JPH1061934A - 燃焼式排ガス処理装置 - Google Patents
燃焼式排ガス処理装置Info
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- JPH1061934A JPH1061934A JP21626496A JP21626496A JPH1061934A JP H1061934 A JPH1061934 A JP H1061934A JP 21626496 A JP21626496 A JP 21626496A JP 21626496 A JP21626496 A JP 21626496A JP H1061934 A JPH1061934 A JP H1061934A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 除害処理のための燃焼で発生した熱を有効に
利用することができ、同時に、燃焼室の冷却も行うこと
ができる燃焼式排ガス処理装置を提供する。 【解決手段】 燃焼室２の外周に、燃焼バーナー１に導
入するガスの少なくとも一部のガスを予熱するガス予熱
経路６ａ，６ｂを設ける。
利用することができ、同時に、燃焼室の冷却も行うこと
ができる燃焼式排ガス処理装置を提供する。 【解決手段】 燃焼室２の外周に、燃焼バーナー１に導
入するガスの少なくとも一部のガスを予熱するガス予熱
経路６ａ，６ｂを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、燃焼式排ガス処理
装置に関し、詳しくは、排ガス中に含まれる毒性ガス，
可燃性ガス，腐食性ガス等の有害成分を燃焼や熱分解に
より無害化するための燃焼式排ガス処理装置に関する。
装置に関し、詳しくは、排ガス中に含まれる毒性ガス，
可燃性ガス，腐食性ガス等の有害成分を燃焼や熱分解に
より無害化するための燃焼式排ガス処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体やＬＣＤを製造する装置
からは、可燃性又は支燃性の有害成分を含むガスが排ガ
スとして排出されるため、これらの有害成分の除害（無
害化）処理を行ってから排ガスを排出する必要がある。
このような排ガスの除害処理を行うための装置の一つと
して、燃焼式排ガス処理装置が知られている。
からは、可燃性又は支燃性の有害成分を含むガスが排ガ
スとして排出されるため、これらの有害成分の除害（無
害化）処理を行ってから排ガスを排出する必要がある。
このような排ガスの除害処理を行うための装置の一つと
して、燃焼式排ガス処理装置が知られている。
【０００３】上記燃焼式排ガス処理装置は、排ガスに含
まれる各種有害成分を燃焼させたり、熱分解させたりし
て除害処理を行うもので、燃焼バーナーから前記排ガス
や支燃性ガス等のガスを燃焼室内に噴出させて燃焼させ
る構造を有している。
まれる各種有害成分を燃焼させたり、熱分解させたりし
て除害処理を行うもので、燃焼バーナーから前記排ガス
や支燃性ガス等のガスを燃焼室内に噴出させて燃焼させ
る構造を有している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の燃焼式
排ガス処理装置においては、燃焼により発生する熱は、
前記有害成分を加熱して酸化，分解させる目的にのみ使
用され、処理後に装置から排出されるガスは、熱回収さ
れることなく水等で冷却されており、廃熱の有効利用は
なされていなかった。また、一般の燃焼装置では、熱交
換器等を設置して廃熱を回収するようにしているが、熱
交換器を設置するためのコストとスペースとが必要にな
る。
排ガス処理装置においては、燃焼により発生する熱は、
前記有害成分を加熱して酸化，分解させる目的にのみ使
用され、処理後に装置から排出されるガスは、熱回収さ
れることなく水等で冷却されており、廃熱の有効利用は
なされていなかった。また、一般の燃焼装置では、熱交
換器等を設置して廃熱を回収するようにしているが、熱
交換器を設置するためのコストとスペースとが必要にな
る。
【０００５】そこで本発明は、除害処理のための燃焼で
発生した熱を有効に利用することができ、同時に、燃焼
室の冷却も行うことができる燃焼式排ガス処理装置を提
供することを目的としている。
発生した熱を有効に利用することができ、同時に、燃焼
室の冷却も行うことができる燃焼式排ガス処理装置を提
供することを目的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の燃焼式排ガス処理装置は、有害成分を含む
排ガスや支燃性ガス等のガスを燃焼バーナーから燃焼室
内に噴出させて燃焼させることにより除害処理を行う燃
焼式排ガス処理装置において、前記燃焼室の外周に、前
記燃焼バーナーに導入するガスの少なくとも一部のガス
を予熱するガス予熱経路を設けたことを特徴としてい
る。
め、本発明の燃焼式排ガス処理装置は、有害成分を含む
排ガスや支燃性ガス等のガスを燃焼バーナーから燃焼室
内に噴出させて燃焼させることにより除害処理を行う燃
焼式排ガス処理装置において、前記燃焼室の外周に、前
記燃焼バーナーに導入するガスの少なくとも一部のガス
を予熱するガス予熱経路を設けたことを特徴としてい
る。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、本発明を、図面を参照して
さらに詳細に説明する。図１は、本発明の燃焼式排ガス
処理装置の一例を示す断面図であって、この燃焼式排ガ
ス処理装置は、上部中央に燃焼バーナー１を有する燃焼
室２の胴部を二重壁構造とし、燃焼室２を構成する内壁
３と外壁４との間に形成される空洞部に仕切板５を設
け、リング状のガス予熱経路６ａ，６ｂを上下二段に設
けたものである。
さらに詳細に説明する。図１は、本発明の燃焼式排ガス
処理装置の一例を示す断面図であって、この燃焼式排ガ
ス処理装置は、上部中央に燃焼バーナー１を有する燃焼
室２の胴部を二重壁構造とし、燃焼室２を構成する内壁
３と外壁４との間に形成される空洞部に仕切板５を設
け、リング状のガス予熱経路６ａ，６ｂを上下二段に設
けたものである。
【０００８】前記燃焼バーナー１は、排ガスが供給され
る排ガス流路１ａを中心に、窒素ガス等が供給されるリ
フトガス流路１ｂ，燃焼用空気等が供給される一次空気
流路１ｃ，二次空気又は窒素ガス等が供給されるガス流
路１ｄを配した四重管構造を有するもので、各流路に接
続する４本のガス供給経路７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの
内、排ガス流路１ａに接続する排ガス供給経路７ａと、
一次空気流路１ｃに接続する一次空気供給経路７ｃと
が、前記ガス予熱経路６ａ，６ｂを介して接続されてい
る。
る排ガス流路１ａを中心に、窒素ガス等が供給されるリ
フトガス流路１ｂ，燃焼用空気等が供給される一次空気
流路１ｃ，二次空気又は窒素ガス等が供給されるガス流
路１ｄを配した四重管構造を有するもので、各流路に接
続する４本のガス供給経路７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの
内、排ガス流路１ａに接続する排ガス供給経路７ａと、
一次空気流路１ｃに接続する一次空気供給経路７ｃと
が、前記ガス予熱経路６ａ，６ｂを介して接続されてい
る。
【０００９】また、燃焼室２には、着火用のパイロット
バーナー８と、内壁３の内面に付着する粉状体を除去す
るためのスプレーノズル９とが設けられており、燃焼室
２の下部開口１０は、図示しないトラップ等を介して排
気系に接続されている。
バーナー８と、内壁３の内面に付着する粉状体を除去す
るためのスプレーノズル９とが設けられており、燃焼室
２の下部開口１０は、図示しないトラップ等を介して排
気系に接続されている。
【００１０】このように形成された燃焼式排ガス処理装
置において、燃焼処理される有害成分を含む排ガスは、
排ガス供給経路７ａからガス予熱経路６ａを通り、予熱
されてから燃焼バーナー１の排ガス流路１ａに供給さ
れ、この排ガスを燃焼させるための酸素を含んだ一次空
気は、一次空気供給経路７ｃからガス予熱経路６ｂを通
って予熱されてから燃焼バーナー１の一次空気流路１ｃ
に供給される。
置において、燃焼処理される有害成分を含む排ガスは、
排ガス供給経路７ａからガス予熱経路６ａを通り、予熱
されてから燃焼バーナー１の排ガス流路１ａに供給さ
れ、この排ガスを燃焼させるための酸素を含んだ一次空
気は、一次空気供給経路７ｃからガス予熱経路６ｂを通
って予熱されてから燃焼バーナー１の一次空気流路１ｃ
に供給される。
【００１１】このように、燃焼処理により発生した熱で
排ガスや一次空気を予熱してから燃焼バーナー１に供給
することにより、排ガスの燃焼を促進することができ、
燃料の節減を図りながら燃焼温度を上げて確実な除害処
理を行えるとともに、これらのガスで燃焼室２の内壁３
や外壁４を冷却することができるので、装置外部が高温
になることがなく、安全性の向上も図れる。また、ガス
予熱経路６ａ，６ｂを燃焼室２の外周に一体的に形成し
たので、従来の独立した熱交換器を設置するのに比べて
低コストであり、設置スペースの問題もほとんどない。
排ガスや一次空気を予熱してから燃焼バーナー１に供給
することにより、排ガスの燃焼を促進することができ、
燃料の節減を図りながら燃焼温度を上げて確実な除害処
理を行えるとともに、これらのガスで燃焼室２の内壁３
や外壁４を冷却することができるので、装置外部が高温
になることがなく、安全性の向上も図れる。また、ガス
予熱経路６ａ，６ｂを燃焼室２の外周に一体的に形成し
たので、従来の独立した熱交換器を設置するのに比べて
低コストであり、設置スペースの問題もほとんどない。
【００１２】さらに、排ガスを燃焼処理する際に生成し
た固体酸化物等の粉状体が燃焼室内周面に付着すると、
燃焼室２が狭まって燃焼効率が低下するだけでなく、伝
熱効率が低下して予熱効率等も低下するが、前記粉状体
除去用のスプレーノズル９から空気や水等を適宜スプレ
ーして粉状体を除去することにより、長時間にわたって
効率のよい燃焼除害処理を安定した状態で継続させるこ
とができる。
た固体酸化物等の粉状体が燃焼室内周面に付着すると、
燃焼室２が狭まって燃焼効率が低下するだけでなく、伝
熱効率が低下して予熱効率等も低下するが、前記粉状体
除去用のスプレーノズル９から空気や水等を適宜スプレ
ーして粉状体を除去することにより、長時間にわたって
効率のよい燃焼除害処理を安定した状態で継続させるこ
とができる。
【００１３】なお、燃焼バーナーや燃焼室の形状，構造
は、上記形態例に限定されるものではなく、燃焼バーナ
ーには、予混合方式や拡散方式等、各種構造のものを用
いることができる。また、予熱効率を向上させるため、
燃焼室内壁の外周面にフィン等を設けて伝熱面積を拡大
させるようにしてもよい。さらに、ガス予熱経路は、燃
焼室の外周に管体を巻回するようにして形成してもよ
く、経路数も任意に選択することができる。
は、上記形態例に限定されるものではなく、燃焼バーナ
ーには、予混合方式や拡散方式等、各種構造のものを用
いることができる。また、予熱効率を向上させるため、
燃焼室内壁の外周面にフィン等を設けて伝熱面積を拡大
させるようにしてもよい。さらに、ガス予熱経路は、燃
焼室の外周に管体を巻回するようにして形成してもよ
く、経路数も任意に選択することができる。
【００１４】また、粉状体除去用のスプレーノズルは、
燃焼処理により粉状の固体酸化物等が燃焼室内周面に付
着する場合にのみ設ければよく、スプレーする流体は、
水のような液体でも、空気や窒素ガスのような気体でも
よい。
燃焼処理により粉状の固体酸化物等が燃焼室内周面に付
着する場合にのみ設ければよく、スプレーする流体は、
水のような液体でも、空気や窒素ガスのような気体でも
よい。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例及び比較例を説明す
る。 実施例 図２に示す形状の燃焼式排ガス処理装置を使用してシラ
ンの除害処理を行った。この燃焼式排ガス処理装置は、
外径１６５．２ｍｍのステンレス鋼製の内壁３と、外径
２１６．３ｍｍのステンレス鋼からなる外壁４とにより
形成した高さ４００ｍｍの二重壁構造の燃焼室２を有す
るもので、燃焼室２の上部中央には、四重管構造の燃焼
バーナー１を取付け、上部側壁には、パイロットバーナ
ー８を６本取付けるとともに、粉状体除去用のスプレー
ノズル９も設けた。また、燃焼室２の内壁３の外面と下
部開口１０とには、温度センサー１１をそれぞれ装着し
た。そして、内壁３と外壁４との間に形成したガス予熱
経路６には、シラン燃焼用の一次空気を流した。
る。 実施例 図２に示す形状の燃焼式排ガス処理装置を使用してシラ
ンの除害処理を行った。この燃焼式排ガス処理装置は、
外径１６５．２ｍｍのステンレス鋼製の内壁３と、外径
２１６．３ｍｍのステンレス鋼からなる外壁４とにより
形成した高さ４００ｍｍの二重壁構造の燃焼室２を有す
るもので、燃焼室２の上部中央には、四重管構造の燃焼
バーナー１を取付け、上部側壁には、パイロットバーナ
ー８を６本取付けるとともに、粉状体除去用のスプレー
ノズル９も設けた。また、燃焼室２の内壁３の外面と下
部開口１０とには、温度センサー１１をそれぞれ装着し
た。そして、内壁３と外壁４との間に形成したガス予熱
経路６には、シラン燃焼用の一次空気を流した。
【００１６】燃焼バーナー１には、中心の排ガス流路１
ａにシラン（ＳｉＨ4 ）３％を含む窒素ガス（Ｎ2 ）を
毎分１５０リットルで、その外周のリフトガス流路１ｂ
に窒素ガス（Ｎ2 ）を毎分１０リットルで、その外周の
シラン燃焼用支燃性ガス流路である一次空気流路１ｃに
ガス予熱経路６を経た一次空気を毎分１００リットル
で、さらにその外周のガス流路に窒素ガス（Ｎ2 ）を毎
分２０リットルでそれぞれ供給した。また、パイロット
バーナー８には、６本合計で、毎分０．８リットルのプ
ロパンガスと毎分２０．８リットルの空気とを混合した
ガスを供給した。
ａにシラン（ＳｉＨ4 ）３％を含む窒素ガス（Ｎ2 ）を
毎分１５０リットルで、その外周のリフトガス流路１ｂ
に窒素ガス（Ｎ2 ）を毎分１０リットルで、その外周の
シラン燃焼用支燃性ガス流路である一次空気流路１ｃに
ガス予熱経路６を経た一次空気を毎分１００リットル
で、さらにその外周のガス流路に窒素ガス（Ｎ2 ）を毎
分２０リットルでそれぞれ供給した。また、パイロット
バーナー８には、６本合計で、毎分０．８リットルのプ
ロパンガスと毎分２０．８リットルの空気とを混合した
ガスを供給した。
【００１７】その結果、燃焼室出口部の下部開口１０に
おけるガスの温度は７３０℃、内壁３の外面温度は３７
０℃であった。また、燃焼処理の継続により内壁内面に
シランの燃焼生成物である二酸化ケイ素（ＳｉＯ2 ）の
粉末が付着したが、スプレーノズル９から圧縮空気を間
欠的に噴射することにより、燃焼処理に影響を与えるこ
となく粉状体を除去することができ、一次空気の予熱や
内壁３の冷却にも影響はなかった。
おけるガスの温度は７３０℃、内壁３の外面温度は３７
０℃であった。また、燃焼処理の継続により内壁内面に
シランの燃焼生成物である二酸化ケイ素（ＳｉＯ2 ）の
粉末が付着したが、スプレーノズル９から圧縮空気を間
欠的に噴射することにより、燃焼処理に影響を与えるこ
となく粉状体を除去することができ、一次空気の予熱や
内壁３の冷却にも影響はなかった。
【００１８】比較例 燃焼室２を外径１６５．２ｍｍ、長さ（高さ）４００ｍ
ｍのステンレス鋼製筒体のみとし、一次空気を直接燃焼
バーナー１に供給した以外は、実施例と同じ条件でシラ
ンの除害処理を行った。その結果、燃焼室出口部におけ
るガスの温度は７１０℃、内壁３の外面温度は４００℃
であった。
ｍのステンレス鋼製筒体のみとし、一次空気を直接燃焼
バーナー１に供給した以外は、実施例と同じ条件でシラ
ンの除害処理を行った。その結果、燃焼室出口部におけ
るガスの温度は７１０℃、内壁３の外面温度は４００℃
であった。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の燃焼式排
ガス処理装置によれば、燃焼により発生した熱を簡単な
装置構成で有効に利用することができ、装置の省スペー
ス，低コストが図れる。さらに、予熱されるガスにより
燃焼室を冷却することもでき、また、熱回収により燃料
使用量の低減も図れる。
ガス処理装置によれば、燃焼により発生した熱を簡単な
装置構成で有効に利用することができ、装置の省スペー
ス，低コストが図れる。さらに、予熱されるガスにより
燃焼室を冷却することもでき、また、熱回収により燃料
使用量の低減も図れる。
【図１】 本発明の燃焼式排ガス処理装置の一例を示す
断面図である。
断面図である。
【図２】 実施例で用いた燃焼式排ガス処理装置を示す
断面図である。
断面図である。
１…燃焼バーナー、２…燃焼室、３…内壁、４…外壁、
５…仕切板、６，６ａ，６ｂ…ガス予熱経路、７ａ，７
ｂ，７ｃ，７ｄ…ガス供給経路、８…パイロットバーナ
ー、９…スプレーノズル、１０…下部開口、１１…温度
センサー
５…仕切板、６，６ａ，６ｂ…ガス予熱経路、７ａ，７
ｂ，７ｃ，７ｄ…ガス供給経路、８…パイロットバーナ
ー、９…スプレーノズル、１０…下部開口、１１…温度
センサー
Claims (1)
- 【請求項１】 有害成分を含む排ガスや支燃性ガス等の
ガスを燃焼バーナーから燃焼室内に噴出させて燃焼させ
ることにより除害処理を行う燃焼式排ガス処理装置にお
いて、前記燃焼室の外周に、前記燃焼バーナーに導入す
るガスの少なくとも一部のガスを予熱するガス予熱経路
を設けたことを特徴とする燃焼式排ガス処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21626496A JPH1061934A (ja) | 1996-08-16 | 1996-08-16 | 燃焼式排ガス処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21626496A JPH1061934A (ja) | 1996-08-16 | 1996-08-16 | 燃焼式排ガス処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1061934A true JPH1061934A (ja) | 1998-03-06 |
Family
ID=16685831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21626496A Pending JPH1061934A (ja) | 1996-08-16 | 1996-08-16 | 燃焼式排ガス処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1061934A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6638343B1 (en) | 1998-12-01 | 2003-10-28 | Ebara Corporation | Exhaust gas treating device |
| US6969250B1 (en) | 1998-12-01 | 2005-11-29 | Ebara Corporation | Exhaust gas treating device |
| KR100901267B1 (ko) * | 2008-01-25 | 2009-06-09 | 고등기술연구원연구조합 | 산소 부화식 합성가스 연소장치 |
| JP2012063073A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Sefutei:Kk | 廃油温風装置 |
| JP2016011759A (ja) * | 2014-06-27 | 2016-01-21 | 日本パイオニクス株式会社 | 排ガスの燃焼式浄化装置 |
| JP2016080226A (ja) * | 2014-10-15 | 2016-05-16 | エドワーズ株式会社 | 除害装置 |
-
1996
- 1996-08-16 JP JP21626496A patent/JPH1061934A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6638343B1 (en) | 1998-12-01 | 2003-10-28 | Ebara Corporation | Exhaust gas treating device |
| US6969250B1 (en) | 1998-12-01 | 2005-11-29 | Ebara Corporation | Exhaust gas treating device |
| KR100901267B1 (ko) * | 2008-01-25 | 2009-06-09 | 고등기술연구원연구조합 | 산소 부화식 합성가스 연소장치 |
| JP2012063073A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Sefutei:Kk | 廃油温風装置 |
| JP2016011759A (ja) * | 2014-06-27 | 2016-01-21 | 日本パイオニクス株式会社 | 排ガスの燃焼式浄化装置 |
| JP2016080226A (ja) * | 2014-10-15 | 2016-05-16 | エドワーズ株式会社 | 除害装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040127 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20040325 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040525 |