TWI712510B - 網版印刷機，網版印刷方法及太陽能電池的電極形成方法 - Google Patents

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Abstract

本發明為一種網版印刷方法，係利用具備設置對應印刷圖案的開口部之網版製版、刮刀、刮漿板的網版印刷機，將供給至前述網版製版上面的糊料藉由前述刮刀填充至前述網版製版的開口部後，藉由前述刮漿板從前述網版製版的開口部將前述糊料壓出至被印刷物的預定位置，在前述被印刷物對應前述印刷圖案將前述糊料網版印刷的方法，其特徵在於：當進行前述網版印刷時，調整前述網版印刷機內的濕度。藉此，能提供一種網版印刷方法，其藉由抑制網版製版上的糊料中的水分量，能夠提升糊料的印刷性。

Description

網版印刷機，網版印刷方法及太陽能電池的電極形成方法
本發明係有關網版印刷機，網版印刷方法及太陽能電池的電極形成方法。
一般而言，太陽能電池具有如圖7所示的構造。如圖7所示，太陽能電池50，例如大小為100~156mm角，厚度為0.1~0.3mm的板狀，且由多晶或單晶矽等所形成，對摻雜磷等n型雜質的n型半導體基板51，在受光面側設置p型擴散層52，在裏面側設置n型擴散層53。在p型擴散層52上設有受光面電極55，在n型擴散層53上設有裏面電極56。此外，在受光面側設有SiN(氮化矽)等的抗反射膜兼鈍化膜57。此外，在裏面側也設有SiN等的鈍化膜58。在此，p型擴散層52為摻雜硼等的p型雜質，並形成於受光面側，n型擴散層53為摻雜磷等的n型雜質，並形成於裏面側。受光面電極55及裏面電極56利用網版印刷法，在裏面側及受光面側印刷導電性銀糊料後，經由乾燥‧燒結所形成。該等電極 由：將太陽能電池所生成的光致電流向外部輸出的匯流排電極、與連接該等匯流排電極的集電用指狀電極所構成。
這種構造的太陽能電池，如上述的方式，一般由網版印刷法來形成電極(例如，參照專利文獻1、2)。網版印刷法相較於使用感光性材料的光微影法等，具有能使厚膜的電極有良率地大量生產、及設備費比較少的優點。因此，網版印刷法除了能用在太陽能電池的電極形成以外，也包含用在電漿顯示器面板及液晶顯示器面板等的大面積顯示器的電極層、電阻層、介電體層、或螢光體層等的圖案形成，在電子工業界廣泛地被使用。
利用圖式說明有關從前的網版印刷法。圖8為一般的網版印刷機的主要部之側面模式圖。圖9為從網版製版上方觀察一般的網版印刷機所造成的糊料擴散之平面模式圖，與從側面觀察的側面模式圖。參照圖8說明一連串的印刷動作。首先，在網版印刷機110中，在以欲形成圖案開口的網版製版111之上乘載糊料116。在該糊料116之上，藉由刮刀112從上部一邊施加壓力一邊向一定的方向移動，對網版製版111的開口部的圖案填充糊料116。接著，藉由刮漿板113從上部一邊施加壓力一邊向與刮刀112的移動方向相反的方向移動，將填充至網版製版111的開口部的圖案的糊料116轉印至設置於印刷台114上的被印刷物115。接著，藉由將刮刀112向與刮漿板113的移動方向相反的方向移動，同時將剩餘的糊料116再度填充至網版製版111的開口部圖案。並重覆這一 連串的動作。
參照圖9，說明有關於從前的網版印刷法中糊料的擴散。在從前的網版印刷方法中，連續重覆印刷的話，網版製版111之上的糊料116的一部分被刮漿板113及刮刀112按壓，糊料堆積的區域範圍會擴大至超過印刷圖案區域119的範圍。因此，從刮漿板掃描區域及刮刀掃描區域溢出的糊料，因為是在刮漿板113及刮刀112的動作範圍之外，將無法用於之後的印刷。此外，在圖9中，模式地表示連續印刷中的印刷圖案區域外的糊料堆積區域120。
如以上所述，在從前的網版印刷法中，所供給的糊料的一部分在刮漿板動作之後，會溢出刮漿板動作區域的兩端並殘留，隨著印刷次數的增加，溶劑成份會從溢出的糊料表面揮發，糊料表面會部分地凝固。作業者將該凝固的糊料刮集至中央部，再度進行印刷的話，版上的糊料的黏度會局部地提高。因此，特別是在太陽能電池中，當為了形成指狀電極而以指狀電極圖案狀向半導體基板印刷糊料時，會造成印刷糊料的變粗或摩擦。在這種情況下，在所得到的太陽能電池中，會發生指狀電極的粗大，會有使外觀檢查時的良率惡化的情形發生。該等印刷不良的影響在指狀電極寬度在60μm以下時會特別地明顯，是太陽能電池特性低下的主因。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
[專利文獻1]JP 2006-347077 A
[專利文獻2]JP 2012-054442 A
本發明鑑於上述問題點，提供一種網版印刷機及網版印刷方法，藉由抑制從網版製版上的糊料的溶劑揮發，能夠提升糊料的印刷性。本發明更利用這種網版印刷方法，提供一種太陽能電池的電極形成方法，能夠製作具有高電特性的太陽能電池。
為了達到上述目的，本發明提供一種網版印刷方法，係利用具備設置對應印刷圖案的開口部之網版製版、刮刀、刮漿板的網版印刷機，將供給至前述網版製版上面的糊料，藉由前述刮刀填充至前述網版製版的開口部後，藉由前述刮漿板從前述網版製版的開口部將糊料壓出至被印刷物的預定位置，在前述被印刷物對應前述印刷圖案將前述糊料網版印刷的方法，其特徵在於：當進行前述網版印刷時，調整前述網版印刷機內的濕度。
根據這種網版印刷方法，藉由抑制網版製版上的糊料中的水分量，能夠提升糊料的印刷性。
此外，當進行前述網版印刷時，藉由調整前述網版印刷機內的濕度，使前述網版印刷機內的露點溫度為8.2~18.0℃較佳。
根據這種網版印刷方法，藉由抑制網版製版上的糊料中的水分量，能夠更加提升糊料的印刷性。
當前述網版印刷機的印刷機內的溫度為T(℃)，印刷機內的相對濕度為H(%)時，次式定義的k滿足8.2<k<18.0較佳。
Figure 105123073-A0202-12-0005-1
在這種條件下的話，能夠以高良率製造高轉換效率的單元。
此外，調整前述網版印刷機內的濕度為相對濕度在30~65%之間較佳，更佳為調整在50±5%以內。
根據這種網版印刷方法，能夠提高所印刷的糊料的縱橫比。
前述糊料包含選自：脂族烴類溶劑、卡必醇系溶劑、溶纖劑系溶劑、高級脂肪酸酯系溶劑、高級醇系溶劑、高級脂肪酸系溶劑、芳香族烴系溶劑等其中1種以上的有機溶劑較佳。
藉此，發現能夠特別有效地實現本發明的效果。
前述網版製版的開口部的形狀能夠為細線狀，長邊方向的長度為156~8mm。
本發明的方法，對於開口部的長邊方向的長度為156~8mm的這種細線特別有效。
此外，前述網版製版的開口部寬度可以是60μm以下。
根據本發明的網版印刷方法，作為這種網版製版的開口部，使用較小的寬度，將不容易發生印刷不良。
當前述網版印刷機的印刷機內的溫度為T(℃)，印刷機內的相對濕度為H(%)時，印刷物的寬度設為w(μm)時，次式定義的k’滿足8.2<k’<18.0較佳。
Figure 105123073-A0202-12-0006-2
在這種條件下的話，對應任何的線寬，都能夠以高良率製造高轉換效率的單元。
再來本發明更提供一種太陽能電池的電極形成方法，其利用上述本發明的網版印刷方法，在半導體基板的至少一方的主表面，將前述糊料網版印刷，藉由將經該網版印刷的糊料乾燥及燒結，形成電極。
若是本發明的太陽能電池的電極形成方法的話，容易形成高縱橫比的電極。因此，利用這種太陽能電池的電極形成方法的話，能夠製作具有高電特性的太陽能 電池。
此外，將前述形成的電極作為指狀電極，該指狀電極的縱橫比可以是0.5以上1.0以下。
若是本發明的太陽能電池的電極形成方法的話，容易形成這種高縱橫比的指狀電極。
再來本發明提供一種網版印刷機，具備：設置有對應印刷圖案的開口部的網版製版、將向前述網版製版上面供給的糊料填充至前述網版製版的開口部的刮刀、從前述網版製版的開口部將前述糊料壓出至被印刷物的預定位置的刮漿板、調整網版印刷機內濕度的濕度調整器。
根據這種網版印刷機，藉由抑制網版製版上的糊料中的水分量，能夠提升糊料的印刷性。
至少藉由板狀構件包圍含有前述網版製版、前述刮刀、前述刮漿板的空間較佳。
此外，前述板狀構件的材質為聚乙烯、聚丙烯、氯乙烯樹脂、聚苯乙烯、ABS(丙烯腈‧丁二烯‧苯乙烯)樹脂、聚對苯二甲酸乙二脂、甲基丙烯樹脂、聚乙烯醇、氯化亞乙烯樹脂、聚碳酸酯、三聚氰胺樹脂、尿素樹脂、聚丙烯腈、聚甲基戊烯、環烯烴共聚物、MBS(甲基丙烯酸甲酯‧丁二烯‧苯乙烯)樹脂、SBC(苯乙烯‧丁二烯共聚合)樹脂、聚苯乙烯、聚酯碳酸、聚萘二甲酸、聚醚酰亞胺、聚芳酯、聚碸烯丙基、及玻璃的任一種較佳。
若是這種網版印刷機的話，因為能在不損及 作業性，也能安定濕度，能夠更安定地印刷。
根據本發明的網版印刷機及網版印刷方法，藉由抑制從網版製版上的糊料中的水分量，能夠提升糊料的印刷性。若是本發明的太陽能電池的電極形成方法的話，容易形成高縱橫比的電極。因此，利用這種太陽能電池的電極形成方法的話，能夠製作具有高電特性的太陽能電池。
50:太陽能電池
51:n型半導體基板
52:p型擴散層
53:n型擴散層
55:受光面電極
56:裏面電極
57:抗反射膜兼鈍化膜
58:鈍化膜
11:網版製版
12:刮刀
13:刮漿板
14:印刷台
15:被印刷物
25:濕度調整器
10:網版印刷機
16:糊料
19:印刷圖案區域
110:網版印刷機
111:網版製版
112:刮刀
113:刮漿板
114:印刷台
115:被印刷物
116:糊料
119:印刷圖案區域
120:糊料堆積區域
[圖1]本發明的網版印刷機的主要部之側面模式圖。
[圖2]利用本發明的網版印刷機的網版印刷中，對溢出的糊料進行加濕的樣子示意圖。
[圖3]表示實施例1~9中的印刷機內的相對濕度(%RH)與轉換效率Eff(%)的關係之示意圖。
[圖4]表示實施例1~9中的印刷機內的相對濕度(%RH)與開放電壓Voc(mV)的關係之示意圖。
[圖5]表示實施例1~9中的印刷機內的相對濕度(%RH)與短路電流密度Jsc(mA/cm2)的關係之示意圖。
[圖6]表示實施例1~9中的印刷機內的相對濕度(%RH)與填充因子(Fill Factor)(%)的關係之示意圖。
[圖7]表示一般的太陽能電池之一例的示意斷面模式 圖。
[圖8]表示一般的網版印刷機的主要部之側面模式圖。
[圖9]表示從網版製版上方觀察一般的網版印刷法所造成的糊料擴散之平面模式圖，與從側面觀察的側面模式圖。
[圖10]表示實施例1~9中的印刷機內的相對濕度(%RH)與外觀良率(%)的關係之示意圖。
[圖11]表示實施例1~12中的印刷機內的相對濕度(%RH)與轉換效率Eff(%)的關係之示意圖。
[圖12]表示實施例1~12中的k’與轉換效率Eff(%)的關係之示意圖。
以下，更詳細地說明本發明。
在從前的網版印刷法中，所供給的糊料的一部分在刮漿板動作之後，因為會溢出刮漿板的兩端並殘留，隨著印刷次數的增加，未使用到的糊料會一直增加，溶劑成份會從溢出的糊料的表面揮發，若將高黏度化的糊料刮集至中央再度進行印刷的話，從網版製版的開口部所吐出的糊料量無法安定，在被印刷物上以圖案狀印刷的糊料會摩擦以至印刷不良，會有降低良率的問題。
這種問題，會發生在典型的結晶矽太陽能電池的製造方法中，利用網版印刷法進行電極形成時。也就 是說，這種情況也和上述一樣，在矽基板上的電極圖案狀所印刷的糊料會摩擦以至印刷不良，會有降低良率的問題。
為了防止這種印刷不良，從前，作業者有必要提高將溢出的糊料刮集至中央部的頻率，並將溢出的糊料回收並固化的糊料成份過濾，再調整其黏度，因此成為工程的煩雜及製造成本提高的問題。
本發明的發明者們，為了解決上述的問題點而進行了檢討。結果，發現在網版印刷機及在網版印刷時，具備調整網版印刷機內濕度的濕度調整器的話，調整網版印刷機內濕度的網版印刷方法及利用該網版印刷方法的太陽能電池的電極形成方法，可以解決上述的問題點，而完成本發明。
以下，詳細說明本發明的實施形態。不過，本發明也可以實施比以下說明更廣泛的其他實施形態，本發明的範圍並不限於以下的範圍，而是以申請專利範圍所記載的來定義。而且，圖式並非以原尺寸比例表示。為了更容易理解本發明的說明，會因關連構件的不同將尺寸放大，此外，不重要的部分將不會圖示。
〔網版印刷機〕
圖1為本發明的網版印刷機的主要部之側面模式圖。圖2為在利用本發明的網版印刷機的網版印刷中將溢出的糊料進行加濕的樣子示意圖((a)為上面圖，(b)為側 面圖)。如圖1及圖2所示，本發明的網版印刷機10具備：設置有對應印刷圖案的開口部的網版製版11、將向網版製版11的上面供給的糊料16填充至網版製版11的開口部的刮刀12、從網版製版11的開口部將糊料16壓出至被印刷物15的預定位置的刮漿板13、調整網版印刷機10內的濕度的濕度調整器25。此外，具備為了設置被印刷物15的印刷台14。若是這種網版印刷機的話，藉由抑制網版製版上的糊料中的水分量，能夠提升糊料的印刷性。
再來，至少期望能藉由板狀構件包圍含有網版製版11、糊料16、刮刀12、被印刷物15、刮漿板13、載台14的空間。藉此，能夠將印刷時的濕度保持為一定。
此外，該板狀構件較佳為具有光穿透性。因為為了能夠從外部目視確認印刷過程，能夠早期發現裝置的麻煩和不良發生。具體來說，較佳為聚乙烯、聚丙烯、氯乙烯樹脂、聚苯乙烯、ABS(丙烯腈‧丁二烯‧苯乙烯)樹脂、聚對苯二甲酸乙二脂、甲基丙烯樹脂、聚乙烯醇、氯化亞乙烯樹脂、聚碳酸酯、三聚氰胺樹脂、尿素樹脂、聚丙烯腈、聚甲基戊烯、環烯烴共聚物、MBS(甲基丙烯酸甲酯‧丁二烯‧苯乙烯)樹脂、SBC(苯乙烯‧丁二烯共聚合)樹脂、聚苯乙烯、聚酯碳酸、聚萘二甲酸、聚醚酰亞胺、聚芳酯、聚碸烯丙基、及玻璃中的任一種。
網版製版11、刮刀12、刮漿板13、印刷台 14、及被印刷物15的形狀等並沒有特別限定，但可以使用與習知的網版印刷機相同之物。
雖不特別限定濕度調整器25，但例如可以是加濕器、除濕機、精密空調機(可以調整溫度及濕度的空調機)等。濕度調整器25可以設於網版印刷機內。
雖並不特別限定糊料16的種類，但例如可以是含有溶劑、導電性粒子等的粒子及其他添加物。在這種情況下，雖並不特別限定溶劑的種類，但例如可以是脂族烴類溶劑、卡必醇系溶劑、溶纖劑系溶劑、高級脂肪酸酯系溶劑、高級醇系溶劑、高級脂肪酸系溶劑、芳香族烴系溶劑等的有機溶劑。
作為脂族烴類溶劑，例如，可以是出光興產製「IP溶劑」、Shell化學社製「Shellsol D40」(Shellsol為註冊商標)、「Shellsol D70」、「Shellsol 70」、「Shellsol 71」、Exxon社製「Isopar G」、「Isopar H」、「Isopar L」、「Isopar M」、「Exxol D40」、「Exxol D80」、「Exxol D100」、「Exxol D130」(沸點：279~316℃)、「Exxol D140」(沸點：280~320℃)、「Exxol DCS100/140」等。
此外，作為卡必醇系溶劑，可以是甲基卡必醇、乙基卡必醇、丁基卡必醇等。
作為溶纖劑系溶劑，可以是乙基溶纖劑、異戊溶纖劑、己溶纖劑等。
此外，作為高級脂肪酸酯系溶劑，可以是鄰 苯二甲酸二辛酯、二丁基琥珀酸異丁酯、己二酸異丁酯、癸二酸二丁酯、癸二酸酯，2乙基己基等。
作為高級醇系溶劑為甲基己醇、油醇、三甲基己醇、三丁醇、四甲基壬醇、2-戊基壬醇、2-壬基壬醇、2-己基癸醇等。
此外，作為高級脂肪酸系溶劑為辛酸、2-正己烷乙酯酸、油酸等。
作為芳香族烴系溶劑為丁苯、二乙苯、戊二苯、二異丙基萘等。
也可以單獨使用1種或組合2種以上的溶劑來使用。
本發明的網版印刷機因為具備調整機內濕度的濕度調整器，能夠揮發溶劑，且能夠抑制從版上的印刷圖案區域19，特別是從刮漿板掃描區域及刮刀掃描區域溢出的糊料的乾燥，以防止糊料表面部分地凝固。接著，即使作業者將該溢出的糊料刮集至中央部，再度進行印刷，版上的糊料的黏度也不會局部地變高，變得不容易使所印刷的糊料發生粗化或摩擦。此外，在圖2中，模式地表示連續印刷中的印刷圖案區域外的糊料堆積區域20。
在這裡，說明濕度與溶劑的揮發之間的關係。藉由調整機內的濕度，雖然無法完全地解明抑制溶劑揮發的理由，但可能是以下述的機制所導致。對糊料中的比水沸點更高的溶劑，若適用亨利定律的話，與周圍的水分壓呈比例的水量會溶入溶劑(糊料)中。對應所溶入的 水量，糊料黏度發生變化，也就是說，在高濕度下糊料會減緩，結果，會降低因摩擦、斷線、或黏度降低所引起的塌陷頻率，能夠印制一定寬度的線。因此，利用本發明形成太陽能電池的電極時，能夠抑低特性的太陽能電池的發生，並提升轉換效率的平均值。此外，雖然還未能完全解明上述抑制溶劑揮發的理由，但無論如何，可以明白濕度與溶劑的揮發之間的相關性，本發明無論溶劑的種類是什麼都能夠實施。如上所述，相較於相對濕度，控制絕對濕度乃至露點溫度較為重要。
糊料16當特別是形成太陽能電池的電極時，可以使用包含銀粒子及玻璃熔料及塗漆等的導電性銀糊料。此時，被印刷物15可以是半導體基板。
〔網版印刷方法〕
接著，參照圖1、2，說明有關本發明的網版印刷方法。
本發明的網版印刷方法，係利用具備設置對應印刷圖案的開口部之網版製版11、刮刀12、刮漿板13的網版印刷機10，將供給至網版製版11上面的糊料16，藉由刮刀12填充至網版製版11的開口部後，藉由刮漿板13從網版製版11的開口部將糊料16壓出至被印刷物15的預定位置，在被印刷物15對應印刷圖案將糊料16網版印刷的方法，其中，當進行網版印刷時，調整網版印刷機10內的濕度。根據這種網版印刷方法，藉由抑制網版製 版上的糊料中的水分量，能夠提升糊料的印刷性。特別是當網版印刷時，藉由調整網版印刷機10內的濕度，較佳為將網版印刷機10內的露點溫度調整成8.2~18.0℃。藉此可以更加提升糊料的印刷性。
雖不特別限定網版印刷機10內的濕度，但較佳為相對濕度30%以上65%以下，更佳為相對濕度45%以上55%以下。根據這種網版印刷方法，能夠提高所印刷的糊料的縱橫比。此外，可以依據使用於糊料的溶劑的種類等來適當地設定較佳的濕度範圍。
調整網版印刷機10內的濕度的方法，可以是如上述的在網版印刷機設置濕度調整器來調整濕度的方法。更具體來說，例如，可以利用板狀構件來包圍等的方法，設置收納網版製版11、刮刀12、刮漿板13等的印刷室，使該印刷室內為正壓的方式，在印刷室外設置精密空調機，將調整溫度及濕度的空氣送入印刷室內。此時，印刷室可以不是完全密閉。
雖不特別限定網版印刷機10內的溫度，例如，可以是20℃以上30℃以下。經由本發明者們的研究發現，將網版印刷機的印刷機內溫度設為T(℃)，將印刷機內相對濕度設為H(%)時，次式所定義的k等於露點溫度(℃)。
Figure 105123073-A0202-12-0016-3
 當8.2<k<18.0時，發現印刷會安定。
k(=露點溫度)的導出
下述式(1)
Figure 105123073-A0202-12-0016-4
 所示的k是由以下的方式所導出。
首先，將溫度Tr(℃)所對應的水的飽和蒸氣壓Pr(hPa)以雙曲線函數近似，在15<Tr<40℃中，可以用
Figure 105123073-A0202-12-0016-5
 來表示。將該式(2)移項，成為下述式(3)
Figure 105123073-A0202-12-0016-6
 。也就是說，這是水的分壓為Pr時的露點溫度。溫度T時的相對濕度H(%)為利用分壓P，由下述式(4)所表 示。此外，將下述式(4)移項，成為下述式(5)
Figure 105123073-A0202-12-0017-7
Figure 105123073-A0202-12-0017-8
 此時的露點溫度為將上述式(5)代入上述式(3)的Pr中成為
Figure 105123073-A0202-12-0017-9
 。接著，溫度T、相對濕度H時的露點溫度由上述式(1)的右邊賦予。
雖不特別限定網版製版11的開口部的形狀，但對於長度為156~8mm的細線狀的印刷，特別能發揮本發明的效果。再來，雖不特別限定網版製版11的開口部的寬度，但例如，可以是60μm以下。雖不特別限定網版製版11的開口部的寬度的下限，但例如，可以是20μm。 根據本發明的網版印刷方法，作為這種網版製版的開口部，使用較小的寬度，也不容易發生印刷不良。經由本發明者們的研究結果，將網版印刷機的印刷機內溫度設為T(℃)，將印刷機內相對濕度設為H(%)，將印刷物的寬度設為w(μm)時，次式所定義的k’等於露點溫度(℃)。
Figure 105123073-A0202-12-0018-11
 當8.2<k’<18.0時，發現印刷會安定。
k’的線寬依存項的意義
下述式(7)
Figure 105123073-A0202-12-0018-12
 所示的k’，原先是由下述式(8)
Figure 105123073-A0202-12-0018-13
 所示，並將下述式(9)及(10)所示的近似值
Figure 105123073-A0202-12-0018-31
Figure 105123073-A0202-12-0018-32
 代入上述式(8)中。
〔太陽能電池〕
接著，說明利用上述網版印刷方法的本發明的太陽能電池的電極形成方法所能形成電極的太陽能電池作為一例說明。
如同前述，圖7為表示利用n型矽基板作為基板時的一般太陽能電池的斷面模式圖。如圖7所示，太陽能電池50，對半導體基板(n型矽基板)51，在受光面側設置受光面擴散層(p型擴散層)52，在裏面側設置裏面擴散層(n型擴散層)53。n型擴散層53也稱為BSF(back surface field)層。在p型擴散層52上設有受光面電極55，在n型擴散層53上設有裏面電極56。此外，在受光面側設有SiN(氮化矽)等的抗反射膜57。該抗反射膜57也可以作為鈍化膜作用。此外，在裏面側也可以設有SiN等的鈍化膜58。
〔太陽能電池的製造方法〕
接著，說明太陽能電池的製造方法，說明本發明的太陽能電池的電極形成方法。本發明的電極形成方法可以適用於各種太陽能電池。適用本發明的電極形成方法的太陽能電池並不限於圖7所示，除了以下所說明的太陽能電池的製程以外也能適用。
在此，說明圖7所示的太陽能電池的製造工 程。首先，準備半導體基板51。該半導體基板51為由單晶或多晶矽等所構成，可以是p型、n型之一，但常使用包含硼等的p型半導體雜質，相對電阻為0.1~4.0Ω‧cm的p型矽基板。較適用的大小為100~156mm角，厚度為0.05~0.30mm的板狀物。以下，將利用n型矽基板的太陽能電池的製造方法作為例子說明。
準備n型矽基板51後，在成為太陽能電池的受光面之n型矽基板51的表面，浸漬例如是酸性溶液，將因切片等所引起的表面損壞去除後，再利用鹼性溶液進行化學蝕刻洗淨、乾燥，形成稱為刻紋的凹凸構造。凹凸構造是為了在太陽能電池受光面產生光的多重反射。因此，藉由形成凹凸構造，實際上降低了反射率，使轉換效率提升。
之後，在例如是含有BBr3等的850~1000℃的高溫氣體中設置n型矽基板51，藉由氣相擴散法在n型矽基板51的全面擴散硼等的p型雜質元素，在受光面形成薄片電阻約為30~300Ω/□的p型擴散層52。此外，當利用氣相擴散法形成p型擴散層時，不只是n型矽基板的受光面，裏面和端面也會有形成p型擴散層的情形發生。此時，將有需要留下該p型擴散層的受光面，利用耐酸性樹脂被覆，並將p型矽基板浸漬在氟硝酸溶液中，可以去除不需要形成在裏面及端面的p型擴散層。之後，藉由浸漬稀釋後的氟酸溶液等的藥品，除去擴散時在n型矽基板的表面所形成的玻璃層，利用純水洗淨。
之後，在850~1000℃的氧氣體中設置n型矽基板51，將n型矽基板51的全面熱氧化，形成1000Å左右的熱氧化膜。接著，將有需要留下該p型擴散層的受光面利用耐酸性樹脂被覆，並藉由將n型矽基板51浸漬在氟酸溶液中，能夠將在裏面所形成的熱氧化膜除去。在此，所形成的受光面側的熱氧化膜在n型雜質擴散中有作為遮蔽膜的功能。
之後，在例如是含有POCl3等的850~1000℃的高溫氣體中設置n型矽基板51，藉由氣相擴散法在n型矽基板51的裏面全面擴散磷等的n型雜質元素，在裏面形成薄片電阻約為30~300Ω/□左右的n型擴散層53。之後，例如藉由浸漬稀釋後的氟酸溶液等的藥品，除去擴散時在n型矽基板的表面所形成的玻璃層，利用純水洗淨。
此外，形成n型擴散層53及p型擴散層52的方法並不限於上述氣相擴散法，也可以使用將含有n型或p型雜質的塗佈劑塗佈於基板進行熱處理的方法(塗佈擴散法)。
接著，藉由電漿蝕刻將基板側面接合分離。該電漿蝕刻所致的接合分離，可以在n型雜質元素的擴散時除去在n型矽基板的表面所形成的玻璃層前進行，也可以在除去後進行。
再來，在上述n型矽基板51的受光面側形成抗反射膜兼鈍化膜57，及在裏面側形成鈍化膜58。該等 膜例如是由SiN等形成，例如將SiH4與NH3的混合氣體利用N2稀釋，經由輝光放電分解電漿化並堆積的電漿CVD法等所形成。該抗反射膜兼鈍化膜57考慮與n型矽基板間的折射率差等，以折射率為1.8~2.3左右的方式形成，以厚度為500~1000Å左右的厚度形成，防止在n型矽基板表面的光反射，使得在n型矽基板內將光有效地吸收而設置。此外，該SiN為作為對p型擴散層具有鈍化效果的鈍化膜，具有抗反射的功能及提升太陽能電池的電特性的功能。
接著，利用本發明的太陽能電池的電極形成方法形成電極。本發明的太陽能電池的電極形成方法，利用上述本發明的網版印刷方法，在半導體基板51的至少一方的主表面將上述的糊料16網版印刷，藉由將該經網版印刷的糊料16乾燥及燒結，形成電極。若是這種太陽能電池的電極形成方法的話，藉由調整網版印刷機內的濕度防止網版製版上的糊料的乾燥，使糊料吐出安定，能夠更容易形成高縱橫比的電極。接著，若使用這種太陽能電池的電極形成方法的話，能夠高良率地製作具有高電特性及高轉換效率的太陽能電池。
糊料16例如可以在受光面及裏面網版印刷。此時，並不特別限定網版印刷的順序。此時，裏面的糊料與受光面糊料的燒結可以同時進行也可以分別進行。
具體來說，首先，在裏面將例如包含銀粒子及玻璃熔料及塗漆等的導電性銀糊料利用本發明的網版印 刷方法，進行網版印刷並乾燥。此時雖不特別限定印刷圖案，但可以是呈略平行並連結基板兩端的細線狀。也就是說，根據基板尺寸的不同，可以形成長度156~100mm的平行線狀圖案。印刷圖案的寬度也沒有特別地限定，但60μm以下的話能夠發揮本發明的最佳效果。之後，在受光面將導電性銀糊料利用本發明的網版印刷方法，進行網版印刷並乾燥。受光面的印刷圖案也和裏面一樣能作適當的設定。之後，將各電極用糊料經由500℃~950℃左右的溫度燒結，形成受光面電極55與裏面電極56。此時就算在矽基板表面形成上述的SiN等的膜，也能夠在燒結時形成貫通膜的電極(燒穿)。
雖不特別限定形成的電極種類，但能夠將形成的電極作為指狀電極，將該指狀電極的縱橫比設為0.5以上1.0以下。若是本發明的太陽能電池的電極形成方法的話，因為不容易形成印刷糊料的變粗及摩擦，能夠輕易形成這種高縱橫比的指狀電極。此外，根據本發明，在半導體基板的至少一方的主表面同時印刷為了形成指狀電極的糊料及為了形成匯流排電極的糊料，能夠形成指狀電極及匯流排電極。在同時形成匯流排時，因應匯流排的數量改變指狀長度。匯流排的數量較佳為2條至12條左右，指狀長為76mm~8mm，該長度也能發揮本發明的效果。
〔實施例〕
以下，如實施例及比較例所示更具體地說明 本發明，但本發明並不限於以下的實施例。
(實施例1)
將結晶面方向(100)，15.6cm角200μm厚，切片比電阻2Ω‧cm(摻雜物濃度7.2×1015cm-3)磷摻雜n型單晶矽基板浸於氫氧化鈉水溶液，利用蝕刻除去損壞層，將其浸在氫氧化鉀水溶液中加入異丙醇的水溶液中，利用鹼蝕刻進行刻紋形成。將所得到的矽基板全體進行1000℃‧1小的熱處理，形成氧化膜。接著，將受光面的氧化膜利用氟酸等藥液除去，在受光面塗佈含有硼摻雜物的塗佈劑後，進行950℃‧1小時的熱處理，將p型擴散層形成於受光面。熱處理後，將附於基板的玻璃成份利用氟酸溶液去除後，洗淨之。
再度，在矽基板全體形成矽氧化膜，將裏面的矽氧化膜利用氟酸等的藥液去除，在裏面塗佈含有磷摻雜物的塗佈劑後，進行900℃‧30分的熱處理，在裏面全體形成n型擴散層。
接著，藉由電漿蝕刻將基板側面接合分離。具體來說，將在擴散熱處理後的兩面形成擴散層的基板，以不使電漿或自由基侵入受光面或裏面的方式堆疊，進行利用CF4氣體的電漿蝕刻處理，將基板的端面進行數微米的切削。
接著，將附於基板的玻璃成份利用高濃度氟酸溶液去除後，洗淨之。
接著，利用直接電漿CVD裝置，在受光面及裏面層積表面保護膜即矽氮化膜。該膜厚為100nm。
最後，在溫度25℃一定之下，藉由加濕器將印刷機內的濕度調整至45%RH，在受光面側及裏面側分別以電極圖案狀印刷銀糊料(賀利氏股份有限公司製，SOL 9350A SOLAR CELL PASTE(此包含銀粒子、2-(2-丁氧基乙氧基)乙醇及其他添加物))，形成指狀電極圖案狀及匯流排電極圖案狀的銀糊料。指狀開口寬度為60μm。該銀糊料的乾燥後，進行800℃且20分的燒結，形成受光面電極及裏面電極。在印刷途中，將溢出指狀電極圖案區域外的版乳劑上的糊料向中央刮集的作業，以每印刷500枚的頻率進行。
(實施例2)
除了將印刷機內的濕度調整為50%RH以外，和實施例1進行一樣的工程製作太陽能電池。
(實施例3)
除了將印刷機內的濕度調整為54%RH以外，和實施例1進行一樣的工程製作太陽能電池。
(實施例4)
除了將印刷機內的濕度調整為14%RH以外，和實施例1進行一樣的工程製作太陽能電池。
(實施例5)
除了將印刷機內的濕度調整為21%RH以外，和實施例1進行一樣的工程製作太陽能電池。
(實施例6)
除了將印刷機內的濕度調整為33%RH以外，和實施例1進行一樣的工程製作太陽能電池。
(實施例7)
除了將印刷機內的濕度調整為63%RH以外，和實施例1進行一樣的工程製作太陽能電池。
(實施例8)
除了將印刷機內的濕度調整為65%RH以外，和實施例1進行一樣的工程製作太陽能電池。
(實施例9)
除了將印刷機內的濕度調整為70%RH以外，和實施例1進行一樣的工程製作太陽能電池。
表1及圖3~圖6表示，利用上述實施例1~9的方法，印刷導電性糊料所製作的每5000枚的太陽能電池之轉換效率及各特性因子的平均值。圖3表示實施例1~9中的印刷機內的相對濕度(%RH)與轉換效率Eff(%)的 關係之示意圖。圖4表示實施例1~9中的印刷機內的相對濕度(%RH)與開放電壓Voc(mV)的關係之示意圖。圖5表示實施例1~9中的印刷機內的相對濕度(%RH)與短路電流密度Jsc(mA/cm2)的關係之示意圖。圖6表示實施例1~9中的印刷機內的相對濕度(%RH)與填充因子(Fill Factor)(%)的關係之示意圖。此外，對應的外觀檢查的良率調查結果表示於圖10中。若發生斷線或電極變粗的話視為不良。
Figure 105123073-A0202-12-0027-15
如表1及圖3~圖6所示，利用本發明的網版印刷方法(實施例1~9)，能夠製作具有高轉換效率的太陽能電池。特別是實施例1~3能得到良好的結果。這是藉由抑制從印刷區域溢出的糊料表面的水分量的變化所致的局部的糊料黏度的增加，得到糊料的安定吐出量所致的結果。若是這種網版印刷方法的話，在如上述提升太陽能電池的電特性的同時，外觀檢查的良率也能提升。另一方 面，因為隨著濕度的變高，Jsc會有降低的傾向，糊料黏度的低減所導致的指狀寬度的變粗，也就是為了不引起縱橫比的降低，可以了解到適度地加濕(實施例1~3)較佳。濕度30%以上65%以下外觀良率會變高。這是因為濕度30%以上主要是變得不容易發生斷線，濕度65%以下主要是變得不容易發生線變粗。從外觀的觀點來看濕度為30%~65%較佳。
(比較例)
除了不調整印刷機內的濕度以外，和實施例1進行一樣的工程製作太陽能電池。在比較例中，有濕度的偏差而無法控制糊料的吐出量，糊料的印刷性會惡化。因此，與實施例1相同的條件(除了濕度的條件以外)，無法製作5000枚的太陽能電池。
(實施例10)
除了將印刷機內的溫度調整為15℃，濕度調整為14~90%RH以外，和實施例1進行一樣的工程製作太陽能電池。
(實施例11)
除了將印刷機內的溫度調整為35℃，濕度調整為14~54%RH以外，和實施例1進行一樣的工程製作太陽能電池。
(實施例12)
除了指狀開口寬度為40μm以外，和實施例1~9進行一樣的工程製作太陽能電池。
將實施例1~12的結果一起表示於圖11。在低溫高濕，高溫低濕下轉換效率會變高。此外，線寬若小的話濕度的最適範圍狹窄。
將印刷機內的溫度設為T(℃)，印刷機內的相對濕度設為H(%)，印刷物的寬度設為w(μm)時，對次式所定義的k’，
Figure 105123073-A0305-02-0031-1
將所得到的數據代入，標記並修正後以圖12表示。在圖11中，若溫度變化的話，最適濕度也變化，但藉由導入相當於本發明中的露點溫度的參數k’，能將溫度、濕度、線寬一元地標準化。根據圖12，k’的最適值以8.2<k’<18.0來表示。
根據本發明，顯示藉由調整網版印刷裝置內的濕度，能安定太陽能電池的導電性糊料印刷時的糊料吐出量，可以製作具有高轉換效率的太陽能電池。
此外，本發明並不限定於上述實施形態。上述實施形態為例示，具有與本發明的申請專利範圍所記載的技術思想具有實質上同一的構成，若能實現同樣的作用 效果的話，都可以包含在本發明的技術範圍中。
10‧‧‧網版印刷機
11‧‧‧網版製版
12‧‧‧刮刀
13‧‧‧刮漿板
14‧‧‧印刷台
15‧‧‧被印刷物
16‧‧‧糊料
25‧‧‧濕度調整器

Claims (12)

  1. 一種網版印刷方法，係利用具備設置對應印刷圖案的開口部之網版製版、刮刀、刮漿板的網版印刷機，將供給至前述網版製版上面的糊料，藉由前述刮刀填充至前述網版製版的開口部後，藉由前述刮漿板從前述網版製版的開口部將前述糊料壓出至被印刷物的預定位置，在前述被印刷物對應前述印刷圖案將前述糊料網版印刷的方法，其特徵在於：當進行前述網版印刷時，調整前述網版印刷機內的濕度；當進行前述網版印刷時，藉由調整前述網版印刷機內的濕度，使前述網版印刷機內的露點溫度為8.2~18.0℃；當前述網版印刷機的印刷機內的溫度為T(℃)時，印刷機內的相對濕度為H(%)，次式定義的k滿足8.2<k<18.0，
    Figure 105123073-A0305-02-0034-2
  2. 如請求項1所記載的網版印刷方法，其中，調整前述網版印刷機內的濕度為相對濕度在30~65%之間。
  3. 如請求項1或2所記載的網版印刷方法，其中，調整前述網版印刷機內的濕度為相對濕度在50±5%以內。
  4. 如請求項1或2所記載的網版印刷方法，其中，前述糊料包含選自：脂族烴類溶劑、卡必醇系溶劑、溶纖劑系溶劑、高級脂肪酸酯系溶劑、高級醇系溶劑、高級脂肪酸系溶劑、芳香族烴系溶劑等其中1種以上的有機溶劑。
  5. 如請求項1或2所記載的網版印刷方法，其中，前述網版製版的開口部的形狀為細線狀，長邊方向的長度為156~8mm。
  6. 如請求項1或2所記載的網版印刷方法，其中，前述網版製版的開口部的寬度為60μm以下。
  7. 如請求項1或2所記載的網版印刷方法，其中，當前述網版印刷機的印刷機內的溫度為T(℃)，印刷機內的相對濕度為H(%)，印刷物的寬度為w(μm)時，次式定義的k’滿足8.2<k’<18.0，
    Figure 105123073-A0305-02-0035-3
  8. 一種太陽能電池的電極形成方法，其利用請求項1~7其中1項所記載的網版印刷方法，在半導體基板的至少一方的主表面，將前述糊料網版印刷，藉由將經該網版印刷的糊料乾燥及燒結，形成電極。
  9. 如請求項8所記載的太陽能電池的電極形成方法，其中，將前述形成的電極作為指狀電極，該指狀電極的縱橫比為0.5以上1.0以下。
  10. 一種網版印刷機，具備：設置有對應印刷圖案的開口部的網版製版、將向前述網版製版上面供給的糊料填充至前述網版製版的開口部的刮刀、從前述網版製版的開口部將前述糊料壓出至被印刷物的預定位置的刮漿板、調整網版印刷機內濕度的濕度調整器；當進行前述網版印刷時，藉由調整前述網版印刷機內的濕度，使前述網版印刷機內的露點溫度為8.2~18.0℃；當前述網版印刷機的印刷機內的溫度為T(℃)時，印刷機內的相對濕度為H(%)，次式定義的k滿足8.2<k<18.0，
    Figure 105123073-A0305-02-0036-4
  11. 如請求項10所記載的網版印刷機，其中，至少藉由板狀構件包圍含有前述網版製版、前述刮刀、前述刮漿板的空間。
  12. 如請求項11所記載的網版印刷機，其中，前述板狀構件的材質為聚乙烯、聚丙烯、氯乙烯樹脂、聚苯乙烯、ABS(丙烯腈‧丁二烯‧苯乙烯)樹脂、聚對苯二甲酸乙二脂、甲基丙烯樹脂、聚乙烯醇、氯化亞乙烯樹脂、聚碳酸酯、三聚氰胺樹脂、尿素樹脂、聚丙烯腈、聚甲基戊烯、環烯烴共聚物、MBS(甲基丙烯酸甲酯‧丁二烯‧ 苯乙烯)樹脂、SBC(苯乙烯‧丁二烯共聚合)樹脂、聚苯乙烯、聚酯碳酸、聚萘二甲酸、聚醚酰亞胺、聚芳酯、聚碸烯丙基、及玻璃的任一種。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3482934B1 (de) * 2017-11-10 2021-06-30 Exentis Group AG 3d-siebdrucksystem zum drucken dreidimensional geformter strukturen
EP3482939B1 (de) 2017-11-10 2020-05-20 Exentis Group AG Siebbereitstellungssystem
CN108788124B (zh) * 2018-05-28 2019-10-11 北京梦之墨科技有限公司 一种导电油墨及丝网印刷方法
WO2020109351A1 (de) 2018-11-28 2020-06-04 Ulrich Ernst Verfahren und system zur herstellung eines energiespeichers
CN109605914A (zh) * 2018-12-21 2019-04-12 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 一种丝网印刷装置及丝网印刷设备
CN109624488A (zh) * 2019-02-28 2019-04-16 业成科技（成都）有限公司 网印喷头装置
CN113172993A (zh) * 2021-04-27 2021-07-27 广州诚鼎机器人有限公司 一种浆料湿度监测设备和椭圆印花机
CN114132054A (zh) * 2021-11-01 2022-03-04 智慧星空(上海)工程技术有限公司 一种低温丝网印刷装置
CN114103406B (zh) * 2021-11-25 2022-11-11 晶澳太阳能有限公司 丝网印刷机的修正方法
CN115042507B (zh) * 2022-07-14 2023-09-01 江苏赛尔制版有限公司 一种太阳能光伏网版印刷机烘干工装

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011212926A (ja) * 2010-03-31 2011-10-27 Dainippon Printing Co Ltd スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法
CN102285263A (zh) * 2011-05-31 2011-12-21 江苏顺风光电科技有限公司 印刷晶体硅太阳能电池电极的方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01184994A (ja) * 1988-01-20 1989-07-24 Toshiba Corp スクリーン印刷機
JPH04236494A (ja) * 1991-01-18 1992-08-25 Furukawa Electric Co Ltd:The クリーム半田の印刷装置
JPH07125175A (ja) * 1993-11-08 1995-05-16 Sanyo Electric Co Ltd スクリーン印刷機
JP3149837B2 (ja) * 1997-12-08 2001-03-26 松下電器産業株式会社 回路形成基板の製造方法とその製造装置および回路形成基板用材料
JP2006286366A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 The Inctec Inc 導電性ペースト組成物およびプリント配線板
JP4917278B2 (ja) 2005-06-17 2012-04-18 信越半導体株式会社 スクリーン印刷版およびスクリーン印刷装置
JP4736901B2 (ja) 2006-03-31 2011-07-27 大日本印刷株式会社 導電性ペースト組成物およびプリント配線板
WO2008001430A1 (en) 2006-06-27 2008-01-03 Mitsubishi Electric Corporation Screen printing machine and solar battery cell
KR100917777B1 (ko) * 2007-11-15 2009-09-21 (주) 태양기전 인쇄회로기판의 제조방법, 베이스 기판위에 패턴을형성하는 방법 및 인쇄회로기판
KR101631711B1 (ko) * 2008-03-21 2016-06-17 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 확산용 인 페이스트 및 그것을 이용한 태양 전지의 제조 방법
KR101051913B1 (ko) * 2008-09-26 2011-07-26 코오롱글로텍주식회사 염료의 경화를 방지한 스크린 프린팅 장치
WO2011111192A1 (ja) * 2010-03-10 2011-09-15 三菱電機株式会社 太陽電池セルの電極形成方法及び太陽電池セル
JP2012054112A (ja) 2010-09-01 2012-03-15 Ulvac Japan Ltd リチウム二次電池用の電極活物質層の形成方法
JP2012054442A (ja) 2010-09-02 2012-03-15 Shin Etsu Chem Co Ltd 太陽電池の製造方法及びこれに用いるスクリーン製版
JP5729611B2 (ja) * 2012-01-10 2015-06-03 住友金属鉱山株式会社 金属モリブデン塗布膜の製造方法
JP5542162B2 (ja) * 2012-01-20 2014-07-09 三菱電機株式会社 メタルマスクおよび太陽電池の製造方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011212926A (ja) * 2010-03-31 2011-10-27 Dainippon Printing Co Ltd スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法
CN102285263A (zh) * 2011-05-31 2011-12-21 江苏顺风光电科技有限公司 印刷晶体硅太阳能电池电极的方法

Also Published As

Publication number Publication date
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