TWI638589B - Flexible display substrate and preparation method thereof - Google Patents

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Abstract

本發明提供了一種柔性顯示基板，能夠有效地釋放柔性顯示基板所累積的應力，減小了柔性屏體彎曲過程中金屬線和絕緣層斷裂的機率；本發明還提供了一種柔性顯示基板的製備方法，能夠防止柔性顯示幕的老化，延長其壽命。本發明提供的柔性顯示基板包括柔性襯底，該柔性襯底上設置有至少一個導電複合層，該導電複合層包括兩個金屬層和處於兩個金屬層之間的絕緣層，兩個金屬層中的每一個包括分隔設置的金屬線段，絕緣層上開設有接觸孔，兩個金屬層的金屬線段通過接觸孔中的金屬相連而形成連續的金屬導線。

Description

一種柔性顯示基板及其製備方法
本發明屬於顯示技術領域，具體是關於一種柔性顯示基板及其製備方法。
柔性顯示器作為新一代的顯示產品，由於其具有超輕、超薄、清晰度高、回應快、可彎曲、攜帶方便等優點，受到人們越來越多的廣泛關注。
柔性顯示器在使用時需要捲起或者彎曲，甚至頻繁彎折，這樣其發生形變產生的應力會累積和疊加到顯示基板內的金屬線和絕緣層上，就會出現金屬線斷裂的現象，同時多次彎曲之後也會使得絕緣層面臨斷裂的危險，導致無法正常顯示，嚴重影響柔性顯示器的使用壽命。
為解決上述技術問題，業內主要是通過在金屬線上設置一些孔洞或是改變金屬線的圖形(如矩形、波浪形等)等方法以釋放應力。這些方法雖能夠增加金屬線的使用次數，延長顯示器的使用壽命，但由於在金屬線打孔或是改變金屬線的圖形對於光刻設備的要求都比較高，加大了工藝難度。
現有技術中有些也公開了採用柔性較好、易於彎曲的材料(例如石墨烯或納米銀等)來替代金屬層的鉬、鈦或銅的方法，來形成顯 示基板的金屬線。該方法雖能夠延長金屬線的使用次數，提高顯示器的可靠性，但由於材料的限制，成本較高，而且替代材料的使用也會使得柔性基板的結構和製備工藝等都會發生明顯的變化，無法通過現有的設備和工藝實現。
另外，上述方法都只是針對金屬線斷裂採取的改進措施，採用這些措施後，由於絕緣層仍是連續的，所以上述方法並不能有效地釋放累積在絕緣層中的應力以解決絕緣層易斷裂的技術問題。
有鑑於此，本發明實施例提供了一種柔性顯示基板，能夠有效地降低了柔性顯示基板中的應力累積，減小了柔性屏體彎曲過程中金屬線和絕緣層斷裂的機率；本發明還提供了一種柔性顯示基板的製備方法，能夠防止柔性顯示幕的老化，延長其壽命。
本發明實施例提供的一種柔性顯示基板，包括柔性襯底，該柔性襯底上設置有至少一個導電複合層，該導電複合層包括兩個金屬層和處於兩個金屬層之間的絕緣層，兩個金屬層中的每一個包括分隔設置的金屬線段，絕緣層上開設有接觸孔，兩個金屬層的金屬線段通過接觸孔中的金屬相連而形成連續的金屬導線。
在本發明的一個實施例中，兩個金屬層中的每一個包括具有相同或相近延伸方向並且分隔設置的金屬線段。
在本發明的一個實施例中，在至少一個導電複合層中的每一個導電複合層中的兩個金屬層的金屬線段錯位設置。
在本發明的一個實施例中，至少一個導電複合層包括下層的導電複合層和與之相鄰的上層的導電複合層，下層的導電複合層和上層的導電複合層共用金屬層。
在本發明的一個實施例中，不同的金屬層中的金屬線段的密度不同。
在本發明的一個實施例中，導電複合層包括第一金屬層和第二金屬層，接觸孔中的金屬一端連接在第一金屬層的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔中的金屬另一端連接在第二金屬層的金屬線段的尾部或頭部，其中第一金屬層的金屬線段的密度大於第二金屬層的金屬線段的密度。
在本發明的一個實施例中，導電複合層包括第一金屬層、第二金屬層和第三金屬層，其中，第二金屬層中的金屬線段包括間隔設置的第一金屬線段和第三金屬線段；第一金屬層和第二金屬層間的接觸孔中的金屬一端連接在第一金屬層的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔中的金屬另一端連接在第二金屬層的第一金屬線段的尾部或頭部，其中第一金屬層的金屬線段的密度大於第二金屬層的第一金屬線段的密度；和/或第三金屬層和第二金屬層間的接觸孔中的金屬一端連接在第三金屬層的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔中的金屬另一端連接在第二金屬層的第三金屬線段的尾部或頭部，其中第三金屬層的金屬線段的密度大於第二金屬層的第三金屬線段的密度。
在本發明的一個實施例中，導電複合層包括第一金屬層、第二金屬層和第三金屬層；第一金屬層和第二金屬層間的接觸孔中的金屬一端連接在第一金屬層的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔中的金屬另一端連 接在第二金屬層的金屬線段的尾部或頭部；第二金屬層和第三金屬層間的接觸孔中的金屬一端連接在第二金屬層的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔中的金屬另一端連接在第三金屬層的金屬線段的尾部或頭部，
其中，第一金屬層的金屬線段的密度大於第二金屬層的金屬線段的密度，第三金屬層的金屬線段的密度大於第二金屬層的金屬線段的密度，並且第一金屬層的金屬線段的密度小於第三金屬層的金屬線段的密度。
在本發明的一個實施例中，連續的金屬導線用作資料線或柵極線。
在本發明的一個實施例中，金屬線由鋁、鈦、鉬或者鋁合金、鈦合金、鉬合金中的一種材料製成。
在本發明的一個實施例中，絕緣層由矽氮化物或者矽氧化物製成。
在本發明的一個實施例中，柔性襯底的材料為聚醯亞胺、聚碳酸酯、聚丙烯酸酯、聚醚醯亞胺、聚醚碸或聚對苯二甲酸乙二醇酯中的一種。
本發明實施例提供的一種柔性顯示基板的製備方法，包括：製備柔性襯底；在柔性襯底上交替設置絕緣層和金屬層；其中，在設置多個絕緣層和多個金屬層過程中，還執行如下步驟：在相鄰金屬層間的絕緣層上設置接觸孔，接觸孔中填充金屬；在金屬層分隔設置相同或相近延伸方向的金屬線段；接觸孔中的金屬將相鄰金屬層的金屬線段進行交替連接，形成連續的金屬導線。
在本發明的一個實施例中，柔性顯示基板的製備方法，包括：製備柔性襯底；在柔性襯底上形成第一絕緣層；在第一絕緣層上形成第一金屬層，在第一金屬層分隔設置相同或相近延伸方向的金屬線段；在第一金屬層上形成第二絕緣層，在第二絕緣層上設置接觸孔，接觸孔中填充金屬；在第二絕緣層上形成第二金屬層，在第二金屬層分隔設置相同或相近延伸方向的金屬線段，將接觸孔中的金屬一端連接在第一金屬層的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔中的金屬另一端連接在第二金屬層的金屬線段的尾部或頭部。
本發明實施例提供的柔性顯示基板，不同金屬層中的金屬線段相互交替連接，形成排布在多層金屬層中、具有折線結構的連續金屬導線和多個相對獨立的絕緣層塊，有效地降低了柔性顯示基板中的應力累積，減小了柔性屏體彎曲過程中金屬線和絕緣層斷裂的機率；本發明實施例提供的柔性顯示基板的製備方法，利用接觸孔將多層金屬層中的金屬線段進行交替連接，形成排布在多層金屬層中、具有折線結構的連續金屬導線和多個相對獨立的絕緣層塊，防止了柔性顯示幕的老化，延長了其使用壽命。
101-105、201-205‧‧‧步驟
1‧‧‧柔性襯底
2‧‧‧第一絕緣層
3‧‧‧第一金屬層
4‧‧‧第二絕緣層
5‧‧‧第二金屬層
6‧‧‧接觸孔
7‧‧‧第三絕緣層
8‧‧‧第三金屬層
9‧‧‧第一金屬線段
10‧‧‧第三金屬線段
11‧‧‧第一金屬線段
12‧‧‧第三金屬線段
13、14‧‧‧金屬導線
15、16‧‧‧絕緣層塊
61、62、63、64‧‧‧接觸孔
圖1所示為本發明一實施例提供的一種柔性顯示基板的結構示意圖；圖2所示為本發明另一實施例提供的一種柔性顯示基板的結構示意圖；圖3所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示基板的結構示意 圖；圖4所示為本發明一實施例提供的一種柔性顯示基板的製備方法的流程示意圖；以及圖5所示為本發明另一實施例提供的一種柔性顯示基板的製備方法的流程示意圖。
下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出進步性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本發明保護的範圍。
圖1所示為本發明一實施例提供的一種柔性顯示基板的結構示意圖，圖2所示為本發明另一實施例提供的一種柔性顯示基板的結構示意圖，以及圖3所示為本發明再一實施例提供的一種柔性顯示基板的結構示意圖。
本發明實施例提供的柔性顯示基板，包括柔性襯底1，在該柔性襯底1上交替設有絕緣層和金屬層。金屬層包括相同或相近延伸方向分隔設置的金屬線段，相鄰金屬層間的絕緣層上開設接觸孔6，相鄰金屬層的金屬線段通過接觸孔6中的金屬交替連接，形成連續的金屬導線。
在如圖1所示的實施例中，柔性顯示基板包括柔性襯底1，在柔性襯底1上依次設置有第一絕緣層2、第一金屬層3、第二絕緣層4以 及第二金屬層5。第一金屬層3和第二金屬層5中分別包括具有相同或相近延伸方向並且分隔設置的金屬線段7。接觸孔6中的金屬一端連接在第一金屬層3的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔6中的金屬另一端連接在第二金屬層5的金屬線段的尾部或頭部。
此外，第一金屬層3中的金屬線段7和第二金屬層5中的金屬線段10的密度可以為不同。例如，在本實施例的柔性顯示基板中，第一金屬層3可用於做柵極和部分走線；第二金屬層5中的金屬線段10可用於做電容的上極板，因此第一金屬層3中的金屬線段7的數量比第二金屬層5中的金屬線段10的數量更多。在一個具體的實施例中，第一金屬層3中的金屬線段7的數量與第二金屬層5中的金屬線段10的數量的比值約為3：2。
在本實施例的柔性顯示基板中，相鄰金屬層的金屬線段呈錯位分佈並且通過接觸孔內的金屬連接，由此形成了往復穿過絕緣層而具有折線結構的連續金屬導線(例如，金屬導線8)。此外，完整的絕緣層(第二絕緣層4)也被用於連接金屬層3和5的多個接觸孔6分成多個相對獨立的絕緣層塊9，由此能夠進一步有效地降低柔性顯示基板所中的應力累積，減小了柔性屏體彎曲過程中金屬線和絕緣層斷裂的機率。
在如圖2所示的實施例中，柔性顯示基板構造為在柔性襯底1上依次設置有第一絕緣層2、第一金屬層3、第二絕緣層4、第二金屬層5、第三絕緣層7以及第三金屬層8。第一金屬層3、第二金屬層5和第三金屬層8中均包括具有相同或相近延伸方向並且分隔設置的金屬線段。例如，在第一金屬層3中，具有間隔設置的第一金屬線段11和第三金屬線段12。在第二金屬層5中，具有間隔設置的第一金屬線段9和第三金屬線段10。 在第二絕緣層4中，具有多個接觸孔61、62、63、64，在每一個接觸孔內填充有金屬。第二絕緣層4的接觸孔61中的金屬的下端與第一金屬層3的第三金屬線段12的頭部相連，第二絕緣層4的接觸孔61中的金屬的上端與第二金屬層5的第一金屬線段9的尾部相連。第二絕緣層4中的其餘接觸孔內的金屬的連接方式與此類似，並且其餘的絕緣層和其相鄰的金屬層的連接方式也與此類似，這不再詳細描述。
第一金屬層3中的金屬線段、第二金屬層5中的金屬線段以及第三金屬層8中的金屬線段的密度可以為不同。例如，在本實施例的柔性顯示基板中，第一金屬層3可用於做柵極和部分走線，所以第一金屬層3中的金屬線段的數量會多一些；第二金屬層5中的金屬線段可用於做電容上極板，所以第二金屬層5中的金屬線段的數量會少一些；第三金屬層8中的金屬線段可用於做走線，所以第三金屬層8中的金屬線段的數量也會多一些。在一個具體實施例中，第一金屬層3、第二金屬層5、和第三金屬層8中的金屬線段的密度不同，並且密度的比值約為3：2：4。
在本實施例的柔性顯示基板中，相鄰金屬層(例如，第一金屬層3和第二金屬層5)的金屬線段呈錯位分佈並且通過接觸孔內的金屬連接，由此形成了往復穿過絕緣層而具有折線結構的連續金屬導線(例如，金屬導線13)，相鄰金屬層(例如，第二金屬層5和第三金屬層8)的金屬線段呈錯位分佈並且通過接觸孔內的金屬連接，由此形成了往復穿過絕緣層而具有折線結構的連續金屬導線(例如，金屬導線14)。此外，第二絕緣層4與第三絕緣層7也分別被分成多個相對獨立的絕緣層塊15和16，減小了柔性屏體彎曲過程中金屬線和絕緣層斷裂的機率。
在如圖3所示的實施例中，柔性顯示基板構造為在柔性襯底1上依次設置有第一絕緣層2、第一金屬層3、第二絕緣層4、第二金屬層5、第三絕緣層7以及第三金屬層8。第一金屬層3、第二金屬層5和第三金屬層8中均包括具有相同或相近延伸方向並且分隔設置的金屬線段。與上述實施例不同的是金屬線段的連接方式。本實施例中，第一金屬層3與第三金屬層8中的金屬線段通過第二金屬層5中的金屬線段也形成連接，即：第二絕緣層4的接觸孔6中的金屬一端連接在第一金屬層3的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔6中的金屬另一端連接在第二金屬層5的金屬線段的尾部或頭部，第三絕緣層7的接觸孔6中的金屬一端連接在第二金屬層5的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔6中的金屬另一端連接在第三金屬層8的金屬線段的尾部或頭部，整體便形成了交替排布在上中下三層金屬層中、具有折線結構的連續金屬導線和多個相對獨立的絕緣層塊。
第一金屬層3中的金屬線段、第二金屬層5中的金屬線段以及第三金屬層8中的金屬線段的密度可以為不同。例如，在本實施例的柔性顯示基板中，第一金屬層3可用於做柵極和部分走線，所以第一金屬層3中的金屬線段的數量會多一些；第二金屬層5中的金屬線段可用於做電容上極板，所以第二金屬層5中的金屬線段的數量會少一些；第三金屬層8中的金屬線段可用於做走線，所以第三金屬層8中的金屬線段的數量也會多一些。在一個具體的實施例中，第一金屬層3、第二金屬層5、和第三金屬層8中的金屬線段的密度不同，並且密度的比值約為3：2：4。
本領域的技術人員不難理解，上述實施例只是本發明所列舉的示例而已，操作人員可根據對解析度或者其他方面的實際需求，來設計 不同數目的絕緣層、金屬層以及金屬線段，也可以選擇不同的金屬線段連接方式，本發明對此不做具體限定。
在本發明一實施例中，連續的金屬導線可用作資料線或柵極線。當然，金屬線也可用作承載其他資訊的信號線。金屬導線的材料可以為鋁、鈦、鉬金屬中的一種，也可以為鋁合金、鈦合金、鉬合金等合金中的一種，本發明對此不做具體限定。
在本發明一實施例中，絕緣層為矽氮化物或者矽氧化物中的一種，例如可以為SixNy或SixOy，本發明對此不作具體限定。
在本發明一實施例中，柔性襯底1的材料可以為聚醯亞胺、聚碳酸酯、聚丙烯酸酯、聚醚醯亞胺、聚醚碸或聚對苯二甲酸乙二醇酯中的一種，本發明對此不作具體限定。
本發明實施例還提供了一種柔性顯示基板的製備方法。圖4所示為本實施例提供的柔性顯示基板製備方法的流程圖，如圖4所示，該方法包括如下步驟：步驟101：製備柔性襯底1，其中，柔性襯底1的材料可以為聚醯亞胺、聚碳酸酯、聚丙烯酸酯、聚醚醯亞胺、聚醚碸或聚對苯二甲酸乙二醇酯中的一種，本發明對此不作具體限定；步驟102：在柔性襯底1上交替設置絕緣層和金屬層。在設置絕緣層和金屬層過程中，還執行如下步驟：步驟103：在相鄰金屬層間的絕緣層上設置接觸孔6，接觸孔6中填充金屬； 步驟104：在金屬層分隔設置具有相同或相近延伸方向的金屬線段；步驟105：接觸孔6中的金屬將相鄰金屬層的金屬線段進行交替連接，形成連續的金屬導線；在上述方法中，絕緣性和與之相鄰的金屬層形成了導電複合層。
圖5所示為本發明另一實施例提供的柔性顯示基板製備方法的流程圖，如圖5所示，該方法包括如下步驟：步驟201：製備柔性襯底1；步驟202：在柔性襯底1上形成第一絕緣層2；步驟203：在第一絕緣層2上形成第一金屬層3，在第一金屬層3分隔設置相同或相近延伸方向的金屬線段；步驟204：在第一金屬層3上形成第二絕緣層4，在第二絕緣層4上設置接觸孔6，接觸孔6中填充金屬；步驟205：在第二絕緣層4上形成第二金屬層5，在第二金屬層4分隔設置相同或相近延伸方向的金屬線段，將接觸孔6中的金屬一端連接在第一金屬層3的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔6中的金屬另一端連接在第二金屬層5的金屬線段的尾部或頭部；在上述方法中，絕緣性和與之相鄰的金屬層(或金屬線段)形成了導電複合層。
在本發明一實施例中，金屬層通過光刻刻蝕工藝形成。在另一實施例中，金屬層還可通過列印、噴墨、物理氣相沉積法等工藝形成，本發明對此不作具體限定。
很顯然，本領域的技術人員在此製備方法的基礎上，結合上 述柔性顯示基板的實施例，能夠推導出採用更多金屬層及選用不同連接方式時的製備方法，本發明對此不進行贅述。
本發明實施例提供的柔性顯示基板，不同金屬層中的金屬線段相互交替連接，形成排布在多層金屬層中、具有折線結構的連續金屬導線和多個相對獨立的絕緣層塊，能夠有效地降低柔性顯示基板中的應力累積，減小了柔性屏體彎曲過程中金屬線和絕緣層斷裂的機率。本發明實施例提供的柔性顯示基板的製備方法，利用接觸孔將多層金屬層中的金屬線段交替連接，形成排布在多層金屬層中、具有折線結構的連續金屬導線和多個相對獨立的絕緣層塊，防止了柔性顯示幕的老化，延長了其使用壽命。
以上所述僅為本發明的較佳實施例而已，並不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換等，均應包含在本發明的保護範圍之內。
本發明屬於顯示技術領域，本發明的柔性顯示基板能夠有效地降低柔性顯示基板中的應力累積，減小了柔性屏體彎曲過程中金屬線和絕緣層斷裂的機率。本發明的柔性顯示基板的製備方法，能夠防止柔性顯示幕的老化，延長其壽命。

Claims (14)

  1. 一種柔性顯示基板，包括柔性襯底，其特徵在於，該柔性襯底上設置有至少一個導電複合層，該導電複合層包括兩個金屬層和處於該兩個金屬層之間的絕緣層，該兩個金屬層中的每一個包括分隔設置的多個金屬線段，該絕緣層上開設有多個接觸孔，該多個金屬線段中的每個該金屬線段通過該接觸孔中的金屬與相鄰該金屬層中的該金屬線段首尾相連而形成連續的金屬導線。
  2. 如請求項1所述的柔性顯示基板，其中，該兩個金屬層中的每一個包括具有相同或相近延伸方向並且分隔設置的該多個金屬線段。
  3. 如請求項1所述的柔性顯示基板，其中，在該至少一個導電複合層中的每一個導電複合層中的兩個金屬層的金屬線段錯位設置。
  4. 如請求項1至3中任一項所述的柔性顯示基板，其中，該至少一個導電複合層包括下層的導電複合層和與之相鄰的上層的導電複合層，該下層的導電複合層和該上層的導電複合層共用金屬層。
  5. 如請求項1至3中任一項所述的柔性顯示基板，其中，不同的金屬層中的金屬線段的密度不同。
  6. 如請求項1至3中任一項所述的柔性顯示基板，其中，該導電複合層包括第一金屬層和第二金屬層，該接觸孔中的金屬一端連接在第一金屬層的金屬線段的頭部或尾部，該接觸孔中的金屬另一端連接在第二金屬層的金屬線段的尾部或頭部，其中該第一金屬層的金屬線段的密度大於該第二金屬層的金屬線段的密度。
  7. 如請求項1至3中任一項所述的柔性顯示基板，其中，該導電複合層包括第一金屬層、第二金屬層和第三金屬層，其中，該第二金屬層中的金屬線段包括間隔設置的第一金屬線段和第三金屬線段；第一金屬層和第二金屬層間的接觸孔中的金屬一端連接在第一金屬層的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔中的金屬另一端連接在第二金屬層的第一金屬線段的尾部或頭部，其中該第一金屬層的金屬線段的密度大於該第二金屬層的第一金屬線段的密度；和/或第三金屬層和第二金屬層間的接觸孔中的金屬一端連接在第三金屬層的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔中的金屬另一端連接在第二金屬層的第三金屬線段的尾部或頭部，其中該第三金屬層的金屬線段的密度大於該第二金屬層的第三金屬線段的密度。
  8. 如請求項1至3中任一項所述的柔性顯示基板，其中，該導電複合層包括第一金屬層、第二金屬層和第三金屬層；第一金屬層和第二金屬層間的接觸孔中的金屬一端連接在第一金屬層的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔中的金屬另一端連接在第二金屬層的金屬線段的尾部或頭部；第二金屬層和第三金屬層間的接觸孔中的金屬一端連接在第二金屬層的金屬線段的頭部或尾部，接觸孔中的金屬另一端連接在第三金屬層的金屬線段的尾部或頭部，其中，該第一金屬層的金屬線段的密度大於該第二金屬層的金屬線段的密度，該第三金屬層的金屬線段的密度大於該第二金屬層的金屬線段的密度，並且該第一金屬層的金屬線段的密度小於該第三金屬層的金屬線段的密度。
  9. 如請求項1至3中任一項所述的柔性顯示基板，其中，該連續的金屬導線用作資料線或柵極線。
  10. 如請求項1至3中任一項所述的柔性顯示基板，其中，該金屬線段由鋁、鈦、鉬或者鋁合金、鈦合金、鉬合金中的一種材料製成。
  11. 如請求項1至3中任一項所述的柔性顯示基板，其中，該絕緣層由矽氮化物或者矽氧化物製成。
  12. 如請求項1至3中任一項所述的柔性顯示基板，其中，該柔性襯底的材料為聚醯亞胺、聚碳酸酯、聚丙烯酸酯、聚醚醯亞胺、聚醚碸或聚對苯二甲酸乙二醇酯中的一種。
  13. 一種柔性顯示基板的製備方法，其特徵在於，包括：製備柔性襯底；在該柔性襯底上交替設置多個絕緣層和多個金屬層，其中，在設置該多個絕緣層和該多個金屬層過程中，還執行如下步驟：在該多個金屬層中的相鄰金屬層間的絕緣層上設置多個接觸孔，該多個接觸孔中的每個該接触孔中填充金屬；在該多個金屬層中的每個金屬層分隔設置具有相同或相近延伸方向的多個金屬線段；其中，該接觸孔中的金屬將該多個金屬線段中的每個該金屬線段與該相鄰金屬層中的金屬線段首尾連接，形成連續的金屬導線。
  14. 如請求項13所述的柔性顯示基板的製備方法，其中，包括：製備柔性襯底；在該柔性襯底上形成第一絕緣層；在該第一絕緣層上形成第一金屬層，在該第一金屬層分隔設置相同或相近延伸方向的多個金屬線段；在該第一金屬層上形成第二絕緣層，在該第二絕緣層上設置多個接觸孔，該多個接觸孔中的每個該接觸孔中填充金屬；在該第二絕緣層上形成第二金屬層，在該第二金屬層分隔設置相同或相近延伸方向的多個金屬線段，將該接觸孔中的金屬一端連接在第一金屬層的金屬線段的頭部或尾部，該接觸孔中的金屬另一端連接在第二金屬層的金屬線段的尾部或頭部。
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