JP2002106826A

JP2002106826A - 燃焼式排ガス処理装置

Info

Publication number: JP2002106826A
Application number: JP2000294632A
Authority: JP
Inventors: Tetsuo Komai; 哲夫駒井; Kotaro Kawamura; 興太郎川村; Takeshi Tsuji; 健辻; Rikiya Nakamura; 力弥中村; Kazutaka Okuda; 和孝奥田; Keiichi Ishikawa; 敬一石川; Tomonori Ohashi; 知範大橋; Yoshiro Takemura; 與四郎竹村
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 2000-09-27
Filing date: 2000-09-27
Publication date: 2002-04-10

Abstract

(57)【要約】【課題】ＵＶセンサで常に燃焼火炎の存否を正確に検
知でき、またバーナ部内に導入される排ガス流入量の変
動により、火炎が吹き消えることなく、安定した燃焼火
炎を形成でき、助燃ガス供給配管への逆火の危険もない
燃焼式排ガス処理装置を提供する。【解決手段】バーナ部１０、燃焼室２０を備え、バー
ナ部１０に助燃ガスノズル１８により助燃ガスを供給
し、燃焼火炎２４を形成し、該燃焼火炎２４に排ガスＧ
１を導入して、酸化分解させる燃焼式排ガス処理装置に
おいて、バーナ部１０壁部の燃焼火炎２４の上流側に燃
焼火炎２４を直視できる火炎直視管２５を設け、その端
部にＵＶセンサ２６を設けた。また、助燃ガスノズル１
８のノズル口は３個以上接近してノズル口群を形成し、
該ノズル口群から噴射される助燃ガス噴射速度を火炎の
伝播速度より速くする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばシランガス
（ＳｉＨ₄）、或いはハロゲン系ガス（ＮＦ₃、Ｃｌ
Ｆ₃、ＳＦ₆、ＣＨＦ₃、Ｃ₂Ｆ₆、ＣＦ₄等）を含む有害可
燃性、若しくは難分解性の排ガスを燃焼処理するための
燃焼式排ガス処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】上記のような燃焼式排ガス処理装置は、
バーナ部と、該バーナ部の下流側に燃焼室を備え、バー
ナ部に助燃ガスを供給し、該助燃ガスを燃焼させて火炎
を形成し、この火炎により排ガスを燃焼させるように構
成されている。助燃ガスには、水素ガス、都市ガス、プ
ロパンガス等を燃料ガスとして用い、酸化剤としては酸
素若しくは空気が通常使用されている。

【０００３】上記のような燃焼式排ガス処理装置におい
て、燃焼火炎の着火確認方法としてＵＶ（ｕｌｔｒａｖ
ｉｏｌｅｔ＝紫外線）センサを用いて燃焼火炎を検知し
着火を確認している。ところが、このＵＶセンサを用い
て燃焼火炎を検知する方法は、排ガス処理時のダスト等
の副生成物が採光口を塞ぐという問題があった。また、
上記ＵＶセンサで燃焼火炎を検知する方法は、特に火炎
の燃焼部内壁での反射光を検知する場合、ＵＶ吸収特性
をもつ副生成物が反応部の内壁に付着すると、反射して
いたＵＶ光が全て吸収されるため火炎を検知できないと
いう問題もあった。また、反応部が高温となるため、採
光口が高温による溶融腐食により、閉塞するという問題
もあった。

【０００４】また、上記のような燃焼式排ガス処理装置
において、バーナ部への助燃ガスの供給は、該バーナ部
内壁面に開口するノズル口を通して行い、火炎は該ノズ
ル口から噴射される助燃ガスが燃焼することにより形成
されるが、バーナ部内に導入される排ガス流入量の変動
により、火炎が吹き消えるという問題があった。また、
助燃ガスを供給する燃料配管等に逆火が発生するという
問題があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上述の点に鑑
みてなされたもので、上記問題点を除去し、ＵＶセンサ
で常に燃焼火炎が存否を正確に検知できる燃焼式排ガス
処理装置を提供することを目的とする。

【０００６】また、バーナ部内に導入される排ガス流入
量の変動により、火炎が吹き消えることなく、安定した
燃焼火炎を形成でき、助燃ガス供給配管への逆火の危険
もない燃焼式排ガス処理装置を提供することを目的とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
請求項１に記載の発明は、バーナ部と、該バーナ部の下
流側に燃焼室を備え、バーナ部に助燃ガスを供給し、該
バーナ部より燃焼室に向けて燃焼火炎を形成し、該燃焼
火炎に排ガスを導入して、該排ガスを酸化分解させる燃
焼式排ガス処理装置において、バーナ部壁の燃焼火炎の
上流側に該燃焼火炎を直視できる管又は孔を設け、該管
又は孔を通して燃焼火炎を検知するＵＶセンサを設けた
ことを特徴とする。

【０００８】上記のように燃焼火炎の下流側ではなく、
上流側に燃焼火炎を直視できる管又は孔を設けることに
より、排ガス処理時のダスト等の副生成物が採光口を塞
いで、ＵＶセンサが燃焼火炎を検知できないという問題
は起きない。また、管又は孔を通して燃焼火炎を直視し
ているため、ＵＶ吸収特性を持つ副生成物が反応部内に
付着しても、採光の妨害になることはなく、ＵＶセンサ
が燃焼火炎を検知するのに支障とならない。また、バー
ナ部側壁の比較的低温である燃焼火炎の上流側に該燃焼
火炎を直視できる管又は孔を設けることにより、採光口
部が高温による溶融や腐食により、閉塞することもなく
なる。

【０００９】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の燃焼式排ガス処理装置において、燃焼火炎を直視でき
る管又は孔とＵＶセンサの接続部にＵＶ透光部材を配置
して該ＵＶセンサをバーナ部内雰囲気から遮断し、該管
又は孔内の該ＵＶ透光部材からバーナ部側にパージ気体
を流すことを特徴とする。

【００１０】上記のように管又は孔と接続部にＵＶ透光
部材を配置して該ＵＶセンサをバーナ部内雰囲気から遮
断し、該管又は孔内の該ＵＶ透光部材からバーナ部側に
パージ気体を流すことにより、副生成物等により採光口
が塞がれるという問題はなくなる。

【００１１】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の燃焼式排ガス処理装置において、燃焼火炎を直視でき
る管又は孔の反バーナ部側端部を閉塞し、該管又は孔内
の燃焼火炎からの光を光ファイバを介してＵＶセンサに
伝送することを特徴とする。

【００１２】上記のように管又は孔内の燃焼火炎からの
光を光ファイバを介してＵＶセンサに伝送するので、ス
ペースや耐熱性の問題等により管又は孔の反バーナ部側
端部にＵＶセンサを設置できない場合等に、ＵＶセンサ
をスペースや耐熱性の問題のない場所に設置することが
できる。

【００１３】請求項４に記載の発明は、バーナ部と、該
バーナ部の下流側に燃焼室を備え、バーナ部に助燃ガス
を供給し、該バーナ部より燃焼室に向けて燃焼火炎を形
成し、該燃焼火炎に排ガスを導入して、該排ガスを酸化
分解させる燃焼式排ガス処理装置において、バーナ部へ
の助燃ガスの供給は、該バーナ部内壁面に開口するノズ
ル口を通して行い、該ノズル口は３個以上接近してノズ
ル口群を形成していることを特徴とする。

【００１４】上記のように、ノズル口を３個以上の開口
群で構成するので、バーナ部内に導入する排ガス流入量
が変動しても燃焼火炎の吹き消え等を防止することがで
きる。また、火炎の伝播速度の遅い炭素系の燃料ガスを
助燃ガスに使用する場合は、ノズル口は６個以上の開口
群で構成することにより、排ガス流入量が変動しても燃
焼火炎の吹き消え等を防止することができる。

【００１５】請求項５に記載の発明は、請求項４に記載
の燃焼式排ガス処理装置において、ノズル口群から噴射
される助燃ガス噴射速度を火炎の伝播速度より速くする
ことを特徴とする。

【００１６】上記のようにノズル口から噴射される助燃
ガス噴射速度を火炎の伝播速度より速くすることによ
り、助燃ガス供給配管等への逆火を防止できる。火炎の
伝播速度は助燃ガスの燃料ガスの種類、予混合する空気
又は酸素の混合比、ノズル口の形状や配置等により決ま
り、この助燃ガス噴射速度は助燃ガスの供給圧力やノズ
ル口群の総断面積によって決まるから、これらを考慮し
て、助燃ガスの噴射速度が火炎の伝播速度より速くなる
ようにノズル口群の総開口断面積等を設定する。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図１は本発明に係る燃焼式排ガ
ス処理装置のバーナ部の構成を示す図である。バーナ部
１０は、下方に位置する燃焼室２０に向かって開口する
保炎部１１を形成する円筒体１２と、該円筒体１２の周
囲を所定間隔離れて包囲する外筒１３とを有しており、
円筒体１２と外筒１３との間には、燃焼用空気を保持す
る空気室１４と、助熱ガス室１５が形成されている。空
気室１４は図示しない空気源に接続され、助燃ガス室１
５は助燃ガス供給配管（図示せず）を通して助燃ガス供
給源に接続されている。

【００１８】保炎部１１の上側を覆う円筒体１２の頂部
には、半導体製造装置や液晶パネル製造装置等から排出
される有害で且つ可燃性の排ガスＧ１を導入するための
排ガス流入管１６が接続されている。また、円筒体１２
には空気室１４と保炎部１１を連通する空気ノズル１７
と、助燃ガス室１５と保炎部１１を連通する複数の助燃
ガスノズル１８が設けられている。

【００１９】空気ノズル１７は後で、詳述するように、
保炎部１１内に旋回流を形成するように吹出すようにな
っている。助燃ガスノズル１８も同様に、保炎部１１に
旋回流を形成するように助燃ガスを吹出すようになって
いる。空気ノズル１７、助燃ガスノズル１８は円筒体１
２の円周方向に均等に配置されている。

【００２０】保炎部１１と燃焼室２０の境界部の周囲に
は、保炎部１１の開口部を囲むように２次空気室２１が
形成されており、該２次空気室２１は２次空気を供給す
るための空気源（図示せず）に連通している。２次空気
室２１と燃焼室２０との間を区画する仕切板２２には、
燃焼室２０の内部に排ガスを酸化させるための２次空気
を吹出す２次空気ノズル２３が周方向に均等に配置され
て設けられている。又、空間２１に冷却媒体を流して冷
却構造とする。冷却媒体には水等を使用する。これによ
り円筒体１２の開口部に形成される火炎により加熱され
た円筒体１２を冷却する。

【００２１】バーナ部１０の壁部となる円筒体１２と外
筒１３を貫通して、助燃ガスノズル１８から噴射される
助燃ガスが燃焼して形成される燃焼火炎２４を直視でき
る火炎直視管２５が設けられている。該火炎直視管２５
は図示するように、燃焼火炎２４の上流側に設けられ、
該火炎直視管２５の反バーナ部側端部に燃焼火炎２４を
検知するＵＶセンサ２６を設けている。

【００２２】上記のように火炎直視管２５を燃焼火炎２
４の下流側ではなく、上流側に設けることにより、排ガ
ス処理時のダスト等の副生成物が火炎直視管２５の採光
口を塞いで、ＵＶセンサ２６が燃焼火炎２４を検知でき
ないということはなくなる。また、火炎直視管２５を通
して燃焼火炎２４を直視しているため、ＵＶ吸収特性を
持つ副生成物が反応部内（主に燃焼室２０内）に付着し
ても、採光の妨害になることはなく、ＵＶセンサ２６は
燃焼火炎２４を検知することができる。また、バーナ部
１０の壁部の比較的低温である燃焼火炎２４の上流側に
火炎直視管２５を設けることにより、採光口部が高温に
より溶融したり腐食して、閉塞することもなくなる。

【００２３】図２は本発明に係る燃焼式排ガス処理装置
の火炎直視管の別の取り付け構成例を示す図である。な
お、図２において、図１と同一符号を付した部分は同一
又は相当部分を示す。また、他の図面においても同様と
する。図示するように、火炎直視管２５とＵＶセンサ２
６の接続部２７にＵＶを透光する石英ガラス板２８を配
置し、該石英ガラス板２８と接続部２７との間にシール
部材２９を介在させて、ＵＶセンサ２６をバーナ部１０
の内部雰囲気から遮断する。そして該火炎直視管２５に
パージガス導入管３０を接続し、火炎直視管２５内にパ
ージガスＰＧ（例えば、空気）を流すようにしている。

【００２４】上記のように火炎直視管２５とＵＶセンサ
２６の接続部２７に石英ガラス板２８を配置し、ＵＶセ
ンサ２６をバーナ部１０の内部雰囲気から遮断し、該火
炎直視管２５にパージガスＰＧを流すことにより、火炎
直視管２５の採光口が副生成物等により塞がれるという
ことはなくなる。なお、石英ガラス板２８はバーナ部１
０の内圧に耐え得るだけの厚さを有している。また、シ
ール部材２９には耐熱パッキンを用いる。

【００２５】図３は本発明に係る燃焼式排ガス処理装置
の火炎直視管の別の取り付け構成例を示す図である。図
示するように、火炎直視管２５の反バーナ部側端部を閉
塞し、該火炎直視管２５にパージガス導入管３０を接続
しパージガス（ＰＧ）を流すことができるようにすると
共に、火炎直視管２５内の燃焼火炎２４からの光を光フ
ァイバ３１を介してＵＶセンサ２６に伝送するようにし
ている。

【００２６】上記のように火炎直視管２５内の燃焼火炎
２４からの光を光ファイバ３１を介してＵＶセンサ２６
に伝送するので、スペースや耐熱性の問題等により火炎
直視管２５の反バーナ部側端部にＵＶセンサ２６を設置
できない場合等に、ＵＶセンサ２６をスペースや耐熱性
の問題のない場所に設置することができる。なお、上記
例では、バーナ部１０の側壁が円筒体１２と外筒１３で
構成され、その間に空気室１４が存在するので、これら
を貫通させて火炎直視管２５を設けたが、バーナ部１０
の側壁が１枚で構成されている場合は、該側壁の燃焼火
炎２４の上流側に火炎直視用の孔を設け、ここにＵＶセ
ンサを取り付けてもよい。

【００２７】図４は本発明に係る燃焼式排ガス処理装置
のバーナ部の構成例を示す図である。図示するように、
バーナ部の円筒体１２の内壁面には空気ノズル１７の開
口（空気噴射口）１７ａが複数個（図では５個）上下方
向に直列に配置されてなる空気ノズル開口群３３が円周
方向で等間隔に形成されている。また、空気ノズル開口
群３３の下方には助燃ガスノズル１８の開口（助燃ガス
噴射口）１８ａが複数個（図では３個）集まって（接近
して）なる助燃ガスノズル開口群３４が円周方向に等間
隔で配置されている。なお、助燃ガスノズル開口群３４
を構成する助燃ガスノズル１８の開口１８ａは３個に限
定されものではなく、３個以上であればよい。

【００２８】助燃ガスノズル開口群３４を構成する個々
の助燃ガスノズル１８の開口１８ａから噴射され助燃ガ
スが燃焼して燃焼火炎２４（図１参照）が形成される。
即ち、各開口１８ａは火炎形成口となる。この開口１８
ａが個々に離散して配置されている場合は、バーナ部１
０内に導入する排ガスＧ１の流入量変動により、燃焼火
炎２４が吹き消される場合がある。ここでは、上記のよ
うに助燃ガスノズル開口群３４を構成する助燃ガスノズ
ル１８の開口１８ａの数を３個以上とすることにより、
バーナ部１０内に導入する排ガスＧ１の流入量が変動し
ても燃焼火炎の吹き消え等を防止することができる。

【００２９】また、火炎の伝播速度の遅い炭素系の燃料
ガス（都市ガス、プロパンガス等）を助燃ガスの燃料ガ
スに使用する場合は、助燃ガスノズル開口群３４を構成
する助燃ガスノズル１８の開口１８ａは、図５に示すよ
うに６個以上とすることにより、互いの開口１８ａから
助燃ガスが噴射され、火力が増強されるから、排ガス流
入量が変動しても燃焼火炎の吹き消え等を防止すること
ができる。

【００３０】また、助燃ガス室１５及び該助燃ガス室１
５に助燃ガスを供給する助燃ガス配管への逆火を防止す
るため、助燃ガスノズル開口群３４から噴射される助燃
ガスの噴射速度を火炎の伝播速度より速くする。この火
炎の伝播速度は助燃ガスの燃料ガスの種類、予混合する
空気又は酸素の混合比、助燃ガスノズル開口群３４の形
状や配置等により決まる。また、助燃ガス噴射速度は助
燃ガスの供給圧力（ここでは助燃ガス室１５の内圧）や
助燃ガスノズル開口群３４の総開口断面積によって決ま
る。これらを考慮して、助燃ガス噴射速度が火炎の伝播
速度より速くなるように助燃ガスノズル開口群３４の総
開口断面積等を設定する。

【００３１】次に、本発明に係る燃焼式排ガス処理装置
の全体構成例及びその動作について説明する。図６及び
図７は排ガス処理装置の構成例を示す図で、図６は縦断
面図、図７は図６のＡ−Ａ断面図である。排ガス処理装
置は全体として円筒状の密閉容器として構成され、上段
のバーナ部１０と、中段の燃焼室（燃焼反応部）２０
と、下段に冷却部４０、排出部４１とを備えている。冷
却部４０の冷却媒体としては、例えば水等の液体や空気
等の気体を用いる。

【００３２】空気ノズル１７は図７に示すように、円筒
体１２の接線方向に対して所定の角度をもって延びてお
り、保炎部１１内に旋回流を形成するように吹出すよう
になっている。助燃ガスノズル１８も同様に、円筒体１
２の接線方向に対して所定の角度を持って延びており、
保炎部１１に旋回流を形成するように助燃ガスを吹出す
ようになっている。空気ノズル１７、助燃ガスノズル１
８は円筒体１２の円周方向に均等に配置されている。

【００３３】燃焼室２０は，バーナ部１０の後段で排ガ
スを酸化分解させる空間であり、金属等から形成された
気密な筒状の外側容器３５の内部に保炎部１１と連続す
るように配置された円筒状の内壁３６で区画されてい
る。この内壁３６は、例えば繊維強化セラミックによっ
て形成されている。また、内壁３６と外側容器３５の間
の空間３７’に、多孔質セラミック製の断熱材３７が挿
入されている。この外側容器３５には、空間３７’にパ
ージ用の空気を導入するパージ空気導入管３８が接続さ
れている。

【００３４】燃焼室２０の下部にある冷却部４０には下
縁部に複数のノズル４２が周方向に等間隔に設けられて
おり、このノズル４２から中心に向けて水を噴射するこ
とによって水カーテンを形成して、排ガスの冷却と排ガ
ス中の粒子の捕捉とを行うようになっている。排出部４
１の側壁には処理済の排ガスを排出する排気管４３が、
底部にはノズル４２より噴射された水を排出する排水ポ
ート４４が設けられている。

【００３５】上記構成の排ガス処理装置において、助燃
ガス室１５の助燃ガスを助燃ガスノズル１８を通して保
炎部１１に向けて旋回流を作り出す。そして、パイロッ
トバーナ３９により点火されると、円筒体（円筒）１２
内に旋回する燃焼火炎を形成する。一方、処理すべき排
ガスＧ１は、円筒体１２の頂部内壁面に開口する排ガス
流入管１６から保炎部１１に向けて噴出する。この噴出
された排ガスＧ１は助燃ガスの旋回流と混合して燃焼
し、更に燃焼室２０を通って加熱分解して除害処理さ
れ、ノズル４２からの水カーテンにより冷却され、排気
管４３から排出される。

【００３６】

【発明の効果】以上、説明したように各請求項に記載の
発明によれば下記のような優れた効果が得られる。

【００３７】請求項１に記載の発明によれば、燃焼火炎
の上流側に燃焼火炎を直視できる管又は孔を設けること
により、排ガス処理時のダスト等の副生成物が採光口を
塞いだり、ＵＶ吸収特性を持つ副生成物が反応部内に付
着しても採光の妨害になることはなく、ＵＶセンサは燃
焼火炎の存否を正しく検知することができる。また、バ
ーナ部側壁の比較的低温である燃焼火炎の上流側に該燃
焼火炎を直視できる管又は孔を設けることにより、採光
口部が高温により溶融したり腐食して、閉塞することも
ない。

【００３８】請求項２に記載の発明によれば、管又は孔
と接続部にＵＶ透光部材を配置して該ＵＶセンサをバー
ナ部内雰囲気から遮断し、該管又は孔内の該ＵＶ透光部
材からバーナ部側にパージ気体を流すことにより、副生
成物等により採光口が塞がれるということはなくなる。

【００３９】請求項３に記載の発明によれば、管又は孔
内の燃焼火炎からの光を光ファイバを介してＵＶセンサ
に伝送するので、スペースや耐熱性の問題等により管又
は孔の反バーナ部側端部にＵＶセンサを設置できない場
合等に、ＵＶセンサをスペースや耐熱性の問題のない場
所に設置することができる。

【００４０】請求項４に記載の発明によれば、３個以上
接近してノズル口群を形成するので、バーナ部内に導入
する排ガス流入量が変動しても燃焼火炎の吹き消え等を
防止することができる。

【００４１】請求項５に記載の発明によれば、ノズル口
から噴射される助燃ガス噴射速度を火炎の伝播速度より
速くすることにより、助燃ガス供給配管への逆火を防止
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る燃焼式排ガス処理装置のバーナ部
の構成例を示す図である。

【図２】本発明に係る燃焼式排ガス処理装置の火炎直視
管の取り付け構成例を示す図である。

【図３】本発明に係る燃焼式排ガス処理装置の火炎直視
管の取り付け構成例を示す図である。

【図４】本発明に係る燃焼式排ガス処理装置のバーナ部
の構成例を示す図である。

【図５】本発明に係る燃焼式排ガス処理装置の助燃ガス
ノズル開口群の構成例を示す図である。

【図６】本発明に係る燃焼式排ガス処理装置の全体構成
例を示す図である。

【図７】図６のＡ−Ａ断面図である。

【符号の説明】

１０バーナ部１１保炎部１２円筒体１３外筒１４空気室１５助燃ガス室１６排ガス流入管１７空気ノズル１８助燃ガスノズル２０燃焼室２１２次空気室２２仕切板２３２次空気ノズル２４燃焼火炎２５火炎直視管２６ＵＶセンサ２７接続部２８石英ガラス板２９シール部材３０パージガス導入管３１光ファイバ３３空気ノズル開口群３４助燃ガスノズル開口群３５外側容器３６内壁３７断熱材３７’ 空間３８パージ空気導入管３９パイロットバーナ４０冷却部４１排出部４２ノズル４３排気管４４排水ポート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者辻健東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内 (72)発明者中村力弥東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内 (72)発明者奥田和孝東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内 (72)発明者石川敬一東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内 (72)発明者大橋知範東京都大田区羽田旭町11番１号株式会社荏原製作所内 (72)発明者竹村與四郎神奈川県藤沢市本藤沢４丁目２番１号株式会社荏原総合研究所内Ｆターム(参考） 3K062 AA23 AB01 AC19 CA03 CB03 DA12 DB13 3K078 AA06 BA26 BA29 CA03 CA07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】バーナ部と、該バーナ部の下流側に燃焼
室を備え、前記バーナ部に助燃ガスを供給し、該バーナ
部より前記燃焼室に向けて燃焼火炎を形成し、該燃焼火
炎に排ガスを導入して、該排ガスを酸化分解させる燃焼
式排ガス処理装置において、前記バーナ部壁の前記燃焼火炎の上流側に該燃焼火炎を
直視できる管又は孔を設け、該管又は孔を通して前記燃
焼火炎を検知するＵＶセンサを設けたことを特徴とする
燃焼式排ガス処理装置。
【請求項２】請求項１に記載の燃焼式排ガス処理装置
において、前記燃焼火炎を直視できる管又は孔と前記ＵＶセンサの
接続部にＵＶ透光部材を配置して該ＵＶセンサを前記バ
ーナ部内雰囲気から遮断し、該管又は孔内の該ＵＶ透光
部材からバーナ部側にパージ気体を流すことを特徴とす
る燃焼式排ガス処理装置。
【請求項３】請求項１に記載の燃焼式排ガス処理装置
において、前記燃焼火炎を直視できる管又は孔の反バーナ部側端部
を閉塞し、該管又は孔内の燃焼火炎からの光を光ファイ
バを介して前記ＵＶセンサに伝送することを特徴とする
燃焼式排ガス処理装置。
【請求項４】バーナ部と、該バーナ部の下流側に燃焼
室を備え、前記バーナ部に助燃ガスを供給し、該バーナ
部より前記燃焼室に向けて燃焼火炎を形成し、該燃焼火
炎に排ガスを導入して、該排ガスを酸化分解させる燃焼
式排ガス処理装置において、前記バーナ部への助燃ガスの供給は、該バーナ部内壁面
に開口するノズル口を通して行い、該ノズル口は３個以
上接近してノズル口群を形成していることを特徴とする
燃焼式排ガス処理装置。
【請求項５】請求項４に記載の燃焼式排ガス処理装置
において、前記ノズル口群から噴射される助燃ガス噴射速度を火炎
の伝播速度より速くすることを特徴とする燃焼式排ガス
処理装置。