TW201312055A - 排氣燃燒裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明的課題，在於提供一種即使從複數個處理室將排氣導入並進行多燃燒器處理之情形時，經過長時間仍可以防止噴嘴前端阻塞發生，可長期維持運轉期間的排氣燃燒裝置。本發明之解決手段：由於從第2燃燒用噴嘴(47)所吐出之導引燃燒器火焰，是與相鄰之從第1燃燒用噴嘴(45)所吐出之主燃燒器火焰同為還原焰，所以在各排氣用噴嘴(43)的下部形成充分缺氧區域為還原區。排氣在此部分不會完全氧化，所以不會產生作為矽烷氣體之燃燒氧化物的二氧化矽，附著並阻塞於排氣用噴嘴(43)、第1燃燒用噴嘴(45)、以及第2燃燒用噴嘴(47)的前端部等。另一方面，從配置在還原區之下方的空氣供給用噴嘴(63)，供給完全燃燒所必須之充分量的空氣，在超過還原區的位置起可進行完全氧化。

Description

排氣燃燒裝置
本發明是關於排氣燃燒裝置，是有關即使從一台或是複數個處理室將排氣導入並進行多個燃燒器處理之情形時，經過長時間仍可以防止噴嘴前端阻塞發生，可長期維持運轉期間的排氣燃燒裝置。
在半導體元件、液晶面板、太陽能電池的製造製程中，進行利用化學氣相沈積反應而成鍍膜之CVD(Chemical Vapor Deposition)處理、或蝕刻處理等，會在處理室中使用各種氣體。
作為此類氣體者，例如有作為半導體元件、液晶面板，太陽能電池之製膜材料氣體的矽烷(SiH4)、NH3、H2、或是例如以電漿對電漿CVD裝置等之密閉處理室內進行清洗時，作為清洗氣體來使用的NF3、CF4、C2F6、SF6、CHF3、CF6等氣體狀氟化物、氮氣(N2)等之非活性氣體。
並且，如第5圖所示，於處理室1，串聯地接連有：要將該有害排氣予以去除而用來抽真空的渦輪分子泵(turbo molecular pump)3及乾燥泵(dry pump)5。而且，以乾燥泵5運轉開始時在某種程度抽真空之後，進一步以渦輪分子泵3抽真空至所必須的低壓為止之方式而構成。不過，在CVD處理等之情形時，一般的案例是以省 略渦輪分子泵3的方式來構成。
從乾燥泵5所輸出的有害排氣，由燃燒裝置7燃燒分解之後，通過有害物質去除裝置9而到達中央廢氣處理設備(central scrubber)11。此時，排氣，藉由中央廢氣處理設備11一面多少被減壓，同時被導引至燃燒裝置7、有害物質去除裝置9內。又，燃燒裝置7與有害物質去除裝置9亦有以一個裝置來構成者。
並且，例如，再將矽烷或3氟化氮予以無害化時，會產生二氧化矽(SiO2)粉末、或氟化氫(HF)等由燃燒分解所形成的生成物。
該二氧化矽為微細粉體，在使用通常的燃燒器噴嘴來進行處理下，會在噴嘴前端部附著該粉體而成為燃燒不良的原因。
因而，從以往就被提案出各種防止噴嘴前端阻塞的技術。
例如，於專利文獻1中，如第6圖所示，燃燒裝置7是在燃燒室21的上部安裝有排氣燃燒噴嘴23。於第7圖顯示排氣燃燒噴嘴23的底面圖。從設在該排氣燃燒噴嘴23的排氣用噴嘴31導入矽烷氣體等排氣。然後，從第1燃燒用噴嘴33吐出缺氧狀態的第1燃燒焰、於第2燃燒用噴嘴35使導引火焰正常燃燒、更進一步地由空氣供給用噴嘴37，供給充分的空氣。
在此，由於從第1燃燒用噴嘴33所吐出的第1燃燒焰為還原焰，在此部分排氣不會氧化，因而不會產生作為 矽烷氣體之燃燒氧化物的二氧化矽，附著並阻塞於排氣用噴嘴31、第1燃燒用噴嘴33、以及第2燃燒用噴嘴35之各前端部等。
另一方面，在第2燃燒用噴嘴35是藉由與理論空氣量混合後的燃料氣體而維持裝置運轉中之呈安定的完全燃燒焰狀態(不產生失火)。並且，藉由來自空氣供給用噴嘴37充分的燃燒空氣，使矽烷氣體等排氣被完全燃燒。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
〔專利文獻1〕日本特開平10-9551。
然而，在專利文獻1的方法中，是僅有1台處理室1接連於排氣用噴嘴31的案例、或是即使接連有複數個處理室，該等之處理氣體亦僅為可燃系氣體的案例為中心。但相對於此，在近年之半導體元件、液晶面板、太陽能電池的製造製程中，不僅處理方法高度化提升，作為處理氣體者，除了如前述之非活性氣體(例如：N2)、可燃系氣體(例如：SiH4、NH3、H2等)之外，再加上還有以助燃系氣體(例如：NF3)作為清洗氣體來流動的案例。
再者，在近年以降低設備投資成本為目的，期望可以把從複數個處理室1所排出的排氣全都歸納於1台的燃燒裝置7來處理。
然而，如此之把從複數個處理室所排出的製程處理氣體全都歸納於1台的排氣燃燒裝置7來進行處理之情形時，當將此等製程處理氣體導入於1個燃燒噴嘴23時，由於可燃系氣體(例如：SiH4、NH3)與助燃系氣體(例如：NF3)混合，產生混合凝縮性生成物(例如：矽氟化銨(NH4)2SiF6)而有恐使排氣用噴嘴31在短期間造成閉塞之虞。
又，依照專利文獻1的方法，實際構成出在燃燒室21的上部，裝備有：可以使來自複數個處理室所排出之製程處理氣體不在內部混合地進行導入之多燃燒器的燃燒裝置，來進行實驗所觀察，可以得知二氧化矽會在短期間附著於排氣用噴嘴31下部，而造成閉塞。
從第8圖的構成圖可以了解到，此乃因為從第1燃燒用噴嘴33所吐出的第1燃燒焰、以及從與該第1燃燒用噴嘴33相鄰之第2燃燒用噴嘴35所吐出的第2燃燒焰，會受到燃燒室內部之氣流的影響而混合，因而無法在排氣用噴嘴31下部形成充分的缺氧區域。
本發明是有鑑於如此之以往的課題所研創的，其目的在於提供一種：即使從1台或複數台處理室將排氣導入並進行多燃燒器處理之情形時，經過長時間仍可以防止噴嘴前端阻塞發生，可長期維持運轉期間的排氣燃燒裝置。
因此，本發明(請求項1)，其特徵在於具備：接連 有複數個從處理室導入排氣之排氣用噴嘴的燃燒室、配設在該排氣用噴嘴之外周的第1燃燒用噴嘴、配設在該第1燃燒用噴嘴之外周的第2燃燒用噴嘴、以及位在比上述第1燃燒用噴嘴與上述第2燃燒用噴嘴更下方位置，配設在上述燃燒室之壁部的空氣供給用噴嘴，並且從上述第1燃燒用噴嘴所吐出的第1燃燒焰以及從上述第2燃燒用噴嘴所吐出的第2燃燒焰，皆為還原焰。
由於相鄰之第1燃燒用噴嘴與第2燃燒用噴嘴同為還原焰，所以可在各排氣用噴嘴的下部形成充分的缺氧區域。在該缺氧區域部分，排氣不會完全氧化，所以排氣的燃燒氧化物，不會附著於排氣用噴嘴、第1燃燒用噴嘴、以及第2燃燒用噴嘴的各前端部等而產生阻塞。
如此地，即使從複數台處理室導入排氣而進行多燃燒器處理之情形時，經過長期間仍可以防止噴嘴前端阻塞。因此，可以長期維持運轉期間。
又，本發明(請求項2)，其特徵是在於從上述第1燃燒用噴嘴被導入由燃料氣體：空氣之混合(重量)比為1：3~1：12所混合的混合氣體，從上述第2燃燒用噴嘴被導入由燃料氣體：空氣之混合(重量)比為1：7~1：12所混合的混合氣體。
再者，本發明(請求項3)，其特徵是在於利用來自上述第1燃燒用噴嘴之上述第1燃燒焰以及來自上述第2燃燒用噴嘴之上述第2燃燒焰，在從上述排氣用噴嘴導入到上述燃燒室之上述排氣的周圍，形成缺氧燃燒區域。
再者，本發明(請求項4)，其特徵是在於在上述第2燃燒用噴嘴形成多數個小孔徑噴嘴，上述空氣供給用噴嘴是配置在比上述缺氧燃燒區域更下方，且從該空氣供給用噴嘴所導入的空氣為迴旋流動。
藉由使空氣供給用噴嘴配置在比缺氧燃燒區域更下方，可以消弭排氣的燃燒氧化物附著於排氣用噴嘴、第1燃燒用噴嘴、以及第2燃燒用噴嘴的各前端部等而產生阻塞。
又，由於從空氣供給用噴嘴所導入的空氣為迴旋流動，所以燃燒氧化物不會附著於燃燒室的周壁，而可以以大致集中在迴旋流動之中心的形式效率良好的落下。
如以上所說明，根據本發明，由於從第1燃燒用噴嘴所吐出的第1燃燒焰，以及從第2燃燒用噴嘴所吐出的第2燃燒焰皆是以還原焰之方式所構成，所以在排氣用噴嘴的下部形成充分的缺氧區域。因此，排氣在該排氣用噴嘴附近不會氧化，不會產生排氣之燃燒氧化物附著並阻塞於排氣用噴嘴、第1燃燒用噴嘴、以及第2燃燒用噴嘴的各前端部等。
〔用以實施發明之形態〕
以下，說明關於本發明的實施形態。將本發明之實施 形態的構成圖顯示於第1圖。第1圖為燃燒室的縱向斷面圖；第2圖，是第1圖中之從箭頭A方向所觀察的圖面。
於燃燒室40的上表面41，環周狀地配設有6個排氣用噴嘴43。
在排氣用噴嘴43的周圍，配設有環狀的第1燃燒用噴嘴45，於期更外側周圍，配設有複數個第2燃燒用噴嘴47。
第2燃燒用噴嘴47，是由隔以適當間隔配置在第1燃燒用噴嘴45之周圍的複數個小孔徑噴嘴所形成。
於第1燃燒用噴嘴45，是使燃料及空氣的混合氣體從第1燃料與空氣導入管51經由主燃料與空氣室49而被導入。於第2燃燒用噴嘴47，是使燃料及空氣的混合氣體從第2燃料與空氣導入管55經由導引燃料與空氣室53而被導入。
於燃燒室40之圓筒狀的內側周壁61，空氣供給用噴嘴63於高度方向構成為3段。該空氣供給用噴嘴63是以從圓筒狀形狀的切線方向朝向預定角度內側之方式所形成，從空氣供給用噴嘴63所導入的空氣會沿著周壁61的內側成為迴旋流動。於內側周壁61及外壁65之間形成有環周狀的空氣槽67，於該空氣槽67係使空氣可從空氣導入管69被導入。
其次，說明本發明之實施形態的動作。
於各排氣用噴嘴43，是使矽烷氣體等之排氣從處理室1被導入。從第1燃燒用噴嘴45雖導入燃料氣體與空氣的 混合氣體，不過該混合(重量)比為1：3~1：12，為所謂的還原焰。
又，從第2燃燒用噴嘴47雖亦導入燃料氣體與空氣的混合氣體，不過該混合(重量)比1：7~1：12，同樣為還原焰。
此時的燃燒模樣如第3圖所示。
由於從相鄰之第2燃燒用噴嘴47所釋放出的導引燃燒器火焰，是與從第1燃燒用噴嘴45所釋放出之主燃燒器火焰同為還原焰，所以在各排氣用噴嘴43的下部，形成如於圖中以還原區所顯示之充分的缺氧區域。
由於導引燃燒器火焰與主燃燒器火焰同為還原焰，排氣在此部分不會完全氧化，所以不會產生作為矽烷氣體之燃燒氧化物的二氧化矽，附著並阻塞於排氣用噴嘴43、第1燃燒用噴嘴45、以及第2燃燒用噴嘴47的前端部等。
另一方面，從配置在還原區之下方的空氣供給用噴嘴63，供給完全燃燒所必須之充分量的空氣。因此，從第1燃燒用噴嘴45、第2燃燒用噴嘴47之混合氣體的未燃氣體以及矽烷氣體等之排氣，在超過還原區的位置起就會成為被完全氧化，使得二氧化矽難以附著在排氣用噴嘴43之下。
又，由於從空氣供給用噴嘴63所導入的空氣為迴旋流動，所以二氧化矽不會附著在周壁61的內側，而是以大致集中於迴旋流動之中心的形態而落下。
〔實施例〕
依據本實施形態的構成，來說明進行實驗後的結果。
如第4圖之實施例1所示，是對於從第2燃燒用噴嘴47所導入之燃料(甲烷)氣體與空氣之混合氣體的混合(重量)比為1：14之還原焰效果較弱的情形下，並且是在從第1燃燒用噴嘴45所導入之燃料(甲烷)氣體與空氣之混合氣體的混合(重量)比為1：11之還原焰的情形下進行了實驗。又，2次燃燒空氣流量為1,800L/min。
於此情形下，於處理室1當產品處理片數到達2,630片時，由於二氧化矽附著在排氣用噴嘴43的下部，使得火焰監測電流值檢測出異常，系統因而停止。
又，在第4圖中沒有表示出，在從第2燃燒用噴嘴47所導入之燃料(甲烷)氣體與空氣之混合氣體的混合(重量)比為1：18之氧化焰的情形下，系統開始運轉後，在產品處理片數為1000片左右時，由於二氧化矽附著在排氣用噴嘴43的下部，使得火焰監測電流值檢測出異常，系統因而自動停止。
另一方面，如實施例2，改變在從第2燃燒用噴嘴47所導入之燃料(甲烷)氣體與空氣之混合氣體的混合(重量)比為1：12之還原焰效果較強的情形下，且沒有改變從第1燃燒用噴嘴45所導入之燃料氣體(甲烷)與空氣之混合氣體的混合(重量)比以及2次燃燒空氣流量而進行了實驗。
並且，於處理室1當產品處理片數到達3,867片時， 以手動使系統停止然後觀察了燃燒室的內部。此時，是處於沒有二氧化矽附著的狀態。並且在此期間，火焰監測電流值安定。
如此地，即使是進行多燃燒器處理之情形時，經過長時間仍可以防止噴嘴前端阻塞發生，可以長期維持運轉期間。
1‧‧‧處理室
7‧‧‧燃燒裝置
40‧‧‧燃燒室
41‧‧‧上表面
43‧‧‧排氣用噴嘴
45‧‧‧第1燃燒用噴嘴
47‧‧‧第2燃燒用噴嘴
49‧‧‧主燃料與空氣室
51‧‧‧第1燃料與空氣導入管
53‧‧‧導引燃料與空氣室
55‧‧‧第2燃料與空氣導入管
61‧‧‧內側周壁
61‧‧‧周壁
63‧‧‧空氣供給用噴嘴
65‧‧‧外壁
67‧‧‧空氣槽
69‧‧‧空氣導入管
第1圖是燃燒室的縱向斷面圖。
第2圖是第1圖中之從箭頭A方向所觀察的圖面。
第3圖是顯示本實施形態之燃燒模樣的圖面。
第4圖為實施例1與實施例2的比較圖表。
第5圖是排氣系統之整體方塊圖。
第6圖是以往之燃燒裝置的構成圖。
第7圖是排氣燃燒噴嘴的底面圖。
第8圖是用以說明用以往的方法製成多燃燒器形式之情形時，無法形成充分的缺氧區域的圖面。
40‧‧‧燃燒室
41‧‧‧上表面
43‧‧‧排氣用噴嘴
45‧‧‧第1燃燒用噴嘴
47‧‧‧第2燃燒用噴嘴
49‧‧‧主燃料與空氣室
51‧‧‧第1燃料與空氣導入管
53‧‧‧導引燃料與空氣室
55‧‧‧第2燃料與空氣導入管
61‧‧‧內側周壁
63‧‧‧空氣供給用噴嘴
65‧‧‧外壁
67‧‧‧空氣槽
69‧‧‧空氣導入管
A‧‧‧第2圖的觀察方向

Claims (4)

  1. 一種排氣燃燒裝置，其特徵在於具備：接連有複數個從處理室導入排氣之排氣用噴嘴的燃燒室、配設在該排氣用噴嘴之外周的第1燃燒用噴嘴、配設在該第1燃燒用噴嘴之外周的第2燃燒用噴嘴、以及位在比上述第1燃燒用噴嘴與上述第2燃燒用噴嘴更下方位置，配設在上述燃燒室之壁部的空氣供給用噴嘴，並且從上述第1燃燒用噴嘴所吐出的第1燃燒焰以及從上述第2燃燒用噴嘴所吐出的第2燃燒焰，皆為還原焰。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的排氣燃燒裝置，其中，從上述第1燃燒用噴嘴被導入由燃料氣體：空氣之混合(重量)比為1：3~1：12所混合的混合氣體，從上述第2燃燒用噴嘴被導入由燃料氣體：空氣之混合(重量)比為1：7~1：12所混合的混合氣體。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所述的排氣燃燒裝置，其中，利用來自上述第1燃燒用噴嘴之上述第1燃燒焰以及來自上述第2燃燒用噴嘴之上述第2燃燒焰，在從上述排氣用噴嘴導入到上述燃燒室之上述排氣的周圍，形成缺氧燃燒區域。
  4. 如申請專利範圍第3項所述的排氣燃燒裝置，其中，於上述第2燃燒用噴嘴形成多數個小孔徑噴嘴， 上述空氣供給用噴嘴是配置在比上述缺氧燃燒區域更下方，且從該空氣供給用噴嘴所導入的空氣為迴旋流動。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9822974B2 (en) 2013-03-28 2017-11-21 Ebara Corporation Vacuum pump with abatement function

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6606322B2 (ja) * 2014-10-15 2019-11-13 エドワーズ株式会社 除害装置
JP6595148B2 (ja) * 2017-05-29 2019-10-23 カンケンテクノ株式会社 排ガスの減圧除害装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3490843B2 (ja) * 1996-06-19 2004-01-26 日本エドワーズ株式会社 排ガス燃焼方法及びその装置
JP4066107B2 (ja) * 1997-11-21 2008-03-26 株式会社荏原製作所 排ガス処理用燃焼器
GB0509163D0 (en) * 2005-05-05 2005-06-15 Boc Group Plc Gas combustion apparatus

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9822974B2 (en) 2013-03-28 2017-11-21 Ebara Corporation Vacuum pump with abatement function
TWI665417B (zh) * 2013-03-28 2019-07-11 日商荏原製作所股份有限公司 附除害功能之真空泵

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Publication number Publication date
WO2013018576A1 (ja) 2013-02-07

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