TWI568683B - 水處理方法以及超純水製造方法 - Google Patents
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Description
本發明是有關於一種原水的水處理方法以及使用經該水處理方法所處理的處理水的超純水製造方法，尤其是有關於一種可高度去除原水中的尿素的水處理方法以及使用經該水處理方法所處理的處理水的超純水製造方法。
先前，由自來水、地下水、工業用水等原水來製造超純水的超純水製造裝置基本上是由前處理裝置、一次純水製造裝置及二次純水製造裝置所構成。其中，前處理裝置是由凝集、浮起、過濾裝置所構成。一次純水製造裝置例如是由2台逆滲透膜分離裝置及混床式離子交換裝置、或者離子交換純水裝置及逆滲透膜分離裝置所構成。另外，二次純水製造裝置例如是由低壓紫外線氧化裝置、混床式離子交換裝置及超濾膜分離裝置所構成。
此種超純水製造裝置中，對其純度提高的要求提高，且伴隨此而謀求總有機碳(Total Organic Carbon，TOC)成分的去除。超純水中的TOC成分中，尿素的去除特別困難，越減少TOC成分，尿素的去除對TOC成分的含有率造成的影響越大。因此，專利文獻1~專利文獻3中記載有藉由自供給至超純水製造裝置中的水中去除尿素而充分減少超純水中的TOC。
專利文獻1中揭示有，於前處理裝置中組入生物處理裝置，利用該生物處理裝置來分解尿素。另外，專利文獻
2中揭示有，於前處理裝置中組入生物處理裝置，通入被處理水(工業用水)與半導體清洗回收水的混合水，該半導體清洗回收水中所含有的有機物成為生物處理反應的碳源，提高尿素的分解速度。此外，存在該半導體清洗回收水中含有大量銨離子(NH4 +)的情況，該銨離子與尿素同樣地成為氮源而阻礙尿素的分解。進而，專利文獻3中記載有，為了解決專利文獻2的上述問題，而將被處理水(工業用水)與半導體清洗回收水分別進行生物處理後加以混合，通入一次純水製造裝置及二次純水製造裝置中。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開平6-63592號公報
[專利文獻2]日本專利特開平6-233997號公報
[專利文獻3]日本專利特開平7-313994號公報
然而，若如專利文獻2所記載的水處理方法所述，於被處理水添加碳源，則雖然生物處理裝置的尿素分解去除效率提高，但存在生物處理裝置內的菌體的增殖量增加，來自該生物處理裝置的菌體的流出量增加的問題。
另外，專利文獻2所記載的水處理方法中，若使用作為碳源的銨離子的含量多的半導體清洗回收水，則存在銨離子阻礙尿素分解的問題。
本發明是鑒於上述問題而成，目的在於提供一種可高度分解原水中的TOC、尤其是尿素的水處理方法。另外，
本發明的目的在於提供一種利用該水處理方法的超純水製造方法。
為了解決上述問題，第一，本發明提供一種水處理方法，對包含有機物的原水進行生物處理，該水處理方法的特徵在於：於原水中添加尿素或尿素衍生物、及/或氨性氮源後進行生物處理(發明1)。
尿素分解菌(推定為硝化細菌的一種)參與尿素的去除，依據上述發明(發明1)，藉由在原水中添加尿素或尿素衍生物、及/或氨性氮源，可促進存在於生物處理裝置內而分解尿素的硝化細菌群的增殖，因此可獲得良好的尿素去除性能。
即，原水中的尿素隨季節而大幅變動，但若原水中的尿素濃度降低的狀態長期(2週~1個月以上)持續，則生物處理裝置的尿素去除性能大幅度降低，存在無法對應其後的尿素濃度的上升的情況。一般認為其原因在於，硝化細菌群失活、或者緩緩流出至裝置外。因此，上述發明(發明1)中，藉由在原水中添加尿素或尿素衍生物，則即便於原水的尿素濃度降低的情況，亦可維持最低限度的硝化細菌群，且於原水的尿素濃度低的期間長期持續後尿素濃度上升時，亦可維持尿素去除性能。
另外，專利文獻2所記載的水處理方法中，並非硝化細菌，而是生化需氧量(Biochemical Oxygen Demand，BOD)同化細菌(異營細菌)將有機物分解、同化時，推測為如下處理機制：藉由將作為氮源的尿素及尿素衍生物
分解，作為氨來攝取，而去除尿素及尿素衍生物。相對於此，於硝化細菌群將氨氧化為亞硝酸、硝酸的過程中，利用具有藉由將尿素及尿素衍生物氧化為氨或者直接氧化為亞硝酸而去除尿素及尿素衍生物的機制的情況，上述發明(發明1)中，藉由在原水中添加氨性氮源，可提高該些硝化細菌群的增殖、活性。推測為，利用活性提高的硝化細菌群，尿素及尿素衍生物的去除性能提高。
進而，上述發明(發明1)中，藉由在原水中添加尿素或尿素衍生物、以及氨性氮源，將尿素或尿素衍生物的添加量設為最低限度，並且藉由添加氨性氮源而提高硝化細菌群的增殖、活性，可對負荷變動獲得更高的效果。其是由於如下所述的原因。即，於原水的尿素濃度降低的期間，上述發明(發明1)中，亦可藉由添加氨性氮源而維持尿素分解菌的活性，並且藉由將微量的尿素或尿素衍生物一併添加，可將適合於去除尿素及尿素衍生物的菌群維持為最低限度。因此，於原水的尿素濃度降低的期間長期持續，然後尿素濃度上升的情況，亦可獲得充分的尿素去除性能。另外，由於尿素及尿素衍生物存在殘留於生物處理水中的風險，故而過剩量的添加欠佳，可藉由添加氨性氮源來補充上述尿素及尿素衍生物。
上述發明(發明1)中，較佳為於上述原水中添加上述尿素或上述尿素衍生物、及/或上述氨性氮源後，將pH值調整為5~6.5而進行上述生物處理(發明2)。
對藉由在生物處理中添加氨性氮而使硝化細菌群(氨
氧化菌群)增殖來提高尿素分解能力的水處理方法，其後的研究結果可知，即便硝化細菌群並不分解尿素，亦可藉由氨的氧化而生成能量來增殖，根據運轉條件，有僅利用所添加的氨性氮而成為不分解尿素的系統的情況。
具體而言，已知尿素及尿素衍生物的濃度於自來水或工業用水中存在季節變動，且根據給水的尿素及尿素衍生物的濃度，硝化細菌群的活性亦變化。即，若給水的尿素及尿素衍生物的濃度降低，則其活性亦降低，即便其後給水的尿素及尿素衍生物的濃度急遽上升，亦無法追隨，存在尿素及尿素衍生物洩漏至處理水中的情況。
因此認為，追隨給水中的尿素及尿素衍生物的濃度變動而將生物處理水的尿素濃度維持為較低，因此經常添加氨性氮源而維持硝化細菌群的活性，但即便氨性氮的去除性能可維持，尿素及尿素衍生物的去除性能亦未必可維持。
依據上述發明(發明2)，於上述發明(發明1)中在原水中添加氨性氮源的情況，即便原水中的尿素及尿素衍生物的濃度變動，亦可迅速地追隨該變動而高度分解尿素，藉由將pH值調整為5~6.5，於中性區域具有最佳值的硝化細菌群的氨氧化活性及尿素分解活性中任一者與最佳pH值相比均降低，但與氨氧化活性的降低相比，尿素分解活性的降低少。進而，離子狀態的氨增加，進入至硝化細菌群的氨的量降低。藉此，硝化細菌群所消耗的尿素增加，因此即便尿素濃度大幅變動，亦可維持硝化細菌群的活性，可有效地分解、去除尿素。
上述發明(發明1)中，較佳為相對於上述尿素的濃度，上述氨性氮源以NH4 +-N/尿素計為100以下(發明3)。依據上述發明(發明3)，藉由將氨的濃度相對於尿素濃度而設為100倍以下，可維持優先分解去除尿素的功能。
上述發明(發明1)中，較佳為上述氨性氮源為銨鹽(發明4)。依據上述發明(發明4)，氯化銨等銨鹽藉由利用氨氧化菌氧化成為亞硝酸離子(NO2 -)，而適合於硝化細菌群的活性化，另外，該氯化銨等銨鹽的添加、控制亦容易，適合於將尿素的濃度維持為較低。
上述發明(發明1)中，較佳為利用具有生物支持載體的生物處理機構來進行上述生物處理(發明5)。另外，上述發明(發明5)中，較佳為利用具有上述生物支持載體的固定床的生物處理機構來進行上述生物處理(發明6)。進而，上述發明(發明5)中，較佳為上述生物支持載體為活性碳(發明7)。依據上述發明(發明5~發明7)，由於是生物處理機構使用生物支持載體的生物膜法，故而與流動床的情況相比更可抑制來自生物處理機構的菌體的流出，處理的效果高，且可長時間維持該效果。
上述發明(發明1)中，較佳為於上述生物處理的後段進行還原處理(發明8)。依據上述發明(發明8)，於生物處理的原水中存在氯系氧化劑(次氯酸等)的情況多，但該些氯系氧化劑與氨性氮源反應而形成氯胺化合物(chloramine)。氯胺與游離氯相比較氧化力低，但有於後段的處理中引起處理構件的氧化劣化的可能性，因此可藉
由還原處理而使該氯胺化合物無害化。
另外，第二，本發明提供一種超純水製造方法，其特徵在於：將利用上述發明(發明1~發明8)的水處理方法所獲得的處理水在一次純水裝置及二次純水裝置中進行處理而製造超純水(發明9)。
依據上述發明(發明9)，由於在一次純水裝置及二次純水裝置的前段的生物處理(水處理)中，被處理水(原水)中的尿素經充分分解去除，故而可效率良好地製造高純度的超純水。
依據本發明的水處理方法，可高度分解原水中的TOC、尤其是尿素。
為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。
[第一實施形態]
以下，參照隨附圖式來對本發明的實施形態進行說明。圖1是表示本發明的第一實施形態的水處理方法的概略圖。
圖1中，1為儲留有由前處理裝置供給的原水W的給水槽，由該給水槽1供給的原水W於生物處理機構2中經生物處理後，作為處理水W1而供給至一次純水裝置3中。而且，於生物處理機構2的前段添加氨性氮源(NH3-N)。
於上述處理流程中，成為處理對象的原水W是使用地下水、河水、自來水、其他的工業用水、來自半導體製造步驟的回收水等。另外，亦可為將該些水進行淨化處理而成的原水。該淨化處理較佳為與超純水的製造步驟中的前處理系統或者與其相同的處理。具體而言，較佳為凝集、加壓浮起、過濾等處理或該些處理的組合。
原水(處理對象水)中的尿素濃度較佳為5μg/L~200μg/L，特佳為5μg/L~100μg/L左右。
本實施形態中，所謂生物處理機構2，是指進行藉由生物學作用而使污水等廢水中的污濁物質分解、穩定化的處理的機構，分為好氧處理及厭氧處理。通常，有機物藉由生物處理而於有氧呼吸、硝酸呼吸、醱酵過程等中分解、氣化，或進入微生物的體內，作為污泥而被去除。另外，亦可進行氮(硝化脫氮法)或磷(生物學的磷去除法)的去除處理。通常將進行上述生物處理的機構稱為生物反應槽。上述生物處理機構2並無特別限制，較佳為具有生物支持載體的固定床的機構。特佳為菌體的流出少的下向流方式的固定床。
於將生物處理機構2設為固定床的情況，較佳為視需要清洗固定床。藉此，防止產生由生物(菌體)的增殖引起的固定床的閉塞、泥球化、尿素的分解去除效率的降低等。對該清洗方法並無特別限制，例如較佳為進行逆洗，即，向與原水的通水方向相反的方向通入清洗水而使載體流動化，來進行堆積物的向系統外的排出、泥球的粉碎、
生物的一部分的剝離等。
另外，對固定床的載體的種類並無特別限制，可使用活性碳、無煙煤(anthracite)、砂、沸石(zeolite)、離子交換樹脂、塑膠製成形品等，但為了於氧化劑及/或殺菌劑的存在下實施生物處理，較佳為使用氧化劑及/或殺菌劑的消耗量少的載體。其中，於存在向生物處理機構中流入高濃度氧化劑及/或殺菌劑的可能性的情況，較佳為使用可分解氧化劑及/或殺菌劑的活性碳等載體。於如上所述使用活性碳等的情況，即便為被處理水中的氧化劑及/或殺菌劑的濃度高的情況，亦防止菌體失活、滅絕。
向生物處理機構2中的通水速度較佳為設為SV 5hr-1~50hr-1左右。向該生物處理機構2中的給水的水溫較佳為常溫，例如10℃~35℃，pH值較佳為大致中性，例如4~8。因此，較佳為視需要於生物處理機構的前段設置熱交換機或pH調整劑添加機構。
於將該原水W導入至生物處理機構2中之前，添加氨性氮源。該氨性氮源並無特別限制，可適宜使用銨鹽(無機化合物)、氨水(氫氧化銨)，以及可藉由蛋白等的生物降解而生成銨離子或游離氨的有機物等。該些氨性氮源中，較佳為氯化銨等無機銨鹽。
如上所述的氨性氮源的添加量只要設為0.1mg/L~5mg/L(NH4 +換算)即可。具體而言，只要以原水W中的銨離子的濃度成為上述範圍內的方式添加即可。若原水W中的銨離子濃度小於0.1mg/L(NH4 +換算)，則變得難以
維持硝化細菌群的活性，另一方面，即便超過5mg/L(NH4 +換算)，亦不僅未獲得進一步的硝化細菌群的活性，並且來自生物處理機構2的洩漏量變得過多，因此欠佳。
藉由以原水W中的銨離子的濃度成為上述範圍內的方式添加氨性氮源，可將經過約10天~30天後的生物處理機構2中的處理水W1中的尿素濃度維持為5μg/L以下，尤其為2μg/L以下。
本發明者們發現，藉由以上述方式於原水W中添加氨性氮源，可發揮可穩定地分解作為TOC的尿素及尿素衍生物的令人驚訝的效果。推測其是由於如下所述的原因。即，已知尿素及尿素衍生物的濃度在自來水、工業用水中會隨季節而變動，若原水W中的尿素及尿素衍生物的濃度變低，則硝化細菌群的活性降低，即便其後濃度急遽上升，亦無法追隨硝化細菌群的活性，未完全分解，因此洩漏至處理水W1中。因此，藉由添加氨性氮源來維持硝化細菌群的活性，可追隨原水W中的尿素及尿素衍生物的濃度變動，將生物處理機構2中的處理水W1的尿素濃度維持為較低。
氨性氮源無需經常添加，例如可使用僅於生物載體交換時的提昇期間添加的方法、或者每隔一定期間反覆進行添加、不添加的方法等。藉由如上所述不經常添加氨性氮源，亦發揮可減少氨性氮源的添加成本的效果。
此外，硝化細菌於溶氧的存在下，若引誘物(氨性氮源、尿素、尿素衍生物等)不存在的狀態(空曝氣狀態)
持續，則活性降低。用以避免該活性降低的具體方案可列舉：(1)經常或者間歇添加氨性氮源的方法(本實施形態的方法)；(2)根據生物處理給水或者處理水中的氨性氮、尿素等的濃度來添加控制氨性氮源的方法；以及(3)與上述(2)同樣地控制溶氧濃度的方法(藉由脫氧劑的添加、還原劑的添加、除氣處理、氮氣曝氣的溶氧去除等)。就簡便性及成本的觀點而言，認為本實施形態的方法(上述(1)的方法)為更佳的方法。
此外，於該原水W中可視需要進而添加氧化劑及/或殺菌劑。對所添加的氧化劑及/或殺菌劑的種類並無特別限制，適宜使用可使有效率地分解尿素的菌種優先化的氧化劑及/或殺菌劑。具體而言，可適宜使用次氯酸鈉、二氧化氯等氯系氧化劑，單氯胺(monochloramine)、二氯胺(dichloramine)等氯胺劑(穩定化氯劑)等。
依據以上所說明的本發明的第一實施形態的水處理方法，於包含有機物的原水中添加氨性氮源後進行生物處理，因此該些硝化細菌群增殖，並且其活性提高，藉此可分解去除尿素。藉由在一次純水裝置及二次純水裝置的前段進行利用上述水處理方法的水處理，可效率良好地製造TOC濃度低的高純度超純水。
[第二實施形態]
接著，參照圖2對本發明的第二實施形態的水處理方法進行說明。第二實施形態的水處理方法具有上述第一實施形態中，除了於生物處理機構2的後段，且於一次純水
裝置3之前具有還原處理機構4以外的相同構成。
藉由採用如上所述的構成，於上述第一實施形態中使用氯系氧化劑(次氯酸等)且存在剩餘氯的情況，該些與氨性氮源反應而形成氯胺化合物。該氯胺化合物與游離氯相比較氧化力低，但於後段的一次純水裝置3等中，存在引起該些構成要素的構件的氧化劣化的可能性，但可藉由實施還原處理而使該些氯胺化合物無害化。
此外，已知於使用活性碳作為生物處理機構2的生物支持載體的固定床的情況，活性碳可藉由觸媒反應而對氯系氧化劑進行還原處理，但由於無法將氯胺化合物迅速還原而容易洩漏，存在殘存而影響至後段的一次純水裝置3的可能性，因此即便為使用活性碳的情況，亦較佳為設置還原處理機構4。
上述還原處理機構4例如可添加：氫氣等氣體；二氧化硫等低級氧化物；硫代硫酸鹽、亞硫酸鹽、亞硫酸氫鹽、亞硝酸鹽等低級含氧酸鹽；鐵(II)鹽等低原子價金屬鹽；甲酸、乙二酸、L-抗壞血酸(L-ascorbic acid)等有機酸或其鹽；肼(hydrazine)、醛(aldehyde)類、糖類等其他還原劑。該些化合物中，可適宜使用亞硝酸鹽、亞硫酸鹽、鐵(II)鹽、二氧化硫、亞硫酸氫鹽，或者乙二酸、L-抗壞血酸或者該些酸的鹽。另外，亦可設置活性碳塔作為還原處理機構4，利用活性碳而進一步還原。
於添加還原劑的情況，還原劑的添加量較佳為根據氧化劑濃度來適當調整。例如，於使用亞硫酸鈉作為還原劑
來還原殘留氯的情況，只要以亞硫酸離子(SO3 2-)與次氯酸離子(ClO-)成為等莫耳的方式添加即可，考慮到安全率，添加1.2倍量~3.0倍量即可。由於處理水的氧化劑濃度存在變動，故而更佳為監視處理水的氧化劑濃度，較佳為根據氧化劑濃度來控制還原劑添加量。另外，為簡便起見，亦可使用定期測定氧化劑濃度，適當設定符合測定濃度的添加量的方法。此外，氧化劑濃度的檢測機構可列舉氧化還原電位(Oxidation Reduction Potential，ORP)，另外關於殘留氯可列舉殘留氯計(極譜儀法等)。
[第三實施形態]
接著，參照圖3對本發明的第三實施形態的水處理方法進行說明。圖3是表示本發明的第三實施形態的水處理方法的概略圖。
圖3中，1為儲留有由前處理裝置供給的原水W的給水槽，由該給水槽1供給的原水W在生物處理機構2中經生物處理後，作為處理水W1而供給至一次純水裝置3中。而且，於生物處理機構2的前段添加尿素或尿素衍生物。
於如上所述的處理流程中，成為處理對象的原水W是使用地下水、河水、自來水、其他的工業用水、來自半導體製造步驟的回收水等。另外，亦可為將該些水進行淨化處理而成的原水。該淨化處理較佳為超純水的製造步驟中的前處理系統或者與其相同的處理。具體而言，較佳為凝集、加壓浮起、過濾等處理或該些處理的組合。
原水(處理對象水)W中的尿素濃度較佳為5μg/L~
200μg/L，特佳為5μg/L~100μg/L左右。
本實施形態中，所謂生物處理機構2，是指進行藉由生物學作用而使污水等廢水中的污濁物質分解、穩定化的處理的機構，分為好氧處理及厭氧處理。通常有機物藉由生物處理而於有氧呼吸、硝酸呼吸、醱酵過程等中分解、氣化，或進入微生物的體內，作為污泥而被去除。另外，亦可進行氮(硝化脫氮法)或磷(生物學的磷去除法)的去除處理。通常將進行上述生物處理的機構稱為生物反應槽。如上所述的生物處理機構2並無特別限制，較佳為具有生物支持載體的固定床的機構。特佳為菌體的流出少的下向流方式的固定床。
於將生物處理機構2設為固定床的情況，較佳為視需要清洗固定床。藉此，防止產生由生物(菌體)的增殖引起的固定床的閉塞、泥球化、尿素的分解去除效率降低等。對該清洗方法並無特別限制，例如較佳為進行逆洗，即，向與原水的通水方向相反的方向通入清洗水而使載體流動化，來進行堆積物的向系統外的排出、泥球的粉碎、生物的一部分的剝離等。
另外，對固定床的載體的種類並無特別限制，可使用活性碳、無煙煤、砂、沸石、離子交換樹脂、塑膠製成形品等，但為了於氧化劑及/或殺菌劑的存在下實施生物處理，較佳為使用氧化劑及/或殺菌劑的消耗量少的載體。其中，於存在向生物處理機構中流入高濃度氧化劑及/或殺菌劑的可能性的情況，較佳為使用可分解氧化劑及/或殺菌劑
的活性碳等載體。於如上所述使用活性碳等的情況，即便為被處理水中的氧化劑及/或殺菌劑的濃度高的情況，亦防止菌體失活、滅絕。
向生物處理機構2中的通水速度較佳為設為SV 5hr-1~50hr-1左右。向該生物處理機構2中的給水的水溫較佳為常溫，例如10℃~35℃，pH值較佳為大致中性，例如4~8。因此，較佳為視需要於生物處理機構的前段設置熱交換機或pH調整劑添加機構。
本實施的形態中，於將該原水W導入至生物處理機構2中之前，添加尿素或尿素衍生物。藉由在原水W中添加尿素或尿素衍生物，即便原水W的尿素濃度降低且經過某程度的期間，亦可於生物處理機構2中維持最低限度的尿素分解菌(推定為硝化細菌的一種)，於原水W的尿素濃度低的期間長期持續後尿素濃度上升的情況，亦可維持尿素去除性能。
添加於生物處理機構2中的尿素或尿素衍生物中，就在由於與本來的去除對象為同一成分而更可維持適合於去除尿素的菌體的方面有效而言，較佳為使用尿素。然而，尿素由於分子量小且離子性低，故而於利用生物處理機構2未完全去除的情況，即便在後段的一次純水裝置3的逆滲透膜處理或離子交換處理中亦難以去除，存在對所得超純水的水質造成影響的風險，因此該尿素的添加量較理想為設為必要最小限度。
另外，於添加尿素衍生物的情況，該尿素衍生物可使
用：甲基尿素(methyl urea)、丁基尿素(butyl urea)、苯基尿素(phenyl urea)、萘基尿素(naphthyl urea)、二甲基尿素(dimethyl urea)、半卡肼(semicarbazide)、尿素(allantoin)、瓜胺酸(citrulline)、其他白蛋白(albumin)等蛋白質等。該尿素衍生物只要是與上述尿素相反，分子量大至某程度且具有離子性的化合物，則即便未於生物處理機構2中完全去除，亦由於在後段的一次純水裝置3的逆滲透膜處理、離子交換處理中預料某程度的去除，故而可避免對超純水水質的風險。另一方面，由於與作為本來的去除對象的尿素不相同，故而存在未必可充分保持最適合於去除尿素的菌體的可能性。
考慮到原水W中的尿素濃度的變動幅度，如上所述的尿素或尿素衍生物的添加量較佳為所預測的最大尿素濃度的1/2~1/10的濃度。具體的濃度較佳為1μg/L~20μg/L左右。若尿素的添加濃度小於1μg/L，則變得難以保持對尿素的去除而言最低限度的必要尿素分解菌，另一方面若超過20μg/L，則生物處理機構2中尿素未經完全去除，洩漏至後段的尿素成為提高超純水的TOC的要因，因此欠佳。
進而，本實施形態中，藉由連同上述尿素或尿素衍生物一起進而添加氨性氮源，而承擔尿素或尿素衍生物的補充作用，因此不僅抑制其添加量，並且藉由添加氨性氮源而提高尿素分解菌(推定為硝化細菌的一種)的增殖、活性，可對負荷變動獲得更高的效果。
另外，於原水W的尿素濃度降低的期間，亦可藉由添加氨性氮源而維持尿素分解菌的活性，且藉由與微量的尿素或尿素衍生物合併添加而將適合於去除尿素及尿素衍生物的菌群維持為最低限度，並且於原水的尿素濃度降低的期間長期持續，然後尿素濃度上升的情況，亦可獲得充分的尿素去除性能。
如上所述的氨性氮源並無特別限制，可適宜使用銨鹽(無機化合物)、氨水(氫氧化銨)，以及可藉由蛋白等的生物降解而生成銨離子或游離氨的有機物等。該些氨性氮源中，較佳為氯化銨等無機銨鹽。
如上所述的氨性氮源的添加量只要設為0.1mg/L~5mg/L(NH4 +換算)即可。具體而言，只要以原水W中的銨離子的濃度成為上述範圍內的方式添加即可。若原水W中的銨離子濃度小於0.1mg/L(NH4 +換算)，則變得難以維持硝化細菌群的活性，另一方面，即便超過5mg/L(NH4 +換算)，亦不僅未獲得進一步的硝化細菌群的活性，並且來自生物處理機構2的洩漏量變得過多，因此欠佳。
藉由以原水W中的銨離子的濃度成為上述範圍內的方式於尿素或尿素衍生物中進一步添加氨性氮源，可將經過約10天~30天後的生物處理機構2中的處理水W1中的尿素濃度維持為5μg/L以下，尤其為2μg/L以下。
藉由如上所述於原水W中添加尿素或尿素衍生物與視需要的氨性氮源，可穩定地分解作為TOC的尿素及尿素衍生物，推測其原因為如下所述。即，已知原水W中的尿
素及尿素衍生物的濃度在自來水、工業用水中隨季節而變動，若原水W中的尿素及尿素衍生物的濃度變低，則硝化細菌群的活性降低，即便其後濃度急遽上升，亦無法追隨硝化細菌群的活性，未完全分解，因此洩漏至處理水W1中。因此，藉由在原水W中添加尿素或尿素衍生物及視需要的氨性氮源來維持硝化細菌群的活性，可追隨原水W中的尿素及尿素衍生物的濃度變動，將生物處理機構2中的處理水W1的尿素濃度維持為較低。
上述尿素或尿素衍生物以及作為任意添加物的氨性氮源的添加方法可適宜使用經常添加一定量的方法、間歇添加一定量的方法中的任一種。藉由不經常添加，亦發揮可減少尿素或尿素衍生物以及作為任意添加物的氨性氮源的添加成本的效果。
此外，硝化細菌於溶氧的存在下，若引誘物(氨性氮源、尿素、尿素衍生物等)不存在的狀態(空曝氣狀態)持續，則活性降低。用以避免該活性降低的具體方案可列舉：(1)經常或者間歇添加氨性氮源的方法(本實施形態的方法)；(2)根據生物處理給水或者處理水中的氨性氮、尿素等的濃度來添加控制氨性氮源的方法；以及(3)與上述(2)同樣地控制溶氧濃度的方法(藉由脫氧劑的添加、還原劑的添加、除氣處理、氮氣曝氣的溶氧去除等)。就簡便性及成本的觀點而言，認為本實施形態的方法(上述(1)的方法)為更佳的方法。
此外，可於該原水W中視需要進而添加氧化劑及/或
殺菌劑。對所添加的氧化劑及/或殺菌劑的種類並無特別限制，適宜使用可使有效率地分解尿素的菌種優先化的氧化劑及/或殺菌劑。具體而言，可適宜使用次氯酸鈉、二氧化氯等氯系氧化劑，單氯胺、二氯胺等氯胺劑(穩定化氯劑)等。
依據本實施形態的水處理方法，於包含有機物的原水中添加尿素或尿素衍生物後進行生物處理，因此即便於原水中的尿素的濃度降低的情況，亦可維持最低限度的尿素分解菌(推定為硝化細菌的一種)，即便原水的尿素濃度低的期間長期持續後尿素濃度上升，亦可維持尿素去除性能。
[第四實施形態]
接著，參照圖4對本發明的第四實施形態的水處理方法進行說明。第四實施形態的水處理方法具有上述第三實施形態中，除了於生物處理機構2的後段，且於一次純水裝置3之前具有還原處理機構4以外的相同構成。
藉由採用如上所述的構成，於上述第三實施形態中使用氯系氧化劑(次氯酸等)且存在剩餘氯的情況，該些與氨性氮源反應而形成氯胺化合物。該氯胺化合物與游離氯相比較氧化力低，但於後段的一次純水裝置3等中存在引起該些構成要素的構件的氧化劣化的可能性，但可藉由實施還原處理而使該些氯胺化合物無害化。
此外，已知於使用活性碳作為生物處理機構2的生物支持載體的固定床的情況，活性碳可藉由觸媒反應而對氯系氧化劑進行還原處理，但由於無法將氯胺化合物迅速還
原而容易洩漏，存在殘存而影響至後段的一次純水裝置3的可能性，因此即便為使用活性碳的情況，亦較佳為設置還原處理機構4。
上述還原處理機構4例如可添加：氫氣等氣體；二氧化硫等低級氧化物；硫代硫酸鹽、亞硫酸鹽、亞硫酸氫鹽、亞硝酸鹽等低級含氧酸鹽；鐵(II)鹽等低原子價金屬鹽；甲酸、乙二酸、L-抗壞血酸等有機酸或其鹽；肼、醛類、糖類等其他還原劑。該些化合物中，可適宜使用亞硝酸鹽、亞硫酸鹽、鐵(II)鹽、二氧化硫、亞硫酸氫鹽，或者乙二酸、L-抗壞血酸或該些酸的鹽。另外，亦可設置活性碳塔作為還原處理機構4，利用活性碳來進一步還原。
於添加還原劑的情況，還原劑的添加量較佳為根據氧化劑濃度來適當調整。例如，於使用亞硫酸鈉作為還原劑來還原殘留氯的情況，只要以亞硫酸離子(SO3 2-)與次氯酸離子(ClO-)成為等莫耳的方式添加即可，考慮到安全率，添加1.2倍量~3.0倍量即可。由於處理水的氧化劑濃度存在變動，故而更佳為監視處理水的氧化劑濃度，較佳為根據氧化劑濃度來控制還原劑添加量。另外，為簡便起見，亦可使用定期測定氧化劑濃度，適當設定符合測定濃度的添加量的方法。此外，氧化劑濃度的檢測機構可列舉氧化還原電位(ORP)，另外關於殘留氯可列舉殘留氯計(極譜儀法等)。
[第五實施形態]
以下，適當參照圖式，對本發明的第五實施形態的水
處理方法進行說明。圖5是表示本發明的第五實施形態的水處理方法的概略圖。
圖5中，7為由未圖示的原水儲存槽供給的原水W的前處理系統，在該前處理系統7中經處理的原水W暫時儲留於給水槽1中。而且，該給水槽1連接於生物處理機構2，在該生物處理機構2中經處理的原水W可作為處理水W1而供給至一次純水裝置中。於該生物處理機構2的前段設置未圖示的pH感測器及供給機構6，可由供給機構6添加氨性氮源(NH4 +-N)以及作為pH調整劑的硫酸。此外，5為輸送管。
於如上所述的構成的生物處理裝置中，成為處理對象的原水W可使用地下水、河水、自來水、其他的工業用水、來自半導體製造步驟的回收水等。原水(處理對象水)W中的尿素濃度較佳為5μg/L~200μg/L，特佳為5μg/L~100μg/L左右。
另外，前處理系統7較佳為超純水的製造步驟中的一般前處理系統或者與其相同的處理系統。具體而言，可使用包含凝集、加壓浮起、過濾等的處理系統。
生物處理機構2是進行藉由生物學作用而使污水等廢水中的污濁物質分解、穩定化的處理的機構，分為好氧處理及厭氧處理。通常有機物藉由生物處理而於有氧呼吸、硝酸呼吸、醱酵過程等中分解、氣化，或進入微生物的體內，作為污泥而被去除。另外，亦可進行氮(硝化脫氮法)或磷(生物學的磷去除法)的去除處理。通常將進行上述
生物處理的機構稱為生物反應槽。如上所述的生物處理機構2並無特別限制，較佳為具有生物支持載體的固定床的機構。特佳為菌體的流出少的下向流方式的固定床。
於將生物處理機構2設為固定床的情況，較佳為視需要清洗固定床。藉此，防止產生由生物(菌體)的增殖引起的固定床的閉塞、泥球化、尿素的分解去除效率降低等。對該清洗方法並無特別限制，例如較佳為進行逆洗，即，向與原水的通水方向相反的方向通入清洗水而使載體流動化，來進行堆積物的向系統外的排出、泥球的粉碎、生物的一部分的剝離等。
另外，對固定床的載體的種類並無特別限制，可使用活性碳、無煙煤、砂、沸石、離子交換樹脂、塑膠製成形品等，但為了於氧化劑的存在下實施生物處理，較佳為使用氧化劑的消耗量少的載體。其中，於存在高濃度的氧化劑流入至生物處理機構中的可能性的情況，較佳為使用可分解氧化劑的活性碳等載體。於如上所述使用活性碳等的情況，即便是被處理水中的氧化劑的濃度高的情況，亦防止菌體失活、滅絕。
向生物處理機構2中的通水速度較佳為設為SV 5hr-1~50hr-1左右。向該生物處理機構2中的給水的水溫較佳為常溫，例如10℃~35℃。因此，較佳為視需要於生物處理機構的前段設置熱交換機。
由供給機構6添加至該生物處理機構2中的氨性氮源並無特別限制，可適宜使用銨鹽(無機化合物)、氨水(氫
氧化銨)，以及可藉由蛋白等的生物降解而生成銨離子或者游離氨的有機物等。該些氨性氮源中，較佳為氯化銨等無機銨鹽。
以下，對使用如上所述構成的裝置及添加劑等的水處理方法進行說明。
首先，藉由將原水W供給至前處理系統7中來去除原水W中的濁質成分，不僅可抑制由於該濁質成分而使後段的第一生物處理機構2中的有機物的分解去除效率降低，並且抑制第一生物處理機構2的壓力損失的增加。
而且，視需要利用未圖示的熱交換器，對該經前處理的原水W，以於該原水W的水溫低的情況進行加溫，於水溫高的情況進行冷卻而成為預定水溫的方式，視需要實施溫度調節。即，原水W的水溫越高，反應速度越提高，且分解效率越提高。另一方面，於水溫高的情況，必需使生物處理機構2的處理槽或輸送管5的配管等具有耐熱性，造成設備成本的增大。另外，於原水W的水溫低的情況，造成加溫成本的增大。具體而言，若水溫為40℃以下，則生物反應基本上是水溫越高，生物活性及去除速度越提高。然而，若水溫超過40℃，則相反，表現出生物活性及去除效率降低的傾向。由於以上原因，處理水溫較佳為20℃~40℃左右。因此，若原水W的初始溫度為上述範圍內，則可不作任何處理。
如上所述，將視需要經溫度調整的原水W供給至生物處理機構2中，分解去除有機物、尤其是尿素等難分解性
有機物。此時，不僅由供給機構6添加氨性氮源，並且添加硫酸而將原水W的pH值調整為5~6.5。
如上所述的氨性氮源的添加量只要設為0.1mg/L~5mg/L(NH4 +換算)即可。具體而言，以原水W中的銨離子的濃度成為上述範圍內的方式添加。若原水W中的銨離子濃度小於0.1mg/L(NH4 +換算)，則變得難以維持硝化細菌群的活性，另一方面，即便超過5mg/L(NH4 +換算)，亦不僅未獲得進一步的硝化細菌群的活性，並且來自生物處理機構2的洩漏量變得過多，因此欠佳。
藉由以原水W中的銨離子的濃度成為上述範圍內的方式添加氨性氮源，可使經過約10天~30天後的生物處理機構2中的處理水W1中的尿素濃度為5μg/L以下，尤其為2μg/L以下。
藉由以上述方式於原水W中添加氨性氮源，可穩定地分解作為TOC的尿素及尿素衍生物。推測其是由於如下所述的原因。即，已知尿素及尿素衍生物的濃度在自來水、工業用水中隨季節而變動，若原水W中的尿素及尿素衍生物的濃度變低，則同化尿素的硝化細菌群的活性降低，其後即便尿素的濃度急遽上升，亦無法追隨硝化細菌群的活性，未完全分解，因此洩漏至處理水W1中。因此，藉由添加氨性氮源，硝化細菌群藉由將氨性氮源氧化形成亞硝酸離子(NO2 -)而維持活性。藉此，可追隨原水W中的尿素及尿素衍生物的濃度變動，將生物處理機構2中的處理水W1的尿素濃度維持為較低。
氨性氮源無需經常添加，例如可使用僅於生物載體交換時的提昇期間添加的方法、或者每隔一定期間反覆進行添加、不添加的方法等。藉由如上所述不經常添加氨性氮源，亦發揮可減少氨性氮源的添加成本的效果。
此外，硝化細菌於溶氧的存在下，若引誘物(氨性氮源、尿素、尿素衍生物等)不存在的狀態(空曝氣狀態)持續，則活性降低。用以避免該活性降低的具體方案可列舉：(1)經常或者間歇添加氨性氮源的方法(本實施形態的方法)；(2)根據生物處理給水或者處理水中的氨性氮、尿素等的濃度而添加控制氨性氮源的方法；以及(3)與上述(2)同樣地控制溶氧濃度的方法(藉由脫氧劑的添加、還原劑的添加、除氣處理、氮氣曝氣的溶氧去除等)。就簡便性及成本的觀點而言，認為本實施形態的方法(上述(1)的方法)為更佳的方法。
另外，此時將原水W的pH值調整為5~6.5的原因為如下所述。即，如圖6所示，具有尿素分解能力的硝化細菌群(氨氧化菌)可同化尿素與氨的兩者，根據環境條件而優先利用的基質變化。例如，於高pH值或氨/尿素比高的情況，優先利用氨而尿素分解能力反而降低。因此，藉由將原水W的pH值調整為5~6.5，於中性區域具有最佳值的硝化細菌群的氨氧化活性與尿素分解活性中任一者與最佳pH值相比均降低，但與氨氧化活性的降低相比，尿素分解活性的降低少。進而，離子狀態的氨增加，進入至氨氧化菌中的氨的量降低。藉此，由硝化細菌群分解的尿
素增加。藉由該些作用，即便尿素濃度大幅變動，亦可維持硝化細菌群的活性，可有效地分解、去除尿素。此外，關於pH值的下限，若使原水W的pH值小於5，則硝化細菌群的活性變大。
由於相同的原因，由供給機構6添加的氨性氮源較佳為以相對於原水W中的尿素的濃度，以NH4 +-N/尿素計成為100以下、較佳為20以下的方式添加。若氨性氮源的濃度超過尿素濃度的100倍，則作為尿素分解菌的硝化細菌群優先分解氨性氮源，因此尿素的分解能力降低，尿素濃度無法大幅追隨增大，尿素變得容易洩漏至處理水W1中。此外，氨性氮源的添加量的下限若過少，則由該添加獲得的硝化細菌的活性維持效果減輕，因此較佳為以NH4 +-N/尿素計設為1以上。
此外，可於該原水W中視需要進而添加氧化劑及/或殺菌劑。對所添加的氧化劑及/或殺菌劑的種類並無特別限制，適宜使用可使有效率地分解尿素的菌種優先化的氧化劑及/或殺菌劑。具體而言，可適宜使用次氯酸鈉、二氧化氯等氯系氧化劑，單氯胺、二氯胺等氯胺劑(穩定化氯劑)等。
依據本實施形態的水處理方法，藉由在原水中添加氨性氮源，利用硝化細菌群(氨氧化菌)將氨性氮源氧化形成亞硝酸離子(NO2 -)，可維持硝化細菌群的活性，分解去除尿素。此時，藉由將pH值調整為5~6.5，硝化細菌群所消耗的尿素增加，因此即便尿素濃度大幅變動，亦可維
持硝化細菌群的活性，可有效地分解、去除尿素。
[第六實施形態]
接著，參照圖7對本發明的第六實施形態的水處理方法進行說明。第六實施形態的水處理方法具有上述第五實施形態中，除了於生物處理機構2的後段且一次純水裝置之前具有還原處理機構4以外相同的構成。
藉由採用如上所述的構成，於上述第五實施形態中使用氯系氧化劑(次氯酸等)且存在剩餘氯的情況，該些與氨性氮源反應而形成氯胺化合物。該氯胺化合物與游離氯相比較氧化力低，但於後段的一次純水裝置等中，存在引起該些構成要素的構件的氧化劣化的可能性，但可藉由實施還原處理而使該些氯胺化合物無害化。
此外，已知於使用活性碳作為生物處理機構2的生物支持載體的固定床的情況，活性碳可藉由觸媒反應對氯系氧化劑進行還原處理，但由於無法將氯胺化合物迅速還原而容易洩漏，存在殘存而影響至後段的一次純水裝置的可能性，因此即便為使用活性碳的情況，亦較佳為設置還原處理機構4。
上述還原處理機構4例如可添加：氫氣等氣體；二氧化硫等低級氧化物；硫代硫酸鹽、亞硫酸鹽、亞硫酸氫鹽、亞硝酸鹽等低級含氧酸鹽；鐵(II)鹽等低原子價金屬鹽；甲酸、乙二酸、L-抗壞血酸等有機酸或其鹽；肼、醛類、糖類等其他還原劑。該些化合物中，可適宜使用亞硝酸鹽、亞硫酸鹽、鐵(II)鹽、二氧化硫、亞硫酸氫鹽、乙二酸或其
鹽以及L-抗壞血酸或其鹽。另外，亦可設置活性碳塔作為還原處理機構4，利用活性碳而進一步還原。
於添加還原劑的情況，其添加量例如於還原劑為亞硫酸鈉的情況，只要以亞硫酸離子(SO3 2-)與次氯酸離子(ClO-)成為等莫耳以上的方式添加即可，考慮到安全性，添加1.2倍量~3.0倍量即可。由於處理水的氧化劑濃度存在變動，故而更佳為監視處理水的氧化劑濃度，較佳為根據氧化劑濃度來控制還原劑添加量。另外，為簡便起見，可使用定期測定氧化劑濃度，適當設定符合測定濃度的添加量的方法。此外，氧化劑濃度的檢測機構可列舉氧化還原電位(ORP)，另外關於殘留氯可列舉殘留氯計(極譜儀法等)。
具體而言，於在生物處理的給水(原水)W中存在游離氯的狀態下添加銨鹽等作為氨性氮源的情況，游離氯與銨離子反應而生成氯胺(chloramine)。氯胺與游離氯相比較，是即便利用活性碳亦難以去除的成分，有氯胺洩漏至生物處理水中的情況。氯胺是與游離氯相比較氧化力低的成分，但亦已知有藉由平衡反應而由氯胺再次生成游離氯的情況，存在引起後段的一次純水處理系統等中的氧化劣化的可能性。
另外，亦可於生物處理機構2中經處理的原水W中添加殺黏菌劑(slime control agent)。殺黏菌劑主要是為了避免由生物處理機構2的處理水中所含的菌體(由生物載體剝離的菌體)所引起的後段處理中的故障(例如配管的堵
塞、差壓上升之類的黏液故障，RO膜的生物污損等)而視需要適當添加即可。
進而，亦可視需要利用菌體分離裝置來去除生物處理機構2的處理水中所含的菌體。
該些還原劑及/或殺黏菌劑的添加或菌體分離裝置的處理只要根據來自生物處理機構2的生物處理水的水質而適當進行1種或者2種以上即可，若水質良好，則亦可不進行。
依據上述第五實施形態及第六實施形態的水處理方法，獲得高度分解、去除尿素的處理水W1，因此可藉由將該處理水W1利用純水製造裝置進一步處理而製造尿素濃度極低的超純水。
[超純水製造方法]
接著，參照圖8，對利用至此說明的本發明實施形態的水處理方法的超純水製造方法進行說明。
該超純水製造方法中，於將原水W在前處理系統11、生物處理機構12、菌體分離機構13、還原處理機構14中處理之後，將處理水W1在一次純水裝置15及次系統(二次純水裝置)19中進一步處理。此外，菌體分離機構13可使用過濾器、濾筒、精密過濾膜分離裝置、超濾膜分離裝置等。
一次純水裝置15是將第1逆滲透膜(RO)分離裝置16、第2逆滲透膜(RO)分離裝置17、及混床式離子交換裝置18依此順序配置而成。其中，該一次純水裝置15
的裝置構成並不限制於此種構成，例如亦可將逆滲透膜分離裝置、離子交換處理裝置、電氣去離子交換處理裝置、紫外線(ultraviolet，UV)氧化處理裝置等適當組合而構成。
二次純水裝置19是將次槽20、熱交換器21、低壓紫外線氧化裝置22、混床式離子交換裝置23、超濾膜(ultrafiltration membrane，UF膜)分離裝置24依此順序配置而成。其中，該二次純水裝置19的裝置構成並不限制於此種構成，例如亦可將除氣處理裝置、UV氧化處理裝置、離子交換處理裝置(非再生式)、超濾膜處理裝置(微粒子去除)等組合而構成。
以下對利用上述超純水製造系統的超純水製造方法進行說明。首先，前處理系統11包含凝集、加壓浮起(沈澱)、過濾(膜過濾)裝置等。該前處理系統11中，原水中的懸浮物質或膠體物質被去除。另外，該前處理系統11中亦可去除高分子系有機物、疏水性有機物等。
於來自該前處理系統11的流出水中添加尿素或尿素衍生物、及/或氨性氮源(NH3-N)，視需要進而添加作為pH調整劑的硫酸來調整pH值，或者添加氧化劑及/或殺菌劑，利用生物處理機構12進行上述生物處理。設置於該生物處理機構12的下游側的菌體分離單元機構13中，分離去除自生物處理機構12中流出的微生物或載體微粒子等。該菌體分離單元機構13可省略。生物處理機構12的流出水中，由於有如上所述含有氯胺化合物的情況，故而
利用還原處理機構14而使氯胺化合物無害化。於原水W中的氯系氧化劑的濃度基本上不存在的情況，由於生物處理機構12的流出水中亦基本上不含氯胺化合物，故而可省略還原處理機構14中的還原劑的添加。
在一次純水裝置15中，利用第1逆滲透(RO)膜分離裝置16、第2逆滲透(RO)膜分離裝置17、及混床式離子交換裝置18來去除生物處理機構12的處理水W1中殘存的離子成分等。
進而，於二次純水裝置19中，將一次純水裝置15的處理水經過次槽20及熱交換器21而導入至低壓紫外線氧化裝置22中，將所含有的TOC成分離子化或分解。其中，經離子化的有機物是於後段的混床式離子交換裝置23中去除。該混床式離子交換裝置23的處理水可進一步於UF膜分離裝置24中進行膜分離處理而獲得超純水。
依據上述超純水製造方法，可藉由在生物處理機構12中充分分解去除尿素，於其後段的一次純水裝置15及二次純水裝置19中去除其他的TOC成分、金屬離子、其他無機、有機離子成分，而效率良好地製造高純度的超純水。
另外，依據上述超純水製造方法，於將原水W導入至生物處理機構12中之前導入至前處理系統11中而去除原水W中的濁質。因此，防止生物處理機構12中的尿素的分解去除效率由於濁質而降低，並且抑制由濁質造成生物處理機構12的壓力損失增加。另外，依據該超純水製造方法，由於在生物處理機構12的下游側設置有菌體分離機構
13、一次純水裝置15及二次純水裝置19，故而亦發揮可將自生物處理機構12中流出的生物或載體利用該些菌體分離機構13、一次純水裝置15及二次純水裝置19而良好去除的效果。
[實例]
[實例1]
使用圖1所示的流程，且使用在自來水(野木町水：平均尿素濃度為10μg/L，平均TOC濃度為500μg/L)中視需要添加有試劑尿素(Kishida Chemical公司製造)的水。
另外，生物處理機構2是使用將作為生物載體的粒狀活性碳(「Kuricoal WG160，10/32網眼」，栗田工業公司製造)於圓筒容器中填充10L而製成固定床的機構。此外，生物處理機構2的粒狀活性碳是使用新碳。
首先，對自來水(未添加試劑尿素)，以濃度成為約500μg/L的方式添加尿素而製備原水W，將該原水W以下向流通入生物處理機構2中。通水速度SV是設為20/hr(每小時通水流量÷填充活性碳量)。對通水後的生物處理水，持續70天進行尿素濃度的分析。將其結果示於圖9中。此外，上述通水處理中，1天1次實施10分鐘的逆洗。逆洗是利用生物處理水，以自圓筒容器下部向上部的上向流，以LV=25m/hr(每小時通水流量÷圓筒容器截面積)實施。
尿素濃度的分析順序如下所述。即，首先，利用DPD法來測定試驗水的總殘留氯濃度，以相當量的亞硫酸氫鈉
進行還原處理(然後，利用DPD法來測定總殘留氯，確認為小於0.02mg/L)。接著，將該經還原處理的試驗水以50/hr的SV通入離子交換樹脂(「KR-UM1」，栗田工業公司製造)中，進行去離子處理並利用旋轉蒸發器濃縮至10倍~100倍後，利用二乙醯基單肟法(diacetylmonoxime method)來定量尿素濃度。
此外，於通水試驗期間未實施pH調整。試驗期間的pH值為6.8~7.5。另外，由於試驗期間的自來水的水溫小於15℃，故而於生物處理機構2的前段配置溫度調節槽，使水溫升溫至20℃~22℃，供給至生物處理機構2中。進而，由於試驗期間的原水W的溶氧(Dissolved Oxygen，DO)濃度為6mg/L以上，且生物處理機構2的處理水W1的溶氧濃度為2mg/L以上，故而判斷為並無溶氧不足，未實施溶氧濃度的調節。
如圖9所明示，自未添加氨性氮源的通水開始至通水第25天為止，給水與生物處理水的尿素濃度大致為相同值(約500μg/L)，未確認到尿素的去除。
接著，於自通水開始起第25天，對原水W，以銨離子濃度成為約1mg/L(NH4 +換算)的方式開始添加氯化銨(Kishida Chemical公司製造)作為氨性氮源。
其結果為，於自通水開始起第30天可確認尿素的去除效果，伴隨通水的繼續，尿素的去除性能提高，於自通水開始起第40天(自氯化銨添加開始起約2週後)達成生物處理水的尿素濃度2μg/L以下。
由於其後亦維持生物處理水的尿素濃度2μg/L以下，故而於自通水開始起第55天停止添加氯化銨，於自通水開始起第62天將給水尿素濃度由500μg/L變更為100μg/L，但生物處理水的尿素濃度為2μg/L以下，未確認到變化。一般認為其結果為，雖然藉由添加氯化銨而菌體增殖或者其活性提高，但即便於氯化銨添加停止後，亦可維持其菌數及活性。因此推測，以氯化銨為代表的氨性氮源的添加即便為例如僅於提昇時添加或者間歇添加，亦獲得充分的效果。
[實例2]
於實例1中，除了使用以利用試劑尿素實施馴養而相對於給水尿素100μg/L，生物處理水的尿素成為2μg/L以下的方式已表現出尿素分解能力的機構來作為生物處理機構2以外，以與實例1相同的方式進行通水試驗，持續70天進行尿素濃度的分析。將其結果一併示於圖9中。
如圖9所明示，於自通水開始起通水第4天以後，處理水W1的尿素濃度經確認到若干降低傾向，但於350μg/L左右推移。
而且，於自通水開始起第40天以後，以與實例1相同的條件開始添加氯化銨。
其結果為，於自通水開始起第50天(自氯化銨添加開始起10天後)達成生物處理水的尿素濃度2μg/L以下。
由於其後亦維持生物處理水的尿素濃度2μg/L以下，故而於自通水開始起第55天停止添加氯化銨，於自通水開
始起第62天將給水尿素濃度由500μg/L變更為100μg/L，但生物處理水的尿素濃度為2μg/L以下，未確認到變化。
根據該些實例1及實例2的結果可知，藉由添加氨性氮源，可去除原水W中的尿素。
[實例3]
使用圖3所示的流程，且使用在井水(吉田町地下水：平均尿素濃度為5μg/L以下，平均TOC濃度為0.3mg/L，銨離子<0.1mg/L以下)中視需要添加有試劑尿素(Kishida Chemical公司製造)的水來作為模擬原水(原水W)。此外，使用井水作為原水是為了模擬不含尿素、氨性氮而具有適度的鹽類濃度的自然水。
另外，生物處理機構2是使用將作為生物載體的粒狀活性碳(「Kuricoal WG160，10/32網眼」，栗田工業公司製造)於圓筒容器中填充2L而製成固定床的機構。此外，生物處理機構2的粒狀活性碳是使用利用試劑尿素實施馴養而已表現出尿素分解能力的活性碳。
首先，對井水添加尿素約100μg/L而製備原水W。由於該原水W的水溫為13℃~17℃，故而以熱交換器加溫至20℃~22℃。另外，對該原水W實施空氣曝氣以使無溶氧不足，溶氧(DO)濃度是設為6mg/L~8mg/L。
將該原水W以下向流通入生物處理機構2中。通水速度SV是設為20/hr(每小時通水流量÷填充活性碳量)。對於通水後的生物處理水(W1)，持續1週分析尿素濃度及
氨性氮源，算出其平均值。將結果連同原水W(給水)的尿素濃度及氨性氮源的平均濃度一起示於表1中。此外，上述通水處理中，1天1次實施10分鐘的逆洗。逆洗是利用生物處理水，以自圓筒容器下部向上部的上向流，以LV=25m/hr(每小時通水流量÷圓筒容器截面積)實施。
接著，對井水添加尿素約10μg/L而製備原水W，對通水後的生物處理水(W1)，同樣地持續4週(第1週~第5週)分析尿素濃度及氨性氮源，算出其平均值。將結果連同原水W(給水)的尿素濃度及氨性氮源的平均濃度一起示於表1中。
進而，再次對井水添加尿素約100μg/L而製備原水W，對通水後的生物處理水(W1)同樣地持續1週(第5週~第6週)分析尿素濃度及氨性氮源，算出其平均值。將結果連同原水W(給水)的尿素濃度及氨性氮源的平均濃度一起示於表1中。
此外，於通水試驗期間未實施pH調整。試驗期間的pH值為6.8~7.5。
尿素濃度的分析順序如下所述。即，首先，利用DPD法來測定試驗水的總殘留氯濃度，以相當量的亞硫酸氫鈉進行還原處理(然後，利用DPD法來測定總殘留氯，確認為小於0.02mg/L)。接著，將該經還原處理的試驗水以50/hr的SV通入離子交換樹脂(「KR-UM1」，栗田工業公司製造)中，進行去離子處理並利用旋轉蒸發器濃縮至10倍~100倍後，利用二乙醯基單肟法來定量尿素濃度。
根據表1及資料的分析結果，利用尿素試劑將模擬原水W的尿素濃度調整為約100μg/L的最初1週的連續通水處理的結果為，生物處理機構2的處理水的尿素濃度為2μg/L以下，穩定。接著，將模擬原水W的尿素濃度調整為約10μg/L而實施4週連續通水處理的結果為，生物處理水的尿素濃度為2μg/L以下，穩定。而且，然後再次利用尿素試劑將模擬原水的尿素濃度調整為約100μg/L而實施1週連續通水處理的結果為，生物處理水的尿素濃度約為40μg/L，穩定，1週期間未確認到大的變化(尿素去除性能的提高傾向或者降低傾向)。由該些結果可知，藉由添加微量的尿素，可將尿素去除性能維持為某程度。
[實例4]
於實例3中，除了於整個期間，除尿素以外進而添加
氯化銨(Kishida Chemical製造)約0.5mg/L作為氨性氮以外，以與實例3相同的方法實施試驗。將結果一併示於表1中。
根據表1及資料的分析結果，添加有尿素約10μg/L及氯化銨0.5mg/L的第1週~第5週的連續通水處理的結果為，生物處理水的尿素濃度約為2μg/L以下，穩定。進而，再次利用尿素試劑將模擬原水的尿素濃度調整為約100μg/L的第5週~第6週的連續通水處理的結果亦為，生物處理水的尿素濃度約為2μg/L以下，穩定。由該些結果可知，藉由添加微量的尿素及氨性氮源，可高度維持尿素去除性能。此外，通過試驗期間，未於作為氨性氮的氯化銨的去除性方面確認到大的差異，相對於給水氯化銨約為0.5mg/L，處理水氨性氮濃度小於0.1mg/L。
[比較例1]
於實例3中，除了於第1週~第5週期間，尿素及氨性氮源均未添加以外，以與實例3相同的方法實施試驗。將結果一併示於表1中。
根據表1及資料的分析結果，尿素及氨性氮源均未添加的第1週~第5週的連續通水處理的結果為，生物處理水的尿素濃度約為2μg/L以下，穩定。進而，再次利用尿素試劑將模擬原水的尿素濃度調整為約100μg/L的第5週~第6週的連續通水處理的結果為，生物處理水的尿素濃度約為80μg/L，穩定，1週期間未確認到大的變化(尿素去除性能的提高傾向或者降低傾向)。
由以上結果可確認，藉由在原水W中添加尿素或尿素衍生物及氨性氮源，於原水W中的尿素濃度變動的情況，尤其是即便經過低濃度的期間而濃度上升時，亦可維持尿素去除性能。一般認為其原因在於，於原水W中的尿素濃度降低的期間，亦可藉由添加尿素及氨性氮，而使以該些尿素及氨性氮為攝取源的菌體維持最低限度量。
[實例5]
模擬原水W是使用在自來水(野木町水：平均尿素濃度為10μg/L，平均TOC濃度為500μg/L，銨離子濃度小於0.1mg/L)中適當添加有試劑尿素(Kishida Chemical公司製造)的水。
於圖5所示構成的裝置中，生物處理機構2是使用將作為生物載體的粒狀活性碳(「Kuricoal WG160，10/32網眼」，栗田工業公司製造)於圓筒容器中填充2L而製成固定床的機構。此外，生物處理機構2的粒狀活性碳是藉由將新碳清洗後，浸漬於添加有硝化污泥200mL的自來水2L中而填充，其後開始通水。
由於試驗期間自來水的水溫為25℃~28℃，pH值為6.5~7.5，故而利用熱交換器將模擬原水W的水溫調整為約25℃。於此種生物處理裝置中，將模擬水1於前處理系統7中進行前處理後，由供給機構6添加硫酸，將模擬原水的pH值調整為約6.0~6.5，並且添加氯化銨(Kishida Chemical公司製造)作為氨性氮源，以銨離子濃度成為約0.5mg/L(NH4 +換算)的方式添加。將添加有該些成分的
原水W以下向流通入至生物處理機構2中。通水速度SV是設為20/hr(每小時通水流量÷填充活性碳量)。此外，於上述通水處理中，1天1次實施10分鐘的逆洗。逆洗是利用生物處理水，以自圓筒容器下部向上部的上向流，以LV=25m/hr(每小時通水流量÷圓筒容器截面積)實施。
於如上所述的通水條件下，持續60天實施原水W的連續通水，進行處理水的尿素濃度的分析。此時，首先以原水W的尿素濃度約100μg/L通水27天，接著於第28天以後以原水W的尿素濃度約25μg/L通水至第41天(14天)，進而，自第42天起再次使原水W的尿素濃度成為約100μg/L。將其結果連同原水的尿素濃度的變動一起示於圖10中。
尿素濃度的分析順序如下所述。即，首先，利用DPD法來測定試驗水的總殘留氯濃度，以相當量的亞硫酸氫鈉進行還原處理(然後，利用DPD法來測定總殘留氯，確認為小於0.02mg/L)。接著，將該經還原處理的試驗水以50/hr的SV通入離子交換樹脂(「KR-UM1」，栗田工業公司製造)中，進行去離子處理並利用旋轉蒸發器濃縮至10倍~100倍後，利用二乙醯基單肟法來定量尿素濃度。
如圖10所明示，添加氨性氮源且將pH值調整為約6.0~6.5的實例5中，於通水第21天處理水的尿素濃度成為2μg/L以下，即便自第42天起再次使原水W的尿素濃度成為約100μg/L，亦可維持上述處理水的尿素濃度。
[實例6]
於實例5中，除了以原水W的pH值成為7.0~7.5的方式進行調整以外，以相同的方式進行原水W的處理。分析持續60天連續通入該原水W時的尿素濃度。將其結果一併示於圖10中。
如圖10所明示，添加氨性氮源且將pH值調整為大致中性的約7.0~7.5的實例6中，雖然於通水第21天處理水的尿素濃度成為2μg/L，但自第42天起再次使原水W的尿素濃度成為約100μg/L的結果為，處理水的尿素濃度上升至10μg/L以上，其後的期間亦繼續維持在10μg/L左右。此外，可確認此間所添加的氨性氮源全部轉變為硝酸。
藉由將如上所述的生物處理裝置應用於超純水的製造，可形成可高度去除原水中的尿素的超純水製造方法。
雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。
1‧‧‧給水槽
2‧‧‧生物處理機構
3‧‧‧一次純水裝置
4‧‧‧還原處理機構
5‧‧‧輸送管
6‧‧‧供給機構/還原處理機構
7‧‧‧前處理系統
11‧‧‧前處理系統
12‧‧‧生物處理機構
13‧‧‧菌體分離機構
14‧‧‧還原處理機構
15‧‧‧一次純水裝置
16‧‧‧第1逆滲透膜(RO)分離裝置
17‧‧‧第2逆滲透膜(RO)分離裝置
18‧‧‧混床式離子交換裝置
19‧‧‧二次純水裝置
20‧‧‧次槽
21‧‧‧熱交換器
22‧‧‧低壓紫外線氧化裝置
23‧‧‧混床式離子交換裝置
24‧‧‧超濾膜分離裝置
W‧‧‧原水
W1‧‧‧處理水
圖1是表示本發明的第一實施形態的水處理方法的系統圖。
圖2是表示本發明的第二實施形態的水處理方法的系統圖。
圖3是表示本發明的第三實施形態的水處理方法的系統圖。
圖4是表示本發明的第四實施形態的水處理方法的系
統圖。
圖5是表示本發明的第五實施形態的水處理方法的系統圖。
圖6是表示上述第五實施形態的作用效果的概略圖。
圖7是表示本發明的第六實施形態的水處理方法的系統圖。
圖8是表示本發明的一實施形態的超純水製造方法的系統圖。
圖9是表示實例1及實例2的尿素去除效果的圖表。
圖10是表示實例5及實例6的尿素去除效果的圖表。
11‧‧‧前處理系統
12‧‧‧生物處理機構
13‧‧‧菌體分離機構
14‧‧‧還原處理機構
15‧‧‧一次純水裝置
16‧‧‧第1逆滲透膜(RO)分離裝置
17‧‧‧第2逆滲透膜(RO)分離裝置
18‧‧‧混床式離子交換裝置
19‧‧‧二次純水裝置
20‧‧‧次槽
21‧‧‧熱交換器
22‧‧‧低壓紫外線氧化裝置
23‧‧‧混床式離子交換裝置
24‧‧‧超濾膜分離裝置
W‧‧‧原水
W1‧‧‧處理水
Claims (8)
- 一種水處理方法，對包含尿素的原水進行生物處理，該水處理方法的特徵在於：於原水中添加氨性氮源後，進行生物處理，其中上述氨性氮源以NH4 +-N/尿素計為100以下。
- 如申請專利範圍第1項所述之水處理方法，其中於上述原水中添加上述氨性氮源後，將pH值調整為5~6.5來進行上述生物處理。
- 如申請專利範圍第1項所述之水處理方法，其中上述氨性氮源為銨鹽。
- 如申請專利範圍第1項所述之水處理方法，其中利用具有生物支持載體的生物處理機構來進行上述生物處理。
- 如申請專利範圍第4項所述之水處理方法，其中利用具有上述生物支持載體的固定床的生物處理機構來進行上述生物處理。
- 如申請專利範圍第4項所述之水處理方法，其中上述生物支持載體為活性碳。
- 如申請專利範圍第1項所述之水處理方法，其中於上述生物處理的後段進行還原處理。
- 一種超純水製造方法，其特徵在於：將利用如申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述之水處理方法所獲得的處理水在一次純水裝置及二次純水裝置中進行處理而製造超純水。
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Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW200531933A (en) * | 2004-03-17 | 2005-10-01 | Chih-Chien Hsieh | Method of wastewater treatment |
| TW200906738A (en) * | 2007-08-03 | 2009-02-16 | Organo Corp | Method and apparatus for treating water containing organic sulfur compound |
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| JP3468784B2 (ja) * | 1992-08-25 | 2003-11-17 | 栗田工業株式会社 | 超純水製造装置 |
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Patent Citations (2)
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