CN104074766B - 带有除害功能的真空泵 - Google Patents
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- 239000000446 fuel Substances 0.000 claims abstract description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 39
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 29
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims abstract description 10
- 230000008676 import Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 12
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 4
- 239000000843 powder Substances 0.000 abstract description 26
- 238000002844 melting Methods 0.000 abstract description 8
- 230000008018 melting Effects 0.000 abstract description 8
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 113
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 36
- 239000000047 product Substances 0.000 description 24
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 18
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 14
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 14
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N Dihydrogen sulfide Chemical compound S RWSOTUBLDIXVET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 description 2
- 230000009931 harmful effect Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 2
- 229910020323 ClF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 101100441092 Danio rerio crlf3 gene Proteins 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N Fluoroform Chemical compound FC(F)F XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001125929 Trisopterus luscus Species 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N nitrogen trifluoride Chemical compound FN(F)F GVGCUCJTUSOZKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000012265 solid product Substances 0.000 description 1
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 1
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N sulfur hexafluoride Chemical compound FS(F)(F)(F)(F)F SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008400 supply water Substances 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- JOHWNGGYGAVMGU-UHFFFAOYSA-N trifluorochlorine Chemical compound FCl(F)F JOHWNGGYGAVMGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23J—REMOVAL OR TREATMENT OF COMBUSTION PRODUCTS OR COMBUSTION RESIDUES; FLUES
- F23J13/00—Fittings for chimneys or flues
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/68—Halogens or halogen compounds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/74—General processes for purification of waste gases; Apparatus or devices specially adapted therefor
- B01D53/76—Gas phase processes, e.g. by using aerosols
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G5/00—Incineration of waste; Incinerator constructions; Details, accessories or control therefor
- F23G5/32—Incineration of waste; Incinerator constructions; Details, accessories or control therefor the waste being subjected to a whirling movement, e.g. cyclonic incinerators
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
- F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
- F23G7/061—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating
- F23G7/065—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases with supplementary heating using gaseous or liquid fuel
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23L—SUPPLYING AIR OR NON-COMBUSTIBLE LIQUIDS OR GASES TO COMBUSTION APPARATUS IN GENERAL ; VALVES OR DAMPERS SPECIALLY ADAPTED FOR CONTROLLING AIR SUPPLY OR DRAUGHT IN COMBUSTION APPARATUS; INDUCING DRAUGHT IN COMBUSTION APPARATUS; TOPS FOR CHIMNEYS OR VENTILATING SHAFTS; TERMINALS FOR FLUES
- F23L17/00—Inducing draught; Tops for chimneys or ventilating shafts; Terminals for flues
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2251/00—Reactants
- B01D2251/10—Oxidants
- B01D2251/102—Oxygen
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/20—Halogens or halogen compounds
- B01D2257/204—Inorganic halogen compounds
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/55—Compounds of silicon, phosphorus, germanium or arsenic
- B01D2257/553—Compounds comprising hydrogen, e.g. silanes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2258/00—Sources of waste gases
- B01D2258/02—Other waste gases
- B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/30—Use in a chemical vapor deposition [CVD] process or in a similar process
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23J—REMOVAL OR TREATMENT OF COMBUSTION PRODUCTS OR COMBUSTION RESIDUES; FLUES
- F23J2219/00—Treatment devices
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23J—REMOVAL OR TREATMENT OF COMBUSTION PRODUCTS OR COMBUSTION RESIDUES; FLUES
- F23J2900/00—Special arrangements for conducting or purifying combustion fumes; Treatment of fumes or ashes
- F23J2900/01007—Thermal treatments of ash, e.g. temper or shock-cooling for granulation
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
本发明提供带有除害功能的真空泵，通过旋转地供给可将废气和燃料充分稀薄化的量的空气而使其燃烧，能够在处理副产物不熔融或不向除害部内附着的情况下以粉体状态直接排出。本发明提供的真空泵（1），在真空泵（1）的排气口上附设有对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使其无害化的除害部（10），除害部（10）在筒状体（11）的一端部侧设有将作为处理对象的废气导入的废气导入口，在另一端部侧设有将处理结束的气体排出的气体出口，在筒状体（11）的周壁上设有喷出燃料的多个燃料喷嘴（16），在筒状体的周壁上设有以沿着周壁的内周面而形成旋转流方式喷出空气的多个空气喷嘴（15），多个空气喷嘴（15）沿筒状体的轴心方向隔开间隔地多级配置。
Description
技术领域
本发明涉及在制造半导体器件、液晶、LED等的制造装置的排气系统中使用的真空泵，尤其涉及在真空泵上附带有除害功能的带有除害功能的真空泵，所述真空泵用于对制造装置的腔室（chamber）进行排气，所述除害功能用于处理从腔室排出的废气而使其无害化。
背景技术
在制造半导体器件、液晶面板、LED、太阳能电池等的制造工艺中，向排气至真空的工艺腔室内导入工艺气体而进行蚀刻处理或CVD处理等各种处理。进行这些蚀刻处理和CVD处理等各种处理的工艺腔室通过真空泵而进行真空排气。另外，工艺腔室及与工艺腔室连接的排气系统设备通过流通清洗气体而定期清洗。这些工艺气体和清洗气体等的废气包含硅烷类气体（SiH4、TEOS等）、卤素类气体（NF3、ClF3、SF6、CHF3等）、PFC气体（CF4、C2F6等）等，对人体带来不良影响，成为地球变暖的原因等对地球环境带来不良影响，因此，直接排放到大气中是不理想的。于是，通过设置在真空泵下游侧的废气处理装置对这些废气进行无害化处理后将其排放到大气中。
以往，真空泵和废气处理装置由于收纳在不同壳体中，所以设置位置分离较远，在两者之间夹存有较长的配管，从交换各自需要的热而谋求节能的观点出发，不是最佳结构。因此，也开发出将真空泵和废气处理装置收纳在同一壳体中而缩短两者之间的配管的装置并作为一体型排气系统而销售。即使是这样的一体型排气系统，连接真空泵和废气处理装置的配管也有数米的距离，为了防止生成物附着，对配管进行保温或通过加热器等而使其升温。
专利文献1：日本专利第3305566号
发明内容
无论是在将真空泵和废气处理装置收纳于不同壳体的排气系统中还是将真空泵和废气处理装置收纳于同一壳体的排气系统中，以往的废气处理装置均存在以下列举那样的问题。
1）为了以少量燃料将废气处理至允许浓度（TLV）以下，使用将燃料和氧气预先混合而使其燃烧的氧气预混燃烧装置（burner），以能够形成高温火焰，因此，作为效用气体（utility）而需要纯氧。
2）虽然得到基于高温火焰的高气体处理性能，但另一方面，生成物熔融固化，并附着在燃烧器内，因此维护周期短。
3）旋转空气供给喷嘴为单级，主要目的为在燃烧器内形成空气旋转流，没有使旋转空气具有其他功能。
4）由于使作为处理对象的废气以高浓度状态在火焰附近直接燃烧，所以熔融、固化的生成物容易附着在燃烧器内，虽然通过刮板（scraper）除去附着的生成物，但由于无法除净的生成物逐渐积累，所以需要以固定周期对燃烧器内进行维护。
5）通过使作为处理对象的废气的流入方向和旋转空气的流入方向正交来提高燃烧器内的气体搅拌效率，并对作为处理对象的废气高效地供给氧气而使其在火焰附近快速燃烧，由此得到高处理性能，但另一方面，熔融的生成物附着在火焰附近的燃烧器内表面上。
6）作为处理对象的废气的流入方向固定，处理性能的调节主要通过增减燃料而进行。
7）在箱（tank）内捕集由废气处理而产生的粉体，在积累了一定量的阶段，需要进行箱的维护/或将粉体与水一起从箱排出。
8）经常通过小流量的空气、氮气对废气处理装置内进行吹扫。
9）通过使对废气进行燃烧处理后的燃烧气体与水接触而将其冷却。
本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种带有除害功能的真空泵，使用利用了空气作为用于使燃料燃烧的氧气供给源的空气燃烧装置，旋转地供给能够将废气和燃料充分稀薄化的量的空气并使其燃烧，由此，能够在处理副产物不熔融和不向除害部内附着的情况下以粉体状态直接排出。
为了实现上述目的，本发明的一个方式为一种带有除害功能的真空泵，在真空泵的排气口上，附设有对从真空泵排出的废气进行处理而使其无害化的除害部，其特征在于，上述除害部具有一端部封堵且另一端部开口的大致圆筒容器状的筒状体，在该筒状体的上述一端部侧设有将作为处理对象的废气导入的废气导入口，在上述另一端部侧设有将处理结束的气体排出的气体出口，在上述筒状体的周壁上设有喷出燃料的多个燃料喷嘴，在上述筒状体的周壁上，沿上述周壁的圆周方向隔开间隔地设有将空气以沿着上述周壁的内周面而形成旋转流的方式喷出的多个空气喷嘴，上述多个空气喷嘴沿上述筒状体的轴心方向隔开间隔地多级配置。
在本发明中，使用利用了空气作为用于使燃料燃烧的氧气供给源的空气燃烧装置，并通过旋转空气供给氧气。因此，不必将氧气要求为效用气体。另外，由于仅使燃料和空气分别作为旋转流而供给到燃烧室内即可，所以能够使除害部的构造简单化。
根据本发明，由于用空气使燃料燃烧且设置有能够供给将作为处理对象的废气充分地稀释的量的旋转空气的空气喷嘴，所以能够将燃烧温度抑制在700℃～1200℃，并且能够在通过旋转空气将作为处理对象的废气稀薄化之后使其燃烧。因此，能够在不使生成物熔融的情况下以粉体状态直接从除害部排出，能够谋求维护的容易化、维护的长周期化。另外，也能够防止生成物向燃烧室内附着。
本发明的优选方式的特征在于，上述多个空气喷嘴设置在比上述多个燃料喷嘴远离上述废气导入口的位置。
本发明的优选方式的特征在于，上述多个燃料喷嘴以使燃料沿着上述周壁的内周面而形成旋转流的方式喷出燃料。
本发明的优选方式的特征在于，可选择使上述废气导入口位于上述筒状体的封堵侧的端部或位于上述周壁上，使废气的流入方向和空气的流入方向正交或平行。
在本发明中，可选择使作为处理对象的废气的流入方向和旋转空气的流入方向平行或正交。像这样，通过适当选择作为处理对象的废气和旋转空气的彼此流入方向，从而利用旋转空气搅拌燃烧室内的气体。而且，通过使燃烧室内的气体搅拌变得缓慢，能够使作为处理对象的废气在燃烧室整体的广阔空间内燃烧，防止生成物的附着。
本发明的优选方式的特征在于，在使上述废气的流入方向和上述空气的流入方向平行时，可选择使双方的流入方向相同或相反。
根据本发明，通过从旋转空气的旋转方向的相同方向或相反方向中选择废气的流入方向，能够改变处理性能。由此，能够通过旋转空气将燃烧室内的气体搅拌成最佳状态，在将燃料流量固定的状态下准备处理性能的调节机构。
本发明的优选方式的特征在于，以上述筒状体的封堵侧的端部位于下方或上方的方式沿垂直方向配置上述筒状体。
本发明的优选方式的特征在于，在上述筒状体的封堵侧的端部位于下方时，使上述多级空气喷嘴中的最下级的空气喷嘴朝向斜下方。
根据本发明，通过使最下级的空气喷嘴的方向朝向下方，能够避免粉体吹落集中于除害部的底部。像这样，由于没有粉体吹落集中，所以能够通过旋转空气可靠地将粉体向除害部外排出，能够谋求维护的长周期化。在现有装置中，在将粉体捕集于箱内的方式中，为了延长维护周期而需要将箱大型化，或需要设置将粉体与水一起从箱排出的机构，但根据本发明，不需要这些对策。另外，在现有装置中使用水来冷却燃烧气体，但在本发明中，由于通过空气进行气体冷却，所以不需要水。因此，不需要供给水的效用（utility）、供水排水设备。
本发明的优选方式的特征在于，在上述筒状体的上述气体出口侧的周壁上，设有喷出用于冷却燃烧气体的空气的多个空气喷嘴。
根据本发明，除燃烧用的空气喷嘴以外，还为了冷却处理后的燃烧气体而在除害部的后级设置有供给旋转空气的空气喷嘴。即，空气喷嘴是供给用于冷却处理后的燃烧气体的空气的喷嘴。像这样，通过在除害部的后级设置空气喷嘴，能够通过旋转空气将处理后的燃烧气体冷却至约80℃以下。
本发明的优选方式的特征在于，在使上述除害部的废气处理运转停止后，经过规定时间之后，停止从上述空气喷嘴喷出空气。
在本发明中，在废气处理运转停止后，经过规定延迟时间之后停止从空气喷嘴供给旋转空气。像这样，通过设置延迟时间，利用旋转空气对除害部内的气体进行吹扫，排出由处理运转生成的酸性气体，由此能够防止部件的消耗。
本发明的优选方式的特征在于，使上述真空泵的排气口分支，并在分支的排气口上分别附设上述除害部。
本发明起到以下列举的效果。
（1）使用利用了空气作为用于使燃料燃烧的氧气供给源的空气燃烧装置，并通过旋转空气供给氧气。因此，不必将氧气要求为效用气体。另外，由于仅使燃料和空气分别作为旋转流而供给到燃烧室内即可，所以能够使除害部的构造简单化。
（2）由于用空气使燃料燃烧且旋转地供给能够将废气和燃料充分稀薄化的量的空气，所以能够将燃烧温度抑制成比较低的温度。若列举具体例，由于在对来自半导体制造装置的废气进行燃烧处理时产生的作为固体生成物的SiO2的融点为1700℃附近，所以若在该温度以上进行燃烧处理，则生成物熔融而附着在燃烧装置内。根据本发明，能够将废气和燃料稀薄化而使其燃烧，由此能够成为不使生成物熔融的燃烧温度。因此，能够将生成物以粉体状态直接排出，能够谋求维护的容易化、维护的长周期化，另外，也能够防止生成物向燃烧室内附着。
（3）能够在不使生成物熔融的情况下以粉体状态直接从除害部排出，不需要刮板，也不需要用于驱动刮板的各种设备之类，能够谋求除害部的小型化。
（4）设置有用于供给旋转空气的多级空气喷嘴，能够适当选择多级空气喷嘴中的供给空气的级数，另外，通过适当选择供给空气的喷嘴和不供给空气的喷嘴，能够改变空气向燃烧室内的供给量和供给位置。因此，不使用燃料或空气流量控制设备就能够确保维持废气处理性能并控制处理副产物的性状。
（5）通过设置多级空气喷嘴，能够供给用于搬送粉体的足够量的旋转空气。通过向除害部内供给的旋转空气，能够将在除害部内生成的粉体搬送至设施内的洗涤器，不会使其在排气管道内堆积，由此，能够降低用户排气管道的维护负担。
（6）除燃烧用的空气喷嘴以外，还为了冷却处理后的燃烧气体而在除害部的后级设置有供给旋转空气的空气喷嘴，因此，能够通过旋转空气来冷却处理后的燃烧气体，不需要使用水喷雾等来冷却燃烧气体。
（7）由于可选择使作为处理对象的废气的流入方向和旋转空气的流入方向平行或正交，所以能够通过旋转空气缓慢地搅拌燃烧室内的气体，能够使作为处理对象的废气在燃烧室整体的广阔空间内燃烧，防止生成物的附着，并且能够与废气的性状相应地进行最佳燃烧处理。
附图说明
图1（a）、（b）是表示本发明的带有除害功能的真空泵的结构例的图，图1（a）是示意主视图，图1（b）是示意俯视图。
图2（a）、（b）是表示本发明的带有除害功能的真空泵的其他结构例的图，图2（a）是示意主视图，图2（b）是示意俯视图。
图3是表示带有除害功能的真空泵的除害部的结构的示意剖视图。
图4是图3的主要部位放大图。
图5是表示本发明的带有除害功能的真空泵的其他实施方式的图，是表示多级配置向燃烧室内供给旋转空气的空气喷嘴而成的结构的示意剖视图。
图6是表示本发明的带有除害功能的真空泵的另一其他实施方式的图，是表示作为处理对象的废气向除害部内的流入方向与从空气喷嘴流入的旋转空气的流入方向之间的关系的示意剖视图。
附图标记说明
1 真空泵
1a 排气口
10 除害部
11 圆筒体
12 外筒
13 加温室
15 空气喷嘴
15-1、15-2、15-3 空气喷嘴
15C 空气喷嘴
16 燃料喷嘴
18 UV传感器
19 火花塞
20 引燃喷嘴（pilot burner）部
21 燃料供给口
22 空气供给口
具体实施方式
以下，参照图1至图6，说明本发明的带有除害功能的真空泵的实施方式。需要说明的是，在图1至图6中，对相同或等同的结构要素标注相同的附图标记并省略重复的说明。
图1（a）、（b）是表示本发明的带有除害功能的真空泵的结构例的图，图1（a）是示意主视图，图1（b）是示意俯视图。
如图1（a）、（b）所示，本发明的带有除害功能的真空泵具有在真空泵1的排气口1a上附设除害部10的结构。真空泵1可以由一台干式真空泵构成，也可以将两台干式真空泵串联连接而构成。这些一台或两台干式真空泵包括罗茨型干式真空泵、螺旋型干式真空泵等，由于这些干式真空泵的结构为公众所知，所以省略图示及说明。在图1（a）、（b）中，例示出真空泵1具有壳体C的形式的真空泵。
图2（a）、（b）是表示本发明的带有除害功能的真空泵的其他结构例的图，图2（a）是示意主视图，图2（b）是示意俯视图。如图2（a）、（b）所示，本发明的带有除害功能的真空泵具有从真空泵1的排气口1a分支并附设两个除害部10、10的结构。
图3是表示带有除害功能的真空泵的除害部10的结构的示意剖视图。如图3所示，除害部10整体构成为圆筒状的容器。
圆筒容器状的除害部10沿纵向配置，并以其轴心位于垂直方向的方式配置。除害部10具有：形成通过燃烧装置形成火焰而使废气燃烧的燃烧室S的有底的圆筒体11；和以从该圆筒体11隔开规定间隔地包围圆筒体11的方式设置的外筒12。而且，在圆筒体11与外筒12之间形成有保持N2气体并进行加温的加温室13。N2气体从位于外筒12上部的进入口PIN流入加温室13中并从位于外筒12下部的排出口POUT流出。加温后的N2气体能够供给到真空泵1。
在除害部10下部的周壁上，形成有将作为处理对象的废气导入到燃烧室内的气体导入口10IN，在除害部10的上端，形成有将处理后的气体排出的气体出口10OUT。
在除害部10上设有向燃烧室S供给空气的多个空气喷嘴15、和向燃烧室S供给燃料的多个燃料喷嘴16。如图1及图2所示，空气喷嘴15相对于除害部10的切线方向成规定角度地延伸，以沿着圆筒体11的周壁的内周面而形成旋转流的方式喷出空气。燃料喷嘴16也同样地相对于除害部10的切线方向成规定角度地延伸，以沿着圆筒体11的周壁的内周面而形成旋转流的方式喷出燃料。空气喷嘴15及燃料喷嘴16分别沿除害部10的圆周方向隔开规定间隔地配置多个。在圆筒体11的底部，设有用于检测火焰的UV传感器18、和用于进行点火的火花塞19。
图4是图3的主要部位放大图。如图4所示，在圆筒体11的底部设有火花塞19，以包围火花塞19周围的方式设有筒状的引燃喷嘴部（pilot burner portion）20。在引燃喷嘴部20上形成有供给用于形成火焰的燃料的燃料供给口21、和供给半预混空气的空气供给口22，通过火花塞19对从燃料供给口21供给的燃料进行点火而形成引燃火焰PB。
接下来，说明图3及图4所示的除害部10的作用。
燃料从设置在除害部10上的多个燃料喷嘴16朝向燃烧室S以生成旋转流的方式喷出。另外，空气从多个空气喷嘴15朝向燃烧室S以生成旋转流的方式喷出。然后，当燃料与空气的混合气通过引燃火焰PB而点火时，在圆筒体11的内周面上形成火焰的旋转流（旋转焰）。
另一方面，作为处理对象的废气从在圆筒体11的内周面上开口的废气导入口10IN朝向上述燃烧室S喷出。该喷出的废气与混合气的旋转焰混合而进行燃烧，此时，由于燃料从圆周方向的所有燃料喷嘴16以沿一个方向剧烈地旋转的方式喷出，所以废气的燃烧效率提高。另外，由于从空气喷嘴15喷出的空气也旋转，所以该空气流与火焰混合而加速火焰的旋转流，并将废气氧化分解。处理后的气体从除害部10上端的气体出口10OUT排出并向用户排气管道排出。
如上所述，在本发明中，使用利用了空气作为用于使燃料燃烧的氧气供给源的空气燃烧装置，并通过旋转空气供给氧气。因此，不必将氧气要求为效用气体。另外，由于仅使燃料和空气分别作为旋转流而供给到燃烧室S内即可，所以能够使除害部10的构造简单化。
根据本发明，由于用空气使燃料燃烧且设置有能够供给将作为处理对象的废气充分地稀释的量的旋转空气的空气喷嘴15，所以能够将燃烧温度抑制在700℃～1200℃，并且能够在通过旋转空气将作为处理对象的废气稀薄化之后使其燃烧。因此，能够在不使生成物熔融的情况下以粉体状态直接从除害部10排出，能够谋求维护的容易化、维护的长周期化。另外，也能够防止生成物向燃烧室内附着。
以往，由于在燃烧室的内壁面上附着、堆积熔融的生成物，所以为了刮去附着物、堆积物而设置有刮板（scraper），但根据本发明，由于能够在不使生成物熔融的情况下以粉体状态直接从除害部10排出，所以不需要刮板，也不需要用于驱动刮板的各种设备之类，能够谋求除害部10的小型化。
图5是表示本发明的带有除害功能的真空泵的其他实施方式的图，是表示多级配置向燃烧室S内供给旋转空气的空气喷嘴而成的结构的示意剖视图。如图5所示，除害部10具有沿除害部10的上下方向（垂直方向）多级配置的空气喷嘴15-1、15-2、15-3。在图示例中，例示出三级空气喷嘴，但也可以是两级，还可以是四级以上。各级空气喷嘴15-1～15-3与图3所示的空气喷嘴15同样地，相对于除害部10的切线方向成规定角度地延伸，以在燃烧室S内形成旋转流的方式喷出空气。各级空气喷嘴15-1～15-3沿圆筒体11的圆周方向隔开规定间隔地配置多个。图5所示的带有除害功能的真空泵的其他结构与图3所示的除害部10相同。
根据图5所示的实施方式，设置有用于供给旋转空气的多级空气喷嘴，并通过来自各级空气喷嘴15-1～15-3的旋转空气来供给氧气。该情况下，可适当选择多级空气喷嘴15-1～15-3中的供给空气的级数，另外，通过适当选择供给空气的喷嘴和不供给的喷嘴，也能够改变空气向燃烧室S内的供给位置。
根据上述结构，由于在不使用燃料和空气流量的控制设备的情况下改变空气的供给级数和位置，所以能够控制生成物的性状。通过使旋转空气供给位置接近火焰或远离火焰，可以调节作为处理对象的废气的燃烧速度。若在离火焰较近的1500℃以上的区域燃烧，则生成物成为大颗粒，若在远离火焰的1000℃左右的区域燃烧，则生成物成为微细粉。
根据本发明，由于用空气使燃料燃烧且以能够供给可将作为处理对象的废气充分地稀释的量的旋转空气的方式设置有多级空气喷嘴15，所以能够将燃烧温度抑制在700℃～1200℃，并且能够通过旋转空气将作为处理对象的废气稀薄化之后而使其燃烧。因此，能够在不使生成物熔融的情况下以粉体状态直接从除害部10排出，能够谋求维护的容易化、维护的长周期化。另外，也能够防止生成物向燃烧室内附着。
根据本发明，通过设置多级空气喷嘴15-1、15-2、15-3，能够为了搬送粉体而供给足够量的旋转空气。而且，能够通过旋转空气对除害部10的出口以后的排气管道进行吹扫，通过向除害部10内供给的旋转空气，将在除害部10内生成的粉体搬送至设施内的洗涤器（scrubber），不会使其在排气管道内堆积，由此，能够降低用户排气管道的维护负担。另外，若将在除害部10中生成的粉体全部搬送到洗涤器，则能够根据废气量来推算洗涤器的负载，能够有计划地决定洗涤器的维护周期。
通常，不定期地发生管道堵塞，另外，堵塞部位的确定、管道的清洗需要大规模的维护，但根据本发明，由于能够从除害部10在排气管道中流动足够量的空气，所以能够防止排气管道的堵塞。
在图5所示的实施方式中，通过使最下级的空气喷嘴15-1的方向朝向下方，能够避免粉体吹落集中于除害部10的底部。像这样，由于没有粉体吹落集中，所以能够通过旋转空气可靠地将粉体向除害部10外排出，能够谋求维护的长周期化。在现有装置中，在将粉体捕集于箱（tank）内的方式中，为了延长维护周期而需要将箱大型化，或需要设置将粉体与水一起从箱排出的机构，但根据本发明，不需要这些对策。另外，在现有装置中使用水来冷却燃烧气体，但在本发明中，由于通过空气进行气体冷却，所以不需要水。因此，不需要供给水的效用、供水排水设备。
在图5所示的实施方式中，除燃烧用的空气喷嘴以外，还为了冷却处理后的燃烧气体而在除害部10的后级设置有供给旋转空气的空气喷嘴15C。即，空气喷嘴15C是供给用于冷却处理后的燃烧气体的空气的喷嘴。像这样，通过在除害部10的后级设置空气喷嘴15C，能够通过旋转空气将处理后的燃烧气体冷却至约80℃以下。
图6是表示本发明的带有除害功能的真空泵的另一其他实施方式的图，是表示作为处理对象的废气向除害部10的流入方向与从空气喷嘴15流入的旋转空气的流入方向之间的关系的示意剖视图。但是，在图6中，省略了UV传感器18的图示。
在图6中，如粗实线所示，将作为处理对象的废气导入到除害部10内的废气导入口10IN在圆筒体11的内周面上开口，废气的流入方向与从空气喷嘴15流入的旋转空气的流入方向平行。另外，如粗实线所示，将作为处理对象的废气导入到除害部10内的废气导入口10IN在圆筒体11的底部开口，废气的流入方向与从空气喷嘴15流入的旋转空气的流入方向正交。可选择将废气导入口10IN设置在圆筒体11的周壁上或设置在圆筒体11的底部。
在本发明中，可选择使作为处理对象的废气的流入方向与旋转空气的流入方向平行或正交。像这样，通过适当选择作为处理对象的废气和旋转空气的彼此流入方向，利用旋转空气搅拌燃烧室内的气体。而且，通过使燃烧室内的气体搅拌变得缓慢，能够使作为处理对象的废气在燃烧室整体的广阔空间内燃烧而防止生成物的附着。废气的流入方向对燃烧室内的搅拌效率产生较大影响，其直接反映在燃烧速度上。若能够降低燃烧速度、防止固态生成物附着在燃烧室内，则几乎不需要对除害部10进行维护。需要说明的是，消耗部件（O型环、UV管、火花塞等）的定期更换除外。
另外，在使废气导入口10IN在圆筒体11的内周面上开口并使作为处理对象的废气的流入方向和旋转空气的流入方向平行的情况下，能够使作为处理对象的废气以沿着与旋转空气相同方向或相反方向旋转的方式流入。像这样，通过从旋转空气的旋转方向的相同方向或相反方向中选择废气的流入方向，能够改变处理性能。由此，能够通过旋转空气将燃烧室内的气体搅拌成最佳状态，在将燃料流量固定的状态下准备处理性能的调节机构。
关于燃烧器规格方面，在必须限定能够稳定燃烧的燃料流量的幅度的情况下，为了改变燃料流量，通常，需要准备特殊规格的部件，但根据本发明，由于能够像上述那样通过选择废气的流入方向这一简单机构而具有燃料流量以外的处理性能的调节机构，所以不需要准备特殊规格的部件。
在除害部10中，根据作为处理对象的废气种类而生成酸性气体，另一方面，通过使燃料燃烧而生成水，在处理运转结束时停止供给燃料且也停止供给旋转空气的情况下，上述水凝结而在水中溶入酸性气体，由此，存在急剧地加速部件腐蚀消耗的可能性。
因此，在本发明中，在废气处理运转停止后，在经过规定延迟时间之后停止从空气喷嘴供给旋转空气。像这样，通过设置延迟时间，利用旋转空气对除害部10内的气体进行吹扫，排出由于处理运转而生成的酸性气体，由此能够防止部件的消耗。
在此之前对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述实施方式，当然可以在其技术思想的范围内以各种不同的方式实施。
Claims (8)
1.一种带有除害功能的真空泵，在真空泵的排气口上，附设有对从真空泵排出的废气进行处理而使其无害化的除害部，其特征在于，
所述除害部与真空泵直接连接，
所述除害部具有一端部封堵且另一端部开口的大致圆筒容器状的筒状体，在该筒状体的所述一端部侧设有将作为处理对象的废气导入的废气导入口，在所述另一端部侧设有将处理结束的气体排出的气体出口，
在所述筒状体的周壁上设有喷出燃料的多个燃料喷嘴，
在所述筒状体的周壁上，沿所述周壁的圆周方向隔开间隔地设有将空气以沿着所述周壁的内周面而形成旋转流的方式喷出的多个空气喷嘴，
所述多个空气喷嘴沿所述筒状体的轴心方向隔开间隔地多级配置，
以所述筒状体的封堵侧的端部位于下方的方式沿垂直方向配置所述筒状体，并使所述多级空气喷嘴中的最下级的空气喷嘴朝向斜下方。
2.如权利要求1所述的带有除害功能的真空泵，其特征在于，
所述多个空气喷嘴设置在比所述多个燃料喷嘴远离所述废气导入口的位置。
3.如权利要求1所述的带有除害功能的真空泵，其特征在于，
所述多个燃料喷嘴以使燃料沿着所述周壁的内周面而形成旋转流的方式喷出燃料。
4.如权利要求1所述的带有除害功能的真空泵，其特征在于，
使所述废气导入口位于所述筒状体的封堵侧的端部或位于所述周壁上，可选择使废气的流入方向和空气的流入方向正交或平行。
5.如权利要求4所述的带有除害功能的真空泵，其特征在于，
在使所述废气的流入方向和所述空气的流入方向平行时，可选择使双方的流入方向相同或相反。
6.如权利要求1所述的带有除害功能的真空泵，其特征在于，
在所述筒状体的所述气体出口侧的周壁上，设有喷出用于冷却燃烧气体的空气的多个空气喷嘴。
7.如权利要求1至6中任一项所述的带有除害功能的真空泵，其特征在于，
在使所述除害部的废气处理运转停止后，经过规定时间之后，停止从所述空气喷嘴喷出空气。
8.如权利要求1至6中任一项所述的带有除害功能的真空泵，其特征在于，
使所述真空泵的排气口分支，并在分支的排气口上分别附设所述除害部。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013-069728 | 2013-03-28 | ||
| JP2013069728A JP6151945B2 (ja) | 2013-03-28 | 2013-03-28 | 除害機能付真空ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104074766A CN104074766A (zh) | 2014-10-01 |
| CN104074766B true CN104074766B (zh) | 2018-08-28 |
Family
ID=50349425
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410116543.XA Active CN104074766B (zh) | 2013-03-28 | 2014-03-26 | 带有除害功能的真空泵 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9822974B2 (zh) |
| EP (1) | EP2784321B1 (zh) |
| JP (1) | JP6151945B2 (zh) |
| KR (1) | KR101974232B1 (zh) |
| CN (1) | CN104074766B (zh) |
| TW (1) | TWI665417B (zh) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6151945B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2017-06-21 | 株式会社荏原製作所 | 除害機能付真空ポンプ |
| GB2513300B (en) * | 2013-04-04 | 2017-10-11 | Edwards Ltd | Vacuum pumping and abatement system |
| JP6606322B2 (ja) * | 2014-10-15 | 2019-11-13 | エドワーズ株式会社 | 除害装置 |
| JP5977419B1 (ja) * | 2015-03-12 | 2016-08-24 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
| JP6659461B2 (ja) * | 2016-05-23 | 2020-03-04 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
| JP6785695B2 (ja) * | 2016-06-08 | 2020-11-18 | 株式会社荏原製作所 | 除害機能付ドライ真空ポンプ |
| JP6659471B2 (ja) * | 2016-06-08 | 2020-03-04 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
| EP3254745B1 (en) * | 2016-06-08 | 2019-03-27 | Ebara Corporation | Dry vacuum pump with abatement function |
| JP6836351B2 (ja) * | 2016-08-18 | 2021-02-24 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置 |
| JP6895342B2 (ja) * | 2016-08-19 | 2021-06-30 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置用のバーナヘッドおよびその製造方法、ならびに、排ガス処理装置用の燃焼室、その製造方法およびメンテナンス方法 |
| KR102686242B1 (ko) * | 2017-01-23 | 2024-07-17 | 에드워드 코리아 주식회사 | 질소 산화물 감소 장치 및 가스 처리 장치 |
| WO2018221021A1 (ja) * | 2017-05-29 | 2018-12-06 | カンケンテクノ株式会社 | 排ガスの減圧除害方法及びその装置 |
| TWI754084B (zh) * | 2017-08-03 | 2022-02-01 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 排氣處理裝置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6736635B1 (en) * | 1999-11-02 | 2004-05-18 | Ebara Corporation | Combustor for exhaust gas treatment |
| CN102317686A (zh) * | 2009-02-11 | 2012-01-11 | 爱德华兹有限公司 | 处理废气流的方法 |
Family Cites Families (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4555389A (en) * | 1984-04-27 | 1985-11-26 | Toyo Sanso Co., Ltd. | Method of and apparatus for burning exhaust gases containing gaseous silane |
| US5183646A (en) * | 1989-04-12 | 1993-02-02 | Custom Engineered Materials, Inc. | Incinerator for complete oxidation of impurities in a gas stream |
| US6432372B2 (en) * | 1993-09-28 | 2002-08-13 | John C. Schumacher | Method and apparatus for preventing reactive vapor backstreaming and backstreaming induced deposition |
| IL117775A (en) | 1995-04-25 | 1998-10-30 | Ebara Germany Gmbh | Inhalation system with gas exhaust cleaner and operating process for it |
| TW315312B (en) * | 1996-03-21 | 1997-09-11 | Ebara Germany Gmbh | Evacuating-system with waste-gas purification function |
| TW342436B (en) * | 1996-08-14 | 1998-10-11 | Nippon Oxygen Co Ltd | Combustion type harm removal apparatus (1) |
| JP4066107B2 (ja) * | 1997-11-21 | 2008-03-26 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理用燃焼器 |
| JP4176132B2 (ja) * | 1997-11-21 | 2008-11-05 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理用燃焼器 |
| JP2002106826A (ja) * | 2000-09-27 | 2002-04-10 | Ebara Corp | 燃焼式排ガス処理装置 |
| JP3916816B2 (ja) * | 1999-11-08 | 2007-05-23 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理装置及びその運転方法 |
| GB0005231D0 (en) * | 2000-03-03 | 2000-04-26 | Boc Group Plc | Abatement of semiconductor processing gases |
| KR100413057B1 (ko) * | 2000-08-22 | 2003-12-31 | 한국과학기술연구원 | 토네이도의 원리를 이용한 그라운드 플레어의 소각 용량증대방법 및 그 장치 |
| KR20030024892A (ko) * | 2000-08-22 | 2003-03-26 | 가부시키 가이샤 에바라 세이사꾸쇼 | 연소식 배기가스처리방법 및 장치 |
| TW536604B (en) * | 2000-10-02 | 2003-06-11 | Ebara Corp | Combustion type waste gas treatment system |
| US7569193B2 (en) * | 2003-12-19 | 2009-08-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for controlled combustion of gaseous pollutants |
| GB0406748D0 (en) * | 2004-03-26 | 2004-04-28 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
| GB0412623D0 (en) * | 2004-06-07 | 2004-07-07 | Boc Group Plc | Method controlling operation of a semiconductor processing system |
| GB0509944D0 (en) * | 2005-05-16 | 2005-06-22 | Boc Group Plc | Gas combustion apparatus |
| GB0521944D0 (en) * | 2005-10-27 | 2005-12-07 | Boc Group Plc | Method of treating gas |
| JP5661249B2 (ja) * | 2009-03-04 | 2015-01-28 | 株式会社荏原製作所 | 排ガス処理システム及びその運転方法 |
| CN101545636A (zh) * | 2009-04-21 | 2009-09-30 | 上海沃珅化工科技有限公司 | 富氧燃烧的煤造气吹风气回收工艺及装置 |
| WO2012017972A1 (en) * | 2010-08-05 | 2012-02-09 | Ebara Corporation | Exhaust system |
| WO2013018576A1 (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | エドワーズ株式会社 | 排ガス燃焼装置 |
| KR101435371B1 (ko) * | 2012-10-16 | 2014-08-29 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | CO, NOx 개별 제어 방식을 이용한 저공해 연소방법 |
| JP6153754B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2017-06-28 | 株式会社荏原製作所 | 除害機能付真空ポンプ |
| JP6151945B2 (ja) * | 2013-03-28 | 2017-06-21 | 株式会社荏原製作所 | 除害機能付真空ポンプ |
| CN103727545B (zh) * | 2013-12-24 | 2016-08-31 | 浙江巨圣氟化学有限公司 | 一种处理含氟氯废液废气的涡流式焚烧炉 |
-
2013
- 2013-03-28 JP JP2013069728A patent/JP6151945B2/ja active Active
-
2014
- 2014-03-21 EP EP14020042.9A patent/EP2784321B1/en active Active
- 2014-03-25 TW TW103110999A patent/TWI665417B/zh active
- 2014-03-26 CN CN201410116543.XA patent/CN104074766B/zh active Active
- 2014-03-26 US US14/226,737 patent/US9822974B2/en active Active
- 2014-03-27 KR KR1020140035972A patent/KR101974232B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6736635B1 (en) * | 1999-11-02 | 2004-05-18 | Ebara Corporation | Combustor for exhaust gas treatment |
| CN102317686A (zh) * | 2009-02-11 | 2012-01-11 | 爱德华兹有限公司 | 处理废气流的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2784321B1 (en) | 2018-08-01 |
| TWI665417B (zh) | 2019-07-11 |
| CN104074766A (zh) | 2014-10-01 |
| JP6151945B2 (ja) | 2017-06-21 |
| US20140295362A1 (en) | 2014-10-02 |
| EP2784321A1 (en) | 2014-10-01 |
| JP2014190683A (ja) | 2014-10-06 |
| US9822974B2 (en) | 2017-11-21 |
| KR20140118898A (ko) | 2014-10-08 |
| KR101974232B1 (ko) | 2019-04-30 |
| TW201502449A (zh) | 2015-01-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |