JP3460122B2 - 燃焼式除害装置及び燃焼式除害装置用バーナー - Google Patents
燃焼式除害装置及び燃焼式除害装置用バーナーInfo
- Publication number
- JP3460122B2 JP3460122B2 JP2000096599A JP2000096599A JP3460122B2 JP 3460122 B2 JP3460122 B2 JP 3460122B2 JP 2000096599 A JP2000096599 A JP 2000096599A JP 2000096599 A JP2000096599 A JP 2000096599A JP 3460122 B2 JP3460122 B2 JP 3460122B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- combustion
- gas
- nozzle
- fuel
- burner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Incineration Of Waste (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、燃焼式除害装置及
び燃焼式除害装置用バーナーに関し、詳しくは、半導体
やＬＣＤの製造装置から排出される排ガス等に含まれる
毒性ガス、腐食性ガス、可燃性ガス、支燃性ガス等の有
害ガスや地球環境に影響を及ぼす不燃性ガスを燃焼や熱
分解により除害処理して無害化する装置に関するととも
に、このような燃焼式除害装置のメインバーナーとして
用いるのに好適な構造を有するバーナーに関する。
び燃焼式除害装置用バーナーに関し、詳しくは、半導体
やＬＣＤの製造装置から排出される排ガス等に含まれる
毒性ガス、腐食性ガス、可燃性ガス、支燃性ガス等の有
害ガスや地球環境に影響を及ぼす不燃性ガスを燃焼や熱
分解により除害処理して無害化する装置に関するととも
に、このような燃焼式除害装置のメインバーナーとして
用いるのに好適な構造を有するバーナーに関する。
【０００２】
【従来の技術】工業プロセス、例えば、半導体やＬＣＤ
製造装置から排出される排ガス中には、毒性ガス、腐食
性ガス、可燃性ガス等の有害ガスが含まれるため、これ
らの有害成分の除害（無害化）処理を行ってから排ガス
を排出する必要がある。このような、排ガスの除害を行
うための装置の一つとして、燃焼式除害装置が知られて
いる。
製造装置から排出される排ガス中には、毒性ガス、腐食
性ガス、可燃性ガス等の有害ガスが含まれるため、これ
らの有害成分の除害（無害化）処理を行ってから排ガス
を排出する必要がある。このような、排ガスの除害を行
うための装置の一つとして、燃焼式除害装置が知られて
いる。
【０００３】この燃焼式除害装置は、燃焼筒内に導入さ
れた排ガス中に含まれる各種有害成分を、燃焼筒内でメ
インバーナーの火炎によって燃焼させたり、熱分解させ
たりして除害処理を行うもので、その一例は、特開平１
０−１１０９２６号公報に開示されている。この公報に
開示されている燃焼式除害装置のメインバーナーは、前
記排ガスを噴出する被処理ガスノズルと、不活性ガスを
噴出するリフトガスノズルと、前記排ガス中の可燃成分
を燃焼させる支燃性ガスを噴出する被処理ガス燃焼用支
燃性ガスノズルと、燃料ガスを燃焼させる支燃性ガスを
噴出する燃料ガス燃焼用支燃性ガスノズルと、燃料ガス
を噴出する燃料ガスノズルとを、中心から外周にわたっ
て順に同心状に形成した多重管型バーナーである。
れた排ガス中に含まれる各種有害成分を、燃焼筒内でメ
インバーナーの火炎によって燃焼させたり、熱分解させ
たりして除害処理を行うもので、その一例は、特開平１
０−１１０９２６号公報に開示されている。この公報に
開示されている燃焼式除害装置のメインバーナーは、前
記排ガスを噴出する被処理ガスノズルと、不活性ガスを
噴出するリフトガスノズルと、前記排ガス中の可燃成分
を燃焼させる支燃性ガスを噴出する被処理ガス燃焼用支
燃性ガスノズルと、燃料ガスを燃焼させる支燃性ガスを
噴出する燃料ガス燃焼用支燃性ガスノズルと、燃料ガス
を噴出する燃料ガスノズルとを、中心から外周にわたっ
て順に同心状に形成した多重管型バーナーである。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この例示した多重管型
バーナーを備えた燃焼式除害装置は、可燃性又は支燃性
等の燃焼しやすいガスを対象としているため、ＳｉＨ４
等の易燃焼性の有害ガスは、許容濃度以下に燃焼処理さ
れて、無害化することができた。ところが、Ｃ２Ｆ６等
の地球環境に影響を及ぼす分解温度の高い不燃性及び難
燃性のガスは、ほとんど分解燃焼できないことが判明し
た。
バーナーを備えた燃焼式除害装置は、可燃性又は支燃性
等の燃焼しやすいガスを対象としているため、ＳｉＨ４
等の易燃焼性の有害ガスは、許容濃度以下に燃焼処理さ
れて、無害化することができた。ところが、Ｃ２Ｆ６等
の地球環境に影響を及ぼす分解温度の高い不燃性及び難
燃性のガスは、ほとんど分解燃焼できないことが判明し
た。
【０００５】そこで本発明は、ＳｉＨ４等の可燃性有害
ガス及びＮＦ３等の支燃性有害ガスを許容濃度以下まで
燃焼処理でき、かつ、Ｃ２Ｆ６等の地球環境に影響を及
ぼす不燃性ガスを分解燃焼できる燃焼式除害装置を提供
することを目的としている。また、本発明は、燃焼生成
物の燃焼筒内面への付着を防止して、長時間にわたって
燃焼処理が行えることを目的としている。さらに、本発
明は、燃焼式除害装置において各種有害成分を燃焼及び
／又は分解させのに好適な火炎を形成することができる
バーナーを提供することを目的としている。
ガス及びＮＦ３等の支燃性有害ガスを許容濃度以下まで
燃焼処理でき、かつ、Ｃ２Ｆ６等の地球環境に影響を及
ぼす不燃性ガスを分解燃焼できる燃焼式除害装置を提供
することを目的としている。また、本発明は、燃焼生成
物の燃焼筒内面への付着を防止して、長時間にわたって
燃焼処理が行えることを目的としている。さらに、本発
明は、燃焼式除害装置において各種有害成分を燃焼及び
／又は分解させのに好適な火炎を形成することができる
バーナーを提供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の燃焼式除害装置は、一端が蓋体によって閉
塞され、他端開口が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記
閉塞された一端から燃焼筒内に被処理ガスを導入する被
処理ガス導入ノズルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガス
を燃焼及び／又は熱分解するための火炎を形成するメイ
ンバーナーと、該メインバーナーを着火させるパイロッ
トバーナーとを備えた燃焼式除害装置であって、第１の
構成は、前記メインバーナーが、内周面にＶ字状の周溝
を形成した環状体であり、該Ｖ字状の周溝を形成する一
方の面に前記燃料ガス噴出ノズルが、他方の面に前記燃
料燃焼用支燃性ガス噴出ノズルがそれぞれ開口し、両噴
出ノズルのノズル軸が燃焼筒内で交差していることを特
徴としている。
め、本発明の燃焼式除害装置は、一端が蓋体によって閉
塞され、他端開口が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記
閉塞された一端から燃焼筒内に被処理ガスを導入する被
処理ガス導入ノズルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガス
を燃焼及び／又は熱分解するための火炎を形成するメイ
ンバーナーと、該メインバーナーを着火させるパイロッ
トバーナーとを備えた燃焼式除害装置であって、第１の
構成は、前記メインバーナーが、内周面にＶ字状の周溝
を形成した環状体であり、該Ｖ字状の周溝を形成する一
方の面に前記燃料ガス噴出ノズルが、他方の面に前記燃
料燃焼用支燃性ガス噴出ノズルがそれぞれ開口し、両噴
出ノズルのノズル軸が燃焼筒内で交差していることを特
徴としている。
【０００７】また、本発明の燃焼式除害装置の第２の構
成は、除害装置における前記メインバーナーが、内周面
に燃料ガス噴出ノズル及び燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノ
ズルを有する環状体であり、前記燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給する管路に、
ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管が設けられ
ていることを特徴としている。
成は、除害装置における前記メインバーナーが、内周面
に燃料ガス噴出ノズル及び燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノ
ズルを有する環状体であり、前記燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給する管路に、
ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管が設けられ
ていることを特徴としている。
【０００８】本発明の第３の構成は、一端が蓋体によっ
て閉塞され、他端開口が冷却筒内に連通する燃焼筒と、
前記閉塞された一端から燃焼筒内に被処理ガスを導入す
る被処理ガス導入ノズルと、前記燃焼筒内で前記被処理
ガスを燃焼及び／又は熱分解するための火炎を形成する
メインバーナーと、該メインバーナーを着火させるパイ
ロットバーナーとを備えた燃焼式除害装置であって、前
記メインバーナーは、内周面に燃料ガス噴出ノズル及び
燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズルを有する環状体であ
り、前記燃焼筒は、軸方向に配設した周壁体と、前記メ
インバーナーとで形成され、少なくとも、該メインバー
ナーよりも下流の周壁体は、多孔質材料で形成された内
壁を有する二重壁構造に形成され、該二重壁構造に形成
された周壁体の外壁には、前記内壁を通じて燃焼筒内に
噴出される被処理ガス酸化用支燃性ガスを前記二重壁間
に供給する酸化用支燃性ガス供給管が接続されているこ
とを特徴としている。
て閉塞され、他端開口が冷却筒内に連通する燃焼筒と、
前記閉塞された一端から燃焼筒内に被処理ガスを導入す
る被処理ガス導入ノズルと、前記燃焼筒内で前記被処理
ガスを燃焼及び／又は熱分解するための火炎を形成する
メインバーナーと、該メインバーナーを着火させるパイ
ロットバーナーとを備えた燃焼式除害装置であって、前
記メインバーナーは、内周面に燃料ガス噴出ノズル及び
燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズルを有する環状体であ
り、前記燃焼筒は、軸方向に配設した周壁体と、前記メ
インバーナーとで形成され、少なくとも、該メインバー
ナーよりも下流の周壁体は、多孔質材料で形成された内
壁を有する二重壁構造に形成され、該二重壁構造に形成
された周壁体の外壁には、前記内壁を通じて燃焼筒内に
噴出される被処理ガス酸化用支燃性ガスを前記二重壁間
に供給する酸化用支燃性ガス供給管が接続されているこ
とを特徴としている。
【０００９】さらに、上記第３の構成において、前記メ
インバーナーが、内周面がＶ字状の周溝に形成され、該
Ｖ字状の周溝を形成する一方の面に前記燃料ガス噴出ノ
ズルが、他方の面に前記燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ルがそれぞれ開口し、両噴出ノズルのノズル軸が燃焼筒
内で交差しているものであること、前記メインバーナー
の燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性
ガスを供給する管路に、ノズル洗浄液を供給するノズル
洗浄液供給管が設けられていること、前記燃焼筒のメイ
ンバーナーよりも上流側の周壁体は、前記被処理ガス酸
化用支燃性ガスが燃焼筒内に供給されない構造であるこ
とを特徴としている。さらに、前記被処理ガス酸化用支
燃性ガスは、空気、空気と酸素との混合ガス、あるい
は、酸素ガスのいずれかが好ましく、前記燃料ガスは、
炭化水素又は水素ガスのいずれかであることが好まし
い。
インバーナーが、内周面がＶ字状の周溝に形成され、該
Ｖ字状の周溝を形成する一方の面に前記燃料ガス噴出ノ
ズルが、他方の面に前記燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ルがそれぞれ開口し、両噴出ノズルのノズル軸が燃焼筒
内で交差しているものであること、前記メインバーナー
の燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性
ガスを供給する管路に、ノズル洗浄液を供給するノズル
洗浄液供給管が設けられていること、前記燃焼筒のメイ
ンバーナーよりも上流側の周壁体は、前記被処理ガス酸
化用支燃性ガスが燃焼筒内に供給されない構造であるこ
とを特徴としている。さらに、前記被処理ガス酸化用支
燃性ガスは、空気、空気と酸素との混合ガス、あるい
は、酸素ガスのいずれかが好ましく、前記燃料ガスは、
炭化水素又は水素ガスのいずれかであることが好まし
い。
【００１０】また、本発明の燃焼式除害装置用バーナー
は、一端が蓋体によって閉塞され、他端開口が冷却筒内
に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端から燃焼筒内
に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズルと、前記
燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は熱分解する
ための火炎を形成するメインバーナーと、該メインバー
ナーを着火させるパイロットバーナーとを備えた燃焼式
除害装置の前記メインバーナーとして用いるのに好適な
バーナーであって、内周面にＶ字状の周溝が形成された
環状体からなり、該Ｖ字状の周溝を形成する一方の面に
燃料ガス噴出ノズルが、他方の面に燃料燃焼用支燃性ガ
ス噴出ノズルがそれぞれ開口し、両噴出ノズルのノズル
軸が前記燃焼筒内で交差していることを特徴としてい
る。
は、一端が蓋体によって閉塞され、他端開口が冷却筒内
に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端から燃焼筒内
に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズルと、前記
燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は熱分解する
ための火炎を形成するメインバーナーと、該メインバー
ナーを着火させるパイロットバーナーとを備えた燃焼式
除害装置の前記メインバーナーとして用いるのに好適な
バーナーであって、内周面にＶ字状の周溝が形成された
環状体からなり、該Ｖ字状の周溝を形成する一方の面に
燃料ガス噴出ノズルが、他方の面に燃料燃焼用支燃性ガ
ス噴出ノズルがそれぞれ開口し、両噴出ノズルのノズル
軸が前記燃焼筒内で交差していることを特徴としてい
る。
【００１１】さらに、燃焼式除害装置用バーナーの他の
構成は、燃料ガス噴出ノズルと燃料燃焼用支燃性ガス噴
出ノズルとを備えるとともに、該燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給する管路に、
ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管が設けられ
ていることを特徴としている。
構成は、燃料ガス噴出ノズルと燃料燃焼用支燃性ガス噴
出ノズルとを備えるとともに、該燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給する管路に、
ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管が設けられ
ていることを特徴としている。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１形態例を図１
乃至図５に基づいてさらに詳しく説明する。本発明の原
理は、高温火炎中に被処理ガスを直に導入して燃焼及び
／又は分解燃焼させるものである。
乃至図５に基づいてさらに詳しく説明する。本発明の原
理は、高温火炎中に被処理ガスを直に導入して燃焼及び
／又は分解燃焼させるものである。
【００１３】本形態例に係る燃焼式除害装置は、図１に
示されるように、一端（上端）が蓋体１によって閉塞さ
れ、他端（下端）開口が冷却筒２内に連通する燃焼筒３
と、前記蓋体１に取付けられて、燃焼筒３内に被処理ガ
ス（例えば、半導体やＬＣＤの製造装置から排出される
排ガス）を導入する被処理ガス導入ノズル４と、前記燃
焼筒３内で被処理ガスを燃焼及び／又は熱分解するため
の火炎を形成するメインバーナー５と、前記蓋体１の中
心に取付けられて、該メインバーナー５を着火させるパ
イロットバーナー６とを備えている。
示されるように、一端（上端）が蓋体１によって閉塞さ
れ、他端（下端）開口が冷却筒２内に連通する燃焼筒３
と、前記蓋体１に取付けられて、燃焼筒３内に被処理ガ
ス（例えば、半導体やＬＣＤの製造装置から排出される
排ガス）を導入する被処理ガス導入ノズル４と、前記燃
焼筒３内で被処理ガスを燃焼及び／又は熱分解するため
の火炎を形成するメインバーナー５と、前記蓋体１の中
心に取付けられて、該メインバーナー５を着火させるパ
イロットバーナー６とを備えている。
【００１４】前記メインバーナー５は、図２及び図３に
示すように、内周面がＶ字状の周溝に形成された環状体
であって、該Ｖ字状の周溝を形成する一方の面に燃料ガ
ス噴出ノズル５１が、他方の面に燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズル５２がそれぞれ開口し、両噴出ノズル５１，
５２のノズル軸は、該バーナー５の中心方向に向けられ
るとともに、燃焼筒３内で交差している。また、両噴出
ノズル５１，５２の径及び数は、特に制限されるもので
はなく、被処理ガスの燃焼に必要な熱量により決定すれ
ばよいが、本形態例の両噴出ノズル５１，５２は、周方
向に５度の等間隔で各７２孔形成されている。さらに、
噴出ノズル５１，５２は、該バーナー５内に形成された
環状空間部５３，５４にそれぞれ連通している。環状空
間部５３には燃料ガス供給管５５が、環状空間部５４に
は燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６がそれぞれ連通して
いる。
示すように、内周面がＶ字状の周溝に形成された環状体
であって、該Ｖ字状の周溝を形成する一方の面に燃料ガ
ス噴出ノズル５１が、他方の面に燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズル５２がそれぞれ開口し、両噴出ノズル５１，
５２のノズル軸は、該バーナー５の中心方向に向けられ
るとともに、燃焼筒３内で交差している。また、両噴出
ノズル５１，５２の径及び数は、特に制限されるもので
はなく、被処理ガスの燃焼に必要な熱量により決定すれ
ばよいが、本形態例の両噴出ノズル５１，５２は、周方
向に５度の等間隔で各７２孔形成されている。さらに、
噴出ノズル５１，５２は、該バーナー５内に形成された
環状空間部５３，５４にそれぞれ連通している。環状空
間部５３には燃料ガス供給管５５が、環状空間部５４に
は燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６がそれぞれ連通して
いる。
【００１５】前記燃料ガス供給管５５から供給される燃
料ガスとしては、ＬＰＧのような炭化水素や、水素ガス
が用いられ、前記燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６から
供給される支燃性ガスとしては、空気、空気と酸素ガス
との混合ガス、あるいは、酸素ガスのいずれかが用いら
れる。前記燃料ガス噴出ノズル５１から噴出する燃料ガ
ス及び燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２から噴出す
る支燃性ガスは、燃焼筒３内の径方向中心に向かうに連
れて拡散しながら交差することにより効率よく混合し、
パイロットバーナー６のパイロット火炎にて着火し、燃
焼筒３内を径方向に横切る平面状の高温火炎を形成す
る。このような平面状の火炎を形成することにより、被
処理ガスが必ず火炎を横切るので、確実な燃焼及び／又
は熱分解を行うことができる。
料ガスとしては、ＬＰＧのような炭化水素や、水素ガス
が用いられ、前記燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６から
供給される支燃性ガスとしては、空気、空気と酸素ガス
との混合ガス、あるいは、酸素ガスのいずれかが用いら
れる。前記燃料ガス噴出ノズル５１から噴出する燃料ガ
ス及び燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２から噴出す
る支燃性ガスは、燃焼筒３内の径方向中心に向かうに連
れて拡散しながら交差することにより効率よく混合し、
パイロットバーナー６のパイロット火炎にて着火し、燃
焼筒３内を径方向に横切る平面状の高温火炎を形成す
る。このような平面状の火炎を形成することにより、被
処理ガスが必ず火炎を横切るので、確実な燃焼及び／又
は熱分解を行うことができる。
【００１６】なお、本形態例では、メインバーナー５の
内周面をＶ字状の周溝に形成して、燃料ガス噴出ノズル
５１と燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２とを、それ
ぞれのノズル軸が交差するように設けたが、内周面を平
面状に形成し、燃料ガス噴出ノズル５１と燃料燃焼用支
燃性ガス噴出ノズル５２とをバーナー中心方向に平行に
設けるようにしてもよく、外方に凸の曲面としてもよ
い。このように、燃料ガス及び燃料燃焼用支燃性ガスを
それぞれ別のノズルから噴出するように設けることによ
り、高熱量を得ようとする場合等に支燃性ガス中の酸素
濃度が高くても逆火が起こらず安全である。また、メイ
ンバーナー５の使用個数に制限はないが、燃焼効率向上
のため２個以上設けることが好ましい。
内周面をＶ字状の周溝に形成して、燃料ガス噴出ノズル
５１と燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２とを、それ
ぞれのノズル軸が交差するように設けたが、内周面を平
面状に形成し、燃料ガス噴出ノズル５１と燃料燃焼用支
燃性ガス噴出ノズル５２とをバーナー中心方向に平行に
設けるようにしてもよく、外方に凸の曲面としてもよ
い。このように、燃料ガス及び燃料燃焼用支燃性ガスを
それぞれ別のノズルから噴出するように設けることによ
り、高熱量を得ようとする場合等に支燃性ガス中の酸素
濃度が高くても逆火が起こらず安全である。また、メイ
ンバーナー５の使用個数に制限はないが、燃焼効率向上
のため２個以上設けることが好ましい。
【００１７】前記パイロットバーナー６には、例えば、
ＬＰＧ（燃料ガス）と空気（支燃性ガス）との混合ガス
が供給される。また、パイロットバーナー６は、そのパ
イロット火炎の先端がメインバーナー５の設置レベル位
置に届くように設定する。前記被処理ガス導入ノズル４
は、１個以上あればよく、本形態例では、全部は図示さ
れていないが、４個設けられている。
ＬＰＧ（燃料ガス）と空気（支燃性ガス）との混合ガス
が供給される。また、パイロットバーナー６は、そのパ
イロット火炎の先端がメインバーナー５の設置レベル位
置に届くように設定する。前記被処理ガス導入ノズル４
は、１個以上あればよく、本形態例では、全部は図示さ
れていないが、４個設けられている。
【００１８】前記燃焼筒３は、一端から他端（上流側か
ら下流側）に向かって配設した３つの周壁体３１，３
２，３３と、周壁体３１，３２間及び周壁体３２，３３
間に狭持されたメインバーナー５，５とで形成されてい
る。
ら下流側）に向かって配設した３つの周壁体３１，３
２，３３と、周壁体３１，３２間及び周壁体３２，３３
間に狭持されたメインバーナー５，５とで形成されてい
る。
【００１９】上流側のメインバーナー５より下流側の周
壁体３２，３３は、図４及び図５に示す如く、内壁３４
を被処理ガス酸化用支燃性ガスが通過する多孔質材料、
例えば、焼結金属で形成した同軸二重壁構造であって、
外壁３５には、内壁３４を通じて燃焼筒３内に被処理ガ
ス酸化用支燃性ガスを噴出させるために、前記二重壁間
３６に該支燃性ガスを供給するための酸化用支燃性ガス
供給管３７が接続されている。このように、周壁体３
２，３３の内壁３４を多孔質材料で形成することによ
り、ＳｉＨ４の燃焼やＣ２Ｆ６の分解燃焼用の酸化ガス
となる被処理ガス酸化用支燃性ガスが該内壁３４を通じ
て噴出し、例えば、ＳｉＨ４の燃焼により生成するＳｉ
Ｏ２粉末の内壁３４への付着を防止する。
壁体３２，３３は、図４及び図５に示す如く、内壁３４
を被処理ガス酸化用支燃性ガスが通過する多孔質材料、
例えば、焼結金属で形成した同軸二重壁構造であって、
外壁３５には、内壁３４を通じて燃焼筒３内に被処理ガ
ス酸化用支燃性ガスを噴出させるために、前記二重壁間
３６に該支燃性ガスを供給するための酸化用支燃性ガス
供給管３７が接続されている。このように、周壁体３
２，３３の内壁３４を多孔質材料で形成することによ
り、ＳｉＨ４の燃焼やＣ２Ｆ６の分解燃焼用の酸化ガス
となる被処理ガス酸化用支燃性ガスが該内壁３４を通じ
て噴出し、例えば、ＳｉＨ４の燃焼により生成するＳｉ
Ｏ２粉末の内壁３４への付着を防止する。
【００２０】また、メインバーナー５の燃焼により内壁
３１の温度が、内壁３４に使用している多孔質材料の耐
熱温度以上になる場合等には、内壁３４の内側に、本形
態例の如く、セラミックフォーム等の耐熱性多孔質材料
からなる断熱体７を組込んでもよい。前記被処理ガス酸
化用支燃性ガスは、空気、空気及び酸素ガスの混合ガ
ス、又は酸素ガスのいずれかが用いられる。なお、３８
は被処理ガス酸化用支燃性ガス拡散用の邪魔板、３９は
燃焼筒３内の温度測定用ポートである。
３１の温度が、内壁３４に使用している多孔質材料の耐
熱温度以上になる場合等には、内壁３４の内側に、本形
態例の如く、セラミックフォーム等の耐熱性多孔質材料
からなる断熱体７を組込んでもよい。前記被処理ガス酸
化用支燃性ガスは、空気、空気及び酸素ガスの混合ガ
ス、又は酸素ガスのいずれかが用いられる。なお、３８
は被処理ガス酸化用支燃性ガス拡散用の邪魔板、３９は
燃焼筒３内の温度測定用ポートである。
【００２１】前記蓋体１と該蓋体１に最も隣接する上流
側のメインバーナー５との間の周壁体３１は、燃焼筒３
内に導入された被処理ガスがメインバーナー５の火炎に
触れる前の位置に配設されているから、例えばＳｉＯ２
粉末の成長が少なく、内壁面への粉末の付着も少ない。
このため、周壁体３１は、前記被処理ガス酸化用支燃性
ガスが燃焼筒３内に供給されない構造とすることができ
る。すなわち、一重壁構造、又は、本形態例の如く、内
壁３４ａが通常の金属で形成された二重壁構造であって
もよい。
側のメインバーナー５との間の周壁体３１は、燃焼筒３
内に導入された被処理ガスがメインバーナー５の火炎に
触れる前の位置に配設されているから、例えばＳｉＯ２
粉末の成長が少なく、内壁面への粉末の付着も少ない。
このため、周壁体３１は、前記被処理ガス酸化用支燃性
ガスが燃焼筒３内に供給されない構造とすることができ
る。すなわち、一重壁構造、又は、本形態例の如く、内
壁３４ａが通常の金属で形成された二重壁構造であって
もよい。
【００２２】なお、例えば、被処理ガス中に酸素ガスが
含まれていると、被処理ガス中に含まれている、例え
ば、ＳｉＨ４が被処理ガス導入ノズル４内で燃焼して、
該ノズル４の先端にＳｉＯ２粉末が付着成長する。この
ような場合には、内壁３４ａを焼結金属などの多孔質材
料で構成し、二重壁間３６ａに不活性ガスを供給し、多
孔質の内壁３４ａから燃焼筒３内に不活性ガスを噴出さ
せることにより、ノズル４の先端へのＳｉＯ２粉末の付
着を防止するようにしてもよい。
含まれていると、被処理ガス中に含まれている、例え
ば、ＳｉＨ４が被処理ガス導入ノズル４内で燃焼して、
該ノズル４の先端にＳｉＯ２粉末が付着成長する。この
ような場合には、内壁３４ａを焼結金属などの多孔質材
料で構成し、二重壁間３６ａに不活性ガスを供給し、多
孔質の内壁３４ａから燃焼筒３内に不活性ガスを噴出さ
せることにより、ノズル４の先端へのＳｉＯ２粉末の付
着を防止するようにしてもよい。
【００２３】燃焼筒３の他端は、冷却筒２の有底筒状の
冷却室２１の上部開口に接続している。この冷却筒２
は、前記冷却室２１と、該冷却室２１の周壁に接続する
冷却ガス導入管２２と、該導入管２２と対向する周壁に
接続する処理済ガス排出管２３とを有し、該排出管２３
は、例えば、処理済ガスを洗浄処理する等のスクラバー
（図示せず）に接続している。前記燃焼筒３は、その軸
方向が冷却筒２の冷却ガス流方向に直交するよう設けら
れている。
冷却室２１の上部開口に接続している。この冷却筒２
は、前記冷却室２１と、該冷却室２１の周壁に接続する
冷却ガス導入管２２と、該導入管２２と対向する周壁に
接続する処理済ガス排出管２３とを有し、該排出管２３
は、例えば、処理済ガスを洗浄処理する等のスクラバー
（図示せず）に接続している。前記燃焼筒３は、その軸
方向が冷却筒２の冷却ガス流方向に直交するよう設けら
れている。
【００２４】そして、燃焼筒３内に導入された被処理ガ
スは、処理済ガス排出管２３側に接続されているブロワ
ー（図示せず）の吸引作用により、燃焼筒３内を冷却筒
２に向かって流れ、その間にメインバーナー５の平面状
の高温火炎を通過して、被処理ガス中の有害成分が燃焼
及び／又は熱分解し、前記吸引作用によって冷却ガス導
入管２２から冷却室２１内に流入した冷却空気と合流し
て冷却され、処理済ガス排出管２３から冷却空気と共に
排出される。
スは、処理済ガス排出管２３側に接続されているブロワ
ー（図示せず）の吸引作用により、燃焼筒３内を冷却筒
２に向かって流れ、その間にメインバーナー５の平面状
の高温火炎を通過して、被処理ガス中の有害成分が燃焼
及び／又は熱分解し、前記吸引作用によって冷却ガス導
入管２２から冷却室２１内に流入した冷却空気と合流し
て冷却され、処理済ガス排出管２３から冷却空気と共に
排出される。
【００２５】図６は本発明の第２形態例を燃焼式除害装
置の縦断面図である。なお、以下の説明において、前記
第１形態例の構成要素と同一の構成要素には同一の符号
を付して詳細な説明は省略する。
置の縦断面図である。なお、以下の説明において、前記
第１形態例の構成要素と同一の構成要素には同一の符号
を付して詳細な説明は省略する。
【００２６】本形態例に示す燃焼筒３は、前記形態例と
同様に、２つのメインバーナー５，５と、このメインバ
ーナー５を挟持するように設けられた３つの周壁体３８
とにより形成されている。各周壁体３８は、内部にガス
通路３８ａを有する二重壁構造で形成されており、周壁
体外壁には冷却ガス導入管３９と冷却ガス導出管（図示
せず）とがそれぞれ接続されている。この周壁体３８
は、冷却ガス導入管３９からガス通路３８ａに空気等の
ガスを導入して冷却ガス導出管から導出することによ
り、周壁体内壁の温度上昇を防止するようにしている。
同様に、２つのメインバーナー５，５と、このメインバ
ーナー５を挟持するように設けられた３つの周壁体３８
とにより形成されている。各周壁体３８は、内部にガス
通路３８ａを有する二重壁構造で形成されており、周壁
体外壁には冷却ガス導入管３９と冷却ガス導出管（図示
せず）とがそれぞれ接続されている。この周壁体３８
は、冷却ガス導入管３９からガス通路３８ａに空気等の
ガスを導入して冷却ガス導出管から導出することによ
り、周壁体内壁の温度上昇を防止するようにしている。
【００２７】また、冷却ガスとして前記支燃性ガスを使
用し、ガス通路３８ａに導入されて周壁体内壁との熱交
換で昇温し、冷却ガス導出管から導出された高温の冷却
ガスを前記燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６に供給して
前記メインバーナー５の燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ル５２から噴出させることにより、メインバーナー５の
火炎温度を上昇させることができ、より効果的な燃焼除
害を行うことができる。
用し、ガス通路３８ａに導入されて周壁体内壁との熱交
換で昇温し、冷却ガス導出管から導出された高温の冷却
ガスを前記燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６に供給して
前記メインバーナー５の燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ル５２から噴出させることにより、メインバーナー５の
火炎温度を上昇させることができ、より効果的な燃焼除
害を行うことができる。
【００２８】さらに、本形態例に示すメインバーナー５
では、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２に支燃性ガ
スを供給する前記燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６に、
ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管５７を接続
している。ノズル洗浄液は、メインバーナー５のノズル
部に付着したＳｉＯ２等の粉末を洗い流すためのもので
あって、例えば、水やアルカリ水溶液等の液体を、付着
物の性状に合わせて選択することができる。
では、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２に支燃性ガ
スを供給する前記燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６に、
ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管５７を接続
している。ノズル洗浄液は、メインバーナー５のノズル
部に付着したＳｉＯ２等の粉末を洗い流すためのもので
あって、例えば、水やアルカリ水溶液等の液体を、付着
物の性状に合わせて選択することができる。
【００２９】このようにノズル洗浄液供給管５７を接続
しておくことにより、長時間の運転でメインバーナー５
の内周面やノズル先端部に粉末が付着しても、燃料燃焼
用支燃性ガス供給管５６の弁５６Ｖを閉じてノズル洗浄
液供給管５７の弁５７Ｖを開き、燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズル５２にノズル洗浄液を供給することにより、
燃焼筒３を分解することなく、メインバーナー５の内周
面に付着した粉末を洗浄除去することができる。これに
より、保守に要するコストを大幅に低減することができ
る。また、既存の燃焼式除害装置にも配管の増設だけで
簡単に適用することができる。
しておくことにより、長時間の運転でメインバーナー５
の内周面やノズル先端部に粉末が付着しても、燃料燃焼
用支燃性ガス供給管５６の弁５６Ｖを閉じてノズル洗浄
液供給管５７の弁５７Ｖを開き、燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズル５２にノズル洗浄液を供給することにより、
燃焼筒３を分解することなく、メインバーナー５の内周
面に付着した粉末を洗浄除去することができる。これに
より、保守に要するコストを大幅に低減することができ
る。また、既存の燃焼式除害装置にも配管の増設だけで
簡単に適用することができる。
【００３０】なお、ノズル洗浄液で洗浄した後は、弁５
６Ｖ，５７Ｖを切換えて燃料燃焼用支燃性ガス供給管５
６に支燃性ガスを流し、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ル５２内からノズル洗浄液を排出すればよいが、支燃性
ガスとして酸素ガスのような高価なガスを使用している
場合は、弁５８Ｖを設けたパージガス導入管５８を燃料
燃焼用支燃性ガス供給管５６に接続しておき、このパー
ジガス導入管５８からパージガスとして安価なガス、例
えば圧縮空気等を高速流で、あるいは高温で供給するこ
とにより、ノズル洗浄液を経済的にかつ効率よくパージ
することができる。また、洗浄液と空気等とを混合した
状態で噴出させることもできる。
６Ｖ，５７Ｖを切換えて燃料燃焼用支燃性ガス供給管５
６に支燃性ガスを流し、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ル５２内からノズル洗浄液を排出すればよいが、支燃性
ガスとして酸素ガスのような高価なガスを使用している
場合は、弁５８Ｖを設けたパージガス導入管５８を燃料
燃焼用支燃性ガス供給管５６に接続しておき、このパー
ジガス導入管５８からパージガスとして安価なガス、例
えば圧縮空気等を高速流で、あるいは高温で供給するこ
とにより、ノズル洗浄液を経済的にかつ効率よくパージ
することができる。また、洗浄液と空気等とを混合した
状態で噴出させることもできる。
【００３１】また、このようなノズル洗浄液供給管は、
燃料ガス供給管５５に接続しておくことも可能である
が、安全性を考慮すると、上述のように燃料燃焼用支燃
性ガス供給管５６に接続しておくことが好ましい。
燃料ガス供給管５５に接続しておくことも可能である
が、安全性を考慮すると、上述のように燃料燃焼用支燃
性ガス供給管５６に接続しておくことが好ましい。
【００３２】
【実施例】実施例１
図１〜５に示す構成の燃焼式除害装置を使用した。メイ
ンバーナー５は、外径３５０ｍｍ，内径１５５ｍｍ，厚
さ１６ｍｍのステンレス製で、ドーナツ形状をしてい
る。該バーナー５の燃料ガス噴出ノズル５１の孔径は
１．６ｍｍで、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２の
孔径は２．２ｍｍで、孔数は各７２孔である。また、両
ガス噴出面のＶ字溝の角度は４０度で、両噴出ノズル５
１，５２のノズル軸は、燃焼筒３内で交差するように、
それぞれ水平面に対して５度傾いている。
ンバーナー５は、外径３５０ｍｍ，内径１５５ｍｍ，厚
さ１６ｍｍのステンレス製で、ドーナツ形状をしてい
る。該バーナー５の燃料ガス噴出ノズル５１の孔径は
１．６ｍｍで、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル５２の
孔径は２．２ｍｍで、孔数は各７２孔である。また、両
ガス噴出面のＶ字溝の角度は４０度で、両噴出ノズル５
１，５２のノズル軸は、燃焼筒３内で交差するように、
それぞれ水平面に対して５度傾いている。
【００３３】上流側のメインバーナーより下流側の周壁
体３２，３３は、外径２００ｍｍ，厚さ３ｍｍのステン
レス製焼結金属を内壁３ｅに、外径２６７．４ｍｍのス
テンレス鋼を外壁３ｆに用いた二重壁構造であり、各周
壁体３２，３３の長さは８４ｍｍである。また、焼結金
属製内壁３４の内側には、断熱体７として外径２００ｍ
ｍ，内径１５０ｍｍのセラミックフォーム（（株）ブリ
ジストン製）を組込んだ。上流側のメインバーナー５よ
り上流に位置する周壁体３１は、外径２６７．４ｍｍ及
び２１６．３ｍｍのステンレス鋼を、それぞれ外壁及び
内壁３４ａに用いた二重壁構造である。
体３２，３３は、外径２００ｍｍ，厚さ３ｍｍのステン
レス製焼結金属を内壁３ｅに、外径２６７．４ｍｍのス
テンレス鋼を外壁３ｆに用いた二重壁構造であり、各周
壁体３２，３３の長さは８４ｍｍである。また、焼結金
属製内壁３４の内側には、断熱体７として外径２００ｍ
ｍ，内径１５０ｍｍのセラミックフォーム（（株）ブリ
ジストン製）を組込んだ。上流側のメインバーナー５よ
り上流に位置する周壁体３１は、外径２６７．４ｍｍ及
び２１６．３ｍｍのステンレス鋼を、それぞれ外壁及び
内壁３４ａに用いた二重壁構造である。
【００３４】冷却筒２の冷却室２１は、外径２６７．４
ｍｍ，内径２６０．６ｍｍ，高さ１７０ｍｍ、冷却ガス
導入管２２及び処理済ガス排出管２３は、外径１１４．
３ｍｍ，内径１１０．１ｍｍであり、冷却筒２の冷却空
気の流量は毎分１６０００リットル，流速は毎秒２８ｍ
とした。
ｍｍ，内径２６０．６ｍｍ，高さ１７０ｍｍ、冷却ガス
導入管２２及び処理済ガス排出管２３は、外径１１４．
３ｍｍ，内径１１０．１ｍｍであり、冷却筒２の冷却空
気の流量は毎分１６０００リットル，流速は毎秒２８ｍ
とした。
【００３５】パイロットバーナー６は（株）ナイガイの
ＰＰ−２−Ｌを使用し、このパイロットバーナーに、毎
分３リットルのＬＰＧ（燃料ガス）と毎分６２．５リッ
トルの空気（燃料燃焼用の支燃性ガス）の混合ガス供給
し、付属のスパークロッドにより点火した。
ＰＰ−２−Ｌを使用し、このパイロットバーナーに、毎
分３リットルのＬＰＧ（燃料ガス）と毎分６２．５リッ
トルの空気（燃料燃焼用の支燃性ガス）の混合ガス供給
し、付属のスパークロッドにより点火した。
【００３６】被処理ガス導入ノズル４は、外径４２．７
ｍｍのものを４つ用い、各ノズル４に、毎分５０リット
ルのＮ２、すなわち、合計毎分２００リットルのＮ２を
供給して燃焼筒３内に導入するとともに、周壁体３２，
３３の二重壁間３６には、それぞれ標準状態（０℃、１
気圧）換算で毎分３００リットルの空気（内壁への粉末
付着防止兼被処理ガス酸化用支燃性ガス）を供給し、内
壁３６及び断熱体７を介して燃焼筒３内に通気した後、
２つのメインバーナー５，５それぞれに、毎分１０リッ
トルのＬＰＧ（燃料ガス）と、毎分１３３リットルの空
気と毎分１４リットルの酸素とからなる混合ガス（燃料
燃焼用支燃性ガス）とをそれぞれ供給してパイロットバ
ーナー６により点火した。
ｍｍのものを４つ用い、各ノズル４に、毎分５０リット
ルのＮ２、すなわち、合計毎分２００リットルのＮ２を
供給して燃焼筒３内に導入するとともに、周壁体３２，
３３の二重壁間３６には、それぞれ標準状態（０℃、１
気圧）換算で毎分３００リットルの空気（内壁への粉末
付着防止兼被処理ガス酸化用支燃性ガス）を供給し、内
壁３６及び断熱体７を介して燃焼筒３内に通気した後、
２つのメインバーナー５，５それぞれに、毎分１０リッ
トルのＬＰＧ（燃料ガス）と、毎分１３３リットルの空
気と毎分１４リットルの酸素とからなる混合ガス（燃料
燃焼用支燃性ガス）とをそれぞれ供給してパイロットバ
ーナー６により点火した。
【００３７】その後、被処理ガス導入ノズル４のＮ２を
ＳｉＨ４を２％含むＮ２ガスに切り替え、毎分５０リッ
トルずつ合計２００リットル供給して８時間連続燃焼処
理させたところ、燃焼筒３の他端出口部でのＳｉＨ４濃
度は、常に許容濃度（５ｐｐｍ）以下であった。また、
燃焼処理停止後、燃焼筒３を開放点検したところ、被処
理ガス導入ノズル部及び内壁へのＳｉＯ２粉末の付着は
みられなかった。
ＳｉＨ４を２％含むＮ２ガスに切り替え、毎分５０リッ
トルずつ合計２００リットル供給して８時間連続燃焼処
理させたところ、燃焼筒３の他端出口部でのＳｉＨ４濃
度は、常に許容濃度（５ｐｐｍ）以下であった。また、
燃焼処理停止後、燃焼筒３を開放点検したところ、被処
理ガス導入ノズル部及び内壁へのＳｉＯ２粉末の付着は
みられなかった。
【００３８】実施例２
実施例１と同じ装置及び同じユーティリティ条件におい
て、被処理ガスとして、ＮＦ３を２％含むＮ２ガスを毎
分５０リットルずつ合計毎分２００リットルを導入して
燃焼処理させたところ、燃焼筒３の出口部でのＮＦ３濃
度は許容濃度（１０ｐｐｍ）以下であった。
て、被処理ガスとして、ＮＦ３を２％含むＮ２ガスを毎
分５０リットルずつ合計毎分２００リットルを導入して
燃焼処理させたところ、燃焼筒３の出口部でのＮＦ３濃
度は許容濃度（１０ｐｐｍ）以下であった。
【００３９】実施例３
実施例１と同じ装置及び同じユーティリティ条件におい
て、被処理ガスとして、Ｃ２Ｆ６を２％含むＮ２ガスを
毎分５０リットルずつ合計毎分２００リットルを導入し
て分解燃焼処理させたところ、本装置での分解率は９７
％以上であった。
て、被処理ガスとして、Ｃ２Ｆ６を２％含むＮ２ガスを
毎分５０リットルずつ合計毎分２００リットルを導入し
て分解燃焼処理させたところ、本装置での分解率は９７
％以上であった。
【００４０】実施例４
燃料燃焼用支燃性ガス供給管５６にノズル洗浄液供給管
５７を接続した以外は、実施例１と同じ装置及び条件
で、ＳｉＨ４の燃焼処理を連続して１６８時間行った
後、燃焼筒３の内部を点検したところ、メインバーナー
５のノズル先端部に５ｍｍ程度の厚さでＳｉＯ２粉末が
付着していた。このままの状態でノズル洗浄液供給管５
７から水道水を供給し、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ル５２から１０分間噴出させた。その結果、ノズル先端
部のＳｉＯ２粉末を除去することができた。
５７を接続した以外は、実施例１と同じ装置及び条件
で、ＳｉＨ４の燃焼処理を連続して１６８時間行った
後、燃焼筒３の内部を点検したところ、メインバーナー
５のノズル先端部に５ｍｍ程度の厚さでＳｉＯ２粉末が
付着していた。このままの状態でノズル洗浄液供給管５
７から水道水を供給し、燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズ
ル５２から１０分間噴出させた。その結果、ノズル先端
部のＳｉＯ２粉末を除去することができた。
【００４１】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明によれ
ば、燃焼筒を横切る平面状の火炎が形成されるので、可
燃性有害ガス及び支燃性有害ガスを許容濃度以下にまで
効率よく燃焼処理でき、かつ、不燃性ガスを高効率に分
解燃焼でき、地球環境に影響を及ぼす有害ガスの排出量
を最小限に抑えることができる。さらに、ノズル洗浄液
を供給することにより、ノズル先端部の洗浄を装置を分
解せずに容易に行うことができる。また、燃焼筒内面へ
の生成粉末の付着を防止し、長期にわたり安定した燃焼
処理ができる。
ば、燃焼筒を横切る平面状の火炎が形成されるので、可
燃性有害ガス及び支燃性有害ガスを許容濃度以下にまで
効率よく燃焼処理でき、かつ、不燃性ガスを高効率に分
解燃焼でき、地球環境に影響を及ぼす有害ガスの排出量
を最小限に抑えることができる。さらに、ノズル洗浄液
を供給することにより、ノズル先端部の洗浄を装置を分
解せずに容易に行うことができる。また、燃焼筒内面へ
の生成粉末の付着を防止し、長期にわたり安定した燃焼
処理ができる。
【００４２】さらに、メインバーナーとして用いる本発
明のバーナーは、燃焼筒を横切る方向の平面的な火炎を
形成することができ、確実な燃焼除害処理を行うことが
できる。また、拡散燃焼式であるので燃料燃焼用の支燃
性ガスに高濃度に酸素が含有されていても逆火が起こら
ず安全に燃焼処理できる。加えて、ノズル洗浄液を供給
するノズル洗浄液供給経路を設けておくことにより、ノ
ズル先端部に粉末が付着しても、装置を分解せずに容易
に除去することができる。
明のバーナーは、燃焼筒を横切る方向の平面的な火炎を
形成することができ、確実な燃焼除害処理を行うことが
できる。また、拡散燃焼式であるので燃料燃焼用の支燃
性ガスに高濃度に酸素が含有されていても逆火が起こら
ず安全に燃焼処理できる。加えて、ノズル洗浄液を供給
するノズル洗浄液供給経路を設けておくことにより、ノ
ズル先端部に粉末が付着しても、装置を分解せずに容易
に除去することができる。
【図１】 本発明の燃焼式除害装置の第１形態例を示す
要部縦断正面図である。
要部縦断正面図である。
【図２】 図１の燃焼式除害装置のメインバーナーの一
形態例を示す一部断面平面図である。
形態例を示す一部断面平面図である。
【図３】 図２のメインバーナーの断面正面図である。
【図４】 図１の燃焼式除害装置の燃焼筒を形成する周
壁体の一形態例を示す一部断面平面図である。
壁体の一形態例を示す一部断面平面図である。
【図５】 図４の周壁体の断面正面図である。
【図６】 本発明の燃焼式除害装置の第２形態例を示す
要部縦断正面図である。
要部縦断正面図である。
１…蓋体、２…冷却筒、３…燃焼筒、３１，３２，３３
…周壁体、３４，３４ａ…内壁、３５…外壁、３７…酸
化用支燃性ガス供給管、４…被処理ガス導入ノズル、５
…メインバーナー、５１…燃料ガス噴出ノズル、５２…
燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル、５５…燃料ガス供給
管、５６…燃料燃焼用支燃性ガス供給管、５７…ノズル
洗浄液供給管、６…パイロットバーナー、７…断熱体
…周壁体、３４，３４ａ…内壁、３５…外壁、３７…酸
化用支燃性ガス供給管、４…被処理ガス導入ノズル、５
…メインバーナー、５１…燃料ガス噴出ノズル、５２…
燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズル、５５…燃料ガス供給
管、５６…燃料燃焼用支燃性ガス供給管、５７…ノズル
洗浄液供給管、６…パイロットバーナー、７…断熱体
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平８−309147（ＪＰ，Ａ)
特開 昭60−162113（ＪＰ，Ａ)
特開 昭50−56772（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F23G 7/06
F23G 5/44
Claims (8)
- 【請求項１】 一端が蓋体によって閉塞され、他端開口
が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端か
ら燃焼筒内に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズ
ルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は
熱分解するための火炎を形成するメインバーナーと、該
メインバーナーを着火させるパイロットバーナーとを備
えた燃焼式除害装置であって、前記メインバーナーは、
内周面にＶ字状の周溝を形成した環状体であり、該Ｖ字
状の周溝を形成する一方の面に前記燃料ガス噴出ノズル
が、他方の面に前記燃料燃焼用支燃性ガス噴出ノズルが
それぞれ開口し、両噴出ノズルのノズル軸が燃焼筒内で
交差していることを特徴とする燃焼式除害装置。 - 【請求項２】 一端が蓋体によって閉塞され、他端開口
が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端か
ら燃焼筒内に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズ
ルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は
熱分解するための火炎を形成するメインバーナーと、該
メインバーナーを着火させるパイロットバーナーとを備
えた燃焼式除害装置であって、前記メインバーナーは、
内周面に燃料ガス噴出ノズル及び燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズルを有する環状体であり、前記燃料燃焼用支燃
性ガス噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給する管
路に、ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管が設
けられていることを特徴とする燃焼式除害装置。 - 【請求項３】 一端が蓋体によって閉塞され、他端開口
が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端か
ら燃焼筒内に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズ
ルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は
熱分解するための火炎を形成するメインバーナーと、該
メインバーナーを着火させるパイロットバーナーとを備
えた燃焼式除害装置であって、前記メインバーナーは、
内周面に燃料ガス噴出ノズル及び燃料燃焼用支燃性ガス
噴出ノズルを有する環状体であり、前記燃焼筒は、軸方
向に配設した周壁体と、前記メインバーナーとで形成さ
れ、少なくとも、該メインバーナーよりも下流の周壁体
は、多孔質材料で形成された内壁を有する二重壁構造に
形成され、該二重壁構造に形成された周壁体の外壁に
は、前記内壁を通じて燃焼筒内に噴出される被処理ガス
酸化用支燃性ガスを前記二重壁間に供給する酸化用支燃
性ガス供給管が接続されていることを特徴とする燃焼式
除害装置。 - 【請求項４】 前記メインバーナーは、内周面がＶ字状
の周溝に形成され、該Ｖ字状の周溝を形成する一方の面
に前記燃料ガス噴出ノズルが、他方の面に前記燃料燃焼
用支燃性ガス噴出ノズルがそれぞれ開口し、両噴出ノズ
ルのノズル軸が燃焼筒内で交差していることを特徴とす
る請求項３記載の燃焼式除害装置。 - 【請求項５】 前記メインバーナーの燃料燃焼用支燃性
ガス噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給する管路
に、ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管が設け
られていることを特徴とする請求項３又は４記載の燃焼
式除害装置。 - 【請求項６】 前記燃焼筒のメインバーナーよりも上流
側の周壁体は、前記被処理ガス酸化用支燃性ガスが燃焼
筒内に供給されない構造であることを特徴とする請求項
３記載の燃焼式除害装置。 - 【請求項７】 一端が蓋体によって閉塞され、他端開口
が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端か
ら燃焼筒内に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズ
ルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は
熱分解するための火炎を形成するメインバーナーと、該
メインバーナーを着火させるパイロットバーナーとを備
えた燃焼式除害装置の前記メインバーナーとして用いる
バーナーであって、内周面にＶ字状の周溝が形成された
環状体からなり、該Ｖ字状の周溝を形成する一方の面に
燃料ガス噴出ノズルが、他方の面に燃料燃焼用支燃性ガ
ス噴出ノズルがそれぞれ開口し、両噴出ノズルのノズル
軸が前記燃焼筒内で交差していることを特徴とする燃焼
式除害装置用バーナー。 - 【請求項８】 一端が蓋体によって閉塞され、他端開口
が冷却筒内に連通する燃焼筒と、前記閉塞された一端か
ら燃焼筒内に被処理ガスを導入する被処理ガス導入ノズ
ルと、前記燃焼筒内で前記被処理ガスを燃焼及び／又は
熱分解するための火炎を形成するメインバーナーと、該
メインバーナーを着火させるパイロットバーナーとを備
えた燃焼式除害装置の前記メインバーナーとして用いる
バーナーであって、燃料ガス噴出ノズルと燃料燃焼用支
燃性ガス噴出ノズルとを備えるとともに、該燃料燃焼用
支燃性ガス噴出ノズルに燃料燃焼用支燃性ガスを供給す
る管路に、ノズル洗浄液を供給するノズル洗浄液供給管
が設けられていることを特徴とする燃焼式除害装置用バ
ーナー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000096599A JP3460122B2 (ja) | 1999-07-14 | 2000-03-31 | 燃焼式除害装置及び燃焼式除害装置用バーナー |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-200589 | 1999-07-14 | ||
| JP20058999 | 1999-07-14 | ||
| JP2000096599A JP3460122B2 (ja) | 1999-07-14 | 2000-03-31 | 燃焼式除害装置及び燃焼式除害装置用バーナー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001082723A JP2001082723A (ja) | 2001-03-30 |
| JP3460122B2 true JP3460122B2 (ja) | 2003-10-27 |
Family
ID=26512285
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000096599A Expired - Fee Related JP3460122B2 (ja) | 1999-07-14 | 2000-03-31 | 燃焼式除害装置及び燃焼式除害装置用バーナー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3460122B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4172938B2 (ja) * | 2002-02-14 | 2008-10-29 | 昭和電工株式会社 | 排ガスの処理方法および処理装置 |
| US7736599B2 (en) * | 2004-11-12 | 2010-06-15 | Applied Materials, Inc. | Reactor design to reduce particle deposition during process abatement |
| US7682574B2 (en) | 2004-11-18 | 2010-03-23 | Applied Materials, Inc. | Safety, monitoring and control features for thermal abatement reactor |
| US8095240B2 (en) | 2004-11-18 | 2012-01-10 | Applied Materials, Inc. | Methods for starting and operating a thermal abatement system |
| CN101300411B (zh) * | 2005-10-31 | 2012-10-03 | 应用材料公司 | 制程减降反应器 |
| US7522974B2 (en) | 2006-08-23 | 2009-04-21 | Applied Materials, Inc. | Interface for operating and monitoring abatement systems |
| KR100978362B1 (ko) * | 2008-04-15 | 2010-08-30 | 크린시스템스코리아(주) | 반도체 폐가스 처리 장치용 수평형 버너 |
| GB0902221D0 (en) * | 2009-02-11 | 2009-03-25 | Edwards Ltd | Pilot |
| KR101278178B1 (ko) * | 2012-10-15 | 2013-07-05 | 씨에스케이(주) | 스크러버용 버너 |
| JP6606322B2 (ja) * | 2014-10-15 | 2019-11-13 | エドワーズ株式会社 | 除害装置 |
| KR101720086B1 (ko) | 2015-09-04 | 2017-03-27 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 통합형 반도체 폐가스 정화장치 |
| KR102318517B1 (ko) * | 2017-07-07 | 2021-10-27 | 에스아이더블유 엔지니어링 피티이. 엘티디. | 가스 오염물의 분해 및 산화를 위한 장치 및 시스템 |
-
2000
- 2000-03-31 JP JP2000096599A patent/JP3460122B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2001082723A (ja) | 2001-03-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100500787B1 (ko) | 연소식유해물질제거장치 | |
| EP0694735B1 (en) | Combustive destruction of noxious substances | |
| WO2001033141A1 (fr) | Appareil de combustion pour le traitement de gaz d'emission | |
| TWI442007B (zh) | 有害物質之燃燒破壞 | |
| JP3460122B2 (ja) | 燃焼式除害装置及び燃焼式除害装置用バーナー | |
| KR101574367B1 (ko) | 탄소 함유 연료의 가스화시 버너들을 점화 및 작동시키기 위한 방법 및 장치 | |
| CN110242972B (zh) | 废气焚烧用燃烧器 | |
| KR20010093133A (ko) | 배기가스처리장치 | |
| WO1999027301A1 (fr) | Unite de combustion de traitement de gaz d'echappement | |
| JP3316619B2 (ja) | 燃焼式排ガス処理装置 | |
| WO2002016830A1 (fr) | Procede et dispositif de traitement par combustion des gaz d'echappement | |
| JP2008513721A (ja) | 燃焼に関する方法およびバーナ | |
| KR100268815B1 (ko) | 배기가스 연소방법 및 그 장치 | |
| JP3864092B2 (ja) | 難燃性物質分解バーナ | |
| JP2828329B2 (ja) | 廃ガス処理装置及びその方法 | |
| KR100417720B1 (ko) | 유해물질의연소분해방법및장치 | |
| JPS62134414A (ja) | 半導体製造排ガスの燃焼方法及び同燃焼装置 | |
| KR200385461Y1 (ko) | 폐 가스 정화처리장치의 가스 버너 노즐 | |
| JP2017089985A (ja) | 排ガス処理装置 | |
| JP2013160456A (ja) | 難分解物質の分解処理装置 | |
| JP3033015B2 (ja) | 半乾留ガス化焼却方法及び装置 | |
| KR200421615Y1 (ko) | 저녹스 가스버어너 | |
| EP2396597B1 (en) | Burner comprising a pilot | |
| JP2001349521A (ja) | 燃焼式除害装置及びその運転方法 | |
| CN102052685A (zh) | 焚烧法处理垃圾焚烧产生的烟气及处理烟气的焚烧炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070815 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080815 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090815 Year of fee payment: 6 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090815 Year of fee payment: 6 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100815 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100815 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100815 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110815 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110815 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120815 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120815 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120815 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130815 Year of fee payment: 10 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |