TWI519511B - 醇類之精製方法及裝置 - Google Patents

Description

醇類之精製方法及裝置

本發明係關於一種醇類的精製方法及裝置，特別是關於一種將回收的醇類精製並且再利用的適當的方法及裝置。

甲醇、乙醇、異丙醇(IPA；Isopropyl Alcohol)等的醇類，作為化學工業用的洗淨劑、溶劑與合成原料大量的被使用。特別是，在半導體元件的製造步驟當中，在洗淨以及乾燥等的用途中，大量的使用IPA。例如，在為了對半導體元件進行純水洗淨後進行去除其水分的IPA蒸發乾燥法，具有作為進行水分去除的步驟的效果。另一方面，IPA蒸發乾燥法，因為使用揮發性高且要求高純度的IPA，故其結果為產生半導體元件的製造價格變高的這樣的問題。因此，從節省經費以及改善環境負擔的面來看，宜回收在半導體元件製造步驟中所使用的廢棄IPA以再利用。在從半導體元件的製造步驟中所排出的IPA當中，包含從製造步驟、材料與裝置而來的雜質，為了回收IPA以再利用，必須徹底的去除該等的雜質，將IPA精製到作為半導體元件製造步驟用的與從市面上購入時相同的程度。就雜質的成分而言，主要可舉水分、離子性雜質、金屬、微粒子為例。

另外，在市售的IPA當中，設定與其用途，例如半導體元件製造步驟用等相應的等級，對於每個等級，訂定關於各雜質的標準值。

作為被污染而含有雜質的醇類的精製方法，蒸餾法已為人所習知。然而，若欲僅使用蒸餾法將醇類精製到既定的純度，需要大規模的蒸餾設備，其設備費與設置面積變大，需要大量的能源， 故能源成本亦上升，從經濟面來看並不適宜。

對於各種有可能包含於醇類當中的雜質，將如以下所示，提出從醇類去除該等雜質的方法。

例如，作為有效率的去除醇類中的水分的方法，在日本專利公開第平11-276801號公報(專利文獻1)中揭示，在使用滲透蒸發(PV；Pervaporation)法將醇類中的水分濃度去除至一定的程度以下之後，使用沸石等的吸附劑，將水分吸附去除的方法。日本專利公開平第6-69175號公報(專利文獻2)中揭示，將陰離子交換膜作為蒸氣滲透(VP；Vapor Permeation)法中的分離膜來使用，從醇類當中將水分分離，更藉由蒸餾將醇類精製。

滲透蒸發法，其對於成為分離處理的對象的成分(例如水分)，使用具有親和性的分離膜，使含有對象成分的混合液流入分離膜的供給側，藉由將分離膜的透過側減壓並流入惰性氣體，利用在分離膜中各成分的滲透速率差進行分離。含有對象成分的混合液，例如含有作為雜質的水分的醇類。與薄膜接觸的流體是氣體的情況之分離，特別被稱為蒸氣滲透法。接觸的流體是液體的情況的分離，被稱為滲透蒸發法。在專利文獻1當中，雖使用聚醯亞胺系分離膜或是纖維素系分離膜作為分離膜，但作為從醇類當中脫水用的分離膜，沸石膜亦廣泛的被使用。沸石膜，具有極強的吸濕性，關於水分子等的極性分子的吸附，即使在其分子物種的分壓極低的情況下，亦具有分離性能高，而且，作為目的物的醇類的損失較少的這樣的特徵。

作為從醇類去除離子性雜質的方法，如在日本專利公開第2009-57286號公報(專利文獻3)，與Partha V.Buragohain,William N.Gill,and Steven M.Cramer；"Novel Resin-Based Ultrapurification System for Reprocessing IPA in the Semiconductor Industry," Ind.Eng.Chem.Res.,1996,35(9),pp.3149-3154(非專利文獻1)中所示，使用離子交換樹脂的方法已為人所習知。藉由離子交換樹脂的處理，相較於使用蒸餾裝置，具有能源與設備費用較小且簡便，並且可得到高純度的醇類的特徵。在使用離子交換樹脂的方法中，雖將含有醇類的液體通過離子交換樹脂層，但是在日本專利公開第2005-263729號公報(專利文獻4)當中，提出使用離子交換膜代替離子交換樹脂層，將濾材與離子交換膜組合，以去除金屬離子等的陽離子性雜質與微粒子的方法。

在日本專利公開平第9-57069號公報(專利文獻5)中揭示，對於藉由滲透蒸發法來去除水分的醇類，更進行蒸餾以去除金屬成分，使該醇類通過精密過濾膜，去除不溶性的微粒子。

接著在(專利文獻6)中揭示，將上述的各種方法組合以精製從半導體元件製造步驟回收的IPA並再次供給至半導體元件製造步驟的再生系統，與在像這樣的再生系統中的精製方法。在專利文獻6當中所記載的系統，設置複數個水分去除部，反覆執行水分去除，以使廢棄化學藥品中所含有的水分含量達到化學藥品的原料水準。

[習知技術文獻] [專利文獻]

【專利文獻1】日本特開平第11-276801號公報

【專利文獻2】日本特開平第6-69175號公報

【專利文獻3】日本特開第2009-57286號公報

【專利文獻4】日本特開第2005-263729號公報

【專利文獻5】日本特開平第9-57069號公報

【專利文獻6】日本特開平第11-57304號公報

【專利文獻7】日本特開第2003-112060號公報

[非專利文獻]

【非專利文獻1】Partha V. Buragohain, William N. Gill, and Steven M. Cramer; "Novel Resin-Based Ultrapurification System for Reprocessing IPA in the Semiconductor Industry," Ind. Eng. Chem. Res., 1996, 35(9), pp. 3149-3154

如上所述，作為精製IPA等的醇類的方法，各種的方法已為人所習知。在此當中，如專利文獻1所示的將滲透蒸發膜與吸附劑組合的方法當中，雖可降低醇類中的水分，但是具有與吸附劑的再生相關的能源消耗量變得非常大、關係到成本的增加以及因為從吸附劑而來的析出物對後段的蒸餾裝置增加負擔的可能性。在將使用專利文獻2所示的陰離子交換膜的蒸氣滲透與蒸餾組合的方法當中，因為水相對於IPA的分離係數為160的程度，與使用沸石膜的情況的分離係數的1000的程度相比非常的低，脫水效率差，故裝置規模變大。在專利文獻4中所示的將濾材與離子交換膜組合的方法當中，此方法無法單獨去除水分與陰離子性雜質。又，在專利文獻6中所示的IPA的再生系統以及精製方法當中，在藉由脫水膜處理時，無法去除從脫水膜析出的離子性雜質。像這樣，在精製醇類的習知的方法中，留有應該被解決的問題。

本發明的目的在於提供一種可高純度的精製以IPA為代表的醇類的方法以及裝置。

本發明之醇類精製方法包含：第1離子交換步驟，其對含有醇類的液體進行離子交換處理；脫水處理步驟，其對以第1離子 交換步驟所處理的液體，使用脫水膜進行脫水處理；蒸餾步驟，其對被脫水處理的液體進行蒸餾；以及第2離子交換步驟，其對在蒸餾步驟中所得到的液體更進行離子交換處理，得到精製醇類。

本發明之醇類精製裝置包含：第1離子交換機構，其對含有醇類的液體進行離子交換處理；脫水膜，其對以第1離子交換機構所處理的液體，藉由滲透蒸發或是蒸氣滲透進行脫水；蒸餾機構，其對藉由脫水膜而被脫水的液體進行蒸餾；以及第2離子交換機構，其對使用蒸餾機構所得到的液體更進行離子交換處理，得到精製醇類。

若根據本發明，藉由將第1離子交換處理、薄膜脫水、蒸餾以及第2離子交換處理組合，可將含有醇類的液體當中的水分、離子性雜質、金屬、微粒子等的雜質去除至低濃度，可得到高純度的精製醇類。

圖1所示的本發明之第1實施樣態的醇類精製裝置20，宜使用於，例如，將含有從半導體元件製造步驟等的各種的步驟所排出的雜質的醇類回收以精製。在圖1所示之範例當中，被精製的對象之醇類為IPA(異丙醇)；在半導體元件製造裝置12中被使用後而含有雜質的IPA被回收；醇類精製裝置20，精製被回收的IPA；精製後的IPA，透過供給槽11，再次供給至半導體元件製造裝置12。對於供給槽11，為了補充運轉開始時必要的量以及在運轉中不足的量，供給補充用的醇類。

在醇類精製裝置20當中，設置將從半導體元件製造裝置12回收的IPA作為含有醇類的液體暫時保存的回收槽21，以及設置於回收槽21的出口，輸送含有醇類的液體的泵22；相對於此泵 22的出口，第1離子交換裝置23、脫水膜24、蒸餾裝置25與第2離子交換裝置26依此順序串聯相接。從第2離子交換裝置26的出口得到精製後的醇類，此精製後的醇類，透過配管回到供給槽11。

在醇類精製裝置20當中，作為必須從回收槽21的IPA中去除的對象，主要可舉水分、陽離子以及陰離子的離子成分與微粒子等雜質為例。

第1離子交換裝置23，作為第1離子交換機構，對從泵22流入的含有醇類的液體，進行離子交換處理，使用離子交換樹脂去除含有醇類的液體中的離子成分。藉由在第1離子交換裝置23中的離子交換處理，可大幅降低對後段的蒸餾裝置25以及第2離子交換裝置26的負擔，另外，使成為後段的脫水膜24之劣化主因的酸與離子性金屬等的離子負擔降低，可達到脫水膜24的高壽命化之目的。第1離子交換裝置23，例如，以在塔狀容器內填充離子交換樹脂，使液體通過離子交換樹脂層的方式所構成。離子交換樹脂中，陽離子交換樹脂去除Na離子、Ca離子等的陽離子，陰離子交換樹脂去除Cl離子等的陰離子與酸成分。填充於第1離子交換裝置23內的陽離子交換樹脂以及陰離子交換樹脂的規格與裝置構造，對應於作為含有醇類的液體、供給至第1離子交換裝置23的IPA的性質，與從此醇類精製裝置20送出的精製醇類當中所要求品質來決定。從吸附性能與低析出的觀點來看，作為陽離子交換樹脂以及陰離子交換樹脂，宜各自使用，H(氫離子)型的強酸性陽離子交換樹脂(SACER)以及OH(氫氧離子)型的強鹽基性陰離子交換樹脂(SBAER)。

在第1離子交換裝置23中所使用的離子交換樹脂，雖宜為將陽離子交換樹脂或陰離子交換樹脂以單床設置、將陽離子交換樹脂與陰離子交換樹脂以複床設置，或是，將陽離子交換樹脂與陰 離子交換樹脂以混床設置中的任一項，但是為了降低成為後段的脫水膜24的劣化主因的酸與離子性金屬等的離子負荷，宜使用混床。在要求降低最終精製醇類中的水分濃度的情況下，以及欲降低在離子交換裝置中，在離子交換樹脂的交換之後從離子交換樹脂所產生的水分析出的情況下，作為離子交換樹脂，宜使用幾乎不含有水分的乾燥樹脂。例如，可使用ORGANO股份有限公司製造的乾燥強酸性陽離子交換樹脂、水分2%以下的15JS-HG‧DRY，以及乾燥強酸性陽離子交換樹脂與乾燥弱鹽基性陰離子交換樹脂的混床樹脂、水分10%以下的MSPS2-1‧DRY等。

脫水膜24，對以第1離子交換裝置23所處理的液體，藉由滲透蒸發(PV)或是蒸氣滲透(VP)進行薄膜脫水，使醇類濃縮。脫水膜24，例如，作為透水性膜模組所構成，作為薄膜，可使用聚醯亞胺系列、纖維素系列、聚乙烯醇系列等的高分子系列或是沸石等的無機系列的材料所形成的薄膜。從機械強度、脫水性能、耐熱性等的觀點來看，宜使用以沸石為材料的薄膜作為脫水膜24。

但是，脫水膜24，一般而言，因為在高溫、高壓下運轉，故有從該薄膜材料析出雜質的可能性。另外，在第1離子交換裝置23中使用的離子交換樹脂，難以有效的去除在半導體元件製造裝置12內所產生的微粒子，又，亦難以對於對陽離子交換樹脂與陰離子交換樹脂選擇性非常低的二氧化矽(氧化矽物)等的離子進行長時間的去除。此處，於脫水膜24的後段，設置作為蒸餾機構的蒸餾裝置25，其對藉由脫水膜24所脫水的液體實行蒸餾操作。此蒸餾操作，並非以對醇類與水進行蒸餾分離為目的，而是將微粒子、鹽、二氧化矽以及金屬性的雜質從醇類分離。

蒸餾裝置25，例如，為單級式的蒸餾裝置。雖藉由蒸餾操作，雜質在蒸餾裝置內等濃縮，為了防止此被濃縮的雜質的一部分流出至後段，在蒸餾裝置25中，宜設置例如排放閥等元件，該排放 閥使雜質被濃縮的液體的一部分定期的或是持續的往外部排出。

藉由蒸餾操作，可去除鹽或金屬離子所形成的雜質，甚至是微粒子所形成的雜質。然而，因為只要該等的雜質不排出，即為積蓄在蒸餾裝置25內的狀態，故在雜質濃縮的情況中，雜質藉由飛沫流出至後段。雖可使用將濃縮的液體的一部分排出系統外來防止從蒸餾裝置25的雜質的一部分流出至後段，但是因為若往系統外的排出量變大則醇類的回收率降低，以及在蒸餾當中濃縮率為定值且流入的雜質濃度變高的情況下濃縮側的雜質濃度增加，故藉由飛沫往後段排出的雜質濃度亦增加。又，亦具有去除從一般用來當作液體輸送管線的不鏽鋼(SUS)配管所產生的析出雜質的必要。

此處，在作為第2離子交換機構的第2離子交換裝置26中，藉由對使用蒸餾裝置25所得到的液體更進行離子交換處理，以更進一步降低在從蒸餾裝置25所排出的液體當中的離子成分的濃度，進而提升醇類的純度。作為第2離子交換裝置26，可使用在塔狀的容器內填充離子交換樹脂的裝置，或是離子吸附膜。在第2離子交換裝置26當中，使用離子交換樹脂的情況下，可使用與第1離子交換裝置23當中所使用的離子交換樹脂相同的離子交換樹脂。

離子吸附膜，其具有多孔性的薄膜材料以及離子交換機能。作為像這樣的離子吸附膜，只要為例如，具有100μm以下的孔徑且具有離子交換機能之離子吸附膜即可，雖然並不特別限制該材質與型式等，但是可使用例如，在精密過濾膜等的薄膜材料的表面，導入具有離子交換能的官能基之離子吸附膜等。作為薄膜材料的形狀，可舉褶襉型、平面膜層型、中空纖維型、多孔質體等的薄膜材料為例。多孔固體所形成之離子吸附膜的範例記載於日本專利公開第2003-112060號公報(專利文獻7)當中。作為導入 薄膜材料的離子交換基，可使用陽離子交換基、螫合交換基、陰離子交換基中的任一項，或是對應於析出的成分，至少組合兩種該等的交換基。吾等發明者發現，與離子交換樹脂相比，離子吸附膜，可將保有在母體中的水分與醇類的置換，快速的進行至作為目的的水分濃度，並且，離子交換的反應速率亦有優越的表現。因此，作為第2離子交換裝置26，藉由採用離子吸附膜，可進行不使水分濃度增加而使用更高流速的處理。又因為離子吸附膜具有多孔性，亦可進行一部分的微粒子的去除。

圖2係表示本發明之第2實施樣態的醇類精製裝置。圖2所示的醇類精製裝置30，其在圖1所示的醇類精製裝置20當中的第2離子交換裝置26的後段設置精密過濾膜27。吾等發明者發現，醇類液體中，存在作為雜質的鐵(Fe)、鋁(Al)的情況中，在水分濃度低的條件下，例如水分濃度在1000ppm以下的條件之下，該等的鐵與鋁的雜質成分有容易膠體化的傾向，故在離子吸附膜中，該等的雜質成分的去除是有困難的，但是在另一方面，若使用孔徑在20nm以下的精密過濾膜，該等的雜質成分的去除是有可能的。

在醇類液體中，除了膠體化的鐵與鋁的雜質以外，亦存在微粒子的情況下，宜在孔徑20nm以下的精密過濾膜的前段，設置孔徑在50nm以上的去除微粒子用的精密過濾膜。

圖3係表示本發明之第3實施樣態的醇類精製裝置。圖3所示的醇類精製裝置31，在圖2所示的醇類精製裝置30當中的第2離子交換裝置26前段，設置暫時儲存醇類液體的中間槽32，與從中間槽32中輸送醇類液體的泵33。在半導體元件製造裝置12的前段，並未設置供給槽。相對於泵33的出口，第2離子交換裝置26與精密過濾膜27以此順序串聯相接，從精密過濾膜27的出口可得到精製醇類。為了對應於半導體元件製造裝置12中的醇類使 用量的變動，泵33可以一定的量使醇類液體循環，精密過濾膜27的出口，與半導體元件製造裝置12連接，並且，亦透過分流配管34，與中間槽32連接。分流配管34，其將從精密過濾膜27所得到的精製醇類直接送回中間槽32。藉此，使用精密過濾膜27所得到的精製醇類的全部的量或是一部分被供給至半導體元件製造裝置12，剩下的醇類則被送回至中間槽32。因此，藉由中間槽32、泵33、第2離子交換裝置26、精密過濾膜27以及分流配管34，構成關於精製醇類的循環系統。對於中間槽32，除了從蒸餾裝置25流入的醇類液體與從精密過濾膜27流入的精製醇類之外，為了補充運轉開始時必要的量以及在運轉中不足的量，供給補充用的醇類。

在圖3所示的醇類精製裝置31當中，即使在半導體元件製造裝置12側，醇類的供給為非必要的情況下，因為精製醇類在上述的循環系統內循環，故可防止在槽與配管等的構件當中的醇類的滯留。因此，可供給無析出雜質、一直為高純度的醇類。

【實施例】

以下，根據本發明之實施例進行詳細的說明。但是，本發明並不僅限於下述之實施例。

[實施例1]

在圖2所示的構造當中，組合醇類精製裝置30的部分。作為第1離子交換裝置23，使用填充了為強酸性陽離子交換樹脂與強鹽基性陰離子交換樹脂的混床的離子交換樹脂的ORGANO股份有限公司製的膠體型離子交換樹脂ESG-2的離子交換裝置。在含有水分的狀態下使用離子交換樹脂。作為脫水膜24，使用將A型沸石作為材料的薄膜，藉由蒸氣滲透法進行脫水處理。在第2離子交換裝置26中，使用Asahi KASEI股份有限公司製的離子吸附膜，作為精密過濾膜27，使用具有0.02μm的孔徑的薄膜。

對回收槽21，供給IPA中的水分濃度為5%的含有醇類的液體，藉由泵22以2kg/時間(hr)的液體通過速率，以第1離子交換裝置23、脫水膜24、蒸餾裝置25、第2離子交換裝置26以及精密過濾膜27的順序使液體通過，測定在回收槽21、第1離子交換裝置23、脫水膜24、蒸餾裝置25、第2離子交換裝置26以及精密過濾膜27的各別的出口的水分濃度以及金屬成分的濃度。水分濃度的測定，使用卡爾費雪水分濃度計(Hiranuma Sangyo股份有限公司製)，金屬成分的濃度的測定，使用ICP-MS(感應耦合電漿質譜儀)。在金屬成分濃度測定當中，各金屬離子的分析下限值為0.05ppb。水分濃度測定的結果如圖4所示，金屬成分濃度測定的結果如圖5所示。

根據圖4，在脫水膜24以後的液體中的水分濃度穩定，在精密過濾膜27的出口的水分濃度為0.046%。關於圖5所示的金屬成分的濃度，雖觀察到液體通過第1離子交換裝置23使金屬成分的濃度大幅的減少，但是在脫水膜24的出口，由於從構造構件而來的金屬析出，就一部分的金屬而言其濃度上升。在蒸發裝置25的出口，雖然金屬成分的濃度再度減少，但可看見一部分的金屬的流出。然而，可確認在第2離子交換裝置26的出口，就所有的金屬成分而言，其濃度已去除至分析下限值以下的水準。

另外在相同的條件下測定二氧化矽的濃度，在回收槽21與第1離子交換裝置23的出口，兩者皆在分析下限的0.2ppb以下，在脫水膜24的出口，由於從構造構件的析出，二氧化矽濃度達到1.8ppb。另一方面，在蒸餾裝置25的出口，二氧化矽濃度為分析下限值的0.2ppb以下，可確認二氧化矽藉由蒸餾被去除。又，在第2離子交換裝置26、精密過濾膜27的出口，二氧化矽濃度亦在0.2ppb以下，並未觀察到二氧化矽的析出的增加。

[實施例2]

各別就離子交換樹脂與離子吸附膜，其醇類置換的容易的程度進行討論。準備以超純水洗淨的離子吸附膜模組(Asahi KASEI股份有限公司製)，與填充了以超純水洗淨的離子交換樹脂(ORGANO股份有限公司製)的管子，各別通入高純度IPA(TOKUYAMA股份有限公司製)，使用卡爾費雪水分濃度計(Hiranuma Sangyo股份有限公司製)，測定在各別的出口的液體的水分濃度到水分濃度為0.1%以下為止。液體通過的時間與當時的水分濃度的關係表示於圖6。如圖6所示，在離子吸附膜中，從液體通過開始20分鐘以內，出口的水分濃度成為0.1%以下。相對於此，在離子交換樹脂中，從液體通過開始，即使經過1個小時以上，出口的水分濃度亦在0.1%以上。根據此結果可得知，與離子交換樹脂相比，離子吸附膜可快速的將含有的水分置換為醇類。因此可得知，對設置於脫水膜24的後段的第2離子交換裝置25而言，相較於離子交換樹脂，較宜使用離子吸附膜。

[實施例3]

接著顯示，在醇類中的水分濃度較低的情況下，為了將作為雜質的鐵與鋁降低至極微量，在使用離子吸附膜的處理的後段，應進行使用精密過濾膜的處理。

使調整至水分含量為1000ppm，且Fe以及Al含量各別為10ppb的IPA，通過具有陽離子交換基的離子吸附膜(Asahi KASEI股份有限公司製)後，通過孔徑為20nm、母體為聚乙烯製的精密過濾膜(日本Entegris股份有限公司製)。離子吸附膜出口、精密過濾膜出口的液體的金屬成分的濃度表示於表1。根據結果得知，未在離子吸附膜去除而流出的Fe、Al，在精密過濾膜當中被去除。

【表1】

[比較例1]

進行除了水分含量為4000ppm以外，其餘條件與實施例3相同的實驗。結果表示於表2。由此可知，若IPA中的水分含量不是在0.1%以下，則無法使用精密過濾膜去除Fe、Al。

[比較例2]

進行除了使用孔徑為30nm的精密過濾膜(日本Entegris股份有限公司製)以外，其餘條件與實施例3相同的實驗。結果表示於表3。由此可知，若精密過濾膜的孔徑不在20nm以下，使用精密過濾膜無法將Fe、Al去除至低濃度。

11‧‧‧供給槽

12‧‧‧半導體元件製造裝置

20、30、31‧‧‧醇類精製裝置

21‧‧‧回收槽

22、33‧‧‧泵

23‧‧‧第1離子交換裝置

24‧‧‧脫水膜

25‧‧‧蒸餾裝置

26‧‧‧第2離子交換裝置

27‧‧‧精密過濾膜

32‧‧‧中間槽

34‧‧‧分流配管

【圖1】係表示本發明之第1實施樣態的醇類精製裝置的構造圖。

【圖2】係表示本發明之第2實施樣態的醇類精製裝置的構造圖。

【圖3】係表示本發明之第3實施樣態的醇類精製裝置的構造圖。

【圖4】係表示在實施例1中，在各步驟出口的水分濃度的圖表。

【圖5】係表示實施例1中，在各步驟出口的各金屬成分的濃度的圖表。

【圖6】係表示在離子交換樹脂出口以及離子吸附膜出口的水分含量的時間變化的圖表。

11‧‧‧供給槽

12‧‧‧半導體元件製造裝置

20‧‧‧醇類精製裝置

21‧‧‧回收槽

22‧‧‧泵

23‧‧‧第1離子交換裝置

24‧‧‧脫水膜

25‧‧‧蒸餾裝置

26‧‧‧第2離子交換裝置

Claims (8)

1. 一種醇類精製方法，包含：第1離子交換步驟，其對含有醇類的液體進行離子交換處理；脫水處理步驟，其對以該第1離子交換步驟所處理的液體，使用脫水膜進行脫水處理；蒸餾步驟，其對該脫水處理後的液體進行蒸餾；以及第2離子交換步驟，其對該蒸餾步驟所得到的液體更進行離子交換處理，得到精製醇類。
2. 如申請專利範圍第1項之醇類精製方法，其中，該第2離子交換步驟，為使液體通過離子吸附膜的步驟。
3. 如申請專利範圍第1或2項之醇類精製方法，其中更包含：過濾步驟，其對以該第2離子交換步驟所得到的液體，使用孔徑20nm以下的精密過濾膜進行過濾處理。
4. 如申請專利範圍第1或2項之醇類精製方法，其中，使用以沸石作為材質的該脫水膜。
5. 一種醇類精製裝置，包含：第1離子交換機構，其對含有醇類的液體進行離子交換處理；脫水膜，其對以該第1離子交換機構所處理的液體藉由滲透蒸發或是蒸氣滲透進行脫水；蒸餾機構，其對藉由該脫水膜而被脫水的液體進行蒸餾；以及第2離子交換機構，其對使用該蒸餾機構所得到的液體更進行離子交換處理，得到精製醇類。
6. 如申請專利範圍第5項之醇類精製裝置，其中，該第2離子交換機構，為離子吸附膜。
7. 如申請專利範圍第5或6項之醇類精製裝置，其中，在該第2離子交換機構的後段，更包含孔徑20nm以下的精密過濾膜。
8. 如申請專利範圍第5或6項之醇類精製裝置，其中，該脫水膜以沸石作為材質。