JP4999735B2 - 半導体装置の検査装置、及び半導体装置の検査方法 - Google Patents
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Description
第1の実施の形態では、2つの接触子を具えたプローブでケルビン測定を行うためのプローブの配列構造、この配列構造において配列されたプローブを具える検査装置、及びこの配列構造において配列されたプローブによって半導体装置を検査する方法について説明する。
第2の実施の形態では、3つの接触子を具えたプローブでケルビン測定を行う場合の、プローブの配列構造、この配列構造において配列されたプローブを具える検査装置、及びこの配列構造において配列されたプローブによって半導体装置を検査する方法について説明する。
13:フィルム
15:外部端子(球欠状端子)
16、46:検査装置
17、18:プローブ
19、20:導電性接触子(接触子)
21:スプリング
23:チップ側プランジャ
25:検査基板側プランジャ
27:筒状体
29:検査基板
31:パッド
41:搬送面
Claims (2)
- 複数個のケルビン測定用のプローブを、ターゲットの配列に対応させて、行列状に配列して成るプローブの配列構造において配列されたプローブを具え、
前記各プローブは、同一配置形態で配設された2つの導電性接触子を有しており、
行及び列方向にそれぞれ隣接する2つの前記プローブ同士の各導電性接触子の前記配置形態の向きは、90°回転した関係であり、かつ斜め方向に隣接する2つの前記プローブ同士の各導電性接触子の前記配置形態の向きは、180°回転した関係であり、
各前記2つの導電性接触子は、球体をパッケージ面で切り取った一部である球欠状の前記ターゲットに対し、該ターゲットの同一直径上であって、該ターゲットの頂点を挟んで対向し、かつ前記頂点からの距離が互いに等しい位置に、該ターゲットの頂点、及び該ターゲットと前記パッケージ面との境界以外の当該ターゲットの面上で接触するように配設されている
ことを特徴とする半導体装置の検査装置。 - 請求項1に記載の半導体装置の検査装置におけるプローブと、前記ターゲットとを接触させる
ことを特徴とする半導体装置の検査方法。
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