JP2005136121A - パターン製造システム - Google Patents

Abstract

【課題】不具合箇所を製造前の早い段階で検出して、受注から納品までの時間を短縮することが可能なパターン製造システムを提供する。
【解決手段】所定のパターンを加工するための加工用パターンデータを受信して、露光装置２１により基板上の銅箔の上に塗布されたレジストに直接描画して露光し、露光されたレジストを現像してレジストパターンを形成し、このレジストパターンが形成された基板上の銅箔をエッチングして所定のパターンを製造する製造手段２０を備えたパターン製造システムにおいて、加工用パターンデータをラスター化すると共にラスター化した加工用ラスターパターンデータ１３０に基づいてパターンを表示し、表示手段１４に表示されたパターンに基づき加工用パターンデータを承認する承認指示を入力し、表示手段１４に前記パターンが表示された後、承認指示が入力されたとき、加工用ラスターパターンデータ１３０を製造手段２０に送信する。
【選択図】図３

Description

本発明は、プリント基板の回路パターン等を製造する効率を向上させるパターン製造システムに関するものである。

従来、プリント配線板の製造には、基板上に銅などの回路パターン形成用の材料を積層し、その上に感光剤としてレジストを塗布したものを使用し、パターン形成時にマスクフィルムを使用してエッチグレジストを露光して現像をおこない、さらに、銅などの回路パターン形成用の材料をエッチングしてプリント配線板を製造している。プリント配線板のパターンはＣＡＤ（Computer Aided Design：設計支援装置）等を用いて設計されるが、設計されたパターンをそのまま用いて加工を行っても、製造工程で発生する様々な要因、例えば、パターン線の線幅や線の間隔等によって基板上の銅がエッチングされる量が違うというようなものにより設計通りの仕上がりとはならない。そのため、設計されたパターンを加工に適したパターンに編集する必要がある。このため、マスクフィルムを用いたプリント配線板の製造は、ＣＡＤ等で設計されたパターンをＣＡＭ（Computer Aided Manufacturing：製造支援装置）等を用いて、この加工に適したパターンに編集するデータ編集工程と、加工に適すように編集されたパターンが作成されたマスクフィルムを使用して、基板上に回路パターンを形成する製造工程とに分けられる。製造工程で使用するマスクフィルムは、ＣＡＭで編集されたパターンを用いて作成されるが、マスクフィルム作成後にマスクフィルムを検査して製造工程へ搬送して、検査済みのマスクフィルムを用いて基板上にパターンを形成している。

一方、上述のようなマスクフィルムを用いずに、製造工程で直描型露光機（例えば、ＬＤＩ：レーザ直描型露光装置）を用いて、編集工程で作成した加工に適すように編集したパターンをレジストに直接露光する方法もある。この方法においては、ＣＡＭで編集されたパターンはＣＡＭから直描型露光機に直接転送され、転送されたパターンを用いてプリント配線板が製造される。

このような、マスクフィルムを用いずにパターンをレジストに直接露光する方法でプリント配線板を製造する方法には、納期順に注文リストを並べなおして納期の迫っているものを先に製造を行うようにしたものがある（例えば、特許文献１）。
特開２０００−２４４６０２号公報

近年、製品のライフサイクルが短くなってきており、これに伴い様々な製造分野において、在庫の削減と多品種・少量生産が求められるようになってきた。また、インターネット等の普及に伴いネットワークを介したオンデマンド受注が行われるようになり、このオンデマンド受注を利用して受注から納品までの時間を短縮することで在庫を少なくし、さらに、多品種・少量生産に対応できるようにしようとする動きがある。

プリント配線板の製造においても、このようなオンデマンド受注の要求に応えようとする試みがあるが、このようなオンデマンド受注されるような多品種・少量生産の受注を、従来のマスクフィルムを用いた製造方法で対応しようとすると、度々マスクフィルムを作成し直す必要があり、フィルムの使用量の増加や作成されたマスクパターンを製造工程に搬送する工数の増加などによりコストアップとなる。一方、マスクフィルムを用いないで直描型露光機を用いてレジストを直接露光する方法を用いればコストアップにならずに、多品種・少量生産の受注に対応することができる。

しかしながら、マスクフィルムを用いる方法ではマスクフィルムを直接目視して不具合箇所を検査して製造工程に搬送するため、製造工程で不具合が発生する確率は少ないが、マスクフィルムを用いないで直描型露光機を用いてレジストを直接露光する方法では、ＣＡＭで編集されたパターンを描型露光機に直接転送して露光を行うため、例えば、ライン間隔やライン幅から明らかにパターン不良となるような部分があっても、チェックされないまま直描型露光機に送信されてるため、パターン不良が発生して製造効率を上げることが出来ない。オンデマンド受注に対応するためには、不具合箇所を早い段階で検出して、パターン不良をなくして、受注から納品までの時間を短縮することが要求される。

本発明は、上記事情に鑑み、不具合箇所を製造前の早い段階で検出して、受注から納品までの時間を短縮することが可能なパターン製造システムを提供することを目的とするものである。

本発明のパターン製造システムは、所定のパターンを加工するための加工用パターンデータを受信して、該加工用パターンデータに基づき露光装置により基板上の銅箔の上に塗布されたレジストに直接描画して露光し、該露光されたレジストを現像してレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成された基板上の銅箔をエッチングして前記所定のパターンを製造する製造手段を備えたパターン製造システムにおいて、
前記加工用パターンデータをラスター化して加工用ラスターパターンデータを作成するラスター化手段を有し、該ラスター化手段により作成された前記加工用ラスターパターンデータに基づいてパターンを表示する表示手段と、
該表示手段に表示された前記パターンに基づき前記加工用パターンデータを承認する承認指示を入力可能な承認指示入力手段と、
前記表示手段に前記パターンが表示された後、前記承認指示入力手段により承認指示が入力されたとき、前記加工用ラスターパターンデータを前記製造手段に送信する送信手段とを備えたことを特徴とするものである。

「加工用パターンデータ」は、パターンのパターン線（直線や曲線等）を座標位置や大きさ、方向等で表したベクトルデータであり、例えば、Ｇｅｒｂｅｒフォーマット、ＯＤＢ＋＋、拡張Ｇｅｒｂｅｒフォーマットのデータである。

「加工用パターンデータをラスター化する」とは、ベクターデータである加工用パターンデータの画像を格子状に並んだ点の集合として表現したビットマップ等のフォーマットに変換することである。

「加工用ラスターパターンデータに基づいてパターンを表示する」は、例えば、指定された解像度でラスター化したビットマップ等を表示装置に表示を行うことで、表示するサイズに応じて画素を間引いたり、拡大したりして表示を行なうことである。

「承認指示」とは、加工用パターンデータのパターンに特に問題がなく製造を行うことを承認することである。「承認指示の入力」は、具体的には、キーボードやマウス等のポインティングデバイス等を用いて検査者が入力を行なう。

また、前記表示手段に表示された前記パターンに基づき前記加工用パターンデータを修正する、修正内容を含む修正指示を入力可能な修正指示入力手段と、
該修正指示入力手段により入力された修正指示に基づき前記加工用パターンデータを修正可能な修正手段と、
該修正手段を用いて修正した前記加工用パターンデータを前記表示手段に表示させる修正表示制御手段とを備えるようにしてもよい。

「修正指示」とは、加工用パターンデータが修正する必要のあるパターンを含んでいる場合に、加工用パターンデータの修正すべき内容を入力して修正内容が確認できるように修正の指示をすることである。「修正指示の入力」は、具体的には、キーボードやマウス等のポインティングデバイス等を用いて検査者が入力を行なう。

「修正手段」とは、修正指示入力手段により入力された修正内容を含む修正指示に従って、作業者がその修正手段を用いて加工用パターンデータを修正可能なものである。

また、前記修正手段で前記加工用パターンデータを修正した際、該加工用パターンデータの版数を更新する版数更新手段と、
前記修正手段で修正された加工用パターンデータを、該加工用パターンデータを修正した際に更新した版数と対応付けて記憶する修正履歴記憶手段と、
該修正履歴記憶手段から複数の版数に対応した加工用パターンデータを抽出し、抽出された複数の版数の各加工用パターンデータにより表示されるパターンの相違部分を示す相違情報を表示する相違表示手段とを備えるようにしたものが望ましい。

「版数」は、加工用パターンデータを更新した回数等を表すもので、バージョンやリビジョン等である。

「相違情報」は、パターンの相違部分が視覚的に認識することができるように、画像の一部の色を変えた画像データや、相違部分の位置の座標値のデータ等である。

また、修正すべきパターンの状態を表す不具合データを記憶する不具合記憶手段と、
前記ラスター化された加工用ラスターパターンデータに基づき、該加工用ラスターパターンデータにより表示されるパターンの中から前記不具合記憶手段に記憶されている前記不具合データに該当するパターン部分を検出する検出手段と、
該検出手段により検出された前記不具合データに該当するパターン部分を前記表示手段に表示させる不具合表示制御手段とを備えるようにしたものが望ましい。

「修正すべきパターンの状態」は、修正を行わないと不具合が発生すると思われるパターンの状態で、例えば、加工中にレジスト剥がれが発生しやすいパターンの状態や、パターン線の密度が高く加工したパターンが所望の精度に仕上がらないと思われるパターンの状態等である。

さらに、前記表示手段に表示する加工用パターンデータをスプールする第１スプーリング手段を備え、
前記表示手段が、前記第１スプーリング手段にスプールされている加工用パターンデータのうち版数が高い加工用パターンデータを優先して表示するものであってもよい。

さらにまた、前記製造手段が受信した加工用パターンデータをスプールする第２スプーリング手段を備え、
前記製造手段が、前記第２スプーリング手段にスプールされている加工用ラスターパターンデータのうち版数が高い加工用パターンデータを優先して前記所定のパターンを製造するものであってもよい。

「スプール」とは、先に蓄積されたものから先に出力を行うようにデータを蓄積することである。

「版数が高い」とは、版数は更新される度に高くなり、従って、修正回数が多いことを意味する。

本発明のパターン製造システムによれば、加工用パターンデータを所定の解像度でラスター化し、ラスター化した加工用ラスターパターンデータを表示して、パターンに問題がないかを検査者の目視によりチェックした後、問題がない場合にのみ加工用パターンデータを承認して、加工用ラスターパターンデータを製造工程に送信することで、製造工程における不具合の発生をなくすことができる。

また、加工用ラスターパターンデータを表示して、パターンに問題がないかをチェックした後、修正すべきところがある場合には修正を行ない、再度修正したパターン表示して検査を行い、パターンに問題がなくなった後に加工用パターンデータを製造工程に送信するため、製造工程における不具合の発生をなくすことができる。さらに、修正を行なった加工用パターンデータの版数を管理することで、加工用パターンデータの修正状況を正確に把握することができる。

また、修正された加工用パターンデータの修正履歴を記憶して、複数の版数の各加工用パターンデータにより形成されるパターンの相違部分を表示するようにすれば、修正した部分を確認することが可能となる。

また、修正すべきパターンの状態を表すデータを予めデータベース等に記憶しておき、データベースに記憶されているパターンの状態に該当するパターン部分を検出し、その部分を表示するようにすることにより、検査者がパターンを表示して確認を行なうとき注意すべき部分が表示されるため見落とし等のミスが少なくなる。

また、表示手段に表示する加工用パターンデータをスプーリングして版数が高いものを優先して表示を行なって検査することにより、度々修正を行なったことによって発生する遅延を少なくすることが可能である。

さらに、製造手段で製造する加工用ラスターパターンデータをスプーリングして版数が高い加工用パターンデータを優先して製造することにより、度々修正を行なったことによって発生する遅延を少なくすることが可能である。

以下、本発明の実施の形態について説明する。

図１は、パターン製造システムの概略構成を表すブロック図である。本実施の形態では、インターネット等のネットワークを介して受注する受注システムによりプリント基板を受注し、受注したプリント基板をパターン製造システムで製造する場合について説明する。

受注システム２は、ＷＥＢサーバソフトウェアを搭載したワークステーション等のコンピュータを備え、顧客の端末３から電子メールやＦＴＰを用いてインターネット等のネットワーク４を介して受注を受信することが可能である。顧客から受信した注文内容には、受注したプリント基板のパターンデータ（ＣＡＤ等で設計されたパターン）１００とその生産数、納期、ワーク材等の情報が含まれ、この注文内容の情報を受注システム２からパターン製造システム１に送信する。

本発明のパターン製造システム１は、ＣＡＭを用いて加工用にパターンデータ１００を編集して加工用パターンデータ１１０を作成し、加工用パターンデータ１１０に不具合がないかチェックするデータ編集工程（データ編集手段）１０と、加工用ラスターパターンデータに基づき基板の製造加工を行う製造工程（製造手段）２０とから構成されている。

データ編集工程１０は、受注を受けたプリント基板のパターンデータ１００を作業者が編集して加工用パターンデータ１１０を作成する編集装置１１と、編集装置１１を用いて編集された加工用パターンデータ１１０を表示装置（表示手段）に表示し、検査者が加工用パターンデータ１１０に不具合を見つけた場合には、例えば、加工用パターンデータ１１０を作成した作業者に修正内容を通知し、加工用パターンデータ１１０に不具合が見つからない場合には、製造工程２０の露光装置２１に加工用ラスターパターンデータを送信する製造管理装置１２とから構成されている。

編集装置１１は、ＣＡＭソフトウェア等の編集手段１１ａが搭載されたパソコンやワークステーション等のコンピュータで、作業者の人数により複数台設置される。編集装置１１では、各作業者がＣＡＭソフトウェア（編集手段１１ａ）を用いて、パターンデータ１００を編集してマーク付け、面付け、適正チェック等を行った後、露光装置２１に対応したフォーマットに変換して加工用パターンデータ１１０（例えば、Ｇｅｒｂｅｒフォーマット、ＯＤＢ＋＋、拡張Ｇｅｒｂｅｒフォーマット等のベクターデータ）として出力する。

さらに、編集装置１１では、加工用パターンデータ１１０に顧客から指定された注文内容や、露光装置の加工条件、編集した作業者、変更禁止属性等の制御情報１１１を付加し、これをジョブファイル１２０として製造管理装置１２に送信する。制御情報１１１には、描画条件（露光装置の解像度、ワークサイズ）、画像データ情報（フォーマット種別（例えば、Ｇｅｒｂｅｒデータの場合には、ＲＳ−２７４Ｘ、ＲＳ−２７４Ｄの指定）、データ属性）、製造情報（生産ラインＩＤ、ロットＩＤ、生産数、納期、優先度、対象感材種別、ワーク材種別）、作業者情報（ＩＤ、氏名、メールアドレス）、検査者情報（ＩＤ、氏名、メールアドレス）、出力作業者情報（ＩＤ、氏名、メールアドレス））等が含まれる。図２に、ジョブファイル１２０をＸＭＬ形式で表した一例を示す。

製造管理装置１２は、具体的には、例えばＷＥＢサーバソフトウェアが搭載されたサーバコンピュータで、図１に示すように、編集装置１１とネットワーク３０で接続されている。製造管理装置１２は、図３に示すように、作業者が編集した加工用パターンデータ１１０をジョブファイル１２０として各編集装置１１から受信してジョブファイル１２０をスプールする第１スプーリング手段１３と、加工用パターンデータ１１０をラスター化して加工用ラスターパターンデータを作成するラスター化手段１４ｂを有する、パターンを表示する表示装置（表示手段）１４と、検査者が表示装置１４に表示されたパターンをチェックして、パターンに不具合がなければ承認指示を入力する承認指示入力手段１５と、表示装置１４に表示されたパターンに不具合がある場合には加工用パターンデータ１１０の修正指示（修正内容を含む）を入力する修正指示入力手段１６と、承認指示入力手段１５により承認指示が入力された場合は加工用ラスターパターンデータをジョブファイル１２０ａとして製造工程２０の露光装置２１に送信する送信手段１５ａを備えている。

さらに、製造管理装置１２は、加工用パターンデータ１１０の修正毎に版数を更新する版数更新手段と、修正履歴を記憶管理する修正履歴記憶手段を備えている。具体的には、例えば、修正が行われた部分を修正前と修正後の差分ファイルとして記憶して履歴を管理するＣＶＳ（Concurrent Version System）やＲＣＳ（Revision Control System）等の版数更新手段と修正履歴記憶手段の機能を備えた履歴管理プログラム１７を用いることができる。

製造工程２０は、ジョブファイル１２０の加工用パターンデータ１１０をラスター化手段１４ｂでラスター化した加工用ラスターパターンデータ１３０に置き換えたジョブファイル１２０ａ（図２、図４参照）を受信してスプールする第２スプーリング手段２４と、スプールされているジョブファイル１２０ａの加工用ラスターパターンデータ１３０を用いて基板上の銅箔の上に塗布されたレジストを露光する露光装置２１と、露光されたレジストを現像してレジストパターンを形成する現像装置２２と、レジストパターンが形成された基板上の銅箔をエッチングするエッチング装置２３とを備えている。本発明の露光装置２１としては、レーザなどを用いてレジストに直接描画する直描型露光装置が用いられる。図４に、ジョブファイル１２０ａをＸＭＬ形式で表した一例を示す。図４では、加工用ラスターパターンデータ１３０の保管されている場所のＵＲＬを用いて、加工用ラスターパターンデータ１３０にリンクさせている例である。

また、図１に示すように、パターン製造システム１上にメールサーバ４０を設け、電子メール１６０で修正内容等を作業者に通知可能な構成にする。

以下、本発明のパターン製造システムの作用について説明する。

受注システム２は、顧客から受注を受けると、各編集装置１１での編集作業の状況に応じて、指定されたパターンデータ１００とその生産数、納期、ワーク材の指定等の情報を、空いている編集装置１１に送信する。

各編集装置１１では、編集手段１１ａで各作業者がパターンデータ１００を編集し、マーク付け、面付け、適正チェック等を行って加工用パターンデータ１１０を作成し、作成した加工用パターンデータ１１０に顧客の注文内容、露光装置の加工条件、優先度、ジョブの状態（編集工程での進捗状況等）、編集した作業者、変更禁止属性等の制御情報１１１を付加し、ジョブファイル１２０として製造管理装置１２に送信する。

製造管理装置１２には、複数の編集装置１１からジョブファイル１２０が送信され、製造管理装置１２で受信したジョブファイル１２０は、図５に示すように、ハードディスク等の大容量の記憶装置（第１スプーリング手段）１３に記憶され、受信した順番で検査待ちのキューに並べられる。

製造管理装置１２は、検査待ちのキューに並べられたジョブファイル１２０を順次読み取って、ジョブファイル１２０中の加工用パターンデータ１１０のパターンを表示装置１４上に表示して、検査者が目視でパターンをチェックする。ジョブファイル１２０は、制御情報１１１の優先度１１２（図５参照）が同じ場合には、先頭に並んでいるジョブファイル１２０から製造管理装置１２の表示装置１４に順次表示されるが、検査待ちのキューに並んでいるジョブファイル１２０の制御情報１１１の優先度１１２が異なる場合には、検査待ちのキューが並び替えられ、優先度１１２が高いものから表示される。また、各ジョブファイル１２０の状態は制御情報１１１（図２のジョブ状態１１３）に記録され、ジョブファイル１２０が検査待ちのキューに並んでいる場合には、ジョブの状態は「検査待ち（例えば、“ＷＡＩＴｆｏｒＣＨＥＣＫ”、図２参照）」となり、検査待ちのキューの先頭のジョブファイルが表示装置１４に表示され検査者が検査を行っている場合には、その制御情報１１１のジョブの状態１１３は「検査中」となる。

表示装置１４にパターンの表示を行う際には、加工用パターンデータ１１０（Ｇｅｒｂｅｒデータ等のベクターデータ）を、ラスター化手段１４ｂで露光装置２１の解像度に合わせてラスター化した加工用ラスターパターンデータ（具体的には、例えば、ビットマップ形式のファイルに変換する）１３０を用いて表示する。ＣＲＴ等の表示装置１４の解像度は、露光装置２１の解像度と比較すると解像度が低いため、加工用ラスターパターンデータ１３０全体を表示装置１４に表示する場合には、表示装置１４の解像度に合うように間引いて表示を行う。加工用ラスターパターンデータ１３０の一部を拡大して表示を行なう場合には、表示装置１４の解像度を超えて拡大表示される場合もあるが、露光装置２１に合わせた解像度でラスター化されているため、露光装置２１で描画を行なう際に発生する不具合を確認するための精度は確保されている。

加工用ラスターパターンデータ１３０に基づいて表示装置１４に表示されたパターンを検査者がチェックして、加工用ラスターパターンデータ１３０に問題がない場合には、検査者はキーボードやマウス等の承認指示入力手段１５を用いて、例えば、表示装置１４の画面上に表示された「承認ボタン」等を選択して承認指示を入力する。承認指示が入力されると、表示中のジョブファイル（制御情報１１１のジョブの状態は「検査中」）１２０は検査待ちのキューから削除され、ジョブファイル１２０の加工用パターンデータ１１０をラスター化手段１４ｂでラスター化した加工用ラスターパターンデータ１３０に置き換えたジョブファイル１２０ａを、送信手段１５ａを用いてに製造工程２０の露光装置２１に送信する。露光装置２１は、図６に示すように、受信したジョブファイル１２０ａを受信した順番で描画待ちのキュー（第２スプーリング手段２４）に並べる。露光装置２１でも、製造管理装置１２の表示装置１４に表示を行う場合と同様に、制御情報１１１の優先度１１２が同じ場合には、先頭に並んでいるジョブファイル１２０ａから描画を行うが、描画待ちのキューに並んでいるジョブファイル１２０ａの制御情報１１１の優先度１１２が異なる場合には、描画待ちのキューを並び替え、優先度の高いものから描画を行う。

一方、表示装置１４に表示された加工用ラスターパターンデータ１３０を検査者がチェックを行い問題があると判断した場合には、検査者はキーボードやマウス等の修正指示入力手段１６を用いて、表示装置１４に表示されたパターンの不具合箇所や、例えば、「レジスト剥がれの可能性が高い」というように、どのような不具合が発生するかが分かるように修正内容を入力して、「修正ボタン」等を選択して修正指示を入力する。修正指示が入力されると、このジョブファイルは検査待ちのキューから削除され、ハードディスク等の記憶装置に設けた修正用保存領域１６ａに移して保存される（図３参照）。このとき、制御情報１１１のジョブの状態は「修正中」となる。また、修正の指示は、例えば、加工用パターンデータ１００を編集した作業者に通知される。具体的には、例えば、制御情報１１１の作業者情報に記憶されているメールアドレス１１４（図２参照）宛てに、例えば、検査者が入力した修正内容と、不具合箇所の詳細な情報が記載されたＷＥＢページのＵＲＬ１６１を記載した電子メール１６０（図７参照）を送信して通知する。

作業者は、編集装置１１で電子メール１６０を受け取ると、電子メール１６０で修正内容を確認し、さらに、電子メール１６０に記載されているＵＲＬ１６１を指示してＷＥＢページを表示し、不具合箇所の詳細な情報を確認する。そこで、修正指示されたジョブファイル１２０を製造管理装置１２の保存領域１５ａから読み取り、作業者は加工用パターンデータ１１０をＣＡＭ等の修正手段１１ａで修正する。加工用パターンデータ１１０が修正されたジョブファイル１２０は、再度、編集装置１１から製造管理装置１２に送信される。製造管理装置１２では、加工用パターンデータ１１０が修正されたジョブファイル１２０を受信すると、保存領域に保存されている修正中となっているジョブファイル１２０を削除して、受信したジョブファイル１２０を検査待ちのキューに並べて、再度、修正表示制御手段１４ｃで表示装置１４に表示を行なわせて加工用パターンデータ１１０を検査者がチェックする。

また、製造管理装置１２は、履歴管理プログラム１７を用いて加工用パターンデータ１１０を修正した履歴を管理する。加工用パターンデータ１１０の履歴を、例えば、ＣＶＳやＲＣＳ等の履歴管理プログラム１７で管理する場合には、図８に示すように、まず、修正指示された加工用パターンデータ１１０（Ａ）を履歴管理プログラム１７に登録後、修正された加工用パターンデータ１１０（Ｂ＝Ａ＋Δ１）を履歴管理プログラム１７に登録すると、修正部分が差分ファイルΔ１として記憶される。再度、加工用パターンデータ１１０（Ｂ）を修正し、再修正した加工用パターンデータ１１０（Ｃ＝Ｂ＋Δ２）を登録すると、修正部分が差分ファイルΔ２として記憶される。このように履歴管理プログラム１７の修正履歴記憶手段１７ｂで、修正部分を差分ファイル（Δ１、Δ２）として記憶する。また、登録された加工用パターンデータ１１０は、版数更新手段１７ａで登録される度に版数（Version、Revision等）が更新され、更新された版数とその版数の加工用パターンデータとが対応するように記憶される。図８に、登録する度に版数がＶｅｒ１．０、Ｖｅｒ１．１、Ｖｅｒ１．２と更新される様子を示す。図８には、修正内容が追加されていく場合を表しているが、削除された内容や変更した内容も差分ファイルとして記憶される。

また、製造管理装置１２の相違表示手段１４ｄでは、履歴管理プログラム１７から、２つの異なる版数の加工用パターンデータ１１０の差分ファイル（例えば、上記Δ１、Δ２、あるいは、Δ１＋Δ２）を抽出し、この差分ファイル（相違情報）に基づいて、異なる版数の加工用パターンデータ１１０のパターンが相違する部分を確認することができるように表示を行う。例えば、パターンが相違する部分を表す画像をＷＥＢページに掲載し、編集装置１１から製造管理装置１２に接続してパターンが相違する部分を表示することができるようにする。また、前述の電子メール１６０に、このＷＥＢページのＵＲＬ１６１を記載するようにして修正のあった部分が確認できるようにしてもよい。

また、製造管理装置１２では、加工用パターンデータ１１０が修正されたジョブファイル１２０を受信すると、加工用パターンデータ１１０を履歴管理プログラム１７に登録して版数を変更した後に検査待ちのキュー（第１スプーリング手段）に並べるが、版数が高い加工用パターンデータ１１０は、不具合の修正を度々行なっているために作業が遅れている可能性が高い。そこで、版数が高いものほど優先的に検査するように並び替えを行なうようにする方が好ましい。

同様に、製造工程２０の露光装置２１で、受信したジョブファイル１２０ａを描画待ちのキュー（第２スプーリング手段）にスプールした際にも、加工用パターンデータ１１０の版数が高い場合には、不具合を何度も修正して作業が遅れている可能性が高く、先に検査を行う必要がある。そこで、版数高いものほど優先的に検査するように並び替えを行なうようにしてもよい。

以上詳細に説明したように、本発明では直描型露光機を用いてレジストを直接露光する方法において、露光装置に応じた分解能で表示してパターン不良となるような部分を編集工程チェックした後に、製造工程で製造を行うので不良が少なく製造効率を高めることが可能となる。

次に第２の実施の形態について説明する。前述の実施の形態と同一の構成には同一の符号を振って詳細な説明は省略し、相違する点についてのみ説明する。

第２の実施の形態は、図１に示すように、第１の実施の形態と同様に概略構成されるが、本実施の形態では、不具合箇所を検出する検出手段を設け、表示手段に不具合箇所を表示する場合について説明する。

図９に示すように、本実施の形態の製造管理装置１２には、作業者が編集した加工用パターンデータ１１０をジョブファイル１２０として各編集装置１１から受信してスプールする第１スプーリング手段１３と、修正すべきパターンの状態を表す不具合データを記憶する不具合データベース（不具合記憶手段）１８と、加工用パターンデータ１１０をラスター化した加工用ラスターパターンデータ１３０に基づいて修正すべきパターンを検出する検出手段１９と、加工用パターンデータ１１０をラスター化して加工用ラスターパターンデータを作成するラスター化手段１４ｂを有する、パターンを表示する表示装置（表示手段）１４と、検出された前記不具合データに該当するパターンの状態を前記表示装置に表示するように制御する不具合表示制御手段１４ａと、検査者が表示装置に表示されたパターンをチェックして、パターンに不具合がなければ承認指示を入力する承認指示入力手段１５と、表示手段に表示されたパターンに不具合がある場合には加工用パターンデータの修正指示（修正内容を含む）を入力する修正指示入力手段１６と、承認指示入力手段１５により承認指示が入力された場合は加工用ラスターパターンデータをジョブファイル１２０ａとして製造工程２０の露光装置２１に送信する送信手段１５ａを備える。

不具合データベース１８は、修正が必要なパターンの状態を不具合データとして記憶する。上記パターンの状態は、例えば、配線密度、ライン間隔、ライン幅、規定面積当たりのライン数、ラインの曲がり角度、ワーク上の位置等である。

検出手段１９は、不具合データベース１８に記憶されている不具合データ１８０に該当するパターン部分を検出する。例えば、配線密度（加工用ラスターパターンデータ１ｍｍ中のパターン画素数から求める）が、不具合データベースに記憶されている配線密度以上の場合には、十分にエッチングされず必要とする精度の線幅のパターン線に仕上がらない可能性が高い。そこで、加工用パターンデータ１１０をラスター化した加工用ラスターパターンデータ１３０をいくつかの小領域に分けて線密度を求め、記憶されている線密度以上となるところを検出する。また、ライン間隔が狭い場合には、ショートする可能性があり、記憶されているライン間隔以上の画素数が必要である。そこで、ライン間隔を、加工用ラスターパターンデータ１３０のライン間の画素数をカウントして求め、記憶されているライン間隔以下の画素数となっているところを検出する。あるいは、ラインの曲がり角度が鋭角となるところでは、レジスト剥がれが発生しやすくなる。そこで、ベクターデータである加工用パターンデータ１１０からラインの曲がり角度を求め該当するところを検出する。

そこで、不具合表示制御手段１４ａは、検出手段１９で検出された不具合データ１８０に該当するパターン部分として検出された部分がわかるように、例えば、加工用ラスターパターンデータ１３０を表示した画面上で検出した部分の色を変えるように表示装置１４を制御して表示し、検査者に不具合が発生する可能性のあるところを注目させることができる。

また、加工用パターンデータ１１０を露光装置の解像度にあわせてラスター化した加工用ラスターパターンデータ１３０に基づいて検査を行なうことにより、露光時に発生する不具合を的確に検出することが可能である。

また、検査者が表示されたパターンをチェックする際に、不具合データ１８０に該当するところとして表示されなかったパターンの状態であっても、目視で不具合が確認されるようなところの条件を新たな不具合データ１８０として不具合データベース１８に追加するようにしてもよい。

上述の各実施の形態では、製造工程（製造手段）２０が１ラインの場合について説明したが、図１０に示すように、製造工程２０が複数ライン（Ａ、Ｂ、・・・）ある構成にして、編集工程１０から出力するジョブファイル１２０を、各製造工程２０の空き具合をみて、空いている製造工程２０に送信するようにしてもよい。

パターン製造システムの概略構成図 加工用パターンデータを含むジョブファイルの一例を示す図 加工用ラスターパターンデータを含むジョブファイルの一例を示す図 第１の実施の形態のデータ編集工程と製造工程のブロック図 検査待ちキューを説明するための図 描画待ちキューを説明するための図 電子メールの一例を示す図 履歴管理プログラムを説明するための図 第２の実施の形態のデータ編集工程と製造工程のブロック図 複数ライン製造工程を備えた場合のパターン製造システムの概略構成図

符号の説明

１ パターン製造システム
２ 受注システム
３ 顧客端末
４ ネットワーク
１０ データ編集工程
１１ 編集装置
１２ 製造管理装置
１３ 第１スプーリング手段
１４ 表示装置
１４ａ 不具合表示制御手段
１４ｂ ラスター化手段
１４ｃ 修正表示制御手段
１４ｄ 相違表示手段
１５ 承認指示入力手段
１５ａ 保存領域
１６ 修正指示入力手段
１９ 検出手段
２０ 製造工程
３０ ネットワーク
１００ パターンデータ
１１１ 制御情報
１１２ 優先度
１１３ ジョブ状態
１１０ 加工用パターンデータ
１１１ 制御情報
１２０、１２０ａ ジョブファイル
１３０ 加工用ラスターパターンデータ
１６０ 電子メール
１６１ ＵＲＬ

Claims (6)

1. 所定のパターンを加工するための加工用パターンデータを受信して、該加工用パターンデータに基づき露光装置により基板上の銅箔の上に塗布されたレジストに直接描画して露光し、該露光されたレジストを現像してレジストパターンを形成し、該レジストパターンが形成された基板上の銅箔をエッチングして前記所定のパターンを製造する製造手段を備えたパターン製造システムにおいて、
   前記加工用パターンデータをラスター化して加工用ラスターパターンデータを作成するラスター化手段を有し、該ラスター化手段により作成された前記加工用ラスターパターンデータに基づいてパターンを表示する表示手段と、
   該表示手段に表示された前記パターンに基づき前記加工用パターンデータを承認する承認指示を入力可能な承認指示入力手段と、
   前記表示手段に前記パターンが表示された後、前記承認指示入力手段により承認指示が入力されたとき、前記加工用ラスターパターンデータを前記製造手段に送信する送信手段とを備えたことを特徴とする製造システム。
2. 前記表示手段に表示された前記パターンに基づき前記加工用パターンデータを修正する、修正内容を含む修正指示を入力可能な修正指示入力手段と、
   該修正指示入力手段により入力された修正指示に基づき前記加工用パターンデータを修正可能な修正手段と、
   該修正手段を用いて修正した前記加工用パターンデータを前記表示手段に表示させる修正表示制御手段とを備えたことを特徴とする請求項１記載のパターン製造システム。
3. 前記修正手段で前記加工用パターンデータを修正した際、該加工用パターンデータの版数を更新する版数更新手段と、
   前記修正手段で修正された加工用パターンデータを、該加工用パターンデータを修正した際に更新した版数と対応付けて記憶する修正履歴記憶手段と、
   該修正履歴記憶手段から複数の版数に対応した加工用パターンデータを抽出し、抽出された複数の版数の各加工用パターンデータにより表されるパターンの相違部分を示す相違情報を表示する相違表示手段とを備えたことを特徴とする請求項２記載のパターン製造システム。
4. 修正すべきパターンの状態を表す不具合データを記憶する不具合記憶手段と、
   前記ラスター化された加工用ラスターパターンデータに基づき、該加工用ラスターパターンデータにより表されるパターンの中から前記不具合記憶手段に記憶されている前記不具合データに該当するパターン部分を検出する検出手段と、
   該検出手段により検出された前記不具合データに該当するパターン部分を前記表示手段に表示させる不具合表示制御手段とを備えた請求項１から３いずれか記載のパターン製造システム。
5. 前記表示手段に表示する加工用パターンデータをスプールする第１スプーリング手段を備え、
   前記表示手段が、前記第１スプーリング手段にスプールされている加工用パターンデータのうち版数が高い加工用パターンデータを優先して表示するものであることを特徴とする請求項１から４いずれか記載のパターン製造システム。
6. 前記製造手段が受信した加工用ラスターパターンデータをスプールする第２スプーリング手段を備え、
   前記製造手段が、前記第２スプーリング手段にスプールされている加工用パターンデータのうち版数が高い加工用パターンデータを優先して前記所定のパターンを製造するものであることを特徴とする請求項１から５いずれか記載のパターン製造システム。

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