLKB的高電壓狀態(例如，VDDboost=~2*VDD)，ING將增加至VINi+VDDboost(CLKB的高電壓)。此時，傳送閘705將導通並轉移VINi節點處的電荷(此時，由於CLKP先前變為高位準，電荷=先前的VINi+VDD)至輸出節點VOUTi。那時，如果傳送閘705完全導通，則VOUTi將近似為目前的VINi，這意味著此時節點ING上的電壓(=先前的VINi+VDDboost)>=VOUTi+VT。這將成為下一級的VINi+1。如果此時節點ING上的電壓(=先前的VINi+VDDboost)<VOUTi+VT，則 從節點VINi至節點VOUTi的電荷轉移係不完全的，這意味著此時VINi<VOUTi。例如，這發生在低VDD電源或高VT值時。因此，特別是對於低的VDD及高的VT之情況，需要改進。
再者，使用圖6及7的設計之習知技藝的電荷泵在電荷泵的最後一級(亦即，級601-N)中具有缺點。與所有前面的級不同，第N級(最後一級)在其後面沒有任何級，因此，VOUTN沒有連接至在後續級中之電容器701。結果，因為不存在連接至輸出的電容器701來幫助提升節點VOUTi上的電壓，所以由於電晶體704的閘極(=VOUTN)保持在較低電壓，節點ING可以保持在較低電壓。較低的ING電壓導致傳送閘705較早地關斷，從而導致VOUTN處於比期望低的輸出電壓。
這在圖8中以圖形方式來顯示。在此，曲線圖800描繪在每級之後的VOUTPUT。在此實例中，N=15。可以看出，在第N級(電荷泵的最後一級)中，期望輸出將呈現超過前一級的輸出之增加的電壓。取而代之的是，輸出實際上降低至前一級的輸出以下。這是習知技藝的電荷泵600及習知技藝的升壓級700i之固有問題。
所需要的是一種改良式電荷泵及升壓級設計，其消除在習知技藝設計的最後一級中之傳送閘電晶體的不期望關斷及後續電壓消耗。
本文揭露改良式升壓級設計，其消除在習知技藝的電荷泵中特有的最後一個升壓級中之下降電壓的問題。這些設計包括時脈加倍電路、局部自預充電電路、前饋預充電電路、反饋預充電 電路、包含電晶體及二極體的混合電路以及包含PMOS、二極體及NMOS電晶體的電路中之一個或多個的添加。
12:半導體基板
14:源極區域
16:汲極區域
18:通道區域
20:浮動閘極
22:字元線端子(選擇閘極)
24:位元線
28:控制閘極
30:抹除閘極
110:記憶體單元
210:4-閘極記憶體單元
310:3-閘極記憶體單元
410:堆疊式閘極記憶體單元
500:晶片
501:記憶體陣列
502:記憶體陣列
503:墊
504:墊
505:高電壓電路
506:控制邏輯
507:類比邏輯
508:感測電路
509:感測電路
510:列解碼電路
511:列解碼電路
512:行解碼器
513:行解碼器
514:電荷泵電路
515:電荷泵電路
516:高電壓驅動電路
517:高電壓驅動電路
518:高電壓驅動電路
519:位元線禁止電壓電路
520:位元線禁止電壓電路
600:電荷泵
601-1:級
601-2:級
601-N:級
700i:升壓級
701:電容器
702:電容器
703:全局預充電閘(電晶體)
704:升壓閘(電晶體)
705:傳送閘(電晶體)
800:曲線圖
900:時脈加倍電路
901:PMOS電晶體
902:NMOS電晶體
903:加倍電容器
904:PMOS電晶體
905:PMOS電晶體
906:NMOS電晶體
1000i:升壓級
1001:電容器
1002:電容器
1003:預充電閘
1004:升壓閘
1005:傳送閘
1006:局部前饋預充電電晶體
1100i:升壓級
1101:電容器
1102:電容器
1103:全局預充電閘
1104:升壓閘
1105:電晶體
1006:電晶體
1107:電晶體
1200i:升壓級
1201:電容器
1202:電容器
1203:預充電閘
1204:升壓閘
1205:傳送閘
1206:局部反饋預充電電晶體
1300i:升壓級
1301:電容器
1302:電容器
1303:預充電閘
1304:升壓閘
1305:傳送閘
1306:前饋驅動二極體
1400i:升壓級
1401:電容器
1402:電容器
1403:預充電閘
1404:升壓閘
1405:傳送閘
1406:局部預充電二極體
1500i:升壓級
1501:電容器
1502:電容器
1503:預充電閘
1504:升壓閘
1505:傳送閘
1600i:升壓級
1601:電容器
1602:電容器
1603:預充電閘
1604:升壓閘
1605:傳送閘
1606:基體切換PMOS電晶體
1607:基體切換PMOS電晶體
1700i:升壓級
1701:電容器
1702:電容器
1703:預充電閘
1704:升壓閘
1705:傳送閘
1706:PMOS電晶體
1707:PMOS電晶體
1800:電荷泵
1801:第一組
1801-1:級
1801-N:級
1802:第二組
1802-1:級
1802-M:級
1803:時脈加倍電路
1804:時脈加倍電路
1805:可適應時脈加倍電路
1900:電荷泵
1901:第一組
1901-1:級
1901-N:級
1902:第二組
1902-1:級
1902-M:級
CLK_IN:輸入
CLK2X_OUT:輸出
CLKB:輸入
CLKP:輸入
ING_PRE:電壓源
VIN:輸入電壓
VINi:電壓輸入
VOUT:輸出電壓
VOUTi:電壓輸出
圖1描繪習知技藝的分離式閘極快閃記憶體單元。
圖2描繪另一個習知技藝的分離式閘極快閃記憶體單元。
圖3描繪另一個習知技藝的分離式閘極快閃記憶體單元。
圖4描繪另一個習知技藝的分離式閘極快閃記憶體單元。
圖5描繪習知技藝的快閃記憶體裝置之佈局。
圖6描繪包括N個升壓級之習知技藝的電荷泵。
圖7描繪習知技藝的電荷泵中之一個升壓級。
圖8描繪曲線圖，其顯示圖6及7之習知技藝的電荷泵之最後一個升壓級中的特有問題。
圖9描繪時脈加倍電路。
圖10描繪包含局部前饋預充電電路的升壓級。
圖11描繪包含前饋預充電電路的升壓級。
圖12描繪包含反饋預充電電路的升壓級。
圖13描繪使用數個電晶體及一個二極體之混合式升壓級的第一具體例。
圖14描繪使用數個電晶體及一個二極體之混合式升壓級的第二具體例。
圖15描繪包含PMOS及NMOS電晶體的升壓級之第 一具體例。
圖16描繪包含PMOS及NMOS電晶體的升壓級之第二具體例。
圖17描繪包含PMOS及NMOS電晶體的升壓級之第三具體例。
圖18描繪電荷泵的一個具體例，所述電荷泵包括耦合至第一時脈加倍電路之N個升壓級及耦合至第二時脈加倍電路之M個升壓級。
圖19描繪電荷泵的一個具體例，所述電荷泵包括第一類型的N個升壓級及第二類型的M個升壓級。
在一個具體例中，提供給電容器之時鐘信號的振幅增加至超過時鐘信號的正常操作電壓，這將引起升壓電壓的增加及施加至傳送閘之電壓的增加。圖9描繪時脈加倍電路900，其接收輸入CLK_IN(通常將會具有VDD值「1」)並產生具有兩倍CLK_IN振幅(例如，2*VDD)的輸出CLK2X_OUT。時脈加倍電路900包括一起形成反相器的PMOS電晶體901及NMOS電晶體902、加倍電容器(doubler capacitors)903、PMOS電晶體904及905以及NMOS電晶體906。加倍電容器903包括一個PMOS電晶體，其第一端子、第二端子及基板連結在一起。對於PMOS電晶體904，第一端子耦接至VDD，以及第二端子耦接至基板且耦接至PMOS電晶體905的第一端子及基板。對於PMOS電晶體905，第一端子及基板耦接至PMOS電晶體904的第二端子，以及第二端子耦接至NMOS電晶體906的第一端子且提供輸出CLK2X_OUT。加倍電容器903的 第一端子(閘極)之輸入係CLK_IN的反相型式。電容器903達到約為CLK_IN振幅的兩倍之最大電荷。例如，如果CLK_IN在0V與VDD之間振盪，並且如果供應至PMOS電晶體901及904中之每一者的電壓源係VDD，則電容器903的第二端子(源極/汲極/基體)上的電壓將達到2*VDD的峰值。
現在將提供有關時脈加倍電路900的操作之額外細節。當CLK_IN為高位準時，NMOS電晶體902及906將導通，而CLK2X_OUT將被拉至低位準，從而使PMOS電晶體904導通，因而將加倍電容器903的第二極板設置為VDD，而加倍電容器903的第一極板處於接地電位。當CLK_IN為低位準時，NMOS電晶體902及906將截止，PMOS電晶體901及905將導通，加倍電容器903的第一極板被設置為VDD，加倍電容器903的第二極板因而處於2*VDD，並且CLK2X_OUT將等於電容器903的電壓。因此，CLK2X_OUT具有與CLK_IN相同的頻率及相位，但具有兩倍振幅。
因此，參考圖7，可以在將CLKP及CLKB分別施加至電容器701及702之前使CLKP及/或CLKB的振幅變成兩倍。CLK2X_OUT上的電壓將經由電容器701及/或702轉移至每個電容器的另一側上之內部泵節點(在電容器702的情況下為節點ING)，其中轉移的電壓將取決於加倍電容器903與接收CLK2X_OUT之電容器(電容器701及/或702)的比值。施加CLK2X_OUT至電容器701，將對VINi造成更大的升壓，而施加CLK2X_OUT至電容器702，將施加更大的電壓至傳送閘705的閘極，使其保持導通。
在其它具體例中，添加電路以保持傳送閘705導通，以便進行完整的電荷轉移，從而防止傳送閘705如習知技藝那樣提 前關斷，及/或將升壓級的輸出電壓保持在至少與升壓級的輸入電壓一樣高的電壓位準。
圖10描繪包括局部正向預充電電路的升壓級1000i。升壓級1000i接收輸入VINi且產生輸出VOUTi，並且是電荷泵中之第i個升壓級。升壓級1000i包括電容器1001及1002，電容器1001及1002分別在其第一端子處接收輸入CLKP及CLKB。升壓級1000i進一步包括預充電閘1003、升壓閘1004、傳送閘1005及局部前饋預充電電晶體1006。在此，局部前饋預充電電晶體1006配置成為二極體。預充電閘1003、升壓閘1004、傳送閘1005及局部前饋預充電晶體1006係原生NMOS電晶體。電容器1001及1002由原生NMOS電晶體構成。原生NMOS的VT約為0V。
在一個替代具體例中，移除電晶體1004。
在初始全局預充電階段中，預充電閘1003導通並將VOUTi預充電至電壓VB-VT。除電晶體1006的操作外，升壓級1000i以與習知技藝的升壓級700i相同的方式操作。在此，電晶體1006配置成二極體(閘極與汲極連接在一起)，並且保證節點ING在時鐘泵送週期的預充電期間將始終至少高達VINi-VT，而在電荷泵送(轉移)期間至少高達VINi+VDD-VT+VDDboost(+VDD係CLKP的高狀態值，+VDDboost係CLKB的高狀態值)。這意味著在電荷泵送期間，傳送閘1005的閘極將始終接收至少高達VINi+VDD-VT+VDDboost的電壓，結果，VOUTi絕不會低於VINi。因此，在N級電荷泵中之第N級的輸出電壓絕不會低於VINN。這限制下降效應，並且保證最後一級的輸出電壓將至少高達倒數第二級的輸出電壓。再者，因為當CLKP變高位準 (=VINi+VDD-VT+VDDboost)時，電壓ING從VINi經由電晶體1006獲得額外的升壓，所以特別是在低VDD及/或高VT下，從VINi至VOUTi的電荷轉移係更有效率的，這是對習知技藝的實質性改善。
圖11描繪包括局部前饋預充電及驅動電路的升壓級1100i。升壓級1100i接收輸入VINi並產生輸出VOUTi，並且是電荷泵中之第i個升壓級。升壓級1100i包括電容器1101及1102，其在它們個別的第一端子處接收輸入CLKP及CLKB。升壓級1100i進一步包括全局預充電閘1103、升壓閘1104以及電晶體1105、1106及1107。除了添加正向驅動原生NMOS電晶體1107之外，升壓級1100i與升壓級1000i相似。電晶體1107在此配置成為與傳送閘1105並聯的二極體。
在初始全局預充電階段中，預充電閘1103導通並將VOUTi預充電至電壓VB。局部前饋預充電電晶體1106配置成為二極體，並且確保節點ING在時鐘泵送週期的預充電期間將始終至少高達VINi-VT，而在電荷轉移期間至少高達VINi+VDD-VT+VDDboost。這意味著傳送閘1105的閘極將始終接收至少高達VINi+VDD-VT+VDDboost的電壓。此外，因為電晶體1107充當二極體，所以電晶體1107亦保證VOUTi絕不會低於VINi-VT。因此，在N級電荷泵中之第N級的輸出電壓絕不會低於VINi，VINi為第N-1級的輸出電壓。這限制下降效應，並且保證最後一級的輸出電壓將至少高達倒數第二級的輸出電壓。這些改善導致從VINi至VOUTi的電荷轉移更有效率。一個替代具體例將與升壓級1100i相同，但是將移除電晶體1106。
在另一替代具體例中，移除電晶體1104。
圖12描繪包括反饋預充電電路的升壓級1200i。升壓級1200i接收輸入VINi並產生輸出VOUTi，並且是電荷泵中之第i個升壓級。升壓級1200i包括分別接收輸入CLKP及CLKB之電容器1201及1202。升壓級1200i進一步包括預充電閘1203、升壓閘1204及傳送閘1205。升壓級1200i進一步包括局部反饋預充電電晶體1206，其配置成為二極體，所述二極體由電荷泵中的下一個相鄰級或者在最後一個升壓級的情況下由單獨的電壓源(標記為ING_PRE)來進行預充電。
在初始全局預充電階段中，預充電閘1203導通並將VOUTi預充電至電壓VB，並且預充電閘1206導通並將節點ING預充電至ING_PRE-VT。除了預充電電晶體1206之外，升壓級1200i以與習知技藝的升壓級700i相同之方式操作。這保證傳送閘1205的閘極將始終接收至少高達ING_PRE-VT的電壓。藉由選擇ING_PRE大致等於VINi或更高，可以確保VOUTi絕不會低於VINi。因此，在N級電荷泵中之第N級的輸出電壓絕不會低於VINN，VINN係第N-1級的輸出。這限制下降效應，並且保證最後一級的輸出電壓將至少高達倒數第二級的輸出電壓。再者，電晶體1206的作用有助於更有效地提升ING的電壓，從而增強電荷泵送。
在一個替代具體例中，移除電晶體1204。
在一個替代具體例中，電晶體1206以二極體(例如，肖特基二極體或p/n接面二極體)來取代。肖特基二極體的正向電壓(VD)通常為~0.2至0.4V，而p/n接面二極體的正向電壓(VD)通常為0.4至0.6V。
在另一個替代具體例中，以二極體(例如，肖特基二極體或p/n接面二極體)來取代電晶體1206，並且移除電晶體1204。
圖13描繪升壓級1300i，其為包含數個電晶體及一個二極體的混合電路。升壓級1300i接收輸入VINi並產生輸出VOUTi，並且是電荷泵中之第i個升壓級。升壓級1300i包括分別接收輸入CLKP及CLKB的電容器1301及1302。升壓級1300i進一步包括預充電閘1303、升壓閘1304、傳送閘1305及前饋驅動二極體1306。前饋驅動二極體1306任選地包括肖特基二極體或p/n接面二極體。除了電晶體1107已用二極體1306來取代之外，升壓級1300i與升壓級1100i相同。
在初始全局預充電階段中，預充電閘1303導通並將VOUTi預充電至電壓VB。二極體1306保證VOUTi絕不會低於VINi-VT。因此，N級電荷泵中之第N級的輸出電壓絕不會低於VINi-VT，VINi-VT係第N-1級的輸出。這限制下降效應，並且保證最後一級的輸出電壓將至少高達倒數第二級的輸出電壓。特別是在電晶體1305的臨界電壓高之情況下，正向驅動二極體1306更有效地增強電荷泵送。
圖14描繪升壓級1400i，其為包含複數電晶體及一個二極體的混合電路。升壓級1400i接收輸入VINi並產生輸出VOUTi，並且是電荷泵中之第i個升壓級。升壓級1400i包括分別接收輸入CLKP及CLKB之電容器1401及1402。升壓級1400i進一步包括預充電閘1403、升壓閘1404、傳送閘1405及局部預充電二極體1406。局部預充電二極體1406任選地包括肖特基二極體或p/n接面二極體。除了用二極體1406來取代電晶體1106之外，升 壓級1400i與升壓級1100i相似。正向預充電二極體1406更有效地增強電荷泵送，因為它有助於將節點ING預充電至更高的電壓。
在初始全局預充電階段中，預充電閘1403導通並將VOUTi預充電至電壓VB。在此，局部預充電二極體1406保證節點ING將始終至少高達VINi-VD(二極體正向電壓)。這意味著傳送閘1405的閘極將始終接收至少高達VINi-VD的電壓，並且VOUTi絕不會低於VINi。因此，在N級電荷泵中之第N級的輸出電壓絕不會低於VINN。這限制下降效應。
在一個替代具體例中，從升壓級1400i移除電晶體1404。
圖15描繪升壓級1500i，其使用PMOS及NMOS電晶體。升壓級1500i接收輸入VINi並產生輸出VOUTi，並且是電荷泵中之第i個升壓級。升壓級1500i包括分別接收輸入CLKP及CLKB之電容器1501及1502。升壓級1500i進一步包括預充電閘1503、升壓閘1504及傳送閘1505。預充電閘1503、電容器1501及1502由NMOS電晶體構成。升壓閘1504及傳送閘1505係PMOS晶體管，其源極連接至其基體。
在初始全局預充電階段中，預充電閘1503導通並將VOUTi預充電至電壓VB。除了將PMOS電晶體用於傳送閘1505及升壓閘1504以有助於確保VOUTi不會低於VINi之外，升壓級1500i以與習知技藝的升壓級700i相同之方式操作。這是因為PMOS電晶體的臨界電壓VT通常約為0.6V，以及PMOS電晶體沒有基體效應(源極-基體兩端的電壓為0V)，並且PMOS的VT通常遠小於VDD。因此，在最後一級中，由於傳送閘1505，VOUTN不會低於 VINi，其中VINi係前一級的輸出電壓。這限制下降效應，並且保證最後一級的輸出電壓將至少高達倒數第二級的輸出電壓。
在一個替代具體例中，圖15或圖16之升壓級1500i或1600i的使用添加有先前圖10至14所論述之局部前饋或後饋預充電裝置(例如，肖特基二極體、p/n接面二極體或接成二極體形式之電晶體)。
圖16描繪升壓級1600i，其使用PMOS及NMOS電晶體。升壓級1600i接收輸入VINi並產生輸出VOUTi，並且是電荷泵中之第i個升壓級。升壓級1600i包括分別接收輸入CLKP及CLKB之電容器1601及1602。升壓級1600i進一步包括預充電閘1603、升壓閘1604及傳送閘1605。電晶體1603、電容器1601及1602構成原生NMOS電晶體。電晶體1604及1605係PMOS電晶體，其基體在任何給定時間從VINi或VOUTi切換至最高電壓。升壓級1600i進一步包括如圖所配置之基體切換PMOS電晶體1606及1607。
在初始全局預充電階段中，預充電閘1603導通並將VOUTi預充電至電壓VB-VT。將PMOS電晶體用於傳送閘1605及升壓閘1604有助於確保VOUTi不會低於VINi。交互耦合PMOS電晶體1606及1607的使用亦保證PMOS電晶體1604及1605的基體絕不會低於VINi或VOUTi。因此，在最後一級中，VOUTN絕不會低於VINN，其中VINN係前一級的輸出電壓。這限制下降效應，並且保證最後一級的輸出電壓將至少高達倒數第二級的輸出電壓。使用沒有基體效應之具有低VT的PMOS電晶體可提高電荷泵的效率。
圖17描繪升壓級1700i，其使用PMOS及NMOS電晶體。升壓級1700i接收輸入VINi並產生輸出VOUTi，並且是電荷泵中之第i個升壓級。升壓級1700i包括分別接收輸入CLKP及CLKB之電容器1701及1702。升壓級1700i進一步包括預充電閘1703、升壓閘1704及傳送閘1705。升壓級1700i進一步包括如圖所配置之PMOS電晶體1706及1707。除了電容器1602(由一個電晶體來產生)已用MOM(金屬-氧化物-金屬)或MIM(金屬-絕緣體-金屬)電容器1702來取代之外，升壓級1700i與升壓級1600i相同。使用MOM或MIM電容器而不是電晶體可有利地避免在MOS電晶體用作電容器時MOS電晶體的導通電壓VT之固有的困難度。如果MOS電容器兩端的電壓<VT，則電容非常小。特別是在低VDD電壓下，這在電荷泵的前幾級(例如，級1、2及3)中係有利的。取捨在於MOM或MIM電容器比電晶體需要更大的面積。
時脈加倍電路900與升壓級1000i、1100i1200i、1300i、1400i、1500i、1600i、1700i可以以各種組合來使用，以製造包括複數個升壓級之電荷泵。
例如，如圖6所示，複數個升壓級可以以序列方式耦接在一起，其中複數個升壓級中之每一者均根據相同的升壓級設計，例如，升壓級1000i、1100i、1200i、1300i、1400i、1500i、1600i及1700i中之任何一個設計。在這樣的配置中，第一級的VIN1耦合至VIN(電荷泵所接收的輸入電壓源)，第N級的VOUTN提供VOUT(電荷泵的輸出電壓)，並且其它升壓級中之每一者的VOUTi耦接至下一個後續升壓級的VINi+1。
圖18描繪電荷泵的另一個具體例。電荷泵1800包括 一組(第一組)1801的N個升壓級，其標記為級1801-1至1801-N。電荷泵1800進一步包括一組1802(第二組)的M個升壓級，其標記為級1802-1至1802-M。可適應時脈加倍電路1805包括時脈加倍電路1803及時鐘加倍電路1804。級1801-1至1801-N由時脈加倍電路1803驅動，而級1802-1至1802-M由時脈加倍電路1804驅動。時脈加倍電路1803及時脈加倍電路1804各自可以包括上面參考圖9所論述之時脈加倍電路900。
電荷泵1800內的每個後續級逐漸接收較高的輸入電壓VINi，因此，由於基體效應逐漸增大，傳送閘及升壓閘的VT將逐漸升高。可適應時脈加倍電路1805設計成用於補償這種現象。因為電荷泵的前幾級將經歷較低的VT，所以時脈加倍電路1803可以使用具有較低電容值的加倍電容器(例如，圖9中之加倍電容器903)。下一級經歷較高的VT，因此時脈加倍電路1804可以使用具有較高電容值的加倍電容器(例如，圖9中的加倍電容器903)，以更有效地提升ING節點的電壓。
時脈加倍電路1803接收CLKB1作為輸入，並且產生CLKB1-2X作為輸出，其中CLKB1-2X的振幅大約是CLKB1的振幅之兩倍。同樣地，時脈加倍電路1804接收CLKB2作為輸入，並且產生CLKB2-2X作為輸出，其中CLKB2-2X的振幅大約是CLKB2的振幅之兩倍。時脈加倍電路1803的加倍電容器(例如，圖9中之加倍電容器903)具有比時脈加倍電路1804的加倍電容器(例如，圖9中之加倍電容器903)低的電容。然後，升壓級1801-1至1801-N使用CLKB1-2X作為「CLKB」信號，而升壓級1802-1至1802-M使用CLKB2-2X作為「CLKB」信號(其中「CLKB」信號係 圖7及10至17中所述之信號)。因此，在電荷泵1800內，N個升壓級回應CLKB1來操作，而M個升壓級回應CLKB2來操作。CLKB1與CLKB2任選地在頻率、相位或振幅方面可以是不同的。
圖19描繪電荷泵的另一個具體例。電荷泵1900包括一組1901(第一組)的N個升壓級，其標記為級1901-1至1901-N。電荷泵1900進一步包括一組1902(第二組)的M個升壓級，其標記為級1902-1至1902-M。級1901-1至1901-N可以各自是包含第一類型的升壓級之升壓級，而級1902-1至1902-M可以各自是第二類型的升壓級，其中各種類型包括圖7及10至17所示之升壓級類型以及熟悉該項技藝者所已知之其它類型。第一類型及第二類型之配對的實例可以是：僅NMOS電晶體的升壓級(例如，升壓級1000i、1100i、1200i)以及NMOS電晶體與PMOS電晶體兩者的升壓級(例如，升壓級1500i、1600i及1700i)；或者僅NMOS電晶體的升壓級(例如，升壓級1000i、1100i及1200i)以及NMOS電晶體與二極體的升壓級(例如，升壓級1300i及1400i)。
本文中對本發明的參照沒有意欲限制任何權利請求或權利請求項的範圍，而是僅參照可能由一個或多個權利請求涵蓋之一個或多個特徵。上述材料、製程及數值實例僅是示例性的，並且不應該被認為是對權利請求的限制。應當注意，如本文所使用，術語「在......上方」及「在......上」均包含性地包括「直接在......上」(沒有中間材料、元件或空間設置在其間)及「間接在......上」(中間材料、元件或空間設置在其間)。同樣地，術語「相鄰」包括「直接相鄰」(沒有中間材料、元件或空間設置在其間)及「間接相鄰」(中間材料、元件或空間設置在其間)。例如，「在基板上方」形成元件 可以包括在基板上直接形成元件而其間沒有中間材料/元件，以及在基板上間接形成元件而在其間具有一個或多個中間材料/元件。
900:時脈加倍電路
901:PMOS電晶體
902:NMOS電晶體
903:加倍電容器
904:PMOS電晶體
905:PMOS電晶體
906:NMOS電晶體

Claims (27)

  1. 一種電荷泵，用於接收一輸入電壓及產生一輸出電壓，該電荷泵包括複數個升壓級，並且該複數個升壓級中之每一者包括：一輸入節點，用於該升壓級；一輸出節點，用於該升壓級；一第一電容器，其包括用於接收一第一時鐘信號之一輸入端子及耦接至該輸入節點之一輸出端子；一第二電容器，其包括用於接收一第二時鐘信號之一輸入端子及一輸出端子；一傳送閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸出節點之一第二端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一閘極；一升壓閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子及耦接至該輸出節點之一閘極；一電晶體，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸入節點之一閘極及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子，其中用於該升壓級的該輸入節點係耦接至該複數個升壓級中之另一個升壓級的一輸出節點或至提供該輸入電壓之一電源，其中用於該升壓級的該輸出節點係耦接至該複數個升壓級中之另一個升壓級的一輸入節點或提供該輸出電壓，以及其中該複數個升壓級中之每一者進一步包括一電晶體，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸入節點之一閘極及耦接 至該輸出節點之一第二端子。
  2. 如請求項1之電荷泵，其中，該複數個升壓級中之每一者進一步包括：一預充電閘，其包括耦接至一預充電電壓源之一第一端子、耦接至該第一端子之一閘極及耦接至該輸出節點之一第二端子。
  3. 一種電荷泵，用於接收一輸入電壓及產生一輸出電壓，該電荷泵包括複數個升壓級，並且該複數個升壓級中之每一者包括：一輸入節點，用於該升壓級；一輸出節點，用於該升壓級；一第一電容器，其包括用於接收一第一時鐘信號之一輸入端子及耦接至該輸入節點之一輸出端子；一第二電容器，其包括用於接收一第二時鐘信號之一輸入端子及一輸出端子；一傳送閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸出節點之一第二端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一閘極；一升壓閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子及耦接至該輸出節點之一閘極；一二極體，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子及耦接至該輸出節點之一第二端子，其中用於該升壓級的該輸入節點係耦接至該複數個升壓級中之另一個升壓級的一輸出節點或至提供該輸入電壓之一電源，以及其中用於該升壓級的該輸出節點係耦接至該複數個升壓級中之 另一個升壓級的一輸入節點或提供該輸出電壓。
  4. 如請求項3之電荷泵，其中，該複數個升壓級中之每一者進一步包括：一預充電閘，其包括耦接至一預充電電壓源之一第一端子、耦接至該第一端子之一閘極及耦接至該輸出節點之一第二端子。
  5. 一種電荷泵，用於接收一輸入電壓及產生一輸出電壓，該電荷泵包括複數個升壓級，並且該複數個升壓級中之每一者包括：一輸入節點，用於該升壓級；一輸出節點，用於該升壓級；一第一電容器，其包括用於接收一第一時鐘信號之一輸入端子及耦接至該輸入節點之一輸出端子；一第二電容器，其包括用於接收一第二時鐘信號之一輸入端子及一輸出端子；一傳送閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸出節點之一第二端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一閘極；一升壓閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子及耦接至該輸出節點之一閘極；一局部預充電裝置，其包括耦接至該複數個升壓級中之另一個升壓級或一電壓源之一第一端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子，其中用於該升壓級的該輸入節點係耦接至該複數個升壓級中之另一個升壓級的一輸出節點或至提供該輸入電壓之一電源，以及其中用於該升壓級的該輸出節點係耦接至該複數個升壓級中之 另一個升壓級的一輸入節點或提供該輸出電壓。
  6. 如請求項5之電荷泵，其中，該局部預充電裝置係一肖特基二極體或一p/n接面二極體。
  7. 如請求項5之電荷泵，其中，該局部預充電裝置係一接成二極體形式之電晶體。
  8. 如請求項5之電荷泵，其中，該複數個升壓級中之每一者進一步包括：一預充電閘，其包括耦接至一預充電電壓源之一第一端子、耦接至該第一端子之一閘極及耦接至該輸出節點之一第二端子。
  9. 一種電荷泵，用於接收一輸入電壓及產生一輸出電壓，該電荷泵包括複數個升壓級，並且該複數個升壓級中之每一者包括：一輸入節點，用於該升壓級；一輸出節點，用於該升壓級；一第一電容器，其包括用於接收一第一時鐘信號之一輸入端子及耦接至該輸入節點之一輸出端子；一第二電容器，其包括用於接收一第二時鐘信號之一輸入端子及一輸出端子；一傳送閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸出節點之一第二端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一閘極；一二極體，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子，其中用於該升壓級的該輸入節點係耦接至該複數個升壓級中之另一個升壓級的一輸出節點或至提供該輸入電壓之一電源，以及 其中用於該升壓級的該輸出節點係耦接至該複數個升壓級中之另一個升壓級的一輸入節點或提供該輸出電壓。
  10. 如請求項9之電荷泵，進一步包括：一升壓閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子及耦接至該輸出節點之一閘極。
  11. 如請求項9之電荷泵，其中，該複數個升壓級中之每一者進一步包括：一預充電閘，其包括耦接至一預充電電壓源之一第一端子、耦接至該第一端子之一閘極及耦接至該輸出節點之一第二端子。
  12. 一種電荷泵，用於接收一輸入電壓及產生一輸出電壓，該電荷泵包括複數個升壓級，並且該複數個升壓級中之每一者包括：一輸入節點，用於該升壓級；一輸出節點，用於該升壓級；一第一電容器，其包括用於接收一第一時鐘信號之一輸入端子及耦接至該輸入節點之一輸出端子；一第二電容器，其包括用於接收一第二時鐘信號之一輸入端子及一輸出端子；一第一PMOS電晶體，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸出節點之一第二端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一閘極；一第二PMOS電晶體，其包括耦接至該輸出節點之一第一端子、耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子及耦接至該輸入節點之一閘極， 其中用於該升壓級的該輸入節點係耦接至該複數個升壓級中之另一個升壓級的一輸出節點或至提供該輸入電壓之一電源，其中用於該升壓級的該輸出節點係耦接至該複數個升壓級中之另一個升壓級的一輸入節點或提供該輸出電壓，以及其中該複數個升壓級中之每一者進一步包括一預充電閘，其包括耦接至一預充電電壓源之一第一端子、耦接至該第一端子之一閘極及耦接至該輸出節點之一第二端子。
  13. 如請求項12之電荷泵，其中，該複數個升壓級中之每一者進一步包括：一第三PMOS電晶體，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、一第二端子及耦接至該輸出節點之一閘極；以及一第四PMOS電晶體，其包括耦接至該第三PMOS電晶體的該第二端子之一第一端子、耦接至該輸出節點之一第二端子及耦接至該輸入節點之一閘極，其中該第一PMOS電晶體的一基體、該第二PMOS電晶體的一基體、該第三PMOS電晶體的一基體及該第四PMOS電晶體的一基體係耦接至一共用節點。
  14. 如請求項12之電荷泵，進一步包括一局部預充電二極體或電晶體裝置。
  15. 如請求項13之電荷泵，其中，該第二電容器係一金屬-氧化物-金屬(MOM)電容器。
  16. 如請求項13之電荷泵，其中，該第二電容器係一金屬-絕緣體-金屬(MIM)電容器。
  17. 一種電荷泵，用於接收一輸入電壓及產生一輸出電壓，該電 荷泵包括：一時脈加倍電路，用於接收一第一時鐘信號及產生一第二時鐘信號，其中該第二時鐘信號具有與該第一時鐘信號相同的頻率及相位，並且具有該第一時鐘信號的振幅之兩倍振幅；以及複數個升壓級，該複數個升壓級中之每一者包括：一輸入節點，用於該升壓級；一輸出節點，用於該升壓級；一第一電容器，其包括用於接收該第一時鐘信號之一輸入端子及耦接至該輸入節點之一輸出端子；一第二電容器，其包括用於接收該第二時鐘信號之一輸入端子及一輸出端子；一傳送閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸出節點之一第二端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一閘極；及一升壓閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子及耦接至該輸出節點之一閘極，其中用於該升壓級的該輸入節點係耦接至該複數個升壓級中之另一個升壓級的一輸出節點或至提供該輸入電壓之一電源，以及其中用於該升壓級的該輸出節點係耦接至該複數個升壓級中之另一個升壓級的一輸入節點或提供該輸出電壓。
  18. 如請求項17之電荷泵，其中，該複數個升壓級中之每一者進一步包括：一預充電閘，其包括耦接至一預充電電壓源之一第一端子、耦接 至該第一端子之一閘極及耦接至該輸出節點之一第二端子。
  19. 如請求項17之電荷泵，其中，該時脈加倍電路包括：一反相器，其配置成接收該第一時鐘信號及產生一反相器輸出；一電容器，其包括用於接收該反相器輸出之一第一端子及用於產生一電容器輸出之一第二端子；一NMOS電晶體，其包括配置成接收該第一時鐘信號之一閘極、連接至一輸出節點之一第一端子及連接至接地之一第二端子；一第一PMOS電晶體，其包括配置成接收該第一時鐘信號之一閘極、連接至該電容器的該第二端子之一第一端子及連接至該輸出節點之一第二端子；一第二PMOS電晶體，其包括耦接至該輸出節點之一閘極、連接至一電壓源之一第一端子及連接至該電容器的該第二端子之一第二端子，其中該第二時鐘信號係在該輸出節點上產生。
  20. 一種電荷泵，用於接收一輸入電壓及產生一輸出電壓，該電荷泵包括：一第一時脈加倍電路，用於接收一第一時鐘信號及產生一第二時鐘信號，其中該第二時鐘信號具有與該第一時鐘信號相同的頻率及相位，並且具有該第一時鐘信號的振幅之兩倍振幅；一第二時脈加倍電路，用於接收一第三時鐘信號及產生一第四時鐘信號，其中該第四時鐘信號具有與該第三時鐘信號相同的頻率及相位，並且具有該第三時鐘信號的振幅之兩倍振幅；一第一類型的N個升壓級，其中N為整數，該N個升壓級中之每一者包括： 一輸入節點，用於該升壓級；一輸出節點，用於該升壓級；一第一電容器，其包括用於接收該第一時鐘信號之一輸入端子及耦接至該輸入節點之一輸出端子；一第二電容器，其包括用於接收該第二時鐘信號之一輸入端子及一輸出端子；一傳送閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸出節點之一第二端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一閘極；一升壓閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子及耦接至該輸出節點之一閘極，其中用於該升壓級的該輸入節點係耦接至該N個升壓級中之另一個升壓級的一輸出節點或至提供該輸入電壓之一電源，以及其中用於該升壓級的該輸出節點係耦接至該N個升壓級中之另一個升壓級或該M個升壓級中之一升壓級的一輸入節點；一第二類型的M個升壓級，其中M為整數，該M個升壓級中之每一者包括：一輸入節點，用於該升壓級；一輸出節點，用於該升壓級；一第一電容器，其包括用於接收該第三時鐘信號之一輸入端子及耦接至該輸入節點之一輸出端子；一第二電容器，其包括用於接收該第四時鐘信號之一輸入端子及一輸出端子； 一傳送閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸出節點之一第二端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一閘極；一升壓閘，其包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子及耦接至該輸出節點之一閘極，其中用於該升壓級的該輸入節點係耦接至該M個升壓級中之另一個升壓級的一輸出節點或至該N個升壓級中之一升壓級的一輸出節點，以及其中用於該升壓級的該輸出節點係耦接至該M個升壓級中之另一個升壓級的一輸入節點或提供該輸出電壓。
  21. 如請求項20之電荷泵，其中，該N個升壓級中之每一者及該M個升壓級中之每一者進一步包括：一預充電閘，其包括耦接至一預充電電壓源之一第一端子、耦接至該第一端子之一閘極及耦接至該輸出節點之一第二端子。
  22. 一種電荷泵，用於接收一輸入電壓及產生一輸出電壓，該電荷泵包括：一第一類型的N個升壓級，其中N為整數，該N個升壓級中之每一者包括：一輸入節點，用於該升壓級；一輸出節點，用於該升壓級；一第一電容器，其包括用於接收一第一時鐘信號之一輸入端子及耦接至該輸入節點之一輸出端子；一第二電容器，其包括用於接收一第二時鐘信號之一輸入端子及 一輸出端子；一傳送閘，其包括一第一導電型的一電晶體，該電晶體包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸出節點之一第二端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一閘極；一升壓閘，其包括該第一導電型的一電晶體，該電晶體包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該第二電容器的該輸出端子之一第二端子及耦接至該輸出節點之一閘極，其中用於該升壓級的該輸入節點係耦接至該N個升壓級中之另一個升壓級的一輸出節點或至提供該輸入電壓之一電源，以及其中用於該升壓級的該輸出節點係耦接至該N個升壓級中之另一個升壓級或該M個升壓級中之一升壓級的一輸入節點；一第二類型的M個升壓級，其中M為整數，該M個升壓級中之每一者包括：一輸入節點，用於該升壓級；一輸出節點，用於該升壓級；一第一電容器，其包括用於接收一第一時鐘信號之一輸入端子及耦接至該輸入節點之一輸出端子；一第二電容器，其包括用於接收一第二時鐘信號之一輸入端子及一輸出端子；一傳送閘，其包括一第二導電型的一電晶體，該電晶體包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該輸出節點之一第二端子及耦接至該第二電容器的該輸出端子之一閘極；一升壓閘，其包括該第二導電型的一電晶體，該電晶體包括耦接至該輸入節點之一第一端子、耦接至該第二電容器的該輸出端子之 一第二端子及耦接至該輸出節點之一閘極，其中用於該升壓級的該輸入節點係耦接至該M個升壓級中之另一個升壓級的一輸出節點或至該N個升壓級中之一升壓級的一輸出節點，以及其中用於該升壓級的該輸出節點係耦接至該M個升壓級中之另一個升壓級的一輸入節點或提供該輸出電壓。
  23. 如請求項22之電荷泵，其中，該N個升壓級中之每一者及該M個升壓級中之每一者進一步包括：一預充電閘，其包括耦接至一預充電電壓源之一第一端子、耦接至該第一端子之一閘極及耦接至該輸出節點之一第二端子。
  24. 如請求項22之電荷泵，其中，該第一導電型係p通道，而該第二導電型係n通道。
  25. 如請求項22之電荷泵，其中，該第一導電型係n通道，而該第二導電型係p通道。
  26. 如請求項23之電荷泵，其中，該第一導電型係p通道，而該第二導電型係n通道。
  27. 如請求項23之電荷泵，其中，該第一導電型係n通道，而該第二導電型係p通道。
TW108136070A 2018-10-16 2019-10-04 使用在非揮發性快閃記憶體裝置中之改良式電荷泵 TWI716137B (zh)

Applications Claiming Priority (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201862746408P 2018-10-16 2018-10-16
US62/746,408 2018-10-16
US16/219,424 2018-12-13
US16/219,424 US10847227B2 (en) 2018-10-16 2018-12-13 Charge pump for use in non-volatile flash memory devices
PCT/US2019/043468 WO2020081139A1 (en) 2018-10-16 2019-07-25 Improved charge pump for use in non-volatile flash memory devices
WOPCT/US19/43468 2019-07-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202025451A TW202025451A (zh) 2020-07-01
TWI716137B true TWI716137B (zh) 2021-01-11

Family

ID=70160410

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108136070A TWI716137B (zh) 2018-10-16 2019-10-04 使用在非揮發性快閃記憶體裝置中之改良式電荷泵

Country Status (7)

Country Link
US (2) US10847227B2 (zh)
EP (2) EP3867903B1 (zh)
JP (1) JP7407809B2 (zh)
KR (2) KR102485239B1 (zh)
CN (1) CN112868062A (zh)
TW (1) TWI716137B (zh)
WO (1) WO2020081139A1 (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10847227B2 (en) * 2018-10-16 2020-11-24 Silicon Storage Technology, Inc. Charge pump for use in non-volatile flash memory devices
KR20220151748A (ko) 2021-05-07 2022-11-15 삼성전자주식회사 비휘발성 메모리 장치
US11810626B2 (en) 2022-02-11 2023-11-07 Sandisk Technologies Llc Generating boosted voltages with a hybrid charge pump

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6831499B2 (en) * 2002-09-20 2004-12-14 Atmel Corporation Negative charge pump with bulk biasing
US20050248386A1 (en) * 2004-05-10 2005-11-10 Sandisk Corporation Four phase charge pump operable without phase overlap with improved efficiency
US20060279352A1 (en) * 2005-05-27 2006-12-14 Tae-Whan Kim Charge pump, DC-DC converter, and method thereof
US9634562B1 (en) * 2016-06-09 2017-04-25 Stmicroelectronics International N.V. Voltage doubling circuit and charge pump applications for the voltage doubling circuit

Family Cites Families (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6445157A (en) * 1987-08-13 1989-02-17 Toshiba Corp Semiconductor integrated circuit
US5029130A (en) 1990-01-22 1991-07-02 Silicon Storage Technology, Inc. Single transistor non-valatile electrically alterable semiconductor memory device
US5381051A (en) * 1993-03-08 1995-01-10 Motorola Inc. High voltage charge pump
US5406517A (en) 1993-08-23 1995-04-11 Advanced Micro Devices, Inc. Distributed negative gate power supply
TW271011B (zh) * 1994-04-20 1996-02-21 Nippon Steel Corp
US5982223A (en) 1997-06-20 1999-11-09 Integrated Silicon Solution, Inc. Charge pump system with improved programming current distribution
JP3385960B2 (ja) * 1998-03-16 2003-03-10 日本電気株式会社 負電圧チャージポンプ回路
JP2000123587A (ja) * 1998-10-15 2000-04-28 Sony Corp プリチャージ回路を備えたチャージポンプ回路
JP3554497B2 (ja) * 1998-12-08 2004-08-18 シャープ株式会社 チャージポンプ回路
US6160723A (en) * 1999-03-01 2000-12-12 Micron Technology, Inc. Charge pump circuit including level shifters for threshold voltage cancellation and clock signal boosting, and memory device using same
US6191642B1 (en) 1999-03-30 2001-02-20 Silicon Storage Technology, Inc. Charge pump circuit
JP4242006B2 (ja) * 1999-06-23 2009-03-18 株式会社ルネサステクノロジ チャージポンプ回路およびそれを用いた不揮発性半導体記憶装置
DE19953882C2 (de) * 1999-11-09 2001-10-18 Infineon Technologies Ag Ladungspumpe zum Erzeugen von hohen Spannungen für Halbleiterschaltungen
US6661682B2 (en) * 2001-02-16 2003-12-09 Imec (Interuniversitair Microelectronica Centrum) High voltage generating charge pump circuit
US7176746B1 (en) * 2001-09-27 2007-02-13 Piconetics, Inc. Low power charge pump method and apparatus
US6867638B2 (en) * 2002-01-10 2005-03-15 Silicon Storage Technology, Inc. High voltage generation and regulation system for digital multilevel nonvolatile memory
US6747310B2 (en) 2002-10-07 2004-06-08 Actrans System Inc. Flash memory cells with separated self-aligned select and erase gates, and process of fabrication
US6914791B1 (en) * 2002-11-06 2005-07-05 Halo Lsi, Inc. High efficiency triple well charge pump circuit
JP4336489B2 (ja) * 2002-11-18 2009-09-30 株式会社ルネサステクノロジ 半導体集積回路
US7239193B2 (en) * 2003-12-25 2007-07-03 Kabushiki Kaisha Toshiba Semiconductor device
WO2005109439A1 (ja) 2004-05-11 2005-11-17 Spansion Llc 不揮発性半導体メモリ、半導体装置及びチャージポンプ回路
JP2005339658A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Toshiba Corp 昇圧回路
US7248096B2 (en) * 2004-11-22 2007-07-24 Stmicroelectronics S.R.L. Charge pump circuit with dynamic biasing of pass transistors
US7362084B2 (en) * 2005-03-14 2008-04-22 Silicon Storage Technology, Inc. Fast voltage regulators for charge pumps
US7737765B2 (en) * 2005-03-14 2010-06-15 Silicon Storage Technology, Inc. Fast start charge pump for voltage regulators
WO2006132757A2 (en) * 2005-06-03 2006-12-14 Atmel Corporation High efficiency bi-directional charge pump circuit
US7403418B2 (en) * 2005-09-30 2008-07-22 Silicon Storage Technology, Inc. Word line voltage boosting circuit and a memory array incorporating same
US7652522B2 (en) * 2006-09-05 2010-01-26 Atmel Corporation High efficiency low cost bi-directional charge pump circuit for very low voltage applications
JP2008092667A (ja) * 2006-10-02 2008-04-17 Seiko Instruments Inc 昇圧回路を有する電子機器
US7741898B2 (en) * 2007-01-23 2010-06-22 Etron Technology, Inc. Charge pump circuit for high voltage generation
US8232833B2 (en) * 2007-05-23 2012-07-31 Silicon Storage Technology, Inc. Charge pump systems and methods
US7446596B1 (en) * 2007-05-25 2008-11-04 Atmel Corporation Low voltage charge pump
US7683699B2 (en) * 2007-09-14 2010-03-23 Atmel Corporation Charge pump
KR20090071860A (ko) 2007-12-28 2009-07-02 창원대학교 산학협력단 크로스 커플 전하펌프방식의 저전압 ｄｒａｍ용 고전압발생기
US7733161B2 (en) * 2008-02-15 2010-06-08 International Business Machines Corporation Voltage boost system, IC and design structure
US7602233B2 (en) * 2008-02-29 2009-10-13 Freescale Semiconductor, Inc. Voltage multiplier with improved efficiency
EP2178197B1 (en) * 2008-10-20 2017-07-05 Dialog Semiconductor GmbH HVPMOS switched capacitor charage pump having ideal charge transfer
US20100283533A1 (en) * 2009-05-05 2010-11-11 Numonyx Bv Charge pump circuit and method
US7969239B2 (en) * 2009-09-29 2011-06-28 Silicon Storage Technology, Inc. Charge pump circuit and a novel capacitor for a memory integrated circuit
US8294509B2 (en) * 2010-12-20 2012-10-23 Sandisk Technologies Inc. Charge pump systems with reduction in inefficiencies due to charge sharing between capacitances
EP2587195B1 (en) * 2011-08-30 2019-10-02 LG Electronics Inc. Refrigerator
US8547168B2 (en) * 2011-10-14 2013-10-01 Jen-Ai Holdings, Llc High current drive switched capacitor charge pump
US8811093B2 (en) * 2012-03-13 2014-08-19 Silicon Storage Technology, Inc. Non-volatile memory device and a method of operating same
US8598946B2 (en) * 2012-05-01 2013-12-03 Silicon Laboratories Inc. Digitally programmable high voltage charge pump
US8867281B2 (en) * 2013-03-15 2014-10-21 Silicon Storage Technology, Inc. Hybrid chargepump and regulation means and method for flash memory device
US9531262B2 (en) * 2014-01-03 2016-12-27 Analog Devices Global Charge pump
US20160006348A1 (en) * 2014-07-07 2016-01-07 Ememory Technology Inc. Charge pump apparatus
US9509213B1 (en) * 2015-10-22 2016-11-29 Giantec Semiconductor, Ltd. Inc. Charge pump circuit suitable for low voltage operation
US10050524B1 (en) * 2017-11-01 2018-08-14 Stmicroelectronics International N.V. Circuit for level shifting a clock signal using a voltage multiplier
US10707749B2 (en) * 2018-07-31 2020-07-07 Samsung Electronics Co., Ltd. Charge pump, and high voltage generator and flash memory device having the same
US10847227B2 (en) * 2018-10-16 2020-11-24 Silicon Storage Technology, Inc. Charge pump for use in non-volatile flash memory devices

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6831499B2 (en) * 2002-09-20 2004-12-14 Atmel Corporation Negative charge pump with bulk biasing
US20050248386A1 (en) * 2004-05-10 2005-11-10 Sandisk Corporation Four phase charge pump operable without phase overlap with improved efficiency
US20060279352A1 (en) * 2005-05-27 2006-12-14 Tae-Whan Kim Charge pump, DC-DC converter, and method thereof
US9634562B1 (en) * 2016-06-09 2017-04-25 Stmicroelectronics International N.V. Voltage doubling circuit and charge pump applications for the voltage doubling circuit

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210056388A (ko) 2021-05-18
TW202025451A (zh) 2020-07-01
US11120881B2 (en) 2021-09-14
KR102656018B1 (ko) 2024-04-08
CN112868062A (zh) 2021-05-28
JP7407809B2 (ja) 2024-01-04
US20210035643A1 (en) 2021-02-04
EP4202929B1 (en) 2024-07-17
JP2022505083A (ja) 2022-01-14
US10847227B2 (en) 2020-11-24
EP3867903B1 (en) 2023-03-29
KR20230008258A (ko) 2023-01-13
KR102485239B1 (ko) 2023-01-04
EP3867903A1 (en) 2021-08-25
US20200118632A1 (en) 2020-04-16
WO2020081139A1 (en) 2020-04-23
EP4202929A1 (en) 2023-06-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5140182A (en) Plural stage voltage booster circuit with efficient electric charge transfer between successive stages
US5986947A (en) Charge pump circuits having floating wells
US6456541B2 (en) Booster circuit for raising voltage by sequentially transferring charges from input terminals of booster units to output terminals thereof in response to clock signals having different phases
TWI716137B (zh) 使用在非揮發性快閃記憶體裝置中之改良式電荷泵
TWI679643B (zh) 快閃路徑中的高速高電壓耐受性電路
JP3451118B2 (ja) 半導体不揮発性記憶装置
JP7053723B2 (ja) フラッシュメモリ装置のハイブリッドチャージポンプ並びに調節手段及び方法
JP2003249088A (ja) チャージポンプ回路
US9240242B1 (en) Method for operating low-cost EEPROM array
US6738292B2 (en) Nonvolatile semiconductor storage device
US6191963B1 (en) Charge pump with no diode drop at output stage
US6191642B1 (en) Charge pump circuit
JP2515703B2 (ja) Ｅｅｐｒｏｍ装置
JP3392438B2 (ja) 不揮発性半導体記憶装置
JP2012195028A (ja) 不揮発性コンフィギュレーションメモリ
JPH08256473A (ja) 昇圧回路
JP3648975B2 (ja) 半導体記憶装置及びそれを用いた半導体装置
JP2010257559A (ja) 高電圧発生回路およびそれを備える不揮発性半導体記憶装置
JPS62165798A (ja) Ｅｅｐｒｏｍ装置
JPS6267797A (ja) 半導体記憶装置