JP2014106654A - コンピュータシステム、描画システム、および、切替方法 - Google Patents

Abstract

【課題】切替器を介在させずに、複数のコンピュータ間で入力装置を共用することができる技術を提供する。
【解決手段】コンピュータシステムが備える親コンピュータ２は、入力装置６から入力された情報を、アプリケーションソフトウェア２２０，３２０が解釈できる形式に変換して操作情報として出力する変換部６０と、変換部６０から出力された操作情報の送り先を、自装置にインストールされているアプリケーションソフトウェア２２０と、子コンピュータ３との間で切り替える切替部７１とを備える。また、コンピュータシステムが備える子コンピュータ３は、親コンピュータ２から通信回線を介して送られた操作情報を受信して、自装置にインストールされているアプリケーションソフトウェア３２０に送る、操作情報受信部７２を備える。
【選択図】図７

Description

この発明は、複数のコンピュータ間で入力装置を共用する技術に関する。

生産設備におけるプロセス制御などを実現するにあたって、高度かつ複雑な制御態様に対応するべく、複数台のコンピュータを含むコンピュータシステムが組まれることが多い。このようなコンピュータシステムにおいては、省スペース化、低コスト化、オペレーションの効率化などを実現するべく、マウスやキーボードなどの入力装置を、複数のコンピュータ間で共用する構成とされることがある。

複数のコンピュータ間で入力装置を共用する場合、一般に、入力装置は、切替器を介して複数のコンピュータと接続される（例えば、特許文献１参照）。切替器は、１個の入力装置を複数のコンピュータと一対多の関係で接続して、入力装置から入力された情報を、複数のコンピュータのいずれかに選択的に送ることができる装置である。

切替器においては、オペレータは、例えば、切替器に設けられたスイッチを操作することによって、入力装置から入力された情報の送り先となるコンピュータを切り替えることができるようになっている。また、オペレータが、入力装置から定められた操作を行った場合に、切替器に、入力装置から入力される情報の送り先となるコンピュータを切り替えさせる技術も提案されている（例えば特許文献２〜４参照）。

特許第４６２７５５４号公報 特開２０１１−２２１８８４号公報 特開２００６−７９４１３号公報 特開平１１−３１０６４号公報

入力装置と複数のコンピュータとの間に切替器を介在させることによって、複数のコンピュータ間で入力装置を共用する構成によると、例えば、どのコンピュータにも不具合がないのに、切替器が故障したためにコンピュータシステムの全体が操作不能となる、といった事態を招くおそれがある。また、切替器にかかる費用分だけ、コスト面でも不利になる。

この発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、切替器を介在させずに、複数のコンピュータ間で入力装置を共用することができる技術を提供することを目的とする。

第１の態様は、コンピュータシステムであって、通信回線を介して接続された複数のコンピュータと、前記複数のコンピュータのいずれかを親コンピュータとし、残りのコンピュータを子コンピュータとして、前記親コンピュータと一対一の関係で対応付けられた入力装置と、を備え、前記親コンピュータが、前記入力装置から入力された情報を、アプリケーションソフトウェアが解釈できる形式に変換して操作情報として出力する変換部と、前記変換部から出力された操作情報の送り先を、自装置にインストールされているアプリケーションソフトウェアと、前記子コンピュータとの間で切り替える切替部と、を備え、前記子コンピュータが、前記親コンピュータから前記通信回線を介して送られた前記操作情報を受信して、自装置にインストールされているアプリケーションソフトウェアに送る、操作情報受信部、を備える。

第２の態様は、第１の態様に係るコンピュータシステムであって、前記複数のコンピュータが、感光材料の層が形成された基板に対して光を照射して前記基板にパターンを描画する描画装置と、前記通信回線を介して、接続されており、前記コンピュータシステムが、前記描画装置の処理状況に応じて、前記切替部に、前記操作情報の送り先を強制的に切り替えさせる、第１切替指示部、を備える。

第３の態様は、第１または第２の態様に係るコンピュータシステムであって、切替指示をオペレータから受け付けるとともに、前記切替指示を受け付けた場合に、前記切替部に、前記操作情報の送り先を切り替えさせる、第２切替指示部、を備える。

第４の態様は、第３の態様に係るコンピュータシステムであって、前記複数のコンピュータが、感光材料の層が形成された基板に対して光を照射して前記基板にパターンを描画する描画装置と、前記通信回線を介して、接続されており、前記コンピュータシステムが、前記描画装置の処理状況に応じて、前記第２切替指示部による、前記切替指示の受け付けを禁止する切替禁止部、を備える。

第５の態様は、第１から第４のいずれかの態様に係るコンピュータシステムであって、前記複数のコンピュータの各々と接続された表示装置の少なくとも１つに、前記操作情報の送り先の切替状態に応じたアイコンを表示させる、アイコン表示制御部、を備える。

第６の態様は、第５の態様に係るコンピュータシステムであって、切替指示をオペレータから受け付けるとともに、前記切替指示を受け付けた場合に、前記切替部に、前記操作情報の送り先を切り替えさせる、第２切替指示部、を備え、前記第２切替指示部が、前記アイコン表示制御部が前記表示装置に表示させている前記アイコンに対する選択操作を、前記切替指示として受け付ける。

第７の態様は、描画システムであって、感光材料の層が形成された基板に対して光を照射して、前記基板にパターンを描画する描画装置と、前記描画装置と通信回線を介して接続された複数のコンピュータと、前記複数のコンピュータのいずれかを親コンピュータとし、残りのコンピュータを子コンピュータとして、前記親コンピュータと一対一の関係で対応付けられた入力装置と、を備え、前記親コンピュータが、前記入力装置から入力された情報を、アプリケーションソフトウェアが解釈できる形式に変換して操作情報として出力する変換部と、前記変換部から出力された操作情報の送り先を、自装置にインストールされているアプリケーションソフトウェアと、前記子コンピュータとの間で切り替える切替部と、を備え、前記子コンピュータが、前記親コンピュータから前記通信回線を介して送られた前記操作情報を受信して、自装置にインストールされているアプリケーションソフトウェアに送る、操作情報受信部、を備える。

第８の態様は、通信回線を介して接続された複数のコンピュータと入力装置とを備えるコンピュータシステムにおいて、前記入力装置から入力された情報の送り先を切り替える方法であって、前記複数のコンピュータのいずれかを親コンピュータとし、残りのコンピュータを子コンピュータとして、前記親コンピュータと一対一の関係で前記入力装置が対応付けられており、ａ）前記入力装置から前記親コンピュータに入力された情報を、アプリケーションソフトウェアが解釈できる形式に変換して操作情報とする工程と、ｂ）前記操作情報が、前記親コンピュータにインストールされているアプリケーションソフトウェアに送られる状態と、前記操作情報が、前記通信回線を介して前記子コンピュータにインストールされているアプリケーションソフトウェアに送られる状態とを切り替える工程と、を備える。

第９の態様は、第８の態様に係る切替方法であって、前記複数のコンピュータが、感光材料の層が形成された基板に対して光を照射して前記基板にパターンを描画する描画装置と、前記通信回線を介して、接続されており、ｃ）前記描画装置の処理状況に応じて、前記ｂ）工程を実行させて、前記操作情報の送り先を強制的に切り替えさせる工程、を備える。

第１０の態様は、第８または第９の態様に係る切替方法であって、ｄ）切替指示をオペレータから受け付けるとともに、前記切替指示を受け付けた場合に、前記ｂ）工程を実行させて、前記操作情報の送り先を切り替えさせる工程、を備える。

第１１の態様は、第１０の態様に係る切替方法であって、前記複数のコンピュータが、感光材料の層が形成された基板に対して光を照射して前記基板にパターンを描画する描画装置と、前記通信回線を介して、接続されており、ｅ）前記描画装置の処理状況に応じて、前記切替指示の受け付けを禁止する工程、を備える。

第１２の態様は、第８から第１１のいずれかの態様に係る切替方法であって、ｆ）前記複数のコンピュータの各々と接続された表示装置の少なくとも１つに、前記操作情報の送り先の切替状態に応じたアイコンを表示させる工程、を備える。

第１３の態様は、第１２の態様に係る切替方法であって、ｄ）切替指示をオペレータから受け付けるとともに、前記切替指示を受け付けた場合に、前記ｂ）工程を実行させて、前記操作情報の送り先を切り替えさせる工程、を備え、前記ｄ）工程において、前記表示装置に表示されている前記アイコンに対する選択操作を、前記切替指示として受け付ける。

第１、第７、第８の態様によると、操作情報（すなわち、入力装置から親コンピュータに入力され、アプリケーションソフトウェアが解釈できる形式に変換された操作情報）が親コンピュータにインストールされているアプリケーションソフトウェアに送られる状態と、操作情報が通信回線を介して子コンピュータにインストールされているアプリケーションソフトウェアに送られる状態とを、切り替えることができる。したがって、切替器を介在させずに、複数のコンピュータ間で入力装置を共用することができる。

第２、第９の態様によると、描画装置の処理状況に応じて、操作情報の送り先が強制的に切り替えられる。したがって、操作情報の送り先が不適切となっているために、描画装置にて行われる処理に支障がでてしまう、といった事態を回避することができる。

第３、第１０の態様によると、オペレータからの指示に応じて、操作情報の送り先が切り替えられる。したがって、オペレータは、操作情報の送り先を任意に切り替えることができる。

第４、第１１の態様によると、描画装置の処理状況に応じて、オペレータからの切替指示の受け付けが禁止される。したがって、操作情報の送り先が不適切に切り替えられたために、描画装置にて行われる処理に支障がでてしまう、といった事態を回避することができる。

第５、第１２の態様によると、操作情報の送り先の切替状態に応じたアイコンが、複数のコンピュータの各々と接続された表示装置の少なくとも１つに表示される。したがって、オペレータは、操作情報の送り先の切替状態を、一目で把握することができる。

第６、第１３の態様によると、オペレータは、切替状態に応じたアイコンを選択操作することによって、切替指示を入力することができる。したがって、オペレータは、切替状態を把握した上で、切替指示を入力することができるので、誤操作により意図せずに切替指示を入力してしまう、といった事態が生じにくい。

描画システムの構成を示すブロック図である。 描画装置の側面図である。 描画装置の平面図である。 基板を例示する模式図である。 コンピュータシステムの概要を模式的に示す図である。 各コンピュータにインストールされるソフトウェアを概念的に示すブロック図である。 各コンピュータに実現される機能構成を示すブロック図である。 各表示装置に表示されるアイコンを説明するための図である。 テンプレートの登録処理の流れを示す図である。 描画装置の処理状況に応じた切替状態の遷移の態様を説明するための図である。 描画処理の流れを示す図である。 基板に対してパターン群を描画する処理を説明するための図である。 描画装置の処理状況に応じた切替状態の遷移の態様を説明するための図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について説明する。なお、以下の実施の形態は、本発明を具体化した一例であり、本発明の技術的範囲を限定する事例ではない。また、図面においては、理解容易のため、各部の寸法や数が誇張または簡略化して図示されている場合がある。

＜１．描画システム１００の構成＞
描画システム１００の構成について、図１を参照しながら説明する。図１は、描画システム１００の構成を模式的に示すブロック図である。

描画システム１００は、描画装置１とコンピュータシステム１０とを備える。コンピュータシステム１０は、複数のコンピュータ２，３を含んで構成される。描画装置１、および、複数のコンピュータ２，３は、ＬＡＮなどの通信回線（ネットワーク）Ｎを介して互いに接続されている。

描画装置１は、レジストなどの感光材料の層が形成された基板９の上面に、ＣＡＤデータなどに応じて変調した光（描画光）を照射して、基板９にパターン（例えば、回路パターン）を露光（描画）する装置である。

また、複数のコンピュータ２，３のうちの１つのコンピュータ（第１コンピュータ）２は、主として、描画システム１００の全体の動作を統括制御する統括制御部としての機能を担う。また、複数のコンピュータのうちの別の１つのコンピュータ（第２コンピュータ）３は、主として、描画装置１にて必要とされる各種の画像処理を実行する画像処理部としての機能を担う。統括制御部と画像処理部とを、別々のコンピュータにて実現することによって、一方の処理部に比較的大きな負荷がかかっている間も、その影響を受けずに他方の処理部にて処理を行うことが可能となり、これによって、安定した描画処理を実現することが可能となる。

＜２．描画装置１＞
描画装置１について、図２〜図４を参照しながら説明する。図２は、描画装置１の構成を模式的に示す側面図である。図３は、描画装置１の構成を模式的に示す平面図である。図４は、描画装置１にて処理対象とされる基板９を例示する模式図である。

描画装置１は、上述したとおり、感光材料の層が形成された基板９（例えば、半導体基板）に描画光を照射して、パターンを描画する装置である。描画装置１にて処理対象とされる基板９の主面には、図４に例示されるように、格子状のスクライブライン９１が形成されており、スクライブライン９１によって囲まれた複数の露光領域９２が規定されている。また、例えばスクライブライン９１上には、基板９の位置合わせなどに用いられるアライメントマーク９３が複数個（図示の例では、２個）形成されている。アライメントマーク９３は、具体的には、例えば、基板９の前後方向の位置合わせに用いられるマーク部分（基板９の前後方向に沿う長尺のマーク部分）と、基板９の左右方向の位置合わせに用いられるマーク部分（基板９の左右方向に沿う長尺のマーク部分）とが重ねられた十字状のマークであり、例えば、一辺が約０．１mm（ミリメートル）の多層膜反射層（蒸着などの方法によって形成され、赤外線を効率よく反射する多層膜反射層）により形成される。もっとも、アライメントマーク９３の形状および個数は、上述したものに限らない。

描画装置１は、本体フレーム１０１で構成される骨格の天井面および周囲面にカバーパネル（図示省略）が取り付けられることによって形成される本体内部と、本体フレーム１０１の外側である本体外部とに、各種の構成要素を配置した構成となっている。

描画装置１の本体内部は、処理領域１０２と受渡し領域１０３とに区分されている。処理領域１０２には、主として、基板９を保持するステージ１１、ステージ１１を移動させるステージ駆動機構１２、ステージ１１の位置を計測するステージ位置計測部１３、基板９の上面に描画光を照射する２個の光学ユニット１４，１４、および、基板９の上面を撮像するアライメントマーク撮像部１５が配置される。一方、受渡し領域１０３には、処理領域１０２に対する基板９の搬出入を行う搬送装置１６、および、プリアライメント部１７が配置される。また、描画装置１は、これが備える各部と電気的に接続されて、これら各部の動作を制御する制御用基板１８を備える。以下において、描画装置１が備える各部の構成について説明する。

＜ステージ１１＞
ステージ１１は、平板状の外形を有し、その上面に円形の基板９を水平姿勢に載置して保持する保持部である。ステージ１１の上面には、複数の吸引孔（図示省略）が形成されており、この吸引孔に負圧（吸引圧）を形成することによって、ステージ１１の上面に載置された基板９を、固定保持することができるようになっている。

＜ステージ駆動機構１２＞
ステージ駆動機構１２は、ステージ１１を基台１０５に対して移動させる機構であり、ステージ１１を主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）、および回転方向（Ｚ軸周りの回転方向（θ軸方向））に移動させる。ステージ駆動機構１２は、具体的には、ステージ１１を回転させる回転機構１２１と、回転機構１２１を介してステージ１１を支持する支持プレート１２２と、支持プレート１２２を副走査方向に移動させる副走査機構１２３とを備える。ステージ駆動機構１２は、さらに、副走査機構１２３を介して支持プレート１２２を支持するベースプレート１２４と、ベースプレート１２４を主走査方向に移動させる主走査機構１２５とを備える。

回転機構１２１は、ステージ１１の上面（基板９の載置面）の中心を通り、当該載置面に垂直な回転軸Ａを中心としてステージ１１を回転させる。回転機構１２１は、例えば、上端が載置面の裏面側に固着され、鉛直軸に沿って延在する回転軸部１２１１と、回転軸部１２１１の下端に設けられ、回転軸部１２１１を回転させる回転駆動部（例えば、回転モータ）１２１２とを含む構成とすることができる。この構成においては、回転駆動部１２１２が回転軸部１２１１を回転させることにより、ステージ１１が水平面内で回転軸Ａを中心として回転することになる。

副走査機構１２３は、支持プレート１２２の下面に取り付けられた移動子とベースプレート１２４の上面に敷設された固定子とにより構成されたリニアモータ１２３１を有している。また、ベースプレート１２４には、副走査方向に延びる一対のガイド部材１２３２が敷設されており、各ガイド部材１２３２と支持プレート１２２との間には、ガイド部材１２３２に摺動しながら当該ガイド部材１２３２に沿って移動可能なボールベアリング１２３３が設置されている。つまり、支持プレート１２２は、ボールベアリング１２３３を介して一対のガイド部材１２３２上に支持される。この構成においてリニアモータ１２３１を動作させると、支持プレート１２２はガイド部材１２３２に案内された状態で副走査方向に沿って滑らかに移動する。

主走査機構１２５は、ベースプレート１２４の下面に取り付けられた移動子と描画装置１の基台１０５上に敷設された固定子とにより構成されたリニアモータ１２５１を有している。また、基台１０５には、主走査方向に延びる一対のガイド部材１２５２が敷設されており、各ガイド部材１２５２とベースプレート１２４との間には例えばエアベアリング１２５３が設置されている。エアベアリング１２５３にはユーティリティ設備から常時エアが供給されており、ベースプレート１２４は、エアベアリング１２５３によってガイド部材１２５２上に非接触で浮上支持される。この構成においてリニアモータ１２５１を動作させると、ベースプレート１２４はガイド部材１２５２に案内された状態で主走査方向に沿って摩擦なしで滑らかに移動する。

＜ステージ位置計測部１３＞
ステージ位置計測部１３は、ステージ１１の位置を計測する機構である。ステージ位置計測部１３は、具体的には、例えば、ステージ１１外から、ステージ１１に設けられたミラー１３１に向けてレーザ光を出射するとともにその反射光を受光し、当該反射光と出射光との干渉からステージ１１の位置（具体的には、主走査方向に沿うＹ位置、および、回転方向に沿うθ位置）を計測する、干渉式のレーザ測長器により構成される。

＜光学ユニット１４＞
光学ユニット１４は、ステージ１１に保持された基板９の上面に描画光を照射して基板９にパターンを描画するための機構である。上述したとおり、描画装置１は２個の光学ユニット１４，１４を備える。これら２個の光学ユニット１４，１４は、ステージ１１およびステージ駆動機構１２を跨ぐようにして基台１０５上に架設された支持フレーム１０７に、副走査方向（Ｘ軸方向）に沿って、間隔をあけて固設され、一方の光学ユニット１４が例えば基板９の＋Ｘ側半分の描画を担当し、他方の光学ユニット１４が例えば基板９の−Ｘ側半分の描画を担当する。なお、２個の光学ユニット１４，１４の間隔は必ずしも一定に固定されている必要はなく、光学ユニット１４，１４の一方あるいは両方の位置を変更可能とする機構を設けて、両者の間隔を調整可能としてもよい。もっとも、光学ユニット１４の搭載個数は、必ずしも２個である必要はなく、１個であってもよいし、３個以上であってもよい。

２個の光学ユニット１４，１４はいずれも同じ構成を備える。すなわち、各光学ユニット１４は、天板を形成するボックスの内部に配置された光源部４０１と、支持フレーム１０７の＋Ｙ側に取り付けられた付設ボックスの内部に収容されたヘッド部４０２とを備える。光源部４０１は、レーザ駆動部１４１と、レーザ発振器１４２と、照明光学系１４３とを主として備える。ヘッド部４０２は、空間光変調ユニット１４４と、投影光学系１４５とを主として備える。

レーザ発振器１４２は、レーザ駆動部１４１からの駆動を受けて、出力ミラー（図示省略）からレーザ光を出射する。照明光学系１４３は、レーザ発振器１４２から出射された光（スポットビーム）を、強度分布が均一な線状の光（すなわち、光束断面が帯状の光であるラインビーム）とする。レーザ発振器１４２から出射され、照明光学系１４３にてラインビームとされた光は、ヘッド部４０２に入射する。

ヘッド部４０２に入射した光は、ここで、パターンデータに応じた空間変調を施された上で、基板９に照射される。ただし、光を空間変調させるとは、光の空間分布（振幅、位相、および偏光など）を変化させることを意味する。また、パターンデータとは、光を照射するべき基板９上の位置情報が画素単位で記録されたデータであり、例えば、ＣＡＤ（Computer Aided Design）を用いて生成された設計データをＲＩＰ(Raster Image Processor)処理することにより生成される。描画装置１は、例えば通信回線Ｎを介して接続された外部装置から受信することによって、このパターンデータを取得する。

ヘッド部４０２に入射した光は、より具体的には、ミラー１４６を介して、定められた角度で空間光変調ユニット１４４に入射する。空間光変調ユニット１４４は空間光変調器１４４１を備え、この空間光変調器１４４１が、電気的な制御によって入射光を空間変調させて、パターンの描画に寄与させる必要光と、パターンの描画に寄与させない不要光とを、互いに異なる方向に反射させる。空間光変調器１４４１は、例えば、変調素子である固定リボンと可動リボンとが一次元に配設された回折格子型の空間変調器（例えば、ＧＬＶ（Grating Light Valve：グレーチング・ライト・バルブ)（「ＧＬＶ」は登録商標））などを利用して構成される。回折格子型の空間変調器は、格子の深さを変更することができる回折格子であり、例えば、半導体装置製造技術を用いて製造される。

空間光変調器１４４１の構成例についてより具体的に説明する。空間光変調器１４４１は、複数の変調単位を一次元に並べた構成となっている。各変調単位は、その動作が、例えば、電圧の印加の有無で制御されるものであり、空間光変調器１４４１は、複数の変調単位のそれぞれに対して独立に電圧を印加可能なドライバ回路ユニットを備えている。これによって、各変調単位の電圧が、独立して切り換え可能となっている。

変調単位が第１の電圧状態（例えば、電圧が印加されていない状態）とされると、変調単位の表面は例えば平面となる。表面が平面となっている変調単位に光が入射すると、その入射光は回折せずに正反射する。これにより、正反射光（０次回折光）が発生する。この正反射光は、パターンの描画に寄与させるべき必要光として、後述する投影光学系１４５を介して、基板９の表面に導かれる。一方、変調単位が第２の電圧状態（例えば、電圧が印加されている状態）とされると、変調単位の表面には定められた深さの平行な溝が周期的に並んで１本以上形成される。この状態で変調単位に光が入射すると、正反射光（０次回折光）は打ち消しあって消滅し、他の次数の回折光（±１次回折光、±２次回折光、および、さらに高次の回折光）が発生する。この０次以外の次数の回折光は、パターンの描画に寄与させるべきでない不要光として、後述する投影光学系１４５において遮断され、基板９に到達しない。

投影光学系１４５は、空間光変調器１４４１から入射する光のうち、不要光を遮断するとともに必要光を基板９の表面に導いて、必要光を基板９の表面に結像させる。すなわち、空間光変調器１４４１から出射される必要光は、Ｚ軸に沿って−Ｚ方向に進行し、空間光変調器１４４１から出射される不要光はＺ軸から±Ｘ方向に僅かに傾斜した軸に沿って−Ｚ方向に進行するところ、投影光学系１４５は、例えば、必要光のみを通過させるように真ん中に貫通孔が形成された遮断板を備え、この遮断板で不要光を遮断する。投影光学系１４５は、この遮断板の他に、必要光の幅を広げる（あるいは狭める）ズーム部を構成する複数のレンズ、必要光を定められた倍率として基板９上に結像させる対物レンズ、などをさらに含む構成とする。

光学ユニット１４に描画動作を実行させる場合、制御用基板１８は、レーザ駆動部１４１を駆動してレーザ発振器１４２から光を出射させる。出射された光は照明光学系１４３にてラインビームとされ、ミラー１４６を介して空間光変調ユニット１４４の空間光変調器１４４１に入射する。ただし、空間光変調器１４４１は複数の変調単位の反射面の法線が、ミラー１４６を介して入射する入射光の光軸に対して傾斜するような姿勢で配置されている。

上述したとおり、空間光変調器１４４１においては複数の変調単位が副走査方向（Ｘ軸方向）に沿って並んで配置されており、入射光はその線状の光束断面の長幅方向を変調単位の配列方向に沿わせるようにして、一列に配列された複数の変調単位に入射する。制御用基板１８は、パターンデータに基づいてドライバ回路ユニットに指示を与え、ドライバ回路ユニットが指示された変調単位に対して電圧を印加する。これによって、各変調単位にて個々に空間変調された光を含む、断面が帯状の描画光が形成され、基板９に向けて出射されることになる。１個の変調単位にて空間変調された光は、１画素分の描画光となり、空間光変調器１４４１から出射される描画光は、副走査方向に沿う複数画素分の描画光となっている。空間光変調器１４４１から出射された描画光は、投影光学系１４５に入射する。そして、投影光学系１４５において、入射光のうちの不要光が遮断されるとともに必要光のみが基板９の表面に導かれ、定められた倍率とされて基板９の表面に結像される。

後に明らかになるように、各光学ユニット１４は、主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って基板９に対して相対的に移動されながら、副走査方向に沿う複数画素分の描画光を断続的に照射し続ける。各光学ユニット１４からの描画光の照射を伴う主走査が、副走査を挟みつつ、繰り返して行われることによって、基板９の面内における描画対象領域の全体に、パターン群が描画されることになる。

＜アライメントマーク撮像部１５＞
アライメントマーク撮像部１５は、支持フレーム１０７に固設され、ステージ１１に保持された基板９の上面に形成されたアライメントマーク９３を撮像する。アライメントマーク撮像部１５は、例えば、鏡筒、対物レンズ、および、例えばエリアイメージセンサ（二次元イメージセンサ）により構成されるＣＣＤイメージセンサを備える。また、アライメントマーク撮像部１５は、撮像に用いられる照明光を供給する照明ユニット１５１とファイバなどを介して接続される。ただし、この照明光としては、基板９上のレジストなどを感光させない波長の光源が採用される。照明ユニット１５１から出射される光はファイバを介して鏡筒に導かれ、鏡筒を介して基板９の上面に導かれる。そして、その反射光が、対物レンズを介してＣＣＤイメージセンサで受光される。これによって、基板９の上面の撮像データが取得されることになる。なお、アライメントマーク撮像部１５はオートフォーカス可能なオートフォーカスユニットをさらに備えていてもよい。

アライメントマーク撮像部１５が撮像した撮像データは、基板９が適正な位置にくるように精密に位置合わせする処理（アライメント処理）に供される。すなわち、アライメント処理においては、例えば、まず、アライメントマーク撮像部１５が、ステージ１１に保持されている基板９のアライメントマーク９３を撮像する。続いて、得られた撮像データから、テンプレートを用いたパターンマッチングにより、アライメントマーク９３の位置を検出する処理が行われ、さらに、アライメントマーク９３の検出位置の理想位置からのずれ量が特定される。続いて、ステージ駆動機構１２が、特定されたずれ量に応じて、ステージ１１を移動させる。これによって、ステージ１１に載置された基板９が理想位置に位置合わせされた状態におかれることになる。

＜搬送装置１６＞
搬送装置１６は、基板９を搬送する装置であり、具体的には、例えば、基板９を支持するための２本のハンド１６１，１６１と、ハンド１６１，１６１を独立に移動（進退移動および昇降移動）させるハンド駆動機構１６２とを備える。描画装置１の本体外部であって、受渡し領域１０３に隣接する位置には、カセットＣを載置するためのカセット載置部１０４が配置されており、搬送装置１６は、カセット載置部１０４に載置されたカセットＣに収容された未処理の基板９を取り出して処理領域１０２に搬入するとともに、処理領域１０２から処理済みの基板９を搬出してカセットＣに収容する。なお、カセット載置部１０４に対するカセットＣの受渡しは外部搬送装置（図示省略）によって行われる。

＜プリアライメント部１７＞
プリアライメント部１７は、基板９の回転位置を粗く補正する処理（プリアライメント処理）を行う装置である。プリアライメント部１７は、例えば、回転可能に構成された載置台１７１、載置台１７１に載置された基板９を撮像する撮像部１７２、および、載置台１７１を回転させる回転機構１７３を含む構成とすることができる。

プリアライメント処理においては、まず、撮像部１７２が、載置台１７１に載置された基板９を撮像する。当該撮像データから基板９のスクライブライン９１の延在方向が検出されると、回転機構１７３が、当該スクライブライン９１の延在方向が定められた方向となるように載置台１７１を回転させる。これによって、基板９の回転位置が粗く補正されることになる。

なお、プリアライメント部１７は、撮像部１７２に加えて（あるいは、撮像部１７２に代えて）、載置台１７１に載置された基板９の外周縁の一部に形成された切り欠き部（例えば、ノッチ、オリエンテーションフラットなど）の位置を検出するセンサを含んで構成してもよい。この場合、載置台１７１に載置された基板９の切り欠き部の位置をセンサで検出し、回転機構１７３が、当該切り欠き部の位置が定められた位置となるように載置台１７１を回転させることによって、プリアライメント処理を行うことができる。

＜制御用基板１８＞
制御用基板１８は、描画装置１が備える各部と電気的に接続されており、各種の演算処理を実行しつつ描画装置１の各部の動作を制御する。制御用基板１８は、例えば、制御用ＶＭＥ（VERSA module Eurocard）ボードにより構成され、描画処理に直接的に関連する制御系統が実現される。具体的には、制御用基板１８には、例えば、ステージ駆動機構１２を制御してステージ１１を移動させる移動制御部、ステージ位置計測部１３を制御してステージ１１の位置を計測させる測長部、光学ユニット１４，１４を制御して描画光を出射させる描画制御部、主制御部、などが実現されており、これら各部がＶＭＥバスなどを介して互いに接続されている。なお、主制御部は、例えば、演算処理を実行するＣＰＵ、描画処理に関連する情報を記憶するメモリ、通信回線Ｎを介して、外部装置（親コンピュータ２、子コンピュータ３など）との間でコマンドやデータなどの送受信を行う通信部、などを備えており、これらの構成要素が１つのＣＰＵボードに搭載された構成となっている。

描画処理に直接的に関連する制御系統を、コンピュータ２，３とは別の制御用基板１８にて実現することによって、描画処理の制御に特化した基本プログラムによって当該制御系統を形成すること可能となり、これによって、安定した描画処理を実現することが可能となる。

＜３．コンピュータシステム１０＞
＜３−１．ハードウェア構成＞
コンピュータシステム１０のハードウェア構成について、図１、図５を参照しながら説明する。図５は、コンピュータシステム１０の概要を模式的に示す図である。

コンピュータシステム１０は、上述したとおり、第１コンピュータ２と、第２コンピュータ３とを備える。

第１コンピュータ２、および、第２コンピュータ３の各々は、ＣＰＵ２１，３１、ＲＯＭ２２，３２、ＲＡＭ２３，３３、通信部２４，３４、記憶装置２５，３５、などがバスライン２６，３６を介して相互接続された一般的なコンピュータによって構成される。

具体的には、ＲＯＭ２２，３２は基本プログラムなどを格納しており、ＲＡＭ２３，３３はＣＰＵ２１，３１が所定の処理を行う際の作業領域として供される。記憶装置２５，３５は、フラッシュメモリ、あるいは、ハードディスク装置などの不揮発性の記憶装置によって構成されている。

第１コンピュータ２の記憶装置２５には第１のプログラムＰ１が、第２コンピュータ３の記憶装置３５には第２のプログラムＰ２が、それぞれ格納されており、プログラムＰ１，Ｐ２に記述された手順に従って、主制御部としてのＣＰＵ２１，３１が演算処理を行うことにより、各種機能が実現されるように構成されている。プログラムＰ１，Ｐ２は、通常、予め記憶装置２５，３５などのメモリに格納されて使用されるものであるが、ＣＤ−ＲＯＭあるいはＤＶＤ−ＲＯＭ、外部のフラッシュメモリなどの記録媒体に記録された形態（プログラムプロダクト）で提供され（あるいは、ネットワークを介した外部サーバからのダウンロードなどにより提供され）、追加的または交換的に記憶装置２５，３５などのメモリに格納されるものであってもよい。もっとも、各コンピュータ２，３において実現される一部あるいは全部の機能は、専用の論理回路などでハードウェア的に実現されてもよい。

通信部２４，３４は、通信回線Ｎを介して外部装置との間でコマンドやデータなどの送受信を行うデータ通信機能を有する。上述したとおり、第１コンピュータ２と第２コンピュータ３とは通信回線Ｎを介して互いに接続されており、各コンピュータ２，３の間でデータ通信を行うことができるようになっている。また、各コンピュータ２，３は、描画装置１の制御用基板１８とも通信回線Ｎを介して互いに接続されており、各コンピュータ２，３と描画装置１との間でデータ通信を行うことができるようになっている。

コンピュータシステム１０は、さらに、第１コンピュータ２と接続された表示装置（第１表示装置）４と、第２コンピュータ３と接続された表示装置（第２表示装置）５とを備える。各表示装置４，５は、例えば、液晶表示装置などにより構成され、ＣＰＵ２１，３１による制御の下、各種の情報を表示する。第１表示装置４の表示画面４１と第２表示装置５の表示画面５１とは、図５に例示されるように、互いに近接した状態で並置される。

統括制御部としての機能を担う第１コンピュータ２と、画像処理部としての機能を担う第２コンピュータ３との各々が、個別に表示装置を備える構成とによると、例えば、ＳＥＭＩ規格で表示が義務付けられる情報などを第１コンピュータ２と接続された第１表示装置４に表示させれば、第２コンピュータ３と接続された第２表示装置５の表示画面５１の全体を、画像処理に必要な情報などの表示に用いることができる。これによって、オペレータの操作性を向上させることが可能となる。

コンピュータシステム１０は、さらに、第１コンピュータ２と接続された入力装置６を備える。入力装置６は、例えば、キーボード６１およびマウス６２を含む入力デバイスであり、オペレータからの各種の操作（コマンドや各種データの入力といった操作）を受け付ける。もっとも、入力装置６は、キーボード６１のみ、あるいは、マウス６２のみから構成されてもよい。また、第１コンピュータ２と入力装置６との接続態様は、有線であってもよいし、無線であってもよい。

ただし、第２コンピュータ３には入力装置は接続されない。つまり、コンピュータシステム１０においては、入力装置６は、通信回線Ｎを介して互いに接続された複数のコンピュータ２，３のうちの１つのコンピュータ２と、一対一の関係で対応付けられる。以下において、入力装置６が対応付けられているコンピュータ（ここでは、第１コンピュータ２）を、「親コンピュータ２」ともいう。また、残りのコンピュータ（すなわち、複数のコンピュータ２，３のうち、入力装置６が対応付けられないコンピュータ（ここでは、第２コンピュータ３））を、「子コンピュータ３」ともいう。

＜３−２．ソフトウェア構成＞
親コンピュータ２、および、子コンピュータ３のソフトウェア構成について、図６を参照しながら説明する。図６は、各コンピュータ２，３にインストールされるソフトウェアを概念的に示すブロック図である。

親コンピュータ２には、ＯＳ（オペレーティング・システム(Operating System)）などにより構成される基本ソフトウェア２１０と、親コンピュータ２にて実現するべき機能を提供する１以上のアプリケーションソフトウェア２２０とがインストールされる。また、親コンピュータ２には、切替システム７００を実現するためのアプリケーションソフトウェアである、親用切替ソフトウェア７１０がインストールされる。親用切替ソフトウェア７１０がインストールされることによって実現される各機能については、後に説明する。

基本ソフトウェア２１０は、親コンピュータ２のシステム全体を管理するソフトウェアであり、アプリケーションソフトウェア２２０にて共通して利用される基本的な機能を提供する。基本ソフトウェア２１０には、親コンピュータ２と接続されている各種のデバイスを動作させるための要素が組み込まれている。具体的には、基本ソフトウェア２１０には、通信部２４を介した通信機能を実現するためのネットワークドライバ２１１、第１表示装置４を制御してこれを動作させる出力ドライバ２１２、入力装置６と対応付けられ、入力装置６からの情報をアプリケーションソフトウェアに送る際の橋渡しをする入力ドライバ２１３（具体的には、キーボード６１に対応したキーボードドライバ２１３１、マウス６２に対応したマウスドライバ２１３２）、などが組み込まれている。

入力ドライバ２１３がインストールされることによって、親コンピュータ２には、入力装置６から入力された情報を、アプリケーションソフトウェア２２０が解釈できる形式に変換して出力する変換部６０（図７参照）が実現される。この変換部６０から出力される情報を、以下「操作情報」ともいう。

一方、子コンピュータ３にも、ＯＳ（オペレーティング・システム)などにより構成される基本ソフトウェア３１０と、子コンピュータ３にて実現するべき機能を提供する１以上のアプリケーションソフトウェア３２０とがインストールされる。また、子コンピュータ３には、切替システム７００を実現するためのアプリケーションソフトウェアである、子用切替ソフトウェア７２０がインストールされる。子用切替ソフトウェア７２０がインストールされることによって実現される各機能については、後に説明する。

基本ソフトウェア３１０は、子コンピュータ３のシステム全体を管理するソフトウェアであり、アプリケーションソフトウェア３２０にて共通して利用される基本的な機能を提供する。親コンピュータ２にインストールされている基本ソフトウェア２１０と同様、この基本ソフトウェア３１０にも、子コンピュータ３と接続されている各種のデバイスを動作させるための要素が組み込まれている。具体的には、基本ソフトウェア３１０には、通信部３４を介した通信機能を実現するためのネットワークドライバ３１１、第２表示装置５を制御してこれを動作させる出力ドライバ３１２、などが組み込まれている。ただし、上述したとおり、子コンピュータ３には、入力装置６が接続されない。したがって、子コンピュータ３にインストールされる基本ソフトウェア３１０には、入力装置を制御してこれを動作させる入力ドライバは組み込まれていなくてもよい。

以下において、親コンピュータ２にインストールされるアプリケーションソフトウェア２２０と、子コンピュータ３にインストールされるアプリケーションソフトウェア３２０とを区別する場合、前者を「親アプリケーションソフトウェア２２０」といい、後者を「子アプリケーションソフトウェア３２０」という。

＜３−３．機能構成＞
親コンピュータ２に親用切替ソフトウェア７１０がインストールされることにより実現される機能構成、および、子コンピュータ３に子用切替ソフトウェア７２０がインストールされることにより実現される機能構成について、図７を参照しながら説明する。図７は、当該機能構成を示すブロック図である。図示される各部は、親用切替ソフトウェア７１０に記述された手順に従ってＣＰＵ２１が演算処理を行うことにより、あるいは、子用切替ソフトウェア７２０に記述された手順に従ってＣＰＵ３１が演算処理を行うことにより、実現される。

親コンピュータ２には、親用切替ソフトウェア７１０がインストールされることによって、切替部７１、第１切替指示部７３、第２切替指示部７４、切替禁止部７５、および、親アイコン表示制御部７６が実現される。また、子コンピュータ３には、子用切替ソフトウェア７２０がインストールされることによって、操作情報受信部７２、および、子アイコン表示制御部７７が実現される。

＜切替部７１・操作情報受信部７２＞
切替部７１は、入力ドライバ２１３により実現される変換部６０から出力された操作情報の送り先を、親アプリケーションソフトウェア２２０と、子コンピュータ３との間で切り替える。また、操作情報受信部７２は、親コンピュータ２から通信回線Ｎを介して送られた操作情報を受信して、受信した操作情報を、子アプリケーションソフトウェア３２０に送る。

操作情報の送り先が親アプリケーションソフトウェア２２０とされている状態における情報の流れが、図６において矢印ＡＲ１で示されている。この場合、オペレータが入力装置６を介して入力した情報は、入力ドライバ２１３により実現される変換部６０から操作情報として出力され、親用切替ソフトウェア７１０により実現される切替部７１を介して、親アプリケーションソフトウェア２２０に送られる。したがって、この状態においては、親アプリケーションソフトウェア２２０が、操作情報に従って動作することになる。つまり、この場合、入力装置６による操作の対象となることができる権限（以下「操作対象権」ともいう）は、親コンピュータ２に与えられ、オペレータは、入力装置６を介して親コンピュータ２を操作することができる。

一方、操作情報の送り先が子コンピュータ３とされている状態における情報の流れが、図６において矢印ＡＲ２で示されている。この場合、オペレータが入力装置６を介して入力した情報は、入力ドライバ２１３により実現される変換部６０から操作情報として出力され、親用切替ソフトウェア７１０により実現される切替部７１を介して、子コンピュータ３に送られる。そして、子コンピュータ３に送られた操作情報は、子用切替ソフトウェア７２０により実現される操作情報受信部７２にて受信されて、子アプリケーションソフトウェア３２０に送られる。したがって、この状態においては、子アプリケーションソフトウェア３２０が、操作情報に従って動作することになる。つまり、この場合、操作対象権は、子コンピュータ３に与えられ、オペレータは、入力装置６を介して子コンピュータ３を操作することができる。

＜第１切替指示部７３・第２切替指示部７４・切替禁止部７５＞
切替システム７００においては、描画装置１にて実行される各処理が３種類に分類されて登録される。第１の類型は、親コンピュータ２が操作対象権を専有するべき処理（すなわち、専ら親コンピュータ２の操作を必要とし、子コンピュータ３の操作を行うべきでない処理）であり、以下「親専有処理」ともいう。第２の類型は、子コンピュータ３が操作対象権を専有するべき処理（すなわち、専ら子コンピュータ３の操作を必要とし、親コンピュータ２の操作を行うべきでない類の処理）であり、以下「子専有処理」ともいう。第３の類型は、親コンピュータ２、および、子コンピュータ３のどちらの操作も必要となり得る類の処理であり、以下「選択許容処理」ともいう。描画装置１にて実行される各処理をどの類型に分類するかは、オペレータが任意に規定できるものとする。

第１切替指示部７３は、描画装置１の処理状況に応じて、切替部７１に、操作情報の送り先を強制的に切り替えさせる。具体的には、第１切替指示部７３は、描画装置１にて親専有処理が開始される際に、切替部７１に、操作情報の送り先を親アプリケーションソフトウェア２２０に強制的に切り替えさせる。また、第１切替指示部７３は、描画装置１にて子専有処理が開始される際に、切替部７１に、操作情報の送り先を子コンピュータ３に強制的に切り替えさせる。

第２切替指示部７４は、操作情報の送り先の切替指示をオペレータから受け付けるとともに、切替指示を受け付けた場合に、切替部７１に、操作情報の送り先を切り替えさせる。ここでは、第２切替指示部７４は、後述する選択アイコン８２，８５（図８参照）に対する選択操作を、切替指示として受け付ける。具体的には、後述する親アイコン表示制御部７６が第１表示装置４に表示させている選択アイコン８２を、オペレータが選択操作した場合（具体的には、例えば、表示画面４１内における選択アイコン８２の表示領域内の位置にカーソルをおいた状態でマウス６２をクリックした場合）、第２切替指示部７４は、当該選択操作を切替指示（具体的には、操作情報の送り先を、親アプリケーションソフトウェア２２０から子コンピュータ３に切り替える旨の切替指示）として受け付ける。また、後述する子アイコン表示制御部７７が子コンピュータ３と接続されている第２表示装置５に表示させている選択アイコン８５を、オペレータが選択操作した場合、第２切替指示部７４は、当該選択操作を切替指示（具体的には、操作情報の送り先を、子コンピュータ３から親アプリケーションソフトウェア２２０に切り替える旨の切替指示）として受け付ける。もっとも、第２切替指示部７４が切替指示を受け付ける態様は、これに限らない。例えば、第２切替指示部７４は、選択アイコン８２，８５の選択操作に加えて（あるいは、これに代えて）、例えば、キーボード６１から行われた定められたキー操作を、切替指示として受け付ける構成であってもよい。

切替禁止部７５は、描画装置１の処理状況に応じて、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを禁止する。切替禁止部７５は、具体的には、描画装置１にて選択許容処理が行われている間のみ、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを許可し、描画装置１にて親専有処理、あるいは、子専有処理が行われている間は、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを禁止する。

切替禁止部７５が第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを禁止している状態を、以下「切替禁止状態」ともいう。また、切替禁止部７５が第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを許可している状態を、以下「切替許可状態」ともいう。

＜親アイコン表示制御部７６＞
親アイコン表示制御部７６は、第１表示装置４（すなわち、親コンピュータ２と接続されている表示装置）の表示画面４１内の所定位置（例えば、右下の角部付近（図５参照））に、操作情報の送り先の切替状態に応じたアイコンを表示させる。

親アイコン表示制御部７６は、具体的には、図８に示されるように、切替禁止状態となっており、かつ、操作対象権が親コンピュータ２にある場合（すなわち、描画装置１にて親専有処理が行われている場合）、第１表示装置４に、第１のアイコン（親専有アイコン）８１を表示させる。また、親アイコン表示制御部７６は、切替許可状態となっており、かつ、操作対象権が親コンピュータ２にある場合、第１表示装置４に、第２のアイコン（選択アイコン）８２を表示させる。また、親アイコン表示制御部７６は、操作対象権が親コンピュータ２にない場合、第１表示装置４に、第３のアイコン（操作不可アイコン）８３を表示させる。

各アイコン８１，８２，８３のデザインとしては、子コンピュータ３を示唆するようなものであることが好ましく、例えば、コンピュータシステム１０において、親コンピュータ２に識別番号「１」が付与され、子コンピュータ３に識別番号「２」が付与されている場合、子コンピュータ３の識別番号「２」が表されたものであることが好ましい。また、各アイコン８１，８２，８３は一目ではっきりと区別できるものであることが好ましく、例えば、親専有アイコン８１は赤色で、選択アイコン８２は青色で、操作不可アイコン８３は黒色で、それぞれ表示されることも好ましい。

オペレータは、第１表示装置４に表示されているアイコンを見て、操作情報の送り先の切替状態を知得できる。すなわち、オペレータは、親専有アイコン８１が表示されているのを見て、操作対象権が親コンピュータ２にあり、かつ、操作対象権を子コンピュータ３に移動させることができない状態であると知得できる。また、オペレータは、選択アイコン８２が表示されているのを見て、操作対象権が親コンピュータ２にあり、かつ、操作対象権を子コンピュータ３に移動させることができる状態であると知得できる。さらに、上述したとおり、オペレータは、選択アイコン８２を選択操作することによって、操作対象権を親コンピュータ２から子コンピュータ３に移動させる旨の切替指示を入力することができる。また、オペレータは、操作不可アイコン８３が表示されているのを見て、操作対象権が親コンピュータ２にないと知得できる。

＜子アイコン表示制御部７７＞
子アイコン表示制御部７７は、第２表示装置５（すなわち、子コンピュータ３と接続されている表示装置）の表示画面５１内の所定位置（例えば、右下の角部付近（図５参照））に、操作情報の送り先の切替状態に応じたアイコンを表示させる。

子アイコン表示制御部７７は、具体的には、図８に示されるように、切替禁止状態となっており、かつ、操作対象権が子コンピュータ３にある場合（すなわち、描画装置１にて子専有処理が行われている場合）、第２表示装置５に、第１のアイコン（子専有アイコン）８４を表示させる。また、子アイコン表示制御部７７は、切替許可状態となっており、かつ、操作対象権が子コンピュータ３にある場合、第２表示装置５に、第２のアイコン（選択アイコン）８５を表示させる。また、子アイコン表示制御部７７は、操作対象権が子コンピュータ３にない場合、第２表示装置５に、第３のアイコン（操作不可アイコン）８６を表示させる。

各アイコン８４，８５，８６のデザインとしては、親コンピュータ２を示唆するようなものであることが好ましく、例えば、コンピュータシステム１０おいて、親コンピュータ２に識別番号「１」が付与され、子コンピュータ３に識別番号「２」が付与されている場合、親コンピュータ２の識別番号「１」が表されたものであることが好ましい。また、各アイコン８４，８５，８６は一目ではっきりと区別できるものであることが好ましく、例えば、子専有アイコン８４は赤色で、選択アイコン８５は青色で、操作不可アイコン８６は黒色で、それぞれ表示されることも好ましい。

オペレータは、第２表示装置５に表示されているアイコンを見て、操作情報の送り先の切替状態を知得できる。すなわち、オペレータは、子専有アイコン８４が表示されているのを見て、操作対象権が子コンピュータ３にあり、かつ、操作対象権を親コンピュータ２に移動させることができない状態であると知得できる。さらに、オペレータは、選択アイコン８５が表示されているのを見て、操作対象権が子コンピュータ３にあり、かつ、操作対象権を親コンピュータ２に移動させることができる状態であると知得できる。さらに、上述したとおり、オペレータは、選択アイコン８５を選択操作することによって、操作対象権を子コンピュータ３から親コンピュータ２に移動させる旨の切替指示を入力することができる。また、オペレータは、操作不可アイコン８６が表示されているのを見て、操作対象権が子コンピュータ３にないと知得できる。

＜４．テンプレートの登録処理＞
描画システム１００においては、描画処理に先立って、処理の対象となる基板９に形成されているアライメントマーク９３のテンプレート（すなわち、描画処理にて実行されるアライメント処理において、アライメントマーク撮像部１５が取得した撮像データからアライメントマーク９３を検出する際のパターンマッチングに用いられるテンプレート）を登録する処理が行われる。

＜i．処理の流れ＞
テンプレートの登録処理について、図９を参照しながら説明する。図９は、テンプレートの登録処理の流れを示す図である。以下に説明する一連の処理は、描画システム１００が備える各コンピュータ２，３、および、制御用基板１８の制御下で実行される。

まず、親コンピュータ２において、テンプレートの登録処理に係るパラメータの設定が行われる（ステップＳ１１）。具体的には、親コンピュータ２が、テンプレートの登録処理に係る各種のパラメータの設定に必要な情報（具体的には、登録対象となるアライメントマーク９３の位置および個数、など）の入力をオペレータから受け付けて、オペレータから入力された情報に基づいて、各パラメータを設定する。

パラメータの設定が完了し、オペレータから、基板９の搬入指示を受け付けると、親コンピュータ２は、その旨を制御用基板１８に通知する。制御用基板１８は、当該通知を受けると、搬送装置１６に、テンプレートの登録処理に用いる基板９（以下、「登録用基板９」ともいう）を、描画装置１に搬入させる（ステップＳ１２）。ここでは、例えば、描画処理の対象となる一群の基板９のうちの１枚を、登録用基板９として用いるとする。すなわち、搬送装置１６は、カセット載置部１０４に載置されたカセットＣから未処理の基板９を１枚取り出して、これを登録用基板９として描画装置１に搬入する。もっとも、登録用基板９として、テンプレートの登録処理の専用のサンプル基板などが用いられてもよい。

制御用基板１８は、搬送装置１６に、描画装置１に搬入された登録用基板９をプリアライメント部１７に搬入させる。プリアライメント部１７の載置台１７１に登録用基板９が載置されると、プリアライメント部１７の調整処理が行われる（ステップＳ１３）。当該処理は、具体的には、次のように行われる。

まず、子コンピュータ３からの指示に応じて、プリアライメント部１７の撮像部１７２が、載置台１７１に載置された登録用基板９を撮像する。撮像部１７２が取得した撮像データは、子コンピュータ３に送られる。子コンピュータ３は、当該撮像データを取得すると、これを第２表示装置５に表示させる。オペレータは、表示画面５１を見て、撮像部１７２の視野領域内に、スクライブライン９１の交差位置が捉えられているか（好ましくは、視野領域のほぼ中心に交差位置が捉えられているか）などを、確認する。スクライブライン９１の交差位置が撮像部１７２の視野領域内に適切に捉えられていない場合、オペレータは、子コンピュータ３に、撮像部１７２の移動指示（具体的には、撮像部１７２を移動させるべき方向と移動量）を入力する。当該指示を受け付けると、子コンピュータ３は、その旨を制御用基板１８に通知する。

制御用基板１８は、当該通知を受けると、プリアライメント部１７の撮像部１７２の位置を、指示に応じて移動させる。これによって、プリアライメント部１７の撮像部１７２が、その視野領域内にスクライブライン９１の交差位置が適切に捉えられるように、位置調整されることになる。

ステップＳ１３のプリアライメント部１７の調整処理が完了すると、制御用基板１８は、搬送装置１６に、プリアライメント部１７から登録用基板９を搬出させるとともに、当該登録用基板９をステージ１１に載置させる（ステップＳ１４）。ステージ１１は、その上面に登録用基板９が載置されると、これを吸着保持する。

登録用基板９がステージ１１に吸着保持された状態となると、制御用基板１８は、ステージ駆動機構１２に、ステージ１１を定められた位置（具体的には、例えば、ステージ１１に保持されている登録用基板９におけるアライメントマーク９３の形成位置が、アライメントマーク撮像部１５の真下にくるようなステージ１１の位置）まで移動させる。ステージ１１が定められた位置に配置されると、子コンピュータ３からの指示に応じて、アライメントマーク撮像部１５が、ステージ１１に保持されている登録用基板９を撮像する（ステップＳ１５）。

アライメントマーク撮像部１５が取得した撮像データは、子コンピュータ３に送られる。子コンピュータ３は、当該撮像データを取得すると、これを第２表示装置５に表示させる。オペレータは、表示画面５１を見て、アライメントマーク撮像部１５の視野領域内に、登録対象となるアライメントマーク９３が捉えられているか（好ましくは、視野領域のほぼ中心にアライメントマーク９３が捉えられているか）、ピントが合っているか、撮像用の光量が適切であるか、などを確認する。そして、必要に応じて、撮像条件を変更する旨の指示を子コンピュータ３に入力する。例えば、アライメントマーク９３がアライメントマーク撮像部１５の視野領域内に適切に捉えられていない場合、オペレータは、子コンピュータ３に、ステージ１１の移動指示（具体的には、ステージ１１を移動させるべき方向と移動量）を入力する。当該指示を受け付けると、子コンピュータ３は、その旨を制御用基板１８に通知する。制御用基板１８は、当該通知を受けると、ステージ駆動機構１２に、ステージ１１の位置を、指示に応じて移動させる。これによって、アライメントマーク撮像部１５と基板９との位置関係が、アライメントマーク撮像部１５の視野領域内にアライメントマーク９３が適切に捉えられるように、位置調整されることになる。

アライメントマーク撮像部１５によって、アライメントマーク９３が適切に捉えられた撮像データが取得されると、オペレータは、当該撮像データに基づいてテンプレートを作成するべき旨の指示を、子コンピュータ３に入力する。当該指示を受け付けると、子コンピュータ３は、テンプレートを作成する（ステップＳ１６）。ステップＳ１６の処理は、具体的には、例えば、次のように行われる。すなわち、まず、撮像データから、アライメントマーク９３が現れている領域が抽出される。続いて、抽出された領域内のエッジの検出が行われ、アライメントマーク９３と背景との境界が抽出される。そして、抽出された境界に基づいて、アライメントマーク９３の画像部分が切り出される。そして、切り出された画像部分のエッジ情報が、マーク情報ファイルとして記憶される。つまり、マーク情報ファイルにおいて、アライメントマーク９３は、エッジ情報からなる形状情報として保持されることになる。マーク情報ファイルが作成されると、続いて、当該作成されたマーク情報ファイルに基づいて、アライメントマーク９３の重心位置が特定される。そして、マーク情報ファイルおよび重心位置が、アライメントマーク９３のテンプレートとされる。アライメントマーク９３のテンプレートが作成されると、当該テンプレートは、固有の識別記号（例えば、固有の番号）が付与された上で、記憶装置３５に登録される。

アライメントマーク９３のテンプレートが登録されると、続いて、当該登録されたテンプレートの評価が行われる（ステップＳ１７）。ステップＳ１７の処理は、具体的には、例えば、次のように行われる。すなわち、まず、子コンピュータ３からの指示に応じて、アライメントマーク撮像部１５が、登録用基板９上の別のアライメントマーク９３（登録に用いられたのとは、別のアライメントマーク９３であり、例えば、登録用基板９のエッジ付近に形成されているアライメントマーク９３）を撮像する。続いて、子コンピュータ３が、得られた撮像データから、ステップＳ１６で登録されたテンプレートを用いたパターンマッチングによって、アライメントマーク９３を検出する。アライメントマーク９３が適切に検出された場合、子コンピュータ３は、テンプレートに対して肯定的な評価を与える。オペレータは、この評価結果を見て、満足のいく結果が得られた場合は、子コンピュータ３に、登録用基板９の搬出指示を入力し、満足のいく結果が得られない場合は、子コンピュータ３に、テンプレートの登録処理のやり直しの指示を入力する。

オペレータから登録用基板９の搬出指示を受け付けると、子コンピュータ３は、その旨を制御用基板１８に通知する。制御用基板１８は、当該通知を受けると、搬送装置１６に、登録用基板９をステージ１１から受け取らせて、描画装置１から搬出させる（ステップＳ１８）。搬送装置１６が、描画装置１から搬出した登録用基板９を、カセット載置部１０４に載置されたカセットＣに収容すると、テンプレートの登録処理が終了する。

＜ii．切替状態の遷移＞
上述したテンプレートの登録処理が実行される間、これと並行して、切替システム７００の切替状態が遷移される。切替状態の遷移態様について、図１０を参照しながら説明する。図１０は、描画装置１の処理状況に応じた切替状態の遷移の態様を説明するための図である。

ただし、ここでは、テンプレートの登録処理にて実行される各処理のうち、パラメータの設定（ステップＳ１１）は、親専有処理とされているとする。また、プリアライメント部１７の調整処理からテンプレートの評価までの一連の処理（ステップＳ１３〜ステップＳ１７）は、子専有処理とされているとする。もっとも、上述したとおり、各処理を類型化する態様はこれに限られるものではない。

親コンピュータ２においてパラメータの設定（ステップＳ１１）が開始されると、第１切替指示部７３は、切替部７１に、操作情報の送り先を、親アプリケーションソフトウェア２２０に強制的に切り替えさせる。また、切替禁止部７５は、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを禁止する。つまり、パラメータの設定が開始されると、操作対象権が親コンピュータ２に与えられた状態で、切替禁止状態となる。この状態は、パラメータの設定が完了するまで維持される。

したがって、パラメータの設定が開始されてから完了するまでの間は、オペレータが入力装置６を介して入力した情報は、変換部６０から操作情報として出力され、切替部７１を介して、親アプリケーションソフトウェア２２０に送られることになる（図７参照）。したがって、この間は、オペレータは、入力装置６を介して親コンピュータ２を操作することができる。また、この間は、第１表示装置４には親専有アイコン８１が表示され、第２表示装置５には操作不可アイコン８６が表示される。この状態においては、操作対象権を子コンピュータ３に移動させる旨の切替指示を受け付けるアイコン（選択アイコン８２）は表示されないため、オペレータは、当該切替指示を入力できないようになっている。

パラメータの設定が完了して、親コンピュータ２がオペレータから登録用基板９の搬入指示を受け付けると、第１切替指示部７３は、切替部７１に、操作情報の送り先を、親アプリケーションソフトウェア２２０から子コンピュータ３に強制的に切り替えさせる。また、切替禁止部７５は、引き続き、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを禁止する。つまり、搬送装置１６が登録用基板９の搬入を開始すると（ステップＳ１２）、操作対象権が子コンピュータ３に移された上で、切替禁止状態となる。この状態は、テンプレートの評価（ステップＳ１７）が完了するまで維持される。

したがって、登録用基板９が搬入されてからテンプレートの評価が完了するまでの間は、オペレータが入力装置６を介して入力した情報は、変換部６０から操作情報として出力され、切替部７１を介して、子コンピュータ３に送られる。そして、子コンピュータ３に送られた操作情報は、操作情報受信部７２にて受信されて、子アプリケーションソフトウェア３２０に送られることになる（図７参照）。したがって、この間は、オペレータは、入力装置６を介して子コンピュータ３を操作することができる。また、この間は、第１表示装置４には操作不可アイコン８３が表示され、第２表示装置５には子専有アイコン８４が表示される。この状態においては、操作対象権を親コンピュータ２に移動させる旨の切替指示を受け付けるアイコン（選択アイコン８５）は表示されないため、オペレータは、当該切替指示を入力できないようになっている。

テンプレートの評価が完了して、親コンピュータ２がオペレータから登録用基板９の搬出指示を受け付けると、第１切替指示部７３は、切替部７１に、操作情報の送り先を、子コンピュータ３から親アプリケーションソフトウェア２２０に強制的に切り替えさせる。また、切替禁止部７５は、引き続き、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを禁止する。つまり、搬送装置１６が登録用基板９の搬出を開始すると（ステップＳ１８）、操作対象権が親コンピュータ２に移された上で、切替禁止状態となる。この状態は、登録用基板９の搬出が完了するまで維持される。

したがって、登録用基板９の搬出が開始されてから完了するまでの間は、オペレータが入力装置６を介して入力した情報は、変換部６０から操作情報として出力され、切替部７１を介して、親アプリケーションソフトウェア２２０に送られることになる（図７参照）。したがって、この間は、オペレータは、入力装置６を介して親コンピュータ２を操作することができる。また、この間は、第１表示装置４には親専有アイコン８１が表示され、第２表示装置５には操作不可アイコン８６が表示される。この状態においては、操作対象権を子コンピュータ３に移動させる旨の切替指示を受け付けるアイコン（選択アイコン８２）は表示されないため、オペレータは、当該切替指示を入力できないようになっている。

＜５．描画処理＞
描画システム１００においては、定められた枚数の一群の基板９の各々に対して連続してパターン群を描画する処理（描画処理）が行われる。この描画処理は、例えば、上述したテンプレートの登録処理に引き続いて行われる。ただし、テンプレートの登録処理は、必ずしも、描画処理が行われる度毎に行われる必要はない。例えば、描画処理にて必要となるテンプレートが、別の機会に既に登録されている場合は、テンプレートの登録処理はスキップされる。

＜i．処理の流れ＞
描画処理について、図１１を参照しながら説明する。図１１は、描画処理の流れを示す図である。以下に説明する一連の処理は、描画システム１００が備える各コンピュータ２，３、および、制御用基板１８の制御下で実行される。

外部搬送装置（図示省略）によって、カセット載置部１０４に、処理対象となる基板９が収容されたカセットＣが載置されると、親コンピュータ２において、描画処理に係る各種のパラメータの設定が行われる（ステップＳ２１）。具体的には、親コンピュータ２が、描画処理に係る各種のパラメータの設定に必要な情報（具体的には、描画処理の処理条件を記述したレシピの識別情報、など）の入力をオペレータから受け付けて、オペレータから入力された情報に基づいて、各パラメータを設定する。

パラメータの設定が完了し、オペレータから、基板９の搬入指示を受け付けると、親コンピュータ２は、その旨を制御用基板１８に通知する。制御用基板１８は、当該通知を受けると、搬送装置１６に、カセットＣに収容されている未処理の基板９のうちの１枚を、描画装置１に搬入させる（ステップＳ２２）。

制御用基板１８は、搬送装置１６に、描画装置１に搬入された未処理の基板９をプリアライメント部１７に搬入させる。プリアライメント部１７の載置台１７１に基板９が載置されると、当該基板９に対するプリアライメント処理が行われる（ステップＳ２３）。プリアライメント処理は、具体的には、次のように行われる。

まず、子コンピュータ３からの指示に応じて、プリアライメント部１７の撮像部１７２が、載置台１７１に載置された基板９を撮像する。撮像部１７２が取得した撮像データは、子コンピュータ３に送られる。子コンピュータ３は、当該撮像データを取得すると、当該撮像データからスクライブライン９１の交差位置を検出する。スクライブライン９１の交差位置が検出されると、子コンピュータ３は、交差する各スクライブライン９１の延在方向が定められた方向からどれだけずれているかを特定して、特定されたずれ量を、制御用基板１８に通知する。

制御用基板１８は、基板９の回転位置のずれ量を取得すると、回転機構１７３に、当該ずれ量分だけ、載置台１７１を回転させる。これによって、基板９の回転位置が粗く補正され、載置台１７１に載置された基板９が定められた回転位置におおまかに位置合わせされた状態におかれることになる。

ステップＳ２３のプリアライメント処理が完了すると、制御用基板１８は、搬送装置１６に、プリアライメント部１７から基板９を搬出させるとともに、当該基板９をステージ１１に載置させる（ステップＳ２４）。ステージ１１は、その上面に基板９が載置されると、これを吸着保持する。

基板９がステージ１１に吸着保持された状態となると、続いて、アライメント処理が行われる（ステップＳ２５）。アライメント処理は、具体的には、次のように行われる。

まず、制御用基板１８が、ステージ駆動機構１２に、ステージ１１を定められた位置（具体的には、例えば、ステージ１１に保持されている基板９におけるアライメントマーク９３の形成位置が、アライメントマーク撮像部１５の真下にくるようなステージ１１の位置）まで移動させる。

ステージ１１が定められた位置に配置されると、子コンピュータ３からの指示に応じて、アライメントマーク撮像部１５が、ステージ１１に保持されている基板９を撮像する。アライメントマーク撮像部１５が取得した撮像データは、子コンピュータ３に送られる。子コンピュータ３は、当該撮像データを取得すると、これを第２表示装置５に表示させる。さらに、子コンピュータ３は、当該取得した撮像データから、テンプレートとのパターンマッチングによって、アライメントマーク９３を検出する。上述したとおり、パターンマッチングに用いられるテンプレートは、描画処理に先立って記憶装置３５に登録されており、子コンピュータ３は、処理対象となる基板９に形成されているアライメントマーク９３と対応するテンプレートを、記憶装置３５から読み出して、当該テンプレートを用いてパターンマッチングを行う。アライメントマーク９３が検出されると、子コンピュータ３は、アライメントマーク９３の検出位置が理想位置からどれだけずれているかを特定して、特定されたずれ量を、制御用基板１８に通知する。

制御用基板１８は、基板９の位置のずれ量を取得すると、ステージ駆動機構１２に、当該ずれ量分だけ、ステージ１１を移動させる。これによって、ステージ１１に載置された基板９が理想位置に位置合わせされた状態におかれることになる。なお、ステージ１１の位置調整に代えて、パターンデータに記述されるパターンを、特定されたずれ量分だけずらすように修正する態様としてもよい。また、特定されたずれ量のうち、ある方向成分についてはステージ１１の位置調整によって対応し、残りの方向成分についてはパターンデータの修正によって対応してもよい。

ステップＳ２５のアライメント処理が完了すると、制御用基板１８は、ステージ駆動機構１２および各光学ユニット１４を制御して、ステージ１１に保持されている基板９に対して、パターン群を描画させる（ステップＳ２６）。この処理は、ステージ駆動機構１２が、ステージ１１に載置された基板９を、各光学ユニット１４に対して相対的に移動させつつ、各光学ユニット１４から基板９の上面に空間変調された光（描画光）を照射させることによって行われる。当該処理について、図１２を参照しながら具体的に説明する。図１２は、当該処理を説明するための図である。

まず、ステージ駆動機構１２が、アライメントマーク撮像部１５の下方位置に配置されているステージ１１を主走査方向（Ｙ軸方向）に沿って＋Ｙ方向に移動させることによって、基板９を光学ユニット１４，１４に対して主走査方向に沿って相対的に移動させる（主走査）。これを基板９から見ると、各光学ユニット１４は基板９上を主走査方向に沿って−Ｙ方向に横断することになる（矢印ＡＲ１１）。主走査が行われる間、各光学ユニット１４は、パターンデータに応じた空間変調が形成された光（具体的には、副走査方向に沿う複数画素分の空間変調された光）を、基板９に向けて断続的に照射し続ける（すなわち、基板９の表面にパルス光が繰り返して投影され続ける）。つまり、各光学ユニット１４は、副走査方向に沿う複数画素分の空間変調された光を断続的に照射し続けながら基板９上を主走査方向に沿って横断する。したがって、光学ユニット１４が主走査方向に沿って基板９を１回横断すると、１本の帯状領域Ｍ（主走査方向に沿って延在し、副走査方向に沿う幅が描画幅に相当する領域）に、パターン群が描画されることになる。ここでは、２個の光学ユニット１４が同時に基板９を横断するので、一回の主走査により２本の帯状領域Ｍのそれぞれにパターン群が描画されることになる。

１回の主走査が終了すると、ステージ駆動機構１２は、ステージ１１を副走査方向（Ｘ軸方向）に沿って−Ｘ方向に、描画幅に相当する距離だけ移動させることによって、基板９を光学ユニット１４，１４に対して副査方向に沿って相対的に移動させる（副走査）。これを基板９から見ると、各光学ユニット１４は副走査方向に沿って＋Ｘ方向に、帯状領域Ｍの幅分だけ移動することになる（矢印ＡＲ１２）。

副走査が終了すると、再び主走査が行われる。すなわち、ステージ駆動機構１２は、ステージ１１を主走査方向に沿って−Ｙ方向に移動させることによって、基板９を光学ユニット１４，１４に対して主走査方向に沿って相対的に移動させる。これを基板９から見ると、各光学ユニット１４は、基板９上における、先の主走査で描画された帯状領域Ｍの隣を、主走査方向に沿って＋Ｙ方向に移動して横断することになる（矢印ＡＲ１３）。ここでも、各光学ユニット１４は、パターンデータに応じた空間変調が形成された光を、基板９に向けて断続的に照射し続けながら基板９上を主走査方向に沿って横断する。これによって、先の主走査で描画された帯状領域Ｍの隣の帯状領域Ｍに、パターン群が描画されることになる。以後、同様に、主走査と副走査とが繰り返して行われ、描画対象領域の全域にパターンが描画される。

なお、基板９に対するパターン群の描画が行われている間、親コンピュータ２は、処理の進行状況を監視するとともに、第１表示装置４の表示画面４１に、処理の進行状況、処理結果などを表示する。一方、子コンピュータ３は、例えば、処理を施されている基板９のリアルタイムの撮像データなどを、第２表示装置５の表示画面５１に表示する。したがって、オペレータは、親コンピュータ２と接続された第１表示装置４の表示画面４１を見ながら、描画処理の進行状況や処理結果を確認する一方で、子コンピュータ３と接続された第２表示装置５の表示画面５１を見ながら、基板９の面内の状態などを確認することができる。

再び図１１を参照する。ステージ１１に保持されている基板９に対するパターン群の描画が完了すると、制御用基板１８は、搬送装置１６に、処理済みの基板９をステージ１１から受け取らせて、描画装置１から搬出させる（ステップＳ２７）。搬送装置１６は、描画装置１から搬出した処理済みの基板９を、カセット載置部１０４に載置されたカセットＣに収容する。

１枚の基板９に対する処理が完了すると、制御用基板１８は、搬送装置１６に、カセットＣから新たな未処理の基板９を１枚取り出させて、描画装置１に搬入させる（ステップＳ２２）。新たな未処理の基板９が描画装置１に搬入されると、当該基板９に対して、ステップＳ２３〜ステップＳ２７の一連の処理が行われる。

定められた枚数の一群の基板９のうちの最後の基板９に対するパターン群の描画が完了して、当該基板９がカセットＣに収容されると（ステップＳ２８でＹＥＳ）、当該カセットＣが外部搬送装置によって受け取られる。これによって、一連の描画処理が完了する。

＜ii．切替状態の遷移＞
上述した描画処理が実行される間、これと並行して、切替システム７００の切替状態が遷移される。切替状態の遷移態様について、図１３を参照しながら説明する。図１３は、描画装置１の処理状況に応じた切替状態の遷移の態様を説明するための図である。

ただし、ここでは、描画処理にて実行される各処理のうち、パラメータの設定（ステップＳ２１）は、親専有処理とされているとする。また、各基板９に対して行われる一連の処理（ステップＳ２３〜ステップＳ２６）は、選択許容処理とされているとする。もっとも、上述したとおり、各処理を類型化する態様はこれに限られるものではない。

親コンピュータ２においてパラメータの設定（ステップＳ２１）が開始されると、第１切替指示部７３は、切替部７１に、操作情報の送り先を、親アプリケーションソフトウェア２２０に強制的に切り替えさせる。また、切替禁止部７５は、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを禁止する。つまり、パラメータの設定が開始されると、操作対象権が親コンピュータ２に与えられた状態で、切替禁止状態となる。この状態は、パラメータの設定が完了するまで維持される。

したがって、パラメータの設定が開始されてから完了するまでの間は、オペレータが入力装置６を介して入力した情報は、変換部６０から操作情報として出力され、切替部７１を介して、親アプリケーションソフトウェア２２０に送られることになる（図７参照）。したがって、この間は、オペレータは、入力装置６を介して親コンピュータ２を操作することができる。また、この間は、第１表示装置４には親専有アイコン８１が表示され、第２表示装置５には操作不可アイコン８６が表示される。この状態においては、操作対象権を子コンピュータ３に移動させる旨の切替指示を受け付けるアイコン（選択アイコン８２）は表示されないため、オペレータは、当該切替指示を入力できないようになっている。

パラメータの設定が完了して、親コンピュータ２がオペレータから未処理の基板９の搬入指示を受け付けると、切替禁止部７５は、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを許可する。これに応じて、第１表示装置４に表示されるアイコンが、親専有アイコン８１から選択アイコン８２に変更される。つまり、搬送装置１６が１枚目の未処理の基板９の搬入を開始した後は、切替許可状態となり、この状態は、最後の未処理の基板９に対するパターン群の描画が完了するまで維持される。したがって、１枚目の基板９が搬入されてから最後の基板９に対するパターン群の描画が完了するまでの間は、オペレータは、任意のタイミングで選択アイコン８２，８５を選択操作して切替指示を入力することによって、入力装置６を介して任意のコンピュータ２，３を操作することができる。

例えば、切替許可状態であり、かつ、操作対象権が親コンピュータ２に与えられている状態では、第１表示装置４には選択アイコン８２が表示され、第２表示装置５には操作不可アイコン８６が表示される。この状態において、オペレータが選択アイコン８２を選択操作すると、その操作情報が、親アプリケーションソフトウェア２２０にて切替指示として認識されて第２切替指示部７４に通知される。第２切替指示部７４は、切替指示を受け付けると、切替部７１に、操作情報の送り先を、親アプリケーションソフトウェア２２０から子コンピュータ３に切り替えさせる。切替部７１が操作情報の送り先を切り替えると、以降は、オペレータが入力装置６を介して入力した情報は、変換部６０および切替部７１を介して、子コンピュータ３に送られ、子コンピュータ３に送られた操作情報は、操作情報受信部７２を介して、子アプリケーションソフトウェア３２０に送られることになる。したがって、オペレータは、以降は、入力装置６を介して子コンピュータ３を操作することができる。

例えば、アライメント処理（ステップＳ２５）における撮像倍率を変更したい場合、オペレータは、第１表示装置４に表示されている選択アイコン８２を選択操作して、操作情報の送り先を子アプリケーションソフトウェア３２０に切り替えた上で、入力装置６を介して子コンピュータ３を操作して、アライメントマーク撮像部１５の撮像倍率の変更指示を入力することができる。

また例えば、切替許可状態であり、かつ、操作対象権が子コンピュータ３に与えられている状態では、第１表示装置４には操作不可アイコン８３が表示され、第２表示装置５には選択アイコン８５が表示される。この状態において、オペレータが選択アイコン８５を選択操作すると、その操作情報が、子アプリケーションソフトウェア３２０にて切替指示として認識されて第２切替指示部７４に通知される。第２切替指示部７４は、切替指示を受け付けると、切替部７１に、操作情報の送り先を、子コンピュータ３から親アプリケーションソフトウェア２２０に切り替えさせる。切替部７１が操作情報の送り先を切り替えると、以降は、オペレータが入力装置６を介して入力した情報は、変換部６０および切替部７１を介して、親アプリケーションソフトウェア２２０に送られることになる。したがって、オペレータは、以降は、入力装置６を介して親コンピュータ２を操作することができる。

例えば、基板９に対するパターン群の描画が行われている最中に、過去に行った描画処理の履歴を参照したい場合、オペレータは、第２表示装置５に表示されている選択アイコン８５を選択操作して、操作情報の送り先を親アプリケーションソフトウェア２２０に切り替えた上で、入力装置６を介して親コンピュータ２を操作して、過去に行った描画処理の履歴の読み出しの指示を入力することができる。

最後の基板９に対するパターン群の描画が完了して、搬送装置１６が当該基板９を描画装置１から搬出開始すると、第１切替指示部７３は、切替部７１に、操作情報の送り先を、親アプリケーションソフトウェア２２０に強制的に切り替えさせる。また、切替禁止部７５は、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを禁止する。つまり、定められた枚数の基板９の各々に対するパターン群の描画が完了すると（ステップＳ２８でＹＥＳ）、操作対象権が親コンピュータ２に移された上で、切替禁止状態となる。

したがって、最後の基板９が描画装置から搬出開始された後は、オペレータが入力装置６を介して入力した情報は、変換部６０から操作情報として出力され、切替部７１を介して、親アプリケーションソフトウェア２２０に送られることになる（図７参照）。したがって、この間は、オペレータは、入力装置６を介して親コンピュータ２を操作することができる。また、この間は、第１表示装置４には親専有アイコン８１が表示され、第２表示装置５には操作不可アイコン８６が表示される。この状態においては、操作対象権を子コンピュータ３に移動させる旨の切替指示を受け付けるアイコン（選択アイコン８２）は表示されないため、オペレータは、当該切替指示を入力できないようになっている。

＜６．効果＞
上記の実施の形態によると、操作情報（すなわち、入力装置６から親コンピュータ２に入力され、変換部６０にてアプリケーションソフトウェア２２０，３２０が解釈できる形式に変換された操作情報）が親アプリケーションソフトウェア２２０に送られる状態と、操作情報が通信回線Ｎを介して子アプリケーションソフトウェア３２０に送られる状態とを、切り替えることができる。したがって、切替器を介在させずに、複数のコンピュータ２，３間で入力装置６を共用することができる。

また、上記の実施の形態様によると、第１切替指示部７３が、描画装置１の処理状況に応じて、切替部７１に、操作情報の送り先を強制的に切り替えさせる。具体的には、第１切替指示部７３は、描画装置１にて、親専有処理に分類されている処理が実行される場合は、操作情報の送り先を親コンピュータ２に強制的に切り替えさせる。また、描画装置１にて、子専有処理に分類されている処理が実行される場合は、操作情報の送り先を子コンピュータ３に強制的に切り替えさせる。したがって、操作情報の送り先が不適切となっているために、描画装置１にて行われる処理に支障がでてしまう、といった事態を回避することができる。

また、上記の実施の形態によると、第２切替指示部７４が、オペレータからの指示に応じて、切替部７１に、操作情報の送り先を切り替えさせる。したがって、オペレータは、操作情報の送り先を任意に切り替えることができる。

また、上記の実施の形態によると、切替禁止部７５が、描画装置１の処理状況に応じて、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを禁止する。具体的には、切替禁止部７５は、描画装置１にて、親専有処理に分類されている処理、あるいは、子専有処理に分類されている処理が実行される場合は、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを禁止する。したがって、操作情報の送り先が不適切に切り替えられたために、描画装置１にて行われる処理に支障がでてしまう、といった事態を回避することができる。

また、上記の実施の形態によると、操作情報の送り先の切替状態に応じたアイコン８１〜８６が、複数のコンピュータ２，３の各々と接続された表示装置４，５の各々に表示される。したがって、オペレータは、操作情報の送り先の切替状態（具体的には、切替システム７００が切替禁止状態にあるか否か、また、操作対象権がどのコンピュータにあるか）を、一目で把握することができる。

また、上記の実施の形態によると、オペレータは、切替状態に応じたアイコンの１つである選択アイコン８２，８５を操作することによって、切替指示を入力することができる。したがって、オペレータは、切替状態を把握した上で、切替指示を入力することができるので、誤操作により意図せずに切替指示を入力してしまう、といった事態が生じにくい。例えば、カーソルが定められた方向に移動した場合に、当該操作を切替指示として受け付ける態様によると、オペレータが、切替指示の入力を意図せずにたまたまカーソルをそのように動かしてしまった場合に、オペレータの意図に反して操作情報の送り先が切り替わってしまう可能性があるが、上記の実施の形態のように、アイコン８２，８５が選択操作された場合に、当該操作を切替指示として受け付ける態様によると、オペレータの意図に反して操作対象権が切り替えられてしまうといった事態が生じにくい。また、この構成によると、オペレータは、入力装置６から切替指示を入力することができるので、コンピュータ２，３に対する作業を中断することなく、スムーズに切替指示を入力することができる。

＜７．変形例＞
上記の実施の形態において、各コンピュータ２，３には、切替システム７００の状態に応じて３種類のアイコンが表示されるとしたが、例えば、操作不可アイコン８３，８６は表示しない構成としてもよい。この場合、アイコンが表示されていないことによって、オペレータは、当該装置に操作対象権が存在しないことを知得することができる。また例えば、選択アイコン８２，８５のみを表示する構成としてもよい。この場合、操作対象権を移動させることができない状態では、何のアイコンも表示されないので、オペレータは、例えば、切替禁止状態となっている場合に、アイコンを操作しても操作対象権が移動しない、といったストレスを感じずに、適切なコンピュータだけを自然に操作することができる。

また、上記の実施の形態においては、第１切替指示部７３が、描画装置１にて行われる処理の種類に応じて、切替部７１に操作情報の送り先を強制的に切り替えさせるとしたが、例えば、第１切替指示部７３は、さらに、描画装置１において何らかの異常が生じた場合に、切替部７１に操作情報の送り先を親アプリケーションソフトウェア２２０に強制的に切り替えさせてもよい。この構成によると、オペレータは、描画装置１に異常が発生した場合に、直ちに親コンピュータ２に対して緊急停止指示などを入力することができる。また、異常の発生に応じて操作情報の送り先が強制的に切り替えられた場合、さらに、切替禁止部７５が、第２切替指示部７４による切替指示の受け付けを禁止する構成としてもよい。

また、描画装置１にて実行される処理の流れは、必ずしも上述した通りである必要はない。例えば、テンプレートの登録処理において、プリアライメント部１７の調整処理は、常に行われる必要はない。例えば、描画処理において、スクライブライン９１ではなく基板９に形成されたノッチなどの位置を検出して基板９をプリアライメントする場合などは、ステップＳ１３の処理はスキップされる。

また、上記の実施の形態において、コンピュータシステム１０は、子コンピュータを複数個含む構成としてもよい。例えば、上記の実施の形態に係る描画システム１００には、描画装置１および２個のコンピュータ２，３の他に、さらに、設計装置（すなわち、基板９に描画するべきパターンを記述したデータ（設計データ）を、例えばＣＡＤを用いて作成・編集する装置）、ＲＩＰ装置（すなわち、設計装置から出力された設計データをＲＩＰ処理して出力する装置）、転送装置（すなわち、ＲＩＰ装置から出力されたラスターデータを描画装置１に転送する装置）などが、含まれてもよく、これらの装置の少なくとも１つが、子コンピュータとしてコンピュータシステム１０に含まれてもよい。

また、コンピュータシステム１０が、複数の子コンピュータ３を含む場合、親コンピュータ２および複数の子コンピュータ３の各々と接続された各表示装置に、自装置以外の複数のコンピュータの各々に対応するアイコンを表示する構成としてもよい。この構成の場合、例えば、操作対象権があるコンピュータと対応するアイコンを他のアイコンと区別可能な表示態様で表示して、どのコンピュータに操作対象権があるかを一目でオペレータが知得できるように構成することも好ましい。

また、上記の実施形態では、描画システム１００において統括制御部としての機能を担う第１コンピュータに、入力装置６が接続されていたが、第１コンピュータではなく、画像処理部としての機能を担う第２コンピュータに、入力装置６が接続されてもよい。つまり、画像処理部としての機能を担う第２コンピュータが、親コンピュータとされてもよい。

また、上記の実施形態では、空間光変調器１４４１として、変調単位である固定リボンと可動リボンとが一次元に配設された回折格子型の空間光変調器であるＧＬＶが用いられていたが、このような形態には限られない。例えば、ＧＬＶに限らず、ミラーのような変調単位が、一次元に配列されている空間光変調器が利用される形態であってもよい。また、例えば、ＤＭＤ（Digital Micromirror Device：デジタルマイクロミラーデバイス：テキサスインスツルメンツ社の登録商標）のような変調単位であるマイクロミラーが二次元的に配列された空間光変調器が利用されてもよい。

また、上記の実施の形態に係る描画システム１００において、処理対象とされる基板９は、必ずしも半導体基板である必要はなく、プリント基板、液晶表示装置などに具備されるカラーフィルタ用基板、液晶表示装置やプラズマ表示装置などに具備されるフラットパネルディスプレイ用ガラス基板、磁気ディスク用基板、光ディスク用基板、太陽電池用パネル、などの各種基板であってもよい。

また、上記の実施の形態においては、コンピュータシステム１０が、描画装置１と接続されて描画システム１００を構成する場合を説明したが、コンピュータシステム１０は、描画装置１以外の各種の装置と接続されてもよい。

１ 描画装置
２ 親コンピュータ
３ 子コンピュータ
４，５ 表示装置
６ 入力装置
１１ ステージ
１２ ステージ駆動機構
１３ ステージ位置計測部
１４ 光学ユニット
１５ アライメントマーク撮像部
１６ 搬送装置
１７ プリアライメント部
１８ 制御用基板
１０ コンピュータシステム
１００ 描画システム
２１０，３１０ 基本ソフトウェア
２２０ 親アプリケーションソフトウェア
３２０ 子アプリケーションソフトウェア
７００ 切替システム
７１０ 親用切替ソフトウェア
７２０ 子用切替ソフトウェア
７１ 切替部
７２ 操作情報受信部
７３ 第１切替指示部
７４ 第２切替指示部
７５ 切替禁止部
７６ 親アイコン表示制御部
７７ 子アイコン表示制御部
９ 基板

Claims (13)

1. 通信回線を介して接続された複数のコンピュータと、
   前記複数のコンピュータのいずれかを親コンピュータとし、残りのコンピュータを子コンピュータとして、前記親コンピュータと一対一の関係で対応付けられた入力装置と、
   を備え、
   前記親コンピュータが、
   前記入力装置から入力された情報を、アプリケーションソフトウェアが解釈できる形式に変換して操作情報として出力する変換部と、
   前記変換部から出力された操作情報の送り先を、自装置にインストールされているアプリケーションソフトウェアと、前記子コンピュータとの間で切り替える切替部と、
   を備え、
   前記子コンピュータが、
   前記親コンピュータから前記通信回線を介して送られた前記操作情報を受信して、自装置にインストールされているアプリケーションソフトウェアに送る、操作情報受信部、
   を備える、コンピュータシステム。
2. 請求項１に記載のコンピュータシステムであって、
   前記複数のコンピュータが、感光材料の層が形成された基板に対して光を照射して前記基板にパターンを描画する描画装置と、前記通信回線を介して、接続されており、
   前記コンピュータシステムが、
   前記描画装置の処理状況に応じて、前記切替部に、前記操作情報の送り先を強制的に切り替えさせる、第１切替指示部、
   を備える、コンピュータシステム。
3. 請求項１または２に記載のコンピュータシステムであって、
   切替指示をオペレータから受け付けるとともに、前記切替指示を受け付けた場合に、前記切替部に、前記操作情報の送り先を切り替えさせる、第２切替指示部、
   を備える、コンピュータシステム。
4. 請求項３に記載のコンピュータシステムであって、
   前記複数のコンピュータが、感光材料の層が形成された基板に対して光を照射して前記基板にパターンを描画する描画装置と、前記通信回線を介して、接続されており、
   前記コンピュータシステムが、
   前記描画装置の処理状況に応じて、前記第２切替指示部による、前記切替指示の受け付けを禁止する切替禁止部、
   を備える、コンピュータシステム。
5. 請求項１から４のいずれかに記載のコンピュータシステムであって、
   前記複数のコンピュータの各々と接続された表示装置の少なくとも１つに、前記操作情報の送り先の切替状態に応じたアイコンを表示させる、アイコン表示制御部、
   を備える、コンピュータシステム。
6. 請求項５に記載のコンピュータシステムであって、
   切替指示をオペレータから受け付けるとともに、前記切替指示を受け付けた場合に、前記切替部に、前記操作情報の送り先を切り替えさせる、第２切替指示部、
   を備え、
   前記第２切替指示部が、
   前記アイコン表示制御部が前記表示装置に表示させている前記アイコンに対する選択操作を、前記切替指示として受け付ける、
   コンピュータシステム。
7. 感光材料の層が形成された基板に対して光を照射して、前記基板にパターンを描画する描画装置と、
   前記描画装置と通信回線を介して接続された複数のコンピュータと、
   前記複数のコンピュータのいずれかを親コンピュータとし、残りのコンピュータを子コンピュータとして、前記親コンピュータと一対一の関係で対応付けられた入力装置と、
   を備え、
   前記親コンピュータが、
   前記入力装置から入力された情報を、アプリケーションソフトウェアが解釈できる形式に変換して操作情報として出力する変換部と、
   前記変換部から出力された操作情報の送り先を、自装置にインストールされているアプリケーションソフトウェアと、前記子コンピュータとの間で切り替える切替部と、
   を備え、
   前記子コンピュータが、
   前記親コンピュータから前記通信回線を介して送られた前記操作情報を受信して、自装置にインストールされているアプリケーションソフトウェアに送る、操作情報受信部、
   を備える、描画システム。
8. 通信回線を介して接続された複数のコンピュータと入力装置とを備えるコンピュータシステムにおいて、前記入力装置から入力された情報の送り先を切り替える方法であって、
   前記複数のコンピュータのいずれかを親コンピュータとし、残りのコンピュータを子コンピュータとして、前記親コンピュータと一対一の関係で前記入力装置が対応付けられており、
   ａ）前記入力装置から前記親コンピュータに入力された情報を、アプリケーションソフトウェアが解釈できる形式に変換して操作情報とする工程と、
   ｂ）前記操作情報が、前記親コンピュータにインストールされているアプリケーションソフトウェアに送られる状態と、前記操作情報が、前記通信回線を介して前記子コンピュータにインストールされているアプリケーションソフトウェアに送られる状態とを切り替える工程と、
   を備える、切替方法。
9. 請求項８に記載の切替方法であって、
   前記複数のコンピュータが、感光材料の層が形成された基板に対して光を照射して前記基板にパターンを描画する描画装置と、前記通信回線を介して、接続されており、
   ｃ）前記描画装置の処理状況に応じて、前記ｂ）工程を実行させて、前記操作情報の送り先を強制的に切り替えさせる工程、
   を備える、切替方法。
10. 請求項８または９に記載の切替方法であって、
    ｄ）切替指示をオペレータから受け付けるとともに、前記切替指示を受け付けた場合に、前記ｂ）工程を実行させて、前記操作情報の送り先を切り替えさせる工程、
    を備える、切替方法。
11. 請求項１０に記載の切替方法であって、
    前記複数のコンピュータが、感光材料の層が形成された基板に対して光を照射して前記基板にパターンを描画する描画装置と、前記通信回線を介して、接続されており、
    ｅ）前記描画装置の処理状況に応じて、前記切替指示の受け付けを禁止する工程、
    を備える、切替方法。
12. 請求項８から１１のいずれかに記載の切替方法であって、
    ｆ）前記複数のコンピュータの各々と接続された表示装置の少なくとも１つに、前記操作情報の送り先の切替状態に応じたアイコンを表示させる工程、
    を備える、切替方法。
13. 請求項１２に記載の切替方法であって、
    ｄ）切替指示をオペレータから受け付けるとともに、前記切替指示を受け付けた場合に、前記ｂ）工程を実行させて、前記操作情報の送り先を切り替えさせる工程、
    を備え、
    前記ｄ）工程において、
    前記表示装置に表示されている前記アイコンに対する選択操作を、前記切替指示として受け付ける、
    切替方法。

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