KR20130027424A - 묘화 장치 및 묘화 방법 - Google Patents

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Abstract

데이터 변환부(811)에서는, 각 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터를 래스터 변환하여 묘화 래스터 데이터가 생성되는 것과 함께, 묘화 래스터 데이터의 생성시에 해당 패턴에 있어서의 패턴 식별용의 특징 영역을 나타내는 래스터 데이터인 부분 래스터 데이터가 생성된다. 묘화 래스터 데이터 및 부분 래스터 데이터를 포함한 집합을 묘화 데이터 세트(51)로 하여, 복수의 패턴에 각각 대응하는 복수의 묘화 데이터 세트(51)가 기억부(821)에 기억된다. 표시 제어부(601)는, 복수의 패턴 중, 선택된 패턴을 나타내는 묘화 래스터 데이터와 같은 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 부분 래스터 데이터에 근거하여, 해당 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상을 신속 및, 용이하게 디스플레이(602)에 표시한다.

Description

묘화 장치 및 묘화 방법{Drawing Apparatus and Drawing Method}
본 발명은, 패턴을 묘화하는 묘화 장치 및 묘화 방법에 관한 것이다.
CAD(computer aided design)에 의해 작성한 패턴의 벡터 데이터(vector data)를 래스터(raster) 변환하여 묘화 래스터 데이터를 생성하고, 묘화부에서 묘화 래스터 데이터에 따라 기판상의 감광 재료에 해당 패턴을 묘화하는 것이 종래부터 행해지고 있다. 또한, 패턴의 묘화(描畵) 및 현상(現像)에는 어느 정도의 시간을 필요로 하기 때문에, 패턴 묘화의 전에, 선택한 묘화 래스터 데이터가, 소망한 패턴을 나타내는 것인지 아닌지를 확인하는 작업도 필요에 따라 행해진다.
또한, 일본 특개 2006－330184호 공보에서는, 묘화용 래스터 데이터에 대한 육안 체크의 생력화(省力化)를 실현하는 수법이 개시되어 있다. 본 수법에서는, 기판에 직접 묘화하는 배선 패턴을 나타내는 벡터 형식의 거버(gerber) 데이터가 RIP 처리에 의해서 묘화용 래스터 데이터에 전개되기 전에, 임의의 상세 표시 범위가 지정되면, 거버 데이터 중 지정된 상세 표시 범위에 상당하는 데이터만이 고해상도의 래스터 데이터에 전개되고, 상세 표시 범위 내의 배선 패턴을 나타내는 상세 표시 화상이 래스터 표시 화면 내에 표시된다. 또한, 일본 특개 2008－153572호 공보에서는, 피검사물의 표면 상에 형성된 얼라이먼트 마크(alignment mark)의 화상 데이터를 채취(採取)하고, 해당 화상 데이터로부터 추출되는 특징점, 및, 미리 등록된 얼라이먼트 마크의 특징점에 의해 상관치(相關値)를 산출하고, 상관치의 문턱치에 기초하여, 얼라이먼트에 사용하는 얼라이먼트 마크의 화상 데이터를 등록하는 수법이 개시되어 있다.
그런데, 패턴 묘화의 전에, 선택한 묘화 래스터 데이터가 나타내는 패턴을 확인하기 위해서, 패턴의 전체를 나타내는 썸네일(전체를 나타내는 축소 화상)을 준비하여 디스플레이에 표시하는 것을 생각할 수 있지만, 이 경우, 미세한 패턴 요소의 상위를 판별하지 못하고, 패턴의 확인이 불충분하게 된다. 또한, 묘화 래스터 데이터, 혹은, 묘화 래스터 데이터의 해상도를 어느 정도 저하시킨 화상(예를 들면, 화소를 솎아낸 화상)을 디스플레이에 표시하는 일도 생각할 수 있지만, 확인해야 할 특징적인 영역(이하, 「특징 영역」이라고 한다)을 찾아내기 위해서, 표시 화상의 확대나 축소, 혹은, 표시하는 영역의 이동을 여러 번 반복할 필요가 있고, 확인 작업에 장시간을 필요로 하게 된다. 게다가, 패턴이 복잡한 경우에는, 패턴의 설계자 자신이 아니면, 특징 영역을 찾아내는 것이 곤란하다. 마찬가지로, 등록한 마크에 의해 묘화 래스터 데이터 중에 있는 근사(近似) 마크를 추출하는 경우도 장시간을 필요로 하게 된다.
본 발명은, 패턴을 묘화하는 묘화 장치(drawing apparatus)에 주시하고 있으며, 선택된 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상을 신속, 및 용이하게 표시하는 것을 목적으로 하고 있다.
본 발명에 관한 묘화 장치는, 각 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터를 래스터 변환하여 묘화 래스터 데이터(drawing raster data)를 생성하는 것과 함께, 묘화 래스터 데이터의 생성시에 각 패턴에 있어서의 패턴 식별(pattern identification)용의 특징 영역(feature area)의 위치 데이터, 또는, 특징 영역을 나타내는 데이터인 부분 데이터(partial data)를 생성하는 데이터 변환부와, 묘화 래스터 데이터와, 위치 데이터 또는 부분 데이터를 포함한 집합을 묘화 데이터 세트(drawing data set)로서, 복수의 패턴에 각각 대응하는 복수의 묘화 데이터 세트를 기억하는 기억부와, 복수의 패턴 가운데, 선택된 패턴을 나타내는 묘화 래스터 데이터와 같은 묘화 데이터 세트에 포함되는 위치 데이터 또는 부분 데이터에 근거하여, 선택된 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상을 표시부에 표시하는 표시 제어부와, 묘화 래스터 데이터에 따라 대상물 상에 패턴을 묘화하는 묘화부를 구비한다.
본 발명에 의하면, 선택된 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상을 신속, 및 용이하게 표시할 수 있다.
본 발명의 하나의 바람직한 형태로는, 하나의 묘화 데이터 세트에 있어서의 부분 데이터가, 특징 영역을 나타내는 화상에 참조 정보(reference information)를 부가한 것을 나타내는 래스터 데이터이다. 이것에 의해, 특징 영역을 나타내는 것과 함께 참조 정보가 부가된 화상을 신속히 표시할 수 있다.
본 발명의 다른 바람직한 형태로는, 하나의 묘화 데이터 세트가, 묘화 래스터 데이터와 부분 래스터 데이터를 포함하며, 해당 묘화 데이터 세트에 대응하는 패턴을 갱신하는(revise) 때에, 데이터 변환부가, 갱신된 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터를 래스터 변환하여 갱신된 묘화 래스터 데이터(revised drawing raster data)를 생성하는 것과 함께, 갱신된 묘화 래스터 데이터의 생성시에, 갱신된 패턴에 있어서의, 부분 래스터 데이터와 같은 특징 영역을 나타내는 갱신된 부분 래스터 데이터를 생성하고, 해당 묘화 데이터 세트에 있어서, 묘화 래스터 데이터가 갱신된 묘화 래스터 데이터로 갱신되고, 해당 묘화 데이터 세트가 부분 래스터 데이터 및 갱신된 부분 래스터 데이터 모두를 포함하며, 갱신된 패턴이 선택되었을 때에, 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상 및 갱신된 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상이, 표시 제어부에 의해 표시부에 표시 가능하다. 이것에 의해, 패턴의 갱신 전후에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상을 용이하게 표시할 수 있다.
본 발명의 또 다른 바람직한 형태로는, 각 묘화 데이터 세트가, 복수의 특징 영역의 위치 데이터, 또는, 복수의 특징 영역의 각각을 나타내는 부분 래스터 데이터를 포함하며, 각 묘화 데이터 세트에 대응하는 패턴이 선택되었을 때에, 패턴에 있어서의 복수의 특징 영역을 나타내는 복수의 화상이, 표시 제어부에 의해 표시부에 개별로 표시 가능하다.
본 발명은, 패턴을 묘화하는 묘화 방법에도 주시하고 있다.
상술의 목적 및 다른 목적, 특징, 형태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 실시하는 이 발명의 상세한 설명에 의해 명확해 질 것이다.
도 1은, 묘화 장치의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 2는, 묘화부의 정면도이다.
도 3은, 묘화부의 평면도이다.
도 4는 묘화에 이용하는 데이터의 생성 및 선택에 관한 기능 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 5는, 기판 상에 패턴을 묘화하는 처리의 흐름을 나타내는 도이다.
도 6은, 묘화 데이터 세트를 준비하는 처리의 흐름을 나타내는 도이다.
도 7은, 작업 데이터를 작성하는 처리의 흐름을 나타내는 도이다.
도 8은, 작업 작성 윈도우를 나타내는 도이다.
도 9는, 묘화 데이터 선택 윈도우를 나타내는 도이다.
도 10은, 전체 화상 윈도우를 나타내는 도이다.
도 11은, 특징 영역 윈도우를 나타내는 도이다.
도 1은, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 묘화 장치(1)의 구성을 나타내는 블럭도이다. 묘화 장치(1)는 묘화(描畵)에 이용하는 데이터를 생성 및 기억하는 제1 및 제2 컴퓨터(81, 82) 및, 대상물인 기판 상에 패턴을 묘화하는 묘화부(100)를 구비한다. 제1 및 제2 컴퓨터(81, 82) 및, 묘화부(100)의 메인 컴퓨터(60)의 각각은, 각종 연산 처리를 행하는 CPU나 각종 정보를 기억하는 RAM 등을 갖는다. 제1 및 제2 컴퓨터(81, 82) 및, 메인 컴퓨터(60)가 실현하는 기능에 대해서는 후술한다.
도 2는, 묘화부(100)의 정면도이며, 도 3은 묘화부(100)의 평면도이다. 묘화부(100)는, 레지스트(resist) 등의 감광 재료의 층이 형성된 반도체의 기판(9)의 상면인 묘화면에 광을 조사하여, 패턴을 묘화한다. 또한, 기판(9)은, 프린트 기판, 컬러 필터용 기판, 액정표시장치나 플라스마 표시장치에 구비되는 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판, 광디스크용 기판 등의 다른 다양한 기판이어도 좋다. 도 2 및 도 3의 예에서는 원형의 반도체 기판의 표면에 형성된 기초(下地) 패턴에 겹쳐서 패턴이 묘화된다. 묘화 패턴은, 예를 들면, 집적회로를 외부와 접속하기 위해서 집적회로로부터 연장되는 배선 패턴이다.
묘화부(100)에서는, 본체 프레임(101)의 골격의 천정면 및 주위면에 커버 패널(cover panel)(도시 생략)이 장착되는 것에 의해서 본체 내부가 형성되고, 본체 내부 및 본체 외부에, 각종의 구성요소가 배치된다. 도 2의 묘화부(100)의 본체 내부는, 처리 영역(102)과 수수(授受) 영역(103)으로 구분된다. 이러한 영역 중 처리 영역(102)에는 스테이지(10), 스테이지 이동 기구(20), 스테이지 위치 계측부(30), 광학 유닛(40), 얼라이먼트 유닛(361), 및, 제어부인 메인 컴퓨터(60)가 배치된다. 또한, 도 2 및 도 3에서는 메인 컴퓨터(60)를 밖에 그리고 있다. 도 2의 수수 영역(103)에는 처리 영역(102)에 대한 기판(9)의 반출입을 행하는 반송 로봇 등의 반송 장치(110)가 배치된다. 메인 컴퓨터(60)는, 묘화부(100)가 구비하는 장치 각부(묘화 엔진)와 전기적으로 접속되며, 이들 각부의 동작을 제어한다.
묘화부(100)의 본체 외부에는, 조명 유닛(362)이 배치된다. 조명 유닛(362)은, 얼라이먼트 유닛(361)에 조명광을 공급한다.
묘화부(100)의 본체 외부에서, 수수 영역(103)에 인접하는 위치에는, 카세트 재치부(104)가 배치된다. 카세트 재치부(104)에는, 카세트(90)가 재치된다. 반송 장치(110)는, 카세트 재치부(104)에 대응하는 위치에 설치되고, 카세트 재치부(104)에 재치된 카세트(90)에 수용된 미처리의 기판(9)을 꺼내서 처리 영역(102)으로 반입(로딩)하는 것과 함께, 처리 영역(102)으로부터 처리된 기판(9)을 반출(언로딩)하여 카세트(90)에 수용한다. 카세트 재치부(104)에 대한 카세트(90)의 수수(授受)는, 도시하지 않은 외부 반송 장치에 의해서 행해진다. 미처리의 기판(9)의 로딩 및 처리된 기판(9)의 언로딩은 메인 컴퓨터(60)로부터의 지시에 따라 반송 장치(110)가 동작하는 것으로 행해진다.
스테이지(10)는, 평판 모양의 외형을 가지며, 그 상면에 재치된 기판(9)을 수평 자세로 지지하는 지지부이다. 스테이지(10)의 상면에는, 복수의 흡인구멍(吸引孔)이 형성되어 있고, 이 흡인구멍에 부압(흡인압)을 부여하는 것에 의해서, 스테이지(10) 상에 재치된 기판(9)을 스테이지(10)의 상면에 고정 유지한다. 기판(9)을 지지하는 기구로서는 다른 다양한 것이 채용되어도 좋다. 스테이지(10)는 스테이지 이동 기구(20)에 의해 수평 방향으로 이동한다.
스테이지 이동 기구(20)는, 스테이지(10)를 주주사(主走査) 방향(Y축방향), 부주사(副走査) 방향(X축방향) 및 회전 방향(Z축 주위의 회전 방향(θ축 방향))으로 이동한다. 이것에 의해, 스테이지(10)에 지지되는 기판(9)이, 광학 유닛(40)에 대하여 이동한다. 도 2 및 도 3에 나타내듯이, 스테이지 이동 기구(20)는, 스테이지(10)를 회전시키는 회전 기구(21)와, 회전 기구(21)를 지지하는 지지 플레이트(22)와, 지지 플레이트(22)를 부주사 방향으로 이동하는 부주사 기구(23)와, 부주사 기구(23)를 지지하는 베이스 플레이트(24)와, 베이스 플레이트(24)를 주주사 방향으로 이동시키는 주주사 기구(25)를 구비한다. 회전 기구(21)는, 지지 플레이트(22) 상에서, 기판(9)의 상면에 수직인 회전축을 중심으로 하여 스테이지(10)를 회전시킨다. 회전 기구(21), 부주사 기구(23) 및 주주사 기구(25)는, 메인 컴퓨터(60)에 전기적으로 접속되고, 메인 컴퓨터(60)로부터의 지시에 따라 스테이지(10)를 이동한다.
도 3에 나타내듯이, 부주사 기구(23)는, 리니어 모터(23a)를 가진다. 리니어 모터(23a)는, 지지 플레이트(22)의 하면에 장착된 이동자(移動子)와 베이스 플레이트(24)의 상면에 부설(敷設)된 고정자(固定子)를 구비한다. 지지 플레이트(22)와 베이스 플레이트(24)의 사이에는, 부주사 방향(X)으로 연장되는 한 쌍의 가이드부(23b)가 설치된다. 리니어 모터(23a)가 동작하면, 가이드부(23b)를 따라서 지지 플레이트(22)가 부주사 방향(X)으로 이동한다.
주주사 기구(25)는, 리니어 모터(25a)를 가진다. 리니어 모터(25a)는, 베이스 플레이트(24)의 하면에 장착된 이동자와 묘화부(100)의 기대(基台; 106)(도 2 참조) 상에 부설된 고정자를 구비한다. 베이스 플레이트(24)와 기대(106)의 사이에는, 주주사 방향으로 연장되는 한 쌍의 가이드부(25b)가 설치된다. 리니어 모터(25a)가 동작하면, 기대(106)상의 가이드부(25b)를 따라서 베이스 플레이트(24)가 주주사 방향(Y)으로 이동한다.
스테이지 위치 계측부(30)는, 스테이지(10)의 위치를 계측한다. 스테이지 위치 계측부(30)는, 메인 컴퓨터(60)와 전기적으로 접속되고, 메인 컴퓨터(60)로부터의 지시에 따라 스테이지(10)의 위치를 계측한다. 스테이지 위치 계측부(30)는, 예를 들면, 스테이지(10)를 향해서 레이저광을 조사하고, 그 반사광과 출사광의 간섭을 이용하여, 스테이지(10)의 위치를 계측한다. 스테이지 위치 계측부(30)의 구성 및 동작은 이것으로 한정되는 것은 아니다. 본 실시 형태에서, 스테이지 위치 계측부(30)는, 레이저광을 출사하는 출사부(31)와, 빔 스플리터(beam splitter; 32)와, 빔 벤더(beam bender; 33)와, 제1 간섭계(34)와, 제2 간섭계(35)를 구비한다. 출사부(31) 및 각 간섭계(34, 35)는, 메인 컴퓨터(60)와 전기적으로 접속되어 있고, 메인 컴퓨터(60)로부터의 지시에 따라 스테이지(10)의 위치를 계측한다.
출사부(31)로부터 출사된 레이저광은, 빔 스플리터(32)에 입사하고, 빔 벤더(33)로 향하는 제1 분기광과, 제2 간섭계(35)로 향하는 제2 분기광으로 분기 된다. 제1 분기광은, 제1 간섭계(34)에 의한 스테이지(10)의 제1 부위에 대응한 위치 파라미터를 구하기 위해서 이용된다. 제2 분기광은, 제2 간섭계(35)에 의한 스테이지(10)의 제2 부위(다만, 제2 부위는, 제1 부위와는 다른 위치이다.)에 대응한 위치 파라미터를 구하기 위해서 이용된다. 메인 컴퓨터(60)는, 제1 간섭계(34) 및 제2 간섭계(35)로부터, 스테이지(10)의 제1 및 제2 부위의 위치에 대응한 위치 파라미터를 취득한다. 그리고, 각 위치 파라미터에 근거하여, 스테이지(10)의 위치를 산출한다.
도 2의 얼라이먼트 유닛(361)은, 기판(9)의 상면에 형성된 기준 마크를 촬상한다. 얼라이먼트 유닛(361)은, 경통, 대물렌즈, 및, CCD 이미지 센서를 구비한다. CCD 이미지 센서는, 예를 들면, 에어리어(area) 이미지 센서(이차원 이미지 센서)이다.
조명 유닛(362)는, 파이버(fiber; 363)를 통하여 얼라이먼트 유닛(361)에 접속되고, 얼라이먼트 유닛(361)에 조명용의 광을 공급한다. 파이버(363)에 의해서 유도되는 광은, 경통을 통하여 기판(9)의 상면으로 유도되고, 그 반사광은, 대물렌즈를 통하여 CCD 이미지 센서에서 수광된다. 이것에 의해, 기판(9)의 상면이 촬상된다. CCD 이미지 센서는, 메인 컴퓨터(60)와 전기적으로 접속되고, 메인 컴퓨터(60)로부터의 지시에 따라 촬상 데이터를 취득하여, 촬상 데이터를 메인 컴퓨터(60)로 송신한다. 얼라이먼트 유닛(361)은 오토 포커스 가능한 오토 포커스 유닛을 더 구비해도 좋다.
광학 유닛(40)은, 광원부(41)와, 2개의 광학 헤드(42)(도 3 참조)를 구비하고, 공간 변조된 광을 기판(9)에 조사하는 광조사부이다. 광학 헤드(42)는 광원부(41)로부터 공급되는 레이저광을 공간 변조한다. 광원부(41)는, 레이저 구동부(411)과, 광원인 레이저 발진기(412)와, 조명 광학계(413)을 구비한다. 이러한 구성요소는, 각 광학 헤드(42)에 대응해서 설치된다. 레이저 구동부(411)의 작동에 의해 레이저 발진기(412)로부터 레이저광이 출사되어, 조명 광학계(413)를 통하여 광학 헤드(42)에 도입된다.
광학 헤드(42)는, 공간광 변조기, 광학계, 조사 위치 시프트 기구, 및, 투영 광학계를 구비한다. 광학계는, 광원부(41)로부터의 광을 공간광변조기로 이끌고, 공간광변조기는, 도입된 광을 공간 변조한다. 조사 위치 시프트 기구는, 한 쌍의 웨지 프리즘(wedge prism)을 구비하고, 한 쌍의 웨지 프리즘 간의 거리를 변경하는 것에 의해 광축을 시프트 시켜서, 기판(9)의 상면에 있어서 묘화 위치를 부주사 방향으로 상대적으로 시프트 시킨다. 투영 광학계는, 조사 위치 시프트 기구로부터의 광을 기판(9)의 상면으로 이끈다.
공간광변조기는, 예를 들면 회절 격자형 및 반사형이며, 격자의 깊이를 변경할 수 있는 회절 격자이다. 공간광변조기는, 반도체 장치 제조 기술을 이용하여 제조된다. 본 실시 형태에 이용되는 회절 격자형의 광변조기는, 예를 들면, GLV(grating·light·valve; 회절 광 밸브)(silicon·light·machines; 실리콘 라이트 머신즈(서니베일, 캘리포니아)의 등록 상표)이다. GLV를 사용하는 것에 의해, 메인 컴퓨터(60)로부터 공급되는 조사 제어 데이터에 따라서, 화소 단위에서 광의 조사량을 다단계로 변경할 수 있다. 공간광변조기는 복수의 격자 요소를 가지고, 각 격자 요소는 1차 회절광이 출사되는 상태와, 0차 회절광이 출사되는 상태의 사이에서 천이한다. 광학 유닛(40)에서는, 1차 회절광은 차광판으로 차광되어, 기판(9)에는 유도되지 않는다. 한편, 0차 회절광은, 조사 위치 시프트 기구 및 투영 광학계를 통하여 기판(9)으로 유도된다.
도 4는, 묘화에 이용되는 데이터의 생성 및 선택에 관한 묘화 장치(1)의 기능 구성을 나타내는 블럭도이다. 도 4의 데이터 변환부(811)는, 제1 컴퓨터(81)의 CPU 등에 의해 실현되고, 작업 작성부(600)는, 메인 컴퓨터(60)의 CPU 등에 의해 실현된다. 또한, 기억부(821)는, 제2 컴퓨터(82)의 고정 디스크 등에 의해 실현되고, 표시부인 디스플레이(602)는 메인 컴퓨터(60)에 설치된다.
도 5는, 기판(9)상에 패턴을 묘화하는 처리의 흐름을 나타내는 도이다. 묘화 장치(1)에 대해 기판(9)상에 패턴을 묘화할 때, 사전 준비로서, 서로 다른 복수의 패턴에 각각 대응하는 복수의 묘화 데이터 세트가 준비된다(스텝 S1). 이하, 묘화 장치(1)에 있어서 묘화 데이터 세트를 준비하는 처리에 대해 도 6을 참조하여 설명한다.
묘화 데이터 세트의 준비에서는, 외부의 컴퓨터(CAD/CAM용 컴퓨터)에 있어서 소정의 패턴(이하, 「대상 패턴」이라고 한다)의 전체를 나타내는 벡터 데이터(CAD 데이터)가 작성되고, 해당 벡터 데이터가 묘화 장치(1)의 제1 컴퓨터(81)에 입력된다. 예를 들면, 패턴의 설계자인 작업자가, 제1 컴퓨터(81)에 있어서 소정의 프로그램을 실행하면, 도 4의 데이터 변환부(811)에 의해, 벡터 데이터에 근거하여 대상 패턴이 제1 컴퓨터(81)의 디스플레이에 표시된다. 작업자가 디스플레이 상의 대상 패턴을 참조하면서, 입력부를 통하여 특징적인 부분을 나타내는 복수의 영역(즉, 특징 영역)을 특정하는 것에 의해, 데이터 변환부(811)에 있어서, 각 특징 영역의 위치 및 크기를 나타내는 정보를 받아들일 수 있다.
그리고, 데이터 변환을 지시하는 입력이 행해지는 것에 의해, 해당 벡터 데이터가 래스터 변환되어 래스터 데이터(대상 패턴의 전체를 나타내는 래스터 데이터이며, 이하, 「묘화 래스터 데이터」라고 한다)가 생성되는 것과 함께, 대상 패턴에 있어서의 각 특징 영역만을 나타내는 래스터 데이터인 부분 래스터 데이터가 생성된다(스텝 S11). 데이터 변환부(811)에서는, 대상 패턴의 전체를 나타내는 썸네일의 데이터(래스터 데이터), 및 묘화 래스터 데이터가 나타내는 화상의 해상도를 저하시킨 전체 화상인 보조 전체 화상(다만, 썸네일 보다도 충분히 고해상도이다)의 데이터도 생성된다. 또한, 부분 래스터 데이터의 해상도는, 묘화 래스터 데이터의 해상도와 동일한 것이 바람직하다.
본 실시 형태에서는, 묘화 래스터 데이터, 부분 래스터 데이터, 썸네일의 데이터, 및, 보조 전체 화상의 데이터의 각각이 1개의 데이터 파일로서 생성되고, 이하의 설명에서는, 각각 묘화 래스터 데이터 파일, 부분 래스터 데이터 파일, 썸네일 데이터 파일, 보조 전체 화상 데이터 파일이라고도 부른다. 또한, 각 부분 래스터 데이터 파일이 나타내는 특징 영역의 대상 패턴에 있어서의 좌표가, 해당 부분 래스터 데이터 파일의 파일명에 포함될 수 있다. 즉, 부분 래스터 데이터 파일은 특징 영역의 위치도 포함한 정보이다.
계속해서, 부분 래스터 데이터 파일이 나타내는 화상이 제1 컴퓨터(81)의 디스플레이에 표시된다. 그리고, 특징 영역에 있어서의 주목해야 할 부위를 지시하는 마크나, 해당 부위에의 착색, 혹은, 특징 영역에 대한 코멘트 등의 참조 정보의 부가를, 작업자가 입력부를 통하여 지시하는 것에 의해, 부분 래스터 데이터 파일이, 특징 영역을 나타내는 화상에 참조 정보를 부가한 것을 나타내는 데이터 파일에 갱신된다(스텝 S12). 부분 래스터 데이터 파일은 일반적인 화상 파일 형식으로 생성되는 것이 바람직하고, 이 경우, 부분 래스터 데이터를 생성하는 기능과, 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상에 참조 정보를 부가하는 기능을 다른 프로그램이나 다른 컴퓨터를 이용해서 실현하는 것이 용이하게 가능하다. 또한, 스텝 S11에 있어서의 부분 래스터 데이터의 생성 전에 참조 정보의 내용을 입력하는 것에 의해, 스텝 S11에 있어서, 특징 영역을 나타내는 화상에 참조 정보를 부가한 것을 나타내는 부분 래스터 데이터가 생성되어도 좋다.
데이터 변환부(811)에서는, 묘화 래스터 데이터 파일(511), 복수의 부분 래스터 데이터 파일(512), 썸네일 데이터 파일(513) 및 보조 전체 화상 데이터 파일(514)를 포함한 집합이, 묘화 데이터 세트(51)로서 서로 관련되고(도 4 참조), 제1 컴퓨터(81)의 고정 디스크 등에 기억된다. 실제로는, 하나의 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 묘화 래스터 데이터 파일(511), 복수의 부분 래스터 데이터 파일(512), 썸네일 데이터 파일(513) 및 보조 전체 화상 데이터 파일(514)은, 한개의 데이터 폴더 내에 보존된다. 묘화 데이터 세트(51)는 제1 컴퓨터(81)로부터 제2 컴퓨터(82)에 출력되고, 제2 컴퓨터(82)의 기억부(821)에도 기억된다(스텝 S13).
묘화 장치(1)에서는, 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터가 제1 컴퓨터(81)에 입력될 때마다, 상기 스텝 S11~S13의 처리가 반복되고, 복수의 묘화 데이터 세트(51)가 기억부(821)에 기억되어 준비된다. 도 5에서는, 스텝 S11~S13을 반복하는 처리의 도시를 생략하고 있다. 또한, 제1 컴퓨터(81)에서 생성되는 모든 묘화 데이터 세트(51)가 반드시 기억부(821)에 기억될 필요는 없고, 예를 들면, 제1 컴퓨터(81), 제2 컴퓨터(82) 또는 메인 컴퓨터(60)로부터의 지시에 근거하여, 제1 컴퓨터(81)에 보존된 복수의 묘화 데이터 세트(51) 중 필요한 묘화 데이터 세트(51)만이 제2 컴퓨터(82)에 출력되어 기억부(821)에 기억되어도 좋다.
복수의 묘화 데이터 세트(51)가 준비되면, 카세트(90) 내에 유지되는 복수의 기판(9)에 묘화해야 할 패턴이나 각종 묘화 조건을 지시하는 작업 데이터가 작성된다(도 5：스텝 S2). 이하, 묘화 장치(1)에 있어서 작업 데이터를 작성하는 처리에 대해 도 7을 참조하여 설명한다.
본 실시 형태에 있어서의 작업 데이터의 작성에서는, 패턴의 설계자와는 다른 사람이 작업자이다(물론, 패턴의 설계자가 작업자여도 좋다). 작업자가 메인 컴퓨터(60)에 있어서 소정의 프로그램을 실행하면, 도 4의 작업 작성부(600)의 표시 제어부(601)에 의해, 도 8에 나타내는 작업 작성 윈도우(71)가 메인 컴퓨터(60)의 디스플레이(602)에 표시된다. 작업 작성 윈도우(71) 내에는 기판 선택부(711)가 설치된다. 본 실시 형태에서는, 카세트(90) 내에 25개의 기판의 수용 위치가 설정되어 있고, 기판 선택부(711)에서는 1 내지 25의 번호에 의해 카세트(90) 내의 수용 위치가 특정 가능하다.
계속해서, 기판 선택부(711)에 있어서 소망한 번호가, 작업자에 의해 입력부를 통하여 선택된다(스텝 S21). 본 실시 형태에서는, 소망한 번호가 마우스의 클릭에 의해 선택된다. 이하의 설명에서는, 마우스의 클릭에 의한 선택을, 단지 「클릭」이라고 한다. 물론, 키보드 등에 의한 입력에 의해 선택을 해도 좋다. 기판 선택부(711)에 있어서의 번호의 선택에 의해, 이하의 처리에서, 해당 번호의 수용 위치(이하 「대상 수용 위치」라고 한다)에 배치되는 기판(9)에 묘화해야 할 패턴의 등록, 및, 해당 기판(9)에의 묘화시에 있어서의 각종 묘화 조건(예를 들면, 묘화시의 광량이나 얼라이먼트 마크의 지정 등)을 나타내는 레시피의 등록이 가능해진다. 또한, 스텝 S21의 처리에 있어서 복수의 번호가 선택되어도 좋고, 이 경우, 해당 복수의 번호의 수용 위치의 집합을 대상 수용 위치로서, 이하의 처리가 행해진다.
대상 수용 위치가 선택되면, 작업 작성 윈도우(71) 내의 묘화 데이터 선택 버튼(712)을 클릭하는 것에 의해, 도 9에 나타내듯이, 묘화 데이터 선택 윈도우(72)가 디스플레이(602)에 표시된다. 묘화 데이터 선택 윈도우(72)의 파일명 표시 영역(721)에서는, 제2 컴퓨터(82)의 기억부(821)에 기억되는 모든 묘화 데이터 세트(51)에 있어서의 묘화 래스터 데이터 파일(511)의 파일명(도 9 중에서 부호 726을 부여한 화살표로 나타냄)이 표시된다. 이 때, 이러한 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 부분 래스터 데이터 파일(512), 썸네일 데이터 파일(513) 및 보조 전체 화상 데이터 파일(514)이, 메인 컴퓨터(60)로 전송되어 메인 컴퓨터(60)의 메모리에 기억된다. 또한, 묘화 데이터 선택 윈도우(72)에 있어서, 묘화 래스터 데이터 파일(511)의 각 파일명(726)의 우측에는, 해당 묘화 래스터 데이터 파일(511)과 같은 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 썸네일 데이터 파일(513)이 나타내는 썸네일(727)이 표시된다. 또한, 파일명 표시 영역(721)에 있어서 각 묘화 래스터 데이터 파일(511)의 작성일 등의 다른 정보가 표시되어도 좋다.
묘화 데이터 선택 윈도우(72)에 있어서, 하나의 묘화 래스터 데이터 파일(511)의 파일명(726)을 선택한 후, 화상 표시 버튼(724)를 클릭하는 것에 의해, 도 10에 나타내듯이, 전체 화상 윈도우(73)가 디스플레이(602)에 표시된다(스텝 S22, S23). 전체 화상 윈도우(73)의 화상 표시 영역(731)에는, 해당 묘화 래스터 데이터 파일(511)과 같은 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 보조 전체 화상 데이터 파일(514)이 나타내는 화상(즉, 보조 전체 화상)이 표시되고, 해당 화상은 패턴의 전체를 나타낸다. 전체 화상 윈도우(73)에서는, 확대 버튼(732) 및 축소 버튼(733)이 설치되어 있어, 화상 표시 영역(731)에 표시되는 화상의 확대 및 축소가 가능하다. 또한, 횡방향 이동 버튼군(734) 및 종방향 이동 버튼군(735)도 설치되어 있어, 화상 표시 영역(731)에 표시되는 패턴 상의 영역 위치를 변경하는 것이 가능하다. 또한 「닫음」이라고 기재된 종료 버튼(736)을 클릭하면, 전체 화상 윈도우(73)가 닫히게 된다.
한편, 도 9의 묘화 데이터 선택 윈도우(72)에 있어서, 하나의 묘화 래스터 데이터 파일(511)의 파일명(726)을 선택한 후, 전개 버튼(722)을 클릭하는 것에 의해, 해당 파일명(726)의 하부에, 복수의 부분 래스터 데이터 파일(512)의 파일명(728)(1개의 파일명에 부호 728a를 교부하고 있다)이 표시된다. 묘화 래스터 데이터 파일(511)의 파일명(726)의 앞에는 검은색의 삼각 또는 흰색의 삼각이 표시되어 있고, 검은색의 삼각은, 해당 묘화 래스터 데이터 파일(511)과 같은 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 부분 래스터 데이터 파일(512)의 파일명(728)이 파일명 표시 영역(721)에 표시되어 있지 않은 상태(즉, 접혀진 상태)를 나타낸다. 또한, 흰색의 삼각은, 해당 묘화 래스터 데이터 파일(511)과 같은 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 부분 래스터 데이터 파일(512)의 파일명(728)이 파일명 표시 영역(721)에 표시되어 있는 상태(즉, 전개되어 있는 상태)를 나타낸다.
또한, 부분 래스터 데이터 파일(512)의 파일명(728)이 표시되어 있는 상태에서, 접기 버튼(723)을 클릭하는 것에 의해, 부분 래스터 데이터 파일(512)의 파일명(728)이 표시되어 있지 않은 상태로 변경하는 것이 가능하다. 또한, 도 9에서는, 일부의 부분 래스터 데이터 파일(512)의 파일명(728)의 앞에, 묘화 래스터 데이터 파일(511)의 파일명(726)과 같이, 검은색의 삼각 또는 흰색의 삼각이 표시되어 있다. 또한, 흰색의 삼각이 표시된 부분 래스터 데이터 파일(512)의 파일명(728a) 아래에는, 다른 부분 래스터 데이터 파일(512)의 파일명(729)이 표시되어 있지만, 해당 다른 부분 래스터 데이터 파일(512)의 내용에 대해서는 후술한다
묘화 데이터 선택 윈도우(72)에 있어서, 하나의 부분 래스터 데이터 파일(512)의 파일명(728)을 선택한 후, 화상 표시 버튼(724)를 클릭하는 것에 의해, 도 11에 나타내듯이, 특징 영역 윈도우(74)가 디스플레이(602)에 표시된다(스텝 S24, S25). 특징 영역 윈도우(74)의 화상 표시 영역(741)에는, 해당 부분 래스터 데이터 파일(512)이 나타내는 화상이 표시되고, 해당 화상은 특징 영역을 나타낸다. 앞서 설명한 바와 같이, 부분 래스터 데이터 파일(512)이 나타내는 화상에서는 참조 정보가 부가되어 있고, 도 11에서는 특징 영역에 있어서의 주목해야 할 부위를 지시하는 마크인 원(A1)이 표시된다.
묘화 장치(1)에서는, 화상 표시 영역(741)의 화상이 작업자에 의해 눈으로 확인된다. 구체적으로는, 대상 수용 위치에 배치되는 기판(9)에 묘화 해야 할 패턴의 특징 영역을 나타내는 화상이 프린트지에 프린트되어 미리 준비되어 있고, 프린트지 상의 해당 화상과 화상 표시 영역(741)의 화상이 비교된다. 이것에 의해, 해당 부분 래스터 데이터 파일(512)과 같은 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 묘화 래스터 데이터 파일(511)이, 대상 수용 위치에 배치되는 기판(9)에 묘화해야 할 패턴을 나타내는 것인지 아닌지의 확인이 행해진다. 여기에서는, 도 9 중의 파일명 「화상 1-4-A-1.0.2」의 부분 래스터 데이터 파일(512)의 화상이 디스플레이(602)에 표시되고, 파일명 「Layer_1_AAA」의 묘화 래스터 데이터 파일(511)이, 소망한 패턴을 나타내는 것인지 아닌지가 확인된다.
실제로는, 도 9의 묘화 데이터 선택 윈도우(72)에 있어서, 복수의 부분 래스터 데이터 파일(512)의 파일명(728)을 선택한 후, 화상 표시 버튼(724)를 클릭하는 것에 의해, 복수의 특징 영역을 나타내는 복수의 특징 영역 윈도우(74)를 디스플레이(602)에 동시에 표시하는 것이 가능하다. 따라서, 동일한 묘화 래스터 데이터 파일(511)에 대응하는 복수의 특징 영역을 표시하는 것에 의해, 해당 묘화 래스터 데이터 파일(511)이 나타내는 패턴의 확인을 확실하게 행하는 것이 가능해진다.
특징 영역 윈도우(74)에서는, 전체 화상 윈도우(73)와 같이, 확대 버튼(742) 및 축소 버튼(743)이 설치되어 있어, 화상 표시 영역(741)에 표시되는 화상의 확대 및 축소가 가능하다. 또한, 횡방향 이동 버튼군(744) 및 종방향 이동 버튼군(745)도 설치되어 있어, 화상 표시 영역(741)에 표시되는 패턴 상의 영역 위치를 변경하는 것이 가능하다. 또한 「닫음」이라고 기재된 종료 버튼(746)을 클릭하면, 특징 영역 윈도우(74)가 닫히게 된다.
이상의 작업에 의해, 또는, 필요에 따라서 다른 묘화 래스터 데이터 파일(511)에 대응하는 보조 전체 화상의 표시(스텝 S22, S23), 혹은, 특징 영역의 표시(스텝 S24, S25)를 반복하는 것에 의해(스텝 S26), 대상 수용 위치에 배치되는 기판(9)에 묘화 해야 할 패턴을 나타내는 묘화 래스터 데이터 파일(511)이 특정된다. 계속해서, 도 9의 묘화 데이터 선택 윈도우(72)에 있어서, 해당 묘화 래스터 데이터 파일(511)의 파일명(726)이 선택된다. 그리고, 결정 버튼(725)를 클릭하는 것에 의해, 도 8의 작업 작성 윈도우(71)에서, 묘화 데이터 등록부(713)에, 해당 묘화 래스터 데이터 파일(511)의 파일명이 표시되고 해당 묘화 래스터 데이터 파일(511)이 등록된다(스텝 S26, S27)
또한, 작업 작성 윈도우(71) 내의 레시피 선택 버튼(714)을 클릭하는 것에 의해, 미리 등록되어 있는 복수의 레시피 데이터 파일의 파일명을 나타내는 윈도우가 표시되고, 작업자에 의해 복수의 레시피 데이터 파일로부터 1개의 레시피 데이터 파일이 선택된다. 이것에 의해, 도 8의 작업 작성 윈도우(71)에서, 레시피 등록부(715)에, 해당 레시피 데이터 파일의 파일명이 표시되고 해당 레시피 데이터 파일이 등록된다(스텝 S28). 앞서 설명한 바와 같이, 레시피 데이터 파일은, 묘화부(100)에 있어서의 각종 묘화 조건을 나타내는 것이며, 이상의 처리에 의해, 대상 수용 위치에 배치되는 기판(9)에 묘화 해야 할 패턴의 등록, 및, 해당 기판(9)에의 묘화시에 있어서의 묘화 조건을 나타내는 레시피의 등록이 완료한다. 또한, 레시피 데이터 파일의 등록이, 묘화 래스터 데이터 파일(511)의 등록보다 먼저 행해져도 좋다.
묘화 장치(1)에서는, 카세트(90)에 있어서의 모든 수용 위치에 대한 묘화 래스터 데이터 파일(511)의 등록, 및, 레시피 데이터 파일의 등록이 완료할 때까지, 상기 스텝 S21~S28의 처리가 반복된다(스텝 S29). 이것에 의해, 작업 데이터가 작성된다. 또한, 상기 작업 데이터의 작성에 있어서, 기판(9)이 배치되지 않은 수용 위치가 존재하는 경우 등에는, 해당 수용 위치를 무시하는 것을 지시하는 입력이 행해진다.
이상의 처리에 의해 작업 데이터가 작성되면, 작업 데이터에 따라서 패턴이 묘화 된다(도 5：스텝 S3). 도 2 및 도 3의 묘화부(100)에 있어서의 패턴의 묘화에서는, 카세트(90) 내의 최초의 처리 대상의 기판(9)이 반송 장치(110)에 의해 카세트(90)로부터 반출되어, 스테이지(10)에 재치된다. 계속해서, 얼라이먼트 유닛(361)의 출력에 근거하여, 회전 기구(21)가 제어되어, 기판(9)에의 패턴 묘화에 적절한 방향으로 기판(9)이 얼라이먼트(위치 맞춤) 된다.
또한, 작업 데이터에 따라서 메인 컴퓨터(60)가 제2 컴퓨터(82)에 데이터 요구 신호를 출력하는 것에 의해, 제2 컴퓨터(82)에서, 최초의 기판(9)에 대해서 등록된 묘화 래스터 데이터 파일(511)로부터, 기판(9) 상의 1 스트라이프(1 스와스(swath)) 분의 묘화 데이터인 스트라이프 데이터가 생성된다. 스트라이프 데이터는, 광학 유닛(40)의 공간광변조기 및 스테이지 이동 기구(20)를 제어하기 위한 데이터이며, 제2 컴퓨터(82)로부터 메인 컴퓨터(60)에 입력된다. 묘화부(100)에서는, 스트라이프 데이터 및 기판(9)에 대하여 등록된 레시피 데이터 파일에 따라서, 광학 유닛(40)의 광학 헤드(42) 및 스테이지 이동 기구(20)가 제어되어, 패턴 묘화가 행해진다.
구체적으로는, 주주사 기구(25)에 의해 기판(9)이, 그 주면에 평행한 주주사 방향으로의 이동을 개시하고, 기판(9)의 광학 유닛(40)에 대한 상대 이동에 병행하고, 2개의 광학 헤드(42)로부터의 공간 변조된 광의 기판(9)에의 조사가, 2개의 스트라이프에 대응하는 영역(이하, 「스트라이프 영역」이라고 한다)의 선두로부터 개시된다. 이것에 의해, 패턴의 묘화가 개시된다. 스트라이프 영역의 끝까지 묘화가 행해지면, 광학 헤드(42)로부터의 광의 출사가 일시적으로 정지되고, 기판(9)의 주주사 방향에의 이동도 정지되며, 부주사 기구(23)에 의해 기판(9)이 주주사 방향에 수직 또한, 기판(9)의 주면에 평행한 부주사 방향으로 스트라이프 영역의 폭만큼 이동한다. 그리고, 기판(9)이 전회(前回)의 주주사와는 역방향으로 이동하면서 2개의 광학 헤드(42)에 의해 2개의 스트라이프 영역에의 묘화가 행해진다. 기판(9)의 부주사 방향으로의 이동 및 주주사 방향으로의 이동이 반복되어 모든(全) 스트라이프의 묘화가 완료되면, 반송 장치(110)에 의해 기판(9)이 반출되고, 카세트(90)에 수납된다. 각 광학 헤드(42)는, 기판(9)의 반분(半分)의 묘화를 담당한다.
이상과 같이 하여, 최초의 기판(9)에의 패턴 묘화가 완료되면, 상기와 같이 하여, 다음의 처리 대상의 기판(9)에 대해서 패턴이 묘화 된다. 묘화 장치(1)에서는, 상기 처리가 반복되고, 카세트(90) 내의 처리 대상의 모든 기판(9)에 대해서 패턴의 묘화가 행해진다.
그런데, 예를 들면, 기판(9) 상에 형성된 패턴 요소가 소망한 선 폭으로 되지 않는 경우나, 패턴 요소의 각 부가 소망한 형상으로 되지 않는 경우 등에는, 패턴을 갱신(수정(modify))하여, 묘화에 이용되는 데이터(묘화 래스터 데이터)를 재차 생성할 필요가 있다. 이와 같이, 하나의 묘화 데이터 세트(51)(이하 「대상 묘화 데이터 세트(51)」라고 한다)에 대응하는 패턴을 갱신할 필요가 있는 경우에는, 외부의 컴퓨터에 있어서 해당 패턴을 갱신한 패턴을 나타내는 벡터 데이터가 작성되고, 제1 컴퓨터(81)에 입력된다. 데이터 변환부(811)에서는, 갱신된 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터를 래스터 변환하여 새로운 묘화 래스터 데이터(이하, 갱신 전의 패턴의 전체를 나타내는 묘화 래스터 데이터와 구별하는 경우에, 「갱신된 묘화 래스터 데이터」라고 한다)가 생성된다.
또한, 데이터 변환부(811)에서는, 대상 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 각 부분 래스터 데이터 파일(512)(즉, 갱신 전의 패턴에 있어서의 부분 래스터 데이터 파일(512)이며, 이하 「갱신 전의 부분 래스터 데이터 파일(512)」이라고 한다)의 파일명을 참조하는 것에 의해, 해당 부분 래스터 데이터 파일(512)이 나타내는 특징 영역의 좌표가 취득 가능하다. 이것에 의해, 갱신된 묘화 래스터 데이터의 생성시에, 갱신된 패턴에 있어서의, 해당 부분 래스터 데이터와 같은 특징 영역을 나타내는 부분 래스터 데이터(이하, 갱신 전의 부분 래스터 데이터와 구별하는 경우에 「갱신된 부분 래스터 데이터」라고 한다)도 생성된다(도 6：스텝 S11). 이 때, 패턴의 개정(改訂) 번호(판수)가, 갱신된 부분 래스터 데이터 파일의 파일명에 포함될 수 있다. 또한, 각 부분 래스터 데이터 파일(512)이 나타내는 특징 영역의 위치 정보가 제1 컴퓨터(81)에 대해 별도 기억되고, 해당 위치 정보를 이용하여 갱신된 부분 래스터 데이터가 생성되어도 좋다. 또한, 신규의 특징 영역을 나타내는 부분 래스터 데이터가 생성되어도 좋다.
계속해서, 필요에 따라서, 갱신된 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상에 참조 정보가 부가된다(스텝 S12). 그리고, 제2 컴퓨터(82)의 기억부(821)에서는, 대상 묘화 데이터 세트(51)에 있어서, 원래(元)의 묘화 래스터 데이터가 갱신된 묘화 래스터 데이터로 바뀌어 갱신된다. 또한, 갱신전의 부분 래스터 데이터 및 갱신된 부분 래스터 데이터 모두가, 대상 묘화 데이터 세트(51)에 포함할 수 있다(스텝 S13).
도 7의 스텝 S24, S25에 있어서, 도 9의 묘화 데이터 선택 윈도우(72)에서는, 갱신된 부분 래스터 데이터 파일의 파일명(728a)이 표시되어 있고, 해당 갱신된 부분 래스터 데이터 파일의 파일명(728a)를 선택한 후, 전개 버튼(722)을 클릭하는 것에 의해, 해당 파일명(728a)의 하부에, 갱신전의 부분 래스터 데이터 파일의 파일명(729)이 표시된다(도 9에서는 이미 표시되어 있다). 갱신전의 부분 래스터 데이터 파일의 파일명(729)을 선택한 후, 화상 표시 버튼(724)를 클릭하면, 도 11과 같은 특징 영역 윈도우(74)가 디스플레이(602)에 표시된다. 특징 영역 윈도우 (74)의 화상 표시 영역(741)에는, 해당 갱신전의 부분 래스터 데이터 파일이 나타내는 화상이 표시되고, 해당 화상은 갱신전의 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타낸다. 따라서, 갱신전의 부분 래스터 데이터 파일에 대응하는 특징 영역 윈도우(74) 및 갱신된 부분 래스터 데이터 파일에 대응하는 특징 영역 윈도우(74)를 표시하는 것에 의해, 갱신 전후의 패턴(예를 들면, 선폭의 변경 전후)에 있어서의 특징 영역을 비교하는 것이 가능해진다.
여기서, 비교 예의 묘화 장치에 대해 진술한다. 비교 예의 묘화 장치에서는, 부분 래스터 데이터 파일이 생성되지 않고, 도 5의 스텝 S2의 작업 데이터의 작성에서는, 도 11에 나타내는 특징 영역 윈도우(74)의 디스플레이에의 표시가 불가능하다. 따라서, 선택한 묘화 래스터 데이터 파일(511)이 나타내는 패턴을 작업자가 확인할 때, 도 10에 나타내는 전체 화상 윈도우(73)를 디스플레이에 표시하고, 화상 표시 영역(731)에 표시되는 화상의 확대나 축소, 또는, 이동을 여러번 반복하여 확인해야 할 특징 영역을 찾아낼 필요가 있다. 따라서, 확인 작업에 장시간이 필요하게 된다.
이것에 대해, 묘화 장치(1)에서는, 각 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터를 래스터 변환하고, 묘화 래스터 데이터를 생성할 때에, 해당 패턴에 있어서의 패턴 식별용의 특징 영역을 나타내는 데이터인 부분 래스터 데이터가 생성된다. 그리고, 묘화 해야 할 패턴의 선택(즉, 묘화 래스터 데이터의 선택)을 행할 때에, 복수의 패턴 가운데, 선택된 패턴을 나타내는 묘화 래스터 데이터와 같은 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 부분 래스터 데이터에 근거하여, 해당 선택된 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상이 디스플레이(602)에 표시된다. 이것에 의해, 선택된 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상을 신속, 또한, 용이하게 표시할 수 있고, 작업자에게 있어서 해당 패턴의 정오(正誤)의 확인(묘화 해야 할 패턴인지 아닌지의 확인)을 효율적으로 행할 수 있다. 또한, 패턴의 설계자 등이, 실제의 패턴 묘화에 있어서 선택해야 할 묘화 래스터 데이터의 파일명과, 해당 묘화 래스터 데이터와 같은 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상을 프린트한 지시서를 준비하는 것에 의해, 묘화 해야 할 패턴에 대한 정보를 갖지 않은 작업자여도, 특징 영역을 나타내는 화상을 표시하면서 해당 지시서를 참조하여, 패턴의 정오(正誤)의 확인을 확실하게 행할 수 있다. 그 결과, 잘못된 파일명을 선택해서 잘못된 패턴이 기판(9)에 묘화되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 묘화 데이터 세트(51)에 있어서의 부분 래스터 데이터로서, 특징 영역을 나타내는 화상에 참조 정보를 부가한 것을 나타내는 래스터 데이터가 생성되는 것에 의해, 특징 영역을 나타내는 것과 함께 참조 정보가 부가된 화상을 신속히 표시할 수 있어서, 잘못된 패턴이 묘화되는 것을 한층 더 방지할 수 있다.
또한, 하나의 묘화 데이터 세트(51)에 대응하는 패턴을 갱신할 때에, 갱신된 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 갱신된 부분 래스터 데이터가 생성되고, 작업 데이터의 작성에 있어서 갱신된 패턴이 선택되었을 때에, 갱신 전의 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상 및 갱신된 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상이 디스플레이(602)에 표시 가능하다. 이것에 의해, 패턴의 갱신 전후에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상을 용이하게 표시하는 것이 가능하고, 묘화 해야 할 패턴의 확인을 보다 확실히 행할 수 있다.
묘화 장치(1)에서는, 각 묘화 데이터 세트(51)가, 복수의 특징 영역의 각각을 나타내는 부분 래스터 데이터를 포함하고, 각 묘화 데이터 세트(51)에 대응하는 패턴이 선택되었을 때에, 해당 패턴에 있어서의 복수의 특징 영역을 나타내는 복수의 화상이 디스플레이(602)에 개별로 표시 가능하다. 그 결과, 작업자에게 있어서, 각 패턴에서의 복수의 특징 영역을 용이하게 보고 확인(視認)할 수 있어서, 묘화해야 할 패턴인지 아닌지의 확인을 보다 확실히 행할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명해 왔지만, 본 발명은 상기 실시 형태로 한정되는 것이 아니며, 다양한 변형이 가능하다.
상기 실시 형태에서는, 데이터 변환부(811)에 있어서 특징 영역을 나타내는 래스터 데이터인 부분 래스터 데이터가 생성되지만, 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터로부터, 특징 영역을 나타내는 벡터 데이터인 부분 벡터 데이터가 생성되어도 좋다. 이 경우, 작업 작성부(600)의 표시 제어부(601)에 의해, 선택된 패턴을 나타내는 묘화 래스터 데이터와 같은 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 부분 벡터 데이터에 근거하여, 해당 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상이 디스플레이(602)에 표시된다. 부분 벡터 데이터의 데이터 사이즈는 충분히 작기 때문에, 선택된 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상을 신속히 표시할 수 있다.
또한, 데이터 변환부(811)에 있어서, 부분 래스터 데이터를 대신해 특징 영역의 위치 데이터가 생성되어도 좋다. 이 경우, 표시 제어부(601)에서는, 선택된 패턴을 나타내는 묘화 래스터 데이터와 같은 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 위치 데이터에 근거하여, 해당 묘화 래스터 데이터로부터 특징 영역을 나타내는 부분이 추출되고, 해당 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상이 디스플레이(602)에 신속히 표시된다. 이상과 같이, 묘화 장치(1)에서는, 각 패턴을 나타내는 묘화 래스터 데이터의 생성시에, 해당 패턴에 있어서의 패턴 식별용의 특징 영역의 위치 데이터, 또는, 해당 특징 영역을 나타내는 데이터인 부분 데이터(즉, 부분 래스터 데이터 또는 부분 벡터 데이터)가 생성된다. 그리고, 기억부(821)에서, 묘화 래스터 데이터와, 해당 위치 데이터 또는 해당 부분 데이터를 포함한 집합을 묘화 데이터 세트(51)로서 기억하는 것에 의해, 선택된 패턴(즉, 선택된 묘화 래스터 데이터)에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상을, 위치 데이터 또는 부분 데이터에 근거하여, 신속, 또한, 용이하게 표시할 수 있다. 물론, 묘화 데이터 세트(51)에 있어서 복수의 특징 영역의 위치 데이터가 포함되어도 좋다.
특징 영역을 나타내는 화상은, 작업 데이터의 작성시 이외에 표시되어도 좋다. 예를 들면, 기판(9) 상에의 패턴 묘화의 직전에 있어서, 작성된 작업 데이터의 내용을 확인할 때에, 묘화 데이터 세트(51)에 포함되는 위치 데이터 또는 부분 데이터에 근거하여, 특징 영역을 나타내는 화상이 디스플레이에 표시되어도 좋다.
또한, 묘화 데이터 세트(51)가, 제2 컴퓨터(82) 또는 메인 컴퓨터(60)에서 생성되어도 좋고, 복수의 묘화 데이터 세트(51)가, 제1 컴퓨터(81) 또는 메인 컴퓨터(60)의 기억부에 기억되어도 좋다. 또한, 특징 영역의 위치 데이터 또는 특징 영역을 나타내는 부분 데이터에 근거하는 특징 영역의 표시는, 제1 컴퓨터(81) 또는 제2 컴퓨터(82)의 표시부에 행해져도 좋다. 또한, 묘화 데이터 세트(51)의 생성 및 기억, 또한, 특징 영역의 표시는, 1개 또는 2개의 컴퓨터, 혹은, 4개 이상의 컴퓨터에 의해 실현되어도 좋고, 이러한 처리의 일부 또는 전부가, 전용의 전기적 회로를 이용하여 실현되어도 좋다.
묘화부(100)에 의해 묘화 래스터 데이터에 따라서 패턴이 묘화 되는 대상물은, 기판(9) 이외에, 감광 재료의 층이 형성된 필름 등이어도 좋다. 또한, 묘화부(100)에 있어서의 광학 헤드는 변조된 광을 출사하는 것이면, 어떠한 구성이어도 좋다. 또한, 묘화부는 전자선 등에 의해 패턴을 묘화하는 것이어도 좋다.
상기 실시 형태 및 각 변형 예에 있어서의 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적당히 조합되어도 좋다.
발명을 상세하게 묘사하여 설명했지만, 기술된 설명은 예시적이며, 한정적인 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한, 다수의 변형이나 형태가 가능하다고 말할 수 있다.
1 묘화 장치
9 기판
51 묘화 데이터 세트
100 묘화부
511 묘화 래스터 데이터 파일
512 부분 래스터 데이터 파일
601 표시 제어부
602 디스플레이
741 화상 표시 영역
811 데이터 변환부
821 기억부
A1 원
S3, S11, S13, S25 스텝

Claims (10)

  1. 패턴을 묘화(描畵)하는 묘화 장치로서,
    각 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터(vector data)를 래스터(raster) 변환하여 묘화 래스터 데이터를 생성하는 것과 함께, 상기 묘화 래스터 데이터의 생성 시에 상기 각 패턴에 있어서의 패턴 식별용의 특징 영역의 위치 데이터, 또는, 상기 특징 영역을 나타내는 데이터인 부분 데이터를 생성하는 데이터 변환부와,
    상기 묘화 래스터 데이터와, 상기 위치 데이터 또는 상기 부분 데이터를 포함한 집합을 묘화 데이터 세트로 하여, 복수의 패턴에 각각 대응하는 복수의 묘화 데이터 세트를 기억하는 기억부와,
    상기 복수의 패턴 중, 선택된 패턴을 나타내는 묘화 래스터 데이터와 같은 묘화 데이터 세트에 포함되는 위치 데이터 또는 부분 데이터에 근거하여, 상기 선택된 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상을 표시부에 표시하는 표시 제어부와,
    묘화 래스터 데이터에 따라서 대상물 상에 패턴을 묘화하는 묘화부
    를 구비하는 묘화 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    하나의 묘화 데이터 세트에 있어서의 부분 데이터가, 특징 영역을 나타내는 화상에 참조 정보를 부가한 것을 나타내는 래스터 데이터인 묘화 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    하나의 묘화 데이터 세트가, 묘화 래스터 데이터와 부분 래스터 데이터를 포함하고,
    상기 묘화 데이터 세트에 대응하는 패턴을 갱신할 때에, 상기 데이터 변환부가, 갱신된 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터를 래스터 변환하여 갱신된 묘화 래스터 데이터를 생성하는 것과 함께, 상기 갱신된 묘화 래스터 데이터의 생성시에, 상기 갱신된 패턴에 있어서의, 상기 부분 래스터 데이터와 같은 특징 영역을 나타내는 갱신된 부분 래스터 데이터를 생성하고,
    상기 묘화 데이터 세트에 있어서, 상기 묘화 래스터 데이터가 상기 갱신된 묘화 래스터 데이터로 갱신되고, 상기 묘화 데이터 세트가 상기 부분 래스터 데이터 및 상기 갱신된 부분 래스터 데이터 모두를 포함하며,
    상기 갱신된 패턴이 선택되었을 때에, 상기 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상 및 상기 갱신된 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상이, 상기 표시 제어부에 의해 상기 표시부에 표시 가능한 묘화 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    하나의 묘화 데이터 세트가, 묘화 래스터 데이터와 부분 래스터 데이터를 포함하고,
    상기 묘화 데이터 세트에 대응하는 패턴을 갱신할 때에, 상기 데이터 변환부가, 갱신된 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터를 래스터 변환하여 갱신된 묘화 래스터 데이터를 생성하는 것과 함께, 상기 갱신된 묘화 래스터 데이터의 생성시에, 상기 갱신된 패턴에 있어서의, 상기 부분 래스터 데이터와 같은 특징 영역을 나타내는 갱신된 부분 래스터 데이터를 생성하며,
    상기 묘화 데이터 세트에 있어서, 상기 묘화 래스터 데이터가 상기 갱신된 묘화 래스터 데이터로 갱신되고, 상기 묘화 데이터 세트가 상기 부분 래스터 데이터 및 상기 갱신된 부분 래스터 데이터 모두를 포함하고,
    상기 갱신된 패턴이 선택되었을 때에, 상기 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상 및 상기 갱신된 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상이, 상기 표시 제어부에 의해 상기 표시부에 표시 가능한 묘화 장치.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    각 묘화 데이터 세트가, 복수의 특징 영역의 위치 데이터, 또는, 상기 복수의 특징 영역의 각각을 나타내는 부분 래스터 데이터를 포함하며,
    상기 각 묘화 데이터 세트에 대응하는 패턴이 선택되었을 때에, 상기 패턴에 있어서의 복수의 특징 영역을 나타내는 복수의 화상이, 상기 표시 제어부에 의해 상기 표시부에 개별로 표시 가능한 묘화 장치.
  6. 패턴을 묘화하는 묘화 방법으로서,
    a) 각 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터를 래스터 변환하여 묘화 래스터 데이터를 생성하는 것과 함께, 상기 묘화 래스터 데이터의 생성시에 상기 각 패턴에 있어서의 패턴 식별용의 특징 영역의 위치 데이터, 또는, 상기 특징 영역을 나타내는 데이터인 부분 데이터를 생성하는 공정과,
    b) 상기 묘화 래스터 데이터와, 상기 위치 데이터 또는 상기 부분 데이터를 포함한 집합을 묘화 데이터 세트로 하여, 복수의 패턴에 각각 대응하는 복수의 묘화 데이터 세트를 기억부에 기억하는 공정과,
    c) 상기 복수의 패턴 중, 선택된 패턴을 나타내는 묘화 래스터 데이터와 같은 묘화 데이터 세트에 포함되는 위치 데이터 또는 부분 데이터에 근거하여, 상기 선택된 패턴에 있어서의 특징 영역을 나타내는 화상을 표시부에 표시하는 공정과,
    d) 묘화 래스터 데이터에 따라서 대상물 상에 패턴을 묘화하는 공정
    을 구비하는 묘화 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    하나의 묘화 데이터 세트에 있어서의 부분 데이터가, 특징 영역을 나타내는 화상에 참조 정보를 부가한 것을 나타내는 래스터 데이터인 묘화 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    하나의 묘화 데이터 세트가, 묘화 래스터 데이터와 부분 래스터 데이터를 포함하고,
    상기 묘화 데이터 세트에 대응하는 패턴을 갱신할 때에, 갱신된 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터를 래스터 변환하여 갱신된 묘화 래스터 데이터가 생성되는 것과 함께, 상기 갱신된 묘화 래스터 데이터의 생성시에, 상기 갱신된 패턴에 있어서의, 상기 부분 래스터 데이터와 같은 특징 영역을 나타내는 갱신된 부분 래스터 데이터가 생성되고,
    상기 묘화 데이터 세트에 있어서, 상기 묘화 래스터 데이터가 상기 갱신된 묘화 래스터 데이터로 갱신되고, 상기 묘화 데이터 세트가 상기 부분 래스터 데이터 및 상기 갱신된 부분 래스터 데이터 모두를 포함하며,
    상기 갱신된 패턴이 선택되었을 때에, 상기 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상 및 상기 갱신된 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상이, 상기 표시부에 표시 가능한 묘화 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    하나의 묘화 데이터 세트가, 묘화 래스터 데이터와 부분 래스터 데이터를 포함하고,
    상기 묘화 데이터 세트에 대응하는 패턴을 갱신할 때에, 갱신된 패턴의 전체를 나타내는 벡터 데이터를 래스터 변환하여 갱신된 묘화 래스터 데이터가 생성되는 것과 함께, 상기 갱신된 묘화 래스터 데이터의 생성시에, 상기 갱신된 패턴에 있어서의, 상기 부분 래스터 데이터와 같은 특징 영역을 나타내는 갱신된 부분 래스터 데이터가 생성되고,
    상기 묘화 데이터 세트에 있어서, 상기 묘화 래스터 데이터가 상기 갱신된 묘화 래스터 데이터로 갱신되고, 상기 묘화 데이터 세트가 상기 부분 래스터 데이터 및 상기 갱신된 부분 래스터 데이터 모두를 포함하며,
    상기 갱신된 패턴이 선택되었을 때에, 상기 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상 및 상기 갱신된 부분 래스터 데이터가 나타내는 화상이, 상기 표시부에 표시 가능한 묘화 방법.
  10. 제 6 항 내지 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,
    각 묘화 데이터 세트가, 복수의 특징 영역의 위치 데이터, 또는, 상기 복수의 특징 영역의 각각을 나타내는 부분 래스터 데이터를 포함하며,
    상기 각 묘화 데이터 세트에 대응하는 패턴이 선택되었을 때에, 상기 패턴에 있어서의 복수의 특징 영역을 나타내는 복수의 화상이, 상기 표시부에 개별로 표시 가능한 묘화 방법.
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