JP2019201190A - インダクタおよびその製造方法 - Google Patents
インダクタおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019201190A JP2019201190A JP2018096600A JP2018096600A JP2019201190A JP 2019201190 A JP2019201190 A JP 2019201190A JP 2018096600 A JP2018096600 A JP 2018096600A JP 2018096600 A JP2018096600 A JP 2018096600A JP 2019201190 A JP2019201190 A JP 2019201190A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- magnetic
- shield
- coil axis
- inductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)
Abstract
【課題】生じる渦電流を小さくしたインダクタを提供する。【解決手段】インダクタ101は、主表面1uを有する基板1と、主表面1u上に主表面1uと平行なコイル軸に沿って配置された磁気コア5と、前記コイル軸に沿って磁気コア5を螺旋状に取り囲むコイル導体2とを備え、磁気コア5は、前記コイル軸に平行に延在する複数のコア磁性体部51と1以上のコア非磁性体部52とを含み、コア非磁性体部52は、コア磁性体部51より導電率が低く、磁気コア5を前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、前記複数のコア磁性体部51のうちの少なくとも2つは、前記1以上のコア非磁性体部52のうちの少なくとも1つによって互いに電気的に離隔した状態で主表面1uに平行な向きに並んでいる。【選択図】図1
Description
本発明は、インダクタおよびその製造方法に関するものである。
薄膜積層コアの製造方法の一例が、特開平3−231412号公報(特許文献1)に記載されている。特許文献1で示されているコアにおいては、化学的溶融基材のシート、磁性体層、絶縁層の3種類の層がこの順に繰り返されて積層されている。化学的溶融基材のシートは溶融することにより、積層体を一体化することに寄与するものである。
一般的に、コアを取り囲むように配置されたコイルに交流電流を流すと、コイルによって生じる磁界を妨げる向きに、コアの磁性体内に渦状の誘導電流(以下、「渦電流」という。)が流れる。コアに含まれる磁性体が単一ブロックである場合に比べて、コアが磁性体と絶縁体とを交互に積層したものである場合には、渦電流が小さくなる。
特許文献1に記載されたコアのように、磁性体と絶縁体とを交互に積層して一体化したコアにおいては、磁性体の単体で形成されたコアに比べれば渦電流がある程度小さくなっているが、磁性体の各層は断面で見て横方向に長く広がっているので、この範囲内で大きく回るように渦電流が流れる。
そこで、本発明は、生じる渦電流を小さくしたインダクタを提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明に基づくインダクタは、主表面を有する基板と、上記主表面上に上記主表面と平行なコイル軸に沿って配置された磁気コアと、上記コイル軸に沿って上記磁気コアを螺旋状に取り囲むコイル導体とを備え、上記磁気コアは、上記コイル軸に平行に延在する複数のコア磁性体部と1以上のコア非磁性体部とを含み、上記コア非磁性体部は、上記コア磁性体部より導電率が低く、上記磁気コアを上記コイル軸に垂直な断面で見たとき、上記複数のコア磁性体部のうちの少なくとも2つは、上記1以上のコア非磁性体部のうちの少なくとも1つによって互いに電気的に離隔した状態で上記主表面に平行な向きに並んでいる。
本発明によれば、磁気コア内の磁性体が分散することによって個々の磁性体の断面形状が小さくなるので、生じる渦電流を小さくしたインダクタを実現することができる。
図面において示す寸法比は、必ずしも忠実に現実のとおりを表しているとは限らず、説明の便宜のために寸法比を誇張して示している場合がある。以下の説明において、上または下の概念に言及する際には、絶対的な上または下を意味するとは限らず、図示された姿勢の中での相対的な上または下を意味する場合がある。
(実施の形態1)
(構成)
図1を参照して、本発明に基づく実施の形態1におけるインダクタ101について説明する。本実施の形態におけるインダクタ101の模式的な断面図を図1に示す。
(構成)
図1を参照して、本発明に基づく実施の形態1におけるインダクタ101について説明する。本実施の形態におけるインダクタ101の模式的な断面図を図1に示す。
図1では、コイル導体2は模式的に表示されている。実際には、コイル導体2は磁気コア5を螺旋状に取り囲んでいるので、図1に示すように1つの断面内でコイル導体2が完全な環状に見えることはないが、ここでは説明の便宜上、コイル導体2を環状に表示している。実際には、磁気コア5の周りの絶縁体3は単一層で形成されるとは限らず、複数層の組合せによって実現されるものであってよいが、図1では、説明の便宜上、絶縁体3についても模式的に単一のものとして模式的に表示されている。図1では、コイル軸は紙面に垂直な方向に延びる。絶縁体3は、磁気コア5を取り囲んでいる。絶縁体3は、磁気コア5とコイル導体2とを電気的に隔離している。これらのことは、以下の他の実施の形態においても同様である。
本実施の形態におけるインダクタ101は、主表面1uを有する基板1と、主表面1u上に主表面1uと平行なコイル軸に沿って配置された磁気コア5と、前記コイル軸に沿って磁気コア5を螺旋状に取り囲むコイル導体2とを備える。磁気コア5は、前記コイル軸に平行に延在する複数のコア磁性体部51と1以上のコア非磁性体部52とを含む。コア非磁性体部52は、コア磁性体部51より導電率が低い。磁気コア5を前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、複数のコア磁性体部51のうちの少なくとも2つは、1以上のコア非磁性体部52のうちの少なくとも1つによって互いに電気的に離隔した状態で主表面1uに平行な向きに並んでいる。「磁気コア5を前記コイル軸に垂直な断面で見たとき」とは、図1の断面図で見たときを意味する。図1に示した例では、2つのコア磁性体部51に注目すると、これら2つのコア磁性体部51が1つのコア非磁性体部52によって互いに電気的に離隔した状態で左右方向に並んでいるので、上述の条件を満たしている。
図1に示した例では、磁気コア5に2つのコア磁性体部51と3つのコア非磁性体部52とが含まれているが、より多くの数のコア磁性体部51とコア非磁性体部52とが含まれていてもよい。
基板1は、たとえばSi基板上に絶縁膜としてSiO2層を形成したものであってよい。Si基板に代えてガラスなどの材料で形成された基板を用いてもよい。基板1としてガラス基板を用いる場合、ガラス自体が絶縁性を有するので、上面に絶縁膜を形成することは省略可能である。また、基板1の上面をなす絶縁膜は、SiO2層以外に、Al2O3層などであってもよい。Si基板上に絶縁膜としてSiO2層を形成したものを基板1とする場合は、主表面1uは、SiO2層の上面である。
(作用・効果)
本実施の形態におけるインダクタ101において、コイル導体2に電流を流した場合の状況について図2を参照して説明する。たとえばコイル導体2に時計回りに電流81を流すと、各コア磁性体部51に反時計回りに渦電流82が発生する。各コア磁性体部51は磁気コア5の全体に比べて小さなものであるので、渦電流82は小さなものとなる。
本実施の形態におけるインダクタ101において、コイル導体2に電流を流した場合の状況について図2を参照して説明する。たとえばコイル導体2に時計回りに電流81を流すと、各コア磁性体部51に反時計回りに渦電流82が発生する。各コア磁性体部51は磁気コア5の全体に比べて小さなものであるので、渦電流82は小さなものとなる。
電流81および渦電流82の矢印は、交流電流を流した際のある瞬間における電流の流れる向きを示す。以下においても、電流を矢印で表現する場合には同様である。
本実施の形態では、磁気コアに含まれる磁性体が単一の塊である場合に比べて、磁気コア内の磁性体が分散することによって個々の磁性体の断面形状が小さくなるので、磁気コア内に生じる渦電流を小さくすることができる。磁気コアが磁性体層と非磁性体層とを厚み方向に交互に積層した構造に比べても、各コア磁性体部51の断面形状の最長辺の寸法を小さくすることができる。図1に示した例では、コア磁性体部51の左右方向の長さを必要に応じて短くすることができる。したがって、生じる渦電流を小さくしたインダクタを実現することができる。
(実施の形態2)
(構成)
図3を参照して、本発明に基づく実施の形態2におけるインダクタ102について説明する。本実施の形態におけるインダクタ102の模式的な断面図を図3に示す。インダクタ102においては、基本的な構成は、実施の形態1で述べたものと同様である。インダクタ102は、実施の形態1で説明した磁気コア5に代えて磁気コア5iを備える。
(構成)
図3を参照して、本発明に基づく実施の形態2におけるインダクタ102について説明する。本実施の形態におけるインダクタ102の模式的な断面図を図3に示す。インダクタ102においては、基本的な構成は、実施の形態1で述べたものと同様である。インダクタ102は、実施の形態1で説明した磁気コア5に代えて磁気コア5iを備える。
インダクタ102は、主表面1uを有する基板1と、主表面1u上に主表面1uと平行なコイル軸に沿って配置された磁気コア5iと、前記コイル軸に沿って磁気コア5iを螺旋状に取り囲むコイル導体2とを備える。磁気コア5iは、前記コイル軸に平行に延在する複数のコア磁性体部51と1以上のコア非磁性体部52,53とを含む。コア非磁性体部52,53は、コア磁性体部51より導電率が低い。磁気コア5iを前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、複数のコア磁性体部51のうちの少なくとも2つは、1以上のコア非磁性体部52のうちの少なくとも1つによって互いに電気的に離隔した状態で主表面1uに平行な向きに並んでいる。コア非磁性体部52はコア磁性体部51同士を左右方向に隔てる非磁性体部であり、コア非磁性体部53はコア磁性体部51同士を上下方向に隔てる非磁性体部である。コア非磁性体部52,53は同じ材料で形成されていてもよく、異なる材料で形成されていてもよい。インダクタ102においては、磁気コア5iを前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、複数のコア磁性体部51は、前記1以上のコア非磁性体部のうちの少なくとも1つであるコア非磁性体部53によって互いに電気的に離隔した状態で上下方向に並ぶ複数の層を含む。
(作用・効果)
本実施の形態におけるインダクタ102において、コイル導体2に電流を流した場合の状況について図4を参照して説明する。たとえばコイル導体2に時計回りに電流81を流すと、各コア磁性体部51に反時計回りに渦電流82が発生する。各コア磁性体部51は断面で見たとき小さなサイズであるので、渦電流82は小さなものとなる。
本実施の形態におけるインダクタ102において、コイル導体2に電流を流した場合の状況について図4を参照して説明する。たとえばコイル導体2に時計回りに電流81を流すと、各コア磁性体部51に反時計回りに渦電流82が発生する。各コア磁性体部51は断面で見たとき小さなサイズであるので、渦電流82は小さなものとなる。
本実施の形態においても、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。本実施の形態では、各コア磁性体部51のサイズは、実施の形態1に比べてさらに小さくなっているので、磁気コア内に生じる渦電流をさらに小さくすることができる。磁気コア全体のサイズが多少大きくなってもよいのであれば、磁気コア内の磁性体部の面積の合計を一定値に維持したまま磁性体部を細かい多数の部分に分けて、マトリックス状に配置してもよい。図3では、磁気コア5i内において4つのコア磁性体部51が2×2のマトリックス状に配置されているが、より多くの数のコア磁性体部51を任意の数×任意の数のマトリックス状に配置してもよい。ただし、厚み方向に関して3層以上となる場合には、磁気コア5iは複数のコア非磁性体部53を備え、各層の間はコア非磁性体部53によって互いに電気的に離隔した状態とする。
(実施の形態3)
(構成)
図5を参照して、本発明に基づく実施の形態3におけるインダクタ103について説明する。本実施の形態におけるインダクタ103の模式的な断面図を図5に示す。インダクタ103においては、基本的な構成は、実施の形態1で述べたものと同様である。インダクタ103は、実施の形態1で説明した磁気コア5に代えて磁気コア5jを備える。
(構成)
図5を参照して、本発明に基づく実施の形態3におけるインダクタ103について説明する。本実施の形態におけるインダクタ103の模式的な断面図を図5に示す。インダクタ103においては、基本的な構成は、実施の形態1で述べたものと同様である。インダクタ103は、実施の形態1で説明した磁気コア5に代えて磁気コア5jを備える。
インダクタ103は、主表面1uを有する基板1と、主表面1u上に主表面1uと平行なコイル軸に沿って配置された磁気コア5jと、前記コイル軸に沿って磁気コア5jを螺旋状に取り囲むコイル導体2とを備える。磁気コア5jは、前記コイル軸に平行に延在する複数のコア磁性体部51と1以上のコア非磁性体部52とを含む。コア非磁性体部52は、コア磁性体部51より導電率が低い。磁気コア5jを前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、複数のコア磁性体部51のうちの少なくとも2つは、1以上のコア非磁性体部52のうちの少なくとも1つによって互いに電気的に離隔した状態で主表面1uに平行な向きに並んでいる。磁気コア5jを前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、コア磁性体部51とコア非磁性体部52とは市松模様をなすように配置されている。図5に示した例では、磁気コア5jは上下2段のみの市松模様となっている。通常、「市松模様」という場合、各列の中で第1の色の部分と第2の色の部分とが同じ形状で同じ大きさで交互に並ぶように配置されているが、本明細書では、図5に示すように第1の材料の部分としてのコア磁性体部51と第2の材料の部分としてのコア非磁性体部52とが異なる大きさであってよい。コア磁性体部51とコア非磁性体部52とは厚みは同じであってよい。コア磁性体部51に比べてコア非磁性体部52の方が幅が大きい。各コア磁性体部51から見て最寄りの他のコア磁性体部51は斜め方向に隣接するが、1つのコア磁性体部51と斜め方向に隣接する他のコア磁性体部51とは直接は接していない。このような配列のものも、ここでは「市松模様」と呼ぶこととしている。
(作用・効果)
本実施の形態におけるインダクタ103において、コイル導体2に電流を流した場合の状況について図6を参照して説明する。たとえばコイル導体2に時計回りに電流81を流すと、各コア磁性体部51に反時計回りに渦電流82が発生する。渦電流82は小さなものとなる。本実施の形態では、コア磁性体部51とコア非磁性体部52とが市松模様をなすように配置されているので、コア磁性体部51同士を厚み方向に隔てるためのコア非磁性体部53を配置する必要がない。したがって、インダクタ全体の厚み方向の寸法を小さく抑えることができる。
本実施の形態におけるインダクタ103において、コイル導体2に電流を流した場合の状況について図6を参照して説明する。たとえばコイル導体2に時計回りに電流81を流すと、各コア磁性体部51に反時計回りに渦電流82が発生する。渦電流82は小さなものとなる。本実施の形態では、コア磁性体部51とコア非磁性体部52とが市松模様をなすように配置されているので、コア磁性体部51同士を厚み方向に隔てるためのコア非磁性体部53を配置する必要がない。したがって、インダクタ全体の厚み方向の寸法を小さく抑えることができる。
本実施の形態においても、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。
(実施の形態4)
(構成)
図7を参照して、本発明に基づく実施の形態4におけるインダクタ104について説明する。本実施の形態におけるインダクタ104の模式的な断面図を図7に示す。インダクタ104においては、基本的な構成は、実施の形態1で述べたものと同様である。インダクタ104は、実施の形態1で説明した磁気コア5に代えて磁気コア5kを備える。
(実施の形態4)
(構成)
図7を参照して、本発明に基づく実施の形態4におけるインダクタ104について説明する。本実施の形態におけるインダクタ104の模式的な断面図を図7に示す。インダクタ104においては、基本的な構成は、実施の形態1で述べたものと同様である。インダクタ104は、実施の形態1で説明した磁気コア5に代えて磁気コア5kを備える。
磁気コア5kを前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、コア磁性体部51とコア非磁性体部52とは市松模様をなすように配置されている。図7に示した例では、磁気コア5kは上下5段にわたる市松模様となっている。
(作用・効果)
本実施の形態におけるインダクタ104において、コイル導体2に電流を流した場合の状況について図8を参照して説明する。たとえばコイル導体2に時計回りに電流81を流すと、各コア磁性体部51に反時計回りに渦電流82が発生する。渦電流82は小さなものとなる。本実施の形態では、コア磁性体部51とコア非磁性体部52とが市松模様をなすように配置されているので、コア磁性体部51同士を厚み方向に隔てるためのコア非磁性体部53を配置する必要がなく、厚み方向の寸法を抑えることができる。
本実施の形態におけるインダクタ104において、コイル導体2に電流を流した場合の状況について図8を参照して説明する。たとえばコイル導体2に時計回りに電流81を流すと、各コア磁性体部51に反時計回りに渦電流82が発生する。渦電流82は小さなものとなる。本実施の形態では、コア磁性体部51とコア非磁性体部52とが市松模様をなすように配置されているので、コア磁性体部51同士を厚み方向に隔てるためのコア非磁性体部53を配置する必要がなく、厚み方向の寸法を抑えることができる。
本実施の形態においても、実施の形態1と同様の効果を得ることができる。
(実施の形態5)
(製造方法)
図9〜図13を参照して、本発明に基づく実施の形態5におけるインダクタの製造方法について説明する。
(実施の形態5)
(製造方法)
図9〜図13を参照して、本発明に基づく実施の形態5におけるインダクタの製造方法について説明する。
まず、図9に示すように、下地層20の上面を覆うようにシード層22aを形成する。シード層22aの材料は銅であってよい。シード層22aはスパッタにより成膜してよい。次に、シード層22aの上面を覆うようにレジスト層23aを形成する。フォトマスクを用いて部分的にレジスト層23aを露光させることによって、レジスト層23aをパターニングする。こうして、図10に示す状態が得られる。レジスト層23aに貫通孔が設けられたことにより凹部8が形成されている。凹部8はストライプ状となっており、紙面に垂直な方向に延在する。凹部8の底にはシード層22aが露出している。シード層22aの露出した部分を利用して電解めっきを行ない、図11に示すようにコア磁性体部51を形成する。この際の電解めっきの材料にはたとえばニッケル−鉄の合金を用いてよい。こうすることで、ニッケル−鉄の合金によってコア磁性体部51を形成することができる。レジスト層23aを除去し、さらにエッチングすることによってコア磁性体部51に覆われていない部分のシード層22aを除去する。こうして図12に示す状態が得られる。コア磁性体部51はストライプ状となっており、紙面に垂直な方向に延在する。
次に、永久レジストを塗布することによってストライプパターンの間を埋め、フォトマスクを用いて永久レジストを露光させて永久レジスト層をパターニングする。さらに上面の不要な部分の永久レジストをCMP(Chemical Mechanical Polishing)などを用いて除去することによって、図13に示す状態が得られる。図13では、コア磁性体部51と永久レジスト層24aとが交互に並ぶように配置されている。
実施の形態1で説明したインダクタ101は、この製造方法を利用して作製することができる。図13に示したコア磁性体部51と永久レジスト層24aとの並びが磁気コア5となる。図1では、シード層22aは図示省略されている。永久レジスト層24aは、図1におけるコア非磁性体部52に相当する。下地層20は、図1における基板1に相当する。実際には、前後に適宜の工程を組み合わせることにより、絶縁体3およびコイル導体2を形成する。
(作用・効果)
本実施の形態におけるインダクタの製造方法によれば、実施の形態1で説明したインダクタ101(図1参照)を効率良く得ることができる。
本実施の形態におけるインダクタの製造方法によれば、実施の形態1で説明したインダクタ101(図1参照)を効率良く得ることができる。
(実施の形態6)
(製造方法)
図13〜図19を参照して、本発明に基づく実施の形態6におけるインダクタの製造方法について説明する。
(製造方法)
図13〜図19を参照して、本発明に基づく実施の形態6におけるインダクタの製造方法について説明する。
図13に示した構造において、図14に示すように上側に永久レジスト層25を形成する。フォトマスクを用いて部分的に永久レジスト層25を露光させることによって、永久レジスト層25をパターニングする。さらに図15に示すように、永久レジスト層25を覆うようにシード層22bを形成する。シード層22bは銅で形成してよい。シード層22bはスパッタによって成膜することによって得ることができる。レジストを塗布し、フォトマスクを用いてレジストを露光させ、レジストを現像することにより、図16に示すようにレジスト層23bを形成する。レジスト層23bに貫通孔が設けられたことにより凹部8が形成されている。凹部8はストライプ状となっており、紙面に垂直な方向に延在する。凹部8の底にはシード層22bが露出している。シード層22bの露出した部分を利用して電解めっきを行ない、図17に示すように上段のコア磁性体部51を形成する。こうして、上下2段に分かれて配列されたコア磁性体部51を形成することができる。レジスト層23bを除去し、さらにコア磁性体部51に覆われていない部分のシード層22bをエッチングにより除去する。こうして図18に示す状態が得られる。各コア磁性体部51はストライプ状となっており、紙面に垂直な方向に延在する。
次に、永久レジストを塗布することによってストライプパターンの間を埋め、フォトマスクを用いて永久レジストを露光させて永久レジスト層をパターニングする。さらに上面の不要な部分の永久レジストをCMPなどを用いて除去することによって、図19に示す状態が得られる。上段では、コア磁性体部51と永久レジスト層24bとが交互に並ぶように配置されている。下段では、コア磁性体部51と永久レジスト層24aとが交互に並ぶように配置されている。上段と下段との間には永久レジスト層25が介在している。上段のコア磁性体部51の真下に下段のコア磁性体部51が位置している。すなわち、断面で見たとき、コア磁性体部51はマトリックス状に配置されている。
さらに前後に適宜の工程を組み合わせることにより、絶縁体3およびコイル導体2を形成する。このような製造方法を実施することによって、実施の形態2で説明したインダクタ102(図3参照)を効率良く得ることができる。
ここではコア磁性体部51が上下2段のマトリックス状に配列されているものとしたが、上下方向に3段以上のマトリックス状に配列されていてもよい。
(実施の形態7)
(製造方法)
図13および図20〜図24を参照して、本発明に基づく実施の形態7におけるインダクタの製造方法について説明する。
(製造方法)
図13および図20〜図24を参照して、本発明に基づく実施の形態7におけるインダクタの製造方法について説明する。
図13に示した構造において、図20に示すようにシード層22bを形成する。シード層22bはたとえば銅で形成してよい。シード層22bはたとえばスパッタによって成膜することによって得ることができる。レジストを塗布し、フォトマスクを用いてレジストを露光させ、レジストを現像することにより、図21に示すようにレジスト層23bを形成する。レジスト層23bに貫通孔が設けられたことにより凹部8が形成されている。凹部8はストライプ状となっており、紙面に垂直な方向に延在する。凹部8の底にはシード層22bが露出している。シード層22bの露出した部分を利用して電解めっきを行ない、図22に示すように上段のコア磁性体部51を形成する。
レジスト層23bを除去し、さらにコア磁性体部51に覆われていない部分のシード層22bをエッチングにより除去する。こうして図23に示す状態が得られる。上段のコア磁性体部51はストライプ状となっており、紙面に垂直な方向に延在する。
次に、永久レジストを塗布することによってストライプパターンの間を埋め、フォトマスクを用いて永久レジストを露光させて永久レジスト層をパターニングする。さらに不要な部分の永久レジストをCMPなどによって除去することによって、図24に示す状態が得られる。上段では、コア磁性体部51と永久レジスト層24bとが交互に並ぶように配置されている。下段では、コア磁性体部51と永久レジスト層24aとが交互に並ぶように配置されている。上段のコア磁性体部51の真下には永久レジスト層24aが位置している。上段のコア磁性体部51同士の間の永久レジスト層24bの真下に下段のコア磁性体部51が位置している。すなわち、断面で見たとき、コア磁性体部51は市松模様をなすように配置されている。
こうして、上下2段に分かれて市松模様をなすように配列されたコア磁性体部51を形成することができる。さらに前後に適宜の工程を組み合わせることにより、絶縁体3およびコイル導体2を形成する。このような製造方法を実施することによって、実施の形態3で説明したインダクタ103(図5参照)を効率良く得ることができる。正確には、図5で示したものに比べてコア磁性体部51の数が異なっているが、コア磁性体部51の数またはコア非磁性体部52の数については、製造方法を実施する際に適宜調整して所望の数にすればよい。
(実施の形態8)
一般的に、コイルに電流を流すことによって発生する磁力線は、コイルの巻線の周りを通るので、コイルの外側に大きくはみ出す。これにより、磁力の一部が外に漏れて減少したり、外側に漏れ出た磁力が近隣の部品に不所望な影響を与えたりするという問題がある。そこで、発明者らはこのような問題への対策を考慮して、以下のような構成のインダクタを導き出した。
一般的に、コイルに電流を流すことによって発生する磁力線は、コイルの巻線の周りを通るので、コイルの外側に大きくはみ出す。これにより、磁力の一部が外に漏れて減少したり、外側に漏れ出た磁力が近隣の部品に不所望な影響を与えたりするという問題がある。そこで、発明者らはこのような問題への対策を考慮して、以下のような構成のインダクタを導き出した。
(構成)
図25を参照して、本発明に基づく実施の形態8におけるインダクタ105について説明する。本実施の形態におけるインダクタ105の模式的な断面図を図25に示す。図25では、基板は図示省略されている。
図25を参照して、本発明に基づく実施の形態8におけるインダクタ105について説明する。本実施の形態におけるインダクタ105の模式的な断面図を図25に示す。図25では、基板は図示省略されている。
インダクタ105は、磁気コア5nと、コイル軸に沿って磁気コア5nを螺旋状に取り囲むコイル導体2とを備える。図25では、コイル軸は紙面に垂直な方向に延びる。絶縁体3は、磁気コア5nを取り囲んでいる。絶縁体3は、磁気コア5nとコイル導体2とを電気的に隔離している。図25では、磁気コア5nの内部構造は図示省略されている。磁気コア5nは単一の磁性体層を含むのみであってもよい。あるいは、磁気コア5nの内部構造としては、これまでの実施の形態のいずれかで説明した磁気コアの構造を適宜採用してよい。
インダクタ105は、コイル導体2よりも外側からコイル軸を取り囲むようにシールド6を備える。シールド6は、前記コイル軸に平行に延在する複数のシールド磁性体部61および複数のシールド非磁性体部62を含む。シールド非磁性体部62は、シールド磁性体部61より導電率が低い。シールド6を前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、シールド6の周方向91に沿ってシールド磁性体部61とシールド非磁性体部62とが交互に並んでいる。
(作用・効果)
本実施の形態では、インダクタ105がシールド6を備えるので、図26に示すように、コイル導体2に電流81を流した際に、シールド6にも渦電流83が流れる。しかし、シールド6は、周方向91に沿ってシールド磁性体部61とシールド非磁性体部62とが交互に並んだ構造となっているので、シールド6に発生する渦電流83は、個々のシールド磁性体部61の内部に個別に発生することとなる。個々のシールド磁性体部61はシールド6全体のサイズに比べて十分に小さなサイズであるので、シールド6に発生する渦電流83は、小さなものとなる。本実施の形態では、渦電流を小さく抑えることができるので、コイル導体2に交流電流を流した際の渦電流83によるインダクタンスの低下を緩和することができる。
本実施の形態では、インダクタ105がシールド6を備えるので、図26に示すように、コイル導体2に電流81を流した際に、シールド6にも渦電流83が流れる。しかし、シールド6は、周方向91に沿ってシールド磁性体部61とシールド非磁性体部62とが交互に並んだ構造となっているので、シールド6に発生する渦電流83は、個々のシールド磁性体部61の内部に個別に発生することとなる。個々のシールド磁性体部61はシールド6全体のサイズに比べて十分に小さなサイズであるので、シールド6に発生する渦電流83は、小さなものとなる。本実施の形態では、渦電流を小さく抑えることができるので、コイル導体2に交流電流を流した際の渦電流83によるインダクタンスの低下を緩和することができる。
本実施の形態で示した例では、インダクタ105は、好ましいことに以下の構成を備えている。コイル導体2よりも外側から前記コイル軸を取り囲むようにシールド6を備える。シールド6は、前記コイル軸に平行に延在する複数のシールド磁性体部61および複数のシールド非磁性体部62を含む。シールド6を前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、シールド6のうち少なくとも前記主表面に垂直な方向に延在する部分では、シールド磁性体部61とシールド非磁性体部62とが交互に並んでいる。図27に示す例では、インダクタは磁気コア5kを備える。磁気コア5kにおいては、コア磁性体部51とコア非磁性体部52とが市松模様をなしている。正確には図24に示した例のように、コア磁性体部51の方がコア非磁性体部52より短い幅を有することによって斜めに隣接するコア磁性体部51同士が接していない構造となっているが、図27では、説明の便宜のために単純化して表示している。
図27に示すように、コア磁性体部51とシールド磁性体部61とは材料の種類が同一である。コア非磁性体部52とシールド非磁性体部62とは材料の種類が同一である。この構成を採用することにより、各材料の種類が同一であるので、作製が容易となる。コア非磁性体層51は、導電率が1×103S/cm以下であることが好ましい。シールド非磁性体層62は、導電率が1×103S/cm以下であることが好ましい。
本実施の形態におけるインダクタの製造方法は、上述のインダクタを製造する方法であって、コア磁性体部51の少なくとも1つとシールド磁性体部61の少なくとも1つとを一括して形成する工程を含むことが好ましい。
あるいは、本実施の形態におけるインダクタの製造方法は、上述のインダクタを製造する方法であって、コア非磁性体部52の少なくとも1つとシールド非磁性体部62の少なくとも1つとを一括して形成する工程を含むことが好ましい。
たとえば図27に示した例では、層L1〜L5のようにいくつかの層に分けて考えることができる。各層には、コア磁性体部51とシールド磁性体部61とが含まれている。シールド6におけるシールド磁性体部61とシールド非磁性体部62との界面と、磁気コア5kにおけるコア磁性体部51とコア非磁性体部52との界面とは、ほぼ同じ高さである。
層L1〜L5のいずれかを形成する際には、磁気コア5kに属する磁性体部とシールド6に属する磁性体部とを一括して形成すればよい。磁気コア5kに属する非磁性体部とシールド6に属する非磁性体部とについても一括して形成すればよい。
なお、ここでは、磁気コア5k、シールド6とも断面で見たときに正方形である例を示したが、正方形に限らず他の形状であってもよい。
なお、図25に示した例において、磁気コア5nが単一の磁性体層を含むのみである場合には、インダクタの構成を以下のように表現することができる。このインダクタは、主表面を有する基板と、前記主表面上に前記主表面と平行なコイル軸に沿って配置された磁気コア5nと、前記コイル軸に沿って磁気コア5nを螺旋状に取り囲むコイル導体2と、コイル導体2よりも外側から前記コイル軸を取り囲むシールド6とを備える。シールド6は、前記コイル軸に平行に延在する複数のシールド磁性体部61および複数のシールド非磁性体部62を含む。シールド6を前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、シールド6の周方向に沿ってシールド磁性体部61とシールド非磁性体部62とが交互に並んでいる。
磁気コア5nが単一の磁性体層を含むのみとは限らず、磁気コア5nがそれ以外の構成であってもよい。その場合も、磁気コア5nの内容を限定することなく、上述のようにインダクタの構成を表現することができる。
なお、上記実施の形態のうち複数を適宜組み合わせて採用してもよい。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
1 基板、1u 主表面、2 コイル導体、3 絶縁体、5,5i,5j,5k,5n 磁気コア、6 シールド、8 凹部、20 下地層、22a,22b シード層、23a,23b レジスト層、24a,24b,25 永久レジスト層、51 コア磁性体部、52,53 コア非磁性体部、61 シールド磁性体部、62 シールド非磁性体部、81 電流、82,83 渦電流、91 周方向、101,102,103,104,105 インダクタ。
Claims (10)
- 主表面を有する基板と、
前記主表面上に前記主表面と平行なコイル軸に沿って配置された磁気コアと、
前記コイル軸に沿って前記磁気コアを螺旋状に取り囲むコイル導体とを備え、
前記磁気コアは、前記コイル軸に平行に延在する複数のコア磁性体部と1以上のコア非磁性体部とを含み、前記コア非磁性体部は、前記コア磁性体部より導電率が低く、前記磁気コアを前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、前記複数のコア磁性体部のうちの少なくとも2つは、前記1以上のコア非磁性体部のうちの少なくとも1つによって互いに電気的に離隔した状態で前記主表面に平行な向きに並んでいる、インダクタ。 - 前記磁気コアを前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、前記複数のコア磁性体部は、前記1以上のコア非磁性体部のうちの少なくとも1つによって互いに電気的に離隔した状態で上下方向に並ぶ複数の層を含む、請求項1に記載のインダクタ。
- 前記磁気コアを前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、前記コア磁性体部と前記コア非磁性体部とは市松模様をなすように配置されている、請求項2に記載のインダクタ。
- 前記コイル導体よりも外側から前記コイル軸を取り囲むようにシールドを備え、前記シールドは、前記コイル軸に平行に延在する複数のシールド磁性体部および複数のシールド非磁性体部を含み、前記シールド非磁性体部は、前記シールド磁性体部より導電率が低く、
前記シールドを前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、前記シールドの周方向に沿って前記シールド磁性体部と前記シールド非磁性体部とが交互に並んでいる、請求項1から3のいずれかに記載のインダクタ。 - 前記コイル導体よりも外側から前記コイル軸を取り囲むようにシールドを備え、前記シールドは、前記コイル軸に平行に延在する複数のシールド磁性体部および複数のシールド非磁性体部を含み、
前記シールドを前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、前記シールドのうち少なくとも前記主表面に垂直な方向に延在する部分では、前記シールド磁性体部と前記シールド非磁性体部とが交互に並んでおり、
前記コア磁性体部と前記シールド磁性体部とは材料の種類が同一であり、
前記コア非磁性体部と前記シールド非磁性体部とは材料の種類が同一である、請求項1から3のいずれかに記載のインダクタ。 - 請求項5に記載のインダクタを製造する方法であって、
前記コア磁性体部の少なくとも1つと前記シールド磁性体部の少なくとも1つとを一括して形成する工程を含む、インダクタの製造方法。 - 請求項5に記載のインダクタを製造する方法であって、
前記コア非磁性体部の少なくとも1つと前記シールド非磁性体部の少なくとも1つとを一括して形成する工程を含む、インダクタの製造方法。 - 主表面を有する基板と、
前記主表面上に前記主表面と平行なコイル軸に沿って配置された磁気コアと、
前記コイル軸に沿って前記磁気コアを螺旋状に取り囲むコイル導体と、
前記コイル導体よりも外側から前記コイル軸を取り囲むシールドとを備え、前記シールドは、前記コイル軸に平行に延在する複数のシールド磁性体部および複数のシールド非磁性体部を含み、前記シールド非磁性体部は、前記シールド磁性体部より導電率が低く、
前記シールドを前記コイル軸に垂直な断面で見たとき、前記シールドの周方向に沿って前記シールド磁性体部と前記シールド非磁性体部とが交互に並んでいる、インダクタ。 - 前記コア非磁性体層は、導電率が1×103S/cm以下である、請求項1から5のいずれかに記載のインダクタ。
- 前記シールド非磁性体層は、導電率が1×103S/cm以下である、請求項4に記載のインダクタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018096600A JP2019201190A (ja) | 2018-05-18 | 2018-05-18 | インダクタおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018096600A JP2019201190A (ja) | 2018-05-18 | 2018-05-18 | インダクタおよびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019201190A true JP2019201190A (ja) | 2019-11-21 |
Family
ID=68612321
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018096600A Pending JP2019201190A (ja) | 2018-05-18 | 2018-05-18 | インダクタおよびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019201190A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114899000A (zh) * | 2022-05-09 | 2022-08-12 | 安康学院 | 一种磁通门传感器铁芯及其制备方法 |
-
2018
- 2018-05-18 JP JP2018096600A patent/JP2019201190A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114899000A (zh) * | 2022-05-09 | 2022-08-12 | 安康学院 | 一种磁通门传感器铁芯及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6562363B2 (ja) | 多層導電性パターンインダクタ及びその製造方法 | |
US11393787B2 (en) | Conductor design for integrated magnetic devices | |
JP5113025B2 (ja) | コイル構造体及びその製造方法 | |
US8988181B2 (en) | Common mode filter with multi-spiral layer structure and method of manufacturing the same | |
US8079134B2 (en) | Method of enhancing on-chip inductance structure utilizing silicon through via technology | |
US8314676B1 (en) | Method of making a controlled seam laminated magnetic core for high frequency on-chip power inductors | |
JP2002280230A (ja) | 平面コイルおよび平面トランス | |
KR20150033343A (ko) | 인덕터 | |
JP2010123879A5 (ja) | ||
US20040164839A1 (en) | Magnetic inductor core and inductor and methods for manufacturing same | |
US6990725B2 (en) | Fabrication approaches for the formation of planar inductors and transformers | |
CN104977548B (zh) | 一种多孔铁芯结构微型磁通门传感器 | |
JP2018046257A (ja) | チップインダクタおよびチップインダクタの製造方法 | |
JP2008109139A (ja) | いくつかのコイルブランチを有するコイル、及び当該コイルの一つを有するマイクロインダクタ | |
JP2019201190A (ja) | インダクタおよびその製造方法 | |
JPH0413212A (ja) | 薄膜磁気ヘッド | |
KR20190106243A (ko) | 코일 부품 | |
JP2006066769A (ja) | インダクタ及びその製造方法 | |
JP6485984B1 (ja) | コイル部品 | |
US7676922B1 (en) | Method of forming a saucer-shaped half-loop MEMS inductor with very low resistance | |
KR101973449B1 (ko) | 인덕터 | |
JP2012182286A (ja) | コイル部品 | |
JP2009111036A (ja) | 薄膜トランスおよびその製造方法 | |
US8338913B2 (en) | Semiconductor inductor with a serpentine shaped conductive wire interlaced with a serpentine shaped ferromagnetic core | |
US7257882B2 (en) | Multilayer coil assembly and method of production |