TWI485115B

TWI485115B - The method and apparatus for producing ultra pure water

Info

Publication number: TWI485115B
Application number: TW098144776A
Authority: TW
Inventors: Nozomu Ikuno; Motomu Koizumi
Original assignee: Kurita Water Ind Ltd
Priority date: 2009-01-06
Filing date: 2009-12-24
Publication date: 2015-05-21
Also published as: TW201034979A; JP5412834B2; JP2010158605A; US9017556B2; KR101602003B1; US20110278222A1; CN102272059A; WO2010079684A1; KR20110118768A

Description

超純水之製造方法及裝置

本發明係有關一種超純水製造方法及裝置，更詳言之，係有關一種高度除去尿素，且有機物(TOC)之濃度極低的超純水之製造方法及裝置。

以往作為半導體洗淨用水使用的超純水，係藉由使原水(工業用水、城市用水、井水、自半導體工場所排出的使用過的超純水(以下稱為「回收水」)等)以由前處理系統、一次純水系統、次系統(二次純水系統)構成的超純水製造裝置進行處理予以製造。

藉由習知的超純水製造裝置所製造的超純水中，存在約2～5μg/L之TOC(Total Organic Carbon)。為更為減低該超純水中之TOC時的方法，係考慮逆滲透膜分離裝置之多段式設置、增大低壓紫外線氧化裝置之紫外線照射量的手段，惟該手段無法充分地減低超純水中之TOC。

於專利文獻1中記載，在超純水之原水(城市用水、工業用水)中存在數十～數百μg/L之尿素，超純水中殘留的TOC之主成分為尿素(NH₂ CONH₂ )。於專利文獻1中記載，在具備原水之前處理裝置、一次純水製造裝置、及次系統之超純水製造裝置中，藉由在前處理裝置中組裝作為生物處理裝置之生物活性碳裝置，可高度除去原水中之尿素，且減低超純水中之TOC。

於專利文獻2中記載，有關專利文獻1所揭示的方法，且為提高尿素之分解率時，使半導體洗淨回收水與原水混合，供應給生物活性碳裝置。

於專利文獻3中記載，為避免因半導體洗淨回收水中之氨離子而阻害尿素之生物活性碳處理時，使原水(不包含回收水)與回收水個別進行生物活性碳處理後，在一次純水製造裝置中進行通水。

於專利文獻4中記載，於一次純水裝置中設有生物活性碳塔之超純水製造裝置中，以藉由適當地抑制該生物活性碳塔內之生物活性，可抑制多餘的菌體外漏，防微止生物流出於公共場所為目的，在生物活性碳塔之給水中該給水之殘留氯濃度為0.5～5mg/L下，添加次亞氯酸鹽等之氧化劑。

[專利文獻]

[專利文獻1]：專利3468784號公報

[專利文獻2]：專利第3227863號公報

[專利文獻3]：專利第3417052號公報

[專利文獻4]：專利2002-336887號公報

超純水之原水中所含的尿素，可以生物活性碳裝置除去，惟如專利文獻3中記載，在生物活性碳裝置之給水中含有氨離子時，氨離子會阻害尿素之生物活性碳處理。於專利文獻3中，為防止因該氨離子之阻害作用時，使原水(不含回收水)與回收水個別進行生物活性碳處理，在原水系統與回收水系統中必須具有個別的生物活性碳裝置，導致設置空間增大且裝置運作管理繁雜化。

於專利文獻2中，雖在原水中添加回收水，惟因回收水中之氨離子而阻害生物活性碳處理。

於專利文獻4中記載，在生物活性碳塔之給水中添加次亞氯酸鹽等之氧化劑，惟該專利文獻4之氧化劑的添加目的，係藉由適當地抑制承載於生物活性碳之生物的活性、抑制多餘菌體之外漏且防止微生物流出於後段，卻無法防止因氨離子而阻害尿素之生物活性碳處理。

本發明係以提供即使對含有氨性氮之原水而言，原水中之尿素可藉由生物活性碳處理，更為有效地進行分解，TOC濃度顯著降低，可製造高純度的超純水之超純水製造方法及超純水製造裝置為目的。

第1形態之超純水製造方法，其係使原水以一次純水系統進行處理後，以次系統處理的超純水製造方法中，含有在被處理水中添加氯系氧化劑後，藉由次系統使設置於前段的生物處理手段進行處理的步驟之超純水製造方法，其特徵為相對於該生物處理手段所處理的被處理水中之氨性氮而言、以Cl₂ 換算為5倍以上添加氯系氧化劑。

第2形態之超純水製造方法，於第1形態中使該生物處理手段之入口水的溶存氧濃度與出口水之溶存氧濃度之差為200～2000μg/L下添加該氯系氧化劑。

第3形態之超純水製造方法，於第1或2形態中該生物處理手段為生物活性碳塔。

第4形態之超純水製造方法，於第1～3中之任一形態中相對於該生物處理手段所處理的被處理水中之氨性氮濃度而言、以Cl₂ 換算為5～8重量倍下添加氯系氧化劑。

第5形態之超純水製造方法，於第1～4中之任一形態中使原水以前處理系統處理後，以一次純水系統及次系統順序進行處理的超純水製造方法，該氯系氧化劑被添加於該前處理系統之被處理水中，該生物處理手段設置於該前處理系統之最後段及/或該一次純水系統之最前段。

第6形態之超純水製造裝置，其係具備處理原水之一次純水系統、與處理該一次純水系統之處理水之次系統的超純水製造裝置，具有在被處理水中添加氯系氧化劑之氯系氧化劑添加手段、與藉由處理添加有氯系氧化劑之水的次系統，設置於前段之生物處理手段的超純水製造裝置，其特徵為該氯系氧化劑添加手段，係相對於該生物處理手段所處理的被處理水中之氨性氮濃度而言、以Cl₂ 換算為5倍以上，添加氯系氧化劑的手段。

第7形態之超純水製造裝置，於第6形態中該氯系氧化劑添加手段，係使該生物處理方法之入口水的溶存氧濃度與出口水之溶存氧濃度的差為200～2000μg/L下添加氯系氧化劑的手段。

第8形態之超純水製造裝置，於第6或7形態中該生物處理手段為生物活性碳塔。

第9形態之超純水製造裝置，於第6～8中之任一形態中該氯系氧化劑添加手段係對以該生物處理手段所處理的被處理水中之氨性氮濃度而言，以Cl₂ 換算為5～8重量倍下添加氯系氧化劑的手段。

第10形態之超純水製造裝置，於第6～9中之任一形態中具有處理原水之前處理系統，且該前處理系統之處理水以該一次純水系統及次系統順序處理的超純水製造裝置，藉由該氯系氧化劑添加手段，在該前處理系統之被處理水中添加氯系氧化劑，該生物處理手段係設置於該前處理系統之最後段及/或該一次純水系統之最前段。

藉由本發明，藉由以相對於該生物處理手段所處理的被處理水中之氨性氮濃度而言、以Cl₂ 換算為5重量倍以上(較佳者為5～8重量倍)下添加氯系氧化劑，使部分或全量氨性氮藉由氯系氧化劑，分解除去至氮氣(N₂ )為止。藉此，可防止因氨性氮而阻害尿素之生物處理，於生物處理手段中可高度除去尿素，結果，可製得TOC濃度顯著減低的高水質之超純水。

本發明之氯系氧化劑添加量，以生物處理手段之入口水的溶存氧濃度與出口水之溶存氧濃度的差為基準予以控制更佳。藉此，就充分確保生物處理手段內生存的微生物的有機物分解量而言，就迴避生物處理手段之菌體的過剩增殖問題而言，可有效地除去尿素。

於本發明中，以生物活性碳塔作為生物處理手段更佳，即以固定床式生物活性碳塔更佳。

於製造超純水時，通常原水以前處理系統、一次純水系統及次系統順序進行處理，惟於本發明中氯系氧化劑被添加於前處理系統之原水中，可於前段裝置中藉由氯系氧化劑之殺菌效果，抑制殘渣阻害等較佳，而且，生物處理手段以設於前處理系統之最後段及/或一次純水系統之最前段較佳。

[為實施發明之形態]

於下述中，詳細說明本發明之超純水製造方法及裝置之實施形態。

於本發明中，於以一次純水系統及次系統進行處理原水以製造超純水時，藉由次系統、於前段中，在被處理水中添加所定量之氯系氧化劑，以生物處理裝置進行處理。

本發明中較佳者如第1圖所示，在原水中添加氯系氧化劑，且以由前處理系統10、一次純水系統20、次系統(二次純水系統)30所構成的超純水製造裝置進行處理。於第1圖中各系統之作用如下所述。

由凝聚、加壓浮上(沉澱)、過濾(膜過濾)裝置等構成的前處理系統10，進行除去原水中之懸浮物質或膠體物質。而且，在該過程中亦可除去高分子系有機物、疏水性有機物等。

具備逆滲透膜分離裝置、脫氣裝置及離子交換裝置(混床式或4床5塔式等)之一次純水系統20，進行原水中之離子或有機成分之除去。而且，逆滲透膜分離裝置係可同時進行除去鹽類與除去離子性、膠體性之TOC。離子交換裝置係可同時進行除去鹽類與因離子交換樹脂被吸附或離子交換的TOC成分。脫氣裝置係進行除去無機系碳(IC)、溶存氧(DO)。

具備低壓紫外線氧化裝置、離子交換純水裝置及超速過濾膜分離裝置之次系統30，係使以一次純水系統20所得的純水之純度更為提高的超純水。而且，低壓紫外線氧化裝置係藉由低壓紫外線燈所輸出的波長185nm之紫外線，使TOC分解成有機酸及CO₂ 為止。藉由分解所生成的有機物及CO₂ ，以後段的離子交換樹脂予以除去。超速過濾膜分離裝置，係進行除去微粒子、除去離子交換樹脂之流出粒子。

[較佳的形態]

於下述中，參照第1圖詳細說明本發明之較佳實施形態例，惟本發明不受下述說明所限制。

第1圖係工業用水等之原水在原水槽11中添加氯系氧化劑後，以具備凝聚、加壓浮上(沉澱)、過濾(膜過濾)裝置等之前處理系統10進行處理，前處理水被導入純水原水桶21中。於該純水原水桶21中送回回收水。純水原水桶21之水，以具備作為生物處理手段之生物活性碳塔22、第1逆滲透膜分離裝置23、第2逆滲透膜分離裝置24、混床式離子交換裝置25、真空脫氣裝置26之一次純水系統20進行處理。以一次純水系統20所得的一次純水，經由次系統桶31，以具備熱交換器32、低壓紫外線氧化裝置33、離子交換純水裝置34及超速過濾膜分離裝置35之次系統30進行處理，以次系統30所得的超純水被送至使用裝置40中。

第1圖所示之超純水製造裝置，由於在原水槽11中添加氧系氧化劑，於其後段的過濾裝置等中以氯系氧化劑之殺菌作用來防止殘渣阻害。而且，添加有氯系氧化劑之水與含氨性氮之回收水混合，惟該回收水中之氨性氮被原水中所添加的氯系氧化劑分解。因此，在生物活性碳塔22中沒有受到因氨性氮之生物處理阻害，藉由有效地分解尿素等之TOC，再於後段之處理裝置中除去雜質，提高純度，製得高水質的處理水。本實施形態係將回收水送回純水原水桶21中，亦可送回原水槽11中。此時，生物活性碳塔22亦可設置於純水原水塔21之正前方等。

[氯系氧化劑添加量]

於本發明中，相對於以生物處理手段所處理的被處理水(即生物處理手段之給水)中之氨性氮濃度而言，以Cl₂ 換算為5重量倍以上(較佳者為5～8重量倍)下添加氯系氧化劑。於下述中，相對於該生物處理手段之給水的氨性氮濃度而言，以Cl₂ 換算的氯系氧化劑之重量比例稱為「Cl₂ /NH₄ -N比」。

於本發明中，參照第2圖說明有關在Cl₂ /NH₄ -N比為5重量倍以上、較佳者為5～8重量倍下添加氯系氧化劑之理由。

如第2圖所示，在水中存在有氨性氮時，伴隨氯系氧化劑之添加量，相當於水中之鍵結氯濃度與游離氯濃度之合計的殘留氯濃度作為鍵結氯濃度亦隨之增加，惟就氯系氧化劑以Cl₂ 換算之氨性氮的4～5重量倍添加而言，殘留氯濃度降低。此係表示藉由氯系氧化劑，水中存在的氨性氮以下述反應式為基準，被分解成氮為止，藉由添加以Cl₂ 換算之氨性氮的約8重量倍之氯系氧化劑，水中之氨性氮可被完全地除去成氮為止。

2NH₃ +2NaOCl→2NH₂ Cl(鍵結氯)+2NaOH

2NH₂ Cl+NaOCl→N₂ (氣散)+3HCl+NaOH

因此，本發明藉由在Cl₂ /NH₄ -N比為5(重量倍)以上(較佳者為5～8(重量倍))下添加氯系氧化劑，可減低水中之氨性氮濃度，且可抑制因殘存的殘留氯(鍵結氯)而導致生物處理手段內繁殖的菌體過剩繁殖情形。氯系氧化劑添加量少於該範圍時，無法充分阻止因氨性氮之尿素的生物處理阻害或菌體之過剩增殖。惟氯系氧化劑添加量過多時，無法得到更高的尿素效率之提高效果，由於菌體之活性降低的問題或因過剩的氯系氧化劑添加而對後段裝置而言之離子負荷增大，故不為理想。

於前述之專利文獻4中，在生物活性碳塔之給水的殘留氯濃度為0.5～5mg/L下添加次亞氯酸鹽等之氧化劑。如第2圖所示，在含有氨性氮之水中添加氯系氧化劑時，一度會使鍵結氯與游離氯之合計的殘留氯濃度增加，然後轉為減少，再次轉為增加。換言之，以專利文獻4所規定的「殘留氯濃度0.5～5mg/L」之範圍，相對於氯系氧化劑添加量而言存在於2處。

本發明中係添加可確實地除去第2圖之A部的範圍、即水中之氨性氮為N₂ 之量的氯系氧化劑。專利文獻4以藉由適當抑制承載於生物活性碳之生物活性，抑制過剩的菌體外漏且防止微生物流出於後段為目的，在殘留氯濃度為0.5～5mg/L下添加。就該點而言，本發明與專利文獻4不同。

而且，於本發明中作為氯系氧化劑添加量之基準的被處理水之氨系氮濃度，不為添加有氯系氧化劑之水的氨性氮濃度，導入於生物處理手段，以生物處理手段進行處理的生物處理手段之給水(生物處理手段之入口水)，沒有添加氯系氧化劑時存在的給水中之氨性氮濃度。因此，添加氯系氧化劑後，在混合有回收水下，於到達後段之生物處理手段之過程混入氨性氮時，決定該氨性氮混入量、與氯系氧化劑添加量。

生物處理手段之給水的氨性氮濃度，可藉由靛酚法等測定以生物處理手段所處理的水之氨性氮濃度予以求取。此外，該生物處理手段中導入如工業用水之不含氨性氮的水與如回收水之含氨性氮的水時，可由各水之氨性氮濃度與導入比計算氨性氮濃度。而且，亦可在生物處理手段入口設置氨性氮濃度計。

另外，氯系氧化劑添加量，可以由如上所述求取的生物處理手段之給水的氨性氮濃度、藉由計算所求得的Cl₂ /NH₄ -N比予以控制，亦可藉由氧化還原電位或游離氯濃度計測定生物處理手段入口之游離氯濃度，且由預先求取的測定值與氯系氧化劑之Cl₂ 換算濃度的關係式，在Cl₂ /NH₄ -N比為所定之值下添加控制。

此外，於本發明中，Cl₂ /NH₄ -N比為5重量倍以上(較佳者為5～8重量倍)之範圍中，生物處理手段之流入水的溶存氧(DO)濃度與流出水之DO濃度的差(以下稱為「ΔDO」)為200～2000μg/L下添加氯系氧化劑較佳。

此係藉由下述之理由。

換言之，水中存在的微生物於分解有機物時，由於利用DO，可藉由(C+O→CO₂ )、生物處理手段前後之DO量的差來確認生物處理狀態。於生物處理手段前後之ΔDO未達200μg/L時，生物處理手段之有機物分解能力不充分，水中存在的尿素沒有被生物處理手段除去，外漏於後段裝置，且最終使用裝置之TOC值上昇。另外，ΔDO超過2000μg/L時，雖可於生物處理手段內分解尿素，惟因在生物處理手段內菌體過剩繁殖，例如生物處理手段為生物活性碳塔時，塔內差壓上昇或因來自塔內外漏的菌體而導致後段裝置(保安過濾器、逆滲透膜分離裝置等)之阻塞情形。因此，就將氯系氧化劑添加量調整成前述Cl₂ /NH₄ -N比而言，以使生物處理手段前後之ΔDO調整於200～2000μg/L較佳。

ΔDO可藉由在生物處理手段之入口與出口設置DO計，各測定DO濃度且求取其差值，容易予以控制，一般而言，ΔDO過高時會減低氯系氧化劑添加量，ΔDO過低時會增加氯系氧化劑添加量。

[氯系氧化劑之種類]

本發明所使用的氯系氧化劑，不為鍵結氯型者，只要是可與氨性氮反應，使胺性氮分解成氮之游離氯型者即可，沒有特別的限制，例如次亞氯酸或其鹽、亞氯酸或其鹽、氯酸或其鹽、過氯酸或其鹽等。此等可單獨1種使用，亦可2種以併用。

[氯系氧化劑之添加處]

氯系氧化劑之添加處，只要是在生物處理手段之前段即可，沒有特別的限制，藉由添加氯系氧化劑，可抑制直至到達生物處理手段之配管或桶內之微生物的繁雜時，以在上流側添加較佳，特別是在前處理系統之凝聚槽的前段添加更佳。在凝聚槽之前段添加氯系氧化劑時，使來自原水之Fe、Mn等藉由氯系氧化劑予以氧化，以降低其溶解度，藉此亦可藉由凝聚沉澱處理以提高Fe、Mn之除去效率。在沒有除去Fe、Mn等下，於逆滲透膜分離裝置中通水時，逆滲透膜因此等物質而引起捕捉的可能性，如此預先除去Fe、Mn，有利於安定運轉。

而且，不需如凝聚沉澱之前處理的原水時，以在原水槽中添加氯系氧化劑較佳。

此外，氯系氧化劑不限於在1處添加的形態，亦可於2處以上之複數處添加。

於任何時候，氯系氧化劑之總添加量相對於生物處理手段之給水的氨性氮濃度而言，皆可滿足前述之Cl₂ /NH₄ -N比的條件。

[生物處理手段]

本發明使用的生物處理手段，沒有特別的限制，以生物活性碳塔較佳，特別是就下述理由而言以固定床方式之生物活性碳塔較佳。

換言之，使用流動床方式時，沒有因生物活性碳塔內產生的菌體而產生差壓上昇的問題，惟通常由於過剩的菌體、微粉碳(活性碳互相摩擦而產生)放出於系外，故必須具有作為後段裝置之極為需要的SS分離裝置(超速過濾膜分離裝置或凝聚過濾裝置)。

對此而言，藉由使生物活性碳塔內之ΔDO調整成前述之值，且以固定床方式於生物活性碳塔中進行通水，不僅可抑制塔內差壓上昇，且可使對後段裝置之菌體外漏量減低化，可削減後段之SS分離裝置。

[生物處理手段之設置處]

生物處理手段之設置處，只要是藉由次系統、在前段即可，沒有特別的限制，惟以設置於前處理系統之最後段、即前處理系統中一般所設置的凝聚、加壓浮上(沉澱)、過濾(過濾膜)裝置等之後段、或一次純水系統之最前段、即在一次純水系統中一般所設置的逆滲透膜分離裝置、脫氣裝置及離子交換裝置(混床式或4床5塔式等)之最前段較佳，亦可設置於此等兩位置上。特別是就處理效率而言，以設置於一次純水系統之最前段更佳。

此係如下述之生物活性碳塔項中說明，藉由使高分子系有機物以前處理系統除去，且使低分子系有機物以生物處理手段(特別是生物活性碳塔)除去，可延長生物活性碳塔之壽命。

[生物活性碳塔]

於下述中，於本發明中說明有關適合作為生物處理手段使用的生物活性碳塔。

生物活性碳塔之有機物除去製程包含

i)藉由活性碳之有機物吸附製程

ii)藉由生物膜之有機物分解製程

iii)活性碳內之微生物使活性碳內吸附的有機物分解，使細孔容積回復的生物再生製程。

藉由使用生物活性碳，大幅地延長活性碳本身之吸附能力到達飽和的時間。

於該生物活性碳塔中，恐有因塔內之微生物繁殖，而導致塔內之壓力損失增加的情形，惟本發明由於進行添加有氯系氧化劑之水處理，特別是藉由使前述之ΔDO控制於所定範圍，以抑制塔內之微生物為必要以上之繁殖，且抑制該阻塞情形。

而且，於生物活性碳塔之後段所設置的逆滲透膜分離裝置及離子交換裝置中，恐會因自生物活性碳塔外漏的過剩菌而阻塞的情形，如前所述藉由控制ΔDO以抑制生物活性碳塔內過剩的菌體增殖，可使菌體之外漏情形抑制於最小值，亦可防止引起逆滲透膜分離裝置或離子交換裝置阻塞的情形。

由於幾乎可完全分解除去生物活性碳塔中之生物分解性有機物，亦可抑制在其後段之微生物繁殖。

而且，由下述理由可知，生物活性碳塔之給水，以由凝聚、加壓浮上(沉澱)、過濾裝置等構成的前處理系統處理原水所得的水較佳，因此，如上所述以設置於前處理系統之最後段及/或一次純水系統之最前段較佳。

換言之，於沒有進行凝聚沉澱處理等之前處理的水中，有機物中之生物分解性低的高分子系有機物成分之比例多，使該水在生物活性碳塔內進行通水時，由於無法得到藉由前述生物之有機物的分解及活性碳之再生效果，會有活性碳被早期破壞的情形。對此而言，藉由在前處理系統之最後段及/或一次純水系統之最前段設置生物活性碳塔，使經由前處理之水於生物活性碳塔中進行通水，高分子系有機物以前處理系統除去，低分子系有機物以生物活性碳除去，藉由使低分子系有機物以生物活性碳予以生物分解，形成生物活性碳之壽命顯著延長者。

生物活性碳塔，為提高生物活性碳塔給水之溶存氧濃度時，亦可設置於脫碳酸塔之後段。而且，就除去自生物活性碳塔所放出的過剩菌體而言，以設置於逆滲透膜分離裝置之前段較佳。

填充於生物活性碳塔之活性碳種，可以為石炭系、椰子殼系等任何一種，對於破碎碳、造粒碳、成形碳、交叉狀、纖維狀等之形狀、種類等，沒有特別的限制。

對生物活性碳塔之活性碳的填充方式，可為流動床、膨脹層、固定床等任何一種，如上所述就菌體外漏情形少而言，以固定床較佳。生物活性碳塔之通水方式，可為上向流通水，亦可為下向流通水。

對生物活性碳塔之通水速度，以約SV5～30hr^-1 較佳。以該生物活性碳塔之給水溫度為10～35℃、pH值為4～8較佳，因此，視其所需在生物活性碳塔之前段設置熱交換器或pH值調整劑添加手段較佳。

而且，原水中之有機物濃度低，生物活性碳塔內之ΔDO未達200μg/L時，以設置在生物活性碳塔之給水中添加醋酸、醋酸鈉、甲醇、乙醇、丙酮等之生物易分解性有機物的手段較佳。

另外，於下述中以實施例及比較例更具體地說明本發明。

[實施例] [實施例1～3、比較例1,2]

藉由第1圖所示之超純水製造裝置，以工業用水及回收水為原水，進行製造超純水。

工業用水之尿素濃度為20～60μg/L，回收水之氨離子濃度為1～2mg/L。工業用水與回收水係以工業用水：回收水=2：1之比例處理。

使用次亞氯酸鈉作為氯系氧化劑，對原水槽之次亞氯酸鈉添加量，如表1所示之Cl₂ /NH₄ -N比。

而且，生物活性碳塔中使用的活性碳種，係Kuraray Chemical Co.製石碳系活性碳「KW10-32」，固定床式生物活性碳塔之通水SV為10hr^-1 ，水溫為20℃，pH值為6。

相對於自回收水混入的氨性氮濃度(混合有工業用水與回收水之混合水的氨性氮濃度)而言，次亞氯酸鈉之添加量的比例(Cl₂ /NH₄ -N比)與生物活性碳塔內之ΔDO及使用裝置之TOC值與尿素濃度如表1所示。而且，ΔDO與生物活性碳塔內差壓上昇速度之關係如表2所示。

由表1可知，藉由添加Cl₂ /NH₄ -N比為5～8重量倍之次亞氯酸鈉，在生物活性碳塔內進行生物分解尿素，可減低使用裝置之尿素濃度及TOC值。

另外，由表2可知，生物活性碳塔之ΔDO大於2000 μg/L時，由於生物活性碳塔內之差壓上昇速度變大，此時會有過剩的菌體增殖問題。

10．．．前處理系統

11．．．原水槽

20．．．一次純水系統

21．．．純水原水桶

22．．．生物活性碳塔

23．．．第1逆滲透膜分離裝置

24．．．第2逆滲透膜分離裝置

25．．．混床式離子交換裝置

26．．．真空脫氣裝置

30．．．次系統

31．．．次系統桶

32．．．熱交換器

33．．．低壓紫外線氧化裝置

34．．．離子交換純水裝置

35．．．超速過濾膜分離裝置

40．．．使用裝置

[第1圖]係本發明之超純水製造方法及裝置的實施形態例之系統圖。女

[第2圖]係氯添加量與殘留氯濃度之關係圖。