JP3316619B2 - 燃焼式排ガス処理装置 - Google Patents
燃焼式排ガス処理装置Info
- Publication number
- JP3316619B2 JP3316619B2 JP21469996A JP21469996A JP3316619B2 JP 3316619 B2 JP3316619 B2 JP 3316619B2 JP 21469996 A JP21469996 A JP 21469996A JP 21469996 A JP21469996 A JP 21469996A JP 3316619 B2 JP3316619 B2 JP 3316619B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wall
- exhaust gas
- combustion
- gas
- combustion chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、燃焼式排ガス処理
装置に関し、詳しくは、半導体製造装置やＬＣＤ製造装
置の排ガス中に含まれる毒性ガス，可燃性ガス，腐食性
ガス等の有害成分を燃焼や熱分解により無害化するため
の燃焼式排ガス処理装置における燃焼室の構造に関す
る。
装置に関し、詳しくは、半導体製造装置やＬＣＤ製造装
置の排ガス中に含まれる毒性ガス，可燃性ガス，腐食性
ガス等の有害成分を燃焼や熱分解により無害化するため
の燃焼式排ガス処理装置における燃焼室の構造に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体やＬＣＤを製造する装置
からは、可燃性又は支燃性の有害成分を含むガスが排ガ
スとして排出されるため、これらの有害成分の除害（無
害化）処理を行ってから排ガスを排出する必要がある。
このような排ガスの除害処理を行うための装置の一つと
して、燃焼式排ガス処理装置が知られている。
からは、可燃性又は支燃性の有害成分を含むガスが排ガ
スとして排出されるため、これらの有害成分の除害（無
害化）処理を行ってから排ガスを排出する必要がある。
このような排ガスの除害処理を行うための装置の一つと
して、燃焼式排ガス処理装置が知られている。
【０００３】上記燃焼式排ガス処理装置は、排ガスに含
まれる各種有害成分を燃焼させたり、熱分解させたりし
て除害処理を行うもので、燃焼バーナーから前記排ガス
や支燃性ガス等を燃焼室内に噴出させて燃焼させる構造
を有している。
まれる各種有害成分を燃焼させたり、熱分解させたりし
て除害処理を行うもので、燃焼バーナーから前記排ガス
や支燃性ガス等を燃焼室内に噴出させて燃焼させる構造
を有している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述の燃焼式排ガス処
理装置で排ガスを燃焼処理する際に固体酸化物が生成す
る場合、生成した粉状の固体酸化物が燃焼室の内面に付
着して燃焼処理に悪影響を及ぼすことがある。このた
め、従来は、排ガスの処理量に比べて燃焼室を大きく形
成し、付着物による影響を少なくしたり、あるいは、付
着した固体酸化物を機械的に掻き落とす手段を設けたり
していた。
理装置で排ガスを燃焼処理する際に固体酸化物が生成す
る場合、生成した粉状の固体酸化物が燃焼室の内面に付
着して燃焼処理に悪影響を及ぼすことがある。このた
め、従来は、排ガスの処理量に比べて燃焼室を大きく形
成し、付着物による影響を少なくしたり、あるいは、付
着した固体酸化物を機械的に掻き落とす手段を設けたり
していた。
【０００５】しかし、燃焼室を大きくすると、装置コス
トが上昇し、装置も大型化する不都合があり、さらに、
掻き落とし手段を設けた場合は、装置構成が複雑とな
り、装置コストが更に上昇するだけでなく、メンテナン
ス性にも問題が出てくる。
トが上昇し、装置も大型化する不都合があり、さらに、
掻き落とし手段を設けた場合は、装置構成が複雑とな
り、装置コストが更に上昇するだけでなく、メンテナン
ス性にも問題が出てくる。
【０００６】そこで本発明は、燃焼室内面への固体酸化
物等の粉状体の付着を低コストで確実に防止することが
できる燃焼式排ガス処理装置を提供することを目的とし
ている。
物等の粉状体の付着を低コストで確実に防止することが
できる燃焼式排ガス処理装置を提供することを目的とし
ている。
【０００７】上記目的を達成するため、本発明の燃焼式
排ガス処理装置は、半導体製造装置やＬＣＤ製造装置か
ら排出される有害成分を含む排ガスを燃焼室内に噴出さ
せて燃焼させることにより除害処理を行う燃焼式排ガス
処理装置において、前記燃焼室を、内壁及び外壁からな
る二重壁構造で形成し、前記内壁全周を焼結金属で形成
するとともに、内壁と外壁との間に圧力気体を導入する
気体導入部を設けたことを特徴としている。また、前記
燒結金属が、ステンレス鋼製であることを特徴としてい
る。さらに、前記燃焼室に、装置の運転停止時に、前記
内壁の内面に液体を供給して内面を洗浄する液供給手段
を備えたことを特徴としている。
排ガス処理装置は、半導体製造装置やＬＣＤ製造装置か
ら排出される有害成分を含む排ガスを燃焼室内に噴出さ
せて燃焼させることにより除害処理を行う燃焼式排ガス
処理装置において、前記燃焼室を、内壁及び外壁からな
る二重壁構造で形成し、前記内壁全周を焼結金属で形成
するとともに、内壁と外壁との間に圧力気体を導入する
気体導入部を設けたことを特徴としている。また、前記
燒結金属が、ステンレス鋼製であることを特徴としてい
る。さらに、前記燃焼室に、装置の運転停止時に、前記
内壁の内面に液体を供給して内面を洗浄する液供給手段
を備えたことを特徴としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面を参照して
さらに詳細に説明する。図１は本発明の燃焼式排ガス処
理装置の第１形態例を示す断面図であって、この燃焼式
排ガス処理装置は、全周を燒結金属で形成された筒状の
内壁１と、通常の金属材料等で形成された筒状の外壁２
とを同軸上に配置した二重壁構造の燃焼室３と、該燃焼
室３の上部中央に設けられた排ガス燃焼処理用の燃焼バ
ーナー４と、燃焼室３の上部側壁に内外両壁１，２を貫
通して設けられた着火用のパイロットバーナー５と、内
壁１と外壁２との間に形成される空間内に圧力気体を導
入する気体導入部である気体ノズル６とにより形成され
ている。なお、燃焼室３の下部開口７は、排気処理装置
（図示せず）に接続されている。
さらに詳細に説明する。図１は本発明の燃焼式排ガス処
理装置の第１形態例を示す断面図であって、この燃焼式
排ガス処理装置は、全周を燒結金属で形成された筒状の
内壁１と、通常の金属材料等で形成された筒状の外壁２
とを同軸上に配置した二重壁構造の燃焼室３と、該燃焼
室３の上部中央に設けられた排ガス燃焼処理用の燃焼バ
ーナー４と、燃焼室３の上部側壁に内外両壁１，２を貫
通して設けられた着火用のパイロットバーナー５と、内
壁１と外壁２との間に形成される空間内に圧力気体を導
入する気体導入部である気体ノズル６とにより形成され
ている。なお、燃焼室３の下部開口７は、排気処理装置
（図示せず）に接続されている。
【０００９】前記内壁１に用いる多孔性材料である焼結
金属としては、微細な通気孔（ポア）を全体に均一に有
するものを使用することができ、耐熱性や強度を満足す
れば材質に特に制限はなく、ポアサイズやメッシュサイ
ズにも特に制限はない。
金属としては、微細な通気孔（ポア）を全体に均一に有
するものを使用することができ、耐熱性や強度を満足す
れば材質に特に制限はなく、ポアサイズやメッシュサイ
ズにも特に制限はない。
【００１０】また、外壁２や燃焼室３の上下に設けられ
る塞ぎ板及びフランジ、各バーナー等の材質も、所定の
耐熱性や強度を有していればよく、各接続部を溶接やフ
ランジ結合等で確実に接合できれば任意のものを使用す
ることが可能である。さらに、内壁１と外壁２との間隔
は、この間に導入される圧力気体が内壁１の外周部に均
等に行き渡る程度であればよく、燃焼室３の大きさや圧
力気体の導入条件、気体ノズル６の設置位置や設置数等
に応じて適宜な間隔にすることができる。
る塞ぎ板及びフランジ、各バーナー等の材質も、所定の
耐熱性や強度を有していればよく、各接続部を溶接やフ
ランジ結合等で確実に接合できれば任意のものを使用す
ることが可能である。さらに、内壁１と外壁２との間隔
は、この間に導入される圧力気体が内壁１の外周部に均
等に行き渡る程度であればよく、燃焼室３の大きさや圧
力気体の導入条件、気体ノズル６の設置位置や設置数等
に応じて適宜な間隔にすることができる。
【００１１】前記気体ノズル６から内壁１と外壁２との
間の空間内に導入される圧力気体は、燃焼室３内の燃焼
処理に悪影響を与えるものでなければ、空気や不活性ガ
ス等の任意の気体を適当な圧力に昇圧して用いることが
できる。
間の空間内に導入される圧力気体は、燃焼室３内の燃焼
処理に悪影響を与えるものでなければ、空気や不活性ガ
ス等の任意の気体を適当な圧力に昇圧して用いることが
できる。
【００１２】また、上記圧力気体の供給圧力や供給量も
任意であり、内壁１を通過可能な圧力で、燃焼処理に悪
影響を与えることなく、内壁１の内面への粉体の付着を
抑えられる量であればよく、装置の強度や圧力気体の供
給コスト等を含めて適当に設定すればよい。
任意であり、内壁１を通過可能な圧力で、燃焼処理に悪
影響を与えることなく、内壁１の内面への粉体の付着を
抑えられる量であればよく、装置の強度や圧力気体の供
給コスト等を含めて適当に設定すればよい。
【００１３】このように、燃焼室３の内壁１の全周を多
孔性である焼結金属で形成するとともに、内壁１と外壁
２との間に圧力気体を導入することにより、多孔性材料
のポアを介して圧力気体を内壁１の内面に噴出させるこ
とができるので、その噴出力により、排ガスの燃焼処理
で発生した固体酸化物やその他の粉状体が内壁１の内面
に付着することを防止できる。
孔性である焼結金属で形成するとともに、内壁１と外壁
２との間に圧力気体を導入することにより、多孔性材料
のポアを介して圧力気体を内壁１の内面に噴出させるこ
とができるので、その噴出力により、排ガスの燃焼処理
で発生した固体酸化物やその他の粉状体が内壁１の内面
に付着することを防止できる。
【００１４】これにより、排ガスの燃焼処理により粉状
の固体酸化物が生成したり、排ガス中に粉状体が同伴さ
れたりした場合でも、これらの粉状体が内壁１の内面に
付着することがないので、長期間にわたって安定した状
態で燃焼処理を行うことができる。
の固体酸化物が生成したり、排ガス中に粉状体が同伴さ
れたりした場合でも、これらの粉状体が内壁１の内面に
付着することがないので、長期間にわたって安定した状
態で燃焼処理を行うことができる。
【００１５】また、内壁１内面への粉状体の付着が防止
できるため、燃焼室３を小型化でき、燃焼室３を二重壁
構造として圧力気体を導入する気体ノズル６を設けるだ
けでよいため、構造も簡単であり、装置コストや運転コ
ストの低減を図ることができる。
できるため、燃焼室３を小型化でき、燃焼室３を二重壁
構造として圧力気体を導入する気体ノズル６を設けるだ
けでよいため、構造も簡単であり、装置コストや運転コ
ストの低減を図ることができる。
【００１６】なお、本形態例に示す燃焼バーナー４は、
排ガスが供給される排ガス流路４ａを中心に、窒素ガス
等が供給されるリフトガス流路４ｂ，燃焼用空気等が供
給される一次空気流路４ｃ，二次空気又は窒素ガス等が
供給される流路４ｄを配した四重管構造を有するもので
あり、パイロットバーナー５は、通常の点火プラグ付き
のものであって、燃料と支燃性ガス、例えばプロパンガ
スと空気とを混合したガスを点火プラグで点火して燃焼
させ、得られた火炎で燃焼バーナー４を着火するもので
ある。これらのバーナーは、排ガスを燃焼処理するため
に用いられる各種構造のものを用いることが可能であ
り、排ガスの成分や処理量に応じて適宜な構造のものを
選択使用することができる。
排ガスが供給される排ガス流路４ａを中心に、窒素ガス
等が供給されるリフトガス流路４ｂ，燃焼用空気等が供
給される一次空気流路４ｃ，二次空気又は窒素ガス等が
供給される流路４ｄを配した四重管構造を有するもので
あり、パイロットバーナー５は、通常の点火プラグ付き
のものであって、燃料と支燃性ガス、例えばプロパンガ
スと空気とを混合したガスを点火プラグで点火して燃焼
させ、得られた火炎で燃焼バーナー４を着火するもので
ある。これらのバーナーは、排ガスを燃焼処理するため
に用いられる各種構造のものを用いることが可能であ
り、排ガスの成分や処理量に応じて適宜な構造のものを
選択使用することができる。
【００１７】また、圧力気体を導入する気体ノズル６
は、燃焼室３の大きさなどに応じて複数本を設置しても
よく、その取付位置にも制限はない。さらに、圧力気体
を均等に導入できるように、気体ノズル６の先にバッフ
ル板等を取付けるようにしてもよい。
は、燃焼室３の大きさなどに応じて複数本を設置しても
よく、その取付位置にも制限はない。さらに、圧力気体
を均等に導入できるように、気体ノズル６の先にバッフ
ル板等を取付けるようにしてもよい。
【００１８】図２は、燃焼式排ガス処理装置の第２形態
例を示すものである。この燃焼式排ガス処理装置は、燃
焼室３内に、内壁１の内面に水等の液体を供給する液供
給手段としてのスプレーノズル１１を設けたものであ
る。
例を示すものである。この燃焼式排ガス処理装置は、燃
焼室３内に、内壁１の内面に水等の液体を供給する液供
給手段としてのスプレーノズル１１を設けたものであ
る。
【００１９】すなわち、上記第１形態例に示す構造によ
り、内壁１の内面への粉状体の付着は防止することがで
きるが、内壁１を貫通する前記パイロットバーナー５
や、燃焼室３内の火炎の状態を確認するための火炎検出
器１２、さらに内壁１に取付けられる温度検出器等は、
その先端の取付部が内壁１に溶接により固定されてい
る。したがって、これらの溶接部１３においては、内壁
１の燒結金属のポアが溶接により塞がれた状態になり、
この部分の多孔性状態が損なわれて圧力気体が噴出しな
い状態になるため、燃焼処理の経過に伴って溶接部１３
の内面側に粉状体が付着することがある。
り、内壁１の内面への粉状体の付着は防止することがで
きるが、内壁１を貫通する前記パイロットバーナー５
や、燃焼室３内の火炎の状態を確認するための火炎検出
器１２、さらに内壁１に取付けられる温度検出器等は、
その先端の取付部が内壁１に溶接により固定されてい
る。したがって、これらの溶接部１３においては、内壁
１の燒結金属のポアが溶接により塞がれた状態になり、
この部分の多孔性状態が損なわれて圧力気体が噴出しな
い状態になるため、燃焼処理の経過に伴って溶接部１３
の内面側に粉状体が付着することがある。
【００２０】通常、上記溶接部１３に粉状体が付着した
程度では、燃焼処理に著しい悪影響を与えることはない
が、長期的なトラブル防止の観点からは、溶接部１３に
付着した粉状体も除去することが望ましい。さらに、図
に示すように、燃焼室下部に燃焼ガスを冷却するための
冷却水噴出用スプレーノズル１４を備えている場合は、
該スプレーノズル１４やその配管１４ａの上面にも粉状
体が付着堆積するので、この粉状体も除去しておくこと
が好ましい。
程度では、燃焼処理に著しい悪影響を与えることはない
が、長期的なトラブル防止の観点からは、溶接部１３に
付着した粉状体も除去することが望ましい。さらに、図
に示すように、燃焼室下部に燃焼ガスを冷却するための
冷却水噴出用スプレーノズル１４を備えている場合は、
該スプレーノズル１４やその配管１４ａの上面にも粉状
体が付着堆積するので、この粉状体も除去しておくこと
が好ましい。
【００２１】このようなことから、燃焼室３内にスプレ
ーノズル１１を設けて水やアルカリ水溶液等の液体を、
内壁１の内面、特に前記溶接部１３の内面に向けて吹付
けるようにすることにより、溶接部１３や冷却水噴出用
スプレーノズル１４等に付着した粉状体を、装置を分解
することなく簡単に除去することができる。
ーノズル１１を設けて水やアルカリ水溶液等の液体を、
内壁１の内面、特に前記溶接部１３の内面に向けて吹付
けるようにすることにより、溶接部１３や冷却水噴出用
スプレーノズル１４等に付着した粉状体を、装置を分解
することなく簡単に除去することができる。
【００２２】内壁１の内面に液体を供給する液供給手段
としては、液体が内壁１の内面に沿って流れ落ちる程度
に液体を流出させるものであってもよいが、液体を適度
な力で噴出するスプレーノズル１１を用いることによ
り、噴出した液体の衝撃力で粉状体を効率よく除去する
ことができる。スプレーノズル１１には、フルコーン，
フラット等の各種タイプのものを使用することができ、
燃焼室３の大きさあるいは溶接部１３の数や位置に応じ
て適当な位置に適当な個数を設置することができ、液体
の噴出方向も任意に設定することができる。
としては、液体が内壁１の内面に沿って流れ落ちる程度
に液体を流出させるものであってもよいが、液体を適度
な力で噴出するスプレーノズル１１を用いることによ
り、噴出した液体の衝撃力で粉状体を効率よく除去する
ことができる。スプレーノズル１１には、フルコーン，
フラット等の各種タイプのものを使用することができ、
燃焼室３の大きさあるいは溶接部１３の数や位置に応じ
て適当な位置に適当な個数を設置することができ、液体
の噴出方向も任意に設定することができる。
【００２３】さらに、燃焼室３の下部に前記冷却水噴出
用スプレーノズル１４が設けられている場合は、スプレ
ーノズル１１から噴出させる液体を水とし、スプレーノ
ズル１１から噴出させる水として前記冷却水を用いるこ
とにより、冷却水用配管から分岐した簡単な配管を追加
するだけで形成することができる。一方、付着する粉状
体の性状に応じて噴出させる液体をアルカリ水溶液等を
用いることにより、粉状体を更に確実に除去することが
できる。
用スプレーノズル１４が設けられている場合は、スプレ
ーノズル１１から噴出させる液体を水とし、スプレーノ
ズル１１から噴出させる水として前記冷却水を用いるこ
とにより、冷却水用配管から分岐した簡単な配管を追加
するだけで形成することができる。一方、付着する粉状
体の性状に応じて噴出させる液体をアルカリ水溶液等を
用いることにより、粉状体を更に確実に除去することが
できる。
【００２４】また、水等による粉状体の除去は、装置の
運転を停止して内壁１が所定温度以下に冷えてから行う
ものであるから、内壁１の温度を測定する温度測定手段
を設けるとともに、スプレーノズル１１に水等を供給す
る配管に、前記温度測定手段からの信号で内壁１の温度
が設定温度以下のときにのみ開く自動弁を設けておくこ
とにより、運転中の内壁１が高温のときに水等が供給さ
れることを防止できる。
運転を停止して内壁１が所定温度以下に冷えてから行う
ものであるから、内壁１の温度を測定する温度測定手段
を設けるとともに、スプレーノズル１１に水等を供給す
る配管に、前記温度測定手段からの信号で内壁１の温度
が設定温度以下のときにのみ開く自動弁を設けておくこ
とにより、運転中の内壁１が高温のときに水等が供給さ
れることを防止できる。
【００２５】
【実施例】以下、本発明の実施例及び比較例を説明す
る。 実施例１ 図３に示す形状の燃焼式排ガス処理装置を使用してシラ
ンの除害処理を行った。この燃焼式排ガス処理装置は、
外径１５０ｍｍ、厚さ３ｍｍ、公称濾過精度１００μｍ
のステンレス鋼製焼結金属からなる内壁１と、外径２１
６．３ｍｍのステンレス鋼からなる外壁２とにより形成
した高さ３００ｍｍの二重壁構造の燃焼室３を有するも
ので、燃焼室３の上部中央には、五重管構造の拡散方式
の燃焼バーナー４を取付け、上部側壁には、パイロット
バーナー５を取付けた。また、燃焼室３の下部開口７
は、燃焼ガスを冷却するための冷却水噴出用スプレーノ
ズル１４を備えたチャンバー１５を介して排気処理装置
に接続した。
る。 実施例１ 図３に示す形状の燃焼式排ガス処理装置を使用してシラ
ンの除害処理を行った。この燃焼式排ガス処理装置は、
外径１５０ｍｍ、厚さ３ｍｍ、公称濾過精度１００μｍ
のステンレス鋼製焼結金属からなる内壁１と、外径２１
６．３ｍｍのステンレス鋼からなる外壁２とにより形成
した高さ３００ｍｍの二重壁構造の燃焼室３を有するも
ので、燃焼室３の上部中央には、五重管構造の拡散方式
の燃焼バーナー４を取付け、上部側壁には、パイロット
バーナー５を取付けた。また、燃焼室３の下部開口７
は、燃焼ガスを冷却するための冷却水噴出用スプレーノ
ズル１４を備えたチャンバー１５を介して排気処理装置
に接続した。
【００２６】燃焼バーナー４には、中心の排ガス流路に
シラン（ＳｉＨ4 ）３％を含む窒素ガス（Ｎ2 ）を毎分
１５０リットルで、その外周のリフトガス流路に窒素ガ
ス（Ｎ2 ）を毎分１０リットルで、その外周のシラン燃
焼用支燃性ガス流路に空気を毎分１００リットルで、さ
らにその外周の燃料燃焼用支燃性ガス流路に空気を毎分
１２５リットルで、その外周の燃料流路にプロパンガス
（ＬＰＧ）を毎分５リットルで、それぞれ供給した。
シラン（ＳｉＨ4 ）３％を含む窒素ガス（Ｎ2 ）を毎分
１５０リットルで、その外周のリフトガス流路に窒素ガ
ス（Ｎ2 ）を毎分１０リットルで、その外周のシラン燃
焼用支燃性ガス流路に空気を毎分１００リットルで、さ
らにその外周の燃料燃焼用支燃性ガス流路に空気を毎分
１２５リットルで、その外周の燃料流路にプロパンガス
（ＬＰＧ）を毎分５リットルで、それぞれ供給した。
【００２７】また、パイロットバーナー５には、毎分１
リットルのプロパンガスと毎分２２リットルの空気とを
混合したガスを供給した。内壁１と外壁２との間には、
気体ノズル６から圧力４ｋｇ／ｃｍ2 Ｇの圧縮空気を毎
分１６５リットルで供給した。なお、気体ノズル６の先
にはバッフル板６ａを取付けている。
リットルのプロパンガスと毎分２２リットルの空気とを
混合したガスを供給した。内壁１と外壁２との間には、
気体ノズル６から圧力４ｋｇ／ｃｍ2 Ｇの圧縮空気を毎
分１６５リットルで供給した。なお、気体ノズル６の先
にはバッフル板６ａを取付けている。
【００２８】上記条件で８時間運転した後、燃焼室３を
開放して内部を点検したところ、内壁１の内面に粉末の
付着は見られなかった。また、排気処理装置から排出さ
れるガス中のシラン濃度は、運転中、常に許容濃度であ
る５ｐｐｍの１／１０未満であった。
開放して内部を点検したところ、内壁１の内面に粉末の
付着は見られなかった。また、排気処理装置から排出さ
れるガス中のシラン濃度は、運転中、常に許容濃度であ
る５ｐｐｍの１／１０未満であった。
【００２９】比較例 内壁を外径１６５．２ｍｍのステンレス鋼製とし、気体
ノズル６からの圧縮空気の導入を止めた以外は、実施例
と同じ条件でシランの除害処理を行った。８時間運転し
た後に燃焼室内を点検したところ、内壁内面に５〜６ｃ
ｍの厚さで粉末（ＳｉＯ2 ）が付着していた。
ノズル６からの圧縮空気の導入を止めた以外は、実施例
と同じ条件でシランの除害処理を行った。８時間運転し
た後に燃焼室内を点検したところ、内壁内面に５〜６ｃ
ｍの厚さで粉末（ＳｉＯ2 ）が付着していた。
【００３０】実施例２ 実施例１の装置を連続して１６８時間運転した後に燃焼
室内を点検したところ、パイロットバーナー５の取付部
周辺や冷却水噴出用スプレーノズル１４の上面に１５〜
２０ｍｍの厚さで粉末（ＳｉＯ2 ）が付着していた。そ
こで、図２に示したように、燃焼室３の上部に内壁１の
内面に水を吹付けるスプレーノズルを３個取付けた。そ
して、１６８時間連続して燃焼処理を行った後、内壁１
の温度が５０℃以下になってから、スプレーノズルから
水を１０分間噴射させた。その後、燃焼室３を開放して
内部を点検したところ、内壁３の内面はもちろん、パイ
ロットバーナー５の取付部周辺や冷却水噴出用スプレー
ノズル１４の上面にも粉状体の付着は認められなかっ
た。なお、パイロットバーナー５の取付部周辺や冷却水
噴出用スプレーノズル１４の上面に粉末（ＳｉＯ2 ）が
付着した状態であっても、排気処理装置から排出される
ガス中のシラン濃度は、運転中、常に許容濃度である５
ｐｐｍの１／１０未満であった。
室内を点検したところ、パイロットバーナー５の取付部
周辺や冷却水噴出用スプレーノズル１４の上面に１５〜
２０ｍｍの厚さで粉末（ＳｉＯ2 ）が付着していた。そ
こで、図２に示したように、燃焼室３の上部に内壁１の
内面に水を吹付けるスプレーノズルを３個取付けた。そ
して、１６８時間連続して燃焼処理を行った後、内壁１
の温度が５０℃以下になってから、スプレーノズルから
水を１０分間噴射させた。その後、燃焼室３を開放して
内部を点検したところ、内壁３の内面はもちろん、パイ
ロットバーナー５の取付部周辺や冷却水噴出用スプレー
ノズル１４の上面にも粉状体の付着は認められなかっ
た。なお、パイロットバーナー５の取付部周辺や冷却水
噴出用スプレーノズル１４の上面に粉末（ＳｉＯ2 ）が
付着した状態であっても、排気処理装置から排出される
ガス中のシラン濃度は、運転中、常に許容濃度である５
ｐｐｍの１／１０未満であった。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の燃焼式排
ガス処理装置によれば、低コスト、省スペース、かつ、
簡単な構造で燃焼室内面への固体酸化物等の粉状体の付
着を防止でき、長期間にわたって安定した状態で燃焼除
害処理を行うことができる。また、液供給手段を設ける
ことにより、溶接部等に付着する粉状体も、簡単に除去
することができるので、粉状体除去のために装置を分解
する必要がほとんどなくなり、保守に要するコストを大
幅に低減することができる。
ガス処理装置によれば、低コスト、省スペース、かつ、
簡単な構造で燃焼室内面への固体酸化物等の粉状体の付
着を防止でき、長期間にわたって安定した状態で燃焼除
害処理を行うことができる。また、液供給手段を設ける
ことにより、溶接部等に付着する粉状体も、簡単に除去
することができるので、粉状体除去のために装置を分解
する必要がほとんどなくなり、保守に要するコストを大
幅に低減することができる。
【図１】 本発明の燃焼式排ガス処理装置の第１形態例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図２】 燃焼式排ガス処理装置の第２形態例を示す断
面図である。
面図である。
【図３】 実施例で用いた燃焼式排ガス処理装置を示す
断面図である。
断面図である。
１…内壁、２…外壁、３…燃焼室、４…燃焼バーナー、
５…パイロットバーナー、６…気体ノズル、７…下部開
口、１１…スプレーノズル、１２…火炎検出器、１３…
溶接部、１４…冷却水噴出用スプレーノズル
５…パイロットバーナー、６…気体ノズル、７…下部開
口、１１…スプレーノズル、１２…火炎検出器、１３…
溶接部、１４…冷却水噴出用スプレーノズル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三宅 新一 山梨県北巨摩郡高根町下黒沢3054−３ 日本酸素株式会社内 (72)発明者 新田 昭彦 山梨県北巨摩郡高根町下黒沢3054−３ 日本酸素株式会社内 (56)参考文献 特開 平６−313532（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−223423（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−62528（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−41725（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−68414（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−103311（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−126014（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−134405（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−17985（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−288323（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−196407（ＪＰ，Ａ) 実開 昭50−36371（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭54−175183（ＪＰ，Ｕ) 特公 昭60−9210（ＪＰ，Ｂ１) 米国特許4555389（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F23G 7/06 F23G 5/44
Claims (3)
- 【請求項１】 半導体製造装置やＬＣＤ製造装置から排
出される有害成分を含む排ガスを燃焼室内に噴出させて
燃焼させることにより除害処理を行う燃焼式排ガス処理
装置において、前記燃焼室を、内壁及び外壁からなる二
重壁構造で形成し、前記内壁全周を焼結金属で形成する
とともに、内壁と外壁との間に圧力気体を導入する気体
導入部を設けたことを特徴とする燃焼式排ガス処理装
置。 - 【請求項２】 前記燒結金属が、ステンレス鋼製である
ことを特徴とする請求項１記載の燃焼式排ガス処理装
置。 - 【請求項３】 前記燃焼室は、装置の運転停止時に、前
記内壁の内面に液体を供給して内面を洗浄する液供給手
段を備えていることを特徴とする請求項１又は２記載の
燃焼式排ガス処理装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21469996A JP3316619B2 (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | 燃焼式排ガス処理装置 |
| TW086111582A TW342436B (en) | 1996-08-14 | 1997-08-09 | Combustion type harm removal apparatus (1) |
| US09/051,457 US6234787B1 (en) | 1996-08-14 | 1997-08-11 | Combustion type harmful substance removing apparatus |
| KR10-1998-0701796A KR100500786B1 (ko) | 1996-08-14 | 1997-08-11 | 연소식유해물질제거장치 |
| PCT/JP1997/002800 WO1998006977A1 (fr) | 1996-08-14 | 1997-08-11 | Appareil d'elimination de substances nocives du type a combustion |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21469996A JP3316619B2 (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | 燃焼式排ガス処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1054534A JPH1054534A (ja) | 1998-02-24 |
| JP3316619B2 true JP3316619B2 (ja) | 2002-08-19 |
Family
ID=16660146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21469996A Expired - Fee Related JP3316619B2 (ja) | 1996-08-14 | 1996-08-14 | 燃焼式排ガス処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3316619B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006194544A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Japan Pionics Co Ltd | 有害ガスの浄化装置 |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4497726B2 (ja) | 1998-12-01 | 2010-07-07 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
| JP4535558B2 (ja) * | 2000-03-31 | 2010-09-01 | 大陽日酸株式会社 | 燃焼式排ガス処理装置 |
| US7736599B2 (en) * | 2004-11-12 | 2010-06-15 | Applied Materials, Inc. | Reactor design to reduce particle deposition during process abatement |
| JP5232407B2 (ja) * | 2007-05-25 | 2013-07-10 | 日本パイオニクス株式会社 | 排ガスの浄化装置 |
| US8986002B2 (en) * | 2009-02-26 | 2015-03-24 | 8 Rivers Capital, Llc | Apparatus for combusting a fuel at high pressure and high temperature, and associated system |
| JP2010276307A (ja) * | 2009-05-29 | 2010-12-09 | Japan Pionics Co Ltd | 熱分解装置 |
| JP6318235B2 (ja) * | 2013-04-25 | 2018-04-25 | エドワーズ リミテッド | 放射バーナ |
| JP6258797B2 (ja) * | 2014-06-27 | 2018-01-10 | 日本パイオニクス株式会社 | 排ガスの燃焼式浄化装置 |
| KR101531233B1 (ko) * | 2015-01-27 | 2015-06-24 | 윤문중 | 폐가스 처리용 버너 |
| WO2018034331A1 (ja) * | 2016-08-19 | 2018-02-22 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 |
| JP6895342B2 (ja) * | 2016-08-19 | 2021-06-30 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 |
| MX2019010632A (es) | 2017-03-07 | 2019-10-15 | 8 Rivers Capital Llc | Sistema y metodo para la operacion de una camara de combustion de combustible flexible para turbina de gas. |
| CA3055403A1 (en) | 2017-03-07 | 2018-09-13 | 8 Rivers Capital, Llc | System and method for combustion of solid fuels and derivatives thereof |
| JP6734821B2 (ja) * | 2017-07-13 | 2020-08-05 | 大陽日酸株式会社 | 燃焼ノズル、燃焼筒、及び燃焼除害装置 |
| WO2020021456A1 (en) | 2018-07-23 | 2020-01-30 | 8 Rivers Capital, Llc | System and method for power generation with flameless combustion |
| GB2586706A (en) * | 2019-08-21 | 2021-03-03 | Csk Inc | A burner for scrubbers |
-
1996
- 1996-08-14 JP JP21469996A patent/JP3316619B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006194544A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Japan Pionics Co Ltd | 有害ガスの浄化装置 |
| JP4619798B2 (ja) * | 2005-01-14 | 2011-01-26 | 日本パイオニクス株式会社 | 有害ガスの浄化装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1054534A (ja) | 1998-02-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3316619B2 (ja) | 燃焼式排ガス処理装置 | |
| KR100500786B1 (ko) | 연소식유해물질제거장치 | |
| KR100500787B1 (ko) | 연소식유해물질제거장치 | |
| JP4497726B2 (ja) | 排ガス処理装置 | |
| EP0694735B1 (en) | Combustive destruction of noxious substances | |
| US5183646A (en) | Incinerator for complete oxidation of impurities in a gas stream | |
| JP2008519959A (ja) | 削減処理中の粒子堆積を軽減するための反応装置構造 | |
| JP4579944B2 (ja) | 排ガス処理装置 | |
| KR100268815B1 (ko) | 배기가스 연소방법 및 그 장치 | |
| KR20030024892A (ko) | 연소식 배기가스처리방법 및 장치 | |
| CN110242972B (zh) | 废气焚烧用燃烧器 | |
| JPS62134414A (ja) | 半導体製造排ガスの燃焼方法及び同燃焼装置 | |
| JP2013160456A (ja) | 難分解物質の分解処理装置 | |
| EP3502560B1 (en) | Burner head for exhaust gas treatment device and method for manufacturing same, and combustion chamber for exhaust gas treatment device, and manufacturing method and maintenance method for same | |
| JP5568223B2 (ja) | 排ガスの燃焼式除害装置 | |
| JP2001349521A (ja) | 燃焼式除害装置及びその運転方法 | |
| JPH0352616A (ja) | 有毒性排ガスの処理方法及び装置 | |
| JP4528141B2 (ja) | 難燃性物質分解バーナ | |
| JP3841729B2 (ja) | 廃棄物処理用燃焼装置 | |
| JP2005291675A (ja) | 燃焼式排ガス処理装置 | |
| JP2688658B2 (ja) | 排ガス熱焼処理装置における逆火防止装置 | |
| JPH11151418A (ja) | 半導体製造排ガス除害機の火炎防止装置 | |
| JP2008292077A (ja) | 排ガスの浄化装置 | |
| JPH1151370A (ja) | 燃焼式除害装置の監視窓装置 | |
| CN113587099A (zh) | 废弃物焚烧炉和废弃物焚烧方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080614 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090614 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100614 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100614 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100614 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110614 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110614 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120614 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120614 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130614 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130614 Year of fee payment: 11 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |