TWI442007B - 有害物質之燃燒破壞 - Google Patents

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TWI442007B TW097111755A TW97111755A TWI442007B TW I442007 B TWI442007 B TW I442007B TW 097111755 A TW097111755 A TW 097111755A TW 97111755 A TW97111755 A TW 97111755A TW I442007 B TWI442007 B TW I442007B
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Description

有害物質之燃燒破壞
本發明關於氣流中所含的有害物質(特別是全球暖化氣體)之燃燒破壞，並在半導體或平板顯示器製造業中所用處理工具所排放的氣體處理中獲得應用。
全氟化(PFC)氣體，諸如CF4 、C2 F6 、NF3 及SF6 通常提供至半導體及平板顯示器製造業中所用的處理室，例如，用於電介質層蝕刻及/或處理室清潔。在製造或清潔制程後，處理室所排放的氣體中通常有殘餘數量的提供至處理室的氣體。上述全氟化合物已知為溫室氣體，因此需要在將該氣體排入大氣前將該等物質從廢氣中移除。
EP-A-0 694 735述及用於處理氣流以將有害物質從氣流中移除之氣體減除裝置，其中燃料氣在透過一噴嘴注入一燃燒區(其側面由圓柱形的內部點燃多孔氣體燃燒器之出口表面所環繞)之前與氣流預混合。將燃料氣與空氣同時提供給環繞在多孔燃燒器的充氣室，以在出口表面實行無焰燃燒，透過多孔燃燒器的空氣數量不但足以消耗提供至燃燒器的燃料而且也足以消耗注入到燃燒區的混合物中的所有可燃物。燃燒區的底部開口端與一冷卻塔(其具有一用水流塗布的內表面)相連，以冷卻離開燃燒區的氣流。隨後將氣流與冷卻水分離，並在被排放到大氣前通過一滌氣器。
吾人發現在氣流進入燃燒區之前將氣流與燃料氣預混合 能提高裝置的PFC減除效率。雖然對於C2 F6 、SF6 及NF3 獲得了良好的結果，但此技術因燃燒區內部可到達的最高溫度不適於減除CF4 。
在EP-A-0 802 370中述及上述技術之改良，其中經預混合的燃料與氣流透過一噴嘴(其與一在氧氣進入燃燒區前將氧氣引入該混合物的吹管同心)被注入燃燒區。利用此技術，對於所有PFC氣體包括CF4 都取得了良好的結果。在WO-A-2006/013355中述及了另一改良，其中該噴嘴亦由一套筒環繞，以使燃料氣與氣流一起能被注入到燃燒區，而不是將氣流與燃料預混合。藉由改變提供至吹管與套筒的氣體性質，一系列有害物質可使用單一注入化學計量法進行處理。此組態對於處理一含氟(F2 )氣流特別有效，不產生燃燒副產物CF4 。
上述裝置的擁有成本特別依賴於提供至該多孔氣體燃燒器之燃料氣之數量。一用於減少燃料消耗的技術係減小多孔燃燒器之長度，從而減小環繞燃燒器的充氣室並減少需要提供至充氣室的燃料氣與空氣之數量以實行在燃燒器出口表面的無焰燃燒。
多孔燃燒器的出口表面發射有助於保持燃燒區內部的高溫的紅外線輻射。然而，接近燃燒器底部溫度相對較低的情況普遍出現，原因為輻射交換減弱。由於燃燒器的長度減小，該等溫度相對較低的情況普遍存在的燃燒器之比例增加。已觀察到當燃燒器的縱橫比(長度/內徑)被減小至小於1的值時，從裝置中排放的氣流中的CO與未燃燒燃料氣 開始增加，裝置的減除效能開始下降。較差的效能歸因於在相對低溫下工作的燃燒器的比例增加，有效地限制多孔燃燒器的縱橫比可被減小之程度。
影響氣體減除裝置擁有成本的另一因素係半導體與平板處理室尺寸增大。上述器件之製造中，在越來越大的基板上加工以實現規模經濟成為一個趨勢，在處理步驟完成後將基板切割成小片以生產所需尺寸的複數個個體器件。因此，處理室尺寸與提供至處理室隨後又從其中排出的氣體之流量亦增加了，以適應於較大的基板並產生可接受的處理速度。
可藉由增加入口(透過其廢氣被注入燃燒區)數量與增加燃燒區容量，以容納進入氣體減除裝置的氣體數量之增加。由於上述原因，不能藉由僅僅增加多孔燃燒器的內徑(為了適應廢氣流量增加所需的入口數量增加)實現燃燒區容量之增大而不損害減除裝置之效能。因此，當燃燒器內徑增大時，亦必須增大燃燒區長度、多孔燃燒器長度及環繞於燃燒器之充氣室之容積，藉此增加裝置的燃料氣消耗量。
本發明之較佳實施例之目的係提供包括一多孔氣體燃燒器氣體的減除裝置，其能夠處理具有相對高流量的氣流，並僅具有相對低的燃料氣消耗量。
本發明提供用於有害物質之燃燒破壞的裝置，其包括一個由內部點燃的多孔燃燒器的出口表面所環繞的燃燒區， 該多孔燃燒器具有一開口端(燃燒產物透過其從燃燒區排放)，將含有至少一種有害物質的氣流注入燃燒區的構件、將燃料氣體與氧化劑提供至多孔燃燒器中實行在出口表面燃燒的構件，其特徵在於一用於加熱(至少)多孔燃燒器開口端的第二燃燒器。
提供一用於加熱(至少)多孔燃燒器開口端的第二燃燒器可顯著減少在使用期間多孔燃燒器開口端與燃燒器其餘部分之間的溫差。其能將多孔燃燒器之縱橫比減小至一個小於1的值，例如介於0.4與1，而不明顯降低該裝置的減除效能。因此，可減少該裝置的燃料氣消耗量，而不損害該裝置的效能。此外，可增大該裝置的直徑以適應增加的入口或其他上述裝置(透過其氣流被注入到燃燒室中)的數量，藉此增加該裝置的容量而不損害該裝置的效能。
第二燃燒器可至少部分地由多孔燃燒器環繞，並可大體上與多孔燃燒器同軸。在一較佳實施例中，第二燃燒器包括一外部點燃多孔燃燒器(由內部點燃多孔燃燒器與燃燒區所環繞)，該裝置包括將燃料與氧化劑提供至外部點燃多孔燃燒器的構件。
本發明亦提供用於有害物質之燃燒破壞的裝置，其包括一環形燃燒區(其被內部點燃多孔燃燒器之出口表面環繞並環繞外部點燃多孔燃燒器之出口表面)、將至少含有一種有害物質的氣流注入燃燒區的構件，及將燃料氣與氧化劑提供至多孔燃燒器實行在出口表面燃燒的構件。
將燃料氣與氧化劑提供至多孔燃燒器的構件可被安排用 於將燃料氣與氧化劑之相同混合物提供至兩個多孔燃燒器。或者，將燃料氣與氧化劑提供至多孔燃燒器的購建可被安排用於將燃料氣與氧化劑之第一混合物提供至外部的內部點燃多孔燃燒器，並將燃料氣與氧化劑之第二混合物(不同於第一混合物)提供至內部的外部點燃多孔燃燒器。例如，如果以在內部燃燒器之出口表面的較低的表面燃燒速率(以千克-卡/小時/平方釐米燃燒器表面計算)達到所需的減除效能，則提供至內部燃燒器的混合物內部所含燃料氣之比例可低於提供至外部燃燒器的混合物所含燃料氣之比例，藉此降低成本。
該等多孔燃燒器可各具有一陶瓷及/或金屬纖維的多孔層。該內部燃燒器可具有與該內部燃燒器不同之組合物，或兩個燃燒器可具有相同的組合物。
藉由用於將氣流注入燃燒區的複數個噴嘴群組，可提供用於將氣流注入燃燒區的構件。該等噴嘴群組可大體上環繞縱軸等距間隔開，環形燃燒區環繞縱軸延伸。
各噴嘴群組可包括位於各自的軸(大體上與縱軸平行延伸並與縱軸間隔開)周圍的複數個噴嘴，該等軸可大體上與環形燃燒區等距隔開。
每一噴嘴群組可包括至少三個噴嘴。該等噴嘴可環繞縱軸排列，以便噴嘴形成位於該軸第一徑向距離處的一第一噴嘴子集及位於該軸第二徑向距離處的一第二噴嘴子集。該裝置可具有至少四個噴嘴群組，最好至少六個噴嘴群組。這能使裝置具有至少十八個噴嘴，該等噴嘴可使進入 裝置的氣流流量達到至少900升/分鐘。
各噴嘴具有向噴嘴內凸出的一各自吹管，用於將燃料氣與氧化劑之一者提供至通過該噴嘴的氣流的部分。該噴嘴可環繞吹管延伸，最好大體上與該吹管同心。
各噴嘴具有環繞噴嘴延伸的一各自套筒，用於將燃料氣與氧化劑之一者提供至通過該噴嘴的氣流的部分。該套筒可大體上與噴嘴同心，該噴嘴可在該套筒內部終止。
為每個噴嘴提供一吹管與一套筒兩者能使氣流內部所含的特定有害物質在燃燒區內的燃燒條件達到最佳。例如，該吹管可選擇性地將氧化劑注入氣流中，該套筒可選擇性將一燃料注入氣流中。因此，藉由簡單地接通與關閉流入該吹管與該套筒的流體，可根據需要將燃料、氧化劑或燃料與氧化劑兩者注入到氣流中。
可在燃燒區之下提供一冷卻塔(其與燃燒區通過液體相通)，並還提供用於維持水沿著冷卻塔內表面流動之裝置及一與冷卻塔底部相連的氣-液分離器。其能使離開燃燒區的燃燒產物氣流被冷卻，同時藉由塗布冷卻塔內表面的水流能使氣流中所含的一些酸性氣體諸如HF與HCl被吸入到溶液中，並能使固體顆粒被此水流捕獲。
本發明亦提供一種用於將有害物質之燃燒破壞的方法，包括將含有至少一種有害物質的氣流注入一燃燒區(其由具有一開口端的內部點燃多孔燃燒器之出口表面所環繞)、將燃料氣與氧化劑提供至多孔燃燒器以實行在出口表面的燃燒，及透過多孔燃燒器的開口端將燃燒產物釋放 至燃燒區，其特徵在於該多孔燃燒器的開口端由一第二燃燒器予以加熱。
本發明此外提供用於有害物質之燃燒破壞的方法，包括將含有至少一種有害物質的氣流注入一環形燃燒區(其由內部點燃多孔燃燒器之出口表面所環繞及環繞外部點燃多孔燃燒器之出口表面)，以及將燃料氣與氧化劑提供至多孔燃燒器以實行出口表面上的燃燒。
與本發明之裝置態樣相關的如上所述的部件同樣可適用於方法態樣，反之亦然。
首先參考圖1，該裝置包括複數個入口10，在此實例為六個入口，用於接收藉由抽真空系統從半導體或平板顯示處理工具中抽出的氣流。氣流從各入口10傳輸至各自的噴嘴12之群組，其將氣流注入一燃燒區14。在此實例中，各個噴嘴12之群組包括三個環繞各自的軸16(大體上平行於燃燒區14之縱軸18延伸)配置的噴嘴。該等軸16最好與縱軸18徑向距離相同，最好大體上繞軸18等角度間隔。各群組之中，噴嘴12可根據要求環繞其共同軸16配置，但在一如圖2所示的較佳配製中，一個噴嘴位於距縱軸18第一徑向距離r1 ，另兩個噴嘴位於距縱軸18較大的徑向距離r2 。
各噴嘴12位於各自的形成於陶瓷板20的孔中，其限定了燃燒室14的上表面(如圖所示)。為了能夠使氣流中所含的有害物質在燃燒室14中的燃燒條件達到最佳，各噴嘴12環繞吹管22(從氧化劑入口24接收氧化劑例如空氣之供應)延 伸並大體上與吹管22同心。如圖1所示，可經由共用的氧化劑入口24將氧化劑提供至與單個進氣口10的噴嘴12相關的各個吹管22。可方便地將六個氧化劑入口24連接到共用氧化劑源。
各噴嘴12(可視需要)由一第二同心噴嘴或套筒26環繞，各噴嘴位於各自形成於陶瓷板20的孔中。各套筒26環繞一各自的噴嘴12，因此噴嘴12之出口位於套筒26內部。燃料氣入口28將燃料氣提供至一在噴嘴12的外表面與套筒26的內表面之間限定的環形的氣體通路30，以使燃料氣例如甲烷能被輸送至含有氣流與藉由吹管22注入到氣流中的任何氧化劑的燃燒區14。如圖1所示，可藉由一共用燃料氣入口28供給燃料氣至與單個進氣口10之噴嘴12相關的各套筒26。可方便地將六個燃料氣入口28連接到共用燃料氣源。
可提供一控制器(未顯示)以控制提供至燃料氣入口28與氧化劑入口24的燃料氣與氧化劑之相對數量，以使氣流中所含的有害物質之燃燒達到最佳。例如，為了有機矽烷-之燃燒減除，將氧氣透過吹管22注入氣流中。作為另一實例，為了氣流中所含的F2 /NF3 物質之燃燒減除，將燃料氣透過氣體通路30注入氣流中以提供必要的還原物質。可視需要，亦可將氧氣透過吹管22注入氣流以產生導致裝置中低殘餘烴與低一氧化碳排放之燃燒條件。
回到圖1，在此實例中，燃燒區14為環形，並由外部的內部點燃多孔燃燒器32(諸如在EP-A-0 694 735中所述及的)之出口表面環繞。外部燃燒器32具有一由沈積或附著 於一環形網篩36上的陶瓷及/或金屬纖維構成的多孔層34。充氣室容積38在燃燒器網篩36與筒形外殼40之間形成。將一種燃料氣(諸如天然氣或一種烴)與空氣的混合物經由一個或多個入口噴嘴(未顯示)引入充氣室容積38中，以便在使用過程中燃料氣與空氣在外部燃燒器32之出口表面燃燒時無可見焰。燃燒區14之下端(如圖所示)開放，以允許燃燒產物從燃燒區14排放。
在使用期間，外部燃燒器32的出口表面發射有助於保持燃燒區14內部高溫的紅外線輻射。為了避免與外部燃燒器32開口端處的輻射交換降低相關的問題，提供一第二燃燒器以加熱(至少)外部燃燒器32之開口端。在此實例中，藉由一內部的外部點燃多孔燃燒器42(由環形燃燒區14環繞並大體上與其同心)提供一第二燃燒器。與外部燃燒器32類似，內部燃燒器42具有陶瓷及/或金屬纖維的多孔層44，其既可具有與外部燃燒器32的多孔層34相同的組合物，又可具有與該多孔層不同的組合物。如圖1所示，該多孔層44具有由燃燒區14環繞的環形側壁46與封閉內部燃燒器42的末端的端壁48。該多孔層44沈積在限定內部燃燒器42之圓柱形充氣室容積52的筒形網篩50之上。將一種燃料氣(諸如天然氣或一種烴)與空氣的混合物經由入口54引入充氣室容積52中，以便在使用過程中燃料氣與空氣在內部燃燒器44之出口表面燃燒時無可見焰。提供至圓柱形充氣室52的燃料氣與空氣之混合物可與提供至外部燃燒器32之環形充氣室容積38的燃料氣與空氣之混合物相同或不 同。
使用時，將含有一種或多種有害物質的氣流(例如一種鹵化物質)提供至入口10。在將氣體注入到環形燃燒區14之前，藉由吹管22與套筒26將燃料氣與氧化劑加入到所需的氣流中。燃燒器32、42的多孔纖維層排出的過量空氣實現燃燒區14內部的有害物質之燃燒破壞。
提供一引火燃燒器以用於點燃外部及內部燃燒器32、42。引火燃燒器可為一習用型(具有用於點燃提供至另一噴嘴31的燃料氣與氧化劑之混合物之火花塞)，噴嘴31尺寸與噴嘴12相似，並且也位於一個貫穿陶瓷板20的孔中。如圖2所示，引火燃燒器位於接近於內部燃燒器42處，用於點燃內部燃燒器42，其依次點燃外部燃燒器32。或者，在接近外部燃燒器32處提供一第二引火燃燒器以用於點燃此燃燒器。提供引火燃燒器僅為了點燃外部與內部燃燒器32、42，因此一旦燃燒器32、42被點燃，即可將引火燃燒器熄滅。又如圖2所示，可在接近噴嘴31處提供觀察孔31a。
內部燃燒器42之長度(沿縱軸18測量)大體上與外部燃燒器32之長度相同。在一實例中，燃燒器32、42長度各約為6英寸，內部燃燒器42外徑約2.5英寸，外部燃燒器內徑約12英寸。其能使裝置具有用於將氣流注入環形燃燒區14的至多18個噴嘴，其能使裝置接收至少900升/分鐘的氣體。比較起來，在EP-A-0 694 735中所述的實例中，該(單個)內部點燃多孔燃燒器直徑3英寸，長度12英寸，因此容量 低得多。考慮到藉由內部燃燒器42加熱外部多孔燃燒器32之開口端，可取得具有低CO與燃料氣排放之良好減除效能，燃料消耗在40至50升/分鐘範圍。
燃燒區14之開口端與圓柱形後燃燒室60相連，後燃燒室60包括一用於接收從燃燒區14流出的燃燒產物氣流之水冷卻塔62。透過一管道(未顯示)將水提供至一環繞冷卻塔62的環形槽64中，水從槽64頂端溢出並從冷卻塔62之內表面流下。水用於冷卻該燃燒產物氣流並防止固體顆粒沈積在冷卻塔62表面上。此外，燃燒產物氣流中的任何酸性組分可藉由水吸入溶液中。可選擇室60之長度以使裝置之減除效能達到最佳。可將氣流與水透過室60的出口66排放，並將其輸送至一用於將含有固體顆粒與酸性物質的水與氣流分離的分離器(未顯示)。在氣流被排放到大氣之前，可將其輸送透過一濕式滌氣器以將殘留的酸性物質從氣流中移除。
10‧‧‧入口
12‧‧‧噴嘴
14‧‧‧燃燒區
16‧‧‧軸
18‧‧‧縱軸
20‧‧‧陶瓷板
22‧‧‧吹管
24‧‧‧氧化劑入口
26‧‧‧套筒
28‧‧‧燃料氣入口
30‧‧‧氣體通路
31‧‧‧噴嘴
31a‧‧‧觀察孔
32‧‧‧外部燃燒器
34‧‧‧多孔層
36‧‧‧環形網篩
38‧‧‧充氣室容積
40‧‧‧筒形外殼
42‧‧‧外部點燃多孔燃燒器
44‧‧‧多孔層
46‧‧‧環形側壁
48‧‧‧端壁
50‧‧‧筒形網篩
52‧‧‧圓柱形充氣室容積
54‧‧‧入口
60‧‧‧後燃燒室
62‧‧‧冷卻塔
64‧‧‧環形槽
66‧‧‧出口
前參考隨附圖式而僅藉由實例描述本發明之較佳特性，其中：圖1說明了一透過用於有害物質之燃燒破壞之裝置的橫剖面；及圖2說明了用於將氣流注入如圖1之裝置的燃燒區的噴嘴配置。
10‧‧‧入口
12‧‧‧噴嘴
14‧‧‧燃燒區
16‧‧‧軸
18‧‧‧縱軸
20‧‧‧陶瓷板
22‧‧‧吹管
24‧‧‧氧化劑入口
26‧‧‧套筒
28‧‧‧燃料氣入口
30‧‧‧氣體通路
32‧‧‧外部燃燒器
34‧‧‧多孔層
36‧‧‧環形網篩
38‧‧‧充氣室容積
40‧‧‧筒形外殼
42‧‧‧外部點燃多孔燃燒器
44‧‧‧多孔層
46‧‧‧環形側壁
48‧‧‧端壁
50‧‧‧筒形網篩
52‧‧‧圓柱形充氣室容積
54‧‧‧入口
60‧‧‧後燃燒室
62‧‧‧冷卻塔
64‧‧‧環形槽
66‧‧‧出口

Claims (27)

  1. 一種用於有害物質之燃燒破壞的裝置，其包括：一由一內部點燃多孔燃燒器的出口表面所環繞的燃燒區，該多孔燃燒器具有一開口端，一燃燒產物透過該開口端從該燃燒區排放；用於將一含有至少一種有害物質的氣流注入到該燃燒區的構件；及用於將燃料氣與氧化劑提供至該多孔燃燒器實行在該出口表面處之燃燒的構件；其特徵在於一第二燃燒器，該第二燃燒器係用於加熱該多孔燃燒器之至少該開口端；其中該第二燃燒器至少部分地由該多孔燃燒器環繞。
  2. 如請求項1之裝置，其中該第二燃燒器大體上與該多孔燃燒器同軸。
  3. 如請求項1之裝置，其中該第二燃燒器包括一由該內部點燃多孔燃燒器與該燃燒區所環繞之外部點燃多孔燃燒器，該裝置含有將燃料氣與氧化劑提供至該外部點燃多孔燃燒器的構件。
  4. 一種用於有害物質之燃燒破壞的裝置，其包括：一由一內部點燃多孔燃燒器之一出口表面所環繞並環繞一外部點燃多孔燃燒器之一出口表面的環形燃燒區；用於將含有至少一有害物質的一氣流注入該燃燒區之構件；以及用於將燃料氣與氧化劑提供至該等多孔燃燒器以實行該等出口表面處的燃燒之構件。
  5. 如請求項1或4之裝置，其中該用於提供燃料氣與氧化劑至該等多孔燃燒器的構件被配置成將相同的燃料氣與氧 化劑之混合物提供至兩個多孔燃燒器。
  6. 如請求項1或4之裝置，其中該用於將燃料氣與氧化劑提供至該等多孔燃燒器的構件被配置成將燃料氣與氧化劑之一第一混合物提供至該內部點燃多孔燃燒器，並將燃料氣與氧化劑之一第二混合物提供至該外部點燃多孔燃燒器，該第二混合物不同於該第一混合物。
  7. 如請求項1或4之裝置，其中該等多孔燃燒器各具有陶瓷及/或金屬纖維的一多孔層。
  8. 如請求項7之裝置，其中該內部點燃多孔燃燒器與該外部點燃多孔燃燒器具有不同的組合物。
  9. 如請求項1或4之裝置，其中該用於將一氣流注入該燃燒區的構件包括用於將該氣流注入該燃燒區的複數個噴嘴群組。
  10. 如請求項9之裝置，其中該環形燃燒區環繞一縱軸延伸，其中該等噴嘴群組大體上環繞該縱軸等距間隔。
  11. 如請求項10之裝置，其中各噴嘴群組含有繞各自軸的複數個噴嘴，該軸大體上平行於該縱軸延伸並與該縱軸間隔開。
  12. 如請求項11之裝置，其中各噴嘴群組包括至少三個噴嘴。
  13. 如請求項12之裝置，包括至少四個噴嘴群組。
  14. 如請求項13之裝置，其中各噴嘴具有向噴嘴內凸出的一各自吹管，用於將燃料氣與氧化劑之一者提供至通過該噴嘴的該氣流的部分。
  15. 如請求項14之裝置，其中該噴嘴繞該吹管延伸。
  16. 如請求項15之裝置，其中該噴嘴大體上與該吹管同心。
  17. 如請求項16之裝置，其中各噴嘴具有環繞噴嘴延伸的一各自套筒，用於將燃料氣與氧化劑之一提供至通過該噴嘴的該氣流的部分。
  18. 如請求項17之裝置，其中該套筒大體上與該噴嘴同心。
  19. 如請求項18之裝置，其中該噴嘴終止於該套筒內。
  20. 如請求項1或4之裝置，其中該內部點燃多孔燃燒器之縱橫比小於1。
  21. 如請求項1或4之裝置，包括一在該燃燒區之下並與該燃燒區液體連通的冷卻塔；用於維持一水流沿該冷卻塔之內表面流動的構件；及一與冷卻塔之底部相連的氣液分離器。
  22. 一種用於有害物質之燃燒破壞之方法，其包括：將含有至少一種有害物質的一氣流注入一燃燒區，該燃燒區由具有一開口端的一內部點燃多孔燃燒器之出口表面所環繞；將燃料氣與氧化劑提供至該多孔燃燒器以實行在該出口表面處的燃燒；以及透過該多孔燃燒器之該開口端將一燃燒產物從該燃燒區排放；其特徵在於：該多孔燃燒器之該開口端係由一第二燃燒器予以加熱；其中該多孔燃燒器之該開口端係藉由由該內部點燃多孔燃燒器所環繞的一外部點燃多孔燃燒器而被加熱，燃料氣與氧化劑係被提供至該外部點燃多孔燃燒器以實行在一出口表面處的燃燒。
  23. 一種用於有害物質之燃燒破壞之方法，其包括：將含有至少一有害物質之一氣流注入一環形燃燒區，該環形燃燒區係由一內部點燃多孔燃燒器之出口表面所環繞並環繞一外部點燃多孔燃燒器之出口表面；以及將燃料氣與氧化劑提供至該等多孔燃燒器以實行在該等出口表面處的燃燒。
  24. 如請求項22或23之方法，其中將相同的燃料氣與氧化劑之混合物提供至該等多孔燃燒器兩者。
  25. 如請求項22或23之方法，其中將不同的燃料氣與氧化劑之混合物提供至該等多孔燃燒器。
  26. 如請求項22或23之方法，其中在注入到該燃燒區內之前，將燃料氣與氧化劑之一者提供至該氣流中。
  27. 如請求項22或23之方法，其中該氣流透過該燃燒區的一個開放底端排放至一具有一保持一水流的內表面的塔。
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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102230631A (zh) * 2011-06-03 2011-11-02 王兴文 一种废气焚烧热风炉烧嘴部的烧嘴砖
KR101278178B1 (ko) * 2012-10-15 2013-07-05 씨에스케이(주) 스크러버용 버너
GB2514341B (en) * 2013-05-20 2016-08-24 Edwards Ltd Radiant burner combustion monitoring
GB2515017B (en) * 2013-06-10 2017-09-20 Edwards Ltd Process gas abatement
GB2516267B (en) * 2013-07-17 2016-08-17 Edwards Ltd Head assembly
TWI495829B (zh) * 2013-08-09 2015-08-11 Orient Service Co Ltd Exhaust gas treatment device
US10161628B2 (en) 2014-03-14 2018-12-25 Edwards Limited Radiant burner
JP6310765B2 (ja) * 2014-05-12 2018-04-11 日本パイオニクス株式会社 排ガスの燃焼式浄化装置
CN106211790B (zh) 2015-03-26 2018-06-22 韩国能源技术研究院 用于难分解性有害气体焚烧处理的节能型燃烧装置及其方法
GB2536905B (en) * 2015-03-30 2020-01-08 Edwards Ltd Radiant burner
GB2540544B (en) * 2015-07-20 2020-04-15 Edwards Ltd Inlet assembly
GB201515489D0 (en) * 2015-09-01 2015-10-14 Edwards Ltd Abatement apparatus
GB2550382B (en) 2016-05-18 2020-04-22 Edwards Ltd Burner Inlet Assembly
JP6895342B2 (ja) * 2016-08-19 2021-06-30 株式会社荏原製作所 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法
KR102450538B1 (ko) * 2017-01-06 2022-10-04 알제타 코포레이션 개선된 폐가스 저감을 위한 시스템 및 방법
GB201810916D0 (en) * 2018-07-03 2018-08-15 Edwards Ltd Gas abatement apparatus
GB2584675B (en) * 2019-06-10 2021-11-17 Edwards Ltd Inlet assembly for an abatement apparatus
GB2595748A (en) * 2020-11-13 2021-12-08 Csk Inc A scrubber burner
GB2608820A (en) * 2021-07-13 2023-01-18 Edwards Ltd Inlet assembly
GB2608819A (en) * 2021-07-13 2023-01-18 Alzeta Corp Pilot unit
GB2608816A (en) * 2021-07-13 2023-01-18 Edwards Ltd Abatement apparatus

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3840344A (en) * 1972-06-06 1974-10-08 Chemothermic Ind Inc Carbon black production
JPS593209Y2 (ja) * 1979-11-27 1984-01-28 リンナイ株式会社 ガス赤外線バ−ナ
US5510093A (en) * 1994-07-25 1996-04-23 Alzeta Corporation Combustive destruction of halogenated compounds
JP3404981B2 (ja) * 1995-04-21 2003-05-12 日本鋼管株式会社 気体加熱装置
GB9608061D0 (en) * 1996-04-16 1996-06-19 Boc Group Plc Removal of noxious substances from gas streams
TW342436B (en) * 1996-08-14 1998-10-11 Nippon Oxygen Co Ltd Combustion type harm removal apparatus (1)
JPH11118128A (ja) * 1997-10-20 1999-04-30 Ebara Corp 排ガス処理用燃焼器
US7569193B2 (en) * 2003-12-19 2009-08-04 Applied Materials, Inc. Apparatus and method for controlled combustion of gaseous pollutants
GB0417378D0 (en) * 2004-08-04 2004-09-08 Boc Group Plc Gas abatement
GB0611968D0 (en) * 2006-06-16 2006-07-26 Boc Group Plc Method and apparatus for the removal of fluorine from a gas system

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