TW201502438A - 輻射燃燒器 - Google Patents

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Abstract

本發明揭示一種輻射燃燒器及方法。該輻射燃燒器係用於處理來自一製造程序工具之一廢氣流，且包括：一燃燒室，其具有一多孔套管，燃燒材料通過該多孔套管以在接近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒；及一充氣室，其包圍該多孔套管將該等燃燒材料供應至該多孔套管，該充氣室經組態以沿著該多孔套管之一長度提供具有變化之化學計量之該等燃燒材料。改變該等燃燒材料之化學計量比之此方法相應地改變由該等燃燒材料沿著該多孔套管之該長度所產生的熱。藉由改變該等燃燒材料之該化學計量來補償該燃燒室內沿著該多孔套管之該長度所產生之熱的變動，可在該燃燒腔室內沿著該多孔套管之該長度達成一更均勻的溫度。

Description

輻射燃燒器
本發明係關於一種輻射燃燒器及方法。
輻射燃燒器已為吾人所知且通常用於處理來自用於(例如)半導體或平板顯示器製造產業之一製造程序工具之一廢氣流。在此製造期間，殘餘全氟化合物(PFC)及其他化合物存在於自該程序工具泵送之廢氣流中。PFC難以自廢氣移除且其等釋放至環境中係非所要的，此係因為已知其等具有相對高的溫室效應。
已知的輻射燃燒器使用燃燒以自廢氣流移除PFC及其他化合物。通常，廢氣流為含有PFC及其他化合物之一氮氣流。一燃料氣體與廢氣流混合且該氣流混合物被輸送至由一多孔氣體燃燒器之出口表面橫向包圍之一燃燒腔室中。燃料氣體及空氣被同時供應至該多孔燃燒器以影響出口表面處之無焰燃燒，其中通過該多孔燃燒器之空氣量不僅足以消耗供應至該燃燒器之燃料氣體且亦消耗注射至該燃燒室中之氣流混合物中之全部可燃物。
儘管存在用於處理廢氣流之技術，但是其等各者具有其等自身之缺點。因此，期望提供一種改良之技術用於處理一廢氣流。
根據一第一態樣，提供一種用於處理來自一製造程序工具之一廢氣流之輻射燃燒器，該輻射燃燒器包括：一燃燒室，其具有一多孔 套管，燃燒材料通過該多孔套管以在接近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒；及一充氣室，其包圍該多孔套管將該等燃燒材料供應至該多孔套管，該充氣室經組態以沿著該多孔套管之一長度提供具有變化的化學計量之該等燃燒材料。
該第一態樣認知到現有輻射燃燒器之一問題在於：燃燒室內之條件可導致該燃燒室內之溫度變動，其應為儘可能均勻。特定言之，該第一態樣認知到沿著該燃燒室之該長度之溫度變動可減少該輻射燃燒器之效率及壽命。
因此，可提供可處理一廢氣流之一輻射燃燒器。該輻射燃燒器可包括可具有一多孔套管之一燃燒室，燃燒材料可通過該多孔套管以在接近或相鄰於該多孔套管之一燃燒表面處燃燒。可提供一充氣室，其包圍該多孔套管且其將該等燃燒材料供應至該多孔套管。該充氣室可經組態、調適或配置以沿著該多孔套管之該長度提供具有一變化的或不同的化學計量之燃燒材料。改變該等燃燒材料之化學計量比之此方法相應地改變由該等燃燒材料沿著該多孔套管之該長度所產生之熱。藉由改變該等燃燒材料之該化學計量來補償該燃燒室內沿著該多孔套管之該長度所產生之熱的變動，可在該燃燒室內沿著該多孔套管之該長度達成一更均勻溫度。
在一實施例中，該燃燒室自一廢氣流入口軸向延伸至一排氣口，該廢氣自該廢氣流入口提供至該燃燒室，經處理之廢氣自該排氣口排出且該充氣室經組態以沿著該多孔套管之一軸向長度提供具有變化的化學計量之該等燃燒材料。因此，可沿著該多孔套管之該軸向長度依不同化學計量比提供該等燃燒。
在一實施例中，該充氣室經組態以增加朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。因此，可在該廢氣流入口附近提供一更貧乏燃燒材料以減少歸因於該廢氣流之燃燒而產生高量熱之 一區域中由該等燃燒材料所產生之熱。此可藉由增加朝向該入口之該等燃燒材料中之氧化劑之比率(或減少燃料之比率)而達成。實施例認知到：更多的熱產生於該廢氣流入口附近，此伴隨沿著該燃燒室之該長度之一均勻化學計量之燃燒材料將導致此區域變得遠熱於其他區域且此可導致該多孔套管之燒結或降解。
在一實施例中，該充氣室經組態以減少朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。因此，可在該排氣口附近提供一更富足燃燒材料以增加發生高量熱損耗之一區域中由該等燃燒材料所產生之熱。此可藉由減少朝向該排氣口之該等燃燒材料中氧化劑之比率(或增加燃料之比率)而達成。實施例認知到：歸因於任何下游處理設備(諸如一堰)之冷卻效應，在該排氣口附近可發生一高度熱損耗。此再次有助於沿著該多孔套管之該長度產生一更均勻溫度。
在一實施例中，該充氣室經組態以相較於朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量而增加朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。因此，該燃燒材料之化學計量比經組態以相較於該排氣口附近之氧化劑而增加朝向氣流入口之過量氧化劑之量(及/或減少過量燃料之量)。
在一實施例中，該充氣室經組態以相較於朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量而減少朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。因此，該燃燒材料之化學計量比經組態以相較於該入口附近而減少朝向排氣口入口之過量氧化劑之量(及/或增加過量燃料之量)。
在一實施例中，該等燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物且該充氣室經組態以降低朝向該廢氣流入口之一燃料與氧化劑比。
在一實施例中，該等燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物且該充氣室經組態以升高朝向該排氣口之一燃料與氧化劑比。
在一實施例中，該等燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物且該充氣室經組態以相較於朝向該排氣口之一燃料與氧化劑比而降低朝向該廢氣流入口之一燃料與氧化劑比。
在一實施例中，該等燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物且該充氣室經組態以相較於朝向該廢氣流入口之一燃料與氧化劑比而升高朝向該排氣口之一燃料與氧化劑比。
在一實施例中，該充氣室包括：一燃燒材料入口，其將該等燃燒材料提供給該充氣室；及一氧化劑入口，其在該廢氣流入口附近提供氧化劑以增加朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之該氧化劑之該化學計量。在該入口附近添加額外氧化劑藉由減少燃料之比率而產生一較貧乏混合物且減少該入口附近之化學計量過量之燃料。
在一實施例中，該充氣室包括在該氧化劑入口附近之一氧化劑入口擋板，以產生朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之該氧化劑之經增加化學計量之一區域。提供一擋板有助於防止不同區域之不同化學計量燃燒材料之混合，以沿著該多孔套管之該長度提供變化的化學計量比之氧化劑。
在一實施例中，該充氣室包括：一燃燒材料入口，其將該等燃燒材料提供給該充氣室；及一燃料入口，其在該排氣口附近提供燃料，以減少朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。在該排氣口附近添加額外燃料，藉由增加燃料之比率來產生一較富足混合物，且減少該排氣口附近之化學計量過量的氧化劑。
在一實施例中，該充氣室包括在該燃料入口附近之一燃料入口擋板，以產生朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之經減少化學計量之一區域。
在一實施例中，該燃料入口擋板及該排氣口入口擋板之至少一者減少該燃燒材料入口附近之一區域與該燃料入口及該氧化劑入口附 近之區域之間的流體連通，以改變此等區域中之一氧化劑的該化學計量。
在一實施例中，該充氣室包括複數個相鄰充氣室，各充氣室提供具有變化之化學計量的燃燒材料。因此，可沿著該多孔套管之該長度提供諸多分離、相鄰充氣室，以供應具有變化之化學計量的燃燒材料。
根據一第二態樣，提供一種處理來自一製造程序工具之一廢氣流之方法，該方法包括：燃燒接近一燃燒之一多孔套管之一燃燒表面處的燃燒材料；由包圍該多孔套管之一充氣室沿著該多孔套管之一長度將具有變化的化學計量之該等燃燒材料供應至該多孔套管。
在一實施例中，燃燒室自一廢氣流入口軸向延伸至一排氣口，該廢氣自該廢氣流入口提供至該燃燒室，經處理之廢氣自該排氣口排出，且供應之步驟包括沿著該多孔套管之一軸向長度供應具有變化之化學計量的該等燃燒材料。
在一實施例中，供應之步驟包括增加朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。
在一實施例中，供應之步驟包括減少朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。
在一實施例中，供應之步驟包括相較於朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量而增加朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。
在一實施例中，供應之步驟包括相較於朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量而減少朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。
在一實施例中，該等燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物且供應之步驟包括降低朝向該廢氣流入口之一燃料與氧化劑比。
在一實施例中，該等燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物且供應之步驟包括升高朝向該排氣口之一燃料與氧化劑比。
在一實施例中，該等燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物且供應之步驟包括相較於朝向該排氣口之一燃料與氧化劑比而降低朝向該廢氣流入口之一燃料與氧化劑比。
在一實施例中，該等燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物且供應之步驟包括相較於朝向該廢氣流入口之一燃料與氧化劑比而升高朝向該排氣口之一燃料與氧化劑比。
在一實施例中，供應之步驟包括使用一燃燒材料入口將該等燃燒材料提供給該充氣室及使用一氧化劑入口將氧化劑提供給在該廢氣流入口附近之該充氣室，以增加朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之該氧化劑之該化學計量。
在一實施例中，供應之步驟包括使用在該氧化劑入口附近之一氧化劑入口擋板來產生朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之該氧化劑之經增加化學計量之一區域。
在一實施例中，供應之步驟包括使用一燃燒材料入口將該等燃燒材料提供給該充氣室及使用在該排氣口附近之一燃料入口將燃料提供給該充氣室，以減少朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。
在一實施例中，供應之步驟包括使用在該燃料入口附近之一燃料入口擋板產生朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之經減少化學計量之一區域。
在一實施例中，供應之步驟包括減少一燃燒材料入口附近之一區域與該燃料入口及該氧化劑入口附近之區域之間之流體連通以改變此等區域中之一氧化劑之該化學計量。
在一實施例中，供應之步驟包括將具有變化的化學計量之燃燒 材料提供給複數個相鄰充氣室。
進一步特定及較佳態樣陳述於隨附獨立技術方案及附屬技術方案中。附屬技術方案之特徵可與獨立技術方案之特徵適當組合且以不同於技術方案中明確陳述之組合而組合。
當一設備特徵係描述為可操作以提供一功能時，將瞭解此包含提供該功能或經調適或組態以提供該功能之一設備特徵。
8A‧‧‧輻射燃燒器
8B‧‧‧輻射燃燒器
10‧‧‧入口
12‧‧‧噴嘴
14‧‧‧燃燒室
15‧‧‧排氣口
16‧‧‧孔徑
18‧‧‧陶瓷頂板
20‧‧‧多孔燃燒器元件
21‧‧‧出口表面
22A‧‧‧充氣室容積/充氣室
22B‧‧‧充氣室容積/充氣室
23‧‧‧燃燒器元件之入口表面
24‧‧‧圓柱形外殼
100A‧‧‧上擋板
100C‧‧‧下擋板
110A‧‧‧區域
110B‧‧‧區域
110C‧‧‧區域
120A‧‧‧空氣入口
120B‧‧‧入口
120C‧‧‧入口
130A‧‧‧區域
130C‧‧‧區域
140A‧‧‧通氣孔
140C‧‧‧通氣孔
200A‧‧‧充氣室區段/區域
200B‧‧‧充氣室區段/區域
200C‧‧‧區段/區域
220A‧‧‧入口
220B‧‧‧入口
220C‧‧‧入口
現將參考附圖進一步描述本發明之實施例，其中：
圖1A及圖1B繪示根據實施例之一輻射燃燒器。
概述
在更詳細地討論實施例之前，首先將提供一概述。實施例提供用於處理一廢氣流之一輻射燃燒器配置。特定言之，輻射燃燒器經配置以沿著該燃燒器之多孔套管之長度提供一可變化學計量之燃燒材料。即，該輻射燃燒器經配置以提供材料(其包括燃燒器內之燃燒材料)之可變化學計量比以減少燃燒器內之溫度變動。例如，若該燃燒器之一中央或中間區域係以一標稱表面燃燒率操作且使用具有一所要標稱化學計量(即，具有一標稱燃料與氧化劑比)之燃燒材料，則有益的是能夠將該燃燒器之上部(該等部分最接近於接收廢氣流之入口)操作為貧乏(其係為了相較於標稱比減小燃料與氧化劑比)以降低表面溫度且最小化該多孔套管之熱降解。同樣地，有益的是將該燃燒器之較低區域(該等部分最接近於排氣口)操作為富足(其係為了相較於標稱比增加燃料與氧化劑比)以增加溫度且抵抗歸因於位於接近該排氣口處之任何冷卻堰之任何經冷卻表面上之輻射之熱損耗。
一實施例以一當量燃料-空氣預混進給一主燃燒器充氣室區域，且在該燃燒器之較低區域處提供以一更富足燃料預混進給之一第二充 氣室區域。另一實施例以一貧乏混合物進給充氣室之頂部，且以一富足混合物進給該充氣室之底部，且在一中間區域中容許一中間、當量燃料-空氣預混。另一實施例以一當量燃料-空氣預混操作整個燃料燃燒器，且添加額外空氣至上部及/或添加額外燃料至較低部分。
在一實施例中，化學計量過量之氧化劑朝向接收廢氣流之入口增加。此引起此等區域操作為貧乏且降低表面溫度，以最小化熱降解。同樣地，化學計量過量之氧化劑與燃料朝向排氣口減少，以操作燃燒器之此部分為富足而增加此區域中的表面溫度。此有助於沿著該燃燒器之長度提供更均勻的溫度。
全部此等配置沿著多孔套管之長度提供一可變化學計量之燃燒材料，以改變沿著該多孔套管之該長度所產生的熱，以減少燃燒室內的溫度變動。例如，就一燃燒後氧氣濃度(即，在多孔燃燒器之出口表面上之燃燒材料燃燒之後的殘餘氧氣)方面來考慮化學計量時，可提供大約9%至9.5%之一標稱殘餘氧氣濃度，而在朝向排氣口之燃料富足區域內可提供大約7.5%至8.5%之一殘餘氧氣濃度，且在朝向入口之燃料貧乏區域內可提供大約9.5%至10.5%(諸如10%)之一殘餘氧氣濃度。應瞭解，此等值將隨燃料改變；例如，使用丙烷或液化石油氣(LPG)之一燃燒器相較於使用甲烷或天然氣之相同燃燒器，將以略微較高之殘餘氧氣位準操作。
輻射燃燒器-一般組態及操作
圖1A及圖1B大體上繪示根據實施例之兩個輻射燃燒器8A及8B。圖1A及圖1B各繪示一輻射燃燒器之一各自半部，其等對於軸A-A是對稱的。輻射燃燒器8A及8B兩者通常經由一真空泵送系統處理自一製造程序工具(諸如一半導體或平板顯示器程序工具)泵送之一廢氣流。該廢氣流係在入口10處接收。該廢氣流自入口10輸送至一噴嘴12，噴嘴12將該廢氣流注射至一圓柱形燃燒室14中。在此等實施例中，輻射 燃燒器8A及8B各包括圓周配置之四個入口10，該四個入口各者輸送由一各自真空泵送系統自一各自工具泵送之一廢氣流。替代地，來自一單個程序工具之廢氣流可被分離成複數個氣流，該複數個氣流之各者被輸送至一各自入口。各噴嘴12係位於一各自孔徑16內，孔徑16係形成於界定燃燒室14之一上表面或入口表面之一陶瓷頂板18中。燃燒室14具有由一多孔燃燒器元件20(諸如描述於歐洲專利EP0694735中之元件)之一出口表面21界定之側壁。燃燒器元件20係圓柱形的，且保留在一圓柱形外殼24內。
如下文將更詳細描述，在燃燒器元件20之一入口表面與圓柱形外殼24之間界定一充氣室容積22A、22B。燃料氣體(諸如天然氣或一烴)與空氣之一混合物經由入口噴嘴引入至充氣室容積22A、22B中。燃料氣體與空氣之混合物自燃燒器元件之入口表面23經過至燃燒器元件之出口表面21以用於燃燒室14內之燃燒。
改變燃料氣體與空氣之混合物之標稱比以將燃燒室14內之標稱溫度改變至適用於處理廢氣流之溫度。此外，調整將燃料氣體與空氣之混合物引入至充氣室容積22A、22B中之速率使得該混合物將在燃燒器元件20之出口表面21處沒有可見火焰之情況下燃燒。敞開燃燒室40之排氣口15以使燃燒產物能夠自輻射燃燒器8A、8B輸出。
因此，可見透過入口10接收且由噴嘴12提供至燃燒室14之廢氣流在燃燒室14內燃燒，燃燒室14藉由在燃燒室元件之出口表面21附近燃燒之燃料氣體與空氣之一混合物加熱。此燃燒引起加熱燃燒室14且提供燃燒產物(諸如氧氣)，該燃燒產物之一標稱範圍通常為7.5%至10.5%，其取決於提供至燃燒室14之燃料空氣混合物(CH4、C3H8、C4H10)。熱及燃燒產物與燃燒室14內之廢氣流反應以清潔該廢氣流。例如，可在廢氣流內提供SiH4及NH3，其等與燃燒室內之Q2反應以產生SiO2、N2、H2O、NOX。類似地，可在廢氣流內提供N2、CH4、 C2F6，其等與燃燒室內之Q2反應以產生CO2、HF、H2O。
擋板式充氣室配置
現轉至圖1A之輻射燃燒器8A之充氣室22A之配置，其提供一上擋板100A及一下擋板100C。在充氣室22A內提供一入口120B，其將一燃料空氣混合物提供至一區域110B。提供一空氣入口120A，其將空氣進給至由上擋板100A圍封之一區域130A。提供一入口120C，其將燃料進給至由下擋板100C圍封之一區域130C中。
上擋板100A具有通氣孔140A，透過該等通氣孔來自區域130A之空氣可與來自區域110B之燃料空氣混合物在充氣室22A內之一區域110A中混合以產生其中混合物較貧乏之區域130A。
同樣地，下擋板100C具有通氣孔140C，透過該等通氣孔區域130C內之燃料可與來自區域110B之燃料空氣混合物混合以使區域110C內之燃料空氣混合物富足。
因此，上擋板100A及下擋板100C之供應使燃料空氣混合物之化學計量能夠沿著充氣室22A之長度改變。此使沿著多孔燃燒器20之長度產生之熱能夠經調整以補償否則將朝向噴嘴12發生、可引起熱損壞的溫度升高，及否則將朝向排氣口15發生、將導致廢氣流之不完全處理的溫度下降。
儘管展示兩個不同擋板100A、100C及三個入口120A至120C，但是將瞭解可利用替代配置以改變燃燒材料之化學計量，如上所述。
多個充氣室配置
圖1B繪示根據一實施例之輻射燃燒器8B，其具有由三個相鄰區段200A、200B、200C形成之一充氣室22B。在此配置中，一入口220A以一貧乏且已由一化學計量過量之氧化劑增強之燃料空氣混合物進給充氣室區段200A。因此，區域200A具有低於提供給區域200B或200C之燃料與空氣比之一燃料與空氣比。一入口220B提供一燃料 空氣混合物給具有一標稱燃料與空氣比之充氣室區段200B，其具有高於提供給區域200A之燃料比例之一燃料比例。一入口220C提供具有化學計量過量之燃料之一燃料空氣混合物給區域200C。因此，區域200C具有高於提供給區域200A或200B之燃料與空氣比之燃料與空氣比。
如同上文所描述之配置，此使燃料空氣混合物能夠沿著多孔燃燒器20之長度以可變化學計量提供至該多孔燃燒器20，以改變沿著該多孔燃燒器之該長度熱產生，以補償朝向入口產生之過量熱及朝向排氣口15產生之不足夠熱。
儘管本文中已參考附圖詳細揭示本發明之闡釋性實施例，但是應瞭解本發明不受限於確切的實施例且熟習此項技術者可在不背離如由隨附申請專利範圍及其等效物界定之本發明之範疇之情況下可實現其中之各種改變及修改。
8A‧‧‧輻射燃燒器
8B‧‧‧輻射燃燒器
10‧‧‧入口
12‧‧‧噴嘴
14‧‧‧燃燒室
15‧‧‧排氣口
16‧‧‧孔徑
18‧‧‧陶瓷頂板
20‧‧‧多孔燃燒器元件
21‧‧‧出口表面
22A‧‧‧充氣室容積/充氣室
22B‧‧‧充氣室容積/充氣室
23‧‧‧燃燒器元件之入口表面
24‧‧‧圓柱形外殼
100A‧‧‧上擋板
100C‧‧‧下擋板
110A‧‧‧區域
110B‧‧‧區域
110C‧‧‧區域
120A‧‧‧空氣入口
120B‧‧‧入口
120C‧‧‧入口
130A‧‧‧區域
130C‧‧‧區域
140A‧‧‧通氣孔
140C‧‧‧通氣孔
200A‧‧‧充氣室區段/區域
200B‧‧‧充氣室區段/區域
200C‧‧‧區段/區域
220A‧‧‧入口
220B‧‧‧入口
220C‧‧‧入口

Claims (15)

  1. 一種輻射燃燒器，其用於處理來自一製造程序工具之一廢氣流，該輻射燃燒器包括：一燃燒室，其具有一多孔套管，燃燒材料通過該多孔套管以在接近該多孔套管之一燃燒表面處燃燒；及一充氣室，其包圍該多孔套管將該等燃燒材料供應至該多孔套管，該充氣室經組態以沿著該多孔套管之一長度提供具有變化之化學計量之該等燃燒材料。
  2. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該燃燒室自一廢氣流入口軸向延伸至一排氣口，該廢氣自該廢氣流入口提供至該燃燒室，經處理之廢氣自該排氣口排出，且該充氣室經組態以沿著該多孔套管之一軸向長度提供具有不同化學計量之該等燃燒材料。
  3. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該充氣室經組態以進行以下項之至少一者：增加朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量；及減少朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。
  4. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該充氣室經組態以進行以下項之至少一者：相較於朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量，增加朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量；及相較於朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量，減少朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。
  5. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該等燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物，且該充氣室經組態以降低朝向該廢氣流入口之一燃料與氧化劑比。
  6. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該等燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物，且該充氣室經組態以升高朝向該排氣口之一燃料與氧化劑比。
  7. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該等燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物，且該充氣室經組態以相較於朝向該排氣口之一燃料與氧化劑比，降低朝向該廢氣流入口之一燃料與氧化劑比。
  8. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該燃燒材料包括一燃料與氧化劑混合物，且該充氣室經組態以相較於朝向該廢氣流入口之一燃料與氧化劑比，升高朝向該排氣口之一燃料與氧化劑比。
  9. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該充氣室包括：一燃燒材料入口，其將該等燃燒材料提供給該充氣室；及一氧化劑入口，其在該廢氣流入口附近提供氧化劑以增加朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之該氧化劑之該化學計量。
  10. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該充氣室包括在該氧化劑入口附近之一氧化劑入口擋板，以產生朝向該廢氣流入口之該等燃燒材料之該氧化劑之經增加化學計量之一區域。
  11. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該充氣室包括：一燃燒材料入口，其將該等燃燒材料提供給該充氣室；及一燃料入口，其在該排氣口附近提供燃料，以減少朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之該化學計量。
  12. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該充氣室包括在該燃料入口附近之一燃料入口擋板，以產生朝向該排氣口之該等燃燒材料之一氧化劑之經減少化學計量之一區域。
  13. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該燃料入口擋板及該排氣口擋板的至少一者減少該等燃燒材料入口附近之一區域與該燃料入口及該氧化劑入口附近之區域之間的流體連通，以改變此等區域 中之一氧化劑的該化學計量。
  14. 如請求項1之輻射燃燒器，其中該充氣室包括複數個相鄰充氣室，各充氣室提供具有不同化學計量之燃燒材料。
  15. 一種處理來自一製造程序工具之一廢氣流之方法，該方法包括：燃燒接近一燃燒之一多孔套管之一燃燒表面處之燃燒材料；由包圍該多孔套管之一充氣室沿著該多孔套管之一長度將具有不同化學計量之該等燃燒材料供應至該多孔套管。
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