JP6357064B2 - パターン形成装置およびパターン形成方法 - Google Patents
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Description
<1.1 描画装置100の全体構成>
図1は、実施形態に係る描画装置の一例として描画装置100の構成例を示す側面図である。図2は、図1の描画装置100の構成例を示す上面図である。
<1.2.1 本体部105>
本体部105は、露光処理に係る処理部106として、基板Wを水平姿勢で保持するステージ10(保持部)と、ステージ10を移動させるステージ移動機構20と、ステージ10の位置に対応した位置パラメータを計測する位置パラメータ計測機構30と、基板Wの上面にパルス光を照射する光学ヘッド部50(パターン形成部)と、アライメントカメラ60(撮像部)と、を備えている。
基板収納カセット110は、露光処理を受けるべき未処理の基板Wを収納する第1の収納部と、露光処理が施された処理済みの基板Wを収納する第2の収納部と、を有する。また、既述の通り、搬送ロボット120は基板収納カセット110との間で基板Wの受渡しを行うことができる。
制御部70は、描画装置100が備える各部と電気的に接続されており、各種の演算処理を実行しつつ描画装置100の各部の動作を制御する。
<1.3.1 全体処理>
描画装置100が基板Wに対して実行する一連の処理について、図3を参照しながら説明する。図3は、当該処理の流れを示す図である。以下に説明する一連の動作は、制御部70の制御下で行われる。
描画処理は、特定のパターンを含む設計データ(例えば、ベクター形式のデータ)から変換された、描画装置100が処理可能な記述形式を有する描画データ(例えば、ラスター形式のデータ)に従って行われる。
本実施形態におけるアライメント処理の効果を説明する。以下では、アライメントマークMa0、Ma1をまとめて第1群のアライメントマークと表現し、アライメントマークMa11〜Ma14をまとめて第2群のアライメントマークと表現する。また、アライメントカメラ60での撮像により取得される情報のうち、アライメントマークMa0、Ma1の位置情報を第1位置情報と表現し、アライメントマークMa11〜Ma14の位置情報を第2位置情報と表現する。
以上、本発明の実施形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。
20 ステージ移動機構
30 位置パラメータ計測機構
50 光学ヘッド部
60 アライメントカメラ
65 撮像視野
70 制御部
100 描画装置
110 基板収納カセット
120 搬送ロボット
Ma、Ma0、Ma1、Ma11〜Ma14 アライメントマーク
W 基板
Claims (16)
- 基板の一方側の主面に形成された複数のアライメントマークの位置情報に基づいて、前記主面にパターンを形成するパターン形成装置であって、
前記基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持される前記基板の前記主面に形成された前記複数のアライメントマークの少なくとも一部を撮像する撮像部と、
前記複数のアライメントマークのうち前記撮像部によって撮像された第1群のアライメントマークの第1位置情報から、前記第1群のアライメントマークよりも前記主面の周縁側に位置する第2群のアライメントマークの第2位置情報を演算して予測する演算部と、
前記主面にパターンを形成するパターン形成部と、
前記第2群のアライメントマークの少なくとも1つについてあらかじめ設定された撮像予想位置へ前記撮像部と前記基板とを相対移動させる移動機構と、
を備え、
前記撮像予想位置へ移動された前記撮像部の撮像視野に前記第2群のアライメントマークの前記少なくとも1つが含まれない場合、
前記演算部によって予測された前記第2位置情報の予測値を参照して前記撮像部が第2位置情報の実測値を取得した後、
前記パターン形成部は前記第2位置情報の実測値に応じて前記主面にパターンを形成し、
前記撮像予想位置へ移動された前記撮像部の撮像視野に前記第2群のアライメントマークの前記少なくとも1つが含まれる場合、前記パターン形成部は当該撮像視野から得られる前記第2群のアライメントマークの少なくとも1つの実測値を含む前記第2位置情報の実測値に応じて前記主面にパターンを形成する
ことを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項1に記載のパターン形成装置であって、
前記第1群のアライメントマークは、前記主面の中央に位置する中央アライメントマーク、および、該中央アライメントマークに隣接するアライメントマークを含むことを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項1または請求項2に記載のパターン形成装置であって、
前記基板は、転写用基板上に形成された機能層の積層体が製品用基板の基層の前記一方側の主面上に反転転写されて形成されていることを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のパターン形成装置であって、
前記第2群のアライメントマークの数が、前記第1群のアライメントマークの数よりも多いことを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のパターン形成装置であって、
前記パターンの形成は、前記基板の前記主面への露光パターンの形成であり、
前記露光パターンの形成は、描画データに基づいて空間変調された光を光学ヘッドから前記主面に上に照射しつつ、前記光学ヘッドと前記基板の前記主面とを相対移動させて行われることを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項5に記載のパターン形成装置であって、
前記描画データは、設計データに対して前記第2位置情報の実測値に応じたデータ処理が施されて生成されることを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のパターン形成装置であって、
前記パターンの形成は、前記基板の前記主面への露光パターンの形成であり、
前記露光パターンの形成は、マスクを介して前記主面に選択的に面状光を照射するマスク露光によって実行されることを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項7に記載のパターン形成装置であって、
共通の基準パターンに基づいてあらかじめ準備された複数のマスクのうち一のマスクが前記第2位置情報の実測値に応じて選択されて、前記パターンの形成が実行されることを特徴とするパターン形成装置。 - 基板の一方側の主面に形成された複数のアライメントマークの位置情報に基づいて、前記主面にパターンを形成するパターン形成方法であって、
前記基板を保持する保持工程と、
保持される前記基板の前記主面に形成された第1群のアライメントマークを撮像部によって撮像して、第1位置情報の実測値を取得する第1撮像工程と、
前記第1撮像工程で取得された前記第1位置情報の前記実測値を基に、前記第1群のアライメントマークよりも前記主面の周縁側に位置する第2群のアライメントマークの第2位置情報の予測値を生成する予測工程と、
前記第2位置情報の前記予測値を参照して、保持される前記基板の前記主面に形成された前記第2群のアライメントマークを撮像し、前記第2位置情報の実測値を取得する第2撮像工程と、
前記第2位置情報の実測値を基に前記主面にパターンを形成するパターン形成工程と、
を備え、
前記第1撮像工程に先立って行われる工程として、前記第2群のアライメントマークの少なくとも1つについてあらかじめ設定された撮像予想位置へ前記撮像部と前記基板とを相対移動させ、前記第2群のアライメントマークの前記少なくとも1つが前記撮像部の撮像視野に含まれるか否かを確認する確認工程、
を備え、
前記確認工程において前記第2群のアライメントマークの前記少なくとも1つが前記撮像視野に含まれないと判定された場合には、前記第1撮像工程、前記予測工程、および前記第2撮像工程を経由してから、前記パターン形成工程を実行し、
前記確認工程において前記第2群のアライメントマークが前記撮像視野に含まれると判定された場合には、前記第1撮像工程、前記予測工程、および前記第2撮像工程を省略して、前記確認工程中で得た前記第2群のアライメントマークの前記少なくとも1つの実測値を含む前記第2位置情報の実測値を基に前記パターン形成工程を実行することを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項9に記載のパターン形成方法であって、
前記第1群のアライメントマークは、前記主面の中央に位置する中央アライメントマーク、および、該中央アライメントマークに隣接するアライメントマークを含むことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項9または請求項10に記載のパターン形成方法であって、
前記基板は、転写用基板上に形成された機能層の積層体が製品用基板の基層の前記一方側の主面上に反転転写されて形成されていることを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項9ないし請求項11のいずれかに記載のパターン形成方法であって、
前記第2群のアライメントマークの数が、前記第1群のアライメントマークの数よりも多いことを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項9ないし請求項12のいずれかに記載のパターン形成方法であって、
前記パターンの形成は、前記基板の前記主面への露光パターンの形成であり、
前記パターン形成工程は、描画データに基づいて空間変調された光を光学ヘッドから前記主面に上に照射しつつ、前記光学ヘッドと前記基板の前記主面とを相対移動させて行われることを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項13に記載のパターン形成方法であって、
前記描画データは、設計データに対して前記第2位置情報の実測値に応じたデータ処理が施されて生成されることを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項9ないし請求項12のいずれかに記載のパターン形成方法であって、
前記パターンの形成は、前記基板の前記主面への露光パターンの形成であり、
前記パターン形成工程は、マスクを介して前記主面に選択的に面状光を照射するマスク露光によって実行されることを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項15に記載のパターン形成方法であって、
共通の基準パターンに基づいてあらかじめ準備された複数のマスクのうち一のマスクが前記第2位置情報の実測値に応じて選択されて、前記パターン形成工程が実行されることを特徴とするパターン形成方法。
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