TWI470376B - 描繪裝置及描繪方法 - Google Patents

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TWI470376B
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Description

描繪裝置及描繪方法
本發明係有關描繪圖案之描繪裝置及描繪方法。
從前以來，進行著光柵轉換藉由CAD(電腦輔助設計(computer aided design))製作形成之圖案之向量資料，而產生形成描繪光柵資料，且在描繪部中，根據描繪光柵資料，描繪該圖案於基板上之感光材料之上。又由於圖案之描繪及顯影需要某一程度之時間，因此，在圖案描繪之前，亦依需要，進行確認經選擇之描繪光柵資料是否為表示所期望之圖案者之作業。
且，在日本特開2006-330184號公報中揭露實現對於描繪用光柵資料之目視檢查之省力化之手法。在本方法係將表示直接描繪於基板之配線圖案之向量形式之蓋伯資料(Gerber data)藉由RIP處理展開至描繪用光柵資料之前，當指定任意詳細顯示範圍時，葛伯資料之中僅相當於經指定之詳細顯示範圍之資料被展開成高解析度之光柵資料，顯示表示詳細顯示範圍內之配線圖案之詳細顯示影像於光柵顯示畫面內。又，在日本特開2008-153572號公報中揭露採取形成於被檢查物之表面上之對位標記之影像資料，自該影像資料抽出之特徵點以及預先登錄之對位標記之特徵點來算出相關值，根據相關值之臨限值，登錄使用於對位之對位標記之影 像資料之手法。
而，為了於圖案描繪之前確認經選擇之描繪光柵資料所表示之圖案，雖然可以考慮準備表示圖案之全體之縮圖影像(表示全體之縮小影像)並顯示於顯示器，在此情況下，無法辨別微細的圖案要素之差異，而無法完整地確認圖案。又，雖然亦考慮將描繪光柵資料或使描繪光柵資料之解析度降低至某一程度之影像(例如間拔像素之影像)顯示於顯示器，但是為發現應該確認之有特徵之區域(以下稱「特徵區域」)，需要多次地反覆顯示影像之擴大、縮小，或移動顯示之區域，因此，確認作業上需要很長時間。進而，在圖案複雜之情況下，若不是圖案之設計者本身，則難以發現特徵區域。同樣地，自完成登錄之標記中抽出存在於描繪光柵資料中之近似標記需要很長的時間。
本發明係適用於描繪圖案之描繪裝置(drawing apparatus)，其目的在於迅速且容易地顯示出表示經被選擇之圖案中之特徵區域之影像。
與本發明相關之描繪裝置係具備：資料轉換部，係光柵轉換表示各圖案之全體之向量資料，產生形成描繪光柵資料(drawing raster data)，並同時在描繪光柵資料之產生形成之時，產生形成在各圖案中之圖案識別(pattern identification)用之特徵區域(feature area)之位置資料，或表示特徵區域之 資料即部分資料(partial data)；記憶部，係以包含描繪光柵資料、及位置資料或部分資料之集合作為描繪資料組(drawing data set)，記憶分別對應於複數之圖案之複數之描繪資料組；顯示控制部，係根據在複數之圖案中與表示經被選擇之圖案之描繪光柵資料相同包含於描繪資料組之位置資料或部分資料，顯示出表示在經被選擇之圖案中之特徵區域之影像於顯示部；以及描繪部，係根據描繪光柵資料，描繪圖案於對象物上。
根據本發明，可迅速且容易地顯示出表示在經被選擇之圖案中之特徵區域之影像。
在本發明之一較佳形態係，在一個描繪資料組中之部分資料為表示於表示特徵區域之影像上附加入參考資訊(reference information)之光柵資料。藉此，可迅速地顯示出表示特徵區域並附加入參考資訊之影像。
本發明之另一較佳形態係一個描繪資料組包含描繪光柵資料及部分光柵資料；在更新對應於該描繪資料組之圖案之際，資料轉換部光柵轉換表示更新完成之圖案之全體之向量資料，產生形成更新完成描繪光柵資料(revised drawing raster data)，並同時在更新完成描繪光柵資料之產生形成之時，產生形成在更新完成之圖案中之表示與部分光柵資料相同之特徵區域之更新完成部分光柵資料；在該描繪資料組中，描繪光柵資料被更新成為更新完成描繪光柵資料，該描 繪資料組包含部分光柵資料及更新完成部分光柵資料之兩者；在經選擇更新完成之圖案之際，部分光柵資料所表示之影像及更新完成部分光柵資料所表示之影像可以藉由顯示控制部顯示於顯示部。藉此，可容易地顯示出表示在圖案更新前後之特徵區域之影像。
本發明之又另一較佳形態係各描繪資料組包含複數之特徵區域之位置資料或表示複數之特徵區域之每一者之部分光柵資料；在經選擇對應於各描繪資料組之圖案之際，表示在圖案中之複數之特徵區域之複數之影像可以藉由顯示控制部，個別地顯示於顯示部。
本發明亦適用於描繪圖案之描繪方法。
上述目的及其他之目的、特徵、態樣及優點係藉由參照附圖適用於進行本發明之詳細說明將可清晰明瞭。
圖1係表示與本發明相關一實施形態之描繪裝置1之構成之方塊圖。描繪裝置1具備：第1及第2電腦81、82，係產生形成及記憶用於描繪之資料；以及描繪部100，係描繪圖案於屬於對象物之基板上。第1及第2電腦81、82以及描繪部100之主電腦60之每一者具有進行各種運算處理之CPU及記憶各種資訊之RAM等。第1及第2電腦81、82以及主電腦60所實現之功能之相關內容，以後再加以說明。
圖2係描繪部100之前視圖，圖3係描繪部100之俯 視圖。描繪部100照射光線於形成光阻劑等之感光材料層之半導體基板9之上面即描繪面，而描繪圖案。且，基板9亦可為印刷基板、彩色濾光片用基板、液晶顯示裝置或電漿顯示裝置中所具備之平板顯示器用玻璃基板、光碟用基板等之其他之各種基板。在圖2及圖3之例子中，重複地描繪圖案於形成在圓形之半導體基板之表面之基礎圖案上。描繪圖案係例如為了使積體電路與外部連接而自積體電路延伸之配線圖案。
在描繪部100中，藉由安裝覆蓋板(圖示省略)於本體架101之骨架之頂面及周圍面，而形成本體內部，且配置各種構成元件於本體內部及本體外部。圖2之描繪部100之本體內部係區分為處理區域102及接收傳送區域103。於此等區域中之處理區域102中配置有載台10、載台移動機構20、載台位置測量部30、光學單元40、對位單元361以及屬於控制部之主電腦60。且，在圖2及圖3中，主電腦60被描繪在外面。於圖2之接收傳送區域103中，配置有進行描繪對於處理區域102之基板9之搬出搬入之搬送機器人等之搬送裝置110。主電腦60係與描繪部100所具備之裝置之各部分(描繪引擎)經電氣特性上的相連接，來控制此等各部分之動作。
於描繪部100之本體外部，配置有照明單元362。照明單元362係供給照明用光線至對位單元361。
於描繪部100之本體外部，在鄰接接收傳送區域103之位置上，配置有收容盒承載部104。於收容盒承載部104上承載收容盒90。搬送裝置110係設置在對應於收容盒承載部104之位置上，並取出收容於承載在收容盒承載部104之收容盒90之未處理之基板9，搬入(裝入)處理區域102，並且，自處理區域102搬出(卸下)經處理完成之基板9，收容於收容盒90。對於收容盒承載部104之收容盒90之接收傳送藉由未圖示之外部搬送裝置來進行。未處理之基板9之裝入及經處理完成之基板9之卸下係藉由根據來自主電腦60之指示，而由搬送裝置110作動來進行。
載台10係為具有平板狀之外形，且以水平姿勢支撐著被承載於其上面之基板9之支撐部。於載台10之上面係形成複數之吸引孔，藉由施加負壓(吸引壓力)於此吸引孔，將被承載於載台10上之基板9固定且保持於載台10上面。亦可採用其他之各種機構來作為支撐基板9之機構。載台10係藉由載台移動機構20沿水平方向移動。
載台移動機構20係沿主掃描方向(Y軸方向)、副掃描方向(X軸方向)及旋轉方向(繞Z軸之旋轉方向(θ軸方向))來移動載台10。藉此，被支撐於載台10之基板9相對於光學單元40而移動。如圖2及圖3所示，載台移動機構20具備有使載台10旋轉之旋轉機構21、支撐旋轉機構21之支撐板22、沿副掃描方向移動支撐板22之副掃描機構23、支撐 副掃描機構23之底板24以及沿主掃描方向移動底板24之主掃描機構25。旋轉機構21係在支撐板22上，朝基板9之上面以垂直的旋轉軸為中心來旋轉載台10。旋轉機構21、副掃描機構23及主掃描機構25係電氣特性上的相連接至主電腦60，且根據來自主電腦60之指示，來移動載台10。
如圖3所示，副掃描機構23係具有線性馬達23a。線性馬達23a係具備有安裝於支撐板22下面之移動構件以及敷設於底板24上面之固定構件。於支撐板22與底板24之間設置有沿副掃描方向X延伸之一對導引部23b。當線性馬達23a作動時，支撐板22沿著導引部23b朝副掃描方向X移動。
主掃描機構25係具有線性馬達25a。線性馬達25a具備有安裝於底板24下面之移動構件以及敷設於描繪部100之基台106(參考圖2)上之固定構件。在底板24與基台106間設置有沿主掃描方向延伸之一對導引部25b。當線性馬達25a動作時，底板24沿基台106上之導引部25b朝主掃描方向Y移動。
載台位置測量部30係測量載台10之位置。載台位置測量部30係與主電腦60電氣特性上的相連接，根據來自主電腦60之指示，來測量載台10之位置。載台位置測量部30係例如向載台10照射雷射光，利用其反射光與射出光之干涉，來測量載台10之位置。載台位置測量部30之構成及動 作不限於此者。於本實施形態中，載台位置測量部30係具備有射出雷射光之射出部31、分束器32、光束彎曲器33、第1干涉計34及第2干涉計35。射出部31及各干涉計34、35與主電腦60電氣特性上的相連接，根據來自主電腦60之指示，來測量載台10之位置。
自射出部31射出之雷射光係射入分束器32係，分歧成朝向光束彎曲器33之第1分歧光以及朝向第2干涉計35之第2分歧光。第1分歧光係被利用來求出對應於根據第1干涉計34之載台10的第1部位之位置參數。第2分歧光被利用來求出對應於根據第2干涉計35之載台10的第2部位(惟，第2部位係異於第1部位之位置)之位置參數。主電腦60係自第1干涉計34及第2干涉計35取得對應於載台10之第1及第2部位之位置之位置參數。然後，根據各位置參數，算出載台10之位置。
圖2之對位單元361係拍攝形成於基板9上面之基準標記之圖像。對位單元361係具備有鏡筒、對物透鏡以及CCD影像感測器。CCD影像感測器係例如為區域影像感測器(二次元影像感測器)。
照明單元362係經由光纖363連接於對位單元361，供給照明用的光線至對位單元361。藉由光纖363被導引的光線經由鏡筒被導引至基板9上面，且其反射光經由對物透鏡在CCD影像感測器被接受。藉此，拍攝基板9之上面之圖像。 CCD影像感測器係與主電腦60電氣特性上的相連接，根據來自主電腦60之指示，取得拍攝之圖像之資料，將拍攝之圖像之資料發送至主電腦60。對位單元361亦可進一步具備有能自動對焦之自動對焦單元。
光學單元40係為具備有光源部41及兩個光學頭42(參照圖3)，且照射經空間調變之光線於基板9之光照射部。光學頭42係空間調變自光源部41被供給之雷射光。光源部41具備有雷射驅動部411、屬於光源之雷射振盪器412及照明光學系統413。此等構成元件係對應於各光學頭42而設置。藉由雷射驅動部411之作動，自雷射振盪器412射出雷射光，經由照明光學系統413被導入至光學頭42。
光學頭42係具備有空間光線調變器、光學系統、照射位置位移機構以及投影光學系統。光學系統係將來自光源部41之光線導引至空間光線調變器，空間光線調變器係空間調變經被導入之光。照射位置位移機構具備一對楔形菱鏡，藉由變更一對楔形菱鏡間之距離，使光軸產生位移，並在基板9之上面，使描繪位置沿副掃瞄方向相對地位移。投影光學系統將來自照射位置位移機構之光線導引至基板9上面。
空間光線調變器係例如為繞射格柵型且反射型，可變更格柵深度之繞射格柵。空間光線調變器係利用半導體裝置製造技術來被製造。用於本實施形態之繞射格柵型之光線調變器係例如為GLV(格柵光閥(Grating Light Valve)(Silicon‧ light‧machines(Sunnyvale,California)之註冊商標)。藉由使用GLV，可根據被供給來自主電腦60之照射控制資料，以像素為單位多階段地變更光線的照射量。空間光線調變器係具有複數之格柵元件，各格柵元件係變遷於射出1次繞射光之狀態與射出0次繞射光之狀態之間。在光學單元40中，1次折射光以遮光板被遮蔽住，不被導引至基板9。另一方面，0次繞射光係經由照射位置位移機構以及投影光學系統被導引至基板9。
圖4係表示與用於描繪之資料之產生及選擇之相關之描繪裝置1之功能構成之方塊圖。圖4之資料轉換部811係藉由第1電腦81之CPU等來實現，工作作成部600係藉由主電腦60之CPU等來實現。又，記憶部821係藉由第2電腦82之硬式磁碟等來實現，屬於顯示部之顯示器602係設置於主電腦60。
圖5係表示於基板9上描繪圖案之處理流程之圖式。在描繪裝置1中，於基板9上描繪圖案之際，作為事前準備，準備分別對應於相互差異之複數之圖案之複數之描繪資料組(步驟S1)。以下，參照圖6對於有關在描繪裝置1中準備描繪資料組之處理加以說明。
在於描繪資料組之準備，在外部電腦(CAD/CAM用電腦)產生形成表示既定之圖案(以下稱為「對象圖案」)之全體之向量資料(CAD資料)，該向量資料被輸入至描繪裝置1之 第1電腦81。例如，若圖案設計者即操作者在第1電腦81中執行既定之程式時，藉由圖4之資料轉換部811，根據向量資料顯示對象圖案於第1電腦81之顯示器。藉由操作者一方面參照顯示器上之對象圖案，一方面經由輸入部特別指定出表示有特徵之部分之複數之特徵區域(亦即特徵區域)，在資料轉換部811接受表示各特徵區域之位置及大小之資訊。
然後，藉由進行指示資料轉換之輸入，光柵轉換該向量資料而產生形成光柵資料(表示對象圖案之全體之光柵資料，以下稱為「描繪光柵資料」)，同時產生形成部分光柵資料，其係僅表示在對象圖案中之各特徵區域之光柵資料(步驟S11)。在資料轉換部811，亦產生表示對象圖案之全體之縮圖之資料(光柵資料)以及輔助全體影像資料，該輔助全體影像係使描繪光柵資料所表示之影像之解析度降低之全體影像(惟，相較於縮圖仍為十分高之解析度)。且，部分光柵資料之解析度係與描繪光柵資料之解析度相同為較佳。
於本實施形態中，描繪光柵資料、部分光柵資料、縮圖資料及輔助全體影像之每一者都當成為一個資料檔案來產生形成，在以下說明中，亦分別稱為描繪光柵資料檔案、部分光柵資料檔案、縮圖資料檔案及輔助全體影像資料檔案。又，各部分光柵資料檔案所表示之特徵區域之對象圖案中的座標被包含於該部分光柵資料檔案之檔案名稱之中。亦即， 部分光柵資料檔案係亦包含特徵區域之位置之資訊。
接著，部分光柵資料檔所表示之影像顯示於第1電腦81之顯示器。然後，藉由操作者經由輸入部指示出指示在特徵區域中之應該注意之部位之標記、對該部位之着色或與特徵區域相關之註釋等之參考資訊之附加，部分光柵資料檔案係被更新成為表示於表示特徵區域之影像上附加入參考資訊之資料檔案(步驟S12)。部分光柵資料檔案係以一般影像檔案形式被產生形成為較佳，於此情況下，可以容易地使用不同的程式、不同的電腦來實現產生形成部分光柵資料之功能以及附加入參考資訊於部分光柵資料所表示之影像上之功能。且亦可藉由在步驟S11中之部分光柵資料被產生形成前輸入參考資訊之內容，在步驟S11中，產生形成表示於表示特徵區域之影像上附加入參考資訊之部分光柵資料。
在資料轉換部811中，包含有描繪光柵資料檔案511、複數之部分光柵資料檔案512、縮圖資料檔案513及輔助全體影像資料檔案514之集合係作為描繪資料組51相互之間被關連著(參考圖4)，且被記憶於第1電腦81之硬式磁碟等中。實際上，於一個描繪資料組51中所包含之描繪光柵資料檔案511、複數之部分光柵資料檔案512、縮圖資料檔案513及輔助全體影像資料檔案514係被保存於一個資料檔案夾內。描繪資料組51自第1電腦81被輸出至第2電腦82，亦被記憶於第2電腦82之記憶部821之中(步驟S13)。
在描繪裝置1中，每次當表示圖案之全體之向量資料被輸入至第1電腦81時，反覆上述步驟S11~S13之處理，在記憶部821中記憶且準備複數之描繪資料組51。在圖5中，省略著反覆步驟S11~S13之處理之圖示。且，在第1電腦81中所產生形成之全部之描繪資料組51未必都需要被記憶於記憶部821中，例如，亦可根據來自第1電腦81、第2電腦82或主電腦60之指示，將保存於第1電腦81之複數之描繪資料組51中之僅為必要之描繪資料組51輸出至第2電腦82，且記憶於記憶部821中。
當準備複數之描繪資料組51時，製作形成應該描繪於保持在收容盒90內之複數之基板9上之圖案、指示各種描繪條件之工作資料(job data)(圖5：步驟S2)。以下，參考圖7對在描繪裝置1中製作形成工作資料之處理加以說明。
在本實施形態之工作資料之製作形成中，與圖案之設計者不相同之人員為操作者(當然，圖案之設計者亦可為操作者)。當操作者在主電腦60執行既定之程式時，藉由圖4之工作作成部600之顯示控制部601，圖8所表示之工作作成視窗71顯示於主電腦60之顯示器602上。於工作作成視窗71內設置有基板選擇部711。於本實施形態中，在收容盒90內被設定有25個基板收容位置，且在基板選擇部711可以藉由1至25之號碼來特別指定收容盒90內之收容位置。
接著，在基板選擇部711中之所期望之號碼由操作者經輸入部來被選擇(步驟S21)。於本實施形態中，藉由滑鼠之點擊選擇所希望之號碼。在以下說明中，利用滑鼠之點擊所作之選擇簡單稱為「點擊」。當然，亦可藉由鍵盤等之輸入來進行選擇。藉由選擇在基板選擇部711中之號碼，在以下之處理，登錄應該描繪於配置在該號碼之收容位置(以下稱「對象收容位置」)之基板9上之圖案，以及登錄表示在對該基板9描繪時之各種描繪條件(例如描繪時之光量、對位標記之指定等)之明細(recipe)則變為可能。且在步驟S21之處理，亦可選擇複數之號碼，在此情況下，以該複數之號碼之收容位置之集合作為對象收容位置，來進行以下之處理。
當選擇對象收容位置時，藉由點擊工作作成視窗71內之描繪資料選擇鈕712，如於圖9中所示，描繪資料選擇視窗72顯示於顯示器602。在描繪資料選擇視窗72之檔案名稱顯示區域721，顯示記憶於第2電腦82之記憶部821之全部之在描繪資料組51中之描繪光柵資料檔案511之檔案名稱(在圖9以附加符號726之箭頭來表示)。此時，此等描繪資料組51中所包含之部分光柵資料檔案512、縮圖資料檔案513及輔助全體影像資料檔案514被轉送至主電腦60，被記憶在主電腦60之記憶體中。又，在描繪資料選擇視窗72中，於描繪光柵資料檔案511之各檔案名稱726之右側，顯示與該描繪光柵資料檔案511相同之包含於描繪資料組 51之縮圖資料檔案513所表示之縮圖727。且，可於檔案名稱顯示區域721中顯示各描繪光柵資料檔案511之作成日期等之其他資訊。
在描繪資料選擇視窗72中，在經選擇一個描繪光柵資料檔案511之檔案名稱726之後，藉由點擊影像顯示鈕724，如於圖10中所示，全體影像視窗73顯示於顯示器602(步驟S22、S23)。於全體影像視窗73之影像顯示區域731中，顯示與該描繪光柵資料檔案511相同包含於描繪資料組51之輔助全體影像資料檔案514所表示之影像(亦即，輔助全體影像)。該影像係表示圖案之全體。在全體影像視窗73中，設置有擴大鈕732及縮小鈕733，可以作為顯示於影像顯示區域731之影像之擴大及縮小。又，亦設置有橫向移動按鈕群734及縱向移動按鈕群735，可以變更顯示於影像顯示區域731之圖案上之區域位置。且，當點擊記載著「關閉」之結束鈕736時，則關閉全體影像視窗73。
另一方面，在圖9之描繪資料選擇視窗72中，在經選擇一個描繪光柵資料檔案511之檔案名稱726之後，藉由點擊影像展開鈕722，於該檔案名稱726之下方顯示複數之部分光柵資料檔案512之檔案名稱728(一個檔案名稱以符號728a標記)。於描繪光柵資料檔案511之檔案名稱726之前方顯示著塗黑之三角形或塗白之三角形，塗黑之三角形係表示為與該描繪光柵資料檔案511相同包含於描繪資料組51 之部分光柵資料檔案512之檔案名稱728沒有顯示於顯示區域721之狀態(亦即摺疊之狀態)。又，塗白之三角係表示為與該描繪光柵資料檔案511相同包含於描繪資料組51之部分光柵資料檔案512之檔案名稱728顯示於顯示區域721之狀態(亦即展開之狀態)。
又，在部分光柵資料檔案512之檔案名稱728於顯示狀態下，藉由點擊摺疊鈕723，可以變更成為部分光柵資料檔案512之檔案名稱728沒有顯示之狀態。且，在圖9中，於一部分之部分光柵資料檔案512之檔案名稱728之前如同描繪光柵資料檔案511之檔案名稱726般，顯示著塗黑之三角形或塗白之三角形。又，在塗白之三角形所顯示之部分光柵資料檔案512之檔案名稱728a之下方，顯示著其他之部分光柵資料檔案512之檔案名稱729，有關該其他之部分光柵資料檔案512之內容將說明於後。
在描繪資料選擇視窗72，經選擇一個部分光柵資料檔案512之檔案名稱728之後，藉由點擊影像顯示鈕724，如於圖11中所示，顯示特徵區域視窗74於顯示器602(步驟S24、S25)。於特徵區域視窗74之影像顯示區域741中，顯示該部分光柵資料檔案512所表示之影像，該影像係表示特徵區域。如前述，在部分光柵資料檔案512所表示之影像中，附加著參考資訊，在圖11中顯示出圓A1，其為指示在特徵區域中之應該注意之部位之標記。
在描繪裝置1中，由操作者目視辨認影像顯示區域741之影像。具體而言，將表示應該描繪於配置在對象收容位置之基板9上之圖案之特徵區域之影像印刷在印刷紙上，預先加以準備，且比較印刷紙上之該影像與影像顯示區域741之影像。藉此，進行確認與部分光柵資料檔案512相同包含於描繪資料組51之描繪光柵資料檔案511是否為表示應該描繪於配置在對象收容位置之基板9上之圖案者。在此，圖9中之檔案名稱「影像1-4-A-1.0.2」之部分光柵資料檔案512之影像顯示於顯示器602，來確認檔案名稱「Layer1_1_AAA」之描繪光柵資料檔案511是否為表示所期望之圖案者。
實際上，在圖9之描繪資料選擇視窗72中，於經選擇複數之部分光柵資料檔案512之檔案名稱728之後，藉由點擊影像顯示鈕724，可以同時地顯示出表示複數之特徵區域之複數之特徵區域視窗74於顯示器602。因此，藉由顯示對應於同一之描繪光柵資料檔案511之複數之特徵區域，可確實地進行確認該描繪光柵資料檔案511所表示之圖案。
在特徵區域視窗74中，如同全體影像視窗73，設置有擴大鈕742及縮小鈕743，可以作為顯示於影像顯示區域741之影像之擴大及縮小。又，亦設置有橫向移動按鈕群744及縱向移動按鈕群745，可以變更顯示於顯示區域741之圖案上之區域位置。且，當點擊記載著「關閉」之結束鈕746 時，則關閉特徵區域視窗74。
藉由以上作業，或依需要，藉由反覆進行(步驟S26)對應於其他之描繪光柵資料檔案511之輔助全體影像之顯示(步驟S22、S23)或特徵區域之顯示(步驟S24、S25)，來特別指定表示應該描繪於配置在對象收容位置之基板9上之圖案之描繪光柵資料檔案511。接著，在圖9之描繪資料選擇視窗72中，選擇該描繪光柵資料檔案511之檔案名稱726。然後，藉由點擊決定鈕725，在圖8之工作作成視窗71中，於描繪資料登錄部713顯示出該描繪光柵資料檔案511之檔案名稱，且登錄該描繪光柵資料檔案511(步驟S26、S27)。
又，藉由點擊工作作成視窗71內之明細選擇鈕714，顯示出表示預先登錄之複數之明細資料檔案之檔案名稱之視窗，由操作者自複數之明細資料檔案中選擇一個明細資料檔案。藉此，在圖8之工作作成視窗71中，於明細登錄部715顯示該明細資料檔案之檔案名稱，且登錄該明細資料檔案(步驟S28)。如前述，明細資料檔案係為表示在描繪部100中之各種描繪條件者，藉由以上處理，完成應該描繪於配置在對象收容位置之基板9之圖案之登錄，以及表示在對該基板9之描繪時之描繪條件之明細之登錄。且，明細資料檔案之登錄亦可較描繪光柵資料檔案511之登錄更早進行。
在描繪裝置1中反覆進行上述步驟S21~S28之處理(步驟S29)，直至完成對在收容盒90中之全部收容位置之描繪光 柵資料檔案511之登錄及明細資料檔案之登錄為止。藉此，製作形成工作資料。且，在上述工作資料之製作形成中，在存在有並未配置基板9之收容位置等之情況下，則進行無視該收容位置之指示之輸入。
當藉由以上處理製作形成工作資料時，根據工作資料來描繪圖案(圖5：步驟S3)。在圖2及圖3之描繪部100之圖案之描繪中，在收容盒90內之最初之處理對象之基板9藉由搬送裝置110自收容盒90被搬出，且被承載於載台10上。接著，根據對位單元361之輸出，控制旋轉機構21，基板9被對位成適合於對基板9之圖案描繪之位向(定位)。
又，藉由根據工作資料，主電腦60輸出資料要求信號至第2電腦82，於第2電腦82中，對於最初之基板9自被登錄之描繪光柵資料檔案511中產生形成基板9上之1條紋(1長條)份之描繪資料即條紋資料(stripe data)。條紋資料係為用以控制光學單元40之空間光線調變器及載台移動機構20之資料，自第2電腦82輸入主電腦60。在描繪部100中，根據條紋資料以及對於基板9被登錄之明細資料檔案，控制光學單元40之光學頭42及載台移動機構20，來進行圖案描繪。
具體而言，藉主掃描機構25，基板9開始朝平行於其主面之主掃描方向之移動，對於基板9之相對於光學單元40之相對移動，同時進行開始對基板9照射自兩個光學頭42 之經空間調變之光線自對應於兩個條紋之區域(以下稱為「條紋區域」)之前頭。藉此，開始圖案之描繪。當描繪至條紋區域之最後時，暫時停止射出自光學頭42之光線，也停止基板9之朝主掃描方向之移動，藉由副掃描機構23朝垂直於主掃描方向且平行於基板9之主面之副掃描方向並僅條紋區域之寬度移動。然後，基板9一方面朝與前次之主掃描相反之方向移動，一方面藉由二光學頭42來進行對兩個條紋區域之描繪。當反覆基板9朝副掃描方向之移動及朝主掃描方向之移動而完成全部條紋之描繪時，藉搬送機構110搬出基板9，收納於收容盒90。各光學頭42擔負基板9之一半之描繪。
當如以上結束對最初之基板9之圖案描繪時，如同上述，對下一個處理對象之基板9進行描繪圖案。描繪裝置1反覆上述處理，對收容盒90內之處理對象之全部之基板9進行圖案之描繪。
然而，例如在形成於基板9上之圖案元素沒有成為所欲之線寬、圖案元素之角部沒有成為所欲之形狀等情況下，須更新(修正)圖案，再度產生形成能被用於描繪之資料(描繪光柵資料)。如此，在有需要更新對應於一個描繪資料組51(以下稱為「對象描繪資料組51」)之圖案之情況下，於外部之電腦中製作形成表示更新該圖案之向量資料，並輸入第1電腦81。在資料轉換部811中，光柵轉換表示更新完成之 圖案之全體之向量資料，產生形成新的描繪光柵資料(以下，為與表示更新前之圖案之全體之描繪光柵資料加以區別之情況下，稱為「更新完成描繪光柵資料」)。
又，在資料轉換部811中可藉由參照於對象描繪資料組51中所包含之各部分光柵資料檔案512(亦即，在更新前之圖案中之部分光柵資料檔案512，以下亦稱為「更新前之部分光柵資料檔案512」)之檔案名稱，而取得該部分光柵資料檔案512所表示之特徵區域之座標。藉此，於更新完成描繪光柵資料產生形成時，亦產生形成在更新完成之圖案中之表示與該部分光柵資料相同之特徵區域之部分光柵資料(以下，為與更新前之部分光柵資料加以區別之情況下，稱為「更新完成部分光柵資料」)(圖6：步驟S11)。此時，圖案之改訂號碼(版本數)包含於更新完成部分光柵資料之檔案名稱中。且，各部分光柵資料檔案512所表示之特徵區域之位置資訊另外被記憶在第1電腦81中，使用該位置資訊，亦可產生形成更新完成部分光柵資料。又，可產生形成新的表示特徵區域之部分光柵資料。
接著，依需要，附加參考資訊於更新完成部分光柵資料所表示之影像(步驟S12)。然後，在第2電腦82之記憶部821中，在對象描繪資料組51，原來之描繪光柵資料被置換而更新成更新完成描繪光柵資料。又，更新前之部分光柵資料以及更新完成部分光柵資料之兩者均被包含於描繪資料組 51中(步驟S13)。
於圖7之步驟S24、S25中，在圖9之描繪資料選擇視窗72中，顯示著更新完成部分光柵資料檔案之檔案名稱728a，在經選擇該更新完成部分光柵資料檔案之檔案名稱728a之後，藉由點擊展開鈕722，於該檔案名稱728a之下方顯示更新前之部分光柵資料檔案之檔案名稱729(在圖9中已顯示)。在經選擇更新前之部分光柵資料檔案之檔案名稱729之後，當點擊影像顯示鈕724時，與圖11相同之特徵區域視窗74顯示於顯示器602。於特徵區域視窗74之影像顯示區域741中顯示該更新前之部分光柵資料檔案所表示之影像，該影像係為表示更新前之圖案中之特徵區域。因此，藉由顯示對應該更新前之部分光柵資料檔案之特徵區域視窗74以及對應於更新完成部分光柵資料檔案之特徵區域視窗74，比較在更新前後之圖案(例如線寬之變更前後)中之特徵區域則變為可能。
在此，對比較例之描繪裝置之相關內容加以說明。在比較例之描繪裝置中，不產生部分光柵資料檔案，在圖5之步驟S2之工作資料之製作形成中，無法達成於圖11所表示之特徵區域視窗74之對顯示器之顯示。因此，在操作者確認經選擇之描繪光柵資料檔案511所表示之圖案之際，必須顯示於圖10所表示之全體影像視窗73於顯示器，多次地反覆顯示於影像顯示區域731之影像之擴大、縮小或移動，查出應 該確認之特徵區域。因此，確認作業需要很長時間。
相對於此，在描繪裝置1中，在光柵轉換表示各圖案之全體之向量資料而產生形成描繪光柵資料之際，產生形成指表示在該圖案中之圖案識別用之特徵區域之資料即部分光柵資料。然後，在進行應該描繪之圖案之選擇(亦即，描繪光柵資料之選擇)之際，根據在複數之圖案中與表示經被選擇之圖案之描繪光柵資料相同包含於描繪資料組51之部分光柵資料，將表示在該經被選擇之圖案中之特徵區域之影像顯示於顯示器602。藉此，可迅速且容易地顯示出表示在經被選擇之圖案中之特徵區域之影像。對於操作者，可以有效率佳地進行該圖案之正誤之確認(是否為應該描繪之圖案之確認)。又，圖案之設計者等藉由準備指示書，該指示書係被印刷著有在實際之圖案描繪中應該選擇之描繪光柵資料之檔案名稱，以及與該描繪光柵資料相同包含於描繪資料相組51之部分光柵資料所表示之影像，即使是沒有持有與應該描繪之圖案之相關之資訊之操作者，仍可一方面顯示出表示特徵區域之影像，一方面參照該指示書，確實地進行圖案之正誤之確認。其結果，可防止選擇錯誤之檔案名稱，描繪錯誤之圖案於基板9上。
又，藉由作為在描繪資料組51中之部分光柵資料，產生形成光柵資料，該光柵資料係表示於表示特徵區域之影像上附加入參考資訊之光柵資料，可迅速地顯示出表示特徵區域 並附加入參考資訊之影像，進一步可防止描繪錯誤之圖案。
進而，可在更新對應於一個描繪資料組51之圖案之際，產生形成表示在更新完成之圖案中之特徵區域之更新完成部分光柵資料，並在工作資料之製作形成中經選擇更新完成之圖案之際，可以將更新前之部分光柵資料所表示之影像及更新完成部分光柵資料所表示之影像顯示於顯示器602。藉此，可以容易地顯示出表示在圖案更新前後之特徵區域之影像，可更確實地進行應該描繪之圖案之確認。
在描繪裝置1中，各描繪資料組51包含表示複數之特徵區域之每一者之部分光柵資料，在經選擇對應於各描繪資料組51之圖案之際，可個別顯示出表示在該圖案中之複數之特徵區域之複數之影像於顯示器602。其結果，對於操作者，可容易目視辨認在各圖案中之複數之特徵區域，可更確實地進行是否為應該描繪之圖案之確認。
以上雖然對本發明之實施形態加以說明，本發明並不限於上述實施形態，可為各種變形。
於上述實施形態中，雖然在資料轉換部811中產生形成表示特徵區域之光柵資料即部分光柵資料，亦可由表示圖案之全體之向量資料產生形成表示特徵區域之向量資料即部分向量資料。於此情況下，藉由工作作成部600之顯示控制部601，根據與表示經被選擇之圖案之描繪光柵資料相同包含於描繪資料組51中之部分向量資料，顯示出表示在該圖 案中之特徵區域之影像於顯示器602。由於部分向量資料之資料容量係十分小，因此，可迅速地顯示出表示在經被選擇之圖案中之特徵區域之影像。
又，在資料轉換部811中，亦可產生形成特徵區域之位置資料來取代部分光柵資料。於此情況下，在顯示控制部601中根據與表示經被選擇之圖案之描繪光柵資料相同包含於描繪資料組51中之位置資料，自該描繪光柵資料抽出表示特徵區域之部分，迅速地顯示出表示在該圖案中之特徵區域之影像於顯示器602。如以上，在描繪裝置1中，在產生形成表示各圖案之描繪光柵資料時，產生形成在該圖案中之圖案識別用之特徵區域之位置資料，或表示該特徵區域之資料即部分資料(亦即部分光柵資料或部分向量資料)。然後，在記憶部821中，藉由記憶描繪資料組51(該描繪資料組51係為包含描繪光柵資料、及該位置資料或該部分資料之集合)，且根據位置資料或部分資料，可以迅速且容易地顯示出表示在經被選擇之圖案(亦即經被選擇之描繪光柵資料)中之特徵區域之影像。當然，可在描繪資料組51中包含複數之特徵區域之位置資料。
表示特徵區域之影像係可在工作資料之製作形成時以外的時間被顯示，例如，可在即將圖案描繪於基板9之前，且在確認製作完成之工作資料之內容之際，根據於描繪資料組51中所包含之位置資料或部分資料，顯示出表示特徵區域 之影像於顯示器。
又，可以產生形成描繪資料組51於第2電腦82或主電腦60中，可以記憶複數之描繪資料組51在第1電腦81或主電腦60之記憶部。又，根據特徵區域之位置資料或表示特徵區域之部分資料之特徵區域之顯示可以在第1電腦81或第2電腦82之顯示部來進行。進而，描繪資料組51之產生形成及記憶暨特徵區域之顯示亦可藉由1部或2部電腦或者4部以上之電腦來實現，此等處理之一部分或全部亦可使用專用的電氣回路來實現。
藉由描繪部100根據描繪光柵資料描繪著圖案之對象物係除了基板9外，亦可為形成感光材料層之膠膜(film)等。又，在描繪部100中之光學頭若為射出經調變之光線者，即可為任何之構造。又，描繪部亦可為藉由電子射束等描繪圖案者。
在上述實施形態及各變形例中之構成係可在不相互矛盾的範圍內適當地加以組合。
雖然詳細描述且說明本發明，前述之說明係例示性而非限制性者。因此，在不悖離本發明之範圍內，可為多數之變形、態樣。
1‧‧‧描繪裝置
9‧‧‧基板
10‧‧‧載台
20‧‧‧載台移動機構
21‧‧‧旋轉機構
22‧‧‧支撐板
23‧‧‧副掃描機構
23a‧‧‧線性馬達
23b‧‧‧導引部
24‧‧‧底板
25‧‧‧主掃描機構
25a‧‧‧線性馬達
25b‧‧‧導引部
30‧‧‧載台位置測量部
31‧‧‧射出部
32‧‧‧分束器
33‧‧‧光束彎曲器
34‧‧‧第1干涉計
35‧‧‧第2干涉計
40‧‧‧光學單元
41‧‧‧光源部
42‧‧‧光學頭
51‧‧‧描繪資料組
60‧‧‧主電腦
71‧‧‧工作作成視窗
72‧‧‧描繪資料選擇視窗
73‧‧‧全體影像視窗
74‧‧‧特徵區域視窗
81‧‧‧第1電腦
82‧‧‧第2電腦
90‧‧‧收容盒
100‧‧‧描繪部
101‧‧‧本體架
102‧‧‧處理區域
103‧‧‧接收傳送區域
104‧‧‧收容盒承載部
106‧‧‧基台
110‧‧‧搬送裝置
361‧‧‧對位單元
362‧‧‧照明單元
363‧‧‧光纖
411‧‧‧雷射驅動部
412‧‧‧雷射振盪器
413‧‧‧照明光學系統
511‧‧‧描繪光柵資料檔案
512‧‧‧部分光柵資料檔案
513‧‧‧微小資料檔案
514‧‧‧輔助全體影像資料檔案
600‧‧‧工作作成部
601‧‧‧顯示控制部
602‧‧‧顯示器
711‧‧‧基板選擇部
712‧‧‧描繪資料選擇鈕
713‧‧‧描繪資料登錄部
714‧‧‧明細選擇鈕
715‧‧‧明細登錄部
721‧‧‧檔案名稱顯示區域
722‧‧‧展開鈕
723‧‧‧摺疊鈕
724‧‧‧影像顯示鈕
725‧‧‧決定鈕
726‧‧‧檔案名稱
727‧‧‧縮圖
728a‧‧‧檔案名稱
729‧‧‧檔案名稱
731‧‧‧影像顯示區域
732‧‧‧擴大鈕
733‧‧‧縮小鈕
734‧‧‧橫向移動按鈕群
735‧‧‧縱向移動按鈕群
736‧‧‧結束鈕
741‧‧‧影像顯示區域
742‧‧‧擴大鈕
743‧‧‧縮小鈕
744‧‧‧橫向移動按鈕群
745‧‧‧縱向移動按鈕群
746‧‧‧關閉鈕
811‧‧‧資料轉換部
821‧‧‧記憶部
A1‧‧‧圓
S3、S11、S13、S25‧‧‧步驟
圖1係表示描繪裝置之構成之方塊圖。
圖2係描繪部之前視圖。
圖3係描繪部之俯視圖。
圖4係表示與用於描繪之資料之產生形成及選擇之相關之功能構成之方塊圖。
圖5係表示描繪圖案於基板上之處理流程之圖式。
圖6係表示準備描繪資料組之處理流程之圖式。
圖7係表示作成工作資料之處理流程之圖式。
圖8係表示工作作成視窗之圖式。
圖9係表示描繪資料選擇視窗之圖式。
圖10係表示全體影像視窗之圖式。
圖11係表示特徵區域視窗之圖式。
51‧‧‧描繪資料組
511‧‧‧描繪光柵資料檔案
512‧‧‧部分光柵資料檔案
513‧‧‧微小資料檔案
514‧‧‧輔助全體影像資料檔案
600‧‧‧工作作成部
601‧‧‧顯示控制部
602‧‧‧顯示器
811‧‧‧資料轉換部
821‧‧‧記憶部

Claims (10)

  1. 一種描繪裝置，係描繪圖案者，其具備有：資料轉換部，係光柵轉換表示各圖案全體之向量資料而產生形成描繪光柵資料，並且在上述描繪光柵資料之產生形成之時，產生形成在上述各圖案中圖案識別用之特徵區域之位置資料，或作為表示上述特徵區域之資料的部分資料；記憶部，係記憶複數之描繪資料組，該複數之描繪資料組係以包含上述描繪光柵資料、及上述位置資料或上述部分資料之集合作為描繪資料組，分別對應於複數之圖案並且由上述資料轉換部所產生形成；顯示控制部，係根據在特別指定上述複數之圖案中應該描繪之圖案時，包含於與表示經輸入部所選擇之圖案之描繪光柵資料相同之描繪資料組之位置資料或部分資料，而將上述所選擇之圖案中表示特徵區域之影像顯示於顯示部；以及描繪部，係根據描繪光柵資料而於對象物上描繪圖案。
  2. 如申請專利範圍第1項之描繪裝置，其中，在一個描繪資料組中之部分資料係表示於表示特徵區域之影像上附加入參考資訊之光柵資料。
  3. 如申請專利範圍第1項之描繪裝置，其中，一個描繪資料組包含描繪光柵資料及部分光柵資料；在更新對應於上述描繪資料組之圖案之際，上述資料轉換部光柵轉換表示更新完成之圖案全體之向量資料，產生形成 更新完成描繪光柵資料，並同時在上述更新完成描繪光柵資料之產生形成之時，產生形成在上述更新完成之圖案中之表示與上述部分光柵資料相同之特徵區域之更新完成部分光柵資料；在上述描繪資料組中，上述描繪光柵資料被更新成為上述更新完成描繪光柵資料，上述描繪資料組包含上述部分光柵資料及上述更新完成部分光柵資料之兩者；在經選擇上述更新完成之圖案之際，上述部分光柵資料所表示之影像及上述更新完成部分光柵資料所表示之影像可以藉由上述顯示控制部顯示於上述顯示部。
  4. 如申請專利範圍第2項之描繪裝置，其中，一個描繪資料組包含描繪光柵資料及部分光柵資料；在更新對應於上述描繪資料組之圖案之際，上述資料轉換部光柵轉換表示更新完成之圖案全體之向量資料，產生形成更新完成描繪光柵資料，並同時在上述更新完成描繪光柵資料之產生形成之時，產生形成在上述更新完成之圖案中之表示與上述部分光柵資料相同之特徵區域之更新完成部分光柵資料；在上述描繪資料組中，上述描繪光柵資料被更新成為上述更新完成描繪光柵資料，上述描繪資料組包含上述部分光柵資料及上述更新完成部分光柵資料之兩者；在經選擇上述更新完成之圖案之際，上述部分光柵資料所 表示之影像及上述更新完成部分光柵資料所表示之影像可以藉由上述顯示控制部顯示於上述顯示部。
  5. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之描繪裝置，其中，各描繪資料組包含複數之特徵區域之位置資料或表示上述複數之特徵區域之每一者之部分光柵資料；在經選擇對應於上述各描繪資料組之圖案之際，表示在上述圖案中之複數之特徵區域之複數之影像可以藉由上述顯示控制部，個別地顯示於上述顯示部。
  6. 一種描繪圖案之描繪方法，其具備有：a)光柵轉換表示各圖案全體之向量資料而產生形成描繪光柵資料，並且在上述描繪光柵資料之產生形成之時，產生形成在上述各圖案中圖案識別用之特徵區域之位置資料，或作為表示上述特徵區域之資料的部分資料之步驟；b)將複數之描繪資料組記憶於記憶部之步驟，該複數之描繪資料組係以包含上述描繪光柵資料、及上述位置資料或上述部分資料之集合作為描繪資料組，分別對應於複數之圖案並且由上述a)步驟所產生形成；c)根據在特別指定上述在複數之圖案中應該描繪之圖案時，包含於與表示經輸入部所選擇之圖案之描繪光柵資料相同之描繪資料組之位置資料或部分資料，而將上述所選擇之圖案中表示特徵區域之影像顯示於顯示部之步驟；以及d)根據描繪光柵資料而於對象物上描繪圖案之步驟。
  7. 如申請專利範圍第6項之描繪方法，其中，在一個描繪資料組中之部分資料係表示於表示特徵區域之影像上附加入參考資訊之光柵資料。
  8. 如申請專利範圍第6項之描繪方法，其中，一個描繪資料組包含描繪光柵資料及部分光柵資料；在更新對應於上述描繪資料組之圖案之際，光柵轉換表示更新完成之圖案全體之向量資料，產生形成更新完成描繪光柵資料，並同時在上述更新完成描繪光柵資料之產生形成之時，產生形成在上述更新完成之圖案中之表示與上述部分光柵資料所示相同之特徵區域之更新完成部分光柵資料；在上述描繪資料組中，上述描繪光柵資料被更新成為上述更新完成描繪光柵資料，上述描繪資料組包含上述部分光柵資料及上述更新完成部分光柵資料之兩者；在經選擇上述更新完成之圖案之際，上述部分光柵資料所表示之影像及上述更新完成部分光柵資料所表示之影像可顯示於上述顯示部。
  9. 如申請專利範圍第7項之描繪方法，其中，一個描繪資料組包含描繪光柵資料及部分光柵資料；在更新對應於上述描繪資料組之圖案之際，光柵轉換表示更新完成之圖案全體之向量資料，產生形成更新完成描繪光柵資料，並同時在上述更新完成描繪光柵資料之產生形成之時，產生形成在上述更新完成之圖案中之表示與上述部分光 柵資料所示相同之特徵區域之更新完成部分光柵資料；在上述描繪資料組中，上述描繪光柵資料被更新成為上述更新完成描繪光柵資料，上述描繪資料組包含上述部分光柵資料及上述更新完成部分光柵資料之兩者；在經選擇上述更新完成之圖案之際，上述部分光柵資料所表示之影像及上述更新完成部分光柵資料所表示之影像可顯示於上述顯示部。
  10. 如申請專利範圍第6至9項中任一項之描繪方法，其中，各描繪資料組包含複數之特徵區域之位置資料，或表示上述複數之特徵區域之每一者之部分光柵資料；在經選擇對應於上述各描繪資料組之圖案之際，表示在上述圖案中之複數之特徵區域之複數之影像可以個別地顯示於上述顯示部。
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