TWI638171B

TWI638171B - 檢測裝置

Info

Publication number: TWI638171B
Application number: TW103128644A
Authority: TW
Inventors: 笠井淳
Original assignee: 日商日本電產理德股份有限公司
Priority date: 2013-08-27
Filing date: 2014-08-20
Publication date: 2018-10-11
Also published as: KR20150024772A; US20150066399A1; KR102162144B1; TW201508287A; CN104422860B; US10228411B2; JP2015045541A; JP6229876B2; CN104422860A

Abstract

本發明涉及電路基板的檢測裝置，提供了一種能一同檢測出電火花和部分放電的結構。恆定電流源向檢測物件的配線圖形供給恆定的電流。電壓測定部測定配線圖形的電壓。正常時電壓斜度算出部，在電壓的測定結果中，基於小於所定的電壓斜度算出閾值的測定結果，獲得正常時的電壓斜度。判定部，在電壓的測定結果中，通過將第一閾值以上且小於第二閾值的範圍內的測定結果(斜度恆定期間中的測定結果)與基於上述正常時的電壓斜度的電壓推算值進行比較，判定所述電壓斜度是否恆定。並且，判定部基於電壓斜度恆定與否來判定電路基板的不良與否。

Description

檢測裝置

本發明主要涉及基板檢測裝置。具體來說，涉及一種用於檢測出在檢測物件的配線圖形間發生的電火花以及部分放電的構成。

通過檢測形成在電路基板的多個配線圖形間的絕緣狀態(是否確保充分的絕緣性)來判斷該電路基板是否為良品的檢測裝置已被周知。通過向檢測物件的一組配線圖形施加所定的電壓進而測定該配線圖形間的電阻值來進行絕緣狀態的檢測。

由於在上述絕緣檢測時向配線圖形施加電壓，因此在該配線圖形間會發生電火花。當這種電火花發生時，電路基板上發生某種損傷的可能性則高。因此，優選地，將在檢測中發生電火花的電路基板區別為不良品。

與此相關，專利文獻1揭示了一種在檢測出向配線圖形所施加電壓波形的下降(當前電壓相比前次電壓變小的部位)時，檢測出電火花發生的構成。據專利文獻1，由此能確實防止因絕緣檢測而發生電火花的電路基板所混入。

但近來，印刷基板的圖形間隙(pitch)逐年變窄，且鑒於此，絕緣檢測時配線圖形間發生部分放電的情況逐漸增多。發生部分放電時電路基板也會發生損傷。因此，優選地，與檢測中發生電火花的電路基板一樣，也應將發生部分放電的電路基板區別為不良品。

但，部分放電時，由於配線圖形間流動的電流小，因此不能觀測到如同電火花發生時的電壓下降。因此，按專利文獻1的構成不能檢測出絕緣檢測時發生的部分放電。

[現有技術文獻] [專利文獻1]

日本專利第3546046號公報

本發明提供了一種能檢測出電火花和部分放電的電路基板檢測裝置。

根據本發明的一個實施形態，提供了一種檢測形成在電路基板上的配線圖形的檢測裝置。即，該檢測裝置包括：恆定電流源，向檢測物件的配線圖形供給恆定的電流；電壓測定部，測定所述配線圖形的電壓；以及判定部，基於電壓斜度的恆定與否來判定所述電路基板的不良與否，其中，所述電壓斜度是所述電壓對時間的變化率。

優選地，所述的檢測裝置按如下進行構成。即，該檢測裝置包括正常時電壓斜度算出部，以用於在所述電壓的測定結果中，基於小於所定的電壓斜度算出閾值的測定結果，獲得正常時的電壓斜度。所述判定部，通過比較所述電壓的測定結果和基於所述正常時的電壓斜度的電壓的推算值，判定所述電壓斜度是否恆定。

優選地，所述的檢測裝置按如下進行構成。所述判定部在所述電壓的測定結果中，基於所定的第一閾值以上且小於所定的第二閾值的範圍內的測定結果，判定所述電壓斜度是否恆定。

根據本發明，在配線圖形間未發生電火花或部分放電時，被供給了恆定電流的配線圖形的電壓斜度為恆定。但，在配線圖形間發生電火花或部分放電時，電壓斜度為不恆定。因此，可基於電壓斜度的恆定性，檢測出電火花或部分放電的發生有無。並且，雖然電壓斜度的值本身隨配線圖形而不同，但無論何種配線圖形在不發生電火花或部分放電時電壓斜度都為恆定。因此如上所述，通過基於電壓斜度的恆定與否來進行判斷，從而能不受隨配線圖形的電壓斜度差異的影響，可針對任一配線圖形也能進行高精密度的判定。

配線圖形的電壓低時，配線圖形間發生電火花或部分放電的可能性則低。因此，基於配線圖形的電壓小於所定的值時而測定的電壓，可獲得正常時(未發生電火花或部分放電的狀態)的電壓斜度。並且，通過比較配線圖形的電壓的測定結果與基於正常時的電壓斜度的電壓之推算值，可精確判斷出在該配線圖形中是否發生了電火花或部分放電。

即使為正常時(未發生電火花或部分放電的狀態)，也可將電壓斜度視為恆定的範圍受限定。從而，通過限定在該範圍內的測定結果來判定電壓斜度是否恆定，由此可高精密度進行電火花或部分放電發生與否的判定。

1‧‧‧檢測裝置

11‧‧‧恆定電流源

12‧‧‧電壓測定部

13‧‧‧限幅電路

16‧‧‧電流測定部

20‧‧‧正常時電壓斜度算出部

21‧‧‧電壓推算部

22‧‧‧判定部

P1‧‧‧配線圖形

P2‧‧‧配線圖形

圖1是示出本發明一個實施形態的檢測裝置整體構成的模式電路圖。

圖2是示出根據檢測裝置檢測配線圖形之狀態的簡略化電路圖。

圖3是示出配線圖形間的電阻R中流過電流時的電路圖。

圖4是基於檢測裝置的絕緣檢測的流程圖。

圖5是示出正常時的正極側圖形的電壓變化的圖表。

圖6是示出發生電火花時的正極側圖形的電壓變化的圖表。

圖7是示出發生部分放電時的正極側圖形的電壓變化的圖表。

接下來，參考附圖對本發明的實施形態進行說明。圖 1所示的本實施形態的檢測裝置1用於對形成在電路基板2的配線圖形間的絕緣狀態進行良與否的判定。雖然在實際的電路基板中形成有多個複雜的配線圖形，但在圖1將其簡單化，進而示出了在電路基板2形成有四個簡單的配線圖形P1至P4的狀態。

檢測裝置1包括控制部10、恆定電流源11、電壓測定部12、限幅電路(Limiter circuit)13、探針14、開關電路15和電流測定部16。

控制部10是包括作為運算裝置的CPU、作為記憶裝置的ROM或RAM等硬體的電腦。並且，控制部10在上述ROM等中維持著用於控制檢測裝置1各部的程式等軟體。控制部10通過上述硬體和上述軟體的協作來控制檢測裝置1的各部。

檢測裝置1包括多個探針14。各探針14是由棒狀乃至針狀形成的導電性部件，且能與電路基板2上的配線圖形P1至P4中的任意一個相接觸。

恆定電流源11包括正極側端子和負極側端子，且向正極側端子和負極側端子間供給恆定的電流。並且，恆定電流源11的負極側端子接地。

限幅電路13用於保護恆定電流源11的正極側端子和負極側端子間的電位差不超過所定的上限電壓。

電流測定部16包括正極側端子和負極側端子，且用於檢測出從正極側端子向負極側端子流動的電流的大小。電流測定部16的測定結果被輸入至控制部10。並且，電流測定部16的負極側端子接地。

開關電路15用於將各探針14在與恆定電流源11的正極側端子相接觸的狀態、與電流測定部16的正極側端子相接觸的狀態、與恆定電流源11和電流測定部16均不相接觸的狀態中任意切換狀態。控制部10控制開關電路15。

控制部10通過適當地控制開關電路15，可使任意的探針14與恆定電流源11的正極側端子相接觸。據此，對相應探針14所接觸的配線圖形，可供給來自恆定電流源11的恆定電流。在本說明書中將供給了來自恆定電流源11的恆定電流的配線圖形稱為“正極側圖形”。並且，控制部10通過適當地控制開關電路15，可使任意的探針14與電流測定部16的正極側端子相接觸。據此，基於電流測定部16可測定相應探針14所接觸的配線圖形中流動的電流。在本說明書中將基於電流測定部16而進行電流測定的配線圖形稱為“負極側圖形”。

電壓測定部12用於測定正極側圖形的電壓。電壓測定部12的測定結果被輸入至控制部10。

在此，參考圖2更具體地進行說明。圖2舉例說明了將一組配線圖形P1、P2作為檢測物件的情況。圖2在檢測物件的配線圖形P1、P2中，將一個配線圖形P1作為正極側圖形，而另一個配線圖形P2作為負極側圖形。並且，在圖2中，為了方便說明，適當地省略了不必要構成的圖示。

如圖2所示，一組配線圖形P1、P2具有寄生電容C。因此，根據恆定電流源11向正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)供給電流，使寄生電容C得以充電。伴隨此過程，正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V上升。根據電壓測定部12測定所述電壓V。

並且，如圖2所示，認為在配線圖形P1、P2之間存在電阻R。該電阻R理想值為無限大，但實際上具有有限的值。因此，在電阻R中可流過電流Ir(參考圖3)。該電流Ir流過負極側圖形P2(將配線圖形P2作為負極側圖形時的情形)後，根據電流測定部16而被測定。

並且，如圖2和圖3所示，在負極側圖形P2(將配線圖形P2作為負極側圖形時的情形)中可流過用於充電寄生電容C的電流。因此，在寄生電容C的充電中，電流測定部16測定將用於充電該寄生電容C的電流和流過電阻R的電流Ir相加的電流。但在寄生電容C充電結束後，由於不再流過用於該充電的電流，因此電流測定部16只能測定流過電阻R的電流Ir。

從電壓測定部12和電流測定部16輸出的測定結果被省略圖示的A/D變換器按所定的採樣(sampling)週期進行採樣，進而作為數位離散資料由控制部10所獲取。在以下的說明中，當與電壓和電流相關而將其稱為“測定結果”時，意指如前述由控制部10所獲取之作為數位資料的測定結果。

接下來，針對本實施形態的檢測裝置1的電路基板檢測方法，參考圖4的流程圖進行說明。

首先，控制部10在形成於電路基板的多個配線圖形中，選擇將要檢測絕緣性的一組配線圖形(步驟S101)。控制部10通過適當地控制開關電路15，將作為檢測物件所選擇的一組配線圖形中的一個作為正極側圖形，而另一個作為負極側圖形。在此，如前述圖2或圖3，將配線圖形P1作為正極側圖形且將配線圖形P2作為負極側圖形進行說明。據此，對正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)，開始供給來自恆定電流源11的電流(步驟S102)。並且，控制部10開始進行對正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)開始供給電流起所經過時間的計測(步驟S103)。

在此，簡單說明對正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)開始供給電流起該正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V隨時間的變化。圖5至圖7是模式化舉例示出了正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V變化的圖表。

如前所述，一組正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)和負極側圖形P2(將配線圖形P2作為負極側圖形時的情形)具有寄生電容C。通過向正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)供給電流，所述寄生電容C被充電。據此，如圖5至圖7所示，正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V慢慢上升。並且，在開始向正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)供給電流前的狀態中，由於寄生電容C完全放電，因此該正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V為零。因此，在圖5至圖7的圖表中，示出了正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V從零慢慢上升的狀態。

如前所述，限幅電路13設置在檢測裝置1中，用於保護以使恆定電流源11的正極側端子和負極側端子間的電位差不超過上限電壓。因此，如圖5至圖7所示，若正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V增大至上限電壓的附近，則限幅電路13開始工作，從而電壓V的增加速度減小，電壓V最終恆定於上限電壓。因此，在步驟S102，從開始供給電流起若經過充分的時間，則正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V穩定在上限電壓。並且，若正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V穩定，則負極側圖形P2(將配線圖形P2作為負極側圖形時的情形)中流動的電流也穩定。

控制部10，在步驟S103中直至開始計測的經過時間超過所定的結束時間為止，持續向正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)供給電流(步驟S105的判斷)。上述結束時間為使正極側圖形P1(將配線圖形 P1作為正極側圖形時的情形)的電壓和負極側圖形P2(將配線圖形P2作為負極側圖形時的情形)中流動的電流變穩定而預先設定足夠的時間。

通過向正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)供給恆定電流，寄生電容C被充電，由此正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V上升，因而該正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)與其他配線圖形之間可能會發生電火花或部分放電。因此控制部10監視正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)與其他配線圖形之間是否發生了電火花或部分放電(步驟S104)。控制部10檢測出電火花或部分放電時，將電路基板判定為不良品(步驟S108)，並結束工作流程。對於電火花和部分放電的發生檢測將在後面進行說明。

當未檢測出電火花或部分放電並且經過了結束時間時(步驟S105的判斷)，正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V和負極側圖形P2(將配線圖形P2作為負極側圖形時的情形)中流動的電流分別被認為已充分穩定。因此，控制部10由電壓測定部12測定正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V，由電流測定部16測定在負極側圖形P2(將配線圖形P2作為負極側圖形時的情形)中流動的電流Ir(步驟S106)。

接下來，控制部10基於在步驟S106中測定的電壓V 和電流Ir，算出檢測物件的配線圖形P1、P2間的電阻R(R=V/Ir)，且同時判定該電阻R是否為所定的判定閾值Rref以上(步驟S107)。檢測物件的配線圖形P1、P2間的電阻R小於判定閾值Rref時，控制部10將該配線圖形P1、P2間的絕緣性判斷為不充分，進而將電路基板判定為不良品且結束工作流程(步驟S108)。

另一方面，檢測物件的配線圖形P1、P2間的電阻R為判定閾值Rref以上時，控制部10將該配線圖形P1、P2間的絕緣性判斷為良好。此時，控制部10判定是否針對預定進行檢測的全部的一組配線圖形結束了檢測(步驟S109的判斷)，當未結束時，繼續檢測下一組配線圖形。針對全部的一組配線圖形結束檢測時，控制部10將電路基板判定為良品，且結束工作流程(步驟S110)。

根據上述檢測方法，僅將能充分確保配線圖形間的絕緣性的電路基板可判定為良品。並且，由於在檢測中可將發生電火花或部分放電的電路基板區別為不良品，因此可提高判定為良品的電路基板的可靠性。

接下來，說明在步驟S104中檢測出電火花和部分放電的方法。

如上所述，在步驟S104中，正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V慢慢上升。在此首先說明檢測物件的配線圖形P1、P2間的絕緣性被充分確保，並且該配線圖形P1、P2間未發生電火花或部分放電的情況(電阻R為無限大之理想情況)。此時，可以忽略流過電阻R的電流Ir(參考圖2)。因此，恆定電流源11供給的電流I全部消耗在寄生電容C的充電中。由於Q=CV，因而此時下列數學公式1成立。

【數學公式1】△V=I/C×△t

由於恆定電流源11供給恆定的電流，因此可將電流I視為恆定不變。並且，在檢測中也認為寄生電容C不變。因此，從上述數學公式1中可得知正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V對時間的變化率(△V/△t)恆定。在本說明書中將△V/△t稱為“電壓斜度”。

圖5是示出在檢測物件的配線圖形P1、P2間未發生電火花或部分放電時(上述數學公式1成立時)，正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V隨時間變化的圖表。如上所述，由於此時的電壓斜度恆定，因此正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V按直線上升。

即使如此，將電壓斜度(△V/△t)視為恆定的範圍受限定。例如，如圖5所示，正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V在零附近(向正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)開始供給電流之後)的電壓斜度不穩定。並且如圖5所示，若電壓V接近上限電壓，由於限幅電路13工作，因此電壓斜度產生變化。

如此，正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V在零附近和上限電壓的附近，不能將電壓斜度視為恆定(即，不能被視為數學公式1成立)。因此，把可將電壓斜度視為恆定的電壓V範圍的下限值作為“第一閾值”，把上限值作為“第二閾值”，且將正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V處於第一閾值以上且小於第二閾值的範圍的期間(電壓斜度可被視為恆定的期間)稱為“斜度恆定期間”。並且，第一閾值和第二閾值被預先設定為能適當地規定可將電壓斜度視為恆定的範圍(數學公式1成立的範圍)。

接下來，說明檢測物件的配線圖形P1、P2間發生電火花或部分放電之情況。若配線圖形P1、P2間發生電火花或部分放電，則正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電荷流向負極側圖形P2(將配線圖形P2作為負極側圖形時的情形)。此時，由於配線圖形P1、P2間的電阻R暫時變小，因此可認為電流Ir暫時流過該電阻R(參考圖3)。在恆定電流源11供給的恆定電流I中，由於經由電阻R流出電流Ir，因此耗用於寄生電容C充電的電流變為I-Ir。

【數學公式2】△V=(I-Ir)/C×△t

從上述數學公式2中可得知隨著流過電阻R的電流Ir增大，電壓斜度(△V/△t)變小。

圖6示出了檢測物件的配線圖形P1、P2間發生電火花之情況。發生電火花時，檢測物件的配線圖形P1、P2間的電阻R中瞬間流過大電流Ir(在上述數學公式2中電流Ir瞬間變大)。其結果是，如圖6所示，發生電火花的瞬間正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V減小，同時電壓斜度瞬間變負。

圖7示出了檢測物件的配線圖形P1、P2間發生部分放電之情況。發生部分放電時，檢測物件的配線圖形P1、P2間的電阻R也流過電流Ir。但在部分放電時，由於不流過發生電火花時的大電流，因此正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V不減小。但部分放電持續某種程度的期間而發生的情況多。在部分放電持續發生的期間中，由於配線圖形間的電阻R中流過電流Ir，因此寄生電容C的充電速度變慢。由此如圖7所示，電壓V的增加速度變小(即，電壓斜度變小)。

如此，發生電火花或部分放電時(圖6或圖7的情況)，電壓斜度暫時變小。另一方面，未發生電火花和部分放電時(圖5的情況)，斜度恆定期間的電壓斜度恆定。因此，通過確認斜度恆定期間的電壓斜度的恆定性，能檢測出電火花或部分放電的發生。

並且，由於寄生電容C隨配線圖形而不同，因此電壓斜度(△V/△t)的值也隨配線圖形而不同。但“未發生電火花或部分放電時電壓斜度恆定”這一點，在任一配線圖形中都共通。因此如上所述，通過基於電壓斜度是否恆定來檢測電火花或部分放電，從而不受隨配線圖形的寄生電容C的差異的影響，可對任一配線圖形也能高精密度地檢測出電火花和部分放電。

因此本實施形態的控制部10，在圖4的步驟S104中，在斜度恆定期間當電壓斜度恆定時(圖5所示之情況)判斷為不發生電火花和部分放電，而當電壓斜度不恆定時(如圖6或圖7所示之情況)判定為發生電火花或部分放電。

接下來，針對用於判定電壓斜度的恆定性的控制部10的構成進行更詳細的說明。

本實施形態的控制部10具有作為正常時電壓斜度算出部20的功能，以用於算出正常時的電壓斜度。並且，在本說明書中“正常”指的是不發生電火花或部分放電之狀態。

本實施形態的正常時電壓斜度算出部20，基於電壓V較小時的該電壓V的測定結果，算出正常時的電壓斜度。其原因在於正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V越小，該正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)與其他配線圖形間發生電火花或部分放電的可能性越小。即，正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V足夠小時，可將其視為“正常時”。但，如上所述，在正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V為零的附近，電壓斜度不穩定。因此，在正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V極小時(電壓V接近零時)，基於該電壓V的測定結果不能準確地獲得正常時的電壓斜度。

因此，正常時電壓斜度算出部20，基於正極側圖形P1(將配線圖形P1作為正極側圖形時的情形)的電壓V為第一閾值以上且小於所定的電壓斜度算出閾值之範圍的期間(圖5至圖7中“電壓斜度算出期間”之期間)中獲得的電壓V的測定結果，獲得正常時的電壓斜度。為了獲得正常時的電壓斜度，在電壓斜度算出期間中，能獲得最少兩點的電壓V的測定結果即可。並且，閾值間的大小關係為：電壓零<第一閾值<電壓斜度算出閾值<第二閾值<上限電壓。

但，若為正常時(不發生電火花或部分放電的狀態)，則電壓斜度(△V/△t)恆定。因此，假設為正常時(假設電壓斜度恆定)，那麼基於正常時電壓斜度算出部20算出的“正常時的”電壓斜度，能推算任意時間t的電壓V。本實施形態的控制部10具有作為電壓推算部21的功能，以用於在假設電壓斜度為恆定的前提下，基於正常時的電壓斜度，推算各時間t的正極側圖形的電壓V。電壓推算部21算出的電壓V的推算值在圖5至圖7中用雙點劃線來表示。

本實施形態的控制部10具有作為判定部22的功能，以用於通過比較斜度恆定期間中的電壓V的測定結果與基於電壓推算部21的電壓V的推算值，判定斜度恆定期間中的電壓斜度是否恆定。

例如，如圖5所示，當斜度恆定期間中的電壓V的測定結果(圖5中以圓形的符號表示)與基於電壓推算部21的電壓V的推算值(用雙點劃線的直線表示)一致時，可以認為在斜度恆定期間中電壓斜度為恆定。因此，本實施形態的判定部22，在斜度恆定期間中的電壓V的測定結果與基於電壓推算部21的電壓V的推算值一致(或大概一致)時，判斷斜度恆定期間中的電壓斜度為恆定。並且在本實施形態中，電壓V的測定結果與電壓V的推算值的差小於所定的判定閾值V時，判定為兩者一致(或大概一致)。

另外，例如圖5或圖6所示，當斜度恆定期間中的電壓V的測定結果(圓形的符號)與基於電壓推算部21的電壓V的推算值(雙點劃線的直線)存有偏差時，判定部22判定在斜度恆定期間中電壓斜度發生了變化(電壓斜度不恆定)。並且在本實施形態中，在電壓V的測定結果與電壓V的推算值的差為上述判定閾值V以上時，判定兩者存有偏差。

如上所述，若不發生電火花或部分放電，則斜度恆定期間中的電壓斜度恆定。因此，判定部22，當判定在斜度恆定期間中的電壓斜度為恆定時，進而判定在檢測物件的配線圖形中未發生電火花和部分放電。即，此時在圖4的步驟S104的判斷中為“否”。

另外，判定部22，當判定在斜度恆定期間中的電壓斜度為不恆定時，進而判定在檢測物件的配線圖形中發生了電火花或部分放電。即，此時在圖4的步驟S104的判斷中為“是”。

如上述說明的，本實施形態的檢測裝置1包括恆定電流源11、電壓測定部12、正常時電壓斜度算出部20和判定部22。恆定電流源11向檢測物件的配線圖形供給恆定的電流。電壓測定部12測定配線圖形的電壓V。正常時電壓斜度算出部20，在電壓V的測定結果中，基於小於所定的電壓斜度算出閾值的測定結果，獲得正常時的電壓斜度。判定部22，通過比較在電壓V的測定結果中為第一閾值以上且小於第二閾值的範圍內的測定結果(斜度恆定期間中的測定結果)與基於上述正常時的電壓斜度的電壓推算值，判定上述電壓斜度是否恆定。並且，判定部22，基於電壓斜度恆定與否，判定電路基板的不良與否。

根據如上構成的本實施形態的檢測裝置1，除了以往能檢測的電火花(圖5)之外，還能檢測出以往難以進行檢測的部分放電(圖6)的發生。

以上雖然對本發明的優選實施形態進行了說明，但上述構成例如可按下述進行變形。

在上述實施形態中，即使電火花或部分放電發生一次，也將其判定為不良品，但也可容許數次的電火花(或部分放電)。

在以往的方法(專利文獻1)中，雖然不能檢測出部分放電的發生，但能檢測出電火花的發生。由此，通過組合以往的方法和本案發明的方法，可以區分電火花的發生和部分放電的發生從而進行檢測。因此，在電火花發生時和在部分放電發生時，根據需要可進行不同的處理。

在上述實施形態中，雖然在電壓V的測定結果與電壓V的推算值的差小於所定的判定閾值V時，判定兩者一致(或大概一致)，但將電壓V的測定結果與推算值判定為一致的條件並不限定於此。例如，也可在電壓V的測定結果與電壓V的推算值的偏差在所定比例[%]的範圍內時，判定兩者一致(或大概一致)。

在上述實施形態中，雖然是基於電壓V而獲得正常時的電壓斜度，但該正常時的電壓斜度也可是規定的值。但正常時的電壓斜度隨配線圖形而不同。並且由於存在個體差異等影響，實際配線圖形中的正常時的電壓斜度被認為隨電路基板而微妙不同。因此，難以預先準確地規定各配線圖形的正常時的電壓斜度。與此相關，在上述實施形態中，每個檢測物件的配線圖形是基於電壓V的測定值而獲得正常時的電壓斜度。如此，由於基於實際的測定值而獲得正常時的電壓斜度，因此能準確地獲得每個配線圖形正常時的電壓斜度。並且，基於據此獲得的正常時的電壓斜度來檢測出電火花和部分放電，從而能不受隨配線圖形的電壓斜度差異的影響，可針對任意配線圖形也能高精密度地檢測出電火花和部分放電。

在上述實施形態中，基於正常時的電壓斜度來獲得電壓V的推算值，並且通過比較該推算值與電壓V的測定結果來確認電壓斜度的恆定性。但，確認電壓斜度的恆定性的方法並不限定於此，而可採用恰當的方法。例如，每當獲得電壓V的最新測定結果時，基於與前一個測定結果的差來獲得最新的電壓斜度，並借此監視該電壓斜度的變化也無妨。

Claims

一種檢測裝置，檢測形成在電路基板上的配線圖形的絕緣性，該檢測裝置包括：恆定電流源，向檢測物件的配線圖形供給恆定的電流；電壓測定部，測定該配線圖形的電壓；以及判定部，基於電壓斜度的恆定與否來判定該電路基板的不良與否，其中，該電壓斜度是該電壓對時間的變化率；該判定部在該電壓的測定結果中，基於所定的第一閾值以上且小於所定的第二閾值的範圍內的測定結果，判定該電壓斜度是否恆定。
根據申請專利範圍第1項所述的檢測裝置，其中，進一步包括正常時電壓斜度算出部，以用於在該電壓的測定結果中，基於小於所定的電壓斜度算出閾值的測定結果，獲得正常時的電壓斜度，該判定部，通過比較該電壓的測定結果和基於該正常時的電壓斜度的電壓的推算值，判定該電壓斜度是否恆定。