TWI665417B - 附除害功能之真空泵 - Google Patents

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Abstract

本發明之課題係提供可將足以使排放氣體與燃料稀薄化之量的空氣予以旋轉而供給、燃燒，而可在不使處理副生成物熔融或附著於除害部內而保持粉體狀態不變地排出的附除害功能之真空泵，本發明的附除害功能之真空泵係於真空泵1的排氣口附設有將從真空泵1排出的排放氣體處理且無害化的除害部10的真空泵1，其中，除害部10係於筒狀體11的一端部側設有導入處理對象之排放氣體的排放氣體導入口，而於另一端部側設有將已處理後之氣體排出的氣體出口，於筒狀體11的周壁設有噴出燃料的複數個燃料噴嘴16，於筒狀體的周壁係設置使空氣以沿著周壁的內周面形成旋轉流的方式噴出的複數個空氣噴嘴15，而複數個空氣噴嘴15係於筒狀體的軸心方向分開間隔而配置成複數段。

Description

附除害功能之真空泵
本發明係有關使用在用於製造半導體元件(device)、液晶、LED等的製造裝置之排氣系統的真空泵，尤其關於附除害功能之真空泵，係於用以將製造裝置的腔室(chamber)排氣的真空泵附加有將從腔室排出的排放氣體予以處理而使其無害化用的除害功能。
於製造半導體元件、液晶面板、LED、太陽電池等的製程(process)中，係進行將製程氣體導入被排氣成真空的製程腔室內而進行蝕刻處理或CVD(chemical vapor deposition，化學氣相沈積)處理等的各種處理。進行該等蝕刻處理或CVD處理等之各種處理的製程腔室係由真空泵予以真空排氣。另外，製程腔室以及連接於製程腔室的排氣系統機器係藉由流動清洗氣體(cleaning gas)而定期地洗淨。該等製程氣體或清洗氣體等之排放氣體為含有矽烷氣體(SiH4、TEOS等)、鹵素系氣體(NF3、ClF3、SF6、CHF3等)、PFC(perfluorocarbon，全氟碳化物)氣體(CF4、C2F6等)等對人體有不良影響、或將成為地球暖化之原因等的對地球環境有不良影響，故不宜直接向大氣中放出。因此，係 將該等排放氣體藉由設置於真空泵之下流側的排放氣體處理裝置進行無害化處理後放出於大氣中。
以往，真空泵與排放氣體處理裝置由於係收納於個別的框體內，故設置位置相離遠，兩者間介設有長配管，且就流通各自所需的熱而謀求節能的觀點來看並非最適當者。因此，已開發有將真空泵與排放氣體處理裝置收納於同一框體且縮短兩者間的配管的裝置而作為一體型排氣系統販賣。即使於該一體型排氣系統中，將真空泵與排放氣體處理裝置連接的配管亦有數m(公尺)的距離，配管係為了防止生成物附著而藉由保溫或加熱器等而升溫。
[先前技術文獻] (專利文獻)
(專利文獻1)：日本專利第3305566號公報
無論在將真空泵與排放氣體處理裝置收納於個別之框體的排氣系統、以及將真空泵與排放氣體處理裝置收納於同一框體的排氣系統之中的任一者中，以往的排放氣體處理裝置皆存有以下列舉的問題：
1)為了用少量的燃料將排放氣體處理至容許濃度(TLV)以下，故以可形成高溫火焰的方式使用將燃料與氧氣預先混合而燃燒的氧氣預先混合燃燒氣，因此必須使 用純氧作為資源(utility)。
2)雖藉由高溫火焰而得到高氣體處理性能，但相對地生成物將熔融固化而附著於燃燒氣內，故維護週期短。
3)旋轉空氣供給噴嘴為單段，且其主目的為於燃燒器內形成空氣的旋轉流，並未使旋轉空氣具有其他的功能。
4)由於係使處理對象的排放氣體保持高濃度而於火焰附近燃燒，故熔融、固化的生成物容易附著於燃燒器內，雖可將附著的生成物藉由刮刀而去除，但由於未去除殆盡的生成物將逐漸累積，故每隔一定週期即必須進行燃燒器內的維護。
5)雖藉由使處理對象的排放氣體之流入方向與旋轉空氣的流入方向正交而提昇燃燒器內的氣體的攪拌效率，有效率地對處理對象的排放氣體供給氧氣而使其在火焰附近急速燃燒而獲得高處理性能，但相對地於火焰附近的燃燒器內面將附著有熔融的生成物。
6)處理對象的排放氣體之流入方向為固定，故處理性能的調節主要藉由增減燃料而進行。
7)將藉由排放氣體處理而生的粉體捕捉收集於槽內，而於囤積至一定量的階段進行槽的維護、或將其從槽與水一起排出。
8)排放氣體處理裝置內係藉由小流量的空氣、氮氣而經常清除(purge)。
9)將排放氣體燃燒處理後的燃燒氣體係藉由與水接觸而冷卻。
本發明係有鑑於上述事情而研發，目的為提供附除害功能之真空泵，係使用以空氣作為使燃料燃燒用的氧氣供給來源的空氣燃燒器，藉由使可充分地讓排放氣體與燃料稀薄化之量的空氣旋轉而供給、燃燒，從而可不使處理副產生物熔融、或附著於除害部內而保持為粉體的狀態排出。
為了達成上述目的，本發明之一態樣係於真空泵的排氣口附設有將從真空泵排出之排放氣體處理且予以無害化的除害部的真空泵；其中，前述除害部係具有一端部封閉且另一端部形成開口的大致圓筒容器狀的筒狀體，於該筒狀體的前述一端部側設有導入處理對象之排放氣體的排放氣體導入口，而於前述另一端部側設有將已處理後之氣體排出的氣體出口；於前述筒狀體的周壁設有噴出燃料的複數個燃料噴嘴；於前述筒狀體的周壁，係將使空氣以沿著前述周壁的內周面形成旋轉流的方式噴出的複數個空氣噴嘴於前述周壁的圓周方向分開間隔而設置；而前述複數個空氣噴嘴係於前述筒狀體的軸心方向分開間隔而配置成複數段。
於本發明中，使用以空氣作為使燃料燃燒用的氧氣供給來源的空氣燃燒器，而藉由旋轉空氣供給氧氣。故沒有要求氧氣作為資源的需要。另外，由於使燃料與空氣個別作為旋轉流而供給至燃燒室內即可，故可單純化除害部的構造。
依據本發明，由於係設置有足以用空氣使燃料燃燒且可將處理對象的排放氣體充分稀釋之量的旋轉空氣的空氣噴嘴，故可將燃燒溫度抑制在700℃至1200℃，並且可藉由旋轉空氣將處理對象之排放氣體稀薄化後再燃燒。由此，可不熔融生成物地保持粉體的狀態而從除害部排出，故可謀求維護的簡易化、維護的長週期化。另外，亦可防止生成物附著於燃燒室內。
本發明的較佳態樣係前述複數個空氣噴嘴係設置於較前述複數個燃料噴嘴更遠離前述排放氣體導入口的位置。
本發明的較佳態樣係前述複數個燃料噴嘴係使燃料以沿著前述周壁的內周面形成旋轉流的方式噴出。
本發明的較佳態樣係可將前述排放氣體導入口選擇為位於前述筒狀體的封閉側的端部或前述周壁，使排放氣體的流入方向與空氣的流入方向為正交或平行。
於本發明，可選擇使處理對象的排放氣體之流入方向與旋轉空氣的流入方向為平行或正交。如此，藉由適宜地選擇處理對象的排放氣體與旋轉空氣的彼此的流入方向，而藉由旋轉空氣將燃燒室內的氣體攪拌。且，藉由將燃燒室內的氣體緩緩地進行攪拌，而可使處理對象的排放氣體於燃燒室全體的寬廣空間燃燒而防止生成物的附著。
本發明的較佳態樣係當前述排放氣體的流入方向與前述空氣的流入方向為平行時，可選擇使兩流入 方向為同一或相反。
依據本發明，藉由選擇使排放氣體的流入方向為與旋轉空氣的旋轉方向為同一方向或相反方向，即可使處理性能變化。如此，藉由旋轉空氣而將燃燒室內的氣體攪拌成最適合的狀態，而可在固定燃料之流量不變的狀態下準備處理性能的調節手段。
本發明的較佳態樣係以使前述筒狀體的封 閉側的端部位置於下方或上方的方式將前述筒狀體配置於垂直方向。
本發明的較佳態樣係當前述筒狀體的封閉 側的端部位於下方時，前述複數段的空氣噴嘴之中的最下段的空氣噴嘴係朝向斜下方。
依據本發明，藉由將最下段的空氣噴嘴的方向朝向下方，即可使除害部的底部不產生沈積。藉由如上地消除沈積，即可藉由旋轉空氣將粉體確實地朝除害部外排出，而可謀求維護的長週期化。於以往的裝置所採用的將粉體捕捉收集於槽的方式中，必須為了延伸維護週期而將槽大型化，或設置使粉體與水一起排出的機構，但依據本發明則不需要上述對策。另外，以往的裝置中雖使用水進行燃燒氣體的冷卻，但於本發明中由於係藉由空氣進行氣體冷卻，故不需要水。由此，不需要供給水的資源、供給排水設備。
本發明的較佳態樣係於前述筒狀體的前述 氣體出口側的周壁設有噴出用以冷卻燃燒氣體之空氣的複 數個空氣噴嘴。
依據本發明，包括燃燒用的空氣噴嘴，供給用以使處理後的燃燒氣體冷卻的旋轉空氣的空氣噴嘴係設置於除害部的後段。亦即，空氣噴嘴為供給將處理後的燃燒氣體冷卻用的空氣的噴嘴。如上所述，藉由於除害部的後段設置空氣噴嘴，即可藉由旋轉空氣將處理後的燃燒氣體冷卻至80℃以下。
本發明的較佳態樣係當於前述除害部的排 放氣體處理運轉停止後，直到經過預定時間後才停止前述空氣噴嘴的空氣之噴出。
於本發明中，排放氣體處理運轉停止後，係於經過預定之延遲時間後停止來自空氣噴嘴的旋轉空氣之供給。藉由如上所述地設置延遲時間，可藉由旋轉空氣而清除除害部內的氣體，將因處理運轉而產生的酸性氣體排出，藉此可防止零件的消耗。
本發明的較佳態樣係前述真空泵之排氣口係分歧，且於分歧的排氣口分別附設有前述除害部。
本發明係具有以下列舉的效果：
1)使用以空氣作為使燃料燃燒用的氧氣供給來源的空氣燃燒器，由旋轉空氣供給氧氣，故沒有要求氧氣作為資源的需要。另外，由於使燃料與空氣個別作為旋轉流而供給至燃燒室內即可，故可單純化除害部的構造。
2)由於以空氣使燃料燃燒，且使可充分地將排放氣體與 燃料稀薄化之量的空氣旋轉而供給，故可將燃燒溫度抑制於較低的溫度。舉具體例而言，由於將來自半導體製造裝置的排放氣體燃燒處理之際所產生的固體生成物的SiO2之熔點為1700℃附近，若於該溫度以上進行燃燒處理，則生成物將熔融而附著於燃燒器內。依據本發明，由於係使排放氣體與燃料稀薄化而燃燒，故可成為不使生成物熔融的燃燒溫度。由此，可將生成物保持粉體的狀態而排出，進而可謀求維護的簡易化、維護的長週期化。另外，亦可防止生成物對於燃燒室內的附著。
3)由於可不使生成物熔融而保持粉體狀態地排出，故不需要刮刀，亦不需要驅動刮刀用的各種機器類，而可謀求除害部的小型化。
4)設置供給旋轉空氣用的複數段的空氣噴嘴，可從複數段的空氣噴嘴之中適當選擇供給空氣的段數，或適當選擇供給空氣的噴嘴和不供給的噴嘴，藉此而可改變對於燃燒室內的空氣的供給量及供給位置。由此，可不使用燃料或空氣流量的控制機器地維持確保排放氣體處理性能，且可控制處理副生成物的形狀。
5)藉由設置複數段的空氣噴嘴，可供給充分足以搬運粉體之量的旋轉空氣。藉由供給至除害部內的旋轉空氣，可將在除害部內生成的粉體搬運至設施內的淨氣器(scrubber)，而不使其堆積於排氣管內，故可減低客戶端排氣管的維護負荷。
6)包括燃燒用的空氣噴嘴，由於供給用以使處理後的燃燒氣體冷卻的旋轉空氣的空氣噴嘴係設置於除害部的後段，故可藉由旋轉空氣將處理後的燃燒氣體冷卻，而不需要使用水噴霧等將燃燒氣體冷卻。
7)由於可選擇使處理對象的排放氣體之流入方向與旋轉空氣的流入方向為平行或正交，故可藉由旋轉空氣而將燃燒室內的氣體緩緩攪拌，而可使處理對象的排放氣體於燃燒室全體的寬廣空間燃燒而防止生成物的附著，並且亦可配合排放氣體的形狀而進行最適合的燃燒處理。
1‧‧‧真空泵
1a‧‧‧排氣口
10‧‧‧除害部
10IN‧‧‧排放氣體導入口
10OUT‧‧‧氣體出口
11‧‧‧圓筒體
12‧‧‧外筒
13‧‧‧加溫室
15‧‧‧空氣噴嘴
15C‧‧‧空氣噴嘴
15-1、15-2、15-3‧‧‧空氣噴嘴
16‧‧‧燃料噴嘴
18‧‧‧UV感測器
19‧‧‧點火插塞
20‧‧‧引導燃燒器部
21‧‧‧燃料供給口
22‧‧‧空氣供給口
C‧‧‧框體
PIN‧‧‧入口埠
Pout‧‧‧出口埠
S‧‧‧燃燒室
第1圖(a)及(b)為表示本發明之附除害功能之真空泵的構成例的圖，第1圖(a)為示意性的正面圖，而第1圖(b)為示意性的平面圖。
第2圖(a)及(b)為表示本發明之附除害功能之真空泵的另一構成例的圖，第2圖的(a)為示意性的正面圖，而第2圖的(b)為示意性的平面圖。
第3圖為表示附除害功能之真空泵的構成的示意性的剖面圖。
第4圖為第3圖的要部擴大圖。
第5圖為表示本發明的附除害功能之真空泵的另一實施型態的圖，為表示配置有複數段於燃燒室內供給旋轉空氣的空氣噴嘴之構成的示意性的剖面圖。
第6圖為表示本發明之附除害功能之真空泵的再另一實施型態的圖，為表示處理對象的排放氣體之朝除害部內的流入方向與從空氣噴嘴流入的旋轉空氣之流入方向間之關係的示意性的剖面圖。
以下，參照第1圖至第6圖說明本發明的附除害功能之真空泵的實施型態。又，於第1圖至第6圖中，係對於同一或相當的構成要件附加同一元件符號而省略其重複的說明。
第1圖(a)及(b)為表示本發明之附除害功能之真空泵的構成例的圖，第1圖(a)為示意性的正面圖，而第1圖(b)為示意性的平面圖。
如第1圖(a)及(b)所示，本發明的附除害功能之真空泵係具有於真空泵1的排氣口1a附設除害部10的構成。真空泵1係可由一台的乾真空泵構成，亦可由兩台的乾真空泵串聯連接而構成。該等一台或兩台的乾真空泵可由羅茨型乾真空泵、螺桿式乾真空泵等構成，由於該等乾真空泵的構成為習知，故省略其圖示及說明。於第1圖(a)及(b)中，真空泵1係例示為具有框體C之形式的真空泵。
第2圖(a)及(b)為表示本發明之附除害功能之真空泵的另一構成例的圖，第2圖(a)為示意性的正面圖，而第2圖(b)為示意性的平面圖。如第2圖(a)及(b)所示，本發明的附除害功能之真空泵係具有附設有將真空泵1的排氣口1a分歧的兩個除害部10、10。
第3圖為表示附除害功能之真空泵的構成的示意性的剖面圖。如第3圖所示，除害部10就全體而言係構成為圓筒狀的容器。
圓筒容器狀的除害部10係配置於縱方向，且以其軸心成為垂直方向的方式配置。除害部10係具有：有底圓筒體11，形成有藉由燃燒器形成火焰且使排放氣體燃燒的燃燒室S；以及外筒12，距離該圓筒體11預定間隔且以包圍圓筒體11的方式設置。且，於圓筒體11與外筒12之間係形成有保持N2氣體而加溫的加溫室13。N2氣體係成為從位於外筒12之上部的入口埠PIN流入加溫室13且從位於外筒12之下部的出口埠Pout流出。加溫後的N2氣體係成為可供給至真空泵1。
於除害部10的下部的周壁係形成有將處理對象之排放氣體導入燃燒室內的氣體導入口10IN，於除害部10的上端係形成有排出處理後的氣體的氣體出口10OUT。
於除害部10係設置有對於燃燒室S供給空氣的複數個空氣噴嘴15，以及對於燃燒室S供給燃料的複數個燃料噴嘴16。如第1圖及第2圖所示，空氣噴嘴15係相對於除害部10的切線方向以預定角度延伸，成為以沿著圓筒體11之周壁的內周面形成旋轉流的方式噴出燃料。燃料噴嘴16亦同樣地相對於除害部10的切線方向以預定角度延伸，成為以沿著圓筒體11之周壁的內周面形成旋轉流的方式噴出燃料。空氣噴嘴15以及燃料噴嘴16係分別於除害部10的圓周方向分開預定間隔而配置複數個。於圓筒體 11的底部設置有檢測火焰用的UV感測器與進行點火用的點火插塞(plug)19。
第4圖為第3圖的要部擴大圖。如第4圖所 示，於圓筒部11的底部係設有點火插塞19，且以包圍點火插塞19的周圍的方式設置筒狀的引導燃燒器(pilot burner)部20。於引導燃燒器部20形成有：供給火焰形成用之燃料的燃料供給口21、以及供給半預混合空氣的空氣供給口22，而形成於從燃料供給口21供給的燃料藉由點火插塞19點火而形成引導燃燒器火焰PB。
其次，對於第3圖及第4圖所示的除害部10的作用進行說明。
燃料係從設置於除害部10的複數個燃料噴嘴16朝向燃燒室S以作出旋轉流的方式噴出。另外，空氣係從複數個空氣噴嘴15朝向燃燒室S以作出旋轉流的方式噴出。並且，一旦燃料與空氣的混合氣體藉由引導燃燒器火焰PB點火，則於圓筒體11的內周面形成火焰的旋轉流(旋轉火焰)。
另一方面，處理對象的排放氣體係從開口於圓筒體11之內周面的排氣導入口10IN朝向前述燃燒室S噴出。該噴出的排放氣體雖與混合氣體的旋轉火焰混合而燃燒，但此時，由於係從圓周方向的全部燃料噴嘴16以使燃料朝一方向強烈旋轉的方式噴出，故排放氣體的燃燒效率將變高。另外，由於從空氣噴嘴15噴出的空氣也會旋轉，故該空氣流將與火焰混合而一邊使火焰的旋轉流加 速，一邊將排放氣體氧化分解。處理後的氣體係從除害部10上端的氣體出口10OUT排出而朝客戶端的排氣管排出。
如上所述，於本發明中係使用以空氣作為 使燃料燃燒用之氧氣供給來源的空氣燃燒器，而藉由旋轉空氣來供給氧氣。因此，不須要求氧氣作為資源。另外，由於僅需將燃料與空氣個別作為旋轉氣流而供給至燃燒室S內即可，故可單純化除害部10的構造。
依據本發明，由於係設置有足以用空氣使燃料燃燒且可將處理對象的排放氣體充分稀釋之量的旋轉空氣的空氣噴嘴15，故可將燃燒溫度抑制在700℃至1200℃，並且可藉由旋轉空氣將處理對象之排放氣體稀薄化後再燃燒。由此，可不熔融生成物地保持粉體的狀態而從除害部10排出，故可謀求維護的簡易化、維護的長週期化。另外，亦可防止生成物附著於燃燒室內。
以往，由於在燃燒室的內壁面附著、堆積有熔融的生成物，故設置有用以刮取附著、堆積物而去除的刮刀，但依據本發明，由於可不熔融生成物地保持粉體的狀態從除害部10去除，故不需要刮刀，亦不需要驅動刮刀用的各種機器類，而可謀求除害部10的小型化。
第5圖為表示本發明的附除害功能之真空泵的另一實施型態的圖，為表示配置有複數段於燃燒室內供給旋轉空氣的空氣噴嘴之構成的示意性的剖面圖。如第5圖所示，除害部10係具有於除害部10的上下方向(垂直方向)配置複數段的空氣噴嘴15-1、15-2、15-3。於圖示例 中，雖例示為三段的空氣噴嘴，但可為二段，亦可為四段以上。各段的空氣噴嘴15-1至15-3係與第3圖所示的空氣噴嘴15相同，係相對於除害部10的切線方向以預定角度延伸，而以在燃燒室S內形成旋轉流的方式噴出空氣。 各段的空氣噴嘴15-1至15-3係於圓筒體11的圓周方向分開預定間隔而配置複數個。於第5圖所示的附除害功能之真空泵的其他構成則與第3圖所示的除害部10相同。
依據第5圖所示的實施型態，設置旋轉空氣 供給用的複數段空氣噴嘴，藉由來自各段的空氣噴嘴15-1至15-3的旋轉空氣而供給氧氣。此時，可從複數段的空氣噴嘴15-1至15-3之中適宜地選擇供給空氣的段數，或適宜地選擇供給空氣的噴嘴與不供給的噴嘴，藉此改變朝燃燒室S內的空氣之供給位置。
藉由上述構成，可不使用燃料或空氣流量的控制機器地變更空氣的供給段數或位置，藉此而控制生成物的形狀。藉由使旋轉空氣供給位置成為火焰的附近或離火焰較遠之處而調節處理對象的排放氣體燃燒的速度。雖在火焰附近的1500℃以上的區域燃燒則生成物將成為大的顆粒，但若在遠離火焰的1000℃左右的區域燃燒則將成為細微的粉。
依據本發明，由於係以可供給用空氣使燃 料燃燒且可充分地將處理對象的排放氣體稀薄化之量的旋轉空氣的方式設置複數段的空氣噴嘴15，故可將燃燒溫度抑制於700℃至1200℃的溫度，並且可藉由旋轉空氣將處 理對象的排放氣體稀薄化後再燃燒。由此，可將生成物不熔融地保持粉體的狀態而從除害部10排出，進而可謀求維護的簡易化、維護的長週期化。另外，亦可防止生成物對於燃燒室內的附著。
依據本發明，藉由設置複數段的空氣噴嘴 15-1、15-2、15-3，即可供給對於搬運粉體而言充分之量的旋轉空氣。並且，可藉由旋轉空氣而將除害部10的出口以後的排氣管清除。藉由供給至除害部10內的旋轉空氣，將在除害部10內所生成的粉體搬運至設施內的淨氣器，而不使其堆積於排氣管內，藉此即可降低客戶端排氣管的維護負荷。另外，於除害部10中所生成的粉體若全部被搬運至淨氣器，則由於淨氣器的負載可由排放氣體量推定，故可計劃性地決定淨氣器的維護週期。
通常，管的堵塞係不定期地發生，且堵塞部位的特定、管的洗淨皆需要大幅度的維護，但依據本發明，則由於可從除害部10流動充分量的空氣至排氣管，故可防止排氣管的堵塞。
於第5圖所示的實施型態中，藉由將最下段 的空氣噴嘴15-1的方向朝向下方，即可使除害部10的底部不產生沈積。藉由如上地消除沈積，即可藉由旋轉空氣將粉體確實地朝除害部10外排出，而可謀求維護的長週期化。於以往的裝置所採用的將粉體捕捉收集於槽的方式中，有為了延伸維護週期而將槽大型化，或設置使粉體與水一起排出的機構的需要，但依據本發明則不需要上述對 策。另外，以往的裝置中雖使用水進行燃燒氣體的冷卻，但於本發明中由於係藉由空氣進行氣體冷卻，故不需要水。由此，不需要供給水的資源、供給排水設備。
於第5圖所示的實施型態中，包括燃燒用的 空氣噴嘴，供給用以使處理後的燃燒氣體冷卻的旋轉空氣的空氣噴嘴15C係設置於除害部10的後段。亦即，空氣噴嘴15C為供給將處理後的燃燒氣體冷卻用的空氣的噴嘴。如上所述，藉由於除害部10的後段設置空氣噴嘴15C，即可藉由旋轉空氣將處理後的燃燒氣體冷卻至80℃以下。
第6圖為表示本發明之附除害功能之真空 泵的再另一實施型態的圖，為表示處理對象的排放氣體之朝除害部10的流入方向與從空氣噴嘴15流入的旋轉空氣之流入方向間之關係的示意性的剖面圖。但於第6圖中係省略UV感測器18的圖示。
於第6圖中，如同粗實線所表示，將處理對象的排放氣體導入除害部10內的排放氣體導入口10IN係於圓筒體11的內周面開口，排放氣體的流入方向與從空氣噴嘴15流入的旋轉氣體的流入方向成為平行。另外，如同以粗實線表示的，將處理對象之排放氣體導入除害部10內的排放氣體導入口10IN係開口於圓筒體11的底部，排放氣體的流入方向與從空氣噴嘴15流入的旋轉空氣之流入方向係正交。而成為可選擇將排放氣體導入口10IN設於圓筒體11之周壁或圓筒體11之底部。
於本發明中，可選擇使處理對象的排放氣 體之流入方向與旋轉空氣的流入方向為平行或正交。如此，藉由適當選擇排放氣體與旋轉空氣的彼此的流入方向，而可藉由旋轉空氣將燃燒室內的氣體攪拌。且，藉由將燃燒室內的氣體緩緩攪拌，可使處理對象的排放氣體於燃燒室全體的寬廣空間燃燒而防止生成物的附著。排放氣體的流入方向係大幅影響燃燒室內的攪拌效率，其亦將反映於燃燒速度。若可降低燃燒速度而防止燃燒室內的固形生成物的附著，則可幾乎不需要維護除害部10。但，不包括消耗零件(O型環、UV管、點火插塞等)的定期交換等。
另外，當使排氣導入口10IN開口於圓筒體 11之內周面而使處理對象之排放氣體的流入方向與旋轉空氣的流入方向平行時，可使處理對象的排放氣體以與旋轉空氣於同一方向或相反方向旋轉的方式流入。如此，藉由選擇使排放氣體的流入方向為與旋轉空氣的旋轉方向為同一方向或相反方向，即可使處理性能變化。如此，藉由旋轉空氣而將燃燒室內的氣體攪拌成最適合的狀態，而可在固定燃料之流量不變的狀態下準備處理性能的調節手段。
就燃燒器的規格上來看，當必須限定能夠穩定的燃燒之燃料流量幅度時，若要改變燃料流量則必須準備特殊規格的零件，但依據本發明，則可如上所述地藉由選擇排放氣體之流入方向的簡易手段而具有燃料流量以外的處理性能調解手段，故不需要準備特殊規格的零件。
於除害部10中，視處理對象的排放氣體之 種類將產生酸性氣體，另一方面，雖藉由燃燒燃料而生成水，但於處理運轉結束時且燃料的供給和旋轉空氣的供給亦停止時，前述水將凝結且因酸性氣體溶入其中而有零件的腐蝕消耗將急速進行的可能性。
因此，於本發明中，排放氣體處理運轉停止後，係於經過預定之延遲時間後停止來自空氣噴嘴的旋轉空氣之供給。藉由如上所述地設置延遲時間，可藉由旋轉空氣而清除除害部10內的氣體，將因處理運轉而產生的酸性氣體排出，藉此可防止零件的消耗。
至此為此，雖以本發明的實施型態進行說明，但本發明不限於上述實施型態，於其技術思想之範圍內當然亦可以種種不同的型態予以實施。

Claims (8)

  1. 一種附除害功能之真空泵，係於真空泵的排氣口附設有將從真空泵排出之排放氣體處理且予以無害化的除害部；其中前述除害部係具有配置於垂直方向之下端部封閉且上端部形成開口的大致圓筒容器狀的筒狀體，於該筒狀體的一端部側設有導入處理對象之排放氣體的排放氣體導入口，而於另一端部側設有將已處理後之氣體排出的氣體出口；於前述筒狀體的周壁設有噴出燃料的複數個燃料噴嘴；於前述筒狀體的周壁，係將使空氣以沿著前述周壁的內周面形成旋轉流的方式噴出的複數個空氣噴嘴於前述周壁的圓周方向分開間隔而設置；而前述複數個空氣噴嘴係於前述筒狀體的軸心方向分開間隔而配置成複數段；前述複數個空氣噴嘴係設置於較前述複數個燃料噴嘴更遠離前述排放氣體導入口的位置；前述排放氣體導入口係位於前述下端部或位於靠近前述下端部的前述周壁。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之附除害功能之真空泵，其中，前述複數個燃料噴嘴係使燃料以沿著前述周壁的內周面形成旋轉流的方式噴出。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之附除害功能之真空泵，其中，前述排放氣體的流入方向可選擇為與空氣的流入方向為正交或平行。
  4. 如申請專利範圍第3項所述之附除害功能之真空泵，其中，當前述排放氣體的流入方向與前述空氣的流入方向設為平行時，可選擇使兩流入方向為同一或相反。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之附除害功能之真空泵，其中，前述複數段的空氣噴嘴之中的最下段的空氣噴嘴係朝向斜下方。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之附除害功能之真空泵，其中，於前述筒狀體的前述氣體出口側的周壁設有噴出用以冷卻燃燒氣體之空氣的複數個空氣噴嘴。
  7. 如申請專利範圍第1至6項之中任一項所述之附除害功能之真空泵，其中，當於前述除害部的排放氣體處理運轉停止後，直到經過預定時間後才停止前述空氣噴嘴的空氣之噴出。
  8. 如申請專利範圍第1至6項之中任一項所述之附除害功能之真空泵，其中，前述真空泵之排氣口係分歧，且於分歧的排氣口分別附設有前述除害部。
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