TWI434050B - Substrate inspection device and substrate inspection method - Google Patents

Description

基板檢查裝置及基板檢查方法

本發明是有關基板檢查裝置及基板檢查方法，更詳細是有關在設於基板的配線圖案的短路檢查中可確實地檢測出發生於配線圖案間的瞬間放電(spark)而發現不良的基板之基板檢查裝置及基板檢查方法。

另外，本發明並非限於印刷配線基板，例如亦可適用於可撓性基板、多層配線基板、液晶顯示器或電漿顯示器用的電極板、及半導體封裝用的封裝基板或輸送用膠帶(film carrier)等各種的基板之電氣配線的檢查，在本說明書中是將該等各種的配線基板總稱為「電路基板」。

以往，具有複數個配線圖案的基板(電路基板)是使用絕緣檢查裝置來針對各配線圖案進行與其他配線圖案的絕緣狀態的良否(是否確保充分的絕緣性)判定，藉此進行檢查基板是否為良品的絕緣檢查。

該絕緣檢查是對一方的配線圖案施加電壓，然後測定流至另一方的配線圖案的電流，藉此算出該等配線圖案間的電阻值，而由此電阻值來檢查絕緣狀態。

就上述絕緣檢查而言，對配線圖案剛施加特定電壓(施加電壓V)之後，因為配線圖案間的電壓不安定，且在配線圖案間有瞬間較大的過渡電流流動，所以配線圖案間的電壓會在施加電壓V安定，且電流安定的經過時間(特定時間)後進行絕緣狀態的良否判定。

然而，在檢查對象的配線圖案間會被施加較高壓的直流電壓(施加電壓)，因此在施加電壓之後，至特定時間經過為止有時在配線圖案間發生瞬間放電。因該瞬間放電，會有配線圖案間的絕緣電阻值變化的不良情況。

為了檢測出如此的瞬間放電，提案一揭示於專利文獻1之可進行瞬間放電檢測的絕緣檢查裝置及絕緣檢查方法。

揭示於該專利文獻1之絕緣檢查裝置及方法的原理是藉由測定對配線圖案施加電壓的特定時間中的配線圖案間的電壓的變化值來檢測出瞬間放電發生時的電壓降下，藉此檢測出瞬間放電。

例如，圖10之顯示電壓變化的圖，在圖中的時刻t21及時刻t22發生瞬間放電。如此，檢測出電壓的變化，且檢測出瞬間放電起因的電壓降下(算出「dv/dt」而取得的值)(圖中的A及B之處)，藉此檢測出瞬間放電。

[專利文獻1]專利第3546046號公報

然而，揭示於該專利文獻1的瞬間放電檢測方法是藉由圖10所示的電壓降下(電壓的特定時間內的變化量)來檢測出瞬間放電，會有下記的問題點。

雖電壓降下可由電壓的變化量來檢測出，但例如電壓的測定在每個△t時間進行，而檢測出圖10所示的時刻t23及時刻t24間(時刻t23與時刻t24間為△t時間)的電壓變化量時，電壓的變化量會増加。其結果，實際上儘管在時刻t3與時刻t4之間發生瞬間放電A，仍有無法檢測出瞬間放電的問題點。

並且，在檢測出瞬間放電時，必須設定因瞬間放電發生引起的電壓降下的位準，但有難以設定該電壓降下的位準的問題點。例如，在進行基板的絕緣檢查時，為了檢查而被施加的施加電壓會被設定於100V以上(通常250V)執行檢查。此時發生的瞬間放電大概具有10V以下的大小(圖10所示的瞬間放電B的大小約10V以下)。因此，將電壓降下的位準設定於10V前後。其結果，對於250V的施加電壓，必須檢測出240V的電壓降下，形成檢測出些微4%的變化量，會被要求極高的精度，以致成為上述困難的問題點之理由。

本發明是有鑑於上述情事而研發者，提供一種不用算出電壓的變化量，即使是微小的瞬間放電，還是可確實地檢測出之基板檢查裝置及基板檢查方法。

請求項1記載的發明是在於提供一種絕緣檢查裝置，係於形成有複數的配線圖案的電路基板中，從上述複數的配線圖案來選擇檢查對象的配線圖案，進行該配線圖案的絕緣檢查之絕緣檢查裝置，其特徵係具備：上游側及下游側電流供給端子，其係對應於上述複數的每個配線圖案，對該配線圖案供給電流；上游側及下游側電壓檢測端子，其係對應於上述複數的每個配線圖案，用以檢測出隨著上述電流施加而產生的電壓；及電壓檢測手段，其係檢測出對應於上述檢查對象的配線圖案之上游側電流供給端子與上游側電壓檢測端子的電壓，並且，根據藉由上述電壓檢測手段所檢測出的電壓值，來檢測出上述檢查對象的配線圖案及其他配線圖案的瞬間放電。

請求項2記載的發明，如申請專利範圍第1項之絕緣檢查裝置，其中，上述絕緣檢查裝置，係於上述短路檢查時，使上述上游側電壓檢測端子及上述上游側電流供給端子與上述檢查對象的配線圖案成為導通狀態，使上述下游側電壓檢測端子及上述下游側電流供給端子與上述檢查對象的配線圖案以外的全部配線圖案成為導通狀態。

請求項3記載的發明是在於提供一種絕緣檢查裝置，係於形成有複數的配線圖案的電路基板中，從上述複數的配線圖案來選擇檢查對象的配線圖案，進行該配線圖案的絕緣檢查之絕緣檢查裝置，其特徵係具備：上游側及下游側電流供給端子，其係對應於上述複數的每個配線圖案，對該配線圖案供給電流；上游側及下游側電壓檢測端子，其係對應於上述複數的每個配線圖案，用以檢測出隨著上述電流施加而產生的電壓；及電壓檢測手段，其係檢測出對應於上述檢查對象的配線圖案之下游側電流供給端子與下游側電壓檢測端子的電壓，並且，根據藉由上述電壓檢測手段所檢測出的電壓值，來檢測出上述檢查對象的配線圖案及其他配線圖案的瞬間放電。

請求項4記載的發明，如申請專利範圍第3項之絕緣檢查裝置，其中，上述絕緣檢查裝置，係於上述短路檢查時，使上述下游側電流供給端子及上述下游側電壓檢測端子與上述檢查對象的配線圖案成為導通狀態，使上述上游側電流供給端子及上述上游側電壓檢測端子與上述檢查對象的配線圖案以外的全部配線圖案成為導通狀態。

請求項5記載的發明是在於提供一種絕緣檢查方法，係於形成有複數的配線圖案的電路基板中，從上述複數的配線圖案來選擇檢查對象的配線圖案，進行該配線圖案的絕緣檢查之絕緣檢查方法，其特徵為：從電路基板上的複數的配線圖案來選擇檢查對象的配線圖案，將對應於上述選擇的配線圖案之用以供給電流的上游側電流供給端子與用以檢測出電壓的上游側電壓檢測端子連接成導通狀態，將對應於上述檢查對象的配線圖案以外的配線圖案之用以供給電流的下游側電流供給端子與用以檢測出電壓的下游側電壓檢測端子連接成導通狀態，從上述上游側電流端子來供給電流至上述下游側電流端子，在上述電流供給時，檢測出連接至上述檢查對象的配線圖案之上游側電流供給端子與上游側電壓檢測端子的電壓，從上述檢測出的電壓來檢測出瞬間放電起因的電壓。

請求項6記載的發明是在於提供一種絕緣檢查方法，係於形成有複數的配線圖案的電路基板中，從上述複數的配線圖案來選擇檢查對象的配線圖案，進行該配線圖案的絕緣檢查之絕緣檢查方法，其特徵為：從電路基板上的複數的配線圖案來選擇檢查對象的配線圖案，將對應於上述選擇的配線圖案之用以供給電流的下游側電流供給端子與用以檢測出電壓的下游側電壓檢測端子連接成導通狀態，將對應於上述檢查對象的配線圖案以外的配線圖案之用以供給電流的上游側電流供給端子與用以檢測出電壓的上游側電壓檢測端子連接成導通狀態，從上述上游側電流端子來供給電流至上述下游側電流端子，在上述電流供給時，檢測出連接至上述檢查對象的配線圖案之下游側電流供給端子與下游側電壓檢測端子的電壓，從上述檢測出的電壓來檢測出瞬間放電起因的電壓。

藉由提供該等的發明，可解決上述課題。

若根據請求項1及5記載的發明，則可提供一種能藉由測定用以檢查被檢查基板的上游側電流供給端子與上游側電壓檢測端子之間的電壓來確實地檢測出微小的瞬間放電所造成電壓變化之被檢查裝置。

若根據請求項2記載的發明，則在短路檢查時是使上游側電流供給端子與檢查對象的配線圖案成導通狀態，使下游側電壓檢測端子及下游側電流供給端子與檢查對象的配線圖案以外的全部配線圖案成導通狀態，因此可藉由配線圖案的組合來更效率佳地進行瞬間放電檢測。

若根據請求項3及6記載的發明，則可提供一種能藉由測定用以檢查被檢查基板的下游側電流供給端子與下游側電壓檢測端子之間的電壓來確實地檢測出微小的瞬間放電所造成的電壓變化之被檢查裝置。

若根據請求項4記載的發明，則在短路檢查時是使下游側電流供給端子及下游側電壓檢測端子與檢查對象的配線圖案成導通狀態，使上游側電流供給端子及上游側電壓檢測端子與檢查對象的配線圖案以外的全部配線圖案成導通狀態，因此可藉由配線圖案的組合來更效率佳地進行瞬間放電檢測。

說明用以實施本發明的最佳形態。

本發明是有關用以在進行形成於電路基板上的複數個配線圖案的絕緣檢查時所發生的瞬間放電之絕緣檢查裝置及其方法。

圖1是本發明的絕緣檢查裝置之一實施形態的概略構成圖。

本發明的第一實施形態的絕緣檢查裝置1是具備：電流供給手段2、第一電壓檢測手段3、電流檢測手段4、第二電壓檢測手段5、控制手段6、切換手段7、電流供給端子8、電壓檢測端子9、顯示手段10。

在圖1所示的一實施形態是顯示電性連接本發明的絕緣檢查裝置1、檢查對象的電路基板CB、絕緣檢查裝置1及電路基板CB之接觸探針CP。

此第一實施形態的絕緣檢查裝置1是利用連接至檢查對象的配線圖案P之電流供給端子與電壓測定端子之間的電壓差來檢測出瞬間放電。這只要連接至配線圖案P的電流供給端子與電壓測定端子不發生瞬間放電，則使用等電位。

圖1所示的電路基板CB是具有4個配線圖案P1~P4。該電路基板CB所具有的配線圖案是按照所被設計的電路基板CB來適當設定其數量及形狀。

另外，在圖1的電路基板CB中顯示有一字狀的配線圖案P1、及T字狀的配線圖案P2、以及十字狀的配線圖案P3、P4。

在圖1中顯示有電性連接於各配線圖案P1~P4的4根接觸探針CP。此接觸探針CP可電性導通連接絕緣檢查裝置1與電路基板CB。並且，此接觸探針CP的配置位置或配置根數是按照形成於電路基板CB的配線圖案來適當設定。

另外，在圖1的實施形態中，是以1根的接觸探針CP來使後述的上游側及下游側電流供給端子與上游側及下游側電壓檢測端子能夠導通接觸於配線圖案上所設置的特定檢查位置，但亦可使用各別的2根接觸探針CP來分別使電流供給端子與電壓檢測端子能夠導通接觸於特定檢查位置。

電流供給手段2是使供以進行絕緣檢查的特定電壓施加於檢查對象的配線圖案與其他的配線圖案之間(以下稱為檢查對象間)。

此電流供給手段2例如可使用電流．控制器(Current Controller)，但並非特別加以限定，只要是可使特定的電壓施加於檢查對象間即可全部使用。在使用電流．控制器時，是藉由電流．控制器的電流供給手段2來對特定的配線圖案供給電流，而於檢查對象間施加特定的電壓。

此電流供給手段2所施加的電壓是如上述説明般設定於200~250V。

第一電壓檢測手段3是在於檢測出檢查對象間的電壓。此第一電壓檢查手段3是例如可使用電壓計，但並非特別加以限定，只要是可檢測出檢查對象間的電壓即可。

可利用該第一電壓檢測手段3所檢測出的電壓值、及由電流供給手段2所供給的電流值，來算出檢查對象間的電阻值。更可利用該電阻值來檢查檢查對象間的絕緣性。

另外，依據該第一電壓檢測手段3所檢測出的電壓值來設定成可進行電流供給手段2的動作控制。

電流檢測手段4是在於檢測出檢查對象間的電流。此電流檢測手段4是例如可使用電流計，但並非特別加以限定，只要是可檢測出流動於檢查對象間的電流值即可。

另外，雖亦可決定藉由電流供給手段2所供給的電流值，但也利用該電流檢測手段4來檢測出檢查對象間的電流值。

電流供給端子8為了供給檢查對象間的電流，而經由接觸探針CP來與各配線圖案P連接。

此電流供給端子8是具有：連接電流供給手段2的上游側(正極側)與配線圖案之上游側電流供給端子81、及連接電流供給手段2的下游側(負極側)或電流檢測手段4與配線圖案P之下游側電流供給端子82。

如圖1所示，此電流供給端子8的上游側電流供給端子81及下游側電流供給端子82是對各個的配線圖案P設置。

該等的上游側電流供給端子81及下游側電流供給端子82是分別具有切換手段7的開關元件SW，藉由該切換手段7的開關元件SW的ON/OFF動作來設定連接狀態/未連接狀態。

此電流供給端子8是配置有靜電放電(electro－static discharge)保護用的電阻。

電壓檢測端子9為了檢測出檢查對象間的電壓，而經由接觸探針CP來與各配線圖案P連接。

此電壓檢測端子9是具有：連接第一電壓檢測手段3的上游側(正極側)與配線圖案P之上游側電壓檢測端子91、及連接第一電壓檢測手段3的下游側(負極側)與配線圖案P之下游側電壓檢測端子92。

如圖1所示，此電壓檢測端子9的上游側電壓檢測端子91及下游側電壓檢測端子92是對各個的配線圖案P設置。

該等的上游側電壓檢測端子91及下游側電壓檢測端子92是與電流供給端子8同様，分別具有切換手段7的開關元件SW，藉由此切換手段7的開關元件SW的ON/OFF動作來設定連接狀態/未連接狀態。

電流供給端子8及電壓檢測端子9，如圖1所示，是針對導通接觸於配線圖案P的一根接觸探針CP來配置4個端子的同時，具備進行各端子的ON/OFF控制的4個開關元件SW。

另外，在圖1中，將控制上游側電流供給端子81的動作之開關元件顯示為符號SW1，將控制上游側電壓檢測端子91的動作之開關元件顯示為符號SW2，將控制下游側電流供給端子82的動作之開關元件顯示為符號SW3，將控制下游側電壓檢測端子92的動作之開關元件顯示為符號SW4。

切換手段7是由導通連接至上述各接觸探針CP的複數個開關元件SW所構成。此切換手段7是依據來自後述控制手段6的動作信號，控制ON/OFF的動作。

第二電壓檢測手段5是在於檢測出上游側電流供給端子81及上游側電壓檢測端子91的電壓。具體而言，此第二電壓檢測手段5會檢測出上游側電流供給端子81與上游側電壓檢測端子91的電壓差。

此第二電壓檢測手段5，如圖1所示，具有算出上游側電流供給端子81與上游側電壓檢測端子91的電壓差分之比較器(comparator)52及檢測出該差分的電壓計51。

該比較器52會求取上游側電流供給端子81與上游側電壓檢測端子91的電壓差分，電壓計51會檢測出該差分。

詳細如後述，藉由該第二電壓檢測手段5所檢測出的電壓值，來檢測出檢查對象的配線圖案P與其他的配線圖案間的瞬間放電。

第一電壓檢測手段3、電流檢測手段4或第二電壓檢測手段5所檢測出的電壓值或電流值是往後述的控制手段6，被賦予經過時間資訊(作為時間序列的資訊)而發送。

控制手段6會選出檢查對象的配線圖案P，或根據來自第一電壓檢測手段3或第二電壓檢測手段5的電壓值來檢測出瞬間放電，發送切換手段7的動作指示信號。

此控制手段6，如圖1所示，具備選出手段61、判定手段62、記憶手段63。

記憶手段63是記憶有關於電路基板CB的配線圖案P之資訊、關於該配線圖案P的檢查點之資訊、及所被檢測出的檢測值之資訊。

在此記憶手段63中儲存有絕緣檢查時必要的資訊，可利用該等的資訊來進行絕緣檢查，且所被檢測出的各檢測值會被儲存。

選出手段61會從電路基板CB的複數個配線圖案P來選出檢查對象的配線圖案P，特定檢查對象的配線圖案P。藉由該選出手段61特定檢查對象的配線圖案P，依序選出進行絕緣檢查的配線圖案。

該選出手段61所進行之檢查對象的配線圖案的選出方法，例如可舉預先在記憶手段63中設定檢查對象的配線圖案的順序，按照此順序來選出檢查對象的配線圖案之方法。該選出方法可採用上述的方法，但只要是檢查對象的配線圖案可依序被選出的方法即可，並無特別加以限定。

該選出手段61所進行之具體的配線圖案的選出是藉由使用切換手段7來實施。例如，可藉由進行切換手段7的各開關元件SW的ON/OFF控制來選出檢查對象的配線圖案。

在第一實施形態的絕緣檢查裝置中，是以檢查對象的配線圖案能夠與用以和電流供給手段2連接的上游側電流供給端子81連接之方式，使開關元件SW形成ON。同時，以該配線圖案能夠與上游側電壓檢測手段91連接之方式，使開關元件SW形成ON。

例如，就圖1所示的實施形態而言，以配線圖案P1作為檢查對象時，選出手段61會選出連接至配線圖案P1的上游側電流供給端子81及上游側電壓檢測端子91，以使該等端子81、91的開關元件SW1及開關元件SW2能夠形成ON狀態之方式來發送催促的信號。切換手段7接受該信號，使開關元件SW1及開關元件SW2動作。

並且，此情況，以對應於檢查對象的配線圖案以外的配線圖案(剩下的配線圖案)之開關元件SW4能夠形成ON狀態之方式發送催促的信號。

如上述説明，藉由選出手段61，從電路基板CB的複數個配線圖案P來選擇檢查對象的配線圖案P。

該第一實施形態的絕緣檢查裝置1的選出手段61所選出的配線圖案P是從形成於電路基板CB上的複數個配線圖案來選出1個配線圖案P。亦即，在藉由選出手段61所選出的1個配線圖案P與剩下的全部配線圖案P之間實施絕緣檢查。

如此，藉由配線圖案P的選出，可效率佳地處理絕緣檢查。

判定手段62是根據來自第二電壓檢測手段5的電壓值，判定瞬間放電的發生。此判定手段62所進行的判定，可設定成只要所被檢測出的電壓值高於預定的臨界值，則判定成發生瞬間放電。又，亦可設定成將第二電壓檢測手段5的電壓值與良品時的電壓值作比較，根據其差分來檢測出瞬間放電的發生。

另外，此判定手段62亦可從電壓值的時間性變化量來檢測出瞬間放電。

一旦瞬間放電被檢測出，則會連絡此訊息給後述的顯示手段10。

在該控制手段6可設置檢測出瞬間放電的大小之算出手段(未圖示)。此算出手段是在判定手段62檢測出瞬間放電時，從其電壓值及經過時間等來計算瞬間放電的能量。藉由該算出手段的結果，可辨識瞬間放電的大小，進而能夠辨識對電路基板CB之破損的大小的程度。

特別是本發明的瞬間放電檢測方法，可檢測出所被檢測出的電壓僅為瞬間放電起因的電壓變化，且此時的電流亦可檢測出，因此可求取正確的瞬間放電的大小(＝I×V)。

顯示手段10是在於顯示絕緣檢查的狀態。此顯示手段10會顯示瞬間放電的發現。

當設定成控制手段6的算出手段可算出瞬間放電的大小時，該被算出的瞬間放電的大小也會在該顯示手段10中被顯示。

以上為本發明的第一實施形態的絕緣檢查裝置1的構成説明。

其次，說明該第一實施形態的絕緣檢查裝置1的動作。

首先，檢查對象的電路基板CB的配線圖案P的資訊等會被儲存於記憶手段63。

其次，電路基板CB會被配置於特定的檢查位置，在形成於電路基板CB上的配線圖案P上的檢查點配置接觸探針。

一旦準備好電路基板CB，則開始絕緣檢查。

此時，選出手段61會選出檢查對象的配線圖案P。一旦選出手段61選出檢查對象的配線圖案，則該選出手段61會對切換手段7特定作為該檢查對象所被選出的配線圖案P的上游側電流供給端子81及上游側電壓檢測端子91。然後，以用以使該被特定的上游側電流供給端子81及上游側電壓檢測端子91成為連接狀態的開關元件SW1、SW2能夠形成ON狀態的方式，從選出手段61來將動作信號傳送至切換手段7。

一旦切換手段7接受有關來自選出手段61的開關元件的ON/OFF動作之信號，則會按照此信號來進行開關元件SW的ON/OFF控制。

例如，當配線圖案P1成為檢查對象的配線圖案時，連接至對應於配線圖案P1的上游側電流供給端子81及上游側電壓檢測端子91的開關元件SW1、SW2會形成ON狀態。並且，此刻同時，接觸於該配線圖案P1以外的配線圖案P2乃至配線圖案P4的接觸探針CP為了分別與下游側電流供給端子82形成連接狀態，而控制成各個下游側電流供給端子82的開關元件SW4會形成ON狀態。

另外，此情況，對應於檢查對象以外的配線圖案P之下游側電壓檢測端子92藉由開關元件SW3來形成ON/OFF也無妨。

圖2是表示本發明的絕緣檢查裝置的動作狀態之一實施形態。該圖2所示的動作狀態是如上述説明，配線圖案P1會作為檢查對象而被選出。因此，配線圖案P1是開關元件SW1及開關SW2會形成ON狀態，而與上游側電流供給端子81及上游側電壓檢測端子91連接。

此時，檢查對象以外的配線圖案P2乃至配線圖案P4是開關元件SW4會形成ON狀態，而與下游側電流供給端子82連接。

如圖2所示，檢查對象的配線圖案P1的上游側電流供給端子81及上游側電壓檢測端子91會被連接至第二電壓檢測手段5。

如上述，一旦開關元件SW被ON或OFF控制，則電流會被施加於檢查對象的配線圖案P1。

此時，第二電壓檢測手段5會檢測出電壓值的變化，且將電壓值賦予有關該電壓值的時間資訊而傳送至控制手段6。

一旦控制手段6接受電壓值，則會在判定手段62將該電壓值與特定臨界值作比較。此刻，若電壓值比臨界值更大，則判定手段62會判定發生瞬間放電，且將此訊息傳送至顯示手段10而顯示。

圖3是表示本發明的絕緣檢查裝置所檢測出的電壓值的變化之一實施例。此圖3(a)是表示檢查對象間的瞬間放電的狀態的電壓變化，圖3(b)是表示顯示本發明的絕緣檢查裝置的瞬間放電檢測的狀態之電壓變化。

本發明的絕緣檢查裝置1是如上述，檢測出上游側電流供給端子81與上游側電壓檢測端子91之間的電壓差，根據其差分來檢測出瞬間放電。

此情況，第一電壓檢測手段3是在電流供給手段2將電流開始供給至配線圖案P1之後(時刻t1)，所被檢測出的電壓值會上昇(形成檢查對象的配線圖案間的電壓)。在此，一旦形成絕緣檢查時所必要的特定電壓值(時刻t3)，則絕緣檢查會被執行。此圖3是表示在電流供給中的時刻t2、及絕緣檢查中的時刻t4發生瞬間放電。

第二電壓檢測手段5會檢測出上游側電壓供給端子81與上游側電流檢測端子91之間的電壓。此情況，藉由電流供給手段2來供給電流的期間(時刻t1~時刻t3)是一旦依存於保護電阻的電壓值被檢測出，在配線圖案間施加特定的電壓(時刻t3以後)，則電壓值會形成大概零。

該圖3所示的情況，是在時刻t2及時刻t4發生瞬間放電。

在本發明的第一實施形態的絕緣檢查裝置1中，是該第二電壓檢測手段5會檢測出瞬間放電，如圖3所示，當瞬間放電發生時，檢測出急劇的電壓變化。例如，在對檢查對象的配線圖案進行充電的時刻t1~時刻t3之間，發生瞬間放電時，流至保護電阻的電壓會急劇上昇(時刻t2)。藉由檢測出該急劇的電壓上昇，可檢測出瞬間放電。

並且，當對檢查對象的配線圖案充電終了後的檢查對象的配線圖案與其他的配線圖案的絕緣檢查進行時所發生的瞬間放電(在時刻t4的瞬間放電)發生時，第二電壓檢測手段5會檢測出從大概零的電壓急劇上昇的電壓。特別是此情況在瞬間放電發生的期間第二電壓檢測手段5所檢測出的電壓大概零，因此隨著電壓產生變化，可容易進行瞬間放電檢測。

圖3(b)是設定供以控制手段6的判定手段62檢測出瞬間放電的臨界值。例如，圖3(b)所示的二點鎖線α(設定α)是設定成比在時刻t1~時刻t3間施加於保護電阻的電壓值更大的電壓值。該設定α的情況，是在第二電壓檢測手段5所檢測出的電壓值超過設定值α的時間點判定瞬間放電發生。此情況，僅設定α便可容易進行瞬間放電檢測。

並且，圖3(b)所示的一點鎖線β(設定β)是設定從時刻t1到時刻t3前與時刻t3以後有所不同的設定值。此設定β時，補正第二電壓檢測手段5所檢測出之充電時的保護電阻的電壓值。因此，藉由設定成可根據經過時間及第一電壓檢測手段3的電壓檢測結果來變更電壓臨界值，要比設定α時更可精度佳地檢測出瞬間放電。

該等設定α及設定β可由使用者適當設定，其具體的設定值受保護電阻的電阻值等影響，因此由使用者適當設定。

一旦控制手段6判定瞬間放電發生，則會將瞬間放電發生的情況顯示於顯示手段10。並且，此刻，藉由算出手段來算出瞬間放電的大小。

該算出手段所算出的瞬間放電的大小，可算出比用以檢測出瞬間放電的臨界值更大的電壓值所存在的面積。例如，在算出圖3(b)所示的時刻t2發生的瞬間放電的大小時，可藉由求取比設定α的設定值更大的場所的面積來算出其大小(圖3所示的二點鎖線α及電壓值變移所圍繞的部份(以斜線所示的部份))

該算出手段所算出的瞬間放電的大小也會被顯示於顯示手段10。

如上述，當瞬間放電發生時，瞬間放電發生的訊息會被通知，且算出該瞬間放電的大小，與瞬間放電同時顯示該大小。因此，使用者可藉由檢測出電壓值來容易檢測出絕緣檢查中發生的瞬間放電，且該瞬間放電的大小亦可得知。

在此絕緣檢查裝置1是進行檢查對象的一個配線圖案及剩下全部的配線圖案的絕緣檢查，一旦該檢查對象的一個配線圖案的絕緣檢查終了，則其次的配線圖案會作為檢查對象而被選擇一個，和剩下全部的配線圖案的絕緣檢查會被重複進行。如此一來設於被檢查基板的配線圖案全體會作為檢查對象的配線圖案來進行絕緣檢查。

另外，在檢查途中發生瞬間放電的被檢查基板會作為不良品來處理。

以上為本發明的第一實施形態的絕緣檢查裝置1的説明。

其次，說明有關本發明的第二實施形態的絕緣檢查裝置100。

第二實施形態的絕緣檢查裝置100與第一實施形態的絕緣檢查裝置1的不同是在於檢查對象的配線圖案為連接至設定於配線圖案間之電位的高位(正側(上游側))還是連接至電位的低位(負側(下游側))。第一實施形態的絕緣檢查裝置1是該檢查對象的配線圖案為連接至電位的高位，另一方面，第二實施形態的絕緣檢查裝置100是檢查對象的配線圖案為連接至電位的低位。

此第二實施形態的絕緣檢查裝置100是與第一實施形態的絕緣檢查裝置1同様，藉由檢測出連接至檢查對象的配線圖案之電壓檢測端子與電流供給端子的電壓，來檢測出瞬間放電。

圖4是表示本發明的第二實施形態的絕緣檢查裝置的概略構成。

本發明的第二實施形態的絕緣檢查裝置100具備：電流供給手段2、第一電壓檢測手段3、電流檢測手段4、第二電壓檢測手段50、控制手段6、切換手段7、電流供給端子8、電壓檢測端子9、顯示手段10。

在此圖2所示的第二實施形態中，與第一實施形態同様，顯示電性連接本發明的絕緣檢查裝置100、檢查對象的電路基板CB、絕緣檢查裝置1及電路基板CB之接觸探針CP。

該第二實施形態的絕緣檢查裝置100，如上述，利用連接至檢查對象的配線圖案P之電流供給端子與電壓測定端子之間的電壓差來檢測出瞬間放電。這只要連接至配線圖案P的電流供給端子與電壓測定端子不發生瞬間放電，則使用等電位。

在第一實施形態是將一個配線圖案連接至電位的高位側，將剩下全部的配線圖案連接至電位的低位側，而來進行絕緣檢查。相對的，在第二實施形態是將一個配線圖案連接至電位的低位側，將剩下全部的配線圖案連接至電位的高位側，而來進行絕緣檢查。因此，在第一實施形態與第二實施形態中，對檢查對象的連接有所不同。第一實施形態的構成與第二實施形態的構成為同樣時，則省略詳細的説明。

圖4所示的電路基板CB是與圖1所示的電路基板CB同様，具有4個的配線圖案P1~P4。在圖4中更顯示有電性接觸於各配線圖案P1~P4的4根接觸探針CP。此接觸探針CP可電性導通連接絕緣檢查裝置1與電路基板CB。

電流供給手段2是與第一實施形態時同様，在檢查對象的配線圖案與其他的配線圖案之間(以下稱為檢查對象間)施加用以進行絕緣檢查的特定電壓。

另外，此電流供給手段2會對檢查對象的配線圖案以外的全部配線圖案供給電流。

第一電壓檢測手段3是與第一實施形態時同様，檢測出檢查對象間的電壓。

可利用該第一電壓檢測手段3所檢測出的電壓值、及由電流供給手段2所供給的電流值，來算出檢查對象間的電阻值。更可利用該電阻值來檢查檢查對象間的絕緣性。

電流檢測手段4是與第一實施形態時同様，檢測出檢查對象間的電流。

電流供給端子8是與第一實施形態時同様，為了供給檢查對象間的電流，而經由接觸探針CP來與各配線圖案P連接。

該電流供給端子8是具有：連接電流供給手段2的上游側(正極側)與配線圖案之上游側電流供給端子81、及連接電流供給手段2的下游側(負極側)或電流檢測手段4與配線圖案P之下游側電流供給端子82。

如圖3所示，該電流供給端子8的上游側電流供給端子81及下游側電流供給端子82是對各個的配線圖案P設置。

該等的上游側電流供給端子81及下游側電流供給端子82是分別具有切換手段7的開關元件SW，藉由該切換手段7的開關元件SW的ON/OFF動作來設定連接狀態/未連接狀態。

該電流供給端子8是配置有靜電放電(electro－static discharge)保護用的電阻。

電壓檢測端子9是與第一實施形態時同様，為了檢測出檢查對象間的電壓，而經由接觸探針CP來與各配線圖案P連接。

該電壓檢測端子9是具有：連接第一電壓檢測手段3的上游側(正極側)與配線圖案P之上游側電壓檢測端子91、及連接第一電壓檢測手段3的下游側(負極側)與配線圖案P之下游側電壓檢測端子92。

如圖3所示，該電壓檢測端子9的上游側電壓檢測端子91及下游側電壓檢測端子92是對各個的配線圖案P設置。

該等的上游側電壓檢測端子91及下游側電壓檢測端子92是與電流供給端子8同様，分別具有切換手段7的開關元件SW，藉由該切換手段7的開關元件SW的ON/OFF動作來設定連接狀態/未連接狀態。

電流供給端子8及電壓檢測端子9是與第一實施形態時同様，對導通接觸於配線圖案P的一個接觸探針CP配置有4個的端子，且具備進行各端子的ON/OFF控制之4個的開關元件SW。

另外，在圖1中，將控制上游側電流供給端子81的動作之開關元件顯示為符號SW1，將控制上游側電壓檢測端子91的動作之開關元件顯示為符號SW2，將控制下游側電流供給端子82的動作之開關元件顯示為符號SW3，將控制下游側電壓檢測端子92的動作之開關元件顯示為符號SW4。

切換手段7是由導通連接至上述各接觸探針CP的複數個開關元件SW所構成。此切換手段7是根據來自後述的控制手段6之動作信號，控制ON/OFF的動作。

此第二實施形態的絕緣檢查裝置100是具有第二切換手段71。此第二切換手段71是使下游側電流供給端子82能夠形成與上游側電流供給端子81等電位的方式連接，或使與第一電壓檢測手段3的下游側連接。在此圖4中是與第一電壓檢測手段3的下游側連接，且與電流檢測手段4串連。

如上述，該第二切換手段71是將連接至檢查對象的配線圖案之下游側電流供給端子82連接至電流供給手段2的上游側或電流檢測手段4的上游側，但在連接至電流供給手段2的上游測時，可為與上游側電流供給端子81等電位。

亦即，在第二實施形態的絕緣檢查裝置100是先將全部的配線圖案充電。

一旦第二切換手段71將下游側電流供給端子82連接至電流檢測手段4的上游側，則檢查對象的配線圖案的電位會降下。

因此，第二切換手段71可控制檢查對象的配線圖案的電位高低。

第二實施形態的絕緣檢查裝置100可藉由第二切換手段71來使檢查對象的配線圖案的電位降下，但為了控制該降下，最好設置電壓控制手段2’。

藉由此電壓控制手段2’的設置，在利用第二切換手段71來使檢查對象的配線圖案的電位降下時，可控制其降下量。藉由如此控制降下量，可在檢查對象的配線圖案與其他的配線圖案間，控制檢查對象的配線圖案的電位降下時間，進而能夠確實地進行該降下時之瞬間放電的檢測。

第二電壓檢測手段50是在於檢測出下游側電流供給端子82及下游側電壓檢測端子92的電壓。具體而言，該第二電壓檢測手段50會檢測出下游側電流供給端子82與下游側電壓檢測端子92的電壓差。

此第二電壓檢測手段50，如圖3所示，具有算出下游側電流供給端子82與下游側電壓檢測端子92的電壓差分之比較器54及檢測出該差分的電壓計53。

該比較器54會求取下游側電流供給端子82與下游側電壓檢測端子92的電壓差分，電壓計53會檢測出該差分。

詳細如後述，藉由該第二電壓檢測手段50所檢測出的電壓值，來檢測出檢查對象的配線圖案P與其他的配線圖案間的瞬間放電。

第一電壓檢測手段3、電流檢測手段4或第二電壓檢測手段5所檢測出的電壓值或電流值是往後述的控制手段6，與第一實施形態的情況同様，被賦予經過時間資訊(作為時間序列的資訊)而發送。

控制手段6會選出檢查對象的配線圖案P，或根據來自第一電壓檢測手段3或第二電壓檢測手段5的電壓值來檢測出瞬間放電，發送切換手段7的動作指示信號。

此控制手段6，如圖1所示，具備選出手段61、判定手段62、記憶手段63。

選出手段61會從電路基板CB的複數個配線圖案P來選出檢查對象的配線圖案P，特定檢查對象的配線圖案P。藉由該選出手段61特定檢查對象的配線圖案P，依序選出進行絕緣檢查的配線圖案。

該選出手段61所進行之檢查對象的配線圖案的選出方法，例如可舉預先在記憶手段63中設定檢查對象的配線圖案的順序，按照此順序來選出檢查對象的配線圖案之方法。該選出方法可採用上述的方法，但只要是檢查對象的配線圖案可依序被選出的方法即可，並無特別加以限定。

該選出手段61所進行之具體的配線圖案的選出是藉由使用切換手段7來實施。例如，可藉由進行切換手段7的各開關元件SW的ON/OFF控制來選出檢查對象的配線圖案。

在第二實施形態的絕緣檢查裝置100中，對應於檢查對象的配線圖案之開關元件SW3會形成ON狀態。此時，開關元件SW4形成ON狀態也無妨。

並且，未從檢查對象選出的剩下配線圖案，是對應於該配線圖案的開關元件SW1及開關元件SW2會形成ON狀態。

該控制手段6亦控制第二切換手段71的動作，如上述，控制檢查對象的配線圖案的電位。

例如，在圖5或圖6所示的實施形態是顯示以配線圖案P1作為檢查對象的情況時。此情況，選出手段61會選出連接至配線圖案P1的下游側電流供給端子82及下游側電壓檢測端子92，以使該等端子82、92的開關元件SW3及開關元件SW4能夠形成ON狀態之方式發送信號。

切換手段7接受該信號，使開關元件SW3及開關元件SW4動作。

並且，同時以對應於檢查對象的配線圖案以外的配線圖案(剩下的配線圖案)之開關元件SW1及開關元件SW2能夠形成ON狀態之方式發送催促的信號。

如上述説明，藉由選出手段61，從電路基板CB的複數個配線圖案P來選擇檢查對象的配線圖案P。

該第二實施形態之絕緣檢查裝置100的選出手段61所選出的配線圖案P是從形成於電路基板CB上的複數個配線圖案來選出1個配線圖案P。亦即，在藉由選出手段61所選出的1個配線圖案P、與剩下的全部配線圖案P之間實施絕緣檢查。

藉由如此選出配線圖案P，可效率佳地處理絕緣檢查。

判定手段62是根據來自第二電壓檢測手段5的電壓值，判定瞬間放電的發生。此判定手段62所進行的判定，可設定成只要所被檢測出的電壓值高於預定的臨界值，則判定成發生瞬間放電。又，亦可設定成將第二電壓檢測手段5的電壓值與良品時的電壓值作比較，根據其差分來檢測出瞬間放電的發生。

另外，此判定手段62亦可從電壓值的時間性變化量來檢測出瞬間放電。

一旦瞬間放電被檢測出，則會連絡此訊息給後述的顯示手段10。

在該控制手段6可設置檢測出瞬間放電的大小之算出手段(未圖示)。此算出手段是在判定手段62檢測出瞬間放電時，從其電壓值及經過時間等來計算瞬間放電的能量。藉由該算出手段的結果，可辨識瞬間放電的大小，進而能夠辨識對電路基板CB之破損的大小的程度。

顯示手段10是在於顯示絕緣檢查的狀態。此顯示手段10會顯示瞬間放電的發現。

當設定成控制手段6的算出手段可算出瞬間放電的大小時，該被算出的瞬間放電的大小也會在該顯示手段10中被顯示。

其次，說明此第二實施形態的絕緣檢查裝置100的動作。

首先，檢查對象的電路基板CB的配線圖案P的資訊等會被儲存於記憶手段63。

其次，電路基板CB會被配置於特定的檢查位置，且在形成於電路基板CB上的配線圖案P上的檢查點配置接觸探針。

一旦準備好電路基板CB，則開始絕緣檢查。

此時，選出手段61會選出檢查對象的配線圖案P。

一旦選出手段61選出檢查對象的配線圖案，則該選出手段61會對切換手段7特定作為該檢查對象所被選出的配線圖案P的下游側電流供給端子82及下游側電壓檢測端子92。然後，以用以使該被特定的下游側電流供給端子82與下游側電壓檢測端子92成為連接狀態的開關元件SW3、開關元件SW4能夠形成ON狀態的方式，從選出手段61來將動作信號傳送至切換手段7。

一旦切換手段7接受有關來自選出手段61之開關元件的ON/OFF動作的信號，則會按照此信號來進行開關元件SW的ON/OFF控制。

例如，當配線圖案P1為形成檢查對象的配線圖案時，連接至對應於配線圖案P1的下游側電流供給端子82及下游側電壓檢測端子92之開關元件SW3、開關元件SW4會形成ON狀態。

並且，此刻同時，為了使接觸於該配線圖案P1以外的配線圖案P2乃至配線圖案P4的接觸探針CP分別與上游側電流供給端子81及上游側電壓檢測端子91形成連接狀態，而控制成各個的上游側電流供給端子81的開關元件SW1及上游側電壓檢測端子91的開關元件SW2會形成ON狀態。

此情況，第二切換手段71是動作成可將下游側電壓檢測端子92連接至電流供給手段2的上游側(連接至圖5中的A側)。

另外，詳細如後述，藉由上述般的連接，對全部的配線圖案施加特定電壓。

圖5是表示本發明的絕緣檢查裝置的動作狀態之一實施形態。該圖5所示的動作狀態，如上述的説明，配線圖案P1會作為檢查對象而被選出。因此，配線圖案P1是開關元件SW3及開關SW4會形成ON狀態，而與下游側電流供給端子82及下游側電壓檢測端子92連接。

此時，檢查對象以外的配線圖案P2乃至配線圖案P4是開關元件SW1及開關元件SW2會形成ON狀態，而與上游側電流供給端子81及上游側電壓檢測端子91連接。

在此，如圖5所示，檢查對象的配線圖案P1的下游側電流供給端子82會被連接至電流供給手段2的上游側，下游側電壓檢測端子92是被連接至第二電壓檢測手段50的一側。

如上述一旦開關元件SW被ON或OFF控制，則會在配線圖案全體開始充電。

一旦全部的配線圖案P的電位達到特定電位，則第二切換手段71會將開關切換至B側(參照圖6)。因此，下游側電流供給端子92會被連接至第二電流檢測手段4，且檢查對象的配線圖案P1的電位會降低。此時，電壓控制手段2’是進行檢查對象的配線圖案的電位降下(降下量或降下時間)的控制，即使是在該電壓降下時，還是可檢測出檢查對象的配線圖案與其他配線圖案間的瞬間放電。

總之，僅檢查對象的配線圖案會產生電位的變化(低下)，會產生檢查對象的配線圖案P1與剩下的配線圖案P2~配線圖案P4的電位差。

此時，在檢查對象間存在絕緣不良時，會發生瞬間放電。藉由此瞬間放電，電流會流入檢查對象的配線圖案P1，因此在下游側電流檢測端子82與下游側電壓檢測端子92會產生電位差。

其結果，在第二電壓檢測手段50會檢測出該瞬間放電起因的電壓。

其次，第二切換手段71會從開關A側切換至B側，經過充分的時間後，亦即檢查對象的配線圖案的電位降低至大概零，在檢查對象間產生特定的電位差之後，在檢查對象間發生瞬間放電時，瞬間放電起因的電流會流入檢查對象的配線圖案P1。因此，在下游側電流檢測端子82與下游側電壓檢測端子92會產生電位差。

其結果，在第二電壓檢測手段50會檢測出該瞬間放電起因的電壓。

一旦控制手段6接受來自第二電壓檢測手段50的電壓值，則在判定手段62中，該電壓值會與特定臨界值作比較。此時，若電壓值大於臨界值，則判定手段62會判定發生瞬間放電，且將此訊息傳送至顯示手段10而予以顯示。

圖7是表示本發明的絕緣檢查裝置所檢測出的電壓值的變化之一實施例。該圖7(a)是表示顯示檢查對象間的瞬間放電的狀態之電壓變化，圖7(b)是表示顯示本發明的絕緣檢查裝置的瞬間放電檢測的狀態之電壓變化。

如上述，本發明的絕緣檢查裝置100是檢測出檢查對象的配線圖案的下游側電流供給端子82與下游側電壓檢測端子92之間的電壓差，藉由該差分來檢測出瞬間放電。

此情況，第一電壓檢測手段3，如圖6所示，在電流供給手段2將電流開始供給至全部的配線圖案之後(時刻t5)，其電壓值會上昇(檢查對象的全部配線圖案上昇至特定的電位)。

在此，一旦形成絕緣檢查時所必要的特定電壓值(時刻t6)，則為了使檢查對象的配線圖案的電位降下，第二切換手段71會將開關連接至B側(時刻t7)。如此一來，如圖7(a)所示，電壓值會降低至大概零(時刻t9)。

此時，如圖7(a)所示，在時刻t8發生瞬間放電時，瞬間放電的電流會流至下游側電壓供給端子82。如此一來，在下游側電流供給端子82與下游側電壓檢測端子92之間會產生電位差。其結果，第二電壓檢測手段50會檢測出該電位差的電壓。因此，在時刻t8發生瞬間放電時，第二電壓檢測手段50會檢測出瞬間放電所造成的電壓變化。

另外，該時刻t6與時刻t7之間的時間，特別是其長度未被設定，可由使用者適當設定，但為了縮短檢查時間最好儘可能短。並且，電壓控制手段2’會控制時刻t7與時刻t9的電位降下。

一旦檢查對象的配線圖案的電壓形成大概零，則檢查對象間的電位差會被設定成特定檢查電壓，開始絕緣檢查。另外，此情況，在瞬間放電未發生時，第二電壓檢測手段50會因為未發生下游側電流供給端子82與下游側電壓檢測端子92的電位差，所以第二電壓檢測手段50會檢測出電位差零，電壓零。

此時，當檢查對象間發生瞬間放電時，此情況和上述同様，電流會流入檢查對象的配線圖案，第二電壓檢測手段50會檢測出電壓的變化。

圖7(b)是在時刻t10發生瞬間放電。此情況，藉由發生瞬間放電，電流會流入檢查對象的配線圖案，藉由此電流的流入，在下游側電流供給端子82與下游側電壓檢測端子92之間產生電壓。如此一來，第二電壓檢測手段50會檢測出該電壓，將電壓值傳送至控制手段6。

特別是在如此的瞬間放電檢測時，使檢查對象的配線圖案的電位降低，在進行取得特定的電壓後的絕緣檢查時所發生的瞬間放電(如時刻t10的瞬間放電)發生時，第二電壓檢測手段5會檢測出從大概零的電壓急速上昇的電壓。因此，可容易進行瞬間放電檢測。

圖7(b)是設定供以控制手段6的判定手段62檢測出瞬間放電的臨界值。例如，圖7(b)所示的二點鎖線α(設定α)是設定成比在時刻t7~時刻t9間施加於保護電阻的電壓值更大的電壓值。該設定α的情況，是在第二電壓檢測手段5所檢測出的電壓值超過設定值α的時間點判定瞬間放電發生。此情況，僅設定α便可容易進行瞬間放電檢測。

並且，圖7(b)所示的一點鎖線β(設定β)是設定從時刻t5到時刻t7前與時刻t7以後有所不同的設定值。此設定β時，補正第二電壓檢測手段5所檢測出之充電時的保護電阻的電壓值。因此，比設定α時更可精度佳地檢測出瞬間放電。

該等設定α及設定β可由使用者適當設定，其具體的設定值受保護電阻的電阻值等影響，因此由使用者適當設定。

該設定β時，相較於設定α，藉由設定成可根據經過時間及第一電壓檢測手段3的電壓檢測結果來變更電壓臨界值，所以可更精度佳地檢測出瞬間放電。

一旦控制手段6判定瞬間放電發生，則會將瞬間放電發生的情況顯示於顯示手段10。並且，此刻，藉由算出手段來算出瞬間放電的大小。

該算出手段所算出的瞬間放電的大小，可算出比用以檢測出瞬間放電的臨界值更大的電壓值所存在的面積。例如，在算出圖7所示的時刻t8發生的瞬間放電的大小時，可藉由求取比設定α的設定值更大的場所的面積來算出其大小(圖7(b)所示的二點鎖線α及電壓值變移所圍繞的部份(以斜線所示的部份))。

該算出手段所算出的瞬間放電的大小也會被顯示於顯示手段10。

如上述，當瞬間放電發生時，瞬間放電發生的訊息會被通知，且算出該瞬間放電的大小，與瞬間放電同時顯示該大小。因此，使用者可藉由檢測出電壓值來容易檢測出絕緣檢查中發生的瞬間放電，且該瞬間放電的大小亦可得知。

在此絕緣檢查裝置100是進行檢查對象的一個配線圖案及剩下全部的配線圖案的絕緣檢查，一旦該檢查對象的一個配線圖案的絕緣檢查終了，則其次的配線圖案會作為檢查對象而被選擇一個，和剩下全部的配線圖案的絕緣檢查會被重複進行。如此一來設於被檢查基板的配線圖案全體會作為檢查對象的配線圖案來進行絕緣檢查。

另外，在檢查途中發生瞬間放電的被檢查基板會作為不良品來處理。

以上為本發明的第二實施形態的絕緣檢查裝置100的説明。

圖8是表示本發明的第三實施形態的絕緣檢查裝置101的概略構成。此第三實施形態的絕緣檢查裝置101基本的構成是與第二實施形態的絕緣檢查裝置100同様形成，但不具有第二實施形態的絕緣檢查裝置100所具有的第二切換手段71。

在第二實施形態的絕緣檢查裝置100是利用該第二切換手段71來進行檢查對象的配線圖案的電壓降下，但在第三實施形態的絕緣檢查裝置101則是利用其電壓控制手段2’來進行檢查對象的配線圖案的電位控制。

更具體而言，第三實施形態的絕緣檢查裝置101是在對全部的配線圖案賦予特定電位時，設定成電壓控制手段2’與電流供給手段2可取得同電位。其次，在使檢查對象的配線圖案的電位降下時，控制成電壓控制手段2’可具有比電流供給手段2的電位更低的電位，藉此使檢查對象的配線圖案的電位降下。

第三實施形態的絕緣檢查裝置101是除了使檢查對象的配線圖案的電位降下的方法與使用第二實施形態的絕緣檢查裝置100的第二切換手段71時有所不同以外，其檢查方法是同様，因此省略説明。

另外，此第三實施形態的絕緣檢查裝置101的電壓控制手段2’所被連接的位置並非限於圖8所示的位置，只要是可控制檢查對象的配線圖案的下游側電流檢測端子82及下游側電壓檢測端子92的電位之位置即可，並無特別加以限定。

第一實施形態的絕緣檢查裝置1、第二實施形態的絕緣檢查裝置100及第三實施形態的絕緣檢查裝置101是藉由檢測出連接至檢查對象的配線圖案之上游側或下游側所設定的電流供給端子及電壓檢測端子與端子間的電壓來檢測出瞬間放電。

因此，三個絕緣檢查裝置皆可檢測出瞬間放電起因的些微電壓變化，可進行精度更高的檢查。

並且，該等表示第一乃至第三實施形態的絕緣檢查裝置的概略構成的圖面，是在檢測出電壓檢測端子與電流供給端子間的電壓時，構成可檢測出包含靜電放電(ESD)保護用的電阻及開關元件SW的電壓，但亦可藉由不含開關元件SW的電阻，使更為提升電壓檢測的精度。此情況，例如可藉由將上游側電壓檢測端子、上游側電流供給端子、下游側電壓檢測端子及下游側電流供給端子予以分別設置2個來消去開關元件SW的電阻部份。

而且，本發明的瞬間放電檢測裝置是如上述藉由檢測出電流供給端子與電壓檢測端子間的電位來檢測出瞬間放電，但該電流供給端子及電壓檢測端子或開關元件並非限於圖9(a)所示的開關電路構成。例如，圖9(b)所示的開關電路構成，是根據圖9(a)的開關電路構成，在上游側電流供給端子81及下游側電流供給端子82與上游側電壓檢測端子91及下游側電壓檢測端子92分別設有靜電放電保護用的電阻R。

此外，圖9(c)的開關電路構成，是電流供給端子8及電壓檢測端子9會分別被連接至一個的電阻R，且上游側及下游側並連。

圖9所示的任何開關電路構成皆可由使用者來適當變更，並非限於本說明書中所説明的圖9(a)的電路構成。

1．．．第一實施形態的絕緣檢查裝置

100．．．第二實施形態的絕緣檢查裝置

101．．．第三實施形態的絕緣檢查裝置

2．．．電流供給手段

3．．．第一電壓檢測手段

4．．．電流檢測手段

5．．．第二電壓檢測手段

50．．．第二電壓檢測手段

6．．．控制手段

7．．．切換手段

71．．．第二切換手段

81．．．上游側電流供給端子

82．．．下游側電流供給端子

91．．．上游側電壓檢測端子

92．．．下游側電壓檢測端子

P．．．配線圖案

圖1是表示本發明的絕緣檢查裝置之一實施形態的概略構成圖。

圖2是表示本發明的絕緣檢查裝置的動作狀態之一實施形態。

圖3是表示本發明的絕緣檢查裝置所檢測出的電壓值的變化之一實施例，圖3(a)是表示顯示檢查對象間的瞬間放電的狀態之電壓變化，圖3(b)是表示顯示本發明的絕緣檢查裝置的瞬間放電檢測的狀態之電壓變化。

圖4是表示本發明的第二實施形態的絕緣檢查裝置的概略構成。

圖5是表示本發明的第二實施形態的絕緣檢查裝置的動作狀態之一實施形態，表示對檢查對象的配線圖案全體供給電流的狀態。

圖6是表示本發明的第二實施形態的絕緣檢查裝置的動作狀態之一實施形態，表示在檢查對象間的電壓會形成特定電壓，進行絕緣檢查的狀態。

圖7是表示本發明的絕緣檢查裝置所檢測出的電壓值的變化之一實施例，(a)是表示顯示檢查對象間的瞬間放電的狀態之電壓變化，(b)是表示顯示本發明的絕緣檢查裝置的瞬間放電檢測的狀態之電壓變化。

圖8是表示本發明的第三實施形態的絕緣檢查裝置的概略構成。

圖9是表示本發明的瞬間放電檢測裝置的電流供給端子、電壓檢測端子及開關元件的概略構成圖。

圖10是表示以往的瞬間放電檢測裝置之檢測出電壓的變化的狀態之一實施例。

1．．．第一實施形態的絕緣檢查裝置

2．．．電流供給手段

5．．．第二電壓檢測手段

52．．．比較器

51．．．電壓計

6．．．控制手段

61．．．選出手段

62．．．判定手段

63．．．記憶手段

10．．．顯示手段

4．．．電流檢測手段

3．．．第一電壓檢測手段

P1－P4．．．配線圖案

SW1－SW4．．．開關元件

7．．．控制手段

8．．．電流供給端子

81、82．．．上游側電流供給端子

9．．．電壓檢測端子

91．．．上游側電壓檢測端子

92．．．下游側電壓檢測端子

CP．．．接觸探針

R．．．電阻

CB．．．電路基板

Claims (6)

1. 一種絕緣檢查裝置，係於形成有複數的配線圖案的電路基板中，從上述複數的配線圖案，以被設定於上游側的配線圖案及被設定於下游側的配線圖案之間作為成檢查對象的配線圖案間來選擇，進行該配線圖案間的絕緣檢查之絕緣檢查裝置，其特徵係具備：上游側電流供給端子，其係對應於每個上述複數的配線圖案，供給電流至設定於上游側的該配線圖案；下游側電流供給端子，其係對應於每個上述複數的配線圖案，導通連接至設定於下游側的該配線圖案；電流供給手段，其係經由上述上游側電流供給端子及上述下游側電流供給端子來供給電壓於該配線圖案間；電阻，其係串聯配置在上述上游側電流供給端子與設定於上述上游側的配線圖案之間；上游側電壓檢測端子，其係對應於每個上述複數的配線圖案，導通連接至設定於上述上游側的配線圖案；下游側電壓檢測端子，其係對應於每個上述複數的配線圖案，導通連接至設定於上述下游側的配線圖案；第一電壓檢測手段，其係檢測出上述上游側電壓檢測端子與上述下游側電壓檢測端子之間的電壓；第二電壓檢測手段，其係檢測出對應於成為上述檢查對象的配線圖案的上游側電流供給端子與上游側電壓檢測端子之間的電壓；及判定手段，其係藉由上述第二電壓檢測手段所檢測出 的電壓值超過預先設定的設定值時，判定成在上述檢查對象的配線圖案與其他的配線圖案之間發生瞬間放電。
2. 如申請專利範圍第1項之絕緣檢查裝置，其中，上述絕緣檢查裝置更具備切換手段，該切換手段係使上述上游側電壓檢測端子及上述上游側電流供給端子與上述檢查對象的配線圖案成為導通狀態，且，使上述下游側電壓檢測端子及上述下游側電流供給端子與上述檢查對象的配線圖案以外的全部配線圖案成為導通狀態。
3. 一種絕緣檢查裝置，係於形成有複數的配線圖案的電路基板中，從上述複數的配線圖案，以被設定於上游側的配線圖案及被設定於下游側的配線圖案之間作為成檢查對象的配線圖案間來選擇，進行該配線圖案間的絕緣檢查之絕緣檢查裝置，其特徵係具備：下游側電流供給端子，其係對應於每個上述複數的配線圖案，供給電流至設定於下游側的該配線圖案；上游側電流供給端子，其係對應於每個上述複數的配線圖案，導通連接至設定於上游側的該配線圖案；電流供給手段，其係經由上述上游側電流供給端子及上述下游側電流供給端子來供給電壓於該配線圖案間；電阻，其係串聯配置在上述上游側電流供給端子與設定於上述上游側的配線圖案之間；下游側電壓檢測端子，其係對應於每個上述複數的配線圖案，導通連接至設定於上述下游側的配線圖案； 上游側電壓檢測端子，其係對應於每個上述複數的配線圖案，導通連接至設定於上述上游側的配線圖案；第一電壓檢測手段，其係檢測出上述上游側電壓檢測端子與上述下游側電壓檢測端子之間的電壓；第二電壓檢測手段，其係檢測出對應於成為上述檢查對象的配線圖案的上游側電流供給端子與上游側電壓檢測端子之間的電壓；及判定手段，其係藉由上述第二電壓檢測手段所檢測出的電壓值超過預先設定的設定值時，判定成在上述檢查對象的配線圖案與其他的配線圖案之間發生瞬間放電。
4. 如申請專利範圍第3項之絕緣檢查裝置，其中，上述絕緣檢查裝置更具備切換手段，該切換手段係使上述下游側電流供給端子及上述下游側電壓檢測端子與上述檢查對象的配線圖案成為導通狀態，且，使上述上游側電流供給端子及上述上游側電壓檢測端子與上述檢查對象的配線圖案以外的全部配線圖案成為導通狀態。
5. 一種絕緣檢查方法，係於形成有複數的配線圖案的電路基板中，從上述複數的配線圖案，以被設定於上游側的配線圖案及被設定於下游側的配線圖案之間作為成檢查對象的配線圖案間來選擇，進行該配線圖案間的絕緣檢查之絕緣檢查方法，其特徵係包含：從電路基板上的複數的配線圖案來選擇成為檢查對象的上游側及下游側的配線圖案之工程； 對應於每個上述複數的配線圖案，將上游側電流供給端子導通連接至設定於上游側的該配線圖案之工程；對應於每個上述複數的配線圖案，將下游側電流供給端子導通連接至設定於下游側的該配線圖案之工程；將電阻串聯配置於上述上游側電流供給端子與設定於上述上游側的配線圖案之間之工程；經由上述上游側電流供給端子及上述下游側電流供給端子來供給電壓至該配線圖案間之工程；對應於每個上述複數的配線圖案，將上游側電壓檢測端子導通連接至設定於上述上游側的配線圖案之工程；對應於每個上述複數的配線圖案，將下游側電壓檢測端子導通連接至設定於上述下游側的配線圖案之工程；藉由第一電壓檢測手段來檢測出上述上游側電壓檢測端子與上述下游側電壓檢測端子之間的電壓之工程；藉由第二電壓檢測手段來檢測出對應於成為上述檢查對象的配線圖案的上游側電流供給端子與上游側電壓檢測端子之間的電壓之工程；及當藉由上述第二電壓檢測手段所檢測出的電壓值超過預先設定的設定值時，判定成在上述檢查對象的配線圖案與其他的配線圖案之間發生瞬間放電之工程。
6. 一種絕緣檢查方法，係於形成有複數的配線圖案的電路基板中，從上述複數的配線圖案，以被設定於上游側的配線圖案及被設定於下游側的配線圖案之間作為成檢查對象的配線圖案間來選擇，進行該配線圖案間的絕緣檢查 之絕緣檢查方法，其特徵係包含：從電路基板上的複數的配線圖案來選擇成為檢查對象的上游側及下游側的配線圖案之工程；對應於每個上述複數的配線圖案，將下游側電流供給端子導通連接至設定於下游側的該配線圖案之工程；對應於每個上述複數的配線圖案，將上游側電流供給端子導通連接至設定於上游側的該配線圖案之工程；將電阻串聯配置於上述上游側電流供給端子與設定於上述上游側的配線圖案之間之工程；經由上述上游側電流供給端子及上述下游側電流供給端子來供給電壓至該配線圖案間之工程；對應於每個上述複數的配線圖案，將下游側電壓檢測端子導通連接至設定於上述下游側的配線圖案之工程；對應於每個上述複數的配線圖案，將上游側電壓檢測端子導通連接至設定於上述上游側的配線圖案之工程；藉由第一電壓檢測手段來檢測出上述上游側電壓檢測端子與上述下游側電壓檢測端子之間的電壓之工程；藉由第二電壓檢測手段來檢測出對應於成為上述檢查對象的配線圖案的下游側電流供給端子與下游側電壓檢測端子之間的電壓之工程；及當藉由上述第二電壓檢測手段所檢測出的電壓值超過預先設定的設定值時，判定成在上述檢查對象的配線圖案與其他的配線圖案之間發生瞬間放電之工程。