TWI531799B - Kevin touch probe and with this Kevin inspection fixture - Google Patents

Description

凱文接觸探針及具備此之凱文檢查治具

本發明係關於接觸探針及具備此之凱文檢查治具，尤其關於進行半導體積體電路之時所使用之凱文接觸探針及具備此之凱文檢查治具。

以往，作為進行2端子電路之測量的方法，所知的有藉由凱文連接之測量法(4端子電阻測量法)。在藉由凱文連接之測量法中，於2端子電路之每端子，連接電流供給電路之探針和電壓測量電路之探針，可以不受電流供給電路及電壓測量電路之電路電阻，或各探針和端子間之接觸電阻之影響，進行2端子電路之測量。

就以使用藉由凱文連接之測量法，檢查半導體積體電路或半導體裝置等(以下，稱為「IC」等)之凱文檢查治具而言，提案有例如揭示於專利文獻1之技術。該凱文檢查治具具有配置成互相平行之兩根接觸探針。各接觸探針具有接觸於IC之焊球電極的電極側前端部，和連接檢查電路之電路基板之銲墊的銲墊側前端部。各電極側前端部具有以互相不同之角度對接觸探針之軸方向傾斜之兩個傾斜面，和以該些傾斜面形成之稜線，配置成各稜線互相面對面。

藉由該構成，以往之凱文檢查治具因電極側前端部之稜線一面陷入焊球電極一面接觸，故焊球電極之表面之氧 化物等被破壞，確實電性連接接觸探針和焊球電極。

〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕

[專利文獻1]日本特開2008-96368號公報

然而，近年來，在IC等中，隨著朝積體電路之小型化，平面電極或焊球電極等之窄間距化發展，也追求電極本身之尺寸的極小化。在如此之狀況下，在以往之凱文檢查治具中，有以下之課題。

(1)在以往之凱文檢查治具中，因係配置成電極側前端部之各稜線互相面對面之構成，故有IC等之電極為焊球之時雖然可以某程度地對應於窄間距化，但是於IC等之電極為平面電極之時則難以對應窄間距化之課題。

(2)在以往之凱文檢查治具中，因以兩條接觸探針之間距決定銲墊側前端部之間距之構成，故當對應於電極之窄間距化時，有電路基板之銲墊或配線圖案變成窄間距而成為無法製作之情形，或即使能夠製作也有電路基板之製造成本變大之課題。

本發明係為了解決以往之課題而研究出，其目的為提供不管被檢查體之電極形狀，可以對應於電極之窄間距化，而且可以回避電路基板之製造成本增加的凱文接觸探針(Kelvin contact probe)及具備此之凱文檢查治具。

本發明之凱文接觸探針係由電性連接被設置在被檢查體之一個電極和被設置在電路基板之兩個銲墊之各個的兩根接觸探針所構成，被配置成一方之接觸探針和另一方之接觸探針互相呈軸平行的凱文接觸探針，上述一方及上述另一方之接觸探針係由接觸於上述電極之電極側接觸端子，和接觸於上述銲墊之銲墊側接觸端子，和被設置於上述電極側接觸端子和上述銲墊側接觸端子之間的金屬製彈簧所構成，上述電極側接觸端子具有：圓板狀之電極側接觸端子凸緣部；從上述電極側接觸端子凸緣部之上述電極側面延伸，由平面狀之電極側接觸端子旋轉防止面和半圓弧面狀之電極側接觸端子半圓弧面所構成之電極側接觸端子旋轉防止部；從上述電極側接觸端子半圓弧面之前端中央朝向上述電極側接觸端子凸緣部傾斜之面的電極側傾斜面部；和直徑小於從上述電極側接觸端子凸緣部之上述銲墊側面之中心延伸之上述電極側接觸端子凸緣部的圓柱棒，上述銲墊側接觸端子具有：圓板狀之銲墊側接觸端子凸緣部；從上述銲墊側接觸端子凸緣部之上述銲墊側面延伸，由平面狀之銲墊側接觸端子旋轉防止面和半圓弧面狀之銲墊側接觸端子半圓弧面所構成之銲墊側接觸端子旋轉防止部；從上述銲墊側接觸端子半圓弧面之前端中央朝向上述銲墊側接觸端子凸緣部傾斜之面的銲墊側傾斜面部；直徑小於從上述銲墊側接觸端子凸緣部之上述電極側面之中心 延伸之上述銲墊側接觸端子凸緣部且上述圓柱棒被插入的圓筒棒，上述金屬彈簧被配置在上述電極側接觸端子凸緣部之上述銲墊側面和上述銲墊側接觸端子凸緣部之上述電極側面之間，上述一方之接觸探針和上述另一方之接觸探針被配置成上述各電極側傾斜面互相朝向相反側，並且被配置成上述各銲墊側傾斜面互相對向。

藉由該構成，本發明之凱文接觸探針因一方之接觸探針和另一方之接觸探針被配置成各電極側傾斜面朝向互相相反側，並且配置成各銲墊側傾斜面互相對向，故不管被檢查體之電極形狀，亦可以對應於電極之窄間距化，而且可以回避電路基板之製造成本增加。

再者，本發明之凱文接觸探針具有下述構成，上述各電極側接觸端子在上述電極側傾斜面之頂部具有形成至少一個溝部而設置的複數之頂點。

藉由該構成，本發明之凱文接觸探針因可以使複數之頂點接觸於被檢查體之電極，故可以取得更安定之接觸狀態。

本發明之凱文檢查治具係具備有凱文接觸探針之凱文檢查治具，具有下述之構成，具備：框體，其係形成有保持上述一方及上述另一方之接觸探針的貫通孔；電極側保持體，其係保持上述電極側接觸端子；及銲墊側保持體，其係保持上述銲墊側接觸端子。

藉由該構成，本發明之凱文檢查治具不管被檢查體之電極形狀，可以對應於電極之窄間距化，而且可以回避電 路基板之製造成本增加。

本發明之凱文檢查治具係以具有下述構成為佳，具備有連結部，其係被設置在上述一方之接觸探針和上述另一方之接觸探針之間，連結上述電極側保持體和上述銲墊側保持體。

本發明之凱文檢查治具係以具有下述構成為佳，具備覆蓋上述一方及上述另一方之接觸探針之外圍的覆蓋構件。

本發明提供具有不管被檢查體之電極形狀，可以對應於電極之窄間距化，而且可以回避電路基板之製造成本增加之效果的凱文接觸探針(Kelvin contact probe)及具備此之凱文檢查治具。

以下使用圖面針本發明之實施型態予以說明。

(第1實施型態)

如第1圖所示般，本實施型態中之凱文檢查治具100係將BGA(Ball Graid Array)型之IC60當作被檢查體，藉由凱文連接檢查被設置在IC60之下面的焊球61和62之間的電阻。在凱文檢查治具100之下面側，配置有連接來自電流供給電路或電壓測量電路之配線(省略圖示)之 電路基板70。在電路基板70之上面形成有銲墊71~74。

凱文檢查治具100具備接觸探針10、20、30及40、框體51、電極側保持體52、押板53、螺絲54、銲墊側保持體55、螺絲56。

為接觸探針10及20接觸於焊球61，接觸探針30及40接觸於焊球62之構成。如圖示般，接觸探針10之構成和接觸探針20、30及40之構成要素雖然相同，但是為了方便，賦予與接觸探針10之符號不同之符號。並且，接觸探針10及20、接觸探針30及40各自構成與本發明有關之凱文接觸探針。

接觸探針10具備接觸於焊球61之金屬製之電極側接觸端子11、和接觸於銲墊71之金屬製之銲墊側接觸端子12，和被設置在電極側接觸端子11和銲墊側接觸端子12之間的金屬製之彈簧13。

同樣，接觸探針20具備接觸於焊球61之金屬製之電極側接觸端子21、和接觸於銲墊72之金屬製之銲墊側接觸端子22，和被設置在電極側接觸端子21和銲墊側接觸端子22之間的金屬製之彈簧23。

接著，針對接觸探針10及20之詳細構成，以第2圖為中心，適當使用第1圖予以說明。並且，在第2圖中，省略彈簧13及23之圖示。

如第2圖所示般，接觸探針10之電極側接觸端子11具備：圓板狀之電極側接觸端子凸緣部11a；從電極側接觸端子凸緣部11a之電極側面11b延伸，由平面狀之電極 側接觸端子旋轉防止面11c和半圓弧面狀之電極側接觸端子半圓弧面11d所構成之電極側接觸端子旋轉防止部11e；從電極側接觸端子半圓弧面11d之前端中央朝向電極側接觸端子凸緣部11a傾斜之面的電極側傾斜面部11f；直徑小於從電極側接觸端子凸緣部11a之銲墊側面11g之中心延伸的電極側接觸端子凸緣部11a之電極側接觸端子圓柱棒11h。

另外，接觸探針10之銲墊側接觸端子12具備：圓板狀之銲墊側接觸端子凸緣部12a；從銲墊側接觸端子凸緣部12a之銲墊側面12b延伸，且從平面狀之銲墊側接觸端子旋轉防止面12c和半圓弧面狀之銲墊側接觸端子半圓弧面12d所構成銲墊側接觸端子旋轉防止部12e；從銲墊側接觸端子半圓弧面12d之前端中央朝向銲墊側接觸端子凸緣部12a傾斜之面的銲墊側傾斜面部12f；及直徑小於從銲墊側接觸端子凸緣部12a之電極側面12g之中心延伸之銲墊側接觸端子凸緣部12a且電極側接觸端子圓柱棒11h被插入之銲墊側接觸端子圓筒棒12h。

在本實施型態中，電極側接觸端子11及21、銲墊側接觸端子12及22雖然作為加工金屬製之圓柱體而形成者，但是即使以加工例如三角柱體或多角柱體等者而形成亦可。

電極側傾斜面11f係從電極側接觸端子半圓弧面11d之前端中央朝向電極側接觸端子凸緣部11a傾斜之傾斜面，銲墊側傾斜面12f係從銲墊側接觸端子半圓弧面12d之 前端中央朝向銲墊側接觸端子凸緣部12a傾斜之傾斜面。在本實施型態中，雖然將各傾斜面之角度設為對接觸探針10之中心軸傾斜45度左右，但是並不限定於此。再者，電極側傾斜面11f及銲墊側傾斜面12f以互相平行為理想。

電極側接觸端子凸緣部11a之電極側面11b及銲墊側接觸端子凸緣部12a之銲墊側面12b，各自藉由彈簧13之反彈力推壓至電極側保持體52之下面及銲墊側保持體55之上面。

圓柱棒11h為被插入至形成在圓筒棒12h之穴，在圓柱棒11h及圓筒棒12h之外圍配置彈簧13。圓柱棒11h及圓柱棒12h和彈簧13之至少一方，電性連接電極側接觸端子11和銲墊側連接接觸端子12。

並且，接觸探針20之構成因與上述之接觸探針10之構成相同，故將從3文字所構成知參照符號之第1文字“1”設為“2”，第2文字及第3文字使用相同文字而予以圖示，省略說明。

如第1圖及第2圖所示般，接觸探針10及20係以電極側傾斜面11f和電極側傾斜面21f朝向互相相反側之方式，並且配置成銲墊側傾斜面12f和銲墊側傾斜面22f互相對向。

藉由該構成，電極側傾斜面11f及21f之各頂部互相接近而接觸焊球61。該些各頂部間之間隔能夠設定成0.08毫米程度。

再者，藉由該構成，互相隔離銲墊側傾斜面12f及22f之各頂部，各自接觸於銲墊71及72。該些各頂部間之間隔能夠設定成0.6毫米程度。

接著，針對接觸探針10及20之周邊構成，以第3圖為中心，適當使用第1圖及第2圖予以說明。

框體51係以電性絕緣材料構成，具有保持接觸探針10之貫通孔51a，和保持接觸探針20之貫通孔51b(第3圖(b))。

在框體51之上面配置有以電性絕緣材料所構成之電極側保持體52。在電極側保持體52之上面，設置固定電極側保持體52之押板53，押板53係藉由螺絲54而被固定於框體51。

在電極側保持體52，從上方觀看時形成有半圓形狀之貫通孔52a及52b(第3圖(a))。對應於貫通孔52a及52b之直線部分的平面各自形成對向於旋轉防止面11c及21c。藉由該構成，旋轉防止面11c及21c係可以防止繞電極側接觸端子11及21之中心軸旋轉。

在框體51之下面配置有以電性絕緣材料所構成之銲墊側保持體55。銲墊側保持體55係藉由螺絲56被固定於框體51。

在銲墊側保持體55，從下方觀看時形成有矩形狀之貫通孔55a及55b(第3圖(c))。貫通孔55a及55b各自具有對向於旋轉防止面12c及22c之對向面。藉由該構成，旋轉防止面12c及22c可以防止繞銲墊側接觸端子12 及22之中心軸旋轉。

接著，針對凱文檢查治具100之組裝工程予以簡單說明。首先，將銲墊側保持體55以螺絲56固定在框體51之後，將接觸探針10及20各自插入至貫通孔51a及51b。此時，以接觸探針10之銲墊側傾斜面12f和接觸探針20之銲墊側傾斜面22f互相對向之方式，將銲墊側接觸端子12及22各自插入至貫通孔55a及55b。

接著，接觸探針10之電極側傾斜面11f和接觸探針20之電極側傾斜面21f係以朝向互相相反方向之方式，調整電極側傾斜面11f及21f之方向。

然後，在框體51之上面依序配置電極側保持體52、押板53，使用螺絲54將押板53固定在框體51。

並且，接觸探針30及40也與接觸探針10及20相同地組裝。

在以上之說明中，雖然以IC60之電極當作焊球61及62而予以說明，但是本發明並不限定於此，即使於IC60具有窄間距之平面電極之時，亦可以適用。

如上述般，若藉由本實施型態中之凱文檢查治具100時，因配置成電極側傾斜面11f和電極側傾斜面21f朝向互相相反側，故例如IC60之焊球61及62之各直徑即使為0.26毫米程度，兩者之間隔為0.5毫米程度之窄間距，亦可以使電極側傾斜面11f及21f確實地接觸於焊球61。

再者，因被配置成電極側傾斜面11f和電極側傾斜面21f朝向互相相反側，故當搭載IC60時，電極側連接端子 11及21作用互相接近之方向的轉矩。

其結果，圓柱棒11h及21h確實與銲墊側接觸端子12及22之圓筒棒12h及22h確實接觸。

並且，若藉由本實施型態中之凱文檢查治具100時，因銲墊側傾斜面12f和銲墊側傾斜面22f被配置成互相對向，故不需要使電路基板70之銲墊71~74或連接於該些之配線之圖案窄間距化。

因此，本實施型態中之凱文檢查治具100不管被檢查體之電極形狀，可以對應於電極之窄間距化，而且可以回避電路基板70之製造成本增加。

(其他態樣1)

本發明並不限定於上述實施型態，可做各種變形態樣。例如，亦可以取代上述電極側接觸端子11而設成第4圖所示之構成。

第4圖所示之電極側接觸端子14係在電極側傾斜面14f之頂部形成V字溝14i，具有兩個頂點14j及14k。當將該電極側接觸端子14適用於接觸探針20側者稱為電極側接觸端子24時，電極側接觸端子14及24則如第5圖所示般與焊球61接觸。

第5圖(a)為從焊球61側觀看電極側接觸端子14及24之圖示，第5圖(b)為表示第5圖(a)中之A向視及B向視。如圖示般，在該型態中，相對於焊球61，四個頂點14j、14k、24j、24k呈接觸，取得更安定之接觸 狀態。並且，形成在電極側接觸端子14及24之各頂部之溝，並不限定於V字狀之溝，再者即使為形成複數之溝而設置三個以上之頂點的構成亦可。

(其他態樣2)

再者，在上述之實施型態中，雖然以電極側11f和銲墊側傾斜面12f互相平行，且電極側傾斜面21f和銲墊側傾斜面22f互相平行之構成例予以說明，但是亦可以構成第6圖所示般。

第6圖所示之接觸探針10A及20A各自具備銲墊側接觸端子15及25。在焊錫側接觸端子15，形成有焊錫側傾斜面15f₁及15f₂。再者，在焊錫側接觸端子25，形成有焊錫側傾斜面25f₁及25f₂。焊錫側傾斜面15f₁不與電極側傾斜面11h平行，再者，焊錫側傾斜面25f₁為不與電極側傾斜面21f平行之構成。

並且，即使將焊錫側傾斜面15f₁及15f₂之構成適用於電極側接觸端子11，將焊錫側傾斜面25f₁及25f₂之構成適用於電極側接觸端子21亦可。

(其他態樣3)

並且，亦可以設成第7圖所示之構成。第7圖所示之接觸探針10B及20B各自具備銲墊側接觸端子16及26。銲墊側接觸端子16之前端部從形成在銲墊側保持體57之貫通孔57a突出，在前端形成有圓錐狀之銲墊側傾斜面 16f。同樣，銲墊側接觸端子26之前端部從形成在銲墊側保持體57之貫通孔57b突出，在前端形成有圓錐狀之銲墊側傾斜面26f。在該構成中，不需要防止繞銲墊側接觸端子16及26之中心軸旋轉之手段。

(其他態樣4)

並且，亦可以設成第8圖所示之構成。第8圖所示之接觸探針10C及20C相對於第3圖所示之接觸探針10及20，構成要素各為相同，銲墊側傾斜面12f及22f之方向不同。

即是，如第8圖(c)所示般，接觸探針10C之銲墊側接觸端子12為從下面側觀看使第3圖所示之銲墊側接觸端子12反時鐘旋轉90度者。再者，接觸探針20C之銲墊側接觸端子22為從下面側觀看使第3圖所示之銲墊側接觸端子22順時鐘旋轉90度者。並且，銲墊側接觸端子12及22之旋轉角度並不限定於90度。

在銲墊側保持體55當從下方觀看時形成有矩形狀之貫通孔55c。貫通孔55c具有對向於旋轉防止面12c及22c之對向面。藉由該構成，旋轉防止面12c及22c可以防止繞銲墊側接觸端子12及22之中心軸旋轉。

(第2實施型態)

第9圖為表示本發明之第2實施型態中之凱文檢查治具200之圖示。

本實施型態中之凱文檢查治具200具備框體81及保持體82。

框體81形成有保持接觸探針10及20之貫通孔81a。

保持體82使用電性絕緣材料而一體成形者。該保持體82具備電極側保持體82a、銲墊側保持體82b，及連結電極側保持體82a和銲墊側保持體82b之連結部82c。

在電極側保持體82a，從上方觀看時形成有半圓形狀之貫通孔82d及82e(第9圖(a))。藉由該構成，旋轉防止面11b及21b係可以防止繞電極側接觸端子11及21之中心軸旋轉。再者，銲墊側保持體82b當從下方觀看為矩形狀。藉由該構成，旋轉防止面12c及22c可以防止繞銲墊側接觸端子12及22之中心軸旋轉(第9圖(c))。

接著，針對凱文檢查治具200之組裝工程予以簡單說明。首先，將接觸探針10及20組裝於保持體82。具體而言，將接觸探針10之電極側接觸端子11插入至貫通孔82d，一面壓縮螺絲13一面使銲墊側接觸端子12之銲墊側面12b載置在銲墊側保持體82b之上面。同樣，將接觸探針20組裝於保持體82。其結果，成為電極側傾斜面11f和電極側傾斜面21f朝向互相相反側之構成。再者，成為銲墊側傾斜面12f和銲墊側傾斜面22f互相對向之構成。並且，將接觸探針10及20組裝於保持體82者記載成「接觸探針組裝體」。

接著，將接觸探針組裝體從框體81之上面側插入至 貫通孔81a。然後，在框體81之上面配置押板53，使用螺絲54將押板53固定在框體81。

如上述般，本實施型態中之凱文檢查治具200因設為事先製作接觸探針組裝體而組裝於框體81之構成，故容易進行組裝作業。

(第3實施型態)

第10圖為表示本發明之第3實施型態中之凱文檢查治具300之圖示。

本實施型態中之凱文檢查治具300具備框體91及保持體92。

在框體91，形成保持接觸探針10及20的貫通孔91a、承接後述之銲墊側保持體92b的承接面91b，及使銲墊側接觸端子12及22貫通之貫通孔91c。

保持體92使用電性絕緣材料而一體成形者。該保持體92成為二體構造，具備被一體化之電極側保持體92a、連結部92c及蓋構件92d，和另外個體的銲墊側保持體92b。蓋構件92d為覆蓋接觸探針10及20之外圍者。

在電極側保持體92a，從上方觀看時形成有半圓形狀之貫通孔92e及92f(第10圖(a))。貫通孔92e及92f各自具有對向於旋轉防止面11c及21c之對向面。藉由該構成，旋轉防止面11c及21c係可以防止繞電極側接觸端子11及12之中心軸旋轉。

在銲墊側保持體92b，從下方觀看時形成有矩形狀之 貫通孔92g及92h(第10圖(c))。貫通孔92g及92h各自具有對向於旋轉防止面12c及22c之對向面。藉由該構成，旋轉防止面12c及22c可以防止繞銲墊側接觸端子12及22之中心軸旋轉。

接著，針對凱文檢查治具300之組裝工程予以簡單說明。首先，將接觸探針10及20組裝於保持體92。具體而言，將接觸探針10之電極側接觸端子11插入至貫通孔92e，並將接觸探針20之電極側接觸端子21插入至貫通孔92f。其結果，成為電極側傾斜面11f和電極側傾斜面21f朝向互相相反側之構成。

接著，以接觸探針10之銲墊側傾斜面12f和接觸探針20之銲墊側傾斜面22f互相對向之方式，調整銲墊側傾斜面12f及22f之方向。

並且，一面壓縮彈簧13及23一面將銲墊側保持體92b安裝於連結部92c及蓋構件92d，例如藉由接合劑予以接合固定。接著，將該接合固定之接觸探針組裝體從框體91之上面側插入至貫通孔91a。

然後，在框體91之上面配置押板53，使用螺絲54將押板53固定在框體91。

如上述般，本實施型態中之凱文檢查治具300因設為事先製作接觸探針組裝體而組裝於框體91之構成，故容易進行組裝作業。

〔產業上之利用可行性〕

如上述般，與本發明有關之凱文接觸探針及具備此之凱文檢查治具，具有不管被檢查體之電極形狀，可以使電極窄間距化，而且可以回避電路基板之製造成本增加的效果，利於作為檢查半導體積體電路之電極間的電阻值之時所使用之凱文接觸探針及具備此之凱文檢查治具等。

10、20、30‧‧‧接觸探針

10A、10B、10c、20A、20B、20C‧‧‧接觸探針

11、14、21、24‧‧‧電極側接觸端子

11f、14f、21f、24f‧‧‧電極側傾斜面

11c、12c、21c、22c‧‧‧旋轉防止面(旋轉防止手段)

11h、21h‧‧‧圓柱棒

12、15、16、22、25、26‧‧‧銲墊側接觸端子

12f、15f₁、15f₂、16f、22f、25f₁、25f₂、26f‧‧‧銲墊側傾斜面

12h、22h‧‧‧圓筒棒

14i‧‧‧V字溝

14j、14k‧‧‧頂點

51、81、91‧‧‧框體

51a、51b、81a、91a‧‧‧貫通孔

52、82a、92a‧‧‧電極側保持體

52a、52b、82d、82e、92e、92f‧‧‧貫通孔

53‧‧‧押板

54、56‧‧‧螺絲

55、57、82b、92b‧‧‧銲墊側保持體

55a、55b、55c、57a、57b、91c、92g、92h‧‧‧貫通孔

60‧‧‧IC

61、62‧‧‧焊球

70‧‧‧電路基板

71~74‧‧‧銲墊

82、92‧‧‧保持體

82c、92c‧‧‧連結部

91b‧‧‧承接面

92d‧‧‧蓋構件

100、200、300‧‧‧凱文檢查治具

第1圖為與本發明有關之凱文檢查治具之第1實施型態中的構成圖。

第2圖為與本發明有關之凱文檢查治具之第1實施型態中的接觸探針之斜視圖。

第3圖為與本發明有關之凱文檢查治具之第1實施型態中的接觸探針周邊之構成圖。

第4圖為與本發明有關之凱文檢查治具之第1實施型態中的接觸探針之其他態樣1之斜視圖。

第5圖為與本發明有關之凱文檢查治具之第1實施型態中的接觸探針之其他態樣1之說明圖。

第6圖為與本發明有關之凱文檢查治具之第1實施型態中的接觸探針之其他態樣2之構成圖。

第7圖為與本發明有關之凱文檢查治具之第1實施型態中的接觸探針之其他態樣3之構成圖。

第8圖為與本發明有關之凱文檢查治具之第1實施型態中的接觸探針之其他態樣4之構成圖。

第9圖為與本發明有關之凱文檢查治具之第2實施型 態中的構成圖。

第10圖為與本發明有關之凱文檢查治具之第3實施型態中的構成圖。

10、20、30、40‧‧‧接觸探針

11、21‧‧‧電極側接觸端子

11f、21f‧‧‧電極側傾斜面

12、22‧‧‧銲墊側接觸端子

12f、22f‧‧‧銲墊側傾斜面

13、23‧‧‧彈簧

51‧‧‧框體

52‧‧‧電極側保持體

53‧‧‧押板

54、56‧‧‧螺絲

55‧‧‧銲墊側保持體

60‧‧‧IC

61、62‧‧‧焊球

70‧‧‧電路基板

71~74‧‧‧銲墊

100‧‧‧凱文檢查治具

Claims (5)

1. 一種凱文接觸探針，係由電性連接被設置在被檢查體之一個電極和被設置在電路基板之兩個銲墊之各個的兩根接觸探針所構成，被配置成一方之接觸探針和另一方之接觸探針互相呈軸平行，該凱文接觸探針之特徵為：上述一方及上述另一方之接觸探針具有：被設置在上述電極側，接觸於上述電極之電極側接觸端子，和被設置在上述銲墊側，接觸於上述銲墊之銲墊側接觸端子，上述一方及上述另一方之接觸探針係由接觸於上述電極之電極側接觸端子，和接觸於上述銲墊之銲墊側接觸端子，和被設置於上述電極側接觸端子和上述銲墊側接觸端子之間的金屬製彈簧所構成，上述電極側接觸端子具有：圓板狀之電極側接觸端子凸緣部；從上述電極側接觸端子凸緣部之上述電極側面延伸，由平面狀之電極側接觸端子旋轉防止面和半圓弧面狀之電極側接觸端子半圓弧面所構成之電極側接觸端子旋轉防止部；從上述電極側接觸端子半圓弧面之前端中央朝向上述電極側接觸端子凸緣部傾斜之面的電極側傾斜面部；和直徑小於從上述電極側接觸端子凸緣部之上述銲墊側面之中心延伸之上述電極側接觸端子凸緣部的圓柱棒，上述銲墊側接觸端子具有：圓板狀之銲墊側接觸端子凸緣部；從上述銲墊側接觸端子凸緣部之上述銲墊側面延伸，由平面狀之銲墊側接觸端子旋轉防止面和半圓弧面狀之銲墊側接觸端子半圓弧面所構成之銲墊側接觸端子旋轉 防止部；從上述銲墊側接觸端子半圓弧面之前端中央朝向上述銲墊側接觸端子凸緣部傾斜之面的銲墊側傾斜面部；直徑小於從上述銲墊側接觸端子凸緣部之上述電極側面之中心延伸之上述銲墊側接觸端子凸緣部且上述圓柱棒被插入的圓筒棒，上述金屬彈簧被配置在上述電極側接觸端子凸緣部之上述銲墊側面和上述銲墊側接觸端子凸緣部之上述電極側面之間，上述一方之接觸探針和上述另一方之接觸探針被配置成上述各電極側傾斜面互相朝向相反側，並且被配置成上述各銲墊側傾斜面互相對向。
2. 如申請專利範圍第1項所記載之凱文接觸探針，其中上述各電極側接觸端子在上述電極側傾斜面之頂部具有形成至少一個溝部而設置的複數之頂點。
3. 一種凱文檢查治具，具備有如申請專利範圍第1或2項所記載之凱文接觸探針，該凱文檢查治具之特徵為具備：框體，其係形成有保持上述一方及上述另一方之接觸探針的貫通孔；電極側保持體，其係保持上述電極側接觸端子；及銲墊側保持體，其係保持上述銲墊側接觸端子。
4. 如申請專利範圍第3項所記載之凱文檢查治具，其中 具備有連結部，其係被設置在上述一方之接觸探針和上述另一方之接觸探針之間，連結上述電極側保持體和上述銲墊側保持體。
5. 如申請專利範圍第4項所記載之凱文檢查治具，其中具備有覆蓋上述一方及上述另一方之接觸探針之外周的覆蓋構件。