JP6258797B2 - 排ガスの燃焼式浄化装置 - Google Patents
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Description
尚、図1は、本発明の排ガスの燃焼式浄化装置の一例を示す縦断面の構成図である。図2は、図1におけるa−a’断面図である。図3は、本発明の排ガスの燃焼式浄化装置の図1以外の一例を示す縦断面の構成図である。図4は、図3におけるb−b’断面図である。図5は、本発明の排ガスの燃焼式浄化装置の燃焼室の側面壁の例を示す部分拡大断面図である。図6は、本発明の排ガスの燃焼式浄化装置に水槽及びスクラバーの設備を結合した浄化装置の例を示す縦断面の構成図である。
(燃焼式浄化装置の製作)
円筒形の燃焼室1(高さ500mm、直径200mm)、火炎を該燃焼室1へ導入するノズル2、排ガスを燃焼室1へ導入するノズル3、燃焼室1の側面壁4(厚さ15mm)、環状の酸素含有ガス流路5(幅20mm)、酸素含有ガス導入口6、及び燃焼後のガスを外部へ排出する排出口7にスプレーノズル8を有する図1、図2に示すような構成の浄化装置を製作した。尚、側面壁4は、直径10〜100μmに相当する微多孔を有する通気性のセラミック壁4’と通気性の金属壁4”からなり、通気性の金属壁4”の高さは、燃焼室の側面壁全体の高さの20%であった。また、スプレーノズル8は、燃焼処理後のガスの冷却を早く行なうことにより、燃焼式浄化装置の小型化を図るため、噴出する冷却水がセラミック壁4’に接触せず、通気性の金属壁4”の下部に接触するような位置に設置した。
水槽に深さが150mmになるまで水を注入した後、ポンプ等を稼動してスプレーノズル8及び13から水を噴出させた。また、プロパン(流量15L/min)と空気(流量440L/min)を混合し燃焼させて、ノズルから燃焼室1に導入するとともに、空気を4個の酸素含有ガス導入口から37.5L/minずつ、合計150L/minの流量で側面壁を介して燃焼室1に導入した。次に、排ガスとしてのシラン(流量10L/min)を含む窒素ガス(流量490L/min)を、4個の各ノズルから125L/min、合計500L/minで燃焼室1に導入して燃焼処理を行なった。シランの燃焼処理を20時間行なった後、燃焼式浄化装置からセラミック壁4’と金属壁4”を取出して表面を検査したが、クラック等は検出することはできなかった。
(浄化装置の製作)
実施例1の燃焼式浄化装置の製作において、燃焼室1の側面壁4を、図3、図4に示すような構成に替えたほかは実施例1と同様にして燃焼式浄化装置を製作した。また、実施例1と同様にしてスクラバーを設置して、図6に示すような浄化装置を完成した。この装置を用いて実施例1と同様にして燃焼式浄化装置の燃焼処理試験を行なった。その結果、セラミック壁4’と金属壁4”の表面から、クラック等を検出することはできなかった。
2 火炎を燃焼室へ導入するノズル
3 排ガスを燃焼室へ導入するノズル
4 側面壁
4’通気性のセラミック壁
4”通気性の金属壁
5 酸素含有ガス流路
6 酸素含有ガス導入口
7 排出口
8 スプレーノズル
9 孔
10 線状の間隙
11 格子窓状の間隙
12 冷却配管
13 スプレーノズル
14 フローメーター
15 ポンプ
16 排ガスの燃焼式浄化装置とスクラバー設備間の配管
17 水槽
18 排水管
19 多孔板
20 充填材
21 デミスター
22 処理後のガスを外部へ排出する排出口
Claims (5)
- 半導体製造工程から排出される排ガスに含まれる有害成分を燃焼する燃焼室、火炎を該燃焼室へ導入するノズル、排ガスを該燃焼室へ導入するノズル、該燃焼室の側面壁、該側面壁の外周に設けられた酸素含有ガス流路、該流路に酸素含有ガスを導入する酸素含有ガス導入口、及び燃焼処理後のガスの排出口にスプレーノズルを備えた燃焼式浄化装置であって、燃焼室の側面壁の上部表面が通気性のセラミック壁、燃焼室の側面壁の下部表面が通気性の金属壁であることを特徴とする排ガスの燃焼式浄化装置。
- 燃焼室の側面壁が、円筒の形状である請求項1に記載の排ガスの燃焼式浄化装置。
- 酸素含有ガス流路が、環状である請求項1に記載の排ガスの燃焼式浄化装置。
- 燃焼室の側面壁の下部表面を構成する通気性の金属壁の高さが、燃焼室の側面壁全体の高さの5〜30%である請求項1に記載の排ガスの燃焼式浄化装置。
- 燃焼室の排出側に、粉化物の除去部及び/または酸性ガスの除去部を設けた請求項1に記載の排ガスの燃焼式浄化装置。
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